JPS5823591B2 - 移動体の位置検知装置 - Google Patents

移動体の位置検知装置

Info

Publication number
JPS5823591B2
JPS5823591B2 JP54032199A JP3219979A JPS5823591B2 JP S5823591 B2 JPS5823591 B2 JP S5823591B2 JP 54032199 A JP54032199 A JP 54032199A JP 3219979 A JP3219979 A JP 3219979A JP S5823591 B2 JPS5823591 B2 JP S5823591B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phase
wave
output
antennas
frequency
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP54032199A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS55125462A (en
Inventor
癸生川孝男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kokusai Electric Corp
Original Assignee
Kokusai Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kokusai Electric Corp filed Critical Kokusai Electric Corp
Priority to JP54032199A priority Critical patent/JPS5823591B2/ja
Publication of JPS55125462A publication Critical patent/JPS55125462A/ja
Publication of JPS5823591B2 publication Critical patent/JPS5823591B2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61RAILWAYS
    • B61LGUIDING RAILWAY TRAFFIC; ENSURING THE SAFETY OF RAILWAY TRAFFIC
    • B61L25/00Recording or indicating positions or identities of vehicles or trains or setting of track apparatus
    • B61L25/02Indicating or recording positions or identities of vehicles or trains
    • B61L25/026Relative localisation, e.g. using odometer
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61RAILWAYS
    • B61LGUIDING RAILWAY TRAFFIC; ENSURING THE SAFETY OF RAILWAY TRAFFIC
    • B61L25/00Recording or indicating positions or identities of vehicles or trains or setting of track apparatus
    • B61L25/02Indicating or recording positions or identities of vehicles or trains

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Train Traffic Observation, Control, And Security (AREA)
  • Near-Field Transmission Systems (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は一定走行路上を走行する移動体の走行路上の位
置を地上側にて検知する装置に関するもので、特に交差
形2線式誘導線を用いた誘導無線式移動***置検知装置
の改良に関する。
従来の誘導無線式の移動***置検知装置ではたとえば平
行2線式誘導線路を走行路に沿′つて布設すると共に、
この誘導線は適轟な間隔で交差を施しかつ誘導線の一方
の終端に振幅変動の検出回路を接続する。
他方移動体には特定周波数の発信機と誘導線と結合する
ループコイルアンテナを設け、その特定周波数の信号波
をループコイルから誘導線に伝送する。
このようにして移動体が走行するとき上記交差位置にお
けるループコイルアンテナからの信号波は位相相殺によ
ってゼロとなるからこれを地上側では振幅変動検出回路
で検出し、この検出回数を計数することによって走行路
上の移動***置を検知するものが提案されている、しか
しこのような装置では、交差位置における信号波の振幅
の変動を検出するので、雑音が混入すれば頻繁に誤った
検出を行い誤った計数結果となるという欠点があり、ま
た位置検知の単位を小さく細密化するには誘導線の交差
間隔を短かくすることが必要であるが、交差間隔を短か
くすれば誘導線とループコイル間の伝送損失が増大し、
かつこれにつれてループコイルの長さも短かくすれば伝
送損失が増大するので交差間隔の実用上の最小値は約1
mであった。
本発明は上記のような欠点を除くために行ったもので、
以下詳細に説明する。
本発明では走行路に沿って布設した誘導線に対して結合
するループコイルアンテナの誘導線路方向の長さおよび
誘導線の交差間隔を結合損失最小の最適値にとることを
前提として、移動体には割当てられた特定周波数の発振
器とその出力をn分周した波で発振出力またはその移相
出力をAMまたはFM変調した変調波を出力する送信機
と複数のループコイルアンテナを設け、地上側(以下地
上局という)では上記複数アンテナと結合した誘導線出
力から位相合成波信号を得て、これから1つは変調波成
分を抽出しn逓倍して特定周波数に等しい周波数でかつ
変調波に同期した基準位相信号波を発生させ、他の1つ
は位相合成波と上記基準位相波または基準位相波を一定
量移相させたものとの位相差を検出し、これによって移
動体の位置検知を行うもので、これらは本発明の実施例
についてさらに具体的に説明する。
第1図は本発明装置の移動体に塔載する部分の構成例図
、第2図は地上側設備の構成例図である。
第1図において1点鎖線内は特定周波数(roとする)
この発振器1を含む送信機(XTR)で、2は1/n(
nは2以上の整数)分周器、3は正弦波増幅器、4a、
4b、4cは振幅変調器(MOD)5.γ、9は出力増
幅器(PA)、6゜8は位相シフタ(PS)、10,1
1,12はループコイルアンテナ(LC)である。
さて発振器1の出力は分周器2、変調器4a、位相シフ
タ6および8に並列出力されるが、分周器2ではt/n
(nは2以上の整数)に分周されたf。
/n波が次段の増幅器3において必要なレベルの正弦波
として変調器4aに出力される。
変調器4aはこの例どは振幅変調(AM)を行うものと
したが、発振器1よりのfa大入力f。
/n波で振幅変調(変調率は30%程度)された後PA
5に出力される。
他方位相シフタ(PS)6.8の役目は複数のループコ
イルアンテナ10〜12に流れる電流間の位相を順にず
らせることで、いまループコイルアンテナの数をNとし
たとき位相シフタは入力f。
波をπ/Nラジアンずつ位相をシフトする。もしNが奇
数ならこの位相シフトは2π/Nラジアンずつでもよい
第1図の例で示すとアンテナが10と11の2つならP
S6の移相量はπ/2ラジアンとし、アンテナ力510
.11.12の3個ならPS6とPS8における位相量
はそれぞれπ/3と2π/3または2π/3と4π/3
とする。
このようにループコイルアンテナの数に応じて位相シフ
トされたf。
波を増幅器(AMP)3よよりのfo/n波でAMした
f。
変調波はPA5゜PA7.PA9を通じてループコイル
アンテナio、ii、12にそれぞれ供給される。
なおそれぞれのループコイルアンテナに供給される信号
電力中の搬送波f。
の位相は上記のように順に一定値ずつシフトされている
が、変調 波f。
/nはすべてのアンテナについて同相である。
またループコイルアンテナは走行方向に一列に配置し、
その間隔はMi(Mは1,2.3・・・・・・等の整数
)とし、またはNが奇数のときのみ2M’に選んでもよ
いとする。
次に第2図の地上局設備について説明する。
図中の13は走行路に沿って布設した交差形平行2線式
誘導線、14は終端抵抗器、15は結合器(たとえば結
合変成器)、16は耐酸濾波器と増幅器(BPF付AM
P)、11は振幅変調波検波器1(DET)、1BはB
PF、19は位相弁別器(PI))、20は低域濾波器
(LPF)、21は分周器(D I V )、22は(
電圧制御)可変発振器(VCC))、23.25は位相
弁別器(PD)、24.26はLPF、21は位相シフ
タ(PS);である。
また誘導線についてLSは位置検知区間、eは交差点間
隔で等長とする。
またel t e2は位置検出(レベル)出力を示す。
第2図において移動体のアンテナから誘導線13に誘起
された位相の異なる波の合成波は結合;器15BPF+
AMP16で帯域制限されて必要なレベルに増幅される
その一部は検波器11で包絡線検波され、他の一部は位
相弁別器PD23とPD25に入力する。
まず検波器11の包絡線検波出力のf。
/n波はf。/nを中心周波数とすするBPF18に送
り込まれてS/N比の改善が行われた後位相弁別器PD
I 9に入力する。
このPD19のもう1つの入力はVCO22の周波数f
o′の出力を1/nに分周する分周器21よりのf □
’ / n波であって、PD19の位相差弁別出力用I
PF20で雑音や位相ジッタを除去した後VCO22の
制御入力となる。
すなわち19゜20.2L22は公知のPLL(フェー
ズ・ロック ループ)回路を構成し、振幅変調波f。
/nのn倍に同期した[0”波をVCO22から位相弁
弁別PD23および位相シフタPS2γを通じてPD2
5に出力する。
なおりPFi8やPLL回路には固有の位相シフト量が
あるから、位相弁別器PD23およびPD25の入力側
には位相補償回路が挿入され理想の状態が得られるよう
調整し。
ておくことが必要である。
また位相シフタPS2γはπ/2の位相シフトを与える
もので、その理由は以下の動作説明で述べる。
さて移動体には第1図のような構成の送信機とループコ
イルアンテナを載置し、地上側には走行」路の必要区間
に第2図のような誘導線を敷設してループコイルアンテ
ナと結合させ、移動体よりの位相合成波信号を第2図の
16〜21のような検知回路によって受信し、位置検出
を行うものであるが、その動作を第3図に示した動作説
明図によって説明する。
第3図は誘導線13には交差間隔lの交差形平行2線を
用いて必要区間に敷設し、移動体に設けた2つのループ
コイルアンテナ10および11の間隔はl/2とした場
合の例で、誘導線に沿ってシeだけ移動すれば誘導電圧
はπラジアン変化することからアンテナ10と11に入
力するf。
波の位相差をπ/2とするように位相シックPS6にて
+π/2の位相を行うものとする。
そこで地上側では結合器15よりアンテナ10および1
1に。
よる誘導電圧の合成波が出力されるが、第3図に示した
2つのアンアナと誘導線の交差位置の関係ではアンテナ
10は図の第1交差部上(実際は対面位置)にあるから
、アンテナ10による誘導電圧(信号)は発生せずアン
テナ11からの信号の。
みば出力する。
このときの信号位相を十医フジアンすなわち+Σ相とす
れば、次に移動体が図の右方に移動しアンテナ10と1
1が同一の交差区間内に存在するときアンテナ11は+
i相で不変、アンテナ10はゼロ相であるから結合器1
5の出力の信号位相は+1相になり、さらにアンテナ1
1が交差部上に進むと結合器15の出力はO相に、さら
に移動してアンテナ10と11の間に図の中央の交差部
を狭む位置にあるときは−τ相に、さらにアンテナ10
が中央の交差部上に移動すれば−L相になる。
このように移動体従ってアンチす10と11が右方に順
に移動することによりさらに一旦π、π、十旦πの各相
を経てアンテナ4 10が24だけ移動した後に再びもとの+百に民る。
(これらはベクトルの合成によ−って容易に理解される
)また移動体が図の左方向に移動するときは、右方向と
は逆に土工から3x、π、 3π、−一。
、2 4 4 2 4.0 、+ aを経てもとの+百に戻る。
このときの信号の振幅包絡線は2つのアンテナ10と1
1のいずれかが交差上に存在したときの1信号レベルあ
るいは交差上以外の2信号位相合成レベルにf。
/n波が重畳したものになる。このように2eの距離を
1周期としかつ誘導線が交差形平行2線式であるため、
2つのアンテナのいずれかが交差位置の前後にて結合す
るとき、アンテナとの結合損失が急増すると共に交差部
を境にしてπ相偏移するから、上記第3図の例では移動
体が定速走行のときには一方のアンテナが交差部にある
ときに0.±7.πの各相を急速にシフトし、2つのア
ンテナが共に交差部以外にあるときは結合損失が一定に
なるため±1.十旦πの各相が続くこ−4 とになる。
・ 次にこの場合の位置検知器16〜21の動作を説明
する。
上記のように移動体のループコイルアンテナ10および
11からの位相合成波は第2図の誘導線で受信され結合
器15からBPFおよび信号増幅器16に入力する。
このBPFはf。を中・心にバンド幅±fo/nのもの
で、こ\で帯域制限きれた入力信号波は必要レベルまで
増幅してDET17、PD23.PD25に出力する。
まず振幅変調波検波器DET1γでは前記のようにf。
/n波を検波し、19〜22によるPLL回路にて)f
/n波に同期しかつf。に等しいf。波を発生して位相
弁別器PD23の入力の1つに基準位相波として送り込
む。
このPD23のもう1つの入力は上記の位相合成波で、
基準位相波との位相差に応じた出力がLPF24を経て
elとして出力する。
i第3図の例では入力信号が+7相のとき第3図e1の
レベル図に示すようにPD23の出力はLPF24を経
た出力e1を°“0“レベルとするものとすれば、移動
体が右方向に一定速度で移動するとき+ ’ + Ot
−一各相ではelは(−+)レベルを出力する4 フが、0相で最大レヘルーー相セロレベル、−7相以下
、π、+7相までは(−)レベルでπ相で(−)最大レ
ベルをそれぞれ出力する。
また±Σ相近傍ではelはゼロから急に変化するがe1
出力は交差部でゼロレベルとなる。
従ってこのe1出力をたとえば0レベルを変換点とする
方形波変換回路に導くと方形波が得られ、交差部毎に交
互にH,Lレベルに変化するので交差位置が検出できる
次に基準位相波f。
′を位相シフタPS27で土工相シフトして位相弁別器
PD25に入力し、PD25への増幅器16よりの入力
との位相差を求めたものをLPF26を通じてe2とし
て出力する。
e2はclとel2差すなわち7位相の異る出力で、e
lと同様にそのゼロレベルを変換点とする方形波変換回
路に導くと誘導線の2つの交差部の中央の位置を変換点
とする方形波が得られる。
従ってelle2による上記2つの方形波出力の組合わ
せから第3図のdに示すように誘導線に沿ったl/2毎
の区間すなわち(1)の区間では11、(2)の区間で
は10、(3)の区間では00、(4)の区間では01
のそれぞれのコード出力が得られ、誘導線長2eの区間
を4分割した位置検出が行われる。
なお信号増幅器16の位相合成波出力は振幅変調波であ
るからPD23およびPD25の出力にはf。
/n波が重畳されるが、LPF24および26で除去さ
れel l e2にはf。
/n波の影響はない。以上の説明のようにio、iiの
2つのアンテナを使用する例では、受信側位相合成波の
0.十−2πの各相でコード変換が得られるため、2交
差部当り4位置の検出が可能である。
次にループコイルアンテナの誘導線に沿った長さと誘導
線の交差間隔の結合損失最小のための最適値は、アンア
ナの長さLに対し交差間隔eは少くとも2L以上でかつ
Lの最小値は2本の誘導線間間隔に対して1.2〜13
倍とする。
また実用上移動体走行時の誘導線の中心線とアンテナ中
心線の相対的なずれを考慮すれば誘導線の線間隔を狭く
するには限度があり、交差間隔eを少さくするには使用
目的によって制限がある。
交差区間内をより多く分割するにはアンテナ数Nを増加
し、アンテナ数に見合う位相シフトを行って移動体側か
ら信号波を出力し、地上の位置検出側ではN個の位相弁
別器とLPFおよびN−1個の位相シックを増設すれば
、前記同様の動作によってその出力el l e2・・
・・・・e、から位置細分コードが得られることは容易
に理解されるであろう。
(たゾしこの最終の細分方法は複雑になるので第4図の
方法が一般には有利である。
)もし複数アンテナを同一交差区間4内に配置すること
か不可能ならアンテナ間隔はeの整数倍を加算した値で
もよく、たとえば第3図の11はアンテナ10と3e/
2の間隔で配置した第2番目のアンテナである。
たゾこのようにeの奇数倍の範囲にあるときは誘導線の
出力はπ相偏多されるので上記の位相回転とは逆の回転
になるが、2アンテナによって2交差尚り4位置の検出
が可能なことは上記と同じである。
次に第4図について説明する。
第3図の例はアンテナと誘導線の交差部の結合の前後で
急峻な位相シフトを発生させて交差位置検出の精度を向
よさせるいわゆるステップ状に位置を検知するものであ
ったが、第4図は直線的に位置検知を行うものである。
第4図のように誘導線13を菱形状に形成したものでは
、ループコイルアンテナと菱形2線式誘導線との結合損
失は誘導線の2線の間隔にはゾ反比例することが実験的
にも知られているが、このためアンテナを誘導線に沿っ
て移動させたときの結合損失は正弦波に近似した変化を
する。
いま移動体側のループコイルアンテナを第1図のように
10.11.12の3個とし、アンテナ間隔をそれぞれ
2e/3にとると共に、PS6およびPSBによって各
ループコイル間に与える信号の位相差を2π/3ラジア
ンずつにするためPS6およびPSBの移相量は+2π
/3および一2π/3とする。
この理由は第4図に示す10,11゜12のアンテナの
間隔と位置から決まることで、アンテナ10をO相とす
ればアンテナ11は+2π/3相、アンテナ12はアン
テナ11と逆相の交差区間にあるから一2π/3相のそ
れぞれの位相差をもつ振幅変調波を出力するようになっ
ている。
これに従って誘導線13に結合誘起される信号は位相合
成波となるが、第4図のアンテナ位置では+π相の合成
波となる。
そして移動体かたとえば右方向に移動するものとすれば
アンテナ10と誘導線13との関係を基準にしたとき、
アンテナ10が第4図の位置からl/3移動したときは
π +π相、さらに移動して21!、/3に達杏れば−百相
、同様に移動距離がl 、1−H6,1−ydではそれ
ぞれ−一相、−一π相、土足π相のように変化2
6 6 する。
アンテナ10,11.12の誘導線13との結合損失は
近似正弦波状に変化するかう、誘導線からの結合器15
を経て出力する位相合成波はその位相偏位は2eの距離
を一周期とする近似正弦波状に変化するが、fo/n波
で振増変調された振幅一定のものとなる。
(振幅が一定となる理由は互に位相が一異なる3つの正
弦波の合成値は常に一定となるからである。
)また移動体が逆に左方向に移動する場合には上記の位
相回転方向と逆の方向に偏位することも明らかである。
次に前に16〜21にて構成したと同様の位置検知器の
動作であるが、位相偏位の検出方法は第2図と全し同じ
でf。
/n波成分を抽出してf。′波を同期させ基準位相信号
を作成すること、位相弁。
別器PD23で入力の合成波と基準位相信号との位相差
を検出しLPF24を通じて第4図e1のようにレベル
が変化する出力e1を得ること、このelは距離21を
周期として近似正弦波状に位相が変ることCどより弁別
器出力も近似主弦波状に変化す。
ること、位相シフタ2Tではf。
′波を十因偏位ささて位相差弁別器PD25に基準位相
信号として入力させるから、入力合成波との位相差は第
4図β e2に示すようにelと−すなわち距離としてはΣ相違
するものが出力することはすべて同様である。
。LPF24およびLPF26はfo/n波成分を除去
するためのもので、第3図の場合と同じ<elと02両
出力をそのゼ゛ロレベルをスライスレベルトスる方形波
変換器に入力させると、2つの方形波出力が得られ24
区間内を4分割した4位置の検出。
が行われる。
また上記は百位相の異る2つの基準位相信号を用い合成
波入力から2つの位相弁別出力を発生させる例であった
が、−(mは1,2,3・・・・・・・・・の整数)だ
け位相をずらせたm個の基準位相信号を。
用いると2e区間内で2m分割した位置検出が可能で、
2eを1周期とする絶対番地を付与することができる。
なお第3図および第4図共に長さ2eの2交差区間内の
位置検出について説明したが、実際は長さ2eの区間が
連続して設けられ、その各区間における移動体の位置を
検知することが必要である。
交差部の位置検知方法は公知であって、たとえば移動体
の移動に伴う交差部の検出を別な装置で行ってその検出
回数を計数しておけば、その何番目の24区間における
移動体の位置が、4/2mの単位で検出できることにな
る。
またループコイルアンテナ10,11.12等は空心ル
ープコイルに限定さえるものではなく、磁性心バーアン
テナの組合わせなど前記ループアンテナの特性をもつも
のはすべて使用できる。
以上詳細に説明したように本発明では周期的に交差を施
した平行2線または菱形2線の誘導線を用い、その交差
間隔内を分割した移動体の位置検出を可能としたもので
、走行路に沿って敷設する誘導線が簡単でその敷設費お
よび保持費が従来の多数誘導線を用いるものに比べて著
しく低下する。
しかも位置検出の方法は連続信号による位相差検出方法
を用いているため、雑音に強く精度の高い検出が得られ
ると共に、送信機や位置検知器の各回路は最近の集積回
路の発展によって廉価に入手できるので総合的に経済的
な装置となるという利点があり、この用途も移動体の自
動走行制御において移動体の位置検知、速度検知、停止
位置(情報)検知などが高精度にて行われるなど実用上
の効果は著しい。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明装置の移動体に塔載する設備の構成例図
、第2図は地上側設備の構成例図、第3図は第1図と第
2図の設備を用いた場合の動作説明図、第4図は菱形2
線式誘導線を用いた場合の動作説明図である。 ; 1,22・・・・・・発振器、2,21・・・・・
・分周器、3・・・・・・増幅器、4a、4bt4c・
・・・・・変調器、5゜1.9・・・・・・増幅器、6
,8,2γ・・・・・・位相シフタ、10.11,12
・・・・・・ループコイルアンテナ、13・・・・・・
誘導線、16・・・・・・BPFと増幅器、1γ・・・
・・・・検波器、18・・・・・・BPF、19,23
.25・・・・・・位相差弁別器(PD)、20 、2
4 、26・・・・・・LPF0

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 一定走行路上を移動する移動体の位置を地上固定側
    で検出する装置として、走行路に沿って展張し走行路を
    一定の長さく1)毎に分割した各区間の境界点毎に交差
    を施し、かつ一端を抵抗終端した交差形2線式誘導線と
    、移動体に載置され上記誘導線の展張力向に誘導線の交
    差間隔e、アンテナの数Nに対してM−’(Mは1,2
    .3・・・・・・の整数)N 21 またはNが奇数のときのみM、の間隔にて一列に配置し
    上記誘導線に結合させた複数M個のループコイルアンテ
    ナと、特定周波数foの発振器、この発振器出力を■/
    n(nは2以上の整数)に分周する分周器、発振器出力
    をそのまSおよび位相をπ/Nラジアンまたは2rラジ
    アンずつずらせたものを上記分周器出力にてそれぞれ振
    幅変調またけ周波数変調しかつ増幅してこれを上記N個
    のループアンテナのそれぞれに配列順に与える位相シフ
    タ、変調器、増幅器の複数個よりなる送信器とを備えた
    移動体側設備と、上記各ループコイルアンテナより誘導
    線に誘導された信号の合成波を復調して得たf。 /n波によって周波数f。に同期させられる周波数f。 +1(fo”= fo )の発振回路と、上記発振器よ
    りのf。 7波およびこれを一定位相π/m(mは1以上の整数)
    ずつすらせれ1つ以上のfo゛のそれぞれを基準位相信
    号波とする一人力とし、上記信号の合成波を他入力とす
    る複数の位相差弁別器とを備えた上記誘導線の他端に接
    続した地上側位置検知器とを備えて、上記位置検知器の
    位相差弁別器より上記誘導線の2交差区間内の位置に対
    応したレベルの出力を得ることを特徴とする移動体の位
    置検知装置。
JP54032199A 1979-03-22 1979-03-22 移動体の位置検知装置 Expired JPS5823591B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP54032199A JPS5823591B2 (ja) 1979-03-22 1979-03-22 移動体の位置検知装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP54032199A JPS5823591B2 (ja) 1979-03-22 1979-03-22 移動体の位置検知装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS55125462A JPS55125462A (en) 1980-09-27
JPS5823591B2 true JPS5823591B2 (ja) 1983-05-16

Family

ID=12352227

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP54032199A Expired JPS5823591B2 (ja) 1979-03-22 1979-03-22 移動体の位置検知装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5823591B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11626324B2 (en) 2018-01-16 2023-04-11 Disco Corporation Method of processing a wafer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11626324B2 (en) 2018-01-16 2023-04-11 Disco Corporation Method of processing a wafer

Also Published As

Publication number Publication date
JPS55125462A (en) 1980-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6011508A (en) Accurate position-sensing and communications for guideway operated vehicles
JPS5823591B2 (ja) 移動体の位置検知装置
US3877666A (en) Method for the continuous detection of vehicle position
JPS5844244B2 (ja) 移動体自己位置検知装置
US3245079A (en) A. d. f. receiver
JPS6057010B2 (ja) 移動体の位置検知装置
JPS5853312B2 (ja) 移動体の自己位置検知装置
CN106940394B (zh) 一种实现光学电流互感器高速测量的方法
JPS593765B2 (ja) 移動体の位置検知装置
JPS5831548B2 (ja) 移動体の位置検知装置
US2322442A (en) Method and apparatus for producing radio beacons
JPS6031616A (ja) 移動***置検知方式
SU387874A1 (ru) Способ передачи информации на подвижные
GB1079408A (en) Radio navigation system
JPS6126604B2 (ja)
GB1485827A (en) Communication system for guideway operated vehicles
JPS593707B2 (ja) 移動体の位置検知装置
JPH0641971B2 (ja) 移動***置検知方式
US2534106A (en) Servo mechanism
SU352811A1 (ja)
JPS6017371A (ja) 移動***置検知方式
JPS5831547B2 (ja) 移動体の位置検知装置
JPS6031618A (ja) 移動***置検知方式
JPS6031619A (ja) 移動***置検知方式
JPH0811721A (ja) 移動体の位置検知装置