JPS58135183A - Metallized ceramic resistor - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 ／ 本発明は膨化チタニウム及びす又は窒化チタニウムとア
ルミナを主成分とするセラミックス抵抗体の表面金属化
に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to surface metallization of a ceramic resistor whose main components are expanded titanium or titanium nitride and alumina.

従来より加熱又は着火の発熱体としてニッケルークロム
合金材料が多用されている。そして非金属系の発熱体と
して炭化珪素、ジルコニア、モリブデンＶすｔイド、ラ
ンタンクロマイト、縦索等が市販されている。ニッケル
ークロム合金材料は、金属材料であるから酸化腐食を避
けることが困難で、それ故に１発熱条件が制約される。Conventionally, nickel-chromium alloy materials have been widely used as heating elements for heating or ignition. Silicon carbide, zirconia, molybdenum V-stide, lanthanum chromite, longitudinal cable, etc. are commercially available as non-metallic heating elements. Since the nickel-chromium alloy material is a metal material, it is difficult to avoid oxidation corrosion, and therefore one heat generation condition is restricted.

を九ニッケルークロム合合材料は局部的な酸化腐食の進
行によシ発熱体の断面積が局部的に減少し、そこで局部
的に高い熱発生が起り、自己断線する場合がある。In the case of nickel-chromium composite materials, the cross-sectional area of the heating element decreases locally due to the progress of local oxidation corrosion, and a locally high heat generation occurs there, which may lead to self-disconnection.

を九上配した非金属系発熱体はその４Ｉ袖により耐酸化
性が劣ったり製造コストが高い九め使用が限られ、ニッ
ケルークロム合金材料に見られるよりな背反性がない。The use of non-metallic heating elements is limited due to their poor oxidation resistance and high production costs due to their 4I sleeves, and they do not have the trade-offs found in nickel-chromium alloy materials.

発明者等はニッケルークロム合金材料に代わる、ｆ用用
途の広い安価で耐久性のある発熱材料の開発を進め線化
チタニウムと窒化チタニウムの１種または２種とアルき
すとｔ主成分とする焼結体を完成し友、この焼結体は比
抵抗が１０−４ないし数ｉで通常の電気炉用ヒーターと
して使えるばかりでなく各種ヒーター、グロープラグや
各種センサー保温用ヒーター、シガーライターなどに使
えることができるすぐれたセラミックス抵抗体である。The inventors are proceeding with the development of an inexpensive and durable heat-generating material with a wide range of uses to replace the nickel-chromium alloy material, and the main components are one or two of titanium wires and titanium nitride, and aluminum and t. After completing the sintered body, this sintered body has a specific resistance of 10-4 to several i, and can be used not only as a heater for an ordinary electric furnace, but also for various heaters, glow plugs, heaters for keeping various sensors warm, cigarette lighters, etc. This is an excellent ceramic resistor that can be used.

本発明はこのセラミック抵抗体を構成要素とするもので
、その表面の二部に金属層を焼付けて形成したものであ
る。この金属ｌの形成により電気端子として使用する金
属リードを接合したり、金属に貼シ付けて使用できる。The present invention uses this ceramic resistor as a component, and is formed by baking a metal layer on two parts of its surface. By forming this metal l, it can be used by joining a metal lead used as an electric terminal or by pasting it on metal.

従来、セラミックスの表面をメタライズドする方法とし
て、セラミックスの表面に導電性良好なガラスバインダ
ー人シ金属ペーストを塗布し、ガラスバインダーの溶け
る温度で焼成して、金属層を形成する方法、アルミニウ
ム、金、ニッケルなどの金属を蒸着して金属層を形成す
る方法、更にセラミックに穴を開は金属を穴を介してか
しめて機械的に固着する方法３；’ｌｏ　６１Ｌ（％　
７’。Conventionally, methods for metallizing the surface of ceramics include applying a glass binder metal paste with good conductivity to the surface of the ceramic, and firing it at a temperature that melts the glass binder to form a metal layer. A method of vapor depositing a metal such as nickel to form a metal layer, and a method of drilling a hole in the ceramic and mechanically fixing it by caulking the metal through the hole.
7'.

■に、ＩＣ基板のメタライズに用いられているように、
アルミナ系基板の上にタングステンとかモリブデンのベ
ースとヲ塗布し、焼成して金属層を形成する方法が知ら
れている。■As used in the metallization of IC boards,
A method is known in which a base of tungsten or molybdenum is coated on an alumina-based substrate and fired to form a metal layer.

しかしこれらの方法は接合部の強度が弱く、不完全な固
着しか実現できない。％にタングステンとかモリブデン
のペーストラ使用する方法は有効な方法であるが、前記
した新規なセラミック抵抗体の表面にアルミナ基板用の
市叡モリブデンとかタングステンのペーストｔ−塗布し
焼成しても強度が弱くメタライズは不可能であった。However, with these methods, the strength of the joint is weak and only incomplete adhesion can be achieved. Although it is an effective method to use a paste of tungsten or molybdenum for alumina substrates, the strength is low even after applying a paste of commercially available molybdenum or tungsten for alumina substrates to the surface of the new ceramic resistor described above and firing it. Metallization was not possible.

本発明は上記問題点に鑑みてなされ友もので炭化チタニ
ウムと窒化チタニウムの１ｌｉｔたは２種とアルミナと
を主要成分とするセラミックス抵抗体の表面に値力な金
属層を形成し、リード線等の接合が容易に実現で、沸、
種実の発熱体として応用可能なセラミックス抵抗体を拠
供することを目的とする。The present invention was made in view of the above-mentioned problems, and consists of forming an expensive metal layer on the surface of a ceramic resistor whose main components are 1 or 2 types of titanium carbide and titanium nitride and alumina. Easy to join, boiling,
The purpose is to provide a ceramic resistor that can be used as a seed heating element.

本発明は金属層としてモリブデンとタングステンの１４
Ｉｌ［を九は２種を主成分とし添加物としてアルミナ、
マンガン、酸化マンガン、ニッケルのうち少なくともｔ
ｉｉｉｔｔ含む組成のものｔ用いることにより、侭力な
金属層が形成されることを発見したことに基づく。− すなわち、本発明のメタライズド・セラミックス抵抗体
は炭化チタニウムと窒化チタニウムと、該焼結体の一部
表面に焼付けられた、アルミナ、マンガン、酸化マンガ
ン、ニッケルのうち少なくとも１種を含み、モリブデン
とタングステンの１櫨または２種を主成力とする金属層
とで構成されること全特徴とするものである。The present invention uses molybdenum and tungsten as the metal layer.
Il[9] has two main ingredients, alumina as an additive,
At least t of manganese, manganese oxide, and nickel
This is based on the discovery that a strong metal layer can be formed by using a composition containing t. - That is, the metallized ceramic resistor of the present invention contains titanium carbide, titanium nitride, and at least one of alumina, manganese, manganese oxide, and nickel baked on a part of the surface of the sintered body, and contains molybdenum and The main feature is that it is composed of a metal layer mainly composed of one or two types of tungsten.

本発明のメタライズドセラミックス抵抗体の主要構成要
素である焼結体は、炭化チタニウムと電化チタニウムの
１種または２＠とアルミナとｔ主要成分とする混合粉末
の形成体を非酸化性雰囲気で焼結したものである。この
焼結体の組成は窒化チタニウムとアルミナの糸では、全
体ｔ１００重量％とした場合、窒化チタニウム２〜８０
％、アル電すｇｏ−＊ａ％、よル好ましい組成は電化チ
タニウムｌ５Ｎ５０％、アルミナ６０〜９６％である。The sintered body, which is the main component of the metallized ceramic resistor of the present invention, is produced by sintering a mixed powder mixture of titanium carbide, electrified titanium or titanium, and alumina as the main components in a non-oxidizing atmosphere. This is what I did. In the case of titanium nitride and alumina thread, the composition of this sintered body is 2 to 80% titanium nitride, assuming that the total t is 100% by weight.
%, a more preferable composition is 50% electrified titanium l5N and 60 to 96% alumina.

このような組成の窒化チタニウムとアルミナとの焼結体
の比抵抗体は１０−４ないＩｋｎ扁となり発熱体の比抵
抗として好ましい。A resistivity body of a sintered body of titanium nitride and alumina having such a composition has an Ikn flatness of less than 10<-4>, which is preferable as a resistivity of a heating element.

を九脚化チタニウムとアルミナの糸では、炭化チタニウ
ム１０〜８０重量％、アルミナ２０〜９０１量％、より
好ましくは炭化チタニウム１５〜５０重量％、アルミナ
５０〜８６重量％である。このような組成の焼結体の比
抵抗は１０−４ないし数ΩＧとなる。なお、炭化チタニ
ウムと鼠化チタ・ニウムとｔ混合して配合してもよい。In the nonapodized titanium and alumina thread, the content is preferably 10 to 80% by weight of titanium carbide and 20 to 901% by weight of alumina, more preferably 15 to 50% by weight of titanium carbide and 50 to 86% by weight of alumina. The specific resistance of a sintered body having such a composition is 10@-4 to several .OMEGA.G. Note that titanium carbide and titanium rat may be mixed together.

この焼結体は次のようにして得られる。まず、目的の組
成割合とした窒化チタニウム粉末炭化チタニウム粉末ア
ルミナ粉末ｔボールミルとか振動ミルで十分に粉砕混合
して原・料混合粉末ｔｇ製する。この段階で目的とする
用途に応じて、造粒粉とし友り溶液と混合してスラリー
あるいはペーストとする０例えば棒状のセラミックヒー
タｔ！ＩＩｌ造する場合に社、造粒粉を型内で加圧して
圧密体を作る。薄板状セラミックヒータを製造する場合
には、スラリーをドクターブレード法で薄板を作り、そ
れを打ち抜いて所望の形状の薄板状グリーンコンパクト
とする。又印刷ヒータの場合には、例えばアルミナ基板
上にペース）をスクリーン印刷する。上記圧密体、グリ
ーンコンパクトは必要な場合乾燥工程を経て１６６０〜
１８６０″Ｃ１よシ好ましくは１７６０〜１８００’Ｏ
の温度範囲で焼結する。This sintered body is obtained as follows. First, titanium nitride powder, titanium carbide powder, alumina powder, and titanium nitride powder, titanium carbide powder, and alumina powder having a desired composition ratio are sufficiently ground and mixed in a T-ball mill or a vibration mill to produce a raw material mixed powder TG. At this stage, depending on the intended use, the powder is granulated and mixed with a solution to form a slurry or paste.For example, a rod-shaped ceramic heater is used. When forming, the granulated powder is pressurized in a mold to form a compacted body. When manufacturing a thin plate ceramic heater, a thin plate is made from slurry using a doctor blade method, and the thin plate is punched out into a thin plate green compact having a desired shape. In the case of a printed heater, for example, a paste is screen printed on an alumina substrate. The above compacted bodies and green compacts undergo a drying process if necessary.
1860″C1 or preferably 1760~1800′O
Sinter at a temperature range of

なお、焼成は窒化チタニウムおよび炭化チタニウムの酸
化を防止するため非酸化性雰囲気、不活性雰囲気又は１
Ｇ　　）−ル以下の臭突下で行なう。In order to prevent oxidation of titanium nitride and titanium carbide, firing is performed in a non-oxidizing atmosphere, an inert atmosphere, or
G) Carry out the test under an odor pressure below -1.

これにこり 右舎寺湊本発明の構成要素をなす焼結体を製造すること
ができる。By doing so, it is possible to produce a sintered body which is a component of the present invention.

なお焼結体の組成において窒化チタニウム炭化チタニウ
ムおよびアルミナにマグネシャ（Ｍｆｏ　）ｔ−ｏ、ｏ
ｓ〜６重量％程度配合すると品質の一定し九ヒータが得
られる。これは、マグネＶヤがアルミナの結晶の異常成
長全抑制する作用がＴｏ９、アルミナの結晶の過大成長
によｐ粒界移動に伴なった窒化チタニウム、炭化チタニ
ウムの偏ｒ？を抑制する効果がある。これによシミ流を
流した時の不均一な局部的発熱を防止することができる
。なお６重量％をこえるマグネシャの配合は焼結体を弱
める。さらに窒化チタニウム炭化チタニウムおよびアル
ミナにニッケルミ０．０５〜フ、６重量％程度配合する
とより緻密な焼結体が得られ、得られる焼結体のもつ比
抵抗の焼成温度への依存性を小さく安定化することがで
き、かつセラミックヒータとしての耐久性が向上する。In addition, in the composition of the sintered body, titanium nitride, titanium carbide, and alumina are combined with magnesia (Mfo) to, o.
If the amount is about 6% by weight, a heater of constant quality can be obtained. This is due to the effect of Magne V to completely suppress the abnormal growth of alumina crystals, and the deviation of titanium nitride and titanium carbide caused by the movement of p grain boundaries due to excessive growth of alumina crystals. It has the effect of suppressing This can prevent uneven local heat generation when the stain flow is applied. It should be noted that blending more than 6% by weight of magnesia weakens the sintered body. Furthermore, by adding about 0.05 to 6% by weight of nickel metal to titanium nitride, titanium carbide, and alumina, a denser sintered body can be obtained, and the dependence of the resistivity of the resulting sintered body on the firing temperature is small and stable. The durability of the ceramic heater is improved.

雰囲気焼成の場合アルミナ自体の融点は約２０６０°Ｃ
である几め、１６５０〜１ＢＩＳＯ’ｆｌの焼成温度で
充分に緻密化するが、窒化チタニウム／炭化チタニウム
は、融点が約８０００″Ｃ以上であるためアルミナの複
合材として焼結させても上述の温度範囲では充分に緻密
化しない、配合されたニッケルはこの窒化チタニウム、
炭化チタニウムの緻密化を助ける。In the case of atmosphere firing, the melting point of alumina itself is approximately 2060°C.
However, titanium nitride/titanium carbide has a melting point of about 8000"C or more, so even if it is sintered as an alumina composite material, it will not be as dense as mentioned above. This titanium nitride is the compounded nickel that does not densify sufficiently in the temperature range.
Helps densify titanium carbide.

この焼結体の焼結性あるいは耐酸化性を高めてより長冑
命の低コストセラミックヒータを得る几めに、他の添加
物、例えばクロム、クロムカーバイト等′ｔ＆３合する
ことはＩｆＩｉＫ制限しない。In order to improve the sinterability or oxidation resistance of this sintered body and obtain a low-cost ceramic heater with a longer life, it is prohibited to add other additives such as chromium, chromium carbide, etc. do not.

また製°造において、雰囲気による焼成のみを説明した
が焼結性を高める九め高□温高圧のホットプレスでセラ
ミックと−タを製造することもできる。In addition, in the manufacturing process, although only the firing in an atmosphere has been described, the ceramic material can also be manufactured using a hot press at a high temperature and high pressure, which improves sinterability.

本発明に係る代表的な焼結体の七′ラミック抵抗体とし
ての特性と従来のセラミックヒータの特性（比抵抗、曲
げ強度、熱膨張係数）を第１表に示す。さらに、本発明
に係る＠８Ａ４０・−ＩＩ　ＯＴｉＮ−Ｉ　ＭＩＯ−１
！ｉｉ　（アにミナ６８重量％、−化チタニウム８０１
に量％、マグ富量ャ１菖量％、ニッケルｌｌ１Ｉ量％、
以下同じ）および６８　ＡＪｍ　Ｏｎ　−８０Ｔｉｃ　
−Ｉ　ＭｆＯ−１１１１ 本発明のセラミックス抵抗体の他の構成要素である金属
層は、モリブデンとタングステンの１種または２種の金
属性粉末を主成分とし、これにアルミナ、マンガン、ニ
ッケル、酸化マンガンの粉末を配会し、焼結体の表面に
焼付けて形成したものでらる。Table 1 shows the characteristics of a typical sintered body according to the present invention as a 7' ramic resistor and the characteristics of a conventional ceramic heater (specific resistance, bending strength, coefficient of thermal expansion). Furthermore, @8A40・-II OTiN-I MIO-1 according to the present invention
! ii (Ani Mina 68% by weight, titanium chloride 801%
amount%, mag wealth amount 1 iris amount %, nickel ll1I amount %,
(same below) and 68 AJm On -80Tic
-I MfO-1111 The metal layer, which is another component of the ceramic resistor of the present invention, is mainly composed of one or two metal powders of molybdenum and tungsten, and contains alumina, manganese, nickel, and manganese oxide. It is formed by distributing the powder and baking it on the surface of the sintered body.

躬２表 金属層に含まれるアルミナ、マンガン、ニッケルの総量
社モリブデンとタングステンの総量１００菖量部にたい
して０．１〜１０重量部である。アルミナ、マンガン、
ニッケルの総量が０．１重量部に満たない場合、逆ＫＩ
ＯＩ量部金こえる場合に線、焼結体との間に４１１い結
合が得られない。なお、マレ茎 ンガン唸焼付時に部会水素で酸化され、酸化マンガンと
して存在する。従って、金属マンガンも酸化マンガンも
役割は同一でおる。配合量の０．１〜１ＯＪＩＩ量部は
金属マンガンを基準とする。The total amount of alumina, manganese, and nickel contained in the second surface metal layer is 0.1 to 10 parts by weight per 100 parts of the total amount of molybdenum and tungsten. alumina, manganese,
If the total amount of nickel is less than 0.1 part by weight, reverse KI
If the amount of OI exceeds the amount of gold, a good bond between the wire and the sintered body cannot be obtained. It should be noted that during burning, it is oxidized by hydrogen and exists as manganese oxide. Therefore, both metal manganese and manganese oxide have the same role. The blending amount of 0.1 to 1 OJII part is based on metallic manganese.

金属性の主成分となるモリブデンとタングステンは共に
平均粒径が８μ以下であることが好ましい、平均粒径が
８μ以下であると強度、抵抗の面で艮好な結果を示しそ
れ以上だと強度が−くなる。It is preferable that the average particle size of both molybdenum and tungsten, which are the main components of the metal, is 8μ or less.If the average particle size is 8μ or less, good results are obtained in terms of strength and resistance, and if it is larger than that, the strength is reduced. becomes negative.

金属層の成分として配合されるアルミナは焼結体の成分
であるアルミナと反応して、焼結体と金属層とｔ−１１
１１に結合するものと考えられる。を九ニッケルは焼結
体中の雪化チタニウム、膨化チタニウムに固溶すること
によシ両者を強固に結合させる。ｔたマンガン、酸化マ
ンガンは酸化マンガンの状態で焼結体のアルミナ粒界層
に拡散し両者を強固に結合させるものと考えられる。The alumina mixed as a component of the metal layer reacts with the alumina that is a component of the sintered body, and the sintered body, the metal layer, and the t-11
11. By forming a solid solution in the titanium snow and expanded titanium in the sintered body, 9 nickel firmly bonds the two. It is thought that the manganese and manganese oxide diffuse into the alumina grain boundary layer of the sintered body in the state of manganese oxide and firmly bond the two.

なお、金属５層の形成成分である上記混合粉末は適当な
粘着剤を含む液体を配合し、ペースト状とされ、焼結体
の表面に塗布される。そして非酸化性雰囲気下で焼成し
、焼結体の表面に焼付けられて一体となった金属層を形
成する。The mixed powder, which is a constituent of the five metal layers, is mixed with a liquid containing a suitable adhesive, made into a paste, and applied to the surface of the sintered body. Then, it is fired in a non-oxidizing atmosphere to form an integrated metal layer on the surface of the sintered body.

金属層の厚さ及び面積は％に制限されないが、犀さは２
０μが実用上適当である。The thickness and area of the metal layer are not limited to %, but the thickness is 2
0 μ is practically appropriate.

形成された金属層の表面に金属線を直接ロウ付けするこ
とも可能であるが、ニッケル等をメッキし、その上に金
属線をロウ付けするのが好ましい。Although it is possible to braze the metal wire directly to the surface of the formed metal layer, it is preferable to plate the surface with nickel or the like and braze the metal wire thereon.

以下、実施例により説明する。Examples will be explained below.

実施例１ 粒径８μのアルミナ（Ａｊ’＊　Ｏｓ　）粉末６６．５
　ｗｔ％、粒径１μの戻化チタニウム（ＴｉＧ　）粉末
３　Ｑ　ｗｔ％、アルきすの粒成長抑制剤としてマグネ
シャ（ｍｆｏ）粉末１ｗｔ％、＝’／ケル（Ｎ１）粉末
２．５ｗｔ％ｔ−混合して得た分散良好な粉末を形成し
て非酸化性雰囲気下で１７００℃で２時間焼成し第１図
にその斜視図を示す！！ＷＸｌｉｌｌｌＸ５ＱＩＥｌの
焼結体ｌｔ−得た。こＱ焼結体１の比抵抗は４Ｘ１０−
’ＱｅＨ１であった。Example 1 Alumina (Aj'*Os) powder with a particle size of 8μ 66.5
wt%, reconstituted titanium (TiG) powder with a particle size of 1μ 3 Q wt%, magnesia (mfo) powder 1wt% as a grain growth inhibitor for alkis, ='/Kel (N1) powder 2.5wt%t-mixture The resulting well-dispersed powder was formed and calcined at 1700°C for 2 hours in a non-oxidizing atmosphere, and a perspective view is shown in Figure 1! ! A sintered body of WXlillX5QIEl was obtained. The specific resistance of this Q sintered body 1 is 4X10-
'It was QeH1.

次に金属層を形成するため第８表に示すペースト組成の
試料１ｋ１６種＠　（Ｈ＆１〜Ｎ１１６）と参考まで゛
に従来のペースト組成のもの１＠類（ｅｉａｌｏｌ）ｔ
−＊製した。なおここで用いたモリブデンの平均粒径は
０．８μ、マンガンの平均粒径は１６μ、酸化マンガン
の平均粒径は２８μ、アルζすの平均粒径は１μ、ニッ
ケルの平均粒径は８μで６つ九。Next, in order to form a metal layer, samples 1k and 16 types (H&1 to N116) with the paste composition shown in Table 8 and samples 1 and 1 with the conventional paste composition (eialol) are included for reference.
-*Made. The average particle size of molybdenum used here was 0.8μ, the average particle size of manganese was 16μ, the average particle size of manganese oxide was 28μ, the average particle size of aluminum was 1μ, and the average particle size of nickel was 8μ. Six nine.

また第１表中の酸化マンガンの配合量は金属マンガンに
換算し喪値である。第１表に示す１７種類の組成物は各
４重量比でエチルセルロース：テレビネルオール−１＝
９の混合溶液を適量加えて充分に混練して粘堀なペース
トとした。そしてこのベース）ｌ前記焼結体１の両端部
に近い一面に６μｗ　ｘ　５　ｇにスクリーン印刷し、
露点８Ｇ’Ｏの水素ガス中で１ｉｏｏ’ｃで１時間焼付
け、第２図にその斜視図を示す、焼結体１の表面に金属
層ｚｙ一体的に焼付けた本発明のメタライズドセラミッ
ク第８表 ス抵抗体を製造し良。Further, the amount of manganese oxide in Table 1 is a loss value in terms of metallic manganese. The 17 types of compositions shown in Table 1 were each prepared in a 4 weight ratio of ethylcellulose:televaneol-1=
An appropriate amount of the mixed solution of No. 9 was added and thoroughly kneaded to form a viscous paste. Then, screen printing was performed on one side of the sintered body 1 near both ends to a size of 6 μw x 5 g,
Table 8 Metallized ceramic of the present invention baked integrally with the metal layer zy on the surface of the sintered body 1 baked for 1 hour at 1ioo'c in hydrogen gas with a dew point of 8 G'O, the perspective view of which is shown in FIG. Good for manufacturing resistors.

本発明のメタライズドセラミックス抵抗体の焼結体１と
金属層２との接合強度を調べる九め、金属層２の表面に
ニッケルをメッキしてニッケルメッキ層を形成し、この
ニッケルメッキ層の面にコパール金属３を銀ロウで接合
した。この状Ｕを第８図に示す。次に焼結体１會固定し
、焼結体１の一端からｔＯＷ＠れたコパール金属８の部
分をコパール金属８の長手方向と垂直上方（Ｂ方向）に
衝菖會かけコパール金属８が焼結体１より剥離する荷重
を求め、この荷重を上記接合強度とじ九。−１−Ｎａ１
６のペース１組成の金属層の強度を第１表に合せて示す
。いずれも２．０Ｋｇ以上であつた。なお従来の金属層
の強度線＊１０１に示すようＫＯ，７に９であった。Ninth, to examine the bonding strength between the sintered body 1 and the metal layer 2 of the metallized ceramic resistor of the present invention, the surface of the metal layer 2 is plated with nickel to form a nickel plating layer, and the surface of the nickel plating layer is coated with nickel. Copal metal 3 was joined with silver solder. This state U is shown in FIG. Next, the sintered body 1 is fixed, and the part of the copal metal 8 that is tOW@ from one end of the sintered body 1 is pushed in the longitudinal direction and vertically upward (direction B) of the copal metal 8, so that the copal metal 8 is sintered. Determine the load that causes the unit to peel off from the body 1, and calculate this load as the bonding strength described above. -1-Na1
Table 1 shows the strength of the metal layer of No. 6 PACE 1 composition. All weighed 2.0 kg or more. As shown in the strength line *101 of the conventional metal layer, the results were KO, 7 to 9.

このように本発明の抵抗体では焼結体１と金属層２が強
力に接合しているのがわかる。It can thus be seen that in the resistor of the present invention, the sintered body 1 and the metal layer 2 are strongly bonded.

実施例２ 本発明に係る焼結体として、第４表に示す焼結体組成を
実施例１と同様に成形燗結して一１７〜＆８８０１７４
１類の２ｍｘ　５ａｒＸ　Ｉ　０ｗｎ５の焼結体を調製
した。これら１７種類の焼結体に実施例１と同様の方法
でモリブデン粉末１００重量部とマンガン粉末６重量部
よυなるペーストをスクリーン印刷し焼付は各々金属／
ＩＩを形成し、本発明のメタライズドセラミックス抵抗
体を得た。Example 2 As a sintered body according to the present invention, the sintered body composition shown in Table 4 was molded and sintered in the same manner as in Example 1.
A sintered body of type 1 2m x 5arX I 0wn5 was prepared. A paste of 100 parts by weight of molybdenum powder and 6 parts by weight of manganese powder was screen printed on these 17 types of sintered bodies in the same manner as in Example 1, and the baking was performed on each metal/
II was formed to obtain a metallized ceramic resistor of the present invention.

これら抵抗体の焼結体と金属層の強度をみる念め、実施
例１と同じ方法でその強度を測定した。In order to check the strength of the sintered body and metal layer of these resistors, the strength was measured using the same method as in Example 1.

各抵抗体の比抵抗と強度を第４表に合せて示す。The specific resistance and strength of each resistor are shown in Table 4.

なお第４表中の−４の抵抗体は第８表のＮａ４の抵抗体
と同じものである。いずれも４９　Ｋｇから５．７鈎の
強度を示し、焼結体組成が異っても金属層が強固に接合
していることが明らかである。Note that the -4 resistor in Table 4 is the same as the Na4 resistor in Table 8. All of them exhibited a strength of 5.7 hooks from 49 Kg, and it is clear that the metal layers were firmly bonded even though the sintered body compositions were different.

実施例８ 実施例１で用いたのと同じ焼結体に平均粒径１．４μの
タングステン粉末１００ＩｌＵ量部とマンガン粉末６富
量部とよりなるペースト１に実施例１と同様に調製し、
かつ実施例１と同様に焼付けて焼結体の表面に金属層を
形成し、本発明のメタライズドセラミックス抵抗体ｆ：
得た。この抵抗体のｇｉＩ度は４、７　Ｋ９であった。Example 8 A paste 1 was prepared in the same manner as in Example 1, consisting of the same sintered body as used in Example 1, 100 IlU parts of tungsten powder with an average particle size of 1.4 μm, and 6 rich parts of manganese powder.
Then, a metal layer was formed on the surface of the sintered body by baking in the same manner as in Example 1, and the metallized ceramic resistor f of the present invention was obtained:
Obtained. The giI degree of this resistor was 4.7 K9.

第４表 実施例４ 実施例１で用いたのと同じ焼結体に平均粒径１．４μの
タングステン粉末５０重量部と平均粒径０．８μのモリ
ブデン粉末５０重量部およびマンガン粉末６重量部とよ
りなるペース）を実施例１と同様に調製し、かつ実施−
１と同様に焼付けて焼結体の表面に金属層を形成し、本
発明のメタライズドセラミックス抵抗体を得た。この抵
抗体の強度は５．０−であった。Table 4 Example 4 50 parts by weight of tungsten powder with an average particle size of 1.4μ, 50 parts by weight of molybdenum powder with an average particle size of 0.8μ, and 6 parts by weight of manganese powder were added to the same sintered body as used in Example 1. (Pace) was prepared in the same manner as in Example 1 and carried out.
A metal layer was formed on the surface of the sintered body by baking in the same manner as in 1, to obtain a metallized ceramic resistor of the present invention. The strength of this resistor was 5.0-.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は本発明のメタライズドセラミックス抵抗体の構
成要素である焼結体の一例を示す斜視図、第２図は本発
明の一実施例であるメタライズドセラミックス抵抗体斜
視図、第８図は第２図のセラｔツクス抵抗体にコバール
金属ｔＩ！合し次状態の斜視図である。図中符号１は焼
結体、２は金属層、［はコパール金属を示す。 特許出腋入　　日本電装株式会社 代理人弁理士　大川　宏FIG. 1 is a perspective view showing an example of a sintered body that is a component of a metallized ceramic resistor of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a metallized ceramic resistor that is an embodiment of the present invention, and FIG. Kovar metal tI is used for the ceramic resistor shown in Figure 2! FIG. In the figure, numeral 1 indicates a sintered body, 2 indicates a metal layer, and [ indicates a copal metal. Patent Attorney Hiroshi Okawa, Patent Attorney for Nippondenso Co., Ltd.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）膨化チタニウムと窒化チタニウムの１種または２
種とアルミナとを主要成分とする焼結体と、該焼結体の
一部表面に貌付けられた、アルミｆ　％マンガン、酸化
マンガン、二・ツケルのうち少なくとも１種を含み、モ
リブデンとタングステンの１１１または２種を主成分と
する金属層とで構成嘔れること１−特徴とするメタライ
ズドセラミックス抵抗体(1) One or two of expanded titanium and titanium nitride
A sintered body whose main components are seeds and alumina, and a part of the surface of the sintered body containing at least one of aluminum f% manganese, manganese oxide, and 2.5% manganese, and molybdenum and tungsten. A metallized ceramic resistor consisting of a metal layer mainly composed of 111 or 2 of （２）金属層に含まれるアルミナ、マンガン、二、ケル
の総量はモリブデンとタングステンの総量１００富量部
にたいして０．１〜１０３１量部である特許請求の範囲
第１項記載の抵抗体(2) The resistor according to claim 1, wherein the total amount of alumina, manganese, di-Kel contained in the metal layer is 0.1 to 1031 parts by weight per 100 parts by weight of the total amount of molybdenum and tungsten.