JPS58191514A - Surface acoustic wave device - Google Patents
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- JPS58191514A JPS58191514A JP7383382A JP7383382A JPS58191514A JP S58191514 A JPS58191514 A JP S58191514A JP 7383382 A JP7383382 A JP 7383382A JP 7383382 A JP7383382 A JP 7383382A JP S58191514 A JPS58191514 A JP S58191514A
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- H03H9/02—Details
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- H03H9/0296—Surface acoustic wave [SAW] devices having both acoustic and non-acoustic properties
- H03H9/02968—Surface acoustic wave [SAW] devices having both acoustic and non-acoustic properties with optical devices
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、圧電体薄膜の表面にインターディジタル電極
及びマルチストリップカプラーを設け、マルチストリッ
プカプラーのトラック分離部分を形状変更したり、光導
電性膜で置換したり、又はインターディジタル電極の歯
部と基部との接合する部分を光導電性膜で置換した弾性
表面波装置に関する。Detailed Description of the Invention The present invention provides an interdigital electrode and a multi-strip coupler on the surface of a piezoelectric thin film, and changes the shape of the track separation portion of the multi-strip coupler, replaces it with a photoconductive film, or The present invention relates to a surface acoustic wave device in which the connecting portion between the teeth and the base of an interdigital electrode is replaced with a photoconductive film.
第１図は、弾性表面波装置の斜視図で１ケ、［絶縁基板
であるが、圧電性薄膜（図示せず）を使用しなければ、
ニオブ酸りチウム（Ｌ ＋ ＮＯ３）単結晶あるいは水
晶等よりなる圧電体でもよい。２は人力インターディジ
タル電極（以下入カドランスデューサと称す）、３は出
力インターディジタル電極（以下出カドランスデューサ
と称す）でともにアルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ ）
等の金属よりなっている。Figure 1 is a perspective view of a surface acoustic wave device.
A piezoelectric material made of lithium niobate (L + NO3) single crystal, quartz, or the like may be used. 2 is a manual interdigital electrode (hereinafter referred to as input transducer), and 3 is an output interdigital electrode (hereinafter referred to as output transducer), both of which are made of aluminum (Al) and gold (Au).
Made of metals such as
４はマルチストリップカプラーである。トランスナユー
サ２．３は外部回路への普通の電気結線をもつがマルチ
ストリップカプラー４は外部結線をもつ必要がなくて相
互に電気的に絶縁しなければならない。次にマルチスト
リップカプラー４を用いた従来の弾性表面波装置につい
て、第２図をもとにして詳述する。現在の時点でのマル
チストリップカプラー４の代表的な応用例には、フィル
タと遅延線がある。まず第２図にフィルタの構成を示す
。２′は入カドランスデューサとしてのアポダ・イズイ
ンターデイジタル電極、３′は出カドランスデューサと
してのアポダイズインターデイジタル電極、５はトラッ
クＡ、６はトラック分離部分、７はトラックＢである。4 is a multi-strip coupler. The transnausers 2.3 have conventional electrical connections to external circuits, but the multistrip couplers 4 need not have external connections and must be electrically isolated from each other. Next, a conventional surface acoustic wave device using the multi-strip coupler 4 will be described in detail with reference to FIG. Typical applications for multistrip couplers 4 at present include filters and delay lines. First, FIG. 2 shows the configuration of the filter. 2' is an apodized interdigital electrode as an input transducer, 3' is an apodized interdigital electrode as an output transducer, 5 is a track A, 6 is a track separation portion, and 7 is a track B.
入カドランスデューサ２′で励起された表面波の伝播路
をトラックＡ５、出カドランスデューサ３′へ入射する
表面波の伝播路をトラックＢ７と呼べばマルチストリッ
プカプラー４の働きは、トラックＡ５からトラックＢ７
への表面波のエネルギー変換ということになる。つまり
表面波がトラックＡ５からトラック分離部分６を１黄切
ってトラックＢ７にのびるマルチストリップカプラー４
の配列に結合すると、互いに隣接する導線間に交番電界
が生じる。この電界によりマルチストリップカプラー４
のトラックＡ５からトラックＢＴに表面波が誘起される
。さらにマルチス） ＩＪツブカプラー４は、こ−の変
換過程で空間的に不均一な表面波を均一化する作用をも
つため、入出力のトランスデユーサにともにアポダイズ
インターデイジタル電甑を用いることができ、それぞれ
の周波数Ｈ１（ω）、Ｈ２（ω）の積の形Ｈ（ω）−Ｈ
ｌ（ω）・Ｈ２（（Ｏ） でフィルタ特性を実現する
ことができる。又第２図の構成で明らかなように、従来
からマルチストリップカプラー４で発生するスプリアス
を抑制するために、トラックＡ５及びトラックＢＴの間
に若干の間隙すなわちトランク分離部分６を設けるのを
常としている。If the propagation path of the surface wave excited by the input quadrature transducer 2' is called track A5, and the propagation path of the surface wave incident on the output quadrature transducer 3' is called track B7, the function of the multi-strip coupler 4 is as follows from track A5. Track B7
This is the energy conversion of surface waves into . In other words, the multi-strip coupler 4 where the surface wave cuts through the track separation part 6 from the track A5 and extends to the track B7.
When coupled in an array, an alternating electric field is created between adjacent conductors. This electric field causes the multi-strip coupler 4 to
A surface wave is induced from track A5 to track BT. Furthermore, since the IJ tube coupler 4 has the effect of homogenizing spatially non-uniform surface waves during this conversion process, apodized interdigital electric coils can be used for both the input and output transducers. , the product form H(ω)-H of the respective frequencies H1(ω) and H2(ω)
A filter characteristic can be realized by l(ω)・H2((O). Also, as is clear from the configuration shown in FIG. It is customary to provide a slight gap or trunk separation portion 6 between the trunk and the truck BT.
しかしながら、従来のトラック分離部分６での表面波の
励起が、挿入損失および予想不能なアザ−スプリアス発
生の原因となる等の問題を有していた。However, the excitation of surface waves in the conventional track separation section 6 has had problems, such as causing insertion loss and unpredictable generation of other spurious.
本発明は、上記欠点を解決するためにマルチスト１１ツ
ブカプラー４のトラック分離部分６を幅狭にしたり光導
電性膜で置換したり等の工夫をこらしてスプリアスの発
生を抑えることを目的とするものである。In order to solve the above-mentioned drawbacks, the present invention aims to suppress the generation of spurious waves by making the track separation portion 6 of the multi-strike 11 tube coupler 4 narrower or replacing it with a photoconductive film. It is.
次に第１図、第２図、第３図に示す弾性表面波装置の好
ましい実施例について詳述すると、本発明の弾性表面波
装置は、絶縁基板１とＩＥ電体薄膜（図示せず）と入カ
トラノス、ｒユーサ２．２′と出カドランスデューサ３
．３′とマルチストリップカプラー４′とトラック部分
５．７とトラック分離部分６とから成っている。入カド
ランスデューサ及び出カドランスデューサとしてのイン
ターディジタル市、極２．２′、３．３′は、歯部が互
い違いに配置されるとともに重なり合わないように形成
さえし、／之も：９でちる。そして複数のトラック部分
５．７は、千電体薄膜で形成された表面波伝播経路であ
る。更にトラック分離部分６は、トラック部分の接合領
域である。又マルチストリップカプラー４′は、表面波
伝播経路中に設けられかつトラック部分５、Ｉ相互を架
橋し、トラック分離部分６に対応する部分を幅狭にした
電極群から成っているものである。そして上記のように
構成したので次の様な作用が生じる。つまり電極幅が異
なるためスプリアス波の励起効率をトラック分離部分６
で小さく抑えることができる。この理由はマルチストリ
ップカプラー４の電極幅が、上から下まで一定の場合ト
ラックＡ５の信号によってトラック分離部分６とトラッ
ク部分ＢＴとに同程度の強度で表面波が発生する。そう
すると元の信号と発生した信号との間に位相差があるた
めスプリアスが生じやすい。ところがトラック分離部分
６でマルチストリップカプラー４′の電極幅がことなっ
ているのでこの部分に発生する信号の強度が他より小さ
くなるだめ干渉効果がある。Next, a preferred embodiment of the surface acoustic wave device shown in FIGS. 1, 2, and 3 will be described in detail. and input Katranos, rUsa 2.2' and output Katranosu 3
．． 3', a multi-strip coupler 4', a track section 5.7 and a track separation section 6. The interdigital poles 2.2', 3.3' as input and output transducers are formed in such a way that the teeth are arranged alternately and do not overlap, and/or: 9 Dechiru. The plurality of track portions 5.7 are surface wave propagation paths formed of a thin electrolyte film. Furthermore, the track separation portion 6 is a joining area of the track portions. The multi-strip coupler 4' is provided in the surface wave propagation path and consists of a group of electrodes that bridge the track portions 5 and I and have a narrow portion corresponding to the track separation portion 6. Since the configuration is as described above, the following effects occur. In other words, since the electrode widths are different, the excitation efficiency of spurious waves is
can be kept small. The reason for this is that when the electrode width of the multi-strip coupler 4 is constant from top to bottom, a surface wave with the same intensity is generated in the track separation portion 6 and the track portion BT by the signal of the track A5. In this case, since there is a phase difference between the original signal and the generated signal, spurious signals are likely to occur. However, since the electrode widths of the multi-strip coupler 4' are different in the track separation part 6, the intensity of the signal generated in this part is smaller than in other parts, resulting in an interference effect.
次に第４図、第５図を基にしてマルチス） ＩＪノブカ
プラー４のトランク部分に光導電性膜をＬ・己設した場
合を、従来例として記載する。尚これは特開昭５３−１
２２５２及び特開昭５３−１９７４１の抜粋である。２
は入カドランスデューサ、３“は出力トランスデユーサ
、４はマルチストリップカプラー、１１は光導電性膜で
ある。人出力トランスデユーサ２．３“間で送受される
弾性表面波の伝送特性は、各電極の伝送関数の積と、そ
の電極間距離によって決まる。全体の伝送特性Ｆ（ω）
は次式で表わされる。Next, a conventional example in which a photoconductive film is provided on the trunk portion of the IJ knob coupler 4 will be described based on FIGS. 4 and 5. This is Japanese Patent Application Publication No. 53-1
2252 and an excerpt from JP-A-53-19741. 2
is an input transducer, 3" is an output transducer, 4 is a multi-strip coupler, and 11 is a photoconductive film. The transmission characteristics of the surface acoustic waves transmitted and received between the human output transducers 2 and 3" are , is determined by the product of the transfer function of each electrode and the distance between the electrodes. Overall transmission characteristic F(ω)
is expressed by the following equation.
ただし、ｆｅ：入カドランスデューサ２の伝達関数
ｆｒ、 ：化カドランスデューサ３“の領域５上にある
部分の伝達関数
ｆｒ２：化カドランスデューサ３“の領域７上にある部
分の伝達関数
Ｌ：電極２．３“の中心間距離
■１、■２：表面波速度
光が光導電性膜１１．．１１’上に照射されて、マルチ
ストリップカプラー４が短絡されると、化カドランスデ
ューサ３“のうち領域Ｔ上の部分では表面波が受波され
ないから、上式は次のように表わされる。where, fe: Transfer function fr of input quadrature transducer 2, : Transfer function L of a portion located on region 5 of quadrature transducer 3'' fr2: Transfer function L of a portion located above region 7 of quadrature transducer 3'' : Distance between centers of electrodes 2.3'' ■1, ■2: When surface wave velocity light is irradiated onto the photoconductive film 11..11' and the multi-strip coupler 4 is short-circuited, the photoconductor transducer Since surface waves are not received in the portion of the region T of 3", the above equation can be expressed as follows.
よって、九の照射を制御することによって、入力信号の
位相可変、遅延時間選択、」辰幅可変、および符号化な
どが容易に行なえることになる。Therefore, by controlling the irradiation of the input signal, it is possible to easily vary the phase of the input signal, select the delay time, vary the width of the input signal, and perform encoding.
次に第２図、第６図、第７図に示すトラック分離部分６
金光導電性膜１２．１２−１〜１２−Ｍで置換したマル
チストリップカプラー４“を用いた弾性表面波装置の好
ましい実施例について詳述すると、本発明の弾性表面波
装置は、絶縁基板１と、ＩＥ電性薄膜と、入カドランス
デューサ２′と、化カドランスデューサ３′と、トラッ
ク部分５．７・と、トラック分離部分６と、マルチスト
リップカプラー４“と、光導電性膜１２．１２−１〜１
２−Ｍ、とから成っている。入カドランスデューサ及び
出力トランスデユーサとしてのインターディジタルｔｍ
２’、３’は、歯部が互い違いに配置されるとともに重
なり合わないように形成されたものである。そしてマル
チストリップカプラー４“は、トラック分離部分６で切
断されていてその代りに光導電性膜１２、又は相斤に異
なった光導電性膜１２−１〜１２−Ｍで置換したもので
ある。又複数のトラック部分５．７は、圧電体薄膜で形
成された表面波伝播経路である。更にトラック分離部分
６は、トラック部分５．７の接合領域である。そして更
に光導電性膜１２．１２−１〜１２−４１、は、硫化カ
ドミ・ラム（ＣｄＳ ）や酸化亜鉛（ＺｎＯ）などから
なっているものである。Next, the track separation portion 6 shown in FIGS. 2, 6, and 7
Describing in detail a preferred embodiment of a surface acoustic wave device using multi-strip couplers 4'' substituted with gold photoconductive films 12.12-1 to 12-M, the surface acoustic wave device of the present invention has an insulating substrate 1 and , IE conductive thin film, input quadrature transducer 2', catalytic transducer 3', track portion 5.7, track separation portion 6, multi-strip coupler 4'', photoconductive film 12. 12-1~1
2-M. Interdigital tm as input transducer and output transducer
2' and 3' are formed such that the tooth portions are arranged alternately and do not overlap. The multi-strip coupler 4'' is cut at the track separation portion 6 and replaced with a photoconductive film 12 or different photoconductive films 12-1 to 12-M. Further, the plurality of track portions 5.7 are surface wave propagation paths formed of piezoelectric thin films.Furthermore, the track separation portion 6 is a bonding region of the track portions 5.7.Furthermore, the photoconductive film 12. 12-1 to 12-41 are made of cadmium sulfide (CdS), zinc oxide (ZnO), or the like.
第６１：４の場合は、照射させる光の強度あるいは照射
面積を変えることで、マルチストリップカプラー４“に
よるトラック間の表面波エネルギー変換率を直接に制御
できる。つまり、ある波長ある強度の光を照射したとき
、完全エネルギー変換本数をＮＴとすると、マルチスト
リップカプラーがＭ本のときのエネルギー変換率は
ＰＡ −＝ Ｐｉｎ ｃｏｓ （πＭ／ ２Ｎ
Ｔ ）Ｐ Ｂ ＝ Ｐ ｉｎ ｓｉｎ （１ｔＭ／
２ＮＴ ）とかける。その為に異なる２つの振幅のもの
を合成することにより発振周波数を可変にすることがで
きる。即ちマルチストリップ・カプラー４“のトラック
分離部分６に光導電性膜１２を設け、そこに光を照射し
た場合次の様になる。つ捷り光が照射され４いと光導電
性膜１２の抵抗値が高いのでその電極がないのと同じで
ある。しかしながら光が照射されると抵抗値が低くなっ
て電極があるのと同じになる。いわゆる光の強度を変え
たり照射面積を変えることにより、マルチストリップカ
プラー４“にスイッチ機能を持、ｔせることかできる。In the case of No. 61:4, by changing the intensity of the irradiated light or the irradiated area, the surface wave energy conversion rate between tracks by the multi-strip coupler 4'' can be directly controlled. When irradiating, if the number of complete energy conversion is NT, the energy conversion rate when there are M multi-strip couplers is PA −= Pin cos (πM/ 2N
T ) P B = P in sin (1tM/
2NT). Therefore, the oscillation frequency can be made variable by combining two different amplitudes. That is, when the photoconductive film 12 is provided on the track separation portion 6 of the multi-strip coupler 4'' and light is irradiated thereon, the following will occur.When the light is irradiated, the resistance of the photoconductive film 12 increases. Since the value is high, it is the same as if there were no electrode. However, when light is irradiated, the resistance value decreases and becomes the same as if there was an electrode. By changing the so-called light intensity or irradiation area, The multi-strip coupler 4" has a switch function and can be turned on or off.
又第７図の場合は、光導電性膜１２−１〜１２−Ｍの夫
々が複数の種類の光導電性材料からなっているので照射
光の波長によって様々の動作をする様になる。Ｌ’ｌ］
ち夫々の光導電性膜にのみ感応する波長をもった光を照
射することによってマルチストリップカプラー４“の任
意の電極のみが低抵抗値になる。Further, in the case of FIG. 7, since each of the photoconductive films 12-1 to 12-M is made of a plurality of types of photoconductive materials, they perform various operations depending on the wavelength of the irradiated light. L'l]
By irradiating light with a wavelength sensitive only to each photoconductive film, only any electrode of the multi-strip coupler 4'' has a low resistance value.
故にスイッチ機能を持たせることができる。Therefore, it can have a switch function.
次に第２図、第８図、第９図に示す入出カドランスデュ
ーサの一部分を光導電性膜で置換した弾性表面波装置の
好ましい実施例について詳述すると、本発明の弾性表面
波装置は、絶縁基板と、圧電体薄膜と、入出カドランス
デューサ１３．１３’と、光導電性膜１４．１５とマル
チストリソブカプラー４とトラック部分５．７とトラッ
ク分離部分６とから成っている。マルチストリップカプ
ラー４は、トラックＡからトラックＢに表面波を誘起す
るものである。そしてトラック部分５．７は圧電体薄膜
で形成された表面波伝播経路である。更にトランク分離
部分６は、トラック部分５、Ｔの接合領威である。人出
カドランスデューサは、その南部１３′がゼＳ部１３か
ら切離されているものである。そして光導電性膜１４．
１５は硫化カドミウム（ＣｒｌＳ）や酸化亜鉛（ＺｎＯ
）などからなっているものである。又上記のように構成
したので次の様な作用が生じる。第９図は第８図の光導
電性膜１４．１５を可変抵抗１４． 、Ｒ２で置き換え
たものである。まず光導電性膜１４にのみ光を照射する
と抵抗値はＲ，＜ＥＬ２と々すλを波長とした表面波の
励起受信ができるようになる。又この時１（、、〜Ｒ２
とすれば１／３を波長とした表面波の操作が可能になる
。つまりＲ１を場所によって異なる強度の光で照射すれ
ば、抵抗分割可変重み付はトランスデユーサを構成でき
る。即ち人出カドランスデー上−サ１３．１３′の基部
と歯部の接合部分の光導電性膜に照射する光の強度を変
えることによりスイッチ機能を持たせることができる。Next, a preferred embodiment of a surface acoustic wave device in which a part of the input/output quadrant transducer shown in FIG. 2, FIG. 8, and FIG. 9 is replaced with a photoconductive film will be described in detail. , an insulating substrate, a piezoelectric thin film, an input/output quadrant transducer 13.13', a photoconductive film 14.15, a multi-strip coupler 4, a track portion 5.7, and a track separation portion 6. The multi-strip coupler 4 induces a surface wave from track A to track B. The track portion 5.7 is a surface wave propagation path formed of a piezoelectric thin film. Furthermore, the trunk separation section 6 is the joining region of the track section 5,T. The turn-out quadrant transducer has its southern part 13' separated from the Z section 13. and photoconductive film 14.
15 is cadmium sulfide (CrlS) and zinc oxide (ZnO
), etc. Further, since the structure is configured as described above, the following effects occur. FIG. 9 shows the photoconductive film 14.15 of FIG. , R2. First, when only the photoconductive film 14 is irradiated with light, the resistance value becomes R, <EL2, and surface wave excitation and reception with a wavelength of λ becomes possible. Also at this time 1 (,, ~R2
If so, it becomes possible to manipulate surface waves with a wavelength of 1/3. In other words, by irradiating R1 with light of different intensities depending on the location, a resistance division variable weighting transducer can be constructed. That is, a switching function can be provided by changing the intensity of light irradiated to the photoconductive film at the joint portion between the base and the teeth of the turntable 13, 13'.
その結果入出カドランスデューサのくし歯間隔が変わる
ことになるので表面波の入射波長を選択できることにな
る。As a result, the interval between the comb teeth of the input and output quadrature transducers changes, so the incident wavelength of the surface wave can be selected.
以上の実施例からも明らかなようにまずトラック分離部
分の幅がトラック部分よりも狭１つだマルチス） ＩＪ
ツブカプラーを使用した弾性表面波装置は、表面波の励
起効率をトラック分離部分で小さく抑えることができる
。従ってスプリアス特性及び挿入損失を改善できる。例
えばトラック分離部分の幅とトラック部分の幅ｄ１ と
ｄ２ の比をｄ１／ｄ２”０．２程度とすＩＬ！、ｉ
、スプリアスレベルを約６ ｄＢ、挿入損失を１〜２ｄ
Ｂ程度改善できる効果がある。次にマルチストリップカ
プラーのトラック分離部分を切断して光導電性膜で置換
し／、：１弾性表向波装置は、照射させる光の強度ある
いは照射面積又は入射光の波長を変えることができる。As is clear from the above examples, first, the width of the track separation part is narrower than the track part.
A surface acoustic wave device using a tube coupler can keep the surface wave excitation efficiency small at the track separation portion. Therefore, spurious characteristics and insertion loss can be improved. For example, if the ratio of the width of the track separation part to the width of the track part d1 and d2 is about d1/d2"0.2, IL!, i
, spurious level about 6 dB, insertion loss 1-2 d
It has the effect of improving the level of B. The track separation portion of the multi-strip coupler is then cut and replaced with a photoconductive film./:1 The surface acoustic wave device can vary the intensity of the irradiated light, the irradiated area, or the wavelength of the incident light.
従ってトラック間の表面波エネルギー変換率を直接に制
御できる効果がある。更に入出力トランスゲ１−サの基
部と歯部を切断して光導電性膜で置換した弾性表面波装
置は、照射させる光の強度あるいは旧劇面積を変えるこ
とができる。従って光導′屈性膜を場所によって異なる
強度の光で照射すれば、抵抗分割可変重み付はトランス
デユーサを構成でり＼る効果がある。Therefore, there is an effect that the surface wave energy conversion rate between tracks can be directly controlled. Furthermore, a surface acoustic wave device in which the base and teeth of the input/output transducer are cut off and replaced with a photoconductive film can change the intensity or area of the irradiated light. Therefore, if the light guiding film is irradiated with light of different intensities depending on the location, the resistive division variable weighting has the effect of forming a transducer.
第１図は弾性表面波装置の斜視図、第２図は従来の弾性
表面波フィルタの平面図、第３図は本発明のトラック分
離部分に相当する箇所の電極幅を狭く［７たマルチスト
リップカプラーの平面図、第６図は本発明のトラック分
離部分に相当する箇所のｔｗＩＬを光導電性膜で置換し
たマルチストリップカプラーの平面図、第７図は第６図
の光導電性膜を複数の種類の光導電性材料で充当したマ
ルチストリップカプラーの平面図、第８図は歯部と基部
との接合する部分を光導電性膜に置換したインターディ
ジタル電極の平面図、第９図は第８図の光ｎ 礒（’ｌ
！ｉ’！に抵抗分割の可変確み付・けを施したインタ
ーディジタル電極の回路図、第４図、第５図はマルチス
トリップカプラーのトラック部分に光導電性膜を施こし
た従来例の平面図。
１・・・・・・・・・圧電体
２・・・・・・・・・入カイ／ターディジタル電極２′
・・・・・・入カドランスデューサとしてのアポダイ
ズインターデイジタル電極
３．３”、・・・出力インターディジタル電極３′ ・
・・・・・出カドランスデューサとしてのアポダイズイ
ンターデイジタル電極
４・・・・・・・・マルチストリップカプラー４′ ・
・・・・・トラック分離部分を狭くしたマルチストリッ
プカプラー
４“ ・・・・・・トラック分離部分を切断。Ｘれたマ
ルチストリップカプラー
５・・・・・・・・・トラックＡ部分
６・・・・・・・・トラック分離部分
７・・・・・・・・・トラフ２８部分
１１．１１′、１２．１２−１〜１２−ｊψ、１４．１
５・・・・・・光導電性膜
１３・・・・・・インターディジタル電極の基部１３′
・・・・・インターディジタル電極の歯部代理人 弁理
士 守 谷 −雄
第 ｔ 刊
第 ２ 区
４３ 図
６１−
第４ 図
弗 ５ 園
〃′
弗 ６ 図FIG. 1 is a perspective view of a surface acoustic wave device, FIG. 2 is a plan view of a conventional surface acoustic wave filter, and FIG. A plan view of a coupler, FIG. 6 is a plan view of a multi-strip coupler in which twIL corresponding to the track separation portion of the present invention is replaced with a photoconductive film, and FIG. 7 is a plan view of a multi-strip coupler in which a plurality of photoconductive films of FIG. FIG. 8 is a plan view of a multi-strip coupler filled with photoconductive material of the type shown in FIG. 8 figure light n 礒('l
! i'! FIGS. 4 and 5 are plan views of a conventional example in which a photoconductive film is applied to the track portion of a multi-strip coupler. FIGS. 1...Piezoelectric body 2...Input/tertiary electrode 2'
...Apodized interdigital electrode 3.3" as input transducer, ...output interdigital electrode 3' ・
...Apodized interdigital electrode 4 as an output transducer ...Multi-strip coupler 4'
...Multi-strip coupler 4 with a narrow track separation part...Cut off the track separation part.Xed multi-strip coupler 5...Track A part 6... ......Track separation part 7...Trough 28 part 11.11', 12.12-1 to 12-jψ, 14.1
5...Photoconductive film 13...Base 13' of interdigital electrode
・・・・・・Interdigital electrode teeth representative Patent attorney Moritani-Yu No. t Publication 2nd Ward 43 Figure 61- 4 Figure 弗 5 Sono 〃' 6 Figure
Claims (1)
該圧電体薄膜上にあって歯部が互い違いに配置されると
ともに重なり合わないように形成された入カドランスデ
ューサ及び化カドランスデューサとしてのインターディ
ジタル電極と、前記圧電体薄膜で形成された表面波伝播
経路としての複数のトラック部分と、該トラック部分の
接合領域であるトラック分離部分と、該表面波伝播経路
中に設けられかつ前記トランク部分相互を架橋し該トラ
ック分離部分に対応する部分を幅狭にした電極群から成
っているマルチストリップカプラーとを具偏してなるこ
とを特徴とする弾性表面波装置。 ２、 前記インターディジタル電極の歯部と基部との接
合する部分が光導電性膜からなる特許請求の範囲第１項
記載の弾性表面波装置。 ３、前記マルチストリップカプラーのトラック分離部分
が光導電性膜からなる特許請求の範囲第１項又は第２項
記載の弾性表面波装置。[Claims] 1. An insulating substrate, a piezoelectric thin film provided on the substrate,
interdigital electrodes as input quadrature transducers and catalytic transducers formed on the piezoelectric thin film so that their teeth are alternately arranged and do not overlap; and a surface formed of the piezoelectric thin film. A plurality of track portions as wave propagation paths, a track separation portion that is a joining area of the track portions, and a portion provided in the surface wave propagation path and bridging the trunk portions and corresponding to the track separation portion. A surface acoustic wave device comprising a multi-strip coupler comprising a group of narrow electrodes. 2. The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the portion where the tooth portion of the interdigital electrode and the base portion are joined is made of a photoconductive film. 3. The surface acoustic wave device according to claim 1 or 2, wherein the track separation portion of the multi-strip coupler is made of a photoconductive film.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7383382A JPS58191514A (en) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | Surface acoustic wave device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7383382A JPS58191514A (en) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | Surface acoustic wave device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58191514A true JPS58191514A (en) | 1983-11-08 |
Family
ID=13529532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7383382A Pending JPS58191514A (en) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | Surface acoustic wave device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58191514A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0103932A2 (en) * | 1982-09-20 | 1984-03-28 | Philips Electronics Uk Limited | Acoustic surface wave device |
| JPS63217705A (en) * | 1987-03-05 | 1988-09-09 | Canon Inc | Signal processing element |
| US6577210B1 (en) * | 1998-03-11 | 2003-06-10 | Fujitsu Limited | Surface acoustic wave filter having plural propagation paths and a coupler |
-
1982
- 1982-04-30 JP JP7383382A patent/JPS58191514A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0103932A2 (en) * | 1982-09-20 | 1984-03-28 | Philips Electronics Uk Limited | Acoustic surface wave device |
| JPS63217705A (en) * | 1987-03-05 | 1988-09-09 | Canon Inc | Signal processing element |
| US6577210B1 (en) * | 1998-03-11 | 2003-06-10 | Fujitsu Limited | Surface acoustic wave filter having plural propagation paths and a coupler |
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