JPS58152201A - フアブリペロ型光学変調器 - Google Patents
フアブリペロ型光学変調器Info
- Publication number
- JPS58152201A JPS58152201A JP3604682A JP3604682A JPS58152201A JP S58152201 A JPS58152201 A JP S58152201A JP 3604682 A JP3604682 A JP 3604682A JP 3604682 A JP3604682 A JP 3604682A JP S58152201 A JPS58152201 A JP S58152201A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laminated piezoelectric
- elements
- fabry
- optical modulator
- piezoelectric element
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はファブリペロ型光学変調器に関するものである
。
。
一般にファブリペロ型光学変調器は、第１−図（＆）（
ｂ）に示すように、２枚の透明平板１，２のうち１枚の
平板２を積層圧電素子３で３点保持し、面間隔をその積
層圧電素子３の厚さ変動で変調する構成になっている。
ｂ）に示すように、２枚の透明平板１，２のうち１枚の
平板２を積層圧電素子３で３点保持し、面間隔をその積
層圧電素子３の厚さ変動で変調する構成になっている。
ここで、４は保持台、６は電源である。しかしこの構造
では、各積層圧電素子３からの３組のリード線を引きま
わす必要があり、また平板１，２は平行平面を形成する
ため、直径の％以上の厚さが必要になる。
では、各積層圧電素子３からの３組のリード線を引きま
わす必要があり、また平板１，２は平行平面を形成する
ため、直径の％以上の厚さが必要になる。
本発明はこのような欠点を解消するためになされたもの
で、積層圧電素子を環状にし、透明平板の周縁すべてを
固定するようにして、リード線の数を減らすとともに、
透明平板の厚さも薄くして重量２寸法を小さくすること
が可能なファブリペロ型光学変調器を提供するものであ
る。
で、積層圧電素子を環状にし、透明平板の周縁すべてを
固定するようにして、リード線の数を減らすとともに、
透明平板の厚さも薄くして重量２寸法を小さくすること
が可能なファブリペロ型光学変調器を提供するものであ
る。
以下図面を用いてその一実施例を詳細に説明する。第２
図は本発明によるファブリペロ型光変調器の一実施例を
示す。図において１１．１２は透明平板で、各々その周
縁部においてリング状の積層圧電素子１３ｔ１４により
保持台１６に固定さ、れる。２つのリング状積層圧電素
子１３＋１４はｑいに電気的に接続され、各々電源１６
に接続される。各リング状積層圧電素子１３１１４への
通電は通電時に互いに反対方向に同期して変動するよう
に加えられる。したがって平行面間隔は各平面の変位の
和になり、変調度は、同一印加電圧、同一積層枚数であ
れば当然大きくなる。又周囲温度変化により圧電素子１
３１１４の厚さ変動による誤差は両平板１１．１２とも
同じような積層圧電素子１３．１４にマウントされてい
るので、互に相殺され、両者のバランスをとることによ
り、はソ温度による誤差をゼロに近づけることが可能で
ある。
図は本発明によるファブリペロ型光変調器の一実施例を
示す。図において１１．１２は透明平板で、各々その周
縁部においてリング状の積層圧電素子１３ｔ１４により
保持台１６に固定さ、れる。２つのリング状積層圧電素
子１３＋１４はｑいに電気的に接続され、各々電源１６
に接続される。各リング状積層圧電素子１３１１４への
通電は通電時に互いに反対方向に同期して変動するよう
に加えられる。したがって平行面間隔は各平面の変位の
和になり、変調度は、同一印加電圧、同一積層枚数であ
れば当然大きくなる。又周囲温度変化により圧電素子１
３１１４の厚さ変動による誤差は両平板１１．１２とも
同じような積層圧電素子１３．１４にマウントされてい
るので、互に相殺され、両者のバランスをとることによ
り、はソ温度による誤差をゼロに近づけることが可能で
ある。
第３図は積層圧電素子１３．１４を構成する一枚のリン
グ状圧電素子の電極構造を示す図で、（２Ｌ）（ｂ）は
各々表裏面に相当する。図において、２１はリング状圧
電材料、２２は表面電極、２３は裏面電極である。各電
極２２．２３はリング状圧電材料２１の表裏面にほぼ全
面に形成され、一部に切欠部２４．２５が形成され、こ
の切欠部の側面には反対側の電極が延長している。電極
２２．２３は蒸着、メッキその他種々の方法で形成可能
である。
グ状圧電素子の電極構造を示す図で、（２Ｌ）（ｂ）は
各々表裏面に相当する。図において、２１はリング状圧
電材料、２２は表面電極、２３は裏面電極である。各電
極２２．２３はリング状圧電材料２１の表裏面にほぼ全
面に形成され、一部に切欠部２４．２５が形成され、こ
の切欠部の側面には反対側の電極が延長している。電極
２２．２３は蒸着、メッキその他種々の方法で形成可能
である。
このように圧電材料２１の表裏両面に電極２２゜２３を
形成したリング状の圧電素子を第４図に示すように多数
積層して積層圧電素子を構成する。
形成したリング状の圧電素子を第４図に示すように多数
積層して積層圧電素子を構成する。
ムは接着前の状態、Ｂは接着した状態を示す。第４図の
各圧電素子は第３図のｘ −ＸＺ線断面から見た図であ
る。重ね合わせは接着剤で行ない、両側面に出ている電
極を一括して第５図に示すようにリードに電気的接続を
行なう。
各圧電素子は第３図のｘ −ＸＺ線断面から見た図であ
る。重ね合わせは接着剤で行ない、両側面に出ている電
極を一括して第５図に示すようにリードに電気的接続を
行なう。
第５図に示すように、各圧電素子を交互に重ね合わせ、
各々の圧電素子１枚毎に並列に電圧を印加することによ
り各層が同時に摩さが縮むが増大するように動作する。
各々の圧電素子１枚毎に並列に電圧を印加することによ
り各層が同時に摩さが縮むが増大するように動作する。
したがって、この積層圧電素子を第２図に示すように２
つの透明平板１１゜１２に対して互いに逆方向に接続す
れば、平板１１１１２は互いに逆方向に移動する。
つの透明平板１１゜１２に対して互いに逆方向に接続す
れば、平板１１１１２は互いに逆方向に移動する。
ところで、この積層圧電素子の製法において、各電圧ウ
ェハが薄い場合、例えば０．１朋程度の場合環状に打ち
抜いたものを重ね合わせするのは、かなり困難である。
ェハが薄い場合、例えば０．１朋程度の場合環状に打ち
抜いたものを重ね合わせするのは、かなり困難である。
その場合、円板状のウェハの周辺部に第３図に示すよう
にリング状の形状に電極を形成し、しかるのち接着剤で
重ね合わせて、積層状態を実現したあと、環状に打ち抜
くことにより容易に、環状積層圧電素子を製造できる。
にリング状の形状に電極を形成し、しかるのち接着剤で
重ね合わせて、積層状態を実現したあと、環状に打ち抜
くことにより容易に、環状積層圧電素子を製造できる。
ト記構成の本発明においては、電極からのリード線の数
を減らすことができ、かつ平板を周縁部て固定している
ので、平板の厚さが１／１２程度でも平行度（λ／１α
１ λは対象とする光の波長）を達成することができ、
従来の約捧の厚さの平板ですむので、重量２寸法各々約
２割〜３割削減できることになる。
を減らすことができ、かつ平板を周縁部て固定している
ので、平板の厚さが１／１２程度でも平行度（λ／１α
１ λは対象とする光の波長）を達成することができ、
従来の約捧の厚さの平板ですむので、重量２寸法各々約
２割〜３割削減できることになる。
この効果は、遠赤外領域では更に吸収による光損失の軽
減、高価な光学材料の節約につながり、本発明の効果は
更に大きくなる。
減、高価な光学材料の節約につながり、本発明の効果は
更に大きくなる。
以上のように、本発明は同心円状に配置された環状積層
圧電素子の各々に透明平板を保持固定させ、両平板のな
す平行面間隔を変調するようにしたファブリペロ型光学
変調器であり、従来型にくらべ、リードの本数−が−少
くてすみ、重量２寸法が削減でき、温度変化による誤差
が少く、かつ、赤外領域で使用する場合高価な光学材料
が節約でき吸収による光学損失も少ないという優位性を
有する。
圧電素子の各々に透明平板を保持固定させ、両平板のな
す平行面間隔を変調するようにしたファブリペロ型光学
変調器であり、従来型にくらべ、リードの本数−が−少
くてすみ、重量２寸法が削減でき、温度変化による誤差
が少く、かつ、赤外領域で使用する場合高価な光学材料
が節約でき吸収による光学損失も少ないという優位性を
有する。
第１図（ａ） （ｂ）は従来のファブリペロ型光変調器
の断面側面図および平面図、第２図（ａ）（ｂ）は本発
明の一実施例におけるファブリペロ型光変調器の断面側
面図および平面図、第３図（ＩＬ）（ｂ）は本発明に使
用される圧電素子の平面図および底面図、第４図（ａ）
（ｂ）は本発明に使用される積層圧電素子の製造方法を
説明する断面図、第６図は本発明に使用される積層圧電
素子の電気的結線図である。 １１１１２・・・・・・透明平板、１３．’１４・・・
・・・積層圧電素子、１６・・・・・・保持台、１６・
・・・・・電源、２１・・・・・・圧電材料、２２．２
３・・・・・・電極、２４． ２５・・・・・切欠。 第１図 （（スー）
（ｂン第３図 （α）（トノ
の断面側面図および平面図、第２図（ａ）（ｂ）は本発
明の一実施例におけるファブリペロ型光変調器の断面側
面図および平面図、第３図（ＩＬ）（ｂ）は本発明に使
用される圧電素子の平面図および底面図、第４図（ａ）
（ｂ）は本発明に使用される積層圧電素子の製造方法を
説明する断面図、第６図は本発明に使用される積層圧電
素子の電気的結線図である。 １１１１２・・・・・・透明平板、１３．’１４・・・
・・・積層圧電素子、１６・・・・・・保持台、１６・
・・・・・電源、２１・・・・・・圧電材料、２２．２
３・・・・・・電極、２４． ２５・・・・・切欠。 第１図 （（スー）
（ｂン第３図 （α）（トノ
Claims (3)
- （１）２枚の透明な平板の各周縁部を環状積層圧電素子
で保持し、各環状積層圧電素子を同心円状に配置させた
ことを特徴とするファブリペロ型光学変調器。 - （２）各環状積層圧電素子を互に反対方向に同期して振
動するより通電させた特許請求の範囲第１項記載のファ
ブリペロ型光学変調器。 - （３）環状積層圧電素子を構成する一枚の圧電素子は、
環状の圧電材料の一方の面に形成された第１の電極と、
他方の面′に形成された第２の電極とを有し、第１の電
極および第２の電極の一部は前記圧電材料の側面に延び
ており、この側面に延びた電極部分よりリードをとり出
すことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のファブ
リペロ型光学変調器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3604682A JPS58152201A (ja) | 1982-03-08 | 1982-03-08 | フアブリペロ型光学変調器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3604682A JPS58152201A (ja) | 1982-03-08 | 1982-03-08 | フアブリペロ型光学変調器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58152201A true JPS58152201A (ja) | 1983-09-09 |
| JPS628764B2 JPS628764B2 (ja) | 1987-02-24 |
Family
ID=12458764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3604682A Granted JPS58152201A (ja) | 1982-03-08 | 1982-03-08 | フアブリペロ型光学変調器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58152201A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04116878A (ja) * | 1990-09-07 | 1992-04-17 | Ricoh Co Ltd | ヒータ付半導体レーザ素子 |
| JPH0786829A (ja) * | 1993-09-17 | 1995-03-31 | Nec Corp | 反射鏡アンテナ |
| JP2005274834A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Murata Mfg Co Ltd | ファブリペロー型波長可変フィルタおよび多チャンネルファブリペロー型波長可変フィルタ |
| US7280145B2 (en) | 2002-07-30 | 2007-10-09 | Olympus Optical Co., Ltd. | Camera and image pick-up device unit having an optical member that is vibrated to remove dust |
| JP2007307279A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Olympus Corp | 分光画像観察用光学装置 |
| US7324149B2 (en) | 2002-05-20 | 2008-01-29 | Olympus Optical Co., Ltd. | Camera and image pick-up device unit having an optical member that is vibrated to remove dust |
| US7324148B2 (en) | 2002-04-26 | 2008-01-29 | Olympus Optical Co., Ltd. | Camera and image pickup device unit used therefor having a sealing structure between a dust proofing member and an image pick up device |
| US7339623B2 (en) | 2002-05-27 | 2008-03-04 | Olympus Optical Co., Ltd. | Camera and image pickup device unit which reduce influence of dust image quality |
| JP2013505471A (ja) * | 2009-09-18 | 2013-02-14 | シンテフ | マイクロ機械的エレメントを動かすためのアクチュエータ |
| CN109884837A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-06-14 | 昆山锐芯微电子有限公司 | 光波滤波器 |
| CN110032020A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-07-19 | 昆山锐芯微电子有限公司 | 温度自适应的稳频光波滤波器及其工作方法 |
-
1982
- 1982-03-08 JP JP3604682A patent/JPS58152201A/ja active Granted
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04116878A (ja) * | 1990-09-07 | 1992-04-17 | Ricoh Co Ltd | ヒータ付半導体レーザ素子 |
| JPH0786829A (ja) * | 1993-09-17 | 1995-03-31 | Nec Corp | 反射鏡アンテナ |
| US7324148B2 (en) | 2002-04-26 | 2008-01-29 | Olympus Optical Co., Ltd. | Camera and image pickup device unit used therefor having a sealing structure between a dust proofing member and an image pick up device |
| US7589780B2 (en) | 2002-04-26 | 2009-09-15 | Olympus Optical Co., Ltd. | Camera and image pick-up device unit used therefor having a sealing structure between a dust-proofing member and an image pick-up device |
| US7324149B2 (en) | 2002-05-20 | 2008-01-29 | Olympus Optical Co., Ltd. | Camera and image pick-up device unit having an optical member that is vibrated to remove dust |
| US7339623B2 (en) | 2002-05-27 | 2008-03-04 | Olympus Optical Co., Ltd. | Camera and image pickup device unit which reduce influence of dust image quality |
| US7280145B2 (en) | 2002-07-30 | 2007-10-09 | Olympus Optical Co., Ltd. | Camera and image pick-up device unit having an optical member that is vibrated to remove dust |
| US7591598B2 (en) | 2002-07-30 | 2009-09-22 | Olympus Optical Co., Ltd. | Camera having a dust-proofing member that is vibrated to remove dust, the dust-proofing member being pressed by a spring pressing member toward a sealing part that seals a space between the dust-proofing member and an image pickup-device |
| US7686524B2 (en) | 2002-07-30 | 2010-03-30 | Olympus Optical Co., Ltd. | Image pick-up device unit having a dust-proofing member that is vibrated to remove dust, the dust-proofing member being pressed by a spring pressing member toward a sealing structure that seals an interval between the dust-proofing member and an image pick-up device |
| JP2005274834A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Murata Mfg Co Ltd | ファブリペロー型波長可変フィルタおよび多チャンネルファブリペロー型波長可変フィルタ |
| JP2007307279A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Olympus Corp | 分光画像観察用光学装置 |
| JP2013505471A (ja) * | 2009-09-18 | 2013-02-14 | シンテフ | マイクロ機械的エレメントを動かすためのアクチュエータ |
| CN109884837A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-06-14 | 昆山锐芯微电子有限公司 | 光波滤波器 |
| CN110032020A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-07-19 | 昆山锐芯微电子有限公司 | 温度自适应的稳频光波滤波器及其工作方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS628764B2 (ja) | 1987-02-24 |
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