JPS5839915A - 光センサ分光感度測定装置 - Google Patents
光センサ分光感度測定装置Info
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- JPS5839915A JPS5839915A JP13815481A JP13815481A JPS5839915A JP S5839915 A JPS5839915 A JP S5839915A JP 13815481 A JP13815481 A JP 13815481A JP 13815481 A JP13815481 A JP 13815481A JP S5839915 A JPS5839915 A JP S5839915A
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- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 title claims abstract description 18
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 title claims abstract description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 235000006693 Cassia laevigata Nutrition 0.000 description 1
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- 229940124513 senna glycoside Drugs 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光センサ全般、即ちOODイメージセンナ、
mowイメージセンサ、フォトダイオード、7オシマル
チプライヤ等の分光感度測定を短時闘にかつ自動的に行
う装置に関する。
mowイメージセンサ、フォトダイオード、7オシマル
チプライヤ等の分光感度測定を短時闘にかつ自動的に行
う装置に関する。
従来、光センサの分光感度測定は、例えば毫/りνメー
タの光を、測定サンプルにあててのその出力を読み、か
つ測定サンプルの光量を、別のあらかじめ較正されたパ
ワーメータによって測定することによって、その出力/
光量から求め、波長を変えて、上記操作を繰り返すこと
により行うのが常であった。
タの光を、測定サンプルにあててのその出力を読み、か
つ測定サンプルの光量を、別のあらかじめ較正されたパ
ワーメータによって測定することによって、その出力/
光量から求め、波長を変えて、上記操作を繰り返すこと
により行うのが常であった。
このような方法においては、第1に測定系と、光源及び
周囲との充分な遮光が必要であり、サンプルの出力値、
光量値を読むのに注意を要した。第2にサンプルと光量
測定パワーメータを交互に入れかえる必要があり、再現
性が低下すると共に、測定時間が長くなる。第3に受光
面積の大きいものはよいが、例えばOOD 、 )10
8等リニアイメージセンナ等のように、10〜数10μ
論の輻で数謔〜数10mrnEわたり1列に並んでいる
ようなセン量においては、上記方法においては、正確に
受光面に光を入射することが困難で、その精度及び再現
性において信頼性が損われるという欠点がある。
周囲との充分な遮光が必要であり、サンプルの出力値、
光量値を読むのに注意を要した。第2にサンプルと光量
測定パワーメータを交互に入れかえる必要があり、再現
性が低下すると共に、測定時間が長くなる。第3に受光
面積の大きいものはよいが、例えばOOD 、 )10
8等リニアイメージセンナ等のように、10〜数10μ
論の輻で数謔〜数10mrnEわたり1列に並んでいる
ようなセン量においては、上記方法においては、正確に
受光面に光を入射することが困難で、その精度及び再現
性において信頼性が損われるという欠点がある。
本発明は上記の欠点を除去すると共に光センすの分光感
度特性を測定を簡単な構成で、しかも、短時間に高精度
で行うことを可能とした光センナ分光感度測定装置の提
供を目的としている。
度特性を測定を簡単な構成で、しかも、短時間に高精度
で行うことを可能とした光センナ分光感度測定装置の提
供を目的としている。
以下、図面によって本発明の具体的実施例を詳細に説明
する。
する。
第11!Iは、本発明の基本構成である。lは例えばハ
ロゲンランプなどの光源、2は分光装置で、モノクロメ
ータあるいは干渉フィルタを用いることが出来る。3は
廖状可変アパーチャ、4は光路シャッタ、5は光量調節
器、・は形状可変アパーチャ3をサンプル及び光量検出
器に投影するための投影レンズ、7はハーフミラ−1S
は光量検出器、9は被測定サンプル、1oは細隙、11
は対物レンズである。
ロゲンランプなどの光源、2は分光装置で、モノクロメ
ータあるいは干渉フィルタを用いることが出来る。3は
廖状可変アパーチャ、4は光路シャッタ、5は光量調節
器、・は形状可変アパーチャ3をサンプル及び光量検出
器に投影するための投影レンズ、7はハーフミラ−1S
は光量検出器、9は被測定サンプル、1oは細隙、11
は対物レンズである。
光源1かも出射した光は分光装置2によって任意の波長
の光のみとり出され、形状可変アパーチャ3に入射する
。アパーチャの形状可変方法としては、2つの幅可変出
射スリットを互に直角に設けて、夫々のスリット輻を変
えることにより、矩形のアパーチャの寸法を変える。あ
るいは、測定サンプルが丸型の場合にはカメラ等に用い
る絞りを用いることも可能である。
の光のみとり出され、形状可変アパーチャ3に入射する
。アパーチャの形状可変方法としては、2つの幅可変出
射スリットを互に直角に設けて、夫々のスリット輻を変
えることにより、矩形のアパーチャの寸法を変える。あ
るいは、測定サンプルが丸型の場合にはカメラ等に用い
る絞りを用いることも可能である。
又いろいろな形、大きさの穴をあけた板を幾種類も準備
してセンサ形状に合わせて用いる等がある。
してセンサ形状に合わせて用いる等がある。
以上のように単独あるいは複数の方法を組み合わせてア
パーチャ形状を変えることができる。
パーチャ形状を変えることができる。
アパーチャ3の形状はレンズ6によって光量検出器8及
び被測定サンプル9に投影される。光量検出器8、被測
定サンプル9の出力値が飽和することなく、かつ精度を
上げるため光量が過少にならないように調節するために
光量調節器5が設けられ、光量調節器5は例えばカメラ
に用いる絞り、あるいはNDフィルタを幾種類か円板に
とりつけて切換えて用いる。光量調節器5に光を完全に
遮光する機能を設けておけば、光路シャッタ4を別に設
ける必要はない。光量調節は又光源に供給する電圧を関
節することによっても可能である。カメラ用レンズのよ
うに絞りの組み込まれたレンズを用いれば、焦点の合っ
たアパーチャ像が光量検出器8、被測定サンプル9に結
ばれる。光量検出器3としてはフォトダイオード、フォ
ト!ルチプライヤ等を用いることが可能で゛あるが、ハ
ーフミラ−は広範囲の波長にわたり完全に反射率/透過
率を1にすることが出来ないので、あらかじめ各測定波
長で反射率/透過率の比を求めておいて、光量検出器に
各波長毎5乗算して補正し゛て受光面の真の光量を求め
ることが必要÷ある。
び被測定サンプル9に投影される。光量検出器8、被測
定サンプル9の出力値が飽和することなく、かつ精度を
上げるため光量が過少にならないように調節するために
光量調節器5が設けられ、光量調節器5は例えばカメラ
に用いる絞り、あるいはNDフィルタを幾種類か円板に
とりつけて切換えて用いる。光量調節器5に光を完全に
遮光する機能を設けておけば、光路シャッタ4を別に設
ける必要はない。光量調節は又光源に供給する電圧を関
節することによっても可能である。カメラ用レンズのよ
うに絞りの組み込まれたレンズを用いれば、焦点の合っ
たアパーチャ像が光量検出器8、被測定サンプル9に結
ばれる。光量検出器3としてはフォトダイオード、フォ
ト!ルチプライヤ等を用いることが可能で゛あるが、ハ
ーフミラ−は広範囲の波長にわたり完全に反射率/透過
率を1にすることが出来ないので、あらかじめ各測定波
長で反射率/透過率の比を求めておいて、光量検出器に
各波長毎5乗算して補正し゛て受光面の真の光量を求め
ることが必要÷ある。
測定手−としては、光路シャッタ4により、光路を閉じ
て暗状態の光量検出器8、サンプル9の出力を求め、次
いで光路を開き、各波長毎に、光量を調節しつつ、“サ
ンプルの出力、光量検出器の出力を求め、暗状態時の出
力を差し引いて、かつ光量検出器8の出力にサンプル面
光量を求める補正係数を乗算することによって、サンプ
ル面光量を求め、サンプル出力/光量から分光感度を求
めていく。各波長毎にこの手順を繰り返す。
て暗状態の光量検出器8、サンプル9の出力を求め、次
いで光路を開き、各波長毎に、光量を調節しつつ、“サ
ンプルの出力、光量検出器の出力を求め、暗状態時の出
力を差し引いて、かつ光量検出器8の出力にサンプル面
光量を求める補正係数を乗算することによって、サンプ
ル面光量を求め、サンプル出力/光量から分光感度を求
めていく。各波長毎にこの手順を繰り返す。
サンプルが比較的大きい場合は、細Ill Os対物レ
ンズ11は光軸よりはずしておく。なお光量検出器8、
被測定サンプル9F1′位置は逆であっても何ら差支え
ない。
ンズ11は光軸よりはずしておく。なお光量検出器8、
被測定サンプル9F1′位置は逆であっても何ら差支え
ない。
第2図は第1図において光学系部分のみを抜き□出した
図であり、投影レンズ6によって光量検出器8、サンプ
ル9上に結ばれたアパーチャ3の像を斜線を施して示し
ている。このように被測定サンプルの受光面が大きい場
合は拡大投影をする。
図であり、投影レンズ6によって光量検出器8、サンプ
ル9上に結ばれたアパーチャ3の像を斜線を施して示し
ている。このように被測定サンプルの受光面が大きい場
合は拡大投影をする。
次に被測定サンプルがリニアイメージセンサのように、
例えば輻10〜数10μm、長さ数mtm〜数10mm
のセンナの場合には、第1図に示す系ではアパーチャ
の投影像が大き過ぎて、受光面よりはるかにはみ出して
しまい、測定が出来ない。この時は、細11o及び、対
物レンズ11を光軸上に入れて、細隙の縮小像をすンプ
ル上に結ぶ□ことによって、サンプルの受光面内に光を
当てることが出来る。開時に、細隙を通過した光の一部
は光量検出器に入射し、光量を測定することが出来る。
例えば輻10〜数10μm、長さ数mtm〜数10mm
のセンナの場合には、第1図に示す系ではアパーチャ
の投影像が大き過ぎて、受光面よりはるかにはみ出して
しまい、測定が出来ない。この時は、細11o及び、対
物レンズ11を光軸上に入れて、細隙の縮小像をすンプ
ル上に結ぶ□ことによって、サンプルの受光面内に光を
当てることが出来る。開時に、細隙を通過した光の一部
は光量検出器に入射し、光量を測定することが出来る。
この時は“、対物レンズ11が入ることにより、レンズ
の吸収分だけ光量が減るので、光量検出器から被測定サ
ンプルに入射する光の真の光量を計算するためには、第
1図に示した場合のハーフミラ−の反射率/透過率の比
に加えて、対物レンズの各波長における吸収率も考慮し
た係数を各測定波長毎に乗算すればよい。
の吸収分だけ光量が減るので、光量検出器から被測定サ
ンプルに入射する光の真の光量を計算するためには、第
1図に示した場合のハーフミラ−の反射率/透過率の比
に加えて、対物レンズの各波長における吸収率も考慮し
た係数を各測定波長毎に乗算すればよい。
また、この系では測定サンプルの受光面が微小であるか
ら、第3図12に示すようなw!眼レンズを用いて、蛍
光画内に確実に細隙像が収まっていることを*aするこ
とによって精度を向上させることが出来る。さらに細@
[1@が光軸に入るのに連動して、対物レンズ11が光
軸上に入るような機構にし、1度光軸上に人ったらll
A!Iのみは独立に多少の移動及び、光軸に直角に回転
可能な機構にすることにより被測定すンプルの形状、傾
き等に合わせて、細隙の位置、角度を調節することが可
能で使い易いものとなる。
ら、第3図12に示すようなw!眼レンズを用いて、蛍
光画内に確実に細隙像が収まっていることを*aするこ
とによって精度を向上させることが出来る。さらに細@
[1@が光軸に入るのに連動して、対物レンズ11が光
軸上に入るような機構にし、1度光軸上に人ったらll
A!Iのみは独立に多少の移動及び、光軸に直角に回転
可能な機構にすることにより被測定すンプルの形状、傾
き等に合わせて、細隙の位置、角度を調節することが可
能で使い易いものとなる。
第4図に第3!lOに示した糸の光学系のみを示す。細
@1Gは対物レンズ11によって縮小像を被測定サンプ
ル9上に結ぶ。一方、光量検出器8の方には、対物レン
ズはなく、従って形状可変アパーチャの細隙10によっ
て光量の絞られた像が結ばれている。従って、この場合
もアパーチャはその像が光量検出器の受光面をはみ出な
い大きさに調節しておく。又、測定サンプ#9が、Vの
ように例えば直角になっている時は、細191Gは同じ
ように回転して10’のようにすることにより、容易に
測定サンプルの受光面状態に対応出来るし、又細隙10
が対物レンズ11に対して、独立に移動させることが可
能であることにより、被測定サンプルの位置に容易に対
応出来ることは明らかである。更に、コンピュータ等を
用いて自動化することによって一層短時間に測定を可能
とすることが容易である。第5図はコンピュータ13に
よって、自動測定を行う場合の系を示している。コンピ
ュータで制御するのは、分光装置2.光路シャッタ4、
光量調節器5.細a10の移動とそれに連動した財物レ
ンズ11であり、又測定サンプル9及び、光量検出器8
の出力をψコンバータ14によって夫々の値をコンビエ
ータ13に取込む。分光装置としてモノクロメータを用
いる場合は、例えばグレーティングの角度をモータで変
える、又干渉フィルタの場合には、いくつもの干渉フィ
ルタを円板に組み込んでおいて、七−一で円板を回転さ
せて波長を選択する。光量調節器5は、測定サンプル9
、光量検出6Sからの出力をみて光量が大きい時は絞る
ようにし、又過少の場合は光量を増すように調節する。
@1Gは対物レンズ11によって縮小像を被測定サンプ
ル9上に結ぶ。一方、光量検出器8の方には、対物レン
ズはなく、従って形状可変アパーチャの細隙10によっ
て光量の絞られた像が結ばれている。従って、この場合
もアパーチャはその像が光量検出器の受光面をはみ出な
い大きさに調節しておく。又、測定サンプ#9が、Vの
ように例えば直角になっている時は、細191Gは同じ
ように回転して10’のようにすることにより、容易に
測定サンプルの受光面状態に対応出来るし、又細隙10
が対物レンズ11に対して、独立に移動させることが可
能であることにより、被測定サンプルの位置に容易に対
応出来ることは明らかである。更に、コンピュータ等を
用いて自動化することによって一層短時間に測定を可能
とすることが容易である。第5図はコンピュータ13に
よって、自動測定を行う場合の系を示している。コンピ
ュータで制御するのは、分光装置2.光路シャッタ4、
光量調節器5.細a10の移動とそれに連動した財物レ
ンズ11であり、又測定サンプル9及び、光量検出器8
の出力をψコンバータ14によって夫々の値をコンビエ
ータ13に取込む。分光装置としてモノクロメータを用
いる場合は、例えばグレーティングの角度をモータで変
える、又干渉フィルタの場合には、いくつもの干渉フィ
ルタを円板に組み込んでおいて、七−一で円板を回転さ
せて波長を選択する。光量調節器5は、測定サンプル9
、光量検出6Sからの出力をみて光量が大きい時は絞る
ようにし、又過少の場合は光量を増すように調節する。
又コンピュータにあらかじめ、光量検出6Sの出力から
演算して測定サンプル9の真の光量を算するための係数
を記憶させておけば、直ちに演算してその結果を、図示
していないが、XYプロッタ上に図示又はプリンタに数
値を打出すことは容易である。ここで〜乍変換は、コン
ピュータ13からの指令で入力を切換えて測定サンプル
の出力、光量検出器の出力をコンに’ z −夕にとり
込むようになっているが2つのい変換器を用いてもよい
。
演算して測定サンプル9の真の光量を算するための係数
を記憶させておけば、直ちに演算してその結果を、図示
していないが、XYプロッタ上に図示又はプリンタに数
値を打出すことは容易である。ここで〜乍変換は、コン
ピュータ13からの指令で入力を切換えて測定サンプル
の出力、光量検出器の出力をコンに’ z −夕にとり
込むようになっているが2つのい変換器を用いてもよい
。
又、光量調節は紋りあるいはNDフィルタのついた円板
をモータで駆動して行うが、特にコンピュータを用いる
場合などは、光源に供給する電源の電圧を調節するのが
便利である。第6図は、この関係を示す図であり、この
時は光量調節器4は省略し、電源電圧調整器15を光量
調節器として用いる。特に近頃はコンピュータによる制
御を目的としたGP−LBババスもった電源等が存在す
るので、これらを用いれば更にシステ^の構成がより容
易となる。
をモータで駆動して行うが、特にコンピュータを用いる
場合などは、光源に供給する電源の電圧を調節するのが
便利である。第6図は、この関係を示す図であり、この
時は光量調節器4は省略し、電源電圧調整器15を光量
調節器として用いる。特に近頃はコンピュータによる制
御を目的としたGP−LBババスもった電源等が存在す
るので、これらを用いれば更にシステ^の構成がより容
易となる。
以上のように、本発明の装置は波長の興なる光を発生す
る発生手段(−光源分光装置)9発生手段からの光を2
方向に分割する分割手段(ハーフtラー)及び分割され
た方の光の光量を検ハ 出する光量検出器とを有し、もう一方の光を光センナに
投影しているので光センナの出力と光量検出器の出力と
により種々の波長に対する光センサの感度の測定をして
いる。
る発生手段(−光源分光装置)9発生手段からの光を2
方向に分割する分割手段(ハーフtラー)及び分割され
た方の光の光量を検ハ 出する光量検出器とを有し、もう一方の光を光センナに
投影しているので光センナの出力と光量検出器の出力と
により種々の波長に対する光センサの感度の測定をして
いる。
以上の如き構成により、光量検出器と光七ンす両方の出
力な同時に検出できるので、短時間で分光感度測定が可
能となる。しかも同一の光発生手段からの光を同時に検
出しているので高精度の測定ができ、しかもハーフミラ
−等の分割手段を設けるだけでよいので構成が簡略化さ
れるものである。更に形状可変アパーチャを設ければい
ろいろな形状の光センサの分光感度が測定でき、又光源
以降をおおってしまうことにより、通常の室内での測定
を可能にする。そしてコンピュータを用いることによっ
て一層短時間に精度よく、測定が司能なことが明らかで
ある・
力な同時に検出できるので、短時間で分光感度測定が可
能となる。しかも同一の光発生手段からの光を同時に検
出しているので高精度の測定ができ、しかもハーフミラ
−等の分割手段を設けるだけでよいので構成が簡略化さ
れるものである。更に形状可変アパーチャを設ければい
ろいろな形状の光センサの分光感度が測定でき、又光源
以降をおおってしまうことにより、通常の室内での測定
を可能にする。そしてコンピュータを用いることによっ
て一層短時間に精度よく、測定が司能なことが明らかで
ある・
第1図は本実施例の分光感度測定装置の構成図、第2図
は第1図に示す基本光学系部分図、第3図は本発明の別
の分光感度測定装置の構成図、第4図は第3図に示す基
本光学系部分図、第5図はコンピュータを用いた装置の
自動化測定系の構成図、第6図は光源の電鯨電圧をコン
ビエータで調節する場合の構成図である。 図において 1は光源、2は分光装置、3は形状可変アパーチャ、4
は光路シャッタ、5は光量調節器、鳴ハ投影レンズ、フ
はハーフミラ−18は光量検出器、9は被測定サンプル
、10は細隙、11は対物レンズ、12は接眼レンズを
夫々示すO 出願人 キャノン株式会社 代理人弁理士丸 島 儀 −F′3 −4よ(
は第1図に示す基本光学系部分図、第3図は本発明の別
の分光感度測定装置の構成図、第4図は第3図に示す基
本光学系部分図、第5図はコンピュータを用いた装置の
自動化測定系の構成図、第6図は光源の電鯨電圧をコン
ビエータで調節する場合の構成図である。 図において 1は光源、2は分光装置、3は形状可変アパーチャ、4
は光路シャッタ、5は光量調節器、鳴ハ投影レンズ、フ
はハーフミラ−18は光量検出器、9は被測定サンプル
、10は細隙、11は対物レンズ、12は接眼レンズを
夫々示すO 出願人 キャノン株式会社 代理人弁理士丸 島 儀 −F′3 −4よ(
Claims (1)
- 分光感度が測定される光センサ、波長の興なる光を発生
する発生手段、前記波長の興なる光を2方向に分割する
分割手段、前記分割手段より分割された一方向の光の光
量を検出する光量検出器を有し、前記分割手段により分
割されたもう一方の光を前記光センサに投影し、前記光
センサの出力と前記光量検出器の出力とにより光センナ
の分光感度を測定する光センサ分光感度測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13815481A JPS5839915A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 光センサ分光感度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13815481A JPS5839915A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 光センサ分光感度測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5839915A true JPS5839915A (ja) | 1983-03-08 |
JPH0549930B2 JPH0549930B2 (ja) | 1993-07-27 |
Family
ID=15215277
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13815481A Granted JPS5839915A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 光センサ分光感度測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5839915A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62260866A (ja) * | 1986-05-07 | 1987-11-13 | Shinto Paint Co Ltd | 耐候性鋼の錆安定化表面処理法 |
US7037388B2 (en) | 1998-09-30 | 2006-05-02 | Kobe Steel, Ltd. | Steel plate for paint use and manufacturing method thereof |
JP2011196750A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 分光感度特性測定装置、および分光感度特性測定方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4890578A (ja) * | 1972-03-03 | 1973-11-26 | ||
JPS5581320A (en) * | 1978-12-16 | 1980-06-19 | Toshiba Corp | Optical information reader |
-
1981
- 1981-09-02 JP JP13815481A patent/JPS5839915A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS4890578A (ja) * | 1972-03-03 | 1973-11-26 | ||
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JP2011196750A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 分光感度特性測定装置、および分光感度特性測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0549930B2 (ja) | 1993-07-27 |
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