JPS581505B2 - デンカイホウシヤデンシジユウ - Google Patents
デンカイホウシヤデンシジユウInfo
- Publication number
- JPS581505B2 JPS581505B2 JP49005882A JP588274A JPS581505B2 JP S581505 B2 JPS581505 B2 JP S581505B2 JP 49005882 A JP49005882 A JP 49005882A JP 588274 A JP588274 A JP 588274A JP S581505 B2 JPS581505 B2 JP S581505B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- field emission
- electric field
- electron gun
- electron flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電界放射電子銃の構成に関するもので特に陰極
の保護装置に関するものである。
の保護装置に関するものである。
電界放射電子は尖端の曲率半径の小さいタングステンの
針に１０７〔ｖ／ＣｒｒＬ〕程度の強電界を与えること
により得られる。
針に１０７〔ｖ／ＣｒｒＬ〕程度の強電界を与えること
により得られる。
陰極の脱ガスを行った清浄な陰極からの放射電子流は第
１図に示すよう外経一変化を示す。
１図に示すよう外経一変化を示す。
この放射電子流の変化は陰極表面へのガス吸着によるも
ので、清浄であった陰極へガス吸着することにより陰極
表面の仕事関数が増加し放射電子流が減少する。
ので、清浄であった陰極へガス吸着することにより陰極
表面の仕事関数が増加し放射電子流が減少する。
初期では放射電子流の減少は早く（この領域は初期減少
領域といわれる）ほぼ単原子−のガス吸着が終ると電子
流の減少はとまり、ほぼ一定の放射電子流が得られる（
この領域は安定領域といわれ１ ０”−１０Ｔｏｒｒオ
ーダーの真空度では８時間にもなる）。
領域といわれる）ほぼ単原子−のガス吸着が終ると電子
流の減少はとまり、ほぼ一定の放射電子流が得られる（
この領域は安定領域といわれ１ ０”−１０Ｔｏｒｒオ
ーダーの真空度では８時間にもなる）。
その後は徐徐に放射電子流の増加がみられ、パルス状の
電流変化がしだいに多くなりついには陰極で真空内放電
をおこし陰極を破損し、再び電界放射電子が得られなく
なる。
電流変化がしだいに多くなりついには陰極で真空内放電
をおこし陰極を破損し、再び電界放射電子が得られなく
なる。
（この領域は不定領域といわれ札真空内放電が生じる前
に陰極へ与える強電界を遮断し陰極の脱ガスを行えば第
１図の経過を再びたどることができる。
に陰極へ与える強電界を遮断し陰極の脱ガスを行えば第
１図の経過を再びたどることができる。
本発明はこの陰極の脱ガスを行うべき時期を簡単左方法
で検知し、陰極の破損を防ぐようにした電界放射電子銃
を提供するものである。
で検知し、陰極の破損を防ぐようにした電界放射電子銃
を提供するものである。
不安定領域では放射電子流の増加があることから安定領
域の値の１５０％に達したときに陰極に与える強電界を
遮断する等の方法も考えられているが放射電子流の変化
が非常にゆっくりしたものであるため記憶装置を必要と
するため大がかりなものどなる。
域の値の１５０％に達したときに陰極に与える強電界を
遮断する等の方法も考えられているが放射電子流の変化
が非常にゆっくりしたものであるため記憶装置を必要と
するため大がかりなものどなる。
本発明は不安定領域においてパルス状の電流変化がしだ
いに増加していることから、パルス状の電流変化のみを
検出し、この検出量により陰極の脱ガス時期を検知する
方法である。
いに増加していることから、パルス状の電流変化のみを
検出し、この検出量により陰極の脱ガス時期を検知する
方法である。
第２図は本発明の実施例を示すものである。
陰極１、第１陽極２は高真空容器３に内蔵されている。
スイッチ６をオンすることにより第１陽極電圧５が印加
され陰極１の先端から電子が放出される。
され陰極１の先端から電子が放出される。
放射電子流のパルス状の電流変化はパルス電流検出器４
で検出され、増幅器７で増幅され所定の値に達したとき
に警報器８をオンする。
で検出され、増幅器７で増幅され所定の値に達したとき
に警報器８をオンする。
この警報により操作者はスイッチ６をオフすることがで
き陰極１の破損を防ぐことができる。
き陰極１の破損を防ぐことができる。
第３図は前記実施例の警報器８をオンするかわりにリレ
ーコイル９をオンとし、これに連動してスイッチ６をオ
フするようにした本発明の他の実施例である。
ーコイル９をオンとし、これに連動してスイッチ６をオ
フするようにした本発明の他の実施例である。
第４図は他の実施例を示すものでパルス電流検出器４の
出力を増幅器７で増幅し、交直変換器１０で直流とし積
分器１１で積分し積分器１１の出力が所定の値に達した
ときにリレーコイル９をオンとしスイッチ６をオフにす
る。
出力を増幅器７で増幅し、交直変換器１０で直流とし積
分器１１で積分し積分器１１の出力が所定の値に達した
ときにリレーコイル９をオンとしスイッチ６をオフにす
る。
積分器１１０時定数を変えることにより検知時期の調整
を行うこともできる。
を行うこともできる。
このように積分値で制御すると外部からの雑音等により
誤動作を少くすることができる。
誤動作を少くすることができる。
同様にパルス電流検出器４の出力を計数しその計数値に
より制御することも可能である。
より制御することも可能である。
第５図は他の実施例を示すものである。
上記の説明においては簡単のため第２陽極のない構造を
説明したが本実施例においては第２陽極１４を備えてい
る。
説明したが本実施例においては第２陽極１４を備えてい
る。
本実施例は電界放射電子銃を走査形電子顕微鈍の電子銃
として用いた装置に実施した例を示すものである。
として用いた装置に実施した例を示すものである。
電界放射電子流に含まれる交流成分（雑音）は安定領域
においても４〜５％あり、走査形電子顕微鏡においては
走査像に雑音があらわれ、像を悪くしてしまう。
においても４〜５％あり、走査形電子顕微鏡においては
走査像に雑音があらわれ、像を悪くしてしまう。
このため走査形電顕に使用した場合には補正回路を用い
て走査像が消去する方法をとっている。
て走査像が消去する方法をとっている。
陰極と陽極２の間に数ＫＶの引出電圧を印加すると陰極
１から電子放射がなされる。
１から電子放射がなされる。
この電子はさらに第２陽極１４に加速電圧１２を印加し
任意の電圧に加速される。
任意の電圧に加速される。
第１陽極２と第２陽極１４は一組の静電レンズを形成し
、電子ビームはこの静電レンズにより集束作用をうける
。
、電子ビームはこの静電レンズにより集束作用をうける
。
一般に用いる電圧配分では静電レンズを通過したビーム
はほとんど平行となる。
はほとんど平行となる。
補正信号検出器は第１絞り１５、第２絞り１６と２次電
子検出器１７によって形成されている。
子検出器１７によって形成されている。
第１絞り１５の孔により陰極からの放射角を約１０ｍｒ
に制限し、さらに第２絞り１６で約６ｍｒに制限する。
に制限し、さらに第２絞り１６で約６ｍｒに制限する。
第２絞り１６を通過した電子は電磁レンズ２０により点
集束され走査電子として偏向コイル１９で試料２１上を
走査される。
集束され走査電子として偏向コイル１９で試料２１上を
走査される。
第１絞り１５を通過して第２絞り１６に衝突する電子に
よって発生した２次電子は検出器１７で検出され補正信
号となる。
よって発生した２次電子は検出器１７で検出され補正信
号となる。
一方試料２１から発生した２次電子等は検出器１８によ
り検出され情報信号となる。
り検出され情報信号となる。
情報信号と補正信号とは補正装置２２により割算され、
その出力は偏向コイル１９と同期した偏向コイル２３を
もったブラウン管２４の輝度変調信号となり走査像を形
成する。
その出力は偏向コイル１９と同期した偏向コイル２３を
もったブラウン管２４の輝度変調信号となり走査像を形
成する。
このような構成とすることにより交流成分の含有率は１
／３−１／５に減衰される。
／３−１／５に減衰される。
この補正信号検出器１７に含まれるパルス状の電流変化
を増幅器７で増幅し、所定の値に達したときにリレーコ
イル９をオンにし、リレー１３を切り換えて引出電圧５
を第１陽極２から切り離すようにする。
を増幅器７で増幅し、所定の値に達したときにリレーコ
イル９をオンにし、リレー１３を切り換えて引出電圧５
を第１陽極２から切り離すようにする。
以上説明したようなパルス電流検出器を設けることによ
り電界放射電子流の不安定領域を簡単でしかも正確に検
知することができ、工業的寄与は甚大である。
り電界放射電子流の不安定領域を簡単でしかも正確に検
知することができ、工業的寄与は甚大である。
第１図は電界放射電子流の経時変化、第２図、第３図、
第４図、第５図は本発明の実施例を示したものである。 １は陰極、２は第１陽極、３は高真空容器、４はパルス
電流検出器、５は第１陽極用電源、６はスイッチ、７は
増幅器、８は警報器である。
第４図、第５図は本発明の実施例を示したものである。 １は陰極、２は第１陽極、３は高真空容器、４はパルス
電流検出器、５は第１陽極用電源、６はスイッチ、７は
増幅器、８は警報器である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 電界放射陰極と該陰極に正の強電界を与える陽極と
を少くとも有する電界放射電子銃において、陪陰極に与
える強電界を制御する情報として該陰極から放射される
全電子流またはその１部に含まれる電子流が減少した後
における電子流のパルス状変動成分を検出する検出手段
を具備し、該検出手段の出力により前記陰極に与える強
電界を遮断もしくは低下するごとく構成したことを特徴
とする電界放射電子銃。 ２ 上記検出器の出力を積分して、その積分値が所定の
値に達したときに上記陰極に与える強電界を遮断もしく
は低下する手段を設けたことを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の電界放射電子銃。 ３ 上記検出手段の出力を計数して、この全計数値又は
時間当りの計数値が所定の値に達したときに陰極に与え
る強電界を遮断もしくは低下する手段を設けたことを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の電界放射電子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP49005882A JPS581505B2 (ja) | 1974-01-11 | 1974-01-11 | デンカイホウシヤデンシジユウ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP49005882A JPS581505B2 (ja) | 1974-01-11 | 1974-01-11 | デンカイホウシヤデンシジユウ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS50103251A JPS50103251A (ja) | 1975-08-15 |
| JPS581505B2 true JPS581505B2 (ja) | 1983-01-11 |
Family
ID=11623258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP49005882A Expired JPS581505B2 (ja) | 1974-01-11 | 1974-01-11 | デンカイホウシヤデンシジユウ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS581505B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55155454A (en) * | 1979-05-22 | 1980-12-03 | Jeol Ltd | Scanning electron microscope equipped with electromagnetic radiation type electron gun |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4840371A (ja) * | 1971-09-23 | 1973-06-13 |
-
1974
- 1974-01-11 JP JP49005882A patent/JPS581505B2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4840371A (ja) * | 1971-09-23 | 1973-06-13 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS50103251A (ja) | 1975-08-15 |
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