JPS582130B2 - Conveyance device - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は被搬送物を円滑かつ無駄な間隔なく搬送する
ような搬送装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a conveyance device that conveys objects smoothly and without unnecessary intervals.

従来、搬送路の一部に傾斜を設けて、この部分を被搬送
物の慣性で移動させるような搬送装置は知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, a conveyance device is known in which a portion of a conveyance path is sloped and this portion is moved by the inertia of the object to be conveyed.

しかしながら、被搬送物が連続して搬送されているよう
な場合、傾斜した搬送路を移動して被搬送物が先行して
待機位置に停止している被搬送物に激しく衝突すること
がある。However, when objects are being conveyed continuously, they may move along an inclined conveyance path and violently collide with objects that have preceded them and are stopped at a standby position.

待機位置にある被搬送物が正確に位置保持する必要があ
るような場合、このように後続の被搬送物が当ると位置
ずれを起こしてしまうという問題があった。In a case where an object to be transported at a standby position needs to be held in position accurately, there is a problem in that if the object is hit by a subsequent object to be transported, the position will shift.

また、このような衝突を避けるために、後続の被搬送物
の停止位置よりかなり先方に待機位置を設けるようにす
ると、被搬送物の相互間の間隔があいてしまい無駄なス
ペースができてしまうという欠点があった。Furthermore, in order to avoid such collisions, if the waiting position is provided far ahead of the stopping position of the following conveyed objects, the distance between the conveyed objects increases, creating wasted space. There was a drawback.

この発明はこのような従来の欠点を解消するためになさ
れたもので、その目的とするところは、衝突することも
なく、かつ無駄な間隔もなく被搬送物を正確に搬送でき
るような搬送装置を提供することにある。This invention was made in order to eliminate these conventional drawbacks, and its purpose is to provide a conveying device that can accurately convey objects without collisions and without unnecessary intervals. Our goal is to provide the following.

このような目的を達成するために、この発明は傾斜した
搬送路を移動してきた被搬送物を一旦停止させ、先行被
搬送物が所定位置から先方へ搬送されたことを検出して
、その所定位置まで送り機構で送って追いつくように構
成したものである。In order to achieve such an object, the present invention temporarily stops the conveyed object moving on the inclined conveyance path, detects that the preceding conveyed object has been conveyed from a predetermined position, and It is configured so that it is fed to the position by a feeding mechanism and then caught up.

以下、この発明を実施例にもとすいて詳細に説明する。Hereinafter, this invention will be explained in detail using examples.

第１図はこの発明に係る搬送装置を電子部品特性測定装
置に適用した一実施例の正面図である。FIG. 1 is a front view of an embodiment in which a conveying device according to the present invention is applied to an electronic component characteristic measuring device.

図において、１０は半導体素子の特性を測定した後、測
定結果によって良品、不良品、再検査品などに分類する
測定装置である。In the figure, reference numeral 10 denotes a measuring device that measures the characteristics of semiconductor elements and then classifies them into non-defective products, defective products, re-inspected products, etc. based on the measurement results.

この測定装置１０において、１１は製造した半導体素子
１（以下デバイスと称す）の各電気特性を測定するため
の測定部、１２はデバイス１をカセット（第１図には図
示せず、第２図参照）のマガジンから受け入れるべく装
置の上端に設けられた供給口、１３は供給口１２と測定
部１１とを連結するとともにデバイス１をスタックして
おく通路、１４は測定したデバイス１を測定結果によっ
て良品、不良品右よび再検査品の３種に仕分けする分類
部、１５ａは良品のデバイスを空のカセットに落下させ
るべく下端に設けられた供出口、１５ｂは同じく不良品
の供給口、１５ｃは再検査品の供出口である。In this measuring apparatus 10, reference numeral 11 is a measuring section for measuring each electrical characteristic of a manufactured semiconductor element 1 (hereinafter referred to as a device), and 12 is a measuring section for measuring each electrical characteristic of a manufactured semiconductor element 1 (hereinafter referred to as a device). A supply port is provided at the upper end of the device to receive the device from the magazine (see); 13 is a passageway that connects the supply port 12 and the measuring section 11 and also stacks the devices 1; A classification section that sorts devices into three types: non-defective devices, defective devices, and re-inspected devices; 15a is a supply port provided at the lower end to drop non-defective devices into empty cassettes; 15b is a supply port for defective devices; 15c is a This is the outlet for re-inspected products.

また、供給口１２には、デバイス１の有無を検出するデ
バイスセンサＡが設けられている。Further, the supply port 12 is provided with a device sensor A that detects the presence or absence of the device 1 .

次に、２０ａはカセットを右から左へ搬送するためフレ
ーム２に取付けられた上部搬送部で、測定装置１０の供
給口１２の上方に左右水平方向に長くのびて配置されて
いる。Next, reference numeral 20a denotes an upper conveyance section attached to the frame 2 for conveying the cassette from right to left, and is disposed above the supply port 12 of the measuring device 10 so as to extend horizontally from side to side.

この上部搬送部２０ａにおいて、２１ａは下側のカセッ
トラック、２２ａはカセットを支持するためにカセット
ラツク２１に水平方向に複数個配列され回転自在に設け
られたベアリング、２３ａはカセットを一定のピッチ毎
に左方に駆動するために設けられた送り機構としての複
数個の送り爪、２４ａは各送り爪２３ａを一体に連結す
る送りシャフト、２７ａは上側のカセットラック、２８
ａはマガジンカセットを支持するためにカセットラツク
２７ａに水平方向に複数個配列され回転自在に設けられ
たベアリングである。In this upper transport section 20a, 21a is a lower cassette rack, 22a is a plurality of bearings arranged horizontally and rotatably provided on the cassette rack 21 to support cassettes, and 23a is a cassette rack for supporting cassettes at a constant pitch. 24a is a feed shaft that connects each feed pawl 23a together; 27a is an upper cassette rack; 28
A is a plurality of bearings arranged horizontally and rotatably provided on the cassette rack 27a to support the magazine cassette.

なお、ベアリング２２ａおよび２８ａの左端部のいくつ
かのものは、カセットが上部搬送部２０ａの左端部の出
口において自重で左方に移動するようにやや左下り傾斜
に配列されている。Note that some of the left end portions of the bearings 22a and 28a are arranged with a slight downward slope to the left so that the cassette moves to the left under its own weight at the exit of the left end portion of the upper conveyance section 20a.

そして、カセットラツク２１ａの左端部近傍には、カセ
ットが北部搬送部２０ａの出口近くにあることを検出す
るカセット送り判断用のセンサＢが設けられ、また、カ
セットラツク２７ａの供給口１２の位置より所定距離右
方には、カセットがもうすぐなくなるという状態を検出
するｔｍ用のセンサＣが設けられている。A sensor B for determining cassette feed is provided near the left end of the cassette rack 21a to detect that the cassette is near the exit of the northern transport section 20a. A sensor C for tm is provided at a predetermined distance to the right to detect a state in which the cassette is about to run out.

一方、２０ｂはカセットを逆に左から右に搬送するため
フレーム２に取付けられた下部搬送部で、測定装置１０
の供出口１５ａの下方に左右水平方向に長くのびて配置
されている。On the other hand, 20b is a lower conveyance section attached to the frame 2 for conveying the cassette reversely from left to right.
It is arranged to extend in the left and right horizontal direction below the supply port 15a.

この下部搬送部２０ｂは上部搬送部２０ａと同様な構造
になっており、上側のカセットラック２ｌｂにはベアリ
ング２２ｂ１カセットを右方に駆動するための送り爪２
３ｂおよび送りシャフト２４ｂが設けられ、下側のカセ
ットラツク２７ｂにはベアリング２８ｂが設けられてい
る。This lower transport section 20b has a similar structure to the upper transport section 20a, and the upper cassette rack 2lb has a bearing 22b1 and a feed pawl 2 for driving the cassette to the right.
3b and a feed shaft 24b are provided, and the lower cassette rack 27b is provided with a bearing 28b.

上部搬送部２０ａと異なる点は、カセットラック２ｌｂ
の供出口１５ａの位置と左端部入口の間の所定位置に、
送り爪２３ｂとは別個の動作をする単独送り用の送り爪
２５が設けられていることである。The difference from the upper transport section 20a is that the cassette rack 2lb
At a predetermined position between the position of the supply port 15a and the left end entrance,
A feed pawl 25 for independent feeding that operates separately from the feed pawl 23b is provided.

また、ベアリング２２ｂおよび２８ｂの左端部のいくつ
かのものは、カセットが下部搬送部２０ｂの左端部の入
口において自重で右方に移動するようにやや右下り傾斜
に配列されている。Further, some of the left end portions of the bearings 22b and 28b are arranged with a slight downward slope to the right so that the cassette moves to the right under its own weight at the left end entrance of the lower conveyance section 20b.

ここで、上部搬送部２０ａにおいては送り爪２３ａを有
するカセットラツク２１ａが下側に配置され、下部搬送
部２０ｂにおいてはカセットラック２ｌｂが逆に上側に
配置されているが、これは駆動機構を持っている方のカ
セットラックを、制御パネル３を有する制御回路装置を
取付けたフレーム本体に近い位置に配置した方が構造上
便利になるためである。Here, in the upper transport section 20a, the cassette rack 21a having the feed claw 23a is disposed on the lower side, and in the lower transport section 20b, the cassette rack 2lb is arranged on the upper side, but this has a drive mechanism. This is because it is structurally more convenient to arrange the cassette rack that is located near the frame body to which the control circuit device having the control panel 3 is attached.

さらに、カセットラツク２７ｂの入口から所定距離右方
の位置にはカセットが下部搬送部２０ｂの入口から入っ
てきていることを検出するセンサＤ１同じく供出口１５
ａの位置の左方近傍でセンサＤよりカセット送りの例え
ば１１ピンチ分右方に離れた位置には後続のカセットを
単独送りさせるタイミングを検出する単独送り開始用の
センサＥ１同じく出口となる右端部近傍の位置にはカセ
ットがオーバフローする危険を検出する警報用のセンサ
Ｆがそれぞれ設けられている。Furthermore, at a position a predetermined distance to the right from the entrance of the cassette rack 27b, there is a sensor D1 that detects that a cassette is entering from the entrance of the lower conveyance section 20b.
Near the left side of the position a, a sensor E1 for starting individual feed, which detects the timing to feed the subsequent cassette independently, is located at a position away from the sensor D to the right by, for example, 11 pinches of cassette feed, at the right end which also serves as the exit. Alarm sensors F for detecting the risk of cassette overflow are provided at nearby positions.

次に、２０ｃは不良品のデバイスを収納するカセットを
搬送するための補助搬送部で、測定装置１０の供出口１
５ｂの下方に左右水平方向にのびかつ下部搬送部２０ｂ
の前方に平行に配置されている。Next, reference numeral 20c is an auxiliary transport section for transporting a cassette containing defective devices;
The lower conveying section 20b extends horizontally to the left and right below the conveyor section 5b.
is placed parallel to the front of the

この補助搬送部２０ｃは、右方の長さが短かいだけで下
部搬送部２０ｂとほぼ同構造になっておりその動作も同
じなので詳細な説明は省略する。This auxiliary conveyance section 20c has almost the same structure as the lower conveyance section 20b, except that the length on the right side is shorter, and its operation is also the same, so a detailed explanation will be omitted.

実際に使用した場合、不良品は良品に比してわずかであ
るため、この補助搬送部２０ｃへの空のカセット供給は
自動的にせず手動で行なっている。In actual use, since the number of defective products is small compared to the number of good products, empty cassettes are not automatically supplied to the auxiliary transport section 20c, but manually.

この場合カセット供給の頻度は少ないので工数が増すと
いう問題はない。In this case, since the frequency of supplying cassettes is low, there is no problem of increased man-hours.

また、測定装置１０の再検査品の供出口１５ｃの下方に
は、図示してないがマガジンが１個設けられている。Furthermore, one magazine (not shown) is provided below the re-inspection product outlet 15c of the measuring device 10.

これは再検査品の発生はきわめて少なくカセットを設け
る必要がないからである。This is because the occurrence of re-inspected items is extremely small and there is no need to provide a cassette.

次に、３０はカセットを上部搬送部２０ａの出口から受
け入れ下降して下部搬送部２０ｂの入口に受け出すため
に両搬送部の左方に設けられたエレベータ部である。Next, reference numeral 30 denotes an elevator section provided on the left side of both conveyance sections for receiving the cassette from the outlet of the upper conveyance section 20a and lowering it to the entrance of the lower conveyance section 20b.

このエレベータ部３０において、３１は上下に移動する
昇降部、３２，３３は昇降部３１に支点３２ａ ，３３
ａを中心に回動自在にそれぞれ設けられた方向転換ラッ
ク、３４，３５はカセットを支持するために方向転換ラ
ック３２．３３に水平方向に複数個配列され回転自在に
設けられたベアリング、３６は方向転換ラツク３２と３
３の先端を連結する連結シャフト、３７はモータ３８の
駆動力によって昇降部３１を上下に駆動させるためのチ
ェーンである。In this elevator section 30, reference numeral 31 is an elevating section that moves up and down, and 32 and 33 are fulcrums 32a and 33 at the elevating section 31.
34 and 35 are rotatable bearings arranged horizontally on the direction changing racks 32 and 33 to support the cassette; 36 is a rotatable bearing; Direction change racks 32 and 3
A connecting shaft 37 connecting the tips of the parts 3 and 3 is a chain for driving the elevating part 31 up and down by the driving force of the motor 38.

ここで、昇降部３１は常時はエレベータ部３０の上部位
置にあり、この状態では方向転換ラツク３２，３３は左
下りに傾斜している。Here, the elevating part 31 is always located at the upper position of the elevator part 30, and in this state, the direction change racks 32, 33 are inclined downward to the left.

この昇降部３１が下降して下部位置に停止したときは、
方向転換ラック３２，３３は右下りに傾斜するようにな
っている。When this elevating part 31 descends and stops at the lower position,
The direction change racks 32 and 33 are inclined downward to the right.

この動作については後で第４図、第５図にてさらに詳細
に説明する。This operation will be explained in more detail later with reference to FIGS. 4 and 5.

また、エレベータ部３０の上端には昇降部３１の上部の
停止位置を検出するリミットセンサＧ１下端には同じく
下部の停止位置を検出するリミットセンサＨがそれぞれ
設けられている。Further, a limit sensor G is provided at the upper end of the elevator section 30 to detect the upper stop position of the elevating section 31, and a limit sensor H is provided at the lower end to detect the lower stop position.

なお、■はカセットが昇降部３１に受け入れられたこと
を検出するセンサである。Note that ■ is a sensor that detects that the cassette is accepted into the elevating section 31.

次にカセットについて詳細に説明する。Next, the cassette will be explained in detail.

第２図はカセットの構造を示すもので、ａは正面図、ｂ
は側面図、Ｃは底面図である。Figure 2 shows the structure of the cassette, a is a front view, b
C is a side view, and C is a bottom view.

カセット５０は、複数個のデバイスを直列的に並べて収
納するマガジン５１を例えば１０本並べて一体化したも
のである。The cassette 50 is made up of, for example, ten magazines 51 that store a plurality of devices arranged in series.

カセット５０においてζ５２はマガジン５１の上端を互
いに接続して固定する固定体、５３はマガジン５１の下
端部を互いに接続して固定する固定体、５４は固定体５
３に取付けられたばね片、５５はばね片５４に固定され
た係止片、５６はカセット５０の下部に固定されたレー
ル、５６ａはレール５６の底面に形成されたレール溝、
５６ｂはレール５６の上面に一定のピッチで形成された
送り突起、５７はカセット５０の上部に固定されたレー
ル、５７ａは同じくレール溝、５７ｂは送り突起である
。In the cassette 50, ζ52 is a fixed body that connects and fixes the upper ends of the magazines 51, 53 is a fixed body that connects and fixes the lower ends of the magazines 51, and 54 is a fixed body 5
3, a locking piece 55 fixed to the spring piece 54; 56 a rail fixed to the lower part of the cassette 50; 56a a rail groove formed on the bottom of the rail 56;
56b is a feed protrusion formed at a constant pitch on the upper surface of the rail 56, 57 is a rail fixed to the upper part of the cassette 50, 57a is a rail groove, and 57b is a feed protrusion.

ここで、係止片５５はデバイスの収納通路の下端部に突
き出ており、デバイスがマガジン５１から落下して出る
のを阻止している。Here, the locking piece 55 protrudes from the lower end of the device storage path and prevents the device from falling out of the magazine 51.

したがって、カセット５０を搬送中にデバイスが落ちる
ことはない。Therefore, the device will not fall while the cassette 50 is being transported.

そして、ばね片５４が押されて係止片５５が収納通路か
ら後方に抜けると、収納されているデバイスが自重でマ
ガジン５１から下に落ちるようになっている。When the spring piece 54 is pushed and the locking piece 55 comes out of the storage passage backward, the stored device falls down from the magazine 51 under its own weight.

また、レール５６のレール溝５６ａおよびレール５７の
レール溝５７ａは、第１図に示したベアリング２２ａ，
３４，２８ｂおよび２８ａ，３５，２２ｂをそれぞれま
たぐようになっており、これによってカセットが各搬送
部にほぼ水平方向に移動自在に支持されることになる。Moreover, the rail groove 56a of the rail 56 and the rail groove 57a of the rail 57 are connected to the bearing 22a shown in FIG.
34, 28b and 28a, 35, 22b, respectively, so that the cassette is supported by each transport section so as to be movable in a substantially horizontal direction.

また、送り突起５６ｂ ，５７ｂはマガジン５１の配列
ピッチの２倍めピッチで形成されているため、送り突起
５６ｂまたは５７ｂを２ピッチ送るとマガジン５１の１
個分だけカセット５０が搬送されることになる。Furthermore, since the feed protrusions 56b and 57b are formed at twice the pitch of the arrangement pitch of the magazine 51, when the feed protrusions 56b or 57b are fed two pitches, the magazine 51 is
Only the number of cassettes 50 will be transported.

第３図は上部搬送部の送り機構を説明する図で、ａはそ
の要部正面図、ｂは図ａの図示していない上方まで含ん
だＢ−１３断面図である。FIG. 3 is a diagram illustrating the feeding mechanism of the upper conveyance section, in which a is a front view of the main part thereof, and b is a cross-sectional view along line B-13 including the upper part (not shown) in FIG.

図において、２４ａ１は送りシャフト２４ａを軸方向に
摺動自在に軸受けするためにカセットラック２１ａに固
定された軸受、２３ａ１送りシャフト２４ａにねじで固
定された爪台、２３ａ２は送り爪２３ａを回動自在に軸
支して爪台２３ａ１に植立された支軸、２３ａ３は爪台
２３ａ１に固定されたねじ受、２３ａ４はばね受２３ａ
３と送り爪２３ａの間に設けられ送り爪２３ａを図で下
方に付勢するためのばね、２３ａ５はばね２３ａ３によ
って付勢された送り爪２３ａを送り突起５６ｂのやや上
方位置に保持するためのストツパである。In the figure, 24a1 is a bearing fixed to the cassette rack 21a to slidably support the feed shaft 24a in the axial direction, 23a1 is a pawl stand fixed to the feed shaft 24a with a screw, and 23a2 is for rotating the feed pawl 23a. A support shaft is freely supported and set on the claw base 23a1, 23a3 is a screw receiver fixed to the claw base 23a1, and 23a4 is a spring receiver 23a.
A spring 23a5 is provided between the feed claw 23a and the feed claw 23a to urge the feed claw 23a downward in the figure, and a spring 23a5 is provided between the feed claw 23a and the feed claw 23a to hold the feed claw 23a urged by the spring 23a3 at a position slightly above the feed projection 56b. It is a stop.

また、２６ａは送り突起５６ａの隣接するもの同志の間
の凹部にーばいに入ってレール５６の停止位置を保持す
るための抑エローラ、２６ａ１はこの抑えローラ２６ａ
を回転自在に軸支する基台、２６ａ２は基台２６ａ１を
回動自在に軸支してカセットラツク２１ａに植立された
支軸、２６ａ３は抑えローラ２６ａを図で下方に付勢す
るためのばね、２６ａ４はレール５６がないとき抑えロ
ーラ２６ａが所定以上に下方に移動しないために基台２
６ａ１の回動量を規制するためのストツパである。Further, 26a is an anti-erosion roller that enters into a recess between adjacent feed protrusions 56a to hold the rail 56 at a stopped position, and 26a1 is an anti-erosion roller 26a.
26a2 is a support shaft that rotatably supports the base 26a1 and is installed in the cassette rack 21a, and 26a3 is a support shaft for urging the holding roller 26a downward in the figure. The spring 26a4 prevents the holding roller 26a from moving downward beyond a predetermined level when the rail 56 is not present.
This is a stopper for regulating the amount of rotation of 6a1.

なお、２２ａ１，２８ａ１はベアリング２２ａ，２８ａ
を回転自在に軸支してカセットラツク２６ａ，２７ａに
それぞれ植立された支軸である。Note that 22a1 and 28a1 are bearings 22a and 28a.
These are support shafts that rotatably support the cassette racks 26a and 27a, respectively.

ここで、送りシャフト２４ａは第３図に図示しない駆動
部によって図の位置から左方に往復運動するようになっ
ている。Here, the feed shaft 24a is reciprocated to the left from the position shown in the figure by a drive section not shown in FIG.

送りシャフト２４ａとともに爪台２３ａ１が左方に移動
すると、送り爪２３ａはストッパ２３ａ５にガイドされ
ながらばね２３ａ４に押されてその爪先が左下方に移動
し、送り突起５６ｂを左方に押す。When the claw base 23a1 moves to the left together with the feed shaft 24a, the feed claw 23a is pushed by the spring 23a4 while being guided by the stopper 23a5, and its toe moves downward to the left, pushing the feed protrusion 56b to the left.

これにより、抑えローラ２６ａはばね２６ａ３に抗して
送り突起５６ｂを１山越えて右隣りの凹部に入り、レー
ル５６は送り突起５６ｂの１ピッチ分だけ左に移動する
。As a result, the holding roller 26a crosses the feed protrusion 56b by one peak against the spring 26a3 and enters the recess on the right side, and the rail 56 moves to the left by one pitch of the feed protrusion 56b.

したがって、駆動の信号によって送りシャフト２４ａが
２往復すると、カセット５０はマガジン５１の１ピッチ
分だけ左に搬送されることになる。Therefore, when the feed shaft 24a reciprocates twice in response to the drive signal, the cassette 50 is transported to the left by one pitch of the magazine 51.

以上の説明は第１図に示した上部搬送部２０ａの送り機
構の動作について説明したが、下部搬送部２０ｂにおい
てはカセット５０の上部に設けられたレール５７の送り
突起５７ｂの方が送り爪２３ｂによって押されるように
なる。The above explanation has been about the operation of the feeding mechanism of the upper conveyance section 20a shown in FIG. Becomes pushed by.

そして、搬送方向が逆になるだけで他の動作は全く同じ
である。The other operations are exactly the same except that the transport direction is reversed.

第４図、第５図はエレベータ部の動作を説明する図で、
第４図は上部の正面図、第５図は下部の正面図である。Figures 4 and 5 are diagrams explaining the operation of the elevator section.
FIG. 4 is a front view of the upper part, and FIG. 5 is a front view of the lower part.

第４図において、３９．４０は方向転換ラック３２．３
３が前側に倒れないように昇降部３１の平面上に保持さ
せるべく昇降部３１に取付けられた倒れ抑え板、４１，
４２は上部位置における方向転換ラック３２ ．３３の
傾斜角を調整するための調整ねじ、４１ａ，４２ａは昇
降部３１上に固定され調整ねじ４１、４２が螺合された
調整台である。In Figure 4, 39.40 is the direction change rack 32.3
A fall prevention plate 41, which is attached to the elevating part 31 to hold the elevating part 31 on the plane of the elevating part 31 so that the part 3 does not fall forward.
42 is the turning rack 32 in the upper position. Adjustment screws 41a and 42a for adjusting the inclination angle of 33 are adjustment stands fixed on the elevating part 31 and screwed with the adjustment screws 41 and 42.

ここで、上部搬送部２０ａの出口近くまで搬送されてき
たカセット５０が左下り傾斜したベアリング２２ａ，２
８ａの位置までくると、自重で左方に移動し、エレベー
タ部３０に受け入れられて方向転換ラック３２．３３上
のベアリング３４，３５に支持される。Here, the cassette 50 that has been transported near the exit of the upper transport section 20a is placed on the bearings 22a, 2, which are tilted downward to the left.
When it reaches position 8a, it moves to the left under its own weight, is received by the elevator section 30, and is supported by bearings 34 and 35 on the direction change racks 32 and 33.

このベアリング３４．３５も左下り傾斜しているのでカ
セット５０はそのまま左端まで移動して停止する。Since the bearings 34 and 35 are also inclined downward to the left, the cassette 50 moves to the left end and stops.

このときカセット５０によってセンサ■が押されて受け
入れ完了の検出信号を出力し、これにもとすいて昇降部
３１がカセット５０をのせたまま下降する。At this time, the sensor (2) is pressed by the cassette 50 and outputs a detection signal indicating completion of acceptance, and the elevating section 31 immediately descends with the cassette 50 placed thereon.

昇降部３１が再び上昇してきた場合は、センサＧを押し
て上昇が停止され昇降部３１は第４図のような正常な上
部位置にセットされる。When the elevating part 31 rises again, the sensor G is pressed to stop the elevating part 31, and the elevating part 31 is set to the normal upper position as shown in FIG.

次に第５図において、４５は方向転換ラツク３２の先端
部に当ってこれを上方に回動させるための駆動ねじ、４
５ａはフレーム２に固定されたねじ支持体である。Next, in FIG. 5, reference numeral 45 denotes a drive screw for hitting the tip of the direction changing rack 32 and rotating it upward;
5a is a screw support fixed to the frame 2.

駆動ねじ４５はねじ支持体４５ａに螺合されており、そ
の上下位置を調整できるようになっている。The drive screw 45 is screwed into the screw support 45a, and its vertical position can be adjusted.

ここで、エレベータ部３０を下降してきた昇降部３１は
、センサＨを押して下降が停止され第５図のような正常
な下部位置にセットされる。Here, the elevating part 31 that has descended through the elevator part 30 presses the sensor H to stop its descent and is set to the normal lower position as shown in FIG.

このとき、駆動ねじ４５の先端が方向転換ラツク３２の
先端部下面に当るため方向転換ラツク３２およびこれと
連結シャフト３６で連結されている方向転換ラツク３３
はともに支点３２ａ，３３ａを中心に回動し右下り傾斜
の状態になる。At this time, since the tip of the drive screw 45 hits the lower surface of the tip of the direction change rack 32, the direction change rack 32 and the direction change rack 33 connected thereto by the connection shaft 36
Both rotate around the fulcrums 32a and 33a, and are tilted downward to the right.

すなわち、駆動ねじ４５によって下部位置の方向転換ラ
ック３２．３３の傾斜角がきまる。That is, the drive screw 45 determines the tilt angle of the lower position turning rack 32,33.

このような状態になると、ベアリング３４ ．３５に支
持されているカセット５０は自重で右方に移動してエレ
ベータ部３０から受け出され、下部搬送部２０ｂの入口
に入ってくる。When this condition occurs, the bearing 34. The cassette 50 supported by the cassette 35 moves to the right under its own weight, is received from the elevator section 30, and enters the entrance of the lower conveyance section 20b.

このように入口に入ってきたカセット５０は、ベアリン
グ２８ｂ，２２ｂが右下り傾斜から水平になった第１の
位置で自重の慣性による右方への移動を停止する。The cassette 50 that has entered the entrance in this manner stops moving to the right due to the inertia of its own weight at the first position where the bearings 28b and 22b are tilted downward to the right and become horizontal.

このとき、カセット５０は下側のレール５６がセンサＤ
を押し、また上側のレール５７が送り爪２５に係合する
位置までくる。At this time, the lower rail 56 of the cassette 50 is connected to the sensor D.
, and the upper rail 57 comes to the position where it engages with the feed pawl 25.

このように下部搬送部２０ｂの入口に入ったカセット５
０はこの位置で待機し、先行して供出口１５ａから測定
済のデバイスを受けているカセット５０が第２の位置か
ら１ピッチ右方に搬送されてセンサＥをオフすると単独
送り用の送り爪２５の送り動作により例えば１１ピッチ
だけ右方に搬送されて先行するカセット５０に追いつい
て停止するようになっている。The cassette 5 that has entered the entrance of the lower transport section 20b in this way
0 waits at this position, and when the cassette 50, which has previously received the measured devices from the supply port 15a, is conveyed one pitch to the right from the second position and turns off the sensor E, the feed claw for individual feeding is activated. 25, the cassette 50 is conveyed to the right by, for example, 11 pitches, catches up with the preceding cassette 50, and stops.

．したがって前後のカセット５０の間に間隔があいてス
ペースの無駄が生じるようなことはなくなる。．． Therefore, there is no need to waste space due to a gap between the front and rear cassettes 50.

なお、この実施例では第１の位置と第２の位置との間隔
、すなわちセンサＤとＥとの間隔は搬送の１１ピッチ分
に設定されている。In this embodiment, the interval between the first position and the second position, that is, the interval between the sensors D and E, is set to 11 conveyance pitches.

なお、下部搬送部２０ｂの入口に入ってきたカセット５
０を一旦停止させてから単独送りするのは、カセット５
０の位置ずれを防止するためである。Note that the cassette 5 that has entered the entrance of the lower conveyance section 20b
It is cassette 5 that stops 0 once and then feeds it independently.
This is to prevent positional deviation of 0.

すなわち、自重で慣性をもって移動してきたカセット５
０をデバイス受入中のカセット５０に当てると、たとえ
いくつかのカセット５０を間に介していたとしても、そ
の衝撃で供出口１５ａに対するカセットのマガジンの相
対位置がずれてしまうことがある。In other words, the cassette 5 has moved with inertia due to its own weight.
0 to a cassette 50 that is receiving a device, the relative position of the magazine of the cassette with respect to the supply port 15a may shift due to the impact even if several cassettes 50 are interposed therebetween.

したがって、このような事故を防ぐために前記のような
構成にしたものである。Therefore, in order to prevent such accidents, the above-mentioned structure is adopted.

センサＤによってカセット５０がエレベータ３０から完
全に出たことが検出されると、昇降部３１は上昇するよ
うになっている。When the sensor D detects that the cassette 50 has completely come out of the elevator 30, the elevating section 31 is raised.

次に、第１図と第６図に示した制御回路のブロック図を
参照にしてこの装置の動作について説明する。Next, the operation of this device will be explained with reference to the block diagrams of the control circuit shown in FIGS. 1 and 6.

上部搬送部２０ａの右端の入口から製造されたデバイス
がーばいに収納されたカセットを順次間隔ができないよ
うに送り込み、先頭のカセットの左端のマガジンが測定
装置１０の供給口１２の位置に対向した時点で動作開始
状態になる。The manufactured device cassettes housed in the bay are sequentially fed from the right end entrance of the upper transport section 20a so that there is no gap between them, and the left end magazine of the first cassette faces the position of the supply port 12 of the measuring device 10. At this point, it becomes operational.

このとき、マガジンから落下したデバイスは通路１３を
埋める。At this time, the devices that have fallen from the magazine fill the passage 13.

なお、下部搬送部２０ｂの供出口１５ａよ力左側には空
のマガジンをいくつかセットしておく。Note that several empty magazines are set on the left side of the supply port 15a of the lower conveyance section 20b.

ここで、始動スイッチをオンすると装置は動作を開始し
、測定部１１でデバイスの特性が順次測定される。Here, when the start switch is turned on, the device starts operating, and the measuring section 11 sequentially measures the characteristics of the device.

１つのマガジン内のデバイスがすべて測定装置１０の通
路１３内に落ちると、センサＡが供給口１２にデバイス
がなくなったことを検出して送り動作開始の信号を出力
する。When all the devices in one magazine fall into the passage 13 of the measuring device 10, the sensor A detects that there are no more devices in the supply port 12 and outputs a signal to start the feeding operation.

この信号はコントローラ６０に入り、この信号にもとづ
いてコントローラ６０から上部カセット駆動回路６１に
駆動信号が出力される。This signal enters the controller 60, and based on this signal, the controller 60 outputs a drive signal to the upper cassette drive circuit 61.

この駆動回路６１は禁止信号が入っていないかどうかを
判断し、禁止信号がないとカセットを送ってよいと判断
してエアシリンダ６２に駆動出力を供給する。This drive circuit 61 determines whether or not a prohibition signal is present, and if there is no prohibition signal, it determines that the cassette can be sent, and supplies a drive output to the air cylinder 62.

これによってエアシリンダ６２が動作し送り爪２３ａが
往復運動して上部搬送部２０ａにセットされているカセ
ットはすべてマガジン１ピツチ分だけ左方に搬送される
。This causes the air cylinder 62 to operate and the feed claw 23a to reciprocate, thereby transporting all the cassettes set in the upper transport section 20a to the left by one magazine pitch.

そして、次のマガジンのデバイスが供給口１２に供給さ
れる。Then, the device of the next magazine is supplied to the supply port 12.

以後、同じ動作を繰返してカセットは１ピツチずつ搬送
されて行く。Thereafter, the same operation is repeated to convey the cassette one pitch at a time.

このとき、空のカセットがまだセンサＢをオンする位置
まで到達していない時点では、センサＢからの信号は”
Ｌ“レベルなのでゲートＧ１はゲートオフ状態にありゲ
ートＧ１の出力は“Ｈ”レベルになって禁止信号は出力
されない。At this time, when the empty cassette has not yet reached the position where sensor B is turned on, the signal from sensor B is "
Since it is at the L" level, the gate G1 is in the gate-off state, and the output of the gate G1 becomes the "H" level, so that no inhibition signal is output.

なお、この場合ゲートＧ１の“Ｌ”出力が禁止信号にな
るように設定されている。In this case, the "L" output of the gate G1 is set to be the inhibit signal.

したがって、この間はカセットの搬送動作は継続される
。Therefore, during this time, the cassette transport operation continues.

やがて先頭のカセットがセンサＢをオンする位置までく
ると、センサＢの出力は“Ｈ“となりゲートＧ１はゲー
トオン状態になる。When the first cassette eventually reaches the position where sensor B is turned on, the output of sensor B becomes "H" and the gate G1 is turned on.

このとき、昇降部３１がエレベータ部３０の上部位置に
あると、センサＧの出力が“Ｈ”となり、また昇降部３
１にカセットが入っていないと、センサ■の出力は“Ｌ
”となりこの信号はインバータＩＮＶ１で反転されるた
めゲートＧ２の出力は“Ｌ”となり、禁止信号は出ない
。At this time, when the elevating section 31 is at the upper position of the elevator section 30, the output of the sensor G becomes "H", and the elevating section 3
If there is no cassette in 1, the output of sensor ■ is “L”.
”, and this signal is inverted by the inverter INV1, so the output of the gate G2 becomes “L” and no inhibition signal is output.

したがって、カセットの搬送動作はさらに継続され、や
がてその時点から短時間後に先頭のカセットは送り機構
からはずれて自重による慣性で昇降部３１に入る。Therefore, the conveyance operation of the cassettes is further continued, and after a short time from that point, the leading cassette is separated from the feeding mechanism and enters the elevating section 31 due to inertia due to its own weight.

このとき同時にセンサＢの出力は“Ｌ”になってゲート
Ｇ１はケートオフされるため禁止信号は出ない。At the same time, the output of the sensor B becomes "L" and the gate G1 is turned off, so that no prohibition signal is output.

もし、センサＢの位置にカセットがあり、かつ、昇降部
３１がエレベータ３０の上部位置に戻っていないか、ま
たは昇降部３１にすでにカセットが入っているような場
合は、ゲートＧ１がゲートオン状態にありしかもゲート
Ｇ２の出力が“Ｈ”になるため、禁止信号が出力されて
駆動回路６１は駆動出力を出さなくなり搬送動作は停止
される。If there is a cassette at the position of sensor B and the elevating section 31 has not returned to the upper position of the elevator 30, or if there is already a cassette in the elevating section 31, the gate G1 is turned on. Moreover, since the output of the gate G2 becomes "H", a prohibition signal is output, and the drive circuit 61 stops outputting a drive output, and the conveying operation is stopped.

なお、このとき、この禁止信号で警報回路６３が動作し
警報器６４が警報を発する。In addition, at this time, the alarm circuit 63 is activated by this prohibition signal, and the alarm device 64 issues an alarm.

また、カセットが搬送されてセンサＣの位置を過ぎしか
も後続のカセットがないと、センサＣの出力が“Ｌ”に
なり、デバイスを収納したカセットを補充させることを
うながすために警報が発せられる。Further, when a cassette is transported past the position of sensor C and there is no subsequent cassette, the output of sensor C becomes "L" and an alarm is issued to prompt replenishment of the cassette containing the device.

次に、昇降部３１にカセットが入ると、センサ■の出力
が“Ｈ”になリゲートＧ３はゲートオン状態になる。Next, when the cassette enters the elevating section 31, the output of the sensor (2) becomes "H" and the ligator G3 is turned on.

このとき、下部搬送部２０ｂにおいて、センサＤの第１
位置にカセットがないと、センサＤの出力は“Ｌ”とな
るがこの信号はインバータＩＮＶ２で反転されるため、
ゲートＧ３の出力は“Ｈ”となってエレベータコントロ
ーラ６５に入り、この信号にもとずいてエレベータコン
トローラ６５から下降回路６６に駆動信号が出力される
。At this time, in the lower conveyance section 20b, the first
If there is no cassette in the position, the output of sensor D will be "L", but this signal is inverted by inverter INV2, so
The output of the gate G3 becomes "H" and enters the elevator controller 65, and based on this signal, the elevator controller 65 outputs a drive signal to the descending circuit 66.

この駆動信号によって下降回路６６からモータ３８に下
降駆動出力が供給され、昇降部３１は空のカセットをの
せて下降する。In response to this drive signal, a descending drive output is supplied from the descending circuit 66 to the motor 38, and the elevating section 31 descends with an empty cassette placed thereon.

昇降部３１がエレベータ部３０の下部位置までくると、
センサＨが動作してその出力が“Ｈ”になる。When the elevating section 31 reaches the lower position of the elevator section 30,
Sensor H operates and its output becomes "H".

センサＨの“Ｈ”出力はインバータＩＮＶ３で反転され
て“Ｌ”となるため、この信号が禁止信号となって下降
回路６６に入り、下降駆動出力は出力されなくなってモ
ータ３８は停止する。Since the "H" output of the sensor H is inverted by the inverter INV3 and becomes "L", this signal becomes a prohibition signal and enters the lowering circuit 66, and the lowering drive output is no longer output and the motor 38 is stopped.

下降したカセットが自重による慣性で昇降部３１から出
て下部搬送部２０ｂに入り第１の位置に停止してセンサ
Ｄをオンすると、センサＤの“Ｈ”出力はゲートＧ４に
入る。When the descended cassette comes out of the elevating section 31 due to inertia due to its own weight, enters the lower transport section 20b, and stops at the first position, and turns on the sensor D, the "H" output of the sensor D enters the gate G4.

このゲートＧ４はすでにセンサＨの“Ｈ”“出力でゲー
トオン状態にあるため、ゲートＧ４の出力は“Ｈ”にな
ってエレベータコントローラ６５からはこの信号にもと
すいて上昇回路６７に駆動信号が出力される。Since this gate G4 is already in the gate-on state with the "H" output of the sensor H, the output of the gate G4 becomes "H" and the elevator controller 65 sends a drive signal to the ascending circuit 67 based on this signal. Output.

この駆動信号によって上昇回路６７からモータ３８に上
昇駆動出力が供給され、昇降部３１は空の状態で上昇す
る。In response to this drive signal, a rising drive output is supplied from the rising circuit 67 to the motor 38, and the lifting section 31 rises in an empty state.

昇降部３１がエレベータ部３０の上部位置までくると、
センサＧがオンしてその出力が”Ｈ“になる。When the elevating section 31 reaches the upper position of the elevator section 30,
Sensor G is turned on and its output becomes "H".

このセンサＧの”Ｈ“出力はインバータＩＮＶ４で反転
されて“Ｌ”となるため、この信号が禁止信号になって
上昇回路６７に入り、下降駆動出力は出力されなくなっ
てモータ３８は停止する。Since the "H" output of this sensor G is inverted by the inverter INV4 and becomes "L", this signal becomes a prohibition signal and enters the rising circuit 67, and the descending drive output is no longer output and the motor 38 is stopped.

これによって昇降部３１は正常な上部位置に戻って次の
下降に備える。As a result, the elevating section 31 returns to its normal upper position and prepares for the next descent.

一方、コントローラ６０は測定部１１、分類部１４を制
御すると同時に良品のデバイスの数をカウントし、所定
カウント数になると下部搬送部２０ｂにセットされてい
るカセットを搬送するための送り動作信号を下部カセッ
ト駆動回路６８に出力する。On the other hand, the controller 60 controls the measuring section 11 and the sorting section 14, and at the same time counts the number of non-defective devices, and when a predetermined count is reached, sends a feed operation signal for conveying the cassette set in the lower conveying section 20b to the lower conveying section 20b. It is output to the cassette drive circuit 68.

このとき、オーバフローのセンサＦの位置にカセットが
ないと、センサＦの出力は“Ｌ”になるがインバータＩ
ＮＶ５で反転されるため禁止信号は出ない。At this time, if there is no cassette at the overflow sensor F position, the output of sensor F will be "L", but the inverter I
Since it is inverted at NV5, no prohibition signal is issued.

したがって駆動回路６８の出力によってエアシリンダ６
９は動作し、送り爪２３ｂが往復運動して、下部搬送部
２０ｂの送り機構に係合しているカセットはすべて１ピ
ッチだけ右方に搬送される。Therefore, the output of the drive circuit 68 causes the air cylinder 6 to
9 is operated, the feed claw 23b reciprocates, and all the cassettes engaged with the feed mechanism of the lower conveyance section 20b are conveyed one pitch to the right.

以後、この動作が繰り返される。なお、このとき、セン
サＦの位置に測定済のデバイスを収納したカセットが到
達していると、センサＦの出力が“Ｈ”となり、この出
力はインバータＩＮＶ５で反転されて“Ｌ”となるため
禁止信号が発生し、駆動回路６８の出力は停止されると
ともに、オーバフローを知らせる警報が発せられる。After this, this operation is repeated. At this time, if the cassette containing the measured device has reached the position of sensor F, the output of sensor F becomes "H", and this output is inverted by inverter INV5 and becomes "L". A prohibition signal is generated, the output of the drive circuit 68 is stopped, and an alarm indicating an overflow is issued.

また、先行カセットが１ピッチ搬送されて第２，の位置
のセンサＥからはなれると、センサＥの出力は“Ｌ”に
なり、この信号はインバータＩＮＶ６で反転されて”Ｈ
“になるため、ゲートＧ５はゲートオン状態になる。Furthermore, when the preceding cassette is conveyed one pitch and leaves the sensor E at the second position, the output of the sensor E becomes "L", and this signal is inverted by the inverter INV6 to "H".
", so the gate G5 becomes gate-on.

このとき、センサＤのある第１の位置に次の後続カセッ
トがきて待機していると、センサＤは動作して“Ｈ”出
力が出ているのでゲートＧ５の出力は“Ｈ”となり、こ
の信号が単独カセット駆動回路７０にゲート信号として
入力されこの回路を動作状態にする。At this time, when the next succeeding cassette comes to the first position where sensor D is located and is waiting, sensor D is activated and outputs "H", so the output of gate G5 becomes "H", and this A signal is input as a gate signal to the individual cassette drive circuit 70 to put the circuit into operation.

そしてコントローラ６０から一定周期で連続して出力さ
れている駆動信号がこの駆動回路７０に入力されている
ため、駆動回路７０からは連続してパルス状の単独送り
駆動出力がエアシリンダ７１に供給される。Since the drive signal that is continuously output from the controller 60 at a constant period is input to the drive circuit 70, the drive circuit 70 continuously supplies a pulsed individual feed drive output to the air cylinder 71. Ru.

これによって、単独送り機構の送り爪２５が往復運動し
、この第１位置にある空の後続カセットは一定周期で連
続的に右方に搬送される。As a result, the feed pawl 25 of the independent feed mechanism reciprocates, and the empty succeeding cassette in this first position is continuously conveyed to the right at a constant cycle.

１１ピンチ搬送されると第２の位置に到達してセンサＥ
が動作し、その“Ｈ“出力はインバータＩＮＶ６で反転
されて“Ｌ”になるためゲートＧ５はゲートオフ状態に
なって駆動回路７０は非動作状態になり単独送りは停止
する。When it is conveyed by 11 pinches, it reaches the second position and the sensor E
operates, and its "H" output is inverted by the inverter INV6 and becomes "L", so that the gate G5 becomes gate-off, the drive circuit 70 becomes inactive, and independent feeding is stopped.

かくして後続のカセットは先行するカセットに追いつく
。Thus, subsequent cassettes catch up with the preceding cassettes.

このためカセット間に間隔が生ぜず無駄なスペースがな
くなる。Therefore, there is no gap between the cassettes, eliminating wasted space.

このように製造したデバイスを収納したカセットを上部
搬送部の入口にセットすれば、自動的に搬送がなされて
、特性測定を終った良品のデバイスを収納したカセット
が下部搬送部の出口から取り出せる。When a cassette containing devices manufactured in this manner is set at the entrance of the upper transport section, the cassette is automatically transported and the cassette containing good devices whose characteristics have been measured can be taken out from the exit of the lower transport section.

以上の実施例では、第１の位置のセンサＤと第２の位置
のセンサＥとの間隔は１１ピッチ分設けたが、これは任
意に設定できる。In the above embodiment, the distance between the sensor D at the first position and the sensor E at the second position was set by 11 pitches, but this can be set arbitrarily.

この場合、その間隔のピッチ数に応じて単独送りの送り
機構の動作数がきまるのはいうまでもない。In this case, it goes without saying that the number of operations of the individual feeding mechanism is determined depending on the pitch number of the interval.

このように、この発明に係る搬送装置によると、後続の
被搬送物は衝突することなく先行の被搬送物に追いつく
ことができるため、無駄な間隔スペースがなくかつ円滑
、正確に被搬送物を搬送できるという効果がある。As described above, according to the conveying device according to the present invention, the subsequent conveyed object can catch up with the preceding conveyed object without colliding with each other, so that there is no wasted interval space and the conveyed object can be smoothly and accurately. It has the effect of being transportable.

また、この発明では第１の位置から出発した後続カセッ
トは到達すべき第２の位置にきてセンサを動作すること
により初めて停止するので、単独送り制御が閉ループで
なされることになり動作が正確で誤動作をすることがな
いという優れた効果がある。In addition, in this invention, the subsequent cassette that starts from the first position stops only when it reaches the second position and operates the sensor, so independent feeding control is performed in a closed loop, resulting in accurate operation. This has the excellent effect of preventing malfunctions.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図はこの発明に係る搬送装置を電子部品特性測定装
置に適用したー実施例の正面図、第２図はカセットの説
明図、第３図は送り機構の説明図、第４図はエレベータ
部の上部の正面図、第５図はその下部の正面図、第６図
は制御回路のブロック図である。 １０……測定装置、２０ａ……上部搬送部、２０ｂ……
下部搬送部、２１ａ，２１ｂ，２７ａ，２７ｂ……カセ
ットラック、２２ａ，２２ｂ，２８ａ，２８ｂ，３４
，３５……ベアリング、２３ａ，２３ｃ，２５……送り
爪、２４ａ，２４ｂ……送りシャフト、３０……エレベ
ータ部、３１……昇降部、３２，３３……方向転換ラッ
ク、Ａ〜■……センサ。Fig. 1 is a front view of an embodiment in which the conveying device according to the present invention is applied to an electronic component characteristic measuring device, Fig. 2 is an explanatory diagram of a cassette, Fig. 3 is an explanatory diagram of a feeding mechanism, and Fig. 4 is an elevator. FIG. 5 is a front view of the upper part of the unit, FIG. 5 is a front view of the lower part thereof, and FIG. 6 is a block diagram of the control circuit. 10... Measuring device, 20a... Upper conveyance section, 20b...
Lower conveyance section, 21a, 21b, 27a, 27b...Cassette rack, 22a, 22b, 28a, 28b, 34
, 35...bearing, 23a, 23c, 25...feed claw, 24a, 24b...feed shaft, 30...elevator section, 31...lifting section, 32, 33...direction change rack, A~■... sensor.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] １ 被搬送物を受けとる入口において下り傾斜を有し引
続いてほぼ水平に形成された搬送路と、被搬送物が傾斜
した搬送路を慣性で移動してきて第１の位置に停止した
とき動作する第１のセンサと、この第１のセンサより所
定距離先方の第２の位置に設けられ被搬送物によって動
作される第２のセンサと、前記停止した被搬送物を前記
第１の位置から第２の位置まで搬送する送り機構とを備
え、前記第１のセンサが動作している状態で前記第２の
センサが非動作になったとき前記送り機構を動作するよ
うに構成したことを特徴とする搬送装置。1. Operates when the conveyance path has a downward slope at the entrance for receiving the conveyed object and is subsequently formed substantially horizontally, and the conveyed object moves by inertia through the inclined conveyance path and stops at the first position. a first sensor, a second sensor provided at a second position a predetermined distance ahead of the first sensor and operated by the conveyed object; and a second sensor that moves the stopped conveyed object from the first position to the second position. and a feeding mechanism for transporting the sensor to position No. 2, and the feeding mechanism is configured to operate when the second sensor becomes inactive while the first sensor is operating. conveyance device.