JPS5818606B2 - 渦電流式変位変換器の温度補償方法 - Google Patents

渦電流式変位変換器の温度補償方法

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JPS5818606B2
JPS5818606B2 JP52110188A JP11018877A JPS5818606B2 JP S5818606 B2 JPS5818606 B2 JP S5818606B2 JP 52110188 A JP52110188 A JP 52110188A JP 11018877 A JP11018877 A JP 11018877A JP S5818606 B2 JPS5818606 B2 JP S5818606B2
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JP
Japan
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voltage
temperature compensation
eddy current
bridge
detection coil
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Expired
Application number
JP52110188A
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English (en)
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JPS5443764A (en
Inventor
敏嗣 植田
扶佐夫 幸坂
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Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Works Ltd
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Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Works Ltd filed Critical Yokogawa Electric Works Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、渦電流式変位変換器の温度補償方法に関する
ものであり、特に検出コイルを交流ブリッジの一辺に挿
入するとともに、ブリッジの出力を電源電圧により同期
整流するように構成された渦電流式変位変換器の温度補
償方法に関するものである。
渦電流式変位変換器のように検出コイルのインダクタン
ス変化を交流ブリッジを使用して測定する装置において
、その温度補償を行なおうとした場合、従来は検出コイ
ルと同様のコイルをダミーコイルとして設け、ブリッジ
の一辺に挿入していた。
しかしながら、このような装置においては数(%)程度
の精度の補償は可能であるが、それ以上の高精度の補償
を行なうことはできなかった。
本発明は上記のような従来装置の欠点をなくし、測定系
に悪影響を与えることなく高精度の温度補償を行なうこ
とのできる渦電流式変位変換器の温度補償方法を提供す
ることを目的としたものである。
本発明の渦電流式変位変換器の温度補償方法は、検出コ
イルを交流ブリッジの一辺に挿入するとともに、ブリッ
ジの出力を電源電圧により同期整流するように構成され
た渦電流式変位変換器において、検出コイルを銅線のよ
うに比較的大きな温度係数を有する線材を用いて製作す
るとともに、ブリッジの電源電圧に直流電圧を重畳し、
この直流電圧により検出コイルの両端間に現われる電圧
を利用して検出コイルの温度を検出し、適切な温度補償
を行なおうとするものである。
以下、図面を用いて本発明の渦電流式変位変換器の温度
補償方法を説明する。
第1図は本発明の温度補償方法を適用した渦電流式変位
変換器の一実施例を示す構成図である。
図において、R1−R3は抵抗、C1,C2はコンデン
サ、Lは検出コイル、ACは交流電源、DCは直流電源
、SRは同期整流回路、LPFは低域通過フィルタ、F
UNは演算器である。
検出コイルLとコンデンサC1とは共振回路を構成する
とともに、抵抗R1〜R3よりなるブリッジの一辺に挿
入されている。
コンデンサC2は直流カド用のコンデンサである。
ブリッジには交流電源ACおよび直流、電源DCが接続
されており、ブリッジの出力は同期整流回路SRに印加
されて、電源電圧により同期整流されている。
また、検出コイルLの両端間に現われる電圧は、低域通
過フィルタLPFおよび演算器FUNを介して同期整流
回路SRの電力電圧VSRに加算される。
以上のように構成された渦電流式変位変換器の動作は次
の通りである。
まず、被測定変位量に対応して検出コイルLのインダク
タンスが変化すると、この変化はブリッジの出力電圧と
して現われ、同期整流回路SRに入力される。
ここで、同期整流回路SRにはコンデンサC2を介して
ブリッジの電源電圧が印加されているので、ブリッジの
出力は実質的に交流電源ACの電圧により同期整流され
ることになり、ブリッジの出力に混入している直流分は
同期整流回路SRにより消去され、その出力電圧VSR
には直流電源DCの影響は現われてこない。
しかしながら、温度の影響により検出コイルのLのイン
ダクタンスまたは抵抗等が変化した場合には、検出誤差
となって、同期整流回路SRの出力電圧VSRに現われ
てくる。
次に、検出コイルLの両端間に現われる電圧について考
えてみる。
この電圧は、交流電源ACと直流電源DCの双方により
生ずるものであるが、低域通過フィルタLPFを通過し
た電圧VLは直流電源DCの作用により発生したもので
ある。
ここで、検出コイルしは銅線のように比較的大きな温度
係数αを持った線材を用いて製作されたものであるから
、温度T1における抵抗値R1は次式のように表わされ
る。
R1=Ro+α(To−TI ) (1)こ
こで、Roは温度Toにおける抵抗値、したがって、低
減通過フィルタLPFを介して得られる直流電圧VLは
、検出コイルLに流れる電流の直流分をiDとすると、 VL=iD0R1=iD(Ro+α(To−T1))(
2) となり、検出コイルLの温度に対応した大きさを有する
直流電圧となる。
本発明の渦電流式変位変換器の温度補償方法では、この
直流電圧VLを演算器FUNを介して補補償信号VDC
に変換し、同期整流回路SRの出力電圧VSRに加算す
るようにしている。
このため、演算器FUNの特性を適尚に選択することに
より、高精度の温度補償を行なうことができる。
なお、演算器FUNの特性は温度誤差の性質に合わせて
決定されるもので、例えば、誤差分の補償が直流電圧V
Lの一次関数で実現できるものであれば、演算器FUN
は単なる増1福器でよいことになる。
第2図は本発明の温度補償方法を適用した渦電流式変位
変換器の他の実施例を示す構成図である。
図に示す装置は、ブリッジの一辺に温度補償用のダミー
コイルLDおよびコンデンサCDを有するもので、他の
部分は前記第1図の装置と同様である。
第2図の装置においては、大まかな温度補償はダミーコ
イルLDで行ない、高精度の温度補償は本発明の温度補
償方法を利用して行なうようにしたものである。
すなわち、ダミーコイルLDの働きによりブリッジの内
部で初期の温度補償を行ない、さらに同期整流回路SR
の出力電圧VSRに温度補償信号VDCを加算すること
により高精度の温度補償を行なうようにしたものである
以上説明したように本発明の渦電流式変位変換器の温度
補償方法では、検出コイルを銅線のように比較的大きな
温度係数を有する線材を用いて製作するとともに、ブリ
ッジの電源電圧に直流電圧を重畳し、この直流電圧によ
り検出コイルの両端間に現われる電圧を利用して検出コ
イルの温度を検出し、温度補償を行なうようにしている
ので、測定系に悪影響を与えることなく高精度の温度補
償を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は本発明の温度補償方法を適用した
渦電流式変位変換器の実施例を示す構成図である。 SR・・・・・・同期整流回路、LPF・・・・・・低
域通過フィルタ、FUN・・・・・・演算器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 検出コイルを交流ブリッジの一辺に挿入するととも
    にブリッジの出力を電源電圧により同期整流するように
    構成された渦電流式変位変換器において、前記検出コイ
    ルを比較的大きな温度係数を有する線材を用いて製作す
    るとともに、前記ブリッジの電源電圧に直流電圧を重畳
    し、この直流電圧により前記検出コイルの両端間に現わ
    れる電圧を利用して温度補償信号を作り前記同期整流回
    路の出力電圧に加算するようにしてなる渦電流式変位変
    換器の温度補償方法。
JP52110188A 1977-09-13 1977-09-13 渦電流式変位変換器の温度補償方法 Expired JPS5818606B2 (ja)

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JPS5443764A JPS5443764A (en) 1979-04-06
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03225223A (ja) * 1990-01-31 1991-10-04 Komatsu Ltd 位置検出装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5258554A (en) * 1975-11-10 1977-05-14 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Thermocouple emf-temperature signal converter

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