JPS5840341U - ウエハ吸着装置 - Google Patents
ウエハ吸着装置Info
- Publication number
- JPS5840341U JPS5840341U JP13434381U JP13434381U JPS5840341U JP S5840341 U JPS5840341 U JP S5840341U JP 13434381 U JP13434381 U JP 13434381U JP 13434381 U JP13434381 U JP 13434381U JP S5840341 U JPS5840341 U JP S5840341U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- suction cups
- fixing pieces
- suction
- adsorption device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Feeding Of Workpieces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図はウェハ搬送装置における撮出部全体図。
第2図はウェハ搬送装置における搬入郡全体図。
第3図は第1図におけるA矢視図であり第2図における
B矢視図である。第4図は本考案にょるウェハ吸着前の
ウェハと吸盤及び固定ピースの相対位置を示す断面図。 第5図は第4図に対するウェハ吸着後のウェハと吸盤及
び固定ピースの相対位置を示す断面図。第6図は従来の
吸盤の構成を断面した図である。 1・・・テーブル、2・・・吸着チェック、3a、
3b゛ ・・・ウェハ、4a、 4b・・・ウェハカ
セット、6a。 6b・・・アーム旋回及び上下装置、3a、 8b・
・・吸盤1.10a、10b・・・アーム、13・・・
吸盤、14・・・固、 定ピース。
B矢視図である。第4図は本考案にょるウェハ吸着前の
ウェハと吸盤及び固定ピースの相対位置を示す断面図。 第5図は第4図に対するウェハ吸着後のウェハと吸盤及
び固定ピースの相対位置を示す断面図。第6図は従来の
吸盤の構成を断面した図である。 1・・・テーブル、2・・・吸着チェック、3a、
3b゛ ・・・ウェハ、4a、 4b・・・ウェハカ
セット、6a。 6b・・・アーム旋回及び上下装置、3a、 8b・
・・吸盤1.10a、10b・・・アーム、13・・・
吸盤、14・・・固、 定ピース。
Claims (1)
- 少くとも3個以上保有する吸盤にてウェハをウェハカセ
ットから自動的に取り出し、加工位置に搬送し、また加
工完了したウェハを再びウェハカセットに収納するウェ
ハ搬送装置において、上記吸盤を保持するボディに複数
個の固定ピースを設け、この固定ピースの外周面に下端
部が突出する如く吸盤を設け、真空吸着時上記吸盤が外
方に広ってウェハを固定ピース下端面に吸着させるよう
にしたことを特徴とするウェハ吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13434381U JPS5840341U (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | ウエハ吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13434381U JPS5840341U (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | ウエハ吸着装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5840341U true JPS5840341U (ja) | 1983-03-16 |
Family
ID=29927771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13434381U Pending JPS5840341U (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | ウエハ吸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5840341U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61201794U (ja) * | 1985-06-08 | 1986-12-18 | ||
JP2022033587A (ja) * | 2020-08-17 | 2022-03-02 | 西部自動機器株式会社 | ワーク搬送装置 |
-
1981
- 1981-09-11 JP JP13434381U patent/JPS5840341U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61201794U (ja) * | 1985-06-08 | 1986-12-18 | ||
JP2022033587A (ja) * | 2020-08-17 | 2022-03-02 | 西部自動機器株式会社 | ワーク搬送装置 |
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