JPS58143242A - 漏洩ガス検出装置 - Google Patents
漏洩ガス検出装置Info
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- JPS58143242A JPS58143242A JP2659582A JP2659582A JPS58143242A JP S58143242 A JPS58143242 A JP S58143242A JP 2659582 A JP2659582 A JP 2659582A JP 2659582 A JP2659582 A JP 2659582A JP S58143242 A JPS58143242 A JP S58143242A
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- JP
- Japan
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- light
- gases
- visible light
- photodetector
- laser
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/39—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ） 発明の技術分野
本発明は漏洩ガス検出装置、特に冷却されるべき赤外光
半導体レーザ素子と可視光半導体発光素子とを受光素子
と共に電子冷却素子上に載置して光送受ユニットを構成
し、さらに光反射手段を該ある ０））技術の背景 赤外光を放射する鉛−テ／Ｉ／ル（ｐｂｓｎＴｅ）など
の多元半導体ならびに可視光を放射するガリウムアルミ
ニウム砒素（ｏａＡｇＡｓ）などの発光素子を材料とす
る光放射体は小型軽量で、しかも駆動電流によって波長
を可変できるなど多くの長所を有するために、今日では
広い分野に応用されて極めて有用なものとなっている。
半導体レーザ素子と可視光半導体発光素子とを受光素子
と共に電子冷却素子上に載置して光送受ユニットを構成
し、さらに光反射手段を該ある ０））技術の背景 赤外光を放射する鉛−テ／Ｉ／ル（ｐｂｓｎＴｅ）など
の多元半導体ならびに可視光を放射するガリウムアルミ
ニウム砒素（ｏａＡｇＡｓ）などの発光素子を材料とす
る光放射体は小型軽量で、しかも駆動電流によって波長
を可変できるなど多くの長所を有するために、今日では
広い分野に応用されて極めて有用なものとなっている。
また一方でやはシ例えばＨｇＣｄＴｅやＧａＡ［Ａ８な
どの多元半導体を材料とする各受光素子も小型軽量で、
しかも光検出感度が高いという長所を有するために、同
様に重用されている、 （Ｑ） 従来技術と問題点 これらの光放射体とか受光素子などは、液体窒素などの
寒剤を用い、−１９６’Ｃ（７７°Ｋ）位まで冷却して
使用されるのが普通であるが、最近では例えば電子冷却
素子などを用いても一１ｆ３０℃位には冷却できるよう
になったことから、電子冷却素用する場合も増えて来て
いる。この電子冷却索子を用いる方法は、上記の液体窒
素などの寒剤の時間経過に従かう消耗などがないという
点で長所を有すると言えるのであるが、その反面光放射
体は液体窒素を用いる場合のように連続発振動作ができ
ずにパルス発振動作となる。
どの多元半導体を材料とする各受光素子も小型軽量で、
しかも光検出感度が高いという長所を有するために、同
様に重用されている、 （Ｑ） 従来技術と問題点 これらの光放射体とか受光素子などは、液体窒素などの
寒剤を用い、−１９６’Ｃ（７７°Ｋ）位まで冷却して
使用されるのが普通であるが、最近では例えば電子冷却
素子などを用いても一１ｆ３０℃位には冷却できるよう
になったことから、電子冷却素用する場合も増えて来て
いる。この電子冷却索子を用いる方法は、上記の液体窒
素などの寒剤の時間経過に従かう消耗などがないという
点で長所を有すると言えるのであるが、その反面光放射
体は液体窒素を用いる場合のように連続発振動作ができ
ずにパルス発振動作となる。
一方、漏洩ガスを検知する目的の素子としては従来から
例えば酸化錫（Ｓｎｕｇ）にプラチナ（ｐｔ）とかパラ
ジウム（Ｐα）などをほんのわずか加えて焼結したもの
が開発されていた。この素子は表面にガス分子が吸着す
ると抵抗が変化することを利用したものであって、廉価
でありしかも冷却の必要がないという利点を有するが、
ガス検出の検出感度が悪く、また検出ガスの種類を区別
できないなどの欠点があった３ この他に赤外線レーザを用いた検知方式があるが赤外光
線は人間の眼に映じないので、仮に前記半導体素子が赤
外線だけを射出するものであれば、これの取扱い者は非
常な困難を感じる。
例えば酸化錫（Ｓｎｕｇ）にプラチナ（ｐｔ）とかパラ
ジウム（Ｐα）などをほんのわずか加えて焼結したもの
が開発されていた。この素子は表面にガス分子が吸着す
ると抵抗が変化することを利用したものであって、廉価
でありしかも冷却の必要がないという利点を有するが、
ガス検出の検出感度が悪く、また検出ガスの種類を区別
できないなどの欠点があった３ この他に赤外線レーザを用いた検知方式があるが赤外光
線は人間の眼に映じないので、仮に前記半導体素子が赤
外線だけを射出するものであれば、これの取扱い者は非
常な困難を感じる。
（へ）発明の構成
本発明はこうした欠点に鑑みてなされたもので電子冷却
素子の低温部に赤外光を放射する半導体レーザ素子と１
ｆ視光を放射する発光素子例えば半導体レーザ素子を受
光素子と共に載置して光送受ユニットを構成し、かっ該
光送受ユニットに対向して当該ユニット中の半導体レー
ザ素子より放射された光を反射し、同ユニット中の受光
素子に上記２つの光を導入するだめの光反射手段を支持
部材によって連結一体化したことを特徴とする漏洩ガス
検出装置を提供するものであシ、以下図面を用いて詳記
する。
素子の低温部に赤外光を放射する半導体レーザ素子と１
ｆ視光を放射する発光素子例えば半導体レーザ素子を受
光素子と共に載置して光送受ユニットを構成し、かっ該
光送受ユニットに対向して当該ユニット中の半導体レー
ザ素子より放射された光を反射し、同ユニット中の受光
素子に上記２つの光を導入するだめの光反射手段を支持
部材によって連結一体化したことを特徴とする漏洩ガス
検出装置を提供するものであシ、以下図面を用いて詳記
する。
（ｅ） 発明の実施例
第１図は本発明に係る漏洩ガス検出装置の構造を示す図
であって電子冷却素子１の低温側１ａには例えばセラミ
ック製の絶縁物１３を介して銅ブロック１４が載置され
てあり、さらにその上部にはやはり絶縁物１８を介して
赤外光放射用半導体レーザ素子２と可視光放射用発光素
子２５ならびに受光素子８が隣接して配設されている。
であって電子冷却素子１の低温側１ａには例えばセラミ
ック製の絶縁物１３を介して銅ブロック１４が載置され
てあり、さらにその上部にはやはり絶縁物１８を介して
赤外光放射用半導体レーザ素子２と可視光放射用発光素
子２５ならびに受光素子８が隣接して配設されている。
そして電子冷却素子ｌの高温側１ｂにはやはシ絶縁物１
３を介して放熱手段としてのヒートシンク４が取υ付け
られている。
３を介して放熱手段としてのヒートシンク４が取υ付け
られている。
こうした構成の光送受ユニット２０は例えば金属製の封
止容器１１によって覆われており、該容器１１の内部は
真空に引かれた真空室１２となっている。セして該光送
受ユニット２０の低部を貫通する絶縁部材１５によって
導線９．８，１６．２６が引き出されており、電子冷却
索子１に供給される電流は導線９を介して、上記容器１
１０反対側のヒートシンク４の内側にとりつけられた定
電流電源５から供給されるのであるが、赤外線放射用半
導体レーザ２および可視光放射用素子２５に隣接して配
置されている受光素子８は電子冷却素子ｌ上部の冷却温
度によって例えば−１８０℃位にまで冷却される。
止容器１１によって覆われており、該容器１１の内部は
真空に引かれた真空室１２となっている。セして該光送
受ユニット２０の低部を貫通する絶縁部材１５によって
導線９．８，１６．２６が引き出されており、電子冷却
索子１に供給される電流は導線９を介して、上記容器１
１０反対側のヒートシンク４の内側にとりつけられた定
電流電源５から供給されるのであるが、赤外線放射用半
導体レーザ２および可視光放射用素子２５に隣接して配
置されている受光素子８は電子冷却素子ｌ上部の冷却温
度によって例えば−１８０℃位にまで冷却される。
そして上記光送受ユニット２０のレーザ素子２から透光
窓ｌＯを介して矢印イ方向に放射されたレーザ光は、素
子２５からの可視光とほぼ平行して射出され、透光窓ｌ
Ｏから！なる距離だけ離れれた光反射手段としてのレト
ロリフレクタ３１で反射される。そしてこの反射された
レーザ光は可視光とほぼ平行して矢印口方向に帰って来
て、同じ透光窓１０を介して前記光送受ユニッ）２０の
容器ｌｌ内に入射して受光素子３によって光電変換され
るのであるが、との光電変換の結果としての電気信号は
、前述したようにレーザ素子２がパルス発振動作を行う
ものであるから、やはりパルス状のものとなる１、ただ
し５０は集光用のレンズであシ、透光窓ｌＯとしては可
視光をも透過する例えば弗化バリウムなどの板が用いら
れる。
窓ｌＯを介して矢印イ方向に放射されたレーザ光は、素
子２５からの可視光とほぼ平行して射出され、透光窓ｌ
Ｏから！なる距離だけ離れれた光反射手段としてのレト
ロリフレクタ３１で反射される。そしてこの反射された
レーザ光は可視光とほぼ平行して矢印口方向に帰って来
て、同じ透光窓１０を介して前記光送受ユニッ）２０の
容器ｌｌ内に入射して受光素子３によって光電変換され
るのであるが、との光電変換の結果としての電気信号は
、前述したようにレーザ素子２がパルス発振動作を行う
ものであるから、やはりパルス状のものとなる１、ただ
し５０は集光用のレンズであシ、透光窓ｌＯとしては可
視光をも透過する例えば弗化バリウムなどの板が用いら
れる。
このパルス状の電気信号は導線１６によって、前記ヒー
トシンク４の内側に前記定電流電源５およびレーザ素子
または発光素子駆動用パルス電源２１と共に隣接して内
蔵配置されている信号処理装置１７に導入されるように
なっている。
トシンク４の内側に前記定電流電源５およびレーザ素子
または発光素子駆動用パルス電源２１と共に隣接して内
蔵配置されている信号処理装置１７に導入されるように
なっている。
なお、１８は上記した定電流電源５．可視光および赤外
光のレーザ素子駆動用パルス電源２１および信号処理装
置１７を収納するケースであシ、８１およびこの両者を
支持する支持部材３０からなる第１図の漏洩ガス検出装
置をこのままＡＣコンセントに挿入して働かせるための
プラグである。
光のレーザ素子駆動用パルス電源２１および信号処理装
置１７を収納するケースであシ、８１およびこの両者を
支持する支持部材３０からなる第１図の漏洩ガス検出装
置をこのままＡＣコンセントに挿入して働かせるための
プラグである。
また、支持部材ＢＯは光送受ユニット２０に対するレト
ロリフレクタ３１の向きを正しい角度に固定維持せしめ
る役割を演する。
ロリフレクタ３１の向きを正しい角度に固定維持せしめ
る役割を演する。
今、第１図中で〔ンとして示したように、人体に対して
有壽であったり、あるいは爆発性であったりして危険な
ガス例えば−酸化炭素（ＣＯ） 、 −酸化窒素（Ｎｏ
）、ｉたはメタン（ＣＨ４）や他の灰化水Ｘ （ＣＨ）
などが、光送受ユニット２０とレトロリフレクタ８１と
の間の矢印４２口で示した光路をよぎる形で分布存在し
た場合には、赤外線はこれらガスのそれぞれに特有な異
なった波長において吸収される筈であるから、このガス
の区別はコンパクトに集積化された信号処理装置２１の
動作によって行える。
有壽であったり、あるいは爆発性であったりして危険な
ガス例えば−酸化炭素（ＣＯ） 、 −酸化窒素（Ｎｏ
）、ｉたはメタン（ＣＨ４）や他の灰化水Ｘ （ＣＨ）
などが、光送受ユニット２０とレトロリフレクタ８１と
の間の矢印４２口で示した光路をよぎる形で分布存在し
た場合には、赤外線はこれらガスのそれぞれに特有な異
なった波長において吸収される筈であるから、このガス
の区別はコンパクトに集積化された信号処理装置２１の
動作によって行える。
１ しかし半導体レーザ２から放射されるレーザ光は赤
外線であるために人間の眼に映じない。けれどもこの赤
外線と平行して放射さｉｚる発光素子２５からの光は可
視光であるので、この可視光を見当にして前記レーザ光
の軸合わせは容易に行えることになる。ちなみに上記発
光素子としてはガリウム（Ｇａ）アルミニウム（ｉ）砒
累（Ａｓ）の合金で作られた可視光レーザの赤または緑
色のレーザ光を用いると一層都合がよく、しかも人体に
対して危険がない。
外線であるために人間の眼に映じない。けれどもこの赤
外線と平行して放射さｉｚる発光素子２５からの光は可
視光であるので、この可視光を見当にして前記レーザ光
の軸合わせは容易に行えることになる。ちなみに上記発
光素子としてはガリウム（Ｇａ）アルミニウム（ｉ）砒
累（Ａｓ）の合金で作られた可視光レーザの赤または緑
色のレーザ光を用いると一層都合がよく、しかも人体に
対して危険がない。
以下、時間ｔを横軸にとって示した第２図（ａ）〜（ｄ
）に注目して動作を説明する。
）に注目して動作を説明する。
まず時間ｔに依存して便化するパルス状のＶ−ザ素子駆
動電流１ （ｔ）が第２図（ａ）に示したように時刻ｔ
ｏで立上がシ時刻ｔ８で立下がるものとする。
動電流１ （ｔ）が第２図（ａ）に示したように時刻ｔ
ｏで立上がシ時刻ｔ８で立下がるものとする。
１ｌ−ｖＪ電流Ｉ （ｔ）の継続時間は例えば５０μｓ
ｅｃ程度であるが、その間駆動電流１ （ｔ）は一定の
値を保つ。
ｅｃ程度であるが、その間駆動電流１ （ｔ）は一定の
値を保つ。
するとレーザ素子２の素子温度Ｔ （ｔ）は第２図（′
ｂ）に示したようにｔＯ〜ｔ３の期間にわたって上昇し
て行く。
ｂ）に示したようにｔＯ〜ｔ３の期間にわたって上昇し
て行く。
この第２図（ｂ）の素子温度’、ｃ （ｔ）の変化は、
レーザ素子２における発振波長λ（１）に第２図（０）
に示したような時間的掃引効果を生ぜしめることになる
。
レーザ素子２における発振波長λ（１）に第２図（０）
に示したような時間的掃引効果を生ぜしめることになる
。
そして受光素子８に反射して帰って来て入射した光の光
電変換された結果としての信号Ｖ （ｔ）は第２図（ロ
））に示したように、第１のガスに対しては時刻ｔｌｌ
ｃおけるＬ】なる吸収フィンを、また第２のガスに対し
ては時刻ｔ８におけるＬ２なる別の吸収ラインを、それ
ぞれ生せしめる。
電変換された結果としての信号Ｖ （ｔ）は第２図（ロ
））に示したように、第１のガスに対しては時刻ｔｌｌ
ｃおけるＬ】なる吸収フィンを、また第２のガスに対し
ては時刻ｔ８におけるＬ２なる別の吸収ラインを、それ
ぞれ生せしめる。
これは上記第１および第２のガスが第２図（Ｑ）に示し
たようにそれぞれλ１．λ２なる各波長における吸収を
呈する結果であるが、そのために時刻ｔ。
たようにそれぞれλ１．λ２なる各波長における吸収を
呈する結果であるが、そのために時刻ｔ。
から測ってτｌおよびτＢなる時間の後に上記したよう
な赤外線吸収が起こるならば、これらτｌおよびτ８の
値から空気中に浮遊するガスＧの種類がまず判シ、そし
てその他に、第２図（へ）中に示した。ａｌ。
な赤外線吸収が起こるならば、これらτｌおよびτ８の
値から空気中に浮遊するガスＧの種類がまず判シ、そし
てその他に、第２図（へ）中に示した。ａｌ。
ｄ２なる吸収の深さによってガスの濃度が判別できる
これらガスＧの種類の判定と濃度の判別は、第１図中に
示したコンパクトに作られた信号処理装置２１によって
行うことができるのであるが、このガスＧの存在の警報
手段は上記光送受ユニット込むことができるし、必要に
応じて前記したガスＧの種類と濃度に関する情報を必要
とする場合には上記光送受ユニット２０における信号処
理装置の出力を引き出す外部端子を別に設けて別の表示
ユニットに表示させるということを行なってもよい。
示したコンパクトに作られた信号処理装置２１によって
行うことができるのであるが、このガスＧの存在の警報
手段は上記光送受ユニット込むことができるし、必要に
応じて前記したガスＧの種類と濃度に関する情報を必要
とする場合には上記光送受ユニット２０における信号処
理装置の出力を引き出す外部端子を別に設けて別の表示
ユニットに表示させるということを行なってもよい。
また上記漏洩ガス検出装置を用いた検出対象ガスＧが空
気よシ軽いものであるならば、例えば一般家庭あるいは
実験室の天井等にとりつけておけばよいし、また逆に空
気よシ重いものであるならば通路あるいは廊下の片隅に
沿わせて配置してもよい。
気よシ軽いものであるならば、例えば一般家庭あるいは
実験室の天井等にとりつけておけばよいし、また逆に空
気よシ重いものであるならば通路あるいは廊下の片隅に
沿わせて配置してもよい。
こうした比較的複雑な操作を遂行する上においては、上
記レーザ光に可視光が平行して放射されることが操作上
大きな助けとなる。
記レーザ光に可視光が平行して放射されることが操作上
大きな助けとなる。
そして支持部材８０の直線部分例えば３０ａとして示し
た部分を例えば計算尺で用いられているような機構を用
いてスフイド式の伸縮自在な構造としておくならば、該
漏洩ガス検出装置の運搬、ガス検出範囲の自由な調整が
可能となる。
た部分を例えば計算尺で用いられているような機構を用
いてスフイド式の伸縮自在な構造としておくならば、該
漏洩ガス検出装置の運搬、ガス検出範囲の自由な調整が
可能となる。
（ｆ） 発明の効果
以上に述べた本発明に係る漏洩ガス検出装置は上記の応
用例の外に自動車の廃ガス検知にも利用できるが、要す
るにガス計測全般について適用可能なものであり、こう
した装置を配置しておくことによって爆発性気体、苺ガ
ス等の危険極゛まりない気体の漏洩を早期に発見して悲
惨な事故を未然に防止できるため、実用上極めて有用で
ある。
用例の外に自動車の廃ガス検知にも利用できるが、要す
るにガス計測全般について適用可能なものであり、こう
した装置を配置しておくことによって爆発性気体、苺ガ
ス等の危険極゛まりない気体の漏洩を早期に発見して悲
惨な事故を未然に防止できるため、実用上極めて有用で
ある。
第１図は本発明に係る漏洩ガス検出装置の構造を示す図
、第２図（ａ）〜（４）は上記検出装置の動作を説明す
るためのタイミングダイアグラムである。 図において１は電子冷却素子、２は半導体レーザ素子、
３は受光素子、４はヒートシンク、５は定電流電源・８
・９・１６・２６背線・ １°は透光窓、１１は容器、
１２は真空室、１Ｂは絶縁部材、１４は銅ブロック、１
５は絶縁部材、１７は信号処理装置、２５はｉＪ視光放
射用発光素子、８０は支持部材、８１はレトロリフレク
タをそれぞれ示１ す。 ２
、第２図（ａ）〜（４）は上記検出装置の動作を説明す
るためのタイミングダイアグラムである。 図において１は電子冷却素子、２は半導体レーザ素子、
３は受光素子、４はヒートシンク、５は定電流電源・８
・９・１６・２６背線・ １°は透光窓、１１は容器、
１２は真空室、１Ｂは絶縁部材、１４は銅ブロック、１
５は絶縁部材、１７は信号処理装置、２５はｉＪ視光放
射用発光素子、８０は支持部材、８１はレトロリフレク
タをそれぞれ示１ す。 ２
Claims (1)
- 電子冷却素子の低温部に赤外光を放射する半導体レーザ
索子と可視光を放射する発光素子とを受光素子と共に載
置して光送受ユニットを構成し、かつ該光送受ユニット
に対向して当該ユニット中の前記半導体レーザ素子およ
び発光素子より放射された赤外光と可視光の両者を反射
し、同ユニット中の受光素子に上記の両光を導入するだ
めの光反射手段を備えたことを特徴とする漏洩ガス検出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2659582A JPS58143242A (ja) | 1982-02-19 | 1982-02-19 | 漏洩ガス検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2659582A JPS58143242A (ja) | 1982-02-19 | 1982-02-19 | 漏洩ガス検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58143242A true JPS58143242A (ja) | 1983-08-25 |
Family
ID=12197878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2659582A Pending JPS58143242A (ja) | 1982-02-19 | 1982-02-19 | 漏洩ガス検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58143242A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63290947A (ja) * | 1987-05-25 | 1988-11-28 | Natl Res Inst For Metals | 大気汚染測定装置 |
| US5001346A (en) * | 1990-02-26 | 1991-03-19 | Rockwell International Corporation | Leak detection system with background compensation |
| US5298750A (en) * | 1992-01-15 | 1994-03-29 | Rericha Frank M | Laser precipitation sensor |
| JPH08278249A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-10-22 | Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus | 分光計 |
| USRE37926E1 (en) | 1996-02-21 | 2002-12-10 | Idec Izumi Corporation | Apparatus and method for detecting transparent substances |
| JP2006220625A (ja) * | 2005-02-14 | 2006-08-24 | Denso Corp | 赤外線式ガス検知装置 |
| WO2017164033A1 (ja) * | 2016-03-22 | 2017-09-28 | コニカミノルタ株式会社 | ガス測定装置 |
| JP2018194423A (ja) * | 2017-05-17 | 2018-12-06 | 住友電気工業株式会社 | 光モジュール、検知装置 |
-
1982
- 1982-02-19 JP JP2659582A patent/JPS58143242A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63290947A (ja) * | 1987-05-25 | 1988-11-28 | Natl Res Inst For Metals | 大気汚染測定装置 |
| JPH0549177B2 (ja) * | 1987-05-25 | 1993-07-23 | Kagaku Gijutsucho Kinzoku | |
| US5001346A (en) * | 1990-02-26 | 1991-03-19 | Rockwell International Corporation | Leak detection system with background compensation |
| US5298750A (en) * | 1992-01-15 | 1994-03-29 | Rericha Frank M | Laser precipitation sensor |
| JPH08278249A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-10-22 | Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus | 分光計 |
| USRE37926E1 (en) | 1996-02-21 | 2002-12-10 | Idec Izumi Corporation | Apparatus and method for detecting transparent substances |
| JP2006220625A (ja) * | 2005-02-14 | 2006-08-24 | Denso Corp | 赤外線式ガス検知装置 |
| WO2017164033A1 (ja) * | 2016-03-22 | 2017-09-28 | コニカミノルタ株式会社 | ガス測定装置 |
| JPWO2017164033A1 (ja) * | 2016-03-22 | 2019-01-31 | コニカミノルタ株式会社 | ガス測定装置 |
| JP2018194423A (ja) * | 2017-05-17 | 2018-12-06 | 住友電気工業株式会社 | 光モジュール、検知装置 |
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