JPS5822242U - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
- Publication number
- JPS5822242U JPS5822242U JP11724881U JP11724881U JPS5822242U JP S5822242 U JPS5822242 U JP S5822242U JP 11724881 U JP11724881 U JP 11724881U JP 11724881 U JP11724881 U JP 11724881U JP S5822242 U JPS5822242 U JP S5822242U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- partial
- puff
- puffs
- partial polishing
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図A、 Bは、従来の研磨装置の側断面図および平
断面図。第2図、第3図、第4図A、 Bは、それぞれ
本考案の実施例の側断面図、平面図およびパフ部の斜視
図。第5図a、 b、 c、 d、 eは、本考
案の第2の実施例の研磨動作を示す側面図。 1・・・・・・研磨ロール、2・・・・・・板、3・・
・・・・バックアップローラ、4・・・・・・送りロー
ラ、5.5’・・・・・・部分研磨パフ、6. 6’・
・・・・・部分研磨パフシャフト、7.7′・・・・・
・部分バックアップローラ、8・・・・・・部分送りロ
ーラ、9・・・・・・ガイド板、1θ・・・・・・検出
器。
断面図。第2図、第3図、第4図A、 Bは、それぞれ
本考案の実施例の側断面図、平面図およびパフ部の斜視
図。第5図a、 b、 c、 d、 eは、本考
案の第2の実施例の研磨動作を示す側面図。 1・・・・・・研磨ロール、2・・・・・・板、3・・
・・・・バックアップローラ、4・・・・・・送りロー
ラ、5.5’・・・・・・部分研磨パフ、6. 6’・
・・・・・部分研磨パフシャフト、7.7′・・・・・
・部分バックアップローラ、8・・・・・・部分送りロ
ーラ、9・・・・・・ガイド板、1θ・・・・・・検出
器。
Claims (2)
- (1)輪切り状の部分研磨パフを一定ピッチで配列させ
た部分研磨パフシャフトと、部分研磨パフの幅以上の幅
を有し、細部分研磨パフと対向した位置に配列した輪切
り状の部分バックアップローラと、部分研磨パフ及び部
分バックアップローラの部分のみ開口して、上下対向配
置させたガイド板とを有することを特徴とする研磨装置
。 - (2)前記部分研磨パフシャフトが上下動することを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第1項記載の研磨装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11724881U JPS5822242U (ja) | 1981-08-06 | 1981-08-06 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11724881U JPS5822242U (ja) | 1981-08-06 | 1981-08-06 | 研磨装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5822242U true JPS5822242U (ja) | 1983-02-10 |
Family
ID=29911436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11724881U Pending JPS5822242U (ja) | 1981-08-06 | 1981-08-06 | 研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5822242U (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4217113Y1 (ja) * | 1967-02-25 | 1967-10-02 | ||
JPS518927A (ja) * | 1974-07-11 | 1976-01-24 | Sanyo Electric Co | Maikurofuirumushobunsochi |
JPS5214552U (ja) * | 1975-07-18 | 1977-02-01 | ||
JPS5530913U (ja) * | 1978-08-18 | 1980-02-28 | ||
JPS5530910U (ja) * | 1978-08-18 | 1980-02-28 | ||
JPS5613318U (ja) * | 1979-07-11 | 1981-02-04 |
-
1981
- 1981-08-06 JP JP11724881U patent/JPS5822242U/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4217113Y1 (ja) * | 1967-02-25 | 1967-10-02 | ||
JPS518927A (ja) * | 1974-07-11 | 1976-01-24 | Sanyo Electric Co | Maikurofuirumushobunsochi |
JPS5214552U (ja) * | 1975-07-18 | 1977-02-01 | ||
JPS5530913U (ja) * | 1978-08-18 | 1980-02-28 | ||
JPS5530910U (ja) * | 1978-08-18 | 1980-02-28 | ||
JPS5613318U (ja) * | 1979-07-11 | 1981-02-04 |
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