JPS5840341U - ウエハ吸着装置 - Google Patents

ウエハ吸着装置

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Publication number
JPS5840341U
JPS5840341U JP13434381U JP13434381U JPS5840341U JP S5840341 U JPS5840341 U JP S5840341U JP 13434381 U JP13434381 U JP 13434381U JP 13434381 U JP13434381 U JP 13434381U JP S5840341 U JPS5840341 U JP S5840341U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
suction cups
fixing pieces
suction
adsorption device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13434381U
Other languages
English (en)
Inventor
高志 佐野
Original Assignee
日立精工株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日立精工株式会社 filed Critical 日立精工株式会社
Priority to JP13434381U priority Critical patent/JPS5840341U/ja
Publication of JPS5840341U publication Critical patent/JPS5840341U/ja
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  • Feeding Of Workpieces (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はウェハ搬送装置における撮出部全体図。 第２図はウェハ搬送装置における搬入郡全体図。 第３図は第１図におけるＡ矢視図であり第２図における
Ｂ矢視図である。第４図は本考案にょるウェハ吸着前の
ウェハと吸盤及び固定ピースの相対位置を示す断面図。 第５図は第４図に対するウェハ吸着後のウェハと吸盤及
び固定ピースの相対位置を示す断面図。第６図は従来の
吸盤の構成を断面した図である。 １・・・テーブル、２・・・吸着チェック、３ａ、　　
３ｂ゛　・・・ウェハ、４ａ、　　４ｂ・・・ウェハカ
セット、６ａ。 ６ｂ・・・アーム旋回及び上下装置、３ａ、　　８ｂ・
・・吸盤１．１０ａ、１０ｂ・・・アーム、１３・・・
吸盤、１４・・・固、　定ピース。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 少くとも３個以上保有する吸盤にてウェハをウェハカセ
    ットから自動的に取り出し、加工位置に搬送し、また加
    工完了したウェハを再びウェハカセットに収納するウェ
    ハ搬送装置において、上記吸盤を保持するボディに複数
    個の固定ピースを設け、この固定ピースの外周面に下端
    部が突出する如く吸盤を設け、真空吸着時上記吸盤が外
    方に広ってウェハを固定ピース下端面に吸着させるよう
    にしたことを特徴とするウェハ吸着装置。
JP13434381U 1981-09-11 1981-09-11 ウエハ吸着装置 Pending JPS5840341U (ja)

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JP13434381U JPS5840341U (ja) 1981-09-11 1981-09-11 ウエハ吸着装置

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JP13434381U JPS5840341U (ja) 1981-09-11 1981-09-11 ウエハ吸着装置

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JPS5840341U true JPS5840341U (ja) 1983-03-16

Family

ID=29927771

Family Applications (1)

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JP13434381U Pending JPS5840341U (ja) 1981-09-11 1981-09-11 ウエハ吸着装置

Country Status (1)

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JP (1) JPS5840341U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61201794U (ja) * 1985-06-08 1986-12-18
JP2022033587A (ja) * 2020-08-17 2022-03-02 西部自動機器株式会社 ワーク搬送装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61201794U (ja) * 1985-06-08 1986-12-18
JP2022033587A (ja) * 2020-08-17 2022-03-02 西部自動機器株式会社 ワーク搬送装置

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