JPS58147094U - 光検出素子 - Google Patents

光検出素子

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Publication number
JPS58147094U
JPS58147094U JP4101582U JP4101582U JPS58147094U JP S58147094 U JPS58147094 U JP S58147094U JP 4101582 U JP4101582 U JP 4101582U JP 4101582 U JP4101582 U JP 4101582U JP S58147094 U JPS58147094 U JP S58147094U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
film
detection element
light detection
transparent substrate
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Pending
Application number
JP4101582U
Other languages
English (en)
Inventor
勝文 熊野
浩一 羽賀
Original Assignee
東北リコ−株式会社
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Filing date
Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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  • Optical Transform (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は、回転形光エンコーダの構成図、第2図は、従
来の結晶シリコンを用いた光起電力タイプの光検出素子
の構成図、第3図および第4図は、それぞれ本考案の実
施例の光検出素子の断面図である。 11・・・・・・透明基板、12・・・・・・透光性導
電膜、13・・・・・・アモルファスシリコン膜、14
・・・・・・金属電極膜、15・・・・・・光非透過膜

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 透明基板上に光透過性導電膜、アモルファスシリコン膜
    および金属電極膜を順次積層してなる、アモルファスシ
    リコンの光導電特性を利用したエンコーダ用光検出素子
    において、前記透明基板における前記光透過性導電膜と
    の間、もしくは他方の面に、光入射窓部を残して光非透
    過膜からなる遮光マスクを設けたことを特徴とする光検
    出素子。
JP4101582U 1982-03-25 1982-03-25 光検出素子 Pending JPS58147094U (ja)

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JP4101582U JPS58147094U (ja) 1982-03-25 1982-03-25 光検出素子

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JP4101582U JPS58147094U (ja) 1982-03-25 1982-03-25 光検出素子

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JPS58147094U true JPS58147094U (ja) 1983-10-03

Family

ID=30052211

Family Applications (1)

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JP4101582U Pending JPS58147094U (ja) 1982-03-25 1982-03-25 光検出素子

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JP (1) JPS58147094U (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5648184A (en) * 1979-09-26 1981-05-01 Ricoh Co Ltd Photoreading element

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5648184A (en) * 1979-09-26 1981-05-01 Ricoh Co Ltd Photoreading element

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