JPS58140173A - 固体変位装置 - Google Patents

固体変位装置

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Publication number
JPS58140173A
JPS58140173A JP57022561A JP2256182A JPS58140173A JP S58140173 A JPS58140173 A JP S58140173A JP 57022561 A JP57022561 A JP 57022561A JP 2256182 A JP2256182 A JP 2256182A JP S58140173 A JPS58140173 A JP S58140173A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solid
displacement
film
electrode
displacement device
Prior art date
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Pending
Application number
JP57022561A
Other languages
English (en)
Inventor
Seiichi Iwamatsu
誠一 岩松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
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Publication date
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Publication of JPS58140173A publication Critical patent/JPS58140173A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/853—Ceramic compositions
    • H10N30/8536—Alkaline earth metal based oxides, e.g. barium titanates

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は強誘電体材料を用いた固体変位装置の構造に関
する。
従来、強誘電体材料の圧電効果として、強誘電体材料に
電圧を印加すると、強誘電体材料が変位することは良く
知られて居り、この現象を利用して、スピーカー等への
応用が計られていた。
しかし、従来技術では一枚の強誘電体材料基板の両面に
電極を構成するという方法が用いられていたため、変位
量が小さいという欠点および変位させるに必要な電圧が
高いという欠点があった。
本発明はかかる従来技術の欠点をなくし、低電圧で大き
な変位量の得られる固体変位装置を提供することを目的
とする。
前記目的を達成するための本発明の基本的な構成は、固
体変位装置において、強誘電体材料または膜には電極材
料または膜が積層して形成され、強誘電体材料または膜
と電極材料または膜の積層材料または膜が２層以上の多
層に形成されて成る事を特徴とする。
以下、実施例により本発明の詳細な説明する。
１はチタン酸バリウム等からなる強誘電体膜であり、２
．５はアルミニウム等からなる電極膜が２と３とが（し
形に　　に形成された電極であり、４はシリコーン、ゴ
ム等の弾性絶縁材料、あるいは中空状態からなる変位追
随形の絶縁材料によりて構成される。この様に構成され
た固体装置において、電極に電圧を印加すると、積層膜
の垂直方向、あるいは長さ方向に大きく変位することと
なる。
この様に多層構造のピエゾ効果紫子では、変位置は強誘
電体膜にかかる単位厚さ当たりの電圧によって定められ
るために、より小さな電圧で、より大きな変位置（寸法
）が得られる効果がある。
この様にして作成された固体変位装置は、その一端に針
を接着してプリンタ、ヘッドとして機械的な摺動部のな
い、より信頼度の高い装置に用いる事ができる他、生物
の筋肉に代わる新らしい固体変位装置として用いること
もできる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明による固体変位装置の一例の要部の断面
図である。 １・・・・・・強訴電体材料 ２．３・・・・・・電極 ４・・・・・・緩衝絶縁材料 峠ｔこイ立− 第１図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 強誘電体材料または膜には電極材料または膜が積層して
    形成され、該強誘電体材料または膜と電極材料または膜
    の積層材料または膜が２層以上の多層に形成されて成る
    事を特徴とする固体変位装置。
JP57022561A 1982-02-15 1982-02-15 固体変位装置 Pending JPS58140173A (ja)

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