JPS58147094U - 光検出素子 - Google Patents
光検出素子Info
- Publication number
- JPS58147094U JPS58147094U JP4101582U JP4101582U JPS58147094U JP S58147094 U JPS58147094 U JP S58147094U JP 4101582 U JP4101582 U JP 4101582U JP 4101582 U JP4101582 U JP 4101582U JP S58147094 U JPS58147094 U JP S58147094U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- film
- detection element
- light detection
- transparent substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Optical Transform (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は、回転形光エンコーダの構成図、第2図は、従
来の結晶シリコンを用いた光起電力タイプの光検出素子
の構成図、第3図および第4図は、それぞれ本考案の実
施例の光検出素子の断面図である。 11・・・・・・透明基板、12・・・・・・透光性導
電膜、13・・・・・・アモルファスシリコン膜、14
・・・・・・金属電極膜、15・・・・・・光非透過膜
。
来の結晶シリコンを用いた光起電力タイプの光検出素子
の構成図、第3図および第4図は、それぞれ本考案の実
施例の光検出素子の断面図である。 11・・・・・・透明基板、12・・・・・・透光性導
電膜、13・・・・・・アモルファスシリコン膜、14
・・・・・・金属電極膜、15・・・・・・光非透過膜
。
Claims (1)
- 透明基板上に光透過性導電膜、アモルファスシリコン膜
および金属電極膜を順次積層してなる、アモルファスシ
リコンの光導電特性を利用したエンコーダ用光検出素子
において、前記透明基板における前記光透過性導電膜と
の間、もしくは他方の面に、光入射窓部を残して光非透
過膜からなる遮光マスクを設けたことを特徴とする光検
出素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4101582U JPS58147094U (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | 光検出素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4101582U JPS58147094U (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | 光検出素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58147094U true JPS58147094U (ja) | 1983-10-03 |
Family
ID=30052211
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4101582U Pending JPS58147094U (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | 光検出素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58147094U (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5648184A (en) * | 1979-09-26 | 1981-05-01 | Ricoh Co Ltd | Photoreading element |
-
1982
- 1982-03-25 JP JP4101582U patent/JPS58147094U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5648184A (en) * | 1979-09-26 | 1981-05-01 | Ricoh Co Ltd | Photoreading element |
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