JPS583586B2 - 走査形電子顕微鏡 - Google Patents
走査形電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS583586B2 JPS583586B2 JP52034495A JP3449577A JPS583586B2 JP S583586 B2 JPS583586 B2 JP S583586B2 JP 52034495 A JP52034495 A JP 52034495A JP 3449577 A JP3449577 A JP 3449577A JP S583586 B2 JPS583586 B2 JP S583586B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- support
- fine movement
- scanning electron
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【発明の詳細な説明】
走査形電子顕微鏡は試料表面の観察および分析を10万
倍以上の高倍率でかつ30〜70人の高分解能で行なう
ため、電子顕微鏡本体の安定性と試料自身の安定性が装
置の性能を決定する最犬の要因である。
倍以上の高倍率でかつ30〜70人の高分解能で行なう
ため、電子顕微鏡本体の安定性と試料自身の安定性が装
置の性能を決定する最犬の要因である。
近年エレクトロニクスの発達と材料および加工技術の進
歩により、装置本体の安定性の問題は解決されてきてい
る。
歩により、装置本体の安定性の問題は解決されてきてい
る。
一方試料の安定性の問題は、試料自身の観察中に生ずる
微小な変形と、試料を観察位置に移動する為の微動機構
の安定性の問題の2つに分離することが出来る。
微小な変形と、試料を観察位置に移動する為の微動機構
の安定性の問題の2つに分離することが出来る。
特に後者は、出来るだけ大きな試料を破壊せずそのまま
観察したいという要求から、微動機構が大形化し、外部
からの振動に対して弱い構造になってきている。
観察したいという要求から、微動機構が大形化し、外部
からの振動に対して弱い構造になってきている。
試料を外部振動から守る手段として試料移動用移動台を
ロックすることが考えられる。
ロックすることが考えられる。
しかし、移動台が試料のX,Y,Z方向移動並びに傾斜
、回転を可能にするものである場合は、そのいずれも犠
性にしないようなロック機構を実現することクはむずか
しい。
、回転を可能にするものである場合は、そのいずれも犠
性にしないようなロック機構を実現することクはむずか
しい。
本発明の目的はそのような問題がなく、安定した試料の
移動と自動ロックを可能にするのに適した走査形電子顕
微鏡を提供することにある。
移動と自動ロックを可能にするのに適した走査形電子顕
微鏡を提供することにある。
第1図は従来の走査形電子顕微鏡の一部を示したもので
ある。
ある。
対物レンズ2で収束された電子線1は試料6を照射し、
試料6表面から発生する二次電子等を検出して観察する
。
試料6表面から発生する二次電子等を検出して観察する
。
試料6は移動台T上に搭載され、X,Y,Z方向の移動
および傾斜回転等が可能である。
および傾斜回転等が可能である。
この移動台7は支え8に全体が支えられ、試料微動ケー
ス10に固定されている。
ス10に固定されている。
試料微動ケース10には、前記移動台7に駆動を伝える
軸9と、操作ツマミ11,12等がついている。
軸9と、操作ツマミ11,12等がついている。
試料交換時には、前記微動ケース10全体を試料室4か
ら外部に取出すため、微動ケース10は、試料室壁5の
一部に開けた開口部13に取付けており、この開口部は
大きな試料(4インチ径)や移動台7が取出せるよう大
きな口径としてある。
ら外部に取出すため、微動ケース10は、試料室壁5の
一部に開けた開口部13に取付けており、この開口部は
大きな試料(4インチ径)や移動台7が取出せるよう大
きな口径としてある。
以上の構造において、試料6は片持ちの支え8上に支え
られているため、外部からの振動に対して弱く図示矢印
の如く、Y方向やZ方向に動かされ高倍率での高分解能
観察を不可能にしている。
られているため、外部からの振動に対して弱く図示矢印
の如く、Y方向やZ方向に動かされ高倍率での高分解能
観察を不可能にしている。
試料微動支えを片持ち構造とせざるを得ないのは、大き
な試料の交換を容易にするために微動ケース10にすべ
ての部品を取付けざるを得なかったことにある。
な試料の交換を容易にするために微動ケース10にすべ
ての部品を取付けざるを得なかったことにある。
第2図は本発明の1実施例である。
試料室の側壁の一部にロック機構14を設けたもので、
この機構は試料室4を真空に排気した時には図示矢印P
方向に動作して微動支え8の先端を押圧し、支え8の振
動を防止する構造となっている。
この機構は試料室4を真空に排気した時には図示矢印P
方向に動作して微動支え8の先端を押圧し、支え8の振
動を防止する構造となっている。
試料交換の為に試料室4を大気圧にすると、ロック機構
が矢印Pと反対方向に移動して押圧力はなくなり試料微
動ケース10は自由に外部に取出せる。
が矢印Pと反対方向に移動して押圧力はなくなり試料微
動ケース10は自由に外部に取出せる。
第3図、第4図はロック機構の詳細を示すものである。
第3図において、微動支え8の先端を押す為のロック軸
16の先端には半球状の押部材15を取付け、ロック軸
はベローズ17およびフランジ18で真空シールされ、
試料室壁5に0リング23を介して取付けられる。
16の先端には半球状の押部材15を取付け、ロック軸
はベローズ17およびフランジ18で真空シールされ、
試料室壁5に0リング23を介して取付けられる。
ロック軸16の大気圧側の一端にはネジ部21を設けて
ストッパー20をネジ込み、これをガイド19内に納め
たバネ22により外側に引出す力を与える構造としてい
る。
ストッパー20をネジ込み、これをガイド19内に納め
たバネ22により外側に引出す力を与える構造としてい
る。
この結果ロック軸16は真空による圧力
22の力を差引いた押圧力で微動支え8を押付けること
になる。
になる。
この為ストッパー20を回転してネジ込み位置を調整す
ることによりロック軸16によるロック圧力を調整する
ことが出来る。
ることによりロック軸16によるロック圧力を調整する
ことが出来る。
なお、前記ベローズ17の代りにダイヤフラムを用いて
も同等の効果が得られることは容易に理解されるであろ
う。
も同等の効果が得られることは容易に理解されるであろ
う。
第4図はベローズの代りに0リング29を用いてロック
軸24を真空シールする方法であり、ストッパー27,
バネ28の動作は第3図の場合と同一である。
軸24を真空シールする方法であり、ストッパー27,
バネ28の動作は第3図の場合と同一である。
この方法は第3図に比較して安価であること、ロック軸
24の嵌合部が長く軸の傾きが少ない等の利点を有する
。
24の嵌合部が長く軸の傾きが少ない等の利点を有する
。
第5図は試料室の上面図である。
微動支え8をロック機構14at14bt14cにより
3方向よりロックする構造としたものである。
3方向よりロックする構造としたものである。
これにより支え8はより強固にロックされる。
なお、ロック機構は14aおよび14bまたは14cの
2方向でも良く、また前記3方向の代りに図示Aおよび
A′方向の2方向よりロックしても同様の効果を得るこ
とが出来る。
2方向でも良く、また前記3方向の代りに図示Aおよび
A′方向の2方向よりロックしても同様の効果を得るこ
とが出来る。
また14a,14bを水平方向に対して傾けて取付ける
ことにより、支え8を上下方向に押付ける分力も同時に
働かすことが出来、このようにすれば全方向に対するロ
ック力はより一層強くなる。
ことにより、支え8を上下方向に押付ける分力も同時に
働かすことが出来、このようにすれば全方向に対するロ
ック力はより一層強くなる。
以上の如くロック機構は、微動支え8に対して上下、左
右、前后のあらゆる方向に取付けることが出来、またそ
の中間方向ではその分力によりロツクカを両方向に分け
て用いることが出来る。
右、前后のあらゆる方向に取付けることが出来、またそ
の中間方向ではその分力によりロツクカを両方向に分け
て用いることが出来る。
以上説明したロック機構を実際の装置に適用した結果で
は、微動支え8への押圧力Pはロック機構を1個設けた
第2図の状態で、7kg以上で効果が発生した。
は、微動支え8への押圧力Pはロック機構を1個設けた
第2図の状態で、7kg以上で効果が発生した。
又ロツク軸のストロークl(第3図、4図)は1mm以
下で実用上は問題がないことが確められた。
下で実用上は問題がないことが確められた。
尚圧力Pは、試料移動台7、支え8や微動ケース10の
構造により左右されるので、ある定められた試料微動装
置について決めるべき数字といえる。
構造により左右されるので、ある定められた試料微動装
置について決めるべき数字といえる。
本発明によれば、移動台を支える支えを試料室内外の圧
力差を利用してロックするようにしているため、移動台
が試料のx,y,z方向移動並びに傾斜、回転を可能に
するものである場合でもそのいずれも犠性にされること
はなく、かつ安走した試料移動と自動ロックを可能にす
るのに適した走査形電子顕微鏡が提供される。
力差を利用してロックするようにしているため、移動台
が試料のx,y,z方向移動並びに傾斜、回転を可能に
するものである場合でもそのいずれも犠性にされること
はなく、かつ安走した試料移動と自動ロックを可能にす
るのに適した走査形電子顕微鏡が提供される。
第1図は従来の走査形電子顕微鏡の対物レンズ、試料室
および試料微動装置の断面図、第2図は発明の1実施例
の断面図、第3図、第4図はロック機構の詳細断面図、
第5図は試料室の上面を示す一部断面図である。 1・・・・・・電子線、5・・・・・・試料室壁、6・
・・・・・試料、7・・・・・・移動台、8・・・・・
・支え、14・・・・・・ロック機構、16,24・・
・・・・ロック軸、17・・・・・・ベローズ、22,
28・・・・・・バネ。
および試料微動装置の断面図、第2図は発明の1実施例
の断面図、第3図、第4図はロック機構の詳細断面図、
第5図は試料室の上面を示す一部断面図である。 1・・・・・・電子線、5・・・・・・試料室壁、6・
・・・・・試料、7・・・・・・移動台、8・・・・・
・支え、14・・・・・・ロック機構、16,24・・
・・・・ロック軸、17・・・・・・ベローズ、22,
28・・・・・・バネ。
Claims (1)
- 1 真空にされた試料室内に配置された試料移動甲移動
台と、該移動台を支える支えと、該支えを前記試料室の
一部に取付ける手段と、前記支えを前記試料室内外の圧
力差を利用して、ロックする手段とを備えていることを
特徴とする走査形電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP52034495A JPS583586B2 (ja) | 1977-03-30 | 1977-03-30 | 走査形電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP52034495A JPS583586B2 (ja) | 1977-03-30 | 1977-03-30 | 走査形電子顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS53120258A JPS53120258A (en) | 1978-10-20 |
JPS583586B2 true JPS583586B2 (ja) | 1983-01-21 |
Family
ID=12415820
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP52034495A Expired JPS583586B2 (ja) | 1977-03-30 | 1977-03-30 | 走査形電子顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS583586B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0541184Y2 (ja) * | 1983-04-05 | 1993-10-19 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6181985A (ja) * | 1984-09-26 | 1986-04-25 | 日本鋼管株式会社 | 円筒タンクのアンカ−構造 |
JPH0538527Y2 (ja) * | 1984-12-28 | 1993-09-29 | ||
JP3667884B2 (ja) * | 1996-06-27 | 2005-07-06 | Jfeスチール株式会社 | 局所分析装置 |
JP2000021345A (ja) * | 1998-07-06 | 2000-01-21 | Hitachi Ltd | 走査型電子顕微鏡 |
WO2000016371A1 (fr) * | 1998-09-16 | 2000-03-23 | Hitachi, Ltd. | Equipement d'exploitation d'un faisceau |
JP2000258439A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Jeol Ltd | 走査形プローブ顕微鏡 |
WO2003104846A2 (en) * | 2002-06-05 | 2003-12-18 | Quantomix Ltd. | A sample enclosure for a scanning electron microscope and methods of use thereof |
JP3865752B2 (ja) * | 2005-03-18 | 2007-01-10 | Jfeスチール株式会社 | 局所分析装置 |
JP2007080668A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置の試料移動装置 |
JP6872429B2 (ja) * | 2017-06-07 | 2021-05-19 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
-
1977
- 1977-03-30 JP JP52034495A patent/JPS583586B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0541184Y2 (ja) * | 1983-04-05 | 1993-10-19 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS53120258A (en) | 1978-10-20 |
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