JPS5839039U - 半導体素子の蒸着治具 - Google Patents
半導体素子の蒸着治具Info
- Publication number
- JPS5839039U JPS5839039U JP13441381U JP13441381U JPS5839039U JP S5839039 U JPS5839039 U JP S5839039U JP 13441381 U JP13441381 U JP 13441381U JP 13441381 U JP13441381 U JP 13441381U JP S5839039 U JPS5839039 U JP S5839039U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- jig
- vapor deposition
- semiconductor element
- semiconductor devices
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Thyristors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は半導体素子を示す斜視図、第2図は縦来例によ
る蒸着治具の分解斜視図、第3図は腕を浮き上げたマス
ク治具の斜視図、第4図a、 bはこの考案の一実施
例を示すもので、第4図aはマスク治具の展開斜視図、
第4図すは加工仕上後のマスク治具の斜視図である。 図中、5はサイリスタ素子、6′はマスク治具、6’
aは遊離マスク、6’ bは腕、6’ cは外周マスク
、6’ dはかさ、7は保持具である。なお、図中の同
一符号は同一または相当部分を示す。
る蒸着治具の分解斜視図、第3図は腕を浮き上げたマス
ク治具の斜視図、第4図a、 bはこの考案の一実施
例を示すもので、第4図aはマスク治具の展開斜視図、
第4図すは加工仕上後のマスク治具の斜視図である。 図中、5はサイリスタ素子、6′はマスク治具、6’
aは遊離マスク、6’ bは腕、6’ cは外周マスク
、6’ dはかさ、7は保持具である。なお、図中の同
一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体素子の少なくとも一主面に蒸着等により金属膜を
形成させるために外周マスクと、その内部の遊離マスク
と複数本の腕で架橋してなるマスク治具と、開口部を有
し前記マスク治具と前記半導体素子とを接触させて挿着
保持する保持具とからなる蒸着治具において、前記マス
ク治具は遊離マスクと複数に分割された外周マスクと、
前記遊離マスクと外周マスクの各分割部分とを接合する
腕とからなり、かつ、前記各腕に前記半導体素子に接触
しないための逃げ部を設けたことを特徴とする半導体素
子の蒸着治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13441381U JPS5839039U (ja) | 1981-09-09 | 1981-09-09 | 半導体素子の蒸着治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13441381U JPS5839039U (ja) | 1981-09-09 | 1981-09-09 | 半導体素子の蒸着治具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5839039U true JPS5839039U (ja) | 1983-03-14 |
Family
ID=29927842
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13441381U Pending JPS5839039U (ja) | 1981-09-09 | 1981-09-09 | 半導体素子の蒸着治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5839039U (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6048693U (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-05 | 山本 昌夫 | 遠赤外線面発熱体 |
JPS60160493U (ja) * | 1984-04-02 | 1985-10-25 | 山本 昌夫 | 遠赤外線幅射器具 |
JPS6134879A (ja) * | 1984-07-27 | 1986-02-19 | 越野 登 | 輻射式温熱装置 |
JPS622485A (ja) * | 1985-06-27 | 1987-01-08 | 松下電器産業株式会社 | 面状ヒ−タ |
JPH0218294U (ja) * | 1988-07-22 | 1990-02-06 |
-
1981
- 1981-09-09 JP JP13441381U patent/JPS5839039U/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6048693U (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-05 | 山本 昌夫 | 遠赤外線面発熱体 |
JPS60160493U (ja) * | 1984-04-02 | 1985-10-25 | 山本 昌夫 | 遠赤外線幅射器具 |
JPS6134879A (ja) * | 1984-07-27 | 1986-02-19 | 越野 登 | 輻射式温熱装置 |
JPS622485A (ja) * | 1985-06-27 | 1987-01-08 | 松下電器産業株式会社 | 面状ヒ−タ |
JPH0218294U (ja) * | 1988-07-22 | 1990-02-06 |
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