JPS58171Y2 - Glass mask guide bush - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、フォトレジストによるパターン焼付において
使用するガラスマスクの位置合わせ用ガイドブツシュに
関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a guide bush for positioning a glass mask used in photoresist pattern printing.

一般に、フォトレジストを用いる写真技術によるパター
ン焼付においては、得ようとするパターンの寸法精度に
応じて、フィルムマスクまたはガラスマスクが使われる
。Generally, in pattern printing using a photoresist using a photographic technique, a film mask or a glass mask is used depending on the dimensional accuracy of the pattern to be obtained.

通常、これらマスクと被焼付物との位置合わせは、マス
クと被焼付物のそれぞれに設けたガイド孔をガイドピン
で相互に結合することにより行われる。Normally, the alignment of the mask and the object to be printed is performed by connecting guide holes provided in each of the mask and the object to be printed with a guide pin.

従来、前記ガイド孔は、フィルムマスクの場合は、ポン
チとダイスによるパンチング加工によって容易に形成し
ているが、ガラスマスクの場合は、このようなパンチン
グ加工は不可能であった。Conventionally, in the case of a film mask, the guide holes are easily formed by punching using a punch and die, but in the case of a glass mask, such punching is not possible.

したがって、ガラスマスクのガイド孔は、まず、円筒状
のダイヤモンドカッタでガラスマスクを貫通する下孔を
あけたのち、あらかじめガイド孔の加工されたブツシュ
を、この下孔に接着固定している。Therefore, to create a guide hole in a glass mask, first, a pilot hole is made through the glass mask using a cylindrical diamond cutter, and then a bushing having a guide hole cut in advance is adhesively fixed to the pilot hole.

前記した従来のブツシュは、ガラスマスクに一方向から
貫通した下孔に固定するものであるため、ガラスマスク
とブツシュとの間の接着強度は、ガラスマスク下孔の内
面の粗さに依存するしかない。The conventional bushing described above is fixed to a pilot hole that penetrates the glass mask from one direction, so the adhesive strength between the glass mask and the bushing depends on the roughness of the inner surface of the glass mask pilot hole. do not have.

このため、被焼付物とのガイドピン結合を行う際に、ブ
ツシュが抜は落ちてしまうという欠点があった。For this reason, there was a drawback that the bushing would fall off when the guide pin was connected to the object to be burned.

本考案の目的は、前記した従来の欠点を除去し、ガラス
マスクの下孔からブツシュが抜けることのない構造のガ
ラスマスクのガイドブツシュを提供することである。An object of the present invention is to eliminate the above-mentioned conventional drawbacks and to provide a guide bushing for a glass mask having a structure that prevents the bushing from coming off from the lower hole of the glass mask.

本考案の特徴は、ブツシュを固定する下孔を、従来のご
とく、一方向からの貫通孔とせず、ガラスマスクの両面
から相互に偏心させて加工し、孔内面に段差を有せしめ
た下孔として、この下孔にブツシュを接着固定すること
によって、ブツシュの抜けを防止すると共に、相互に偏
心した下孔形状により、ブツシュの回転も防止すること
ができることにある。The feature of this invention is that the pilot hole for fixing the bushing is not a through hole from one direction as in the conventional case, but is machined eccentrically from both sides of the glass mask, and the pilot hole has a step on the inner surface of the hole. By adhesively fixing the bushing to this pilot hole, it is possible to prevent the bushing from coming off, and also to prevent rotation of the bushing due to the mutually eccentric shapes of the pilot holes.

次に、図面により詳細に説明する。Next, a detailed explanation will be given with reference to the drawings.

第１図は、従来におけるガラスマスクのガイドブツシュ
部の断面図で、ガラスマスク１の一方の面には、パター
ンを形成した膜面２が被着されており、このガラスマス
ク１の一方向から貫通した下孔３内に、ガイド孔６を有
するガイドブツシュ５を接着剤４により固定している。FIG. 1 is a sectional view of a guide bush portion of a conventional glass mask, in which a film surface 2 on which a pattern is formed is adhered to one surface of a glass mask 1. A guide bushing 5 having a guide hole 6 is fixed with an adhesive 4 in the lower hole 3 penetrated from the bottom.

第２図は、第１図のガラスマスク１と被焼付物９とを、
ガラスマスクのガイド孔６と被焼付物９のガイド孔１０
とにガイドピン７を挿入して位置合わせ結合した状態を
示したものである。FIG. 2 shows the glass mask 1 and the object 9 of FIG. 1,
Guide hole 6 of the glass mask and guide hole 10 of the object to be baked 9
This figure shows a state in which the guide pin 7 is inserted into the two and aligned and connected.

なお、８はフォトレジストである。Note that 8 is a photoresist.

このような従来世においては、前述したごとく、ガイド
プツシｉ５がガラスマスク１から抜は落ちる恐れが多分
にある。In such conventional systems, as mentioned above, there is a high possibility that the guide pusher i5 will be removed from the glass mask 1 and fall.

第３図は、本考案によるガラスマスクのガイドブツシュ
の断面図で、ガラスマスク１に形成するガイドブツシュ
用下孔１１は、ガラスマスク１の両面よりガイド孔中心
から相互に偏心させて、下孔１１の内面に段差１２を設
けている。FIG. 3 is a cross-sectional view of the guide bushing of the glass mask according to the present invention, in which the pilot hole 11 for the guide bushing formed in the glass mask 1 is made eccentric from the center of the guide hole from both sides of the glass mask 1. A step 12 is provided on the inner surface of the pilot hole 11.

このように形成した下孔１１にガイド孔６を設けたガイ
ドブツシュ５を接着剤４により固定する。A guide bushing 5 having a guide hole 6 provided in the pilot hole 11 thus formed is fixed with an adhesive 4.

第４図は、第３図に示した本考案のガラスマスク１と被
焼付物９とを、ガイドピン７により結合した状態を示す
。FIG. 4 shows a state in which the glass mask 1 of the present invention shown in FIG. 3 and the object to be printed 9 are connected by guide pins 7.

なお、ガイドブツシュ５のガイド孔６は、ガイドブツシ
ュ５をガラスマスク１に固定した後に形成してもよい。Note that the guide hole 6 of the guide bush 5 may be formed after the guide bush 5 is fixed to the glass mask 1.

以上説明したように、本考案によれば、ガイドブツシュ
５が固定されるガラスマスク１の下孔に設けられた段差
１２により、ガイドピン７の抜き差し方向に対して強固
に保持されると共に、回転に対しても堅固に固定される
ので、パターン焼付工程において、ガラスマスク１と被
焼付物９との位置を確実に保持することができる。As explained above, according to the present invention, the guide bush 5 is firmly held in the insertion/removal direction of the guide pin 7 by the step 12 provided in the lower hole of the glass mask 1 to which the guide bush 5 is fixed. Since it is firmly fixed against rotation, the positions of the glass mask 1 and the object 9 to be printed can be reliably maintained during the pattern printing process.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は、従来のガラスマスクのガイドブツシュの断面
図、第２図は、従来のガラスマスクと被焼付物との結合
状態を示す断面図、第３図は、本考案によるガラスマス
クのガイドブツシュの断面図、第４図は、本考案のガラ
スマスクと被焼付物との結合状態を示す断面図である。 １・・・・・・ガラスマスク、２・・・・・・パターン
膜、３・・・・・・ガイドブツシュ用下孔、４・・・・
・・接着剤、５・・・・・・ガイドブツシュ、６・・・
・・・ガイドブツシュのガイド孔、７・・・・・・ガイ
ドピン、８・・・・・・フォトレジスト、９・・・・・
・被焼付物、１０・・・・・・被焼付物のガイド孔、１
１・・・・・・ガイドブツシュ用偏心状下孔、１２・・
・・・・段差。FIG. 1 is a cross-sectional view of a guide bushing of a conventional glass mask, FIG. 2 is a cross-sectional view showing the bonding state of a conventional glass mask and an object to be printed, and FIG. 3 is a cross-sectional view of a glass mask according to the present invention. A cross-sectional view of the guide bushing, FIG. 4, is a cross-sectional view showing the state of connection between the glass mask of the present invention and the object to be printed. 1...Glass mask, 2...Pattern film, 3...Prepared hole for guide bushing, 4...
...Adhesive, 5...Guide bushing, 6...
... Guide hole of guide bushing, 7 ... Guide pin, 8 ... Photoresist, 9 ...
・Object to be burned, 10...Guide hole for object to be burned, 1
1... Eccentric pilot hole for guide bushing, 12...
····Step.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] ガラスマスクの両面から相互に偏心させて加工すること
により、内面に段差を形成した下孔を設け、ガイド孔を
形成したガイドブツシュを前記下孔内に挿入固着した、
ガラスマスクのガイドブツシュ。By machining both sides of the glass mask so as to be eccentric from each other, a pilot hole with a step formed on the inner surface is provided, and a guide bushing having a guide hole formed therein is inserted and fixed into the pilot hole.
Glass mask guide button.