JPS5822242U - 研磨装置 - Google Patents

研磨装置

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JPS5822242U
JPS5822242U JP11724881U JP11724881U JPS5822242U JP S5822242 U JPS5822242 U JP S5822242U JP 11724881 U JP11724881 U JP 11724881U JP 11724881 U JP11724881 U JP 11724881U JP S5822242 U JPS5822242 U JP S5822242U
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JP
Japan
Prior art keywords
polishing
partial
puff
puffs
partial polishing
Prior art date
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Pending
Application number
JP11724881U
Other languages
English (en)
Inventor
野川　博之
Original Assignee
日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
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Priority to JP11724881U priority Critical patent/JPS5822242U/ja
Publication of JPS5822242U publication Critical patent/JPS5822242U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図Ａ、　Ｂは、従来の研磨装置の側断面図および平
断面図。第２図、第３図、第４図Ａ、　Ｂは、それぞれ
本考案の実施例の側断面図、平面図およびパフ部の斜視
図。第５図ａ、　　ｂ、　　ｃ、　ｄ、　　ｅは、本考
案の第２の実施例の研磨動作を示す側面図。 １・・・・・・研磨ロール、２・・・・・・板、３・・
・・・・バックアップローラ、４・・・・・・送りロー
ラ、５．５’・・・・・・部分研磨パフ、６．　６’・
・・・・・部分研磨パフシャフト、７．７′・・・・・
・部分バックアップローラ、８・・・・・・部分送りロ
ーラ、９・・・・・・ガイド板、１θ・・・・・・検出
器。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）輪切り状の部分研磨パフを一定ピッチで配列させ
    た部分研磨パフシャフトと、部分研磨パフの幅以上の幅
    を有し、細部分研磨パフと対向した位置に配列した輪切
    り状の部分バックアップローラと、部分研磨パフ及び部
    分バックアップローラの部分のみ開口して、上下対向配
    置させたガイド板とを有することを特徴とする研磨装置
    。
  2. （２）前記部分研磨パフシャフトが上下動することを特
    徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の研磨装置
    。
JP11724881U 1981-08-06 1981-08-06 研磨装置 Pending JPS5822242U (ja)

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JP11724881U JPS5822242U (ja) 1981-08-06 1981-08-06 研磨装置

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JP11724881U JPS5822242U (ja) 1981-08-06 1981-08-06 研磨装置

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Publication Number Publication Date
JPS5822242U true JPS5822242U (ja) 1983-02-10

Family

ID=29911436

Family Applications (1)

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JP (1) JPS5822242U (ja)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4217113Y1 (ja) * 1967-02-25 1967-10-02
JPS518927A (ja) * 1974-07-11 1976-01-24 Sanyo Electric Co Maikurofuirumushobunsochi
JPS5214552U (ja) * 1975-07-18 1977-02-01
JPS5530913U (ja) * 1978-08-18 1980-02-28
JPS5530910U (ja) * 1978-08-18 1980-02-28
JPS5613318U (ja) * 1979-07-11 1981-02-04

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