JPS581505B2 - デンカイホウシヤデンシジユウ - Google Patents
デンカイホウシヤデンシジユウInfo
- Publication number
- JPS581505B2 JPS581505B2 JP49005882A JP588274A JPS581505B2 JP S581505 B2 JPS581505 B2 JP S581505B2 JP 49005882 A JP49005882 A JP 49005882A JP 588274 A JP588274 A JP 588274A JP S581505 B2 JPS581505 B2 JP S581505B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- field emission
- electric field
- electron gun
- electron flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電界放射電子銃の構成に関するもので特に陰極
の保護装置に関するものである。
の保護装置に関するものである。
電界放射電子は尖端の曲率半径の小さいタングステンの
針に107〔v/CrrL〕程度の強電界を与えること
により得られる。
針に107〔v/CrrL〕程度の強電界を与えること
により得られる。
陰極の脱ガスを行った清浄な陰極からの放射電子流は第
1図に示すよう外経一変化を示す。
1図に示すよう外経一変化を示す。
この放射電子流の変化は陰極表面へのガス吸着によるも
ので、清浄であった陰極へガス吸着することにより陰極
表面の仕事関数が増加し放射電子流が減少する。
ので、清浄であった陰極へガス吸着することにより陰極
表面の仕事関数が増加し放射電子流が減少する。
初期では放射電子流の減少は早く(この領域は初期減少
領域といわれる)ほぼ単原子−のガス吸着が終ると電子
流の減少はとまり、ほぼ一定の放射電子流が得られる(
この領域は安定領域といわれ1 0”−10Torrオ
ーダーの真空度では8時間にもなる)。
領域といわれる)ほぼ単原子−のガス吸着が終ると電子
流の減少はとまり、ほぼ一定の放射電子流が得られる(
この領域は安定領域といわれ1 0”−10Torrオ
ーダーの真空度では8時間にもなる)。
その後は徐徐に放射電子流の増加がみられ、パルス状の
電流変化がしだいに多くなりついには陰極で真空内放電
をおこし陰極を破損し、再び電界放射電子が得られなく
なる。
電流変化がしだいに多くなりついには陰極で真空内放電
をおこし陰極を破損し、再び電界放射電子が得られなく
なる。
(この領域は不定領域といわれ札真空内放電が生じる前
に陰極へ与える強電界を遮断し陰極の脱ガスを行えば第
1図の経過を再びたどることができる。
に陰極へ与える強電界を遮断し陰極の脱ガスを行えば第
1図の経過を再びたどることができる。
本発明はこの陰極の脱ガスを行うべき時期を簡単左方法
で検知し、陰極の破損を防ぐようにした電界放射電子銃
を提供するものである。
で検知し、陰極の破損を防ぐようにした電界放射電子銃
を提供するものである。
不安定領域では放射電子流の増加があることから安定領
域の値の150%に達したときに陰極に与える強電界を
遮断する等の方法も考えられているが放射電子流の変化
が非常にゆっくりしたものであるため記憶装置を必要と
するため大がかりなものどなる。
域の値の150%に達したときに陰極に与える強電界を
遮断する等の方法も考えられているが放射電子流の変化
が非常にゆっくりしたものであるため記憶装置を必要と
するため大がかりなものどなる。
本発明は不安定領域においてパルス状の電流変化がしだ
いに増加していることから、パルス状の電流変化のみを
検出し、この検出量により陰極の脱ガス時期を検知する
方法である。
いに増加していることから、パルス状の電流変化のみを
検出し、この検出量により陰極の脱ガス時期を検知する
方法である。
第2図は本発明の実施例を示すものである。
陰極1、第1陽極2は高真空容器3に内蔵されている。
スイッチ6をオンすることにより第1陽極電圧5が印加
され陰極1の先端から電子が放出される。
され陰極1の先端から電子が放出される。
放射電子流のパルス状の電流変化はパルス電流検出器4
で検出され、増幅器7で増幅され所定の値に達したとき
に警報器8をオンする。
で検出され、増幅器7で増幅され所定の値に達したとき
に警報器8をオンする。
この警報により操作者はスイッチ6をオフすることがで
き陰極1の破損を防ぐことができる。
き陰極1の破損を防ぐことができる。
第3図は前記実施例の警報器8をオンするかわりにリレ
ーコイル9をオンとし、これに連動してスイッチ6をオ
フするようにした本発明の他の実施例である。
ーコイル9をオンとし、これに連動してスイッチ6をオ
フするようにした本発明の他の実施例である。
第4図は他の実施例を示すものでパルス電流検出器4の
出力を増幅器7で増幅し、交直変換器10で直流とし積
分器11で積分し積分器11の出力が所定の値に達した
ときにリレーコイル9をオンとしスイッチ6をオフにす
る。
出力を増幅器7で増幅し、交直変換器10で直流とし積
分器11で積分し積分器11の出力が所定の値に達した
ときにリレーコイル9をオンとしスイッチ6をオフにす
る。
積分器110時定数を変えることにより検知時期の調整
を行うこともできる。
を行うこともできる。
このように積分値で制御すると外部からの雑音等により
誤動作を少くすることができる。
誤動作を少くすることができる。
同様にパルス電流検出器4の出力を計数しその計数値に
より制御することも可能である。
より制御することも可能である。
第5図は他の実施例を示すものである。
上記の説明においては簡単のため第2陽極のない構造を
説明したが本実施例においては第2陽極14を備えてい
る。
説明したが本実施例においては第2陽極14を備えてい
る。
本実施例は電界放射電子銃を走査形電子顕微鈍の電子銃
として用いた装置に実施した例を示すものである。
として用いた装置に実施した例を示すものである。
電界放射電子流に含まれる交流成分(雑音)は安定領域
においても4〜5%あり、走査形電子顕微鏡においては
走査像に雑音があらわれ、像を悪くしてしまう。
においても4〜5%あり、走査形電子顕微鏡においては
走査像に雑音があらわれ、像を悪くしてしまう。
このため走査形電顕に使用した場合には補正回路を用い
て走査像が消去する方法をとっている。
て走査像が消去する方法をとっている。
陰極と陽極2の間に数KVの引出電圧を印加すると陰極
1から電子放射がなされる。
1から電子放射がなされる。
この電子はさらに第2陽極14に加速電圧12を印加し
任意の電圧に加速される。
任意の電圧に加速される。
第1陽極2と第2陽極14は一組の静電レンズを形成し
、電子ビームはこの静電レンズにより集束作用をうける
。
、電子ビームはこの静電レンズにより集束作用をうける
。
一般に用いる電圧配分では静電レンズを通過したビーム
はほとんど平行となる。
はほとんど平行となる。
補正信号検出器は第1絞り15、第2絞り16と2次電
子検出器17によって形成されている。
子検出器17によって形成されている。
第1絞り15の孔により陰極からの放射角を約10mr
に制限し、さらに第2絞り16で約6mrに制限する。
に制限し、さらに第2絞り16で約6mrに制限する。
第2絞り16を通過した電子は電磁レンズ20により点
集束され走査電子として偏向コイル19で試料21上を
走査される。
集束され走査電子として偏向コイル19で試料21上を
走査される。
第1絞り15を通過して第2絞り16に衝突する電子に
よって発生した2次電子は検出器17で検出され補正信
号となる。
よって発生した2次電子は検出器17で検出され補正信
号となる。
一方試料21から発生した2次電子等は検出器18によ
り検出され情報信号となる。
り検出され情報信号となる。
情報信号と補正信号とは補正装置22により割算され、
その出力は偏向コイル19と同期した偏向コイル23を
もったブラウン管24の輝度変調信号となり走査像を形
成する。
その出力は偏向コイル19と同期した偏向コイル23を
もったブラウン管24の輝度変調信号となり走査像を形
成する。
このような構成とすることにより交流成分の含有率は1
/3−1/5に減衰される。
/3−1/5に減衰される。
この補正信号検出器17に含まれるパルス状の電流変化
を増幅器7で増幅し、所定の値に達したときにリレーコ
イル9をオンにし、リレー13を切り換えて引出電圧5
を第1陽極2から切り離すようにする。
を増幅器7で増幅し、所定の値に達したときにリレーコ
イル9をオンにし、リレー13を切り換えて引出電圧5
を第1陽極2から切り離すようにする。
以上説明したようなパルス電流検出器を設けることによ
り電界放射電子流の不安定領域を簡単でしかも正確に検
知することができ、工業的寄与は甚大である。
り電界放射電子流の不安定領域を簡単でしかも正確に検
知することができ、工業的寄与は甚大である。
第1図は電界放射電子流の経時変化、第2図、第3図、
第4図、第5図は本発明の実施例を示したものである。 1は陰極、2は第1陽極、3は高真空容器、4はパルス
電流検出器、5は第1陽極用電源、6はスイッチ、7は
増幅器、8は警報器である。
第4図、第5図は本発明の実施例を示したものである。 1は陰極、2は第1陽極、3は高真空容器、4はパルス
電流検出器、5は第1陽極用電源、6はスイッチ、7は
増幅器、8は警報器である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 電界放射陰極と該陰極に正の強電界を与える陽極と
を少くとも有する電界放射電子銃において、陪陰極に与
える強電界を制御する情報として該陰極から放射される
全電子流またはその1部に含まれる電子流が減少した後
における電子流のパルス状変動成分を検出する検出手段
を具備し、該検出手段の出力により前記陰極に与える強
電界を遮断もしくは低下するごとく構成したことを特徴
とする電界放射電子銃。 2 上記検出器の出力を積分して、その積分値が所定の
値に達したときに上記陰極に与える強電界を遮断もしく
は低下する手段を設けたことを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載の電界放射電子銃。 3 上記検出手段の出力を計数して、この全計数値又は
時間当りの計数値が所定の値に達したときに陰極に与え
る強電界を遮断もしくは低下する手段を設けたことを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の電界放射電子銃。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP49005882A JPS581505B2 (ja) | 1974-01-11 | 1974-01-11 | デンカイホウシヤデンシジユウ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP49005882A JPS581505B2 (ja) | 1974-01-11 | 1974-01-11 | デンカイホウシヤデンシジユウ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS50103251A JPS50103251A (ja) | 1975-08-15 |
JPS581505B2 true JPS581505B2 (ja) | 1983-01-11 |
Family
ID=11623258
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP49005882A Expired JPS581505B2 (ja) | 1974-01-11 | 1974-01-11 | デンカイホウシヤデンシジユウ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS581505B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55155454A (en) * | 1979-05-22 | 1980-12-03 | Jeol Ltd | Scanning electron microscope equipped with electromagnetic radiation type electron gun |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4840371A (ja) * | 1971-09-23 | 1973-06-13 |
-
1974
- 1974-01-11 JP JP49005882A patent/JPS581505B2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4840371A (ja) * | 1971-09-23 | 1973-06-13 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS50103251A (ja) | 1975-08-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1028452B1 (en) | Scanning electron microscope | |
US4751393A (en) | Dose measurement and uniformity monitoring system for ion implantation | |
EP1993119B1 (en) | Charged particle beam emitting device and method for operating a charged particle beam emitting device | |
JP4037533B2 (ja) | 粒子線装置 | |
US3691377A (en) | Automatic control system for varying a d.c. high voltage for accelerating tube of electron microscope and the like | |
GB1065847A (en) | A scanning electron microscope | |
JPH0129302B2 (ja) | ||
US11251018B2 (en) | Scanning electron microscope | |
US11232924B2 (en) | Method of operating a charged particle gun, charged particle gun, and charged particle beam device | |
JPS581505B2 (ja) | デンカイホウシヤデンシジユウ | |
US6653632B2 (en) | Scanning-type instrument utilizing charged-particle beam and method of controlling same | |
US4160162A (en) | Method for the pictorial display of a diffraction image in a transmission-type, scanning, corpuscular-beam microscope | |
US10854421B2 (en) | Charged particle beam system and method | |
JP3403383B2 (ja) | イオン源制御方法およびイオン源制御装置 | |
US2205072A (en) | Space discharge apparatus and circuits therefor | |
US11264230B2 (en) | Quadrupole mass spectrometer | |
US20240274395A1 (en) | Charged particle beam device and method for demagnetizing magnetic lens | |
US6933512B2 (en) | Charged particle beam instrument | |
US2835838A (en) | Cathode-ray tube | |
US6377231B2 (en) | Image-casting control method for image display device and image display device | |
JP3032397B2 (ja) | 電界放射型走査電子顕微鏡 | |
US8987692B2 (en) | High brightness electron gun, system using the same, and method of operating thereof | |
JPH11176367A (ja) | 電子顕微鏡 | |
JP2501075Y2 (ja) | 電子顕微鏡等における電子ビ―ム検出器 | |
JP2759791B2 (ja) | イオンビーム装置 |