JPS581992Y2 - 熱反射形拡散炉のヒ−タ保持装置 - Google Patents
熱反射形拡散炉のヒ−タ保持装置Info
- Publication number
- JPS581992Y2 JPS581992Y2 JP10803778U JP10803778U JPS581992Y2 JP S581992 Y2 JPS581992 Y2 JP S581992Y2 JP 10803778 U JP10803778 U JP 10803778U JP 10803778 U JP10803778 U JP 10803778U JP S581992 Y2 JPS581992 Y2 JP S581992Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater holding
- heater
- furnace
- reflection type
- type diffusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Resistance Heating (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は半導体装置等の製造過程において使用する拡散
炉の改良に関するものである。
炉の改良に関するものである。
拡散炉は一般には抵抗加熱横形管状炉が使用されている
。
。
第１図及び第２図はその一例の縦断面図及び横断面図で
ある。
ある。
図において１は環状抵抗加熱線（以下ヒータという。
）、２はヒータ端子線、３はヒータ捲線の間隔保持用の
セパレータで、ヒータ捲線の各所に挿入されているもの
である。
セパレータで、ヒータ捲線の各所に挿入されているもの
である。
（第１図では、そのうちの１個所のみ図示−４は成形断
熱材でヒータの保持を主目的とするものである。
熱材でヒータの保持を主目的とするものである。
５はフェルト状断熱材、６は炉体ケース、１はヒータ支
持材で、加熱状態でのヒータ及び成形断熱材の曲りを防
止するものである。
持材で、加熱状態でのヒータ及び成形断熱材の曲りを防
止するものである。
しかし従来のこのような構造の炉では熱容量が大きく、
急速な加熱及び冷却は不可能であるし、またこの為に消
費電力が大きいなどの欠点がある。
急速な加熱及び冷却は不可能であるし、またこの為に消
費電力が大きいなどの欠点がある。
また一方では最近の半導体ウニ・・は生産効率の向上や
、超ＬＳＩなどの用途のために大形化の傾向にある。
、超ＬＳＩなどの用途のために大形化の傾向にある。
このようなウェハの大形化に伴い熱処理時のウェハの反
りを防ぐために電気炉の炉心管内を最初７００℃位にし
ておき、ウェー・を仲人後処理温度の１０００〜１１０
０℃に昇温し、所定ガスにより拡散処理を行った後再び
約７００℃まで降温し、その後にウニ・・を取り出す工
程がある。
りを防ぐために電気炉の炉心管内を最初７００℃位にし
ておき、ウェー・を仲人後処理温度の１０００〜１１０
０℃に昇温し、所定ガスにより拡散処理を行った後再び
約７００℃まで降温し、その後にウニ・・を取り出す工
程がある。
この為にその都度３００〜４００℃位の範囲の昇温、降
温をくり返す必要がある。
温をくり返す必要がある。
この昇温、降温時間の短縮が稼動率の向上に絶対必要条
件となって来る。
件となって来る。
この為の急速加熱、急速冷却炉として本出願人は実願昭
５２−１５５３４１号及び実願昭５３−６４１４８号と
して提案した「熱反射形拡散炉」及び「熱反射形電気炉
」があるが、本考案はさらにこれらの改良に関するもの
である。
５２−１５５３４１号及び実願昭５３−６４１４８号と
して提案した「熱反射形拡散炉」及び「熱反射形電気炉
」があるが、本考案はさらにこれらの改良に関するもの
である。
第３図及び第４図は、前記提案の一つの実施例を示す縦
断面及び横断面を示すもので、１はヒータ、８は石英な
どで作ったヒータ保持管、９は炉体ケースで内面に金コ
ーティングを施したもの、１０は熱伝導遮断空間で、前
記実願昭５３−６４１４８号は、さらにこの部分を真空
として対流による熱の移動を防いでいる。
断面及び横断面を示すもので、１はヒータ、８は石英な
どで作ったヒータ保持管、９は炉体ケースで内面に金コ
ーティングを施したもの、１０は熱伝導遮断空間で、前
記実願昭５３−６４１４８号は、さらにこの部分を真空
として対流による熱の移動を防いでいる。
１１はアルミナファイバーで、ヒータをヒータ保持管８
に固定するものである。
に固定するものである。
このような構造にするとヒータからの熱損失のうち、伝
導によるものは炉体ケースの端板９−１及びヒータ端子
線２を通るもののみとなり、極めて少くなり、また対流
による熱損失は前記実願昭５３−６４１４８号では熱伝
導遮断空間を真空にして防いでおり、輻射による熱損失
は前記の両提案とも炉体ケース内面に金コーティングを
施すことにより、輻射して来た赤外線を反射して再びヒ
ータ部分へ返している。
導によるものは炉体ケースの端板９−１及びヒータ端子
線２を通るもののみとなり、極めて少くなり、また対流
による熱損失は前記実願昭５３−６４１４８号では熱伝
導遮断空間を真空にして防いでおり、輻射による熱損失
は前記の両提案とも炉体ケース内面に金コーティングを
施すことにより、輻射して来た赤外線を反射して再びヒ
ータ部分へ返している。
しかし、このような構造では熱損失を極小に押えること
ができるが、その為には従来例のようなヒータ支持材に
よりヒータ保持管の曲りを押えることは熱損失上好まし
くない。
ができるが、その為には従来例のようなヒータ支持材に
よりヒータ保持管の曲りを押えることは熱損失上好まし
くない。
そこで本考案は熱損失を最小に押えたヒータ支持を提供
するものである。
するものである。
第５図は本考案の実施例であり、管状炉の分解図で１２
は二分割ケースで、そのうちの下側ケース１２−１の中
央部分にヒータ保持板１３が炉軸方向と直角方向にたる
み具合が調整可能なようにして複数個所に取付けられて
おり、このヒータ保持板の上に乗るように２本のヒータ
保持棒１４が炉軸と平行に、しかも炉軸に対して対称位
置にヒータ保持板に取付けられている。
は二分割ケースで、そのうちの下側ケース１２−１の中
央部分にヒータ保持板１３が炉軸方向と直角方向にたる
み具合が調整可能なようにして複数個所に取付けられて
おり、このヒータ保持板の上に乗るように２本のヒータ
保持棒１４が炉軸と平行に、しかも炉軸に対して対称位
置にヒータ保持板に取付けられている。
このヒータ保持板はたとえば、ステンレス鋼のように熱
伝導度が悪く、引張り強度の強い金属板で作られ、ヒー
タ保持棒は、たとえばアルミナのような耐熱絶縁物で作
・られている。
伝導度が悪く、引張り強度の強い金属板で作られ、ヒー
タ保持棒は、たとえばアルミナのような耐熱絶縁物で作
・られている。
これらの部材で組合せた管状炉の横断面が第６図である
。
。
図において１はヒータ、８はヒータ保持管、１０は熱伝
導遮断空間、１１はアルミナファイバー、１２−１は下
側ケース、１２−２は上側ケースで、これらのケースの
内面は何れも金コーティングが施されている、１３はヒ
ータ保持板、１４はヒータ保持棒、１５は上、下のケー
スの締付ボルトである。
導遮断空間、１１はアルミナファイバー、１２−１は下
側ケース、１２−２は上側ケースで、これらのケースの
内面は何れも金コーティングが施されている、１３はヒ
ータ保持板、１４はヒータ保持棒、１５は上、下のケー
スの締付ボルトである。
このような構造であるので、ヒータ保持管はケース両端
板の外にその中央部をヒータ保持板及びヒータ保持棒に
より保持されているので、加熱によるヒータ保持管のた
わみを押える事ができるばかりでな（、アルミナファイ
バを通して支えている為、これの変形によるたわみはボ
ルト１５をゆるめてヒータ保持板の引張り量を調節する
ことにより、正しくヒータ保持管を保持する事が可能で
ある。
板の外にその中央部をヒータ保持板及びヒータ保持棒に
より保持されているので、加熱によるヒータ保持管のた
わみを押える事ができるばかりでな（、アルミナファイ
バを通して支えている為、これの変形によるたわみはボ
ルト１５をゆるめてヒータ保持板の引張り量を調節する
ことにより、正しくヒータ保持管を保持する事が可能で
ある。
このような構造であれば熱容量が小さいので急熱、急冷
凍として効果が大きいばかりでなく、中央部においてヒ
ータ保持をしているため、ヒータ保持管の曲りがなく、
その寿命が飛躍的に長くなるので、経済的効果が極めて
大きい。
凍として効果が大きいばかりでなく、中央部においてヒ
ータ保持をしているため、ヒータ保持管の曲りがなく、
その寿命が飛躍的に長くなるので、経済的効果が極めて
大きい。
第１図は従来の環状炉の縦断面図。
第２図は従来の環状炉の横断面図。
第３図は新提案の熱反射形環状炉の縦断面図。
第４図は新提案の熱反射形環状炉の横断面図。
第５図は本考案の熱反射形環状炉の分解図。
第６図は本考案の熱反射形環状炉の横断面図。
Claims (1)
- 炉軸と同心の環状加熱体の外周と外壁管の間に空間を設
け、この外壁管の内面を赤外線反射面とした熱反射形拡
散炉において、上下に二分割した外壁管と、これらの外
壁管により挾持された複数個のヒータ保持板と、これら
のヒータ保持板上にまたがる様にして固定されたヒータ
保持棒を有することを特徴とする熱反射形拡散炉のヒー
タ保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10803778U JPS581992Y2 (ja) | 1978-08-08 | 1978-08-08 | 熱反射形拡散炉のヒ−タ保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10803778U JPS581992Y2 (ja) | 1978-08-08 | 1978-08-08 | 熱反射形拡散炉のヒ−タ保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5524768U JPS5524768U (ja) | 1980-02-18 |
| JPS581992Y2 true JPS581992Y2 (ja) | 1983-01-13 |
Family
ID=29052712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10803778U Expired JPS581992Y2 (ja) | 1978-08-08 | 1978-08-08 | 熱反射形拡散炉のヒ−タ保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS581992Y2 (ja) |
-
1978
- 1978-08-08 JP JP10803778U patent/JPS581992Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5524768U (ja) | 1980-02-18 |
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