JPS58201023A - 不良原因探索支援装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明け、不良と判定された検査対象について、その不
良原因の探索支援をするのに必要な当該検査作業履歴情
報（検査指示情報）の表示および面測定用の自動的な位
置合せ等を行うための不良原因探索支援装置に関するも
のである。

例えば、複雑な作業手順が要求される半導体製品等の検
査作業は、その検査対象となるべき単位（検査ロット）
の品種名、検査項目または作業履歴により、それぞれ異
なった内容のものとなる。

また、この種の検査作業は、多くの場合、抜取検査方式
によっているので、サンプリング数およびサンプル当り
の測定回数（点数）なども、過去の測定結果に基づいて
推定された平均的な当該品質により、逐次に変更しなけ
ればならないものである。

すなわち、あるロットについて不良が発生した場合、生
産中の他のロットに当該不良要因の作り込みを防止する
ため、迅速な不良原因の探索・究明が必要である。

従来、この種の不良原因探索作業は、自動化されておら
ずに人手で行われており、不良となった検査ロットの作
業履歴情報、測定結果等を記録した帳票類の整理・調査
等を行い、そのロットの中から測定済みの検査対象を選
んで当該測定位置ヲ捜し出し、その再検査、拡大観察等
によって原因究明をするというものであった。

したがって、帳票整理・調査や測定位置合せ等に多くの
時間を費やし、また、誤った測定位置全観察することな
どもあり、真の不良原因の発見が遅れた″！、丑不良品
の生産を続けてしまうというおそれがあった。

本発明の目的は、上記した従来技術の欠点全克服し、不
良と判定された検査対象について、その検査作業履歴情
報・測定結果の表示および当該検査対象の選択・測定位
置合せ全自動的に行い、当該不良原因の探索を短時間で
支援・究明することができる不良原因探索支援装置全提
供することにある。

本発明の特徴は、検査対象の各検査作業単位の作業履歴
情報・検査指示情報および当該各検査結果その他所製情
報全格納する記憶装置と、各検査作業単位に付与された
当該各選択識別情報音読み取る人力装置と、上記作業履
歴情報および当該各検査結果を表示するとともに、その
検査結果表示に基づいて当該不良原因全究明すべき検査
対象の識別情報を入力することができる表示装置と、上
記検査対象の識別情報に従って当該検査作業単位全自動
的に取り出して指定位置での特性測定を行うことができ
る自動検査装置と、上記検査指示情報に含まれる測定位
置情報に従って取り出された当該検査作業単位を所望の
測定位置に設定するための測定位置決め装置と、上記入
力装置が読み取った検査作業単位の選択識別情報に従っ
て上記記憶装置から当該作業履歴情報・検査指示情報お
よび当該測定結果音読み出し、当該検査作業単位の検査
作業に関する情報を上記表示装置に表示せしめるととも
に、これから入力された当該検査対象の識別番号に基づ
いて上記自動検査装置および測定位置大め装置に関する
所要の制御・処理を行う制御処理装置とから構成した不
良原因探索支援装置にある。

以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。

図は、本発明に係る不良原因探索支援装置の一実施例の
ブロック図である。

ここで、１は、記憶装置、２は入力装置に係るバーコー
ドリーダ、３は、表示装置に係り、タッチパネル式タブ
レット付のＣＲＴ端末、４ば、自動検査装置、５は、測
定位置決め装置に係り、所要のコントローラ、動力装置
が付属しているＸＹテーブノペ　６は、バス、７は、制
御処理装置である。

まず、記憶装置１は、あらかじめ所要の作業履歴情報・
検査指示情報を検査作業単位ＩＵ（サンプリング等によ
って決定された検査対象の単位として検査作業が行われ
るべき１または複数の被検査物品）ごとに格納しており
、これらの格納情報は、本装置自身または他のシステム
により、その都度最新の状態に更新される。なお、本装
置の動作上必要なプログラム情報なども格納されている
。

バーコードリーダ２は、各検査作業単位ＩＵ自身または
その収容器に対された選択識別情報表示（例えば、バー
コードＢＣＤの印刷、貼付）を読み取って制御処理装置
７へ入力する。

Ｃ１ａＴ端末３は、制御処理装置７の制御により、記憶
装置１から読み出された不良原因探索用の検査作業単位
ＩＵに関する作業履歴情報（検査作業情報）を表示する
とともに、そのタッチパネル式タブレットヲ通して検査
対象の識別情報を制御処理装置７へ入力する。

自動検査装置５は、制御処理装置７の制御によってＸＹ
テーブル５上へ検査作業単位ＩＵｋ自動的に取り出し、
その測定位置決めに従って所要の測定箇所を検査する。

なお、制御処理装置７ば、上記各装置１組のほか他の系
統の検査装置または不良原因探索用装置に対しても多重
的に制御・処理をすることができる。

次に、作業者が不良原因探索用の検査作業単位ＩＵのバ
ーコードＢＣＤをバーコードリーダ２から読み込ませる
と、それに対応する作業履歴情報が記憶装置１から制御
処理装置７に読み込まれる。

制御処理装置７は、その作業履歴情報から該当する検査
作業に関する情報全算出し、Ｃ１１（、Ｔ端末３に所要
の情報（例えば、被測定物の格納位置情報、測定位置情
報、測定条件等）を表示する。

作業者は、その表示に基づいて当該検査対象の内容、測
定結果を検討した後、両測定、拡大観察等全必要とする
既測定の検査対象の識別情報（番号）ｋｃＲＴ端末から
タッチパネル式タブレットによって入力する。

これを受けた制御処理装置７は、自動検査装置４に対し
て当該検査対象の番号を、また、ＸＹテーブル５に対し
て当該測定位置（アドレス）全送出する。

これにより、自動検査装置４は、当該検査対象を自動的
に取り出してＸＹテーブル５にセットし、ＸＹテーブル
５は、その検査対象を当該測定位置（アドレス）に関す
る情報に基づいて指定測定位置に保持する。

作業者は、その保持された測定位置で直ちに再検査、拡
大観察等を行い、更に必要に応じて追加測定を行い、そ
れらの結果を自動検査装置４へ直接に、またはＣＲＴ端
末３を介して制御処理装置７へ報告する。

制御処理装置７は、指示された検査作業の終了ごとに当
該検査対象の作業履歴、検査結果の情報の更新を行う。

このようにして、不良となった検査ロットの作業履歴、
検査結果が自動表示され、その測定位置も自動的に設定
されるので、その不良原因探索を短時間で行うことがで
きるとともに、誤った測定位置での観察を防止して真の
不良原因の早期把握が可能となる。

以上、詳細に説明したように、本発明によれば、不良と
なった検査ロットに関する不良原因の探索を短時間で支
援・究明する不良原因探索支援装置を実現することがで
きるので、この種の検査作業の能率向上、信頼性向上に
顕著な効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

図は、本発明に係る不良原因探索支援装置の一実施例の
ブロック図である。 １・・・記憶装置、２・・・バーコードリーダ、３・・
・Ｃ’ＲＴ端末、４・・・自動検査装置、５・・・ＸＹ
テーブル、６・・・バス、７・・・制御処理装置。 代理人　弁理士　福田幸作 （ほか１名）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、検査対象の各検査作業単位の作業履歴情報・検査指
   示情報および当該各検査結果その他所要情報全格納する
   記憶装置と、各検査作業単位に付与された当該各選択識
   別情報を読み取る入力装置と、上記作業履歴情報および
   当該各検査結果を表示するとともに、その検査結果表示
   に基づいて当該不良原因を究明すべき検査対象の識別情
   報を入力することができる表示装置と、上記検査対象の
   識別情報に従って当該検査作業単位を自動的に取り出し
   て指定位置での特性測定を行うことができる自動検査装
   置と、上記検査指示情報に含まれる測定位置情報に従っ
   て取り出された当該検査作業単位を所望の測定位置に設
   定するための測定位置決め装置と、上記入力装置が読み
   取った検査作業単位の選択識別情報に従って上記記憶装
   置から当該作業履歴情報・検査指示情報および当該測定
   結果を読み出し、当該検査作業単位の検査作業に関する
   情報を上記表示装置に表示せしめるとともに、これから
   入力された当該検査対象の識別番号に基づいて上記自動
   検査装置および測定位置決め装置に関する所要の制御・
   処理を行う制御処理装置とから構成したことを特徴とす
   る不良原因探索支援装置。