JPS58132449A - Polisher - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To continuously effectuate different finishings with tools, by moving the selected tool forth onto a machined surface and moving the other tools back. CONSTITUTION:Three pairs of tools 26a and 26d, 26b and 26e, 26c and 26f for performing different finishings are provided on a disc-like base 1 along its circumference so that the tools can be selectively moved back and forth by electromagnets 14a-14f or the like perpendicularly to the machined surface of a workpiece 36. To start the finishings, the reflectivity of the machined surface as to light is detected by a photoelectric discriminator or the like to select the necessary tools first. The base 1 is then turned to cause the selected tools to face the machined surface. At the same time, the other tools are all moved back to the base 1 by the electromagnets or the like. After that, a table 40 is driven back and forth to perform the desired finishing.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は被加工物に対して表面あらさの異なる仕上は
加工を連続して行なうことができるようにした研摩装置
に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a polishing apparatus capable of continuously processing a workpiece with different surface roughnesses.

〔発明の技術的背景とその問題点〕[Technical background of the invention and its problems]

工具としてたとえば砥石食用いて被加工物を研本加工す
る一合、良好な仕上は面を得るために初めは粒度の大き
な砥粒からなる砥石を用いて粗仕上げ加工を行ない、つ
いで順次粒度の小さな砥粒からなる砥石を用いて中仕上
げ加工精密仕上げ加工を行なうようにしている。For example, when grinding a workpiece using a whetstone as a tool, in order to obtain a good surface finish, rough finishing is first performed using a whetstone made of abrasive grains of large grain size, and then rough finishing is performed using a whetstone made of abrasive grains of large grain size. Semi-finishing and precision finishing are performed using a whetstone made of abrasive grains.

従来、仁のような研摩加工においては、っぎの仕上げ加
工に移るときに、研傘装ａｒ’ｔ−停止して砥石を交換
しなければならなかった。そのため、砥石の交換作業に
手間が掛るとともに、その間は研摩装＃を稼動させるこ
とができないから生産性も低下するという間亀もあった
。Conventionally, in grinding processes such as grinding, it was necessary to stop the grinding equipment and replace the grindstone when moving on to finishing. For this reason, it took time to replace the grindstone, and the polishing machine # could not be operated during that time, resulting in a decrease in productivity.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

この発明は異なる仕上は加工に移るときに、工具の交換
作業をせずにすむようＫして、作業性や生産性の向上を
計ることができるようにした研摩装置を提供することに
ある。The object of the present invention is to provide a polishing device that can improve workability and productivity by eliminating the need to change tools when processing a different finish.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

駆動源によって駆動される基体の被加工物と対向する面
に、この面に対して直交する方向に変位自在Ｋ［数のホ
ルダを設け、これらホルダｔ−ｆｔｔｌＪ　ｉ＃機構に
よって選択的に変位させるとともに、選択的に変位させ
られるホルダごとにそれぞれ被加工物に対して異なる仕
上げ加工を行なう工具を設け、上記制御機構で工具を選
択することによシ、異なる仕上げ加工を連続的に行なえ
るようにしたものである。A number of holders are provided on the surface of the base body driven by the drive source, facing the workpiece, and are displaceable in a direction perpendicular to this surface, and these holders are selectively displaced by the t-fttlJ i# mechanism. In addition, each holder that is selectively displaced is provided with a tool that performs a different finishing process on the workpiece, and by selecting the tool using the control mechanism described above, different finishing processes can be performed continuously. This is what I did.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

以下、この発明の一実施例を図面を参照して説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図中１は基体である。この基体１は上盤２の下面に下盤
３が接合固定され九振部４と、この振部４の上盤２の上
面中央部から立設された軸体５とからなる。この軸体５
の中途部にはプーリ６が嵌着され、このプーリ６と駆動
源であるモータ７の回転軸８に嵌着されたプーリ９との
間にはベル）１０が張設されている。In the figure, 1 is a base. This base body 1 includes a lower plate 3 joined and fixed to the lower surface of an upper plate 2, a nine swinging part 4, and a shaft body 5 erected from the center of the upper surface of the upper plate 2 of this swinging part 4. This shaft body 5
A pulley 6 is fitted in the middle of the pulley 6, and a bell 10 is stretched between the pulley 6 and a pulley 9 fitted to a rotating shaft 8 of a motor 7 serving as a drive source.

また、軸体５の上部と下部とはそれぞれ軸受１１．１２
によって支持されている。したがりて、基体１は上記モ
ータ１によりベルトＪＯｔ−介して回転駆動されるよう
になっている。Moreover, the upper and lower parts of the shaft body 5 are bearings 11 and 12, respectively.
Supported by Therefore, the base body 1 is rotationally driven by the motor 1 via the belt JOt-.

上記振部４の上盤２には、この下面側に開放した被数、
この実施例では６つの第１の凹部１３・・・が周方向に
弊間隔で形成されている。これら第１の凹部１３・・・
にはそれぞれ第１乃至第６の電磁マグネット１４ｍ〜１
４１が固定的に収納されている。そして、振部４の径方
向において互いに対向する３組の第１，４の電磁マグネ
ット１４ｍ、１４ｄ、第２．第５の電磁マグネット１４
ｂ、１４・および第３．第６の１［缶マグネ、ト１４ｃ
、１４ｆは、上記軸体５の上端部外周面に設けられた第
１乃至第３のスリップリングＩｓ、１６，１７１にそれ
ぞれリード籾１８・・・を介して電気的に接続されてい
る。第１乃至＠３０．ｘ　！ｊ　、７’ｌＪ　ンｒｉ　
ｓ　、　７６．７　ｙ［は図示せぬ電源に接続された第
１乃至第３の接触子１９，２０．２１が対向して配設さ
れている。これら第１乃至第３の接触子１９，２０゜２
１は図示せぬ支持機構によってスライド自在に支持され
ているとともにそれぞれ第１乃至第３のルノイド（図示
せず）によってスライド駆動されるようになっている。The upper plate 2 of the swinging part 4 has a number opened on the lower surface side,
In this embodiment, six first recesses 13 are formed at regular intervals in the circumferential direction. These first recesses 13...
have first to sixth electromagnetic magnets 14m to 1, respectively.
41 is fixedly stored. Three sets of first and fourth electromagnetic magnets 14m, 14d, second . Fifth electromagnetic magnet 14
b, 14. and 3rd. 6th 1 [Can Magne, To 14c
, 14f are electrically connected to the first to third slip rings Is, 16, 171 provided on the outer circumferential surface of the upper end portion of the shaft body 5, respectively, via lead wires 18.... 1st to @30. x! j ,7'lJ Nri
s , 76.7 y[ are provided with first to third contacts 19, 20, and 21 facing each other, which are connected to a power source (not shown). These first to third contacts 19, 20°2
1 is slidably supported by a support mechanism (not shown) and is slidably driven by first to third lunoids (not shown), respectively.

したがって、第ｌ乃至第３のスリ、ｆリングＩｓ、１６
．１７にそれぞれ第１乃至第３の接触子１９，２０゜２
１を選択的に接触させれば、上記スリ、プリングＩｓ、
１６．１７にそれぞれ接続された３組の電磁マグネ、ト
のうちの１組が付勢されるようになっている。Therefore, the lth to third pickpockets, f ring Is, 16
．． 17, the first to third contacts 19, 20°2, respectively.
1 selectively contacts, the above-mentioned pickpocket, pulling Is,
One set of three sets of electromagnets connected to 16 and 17 is energized.

また、基体１の振部４を構成する下盤３には、上盤２に
形成された第１の凹部１３・・・と対応する位置に下盤
３の下面側に開放した第２の凹部２２・・・が形成され
ている。これら第１の凹部Ｊ３・・・と第２の凹部２２
・・・とけ、第２の凹部２２・・・の中心部に穿設され
た挿通孔２３・・・によって連通している。これら挿通
孔２３・・・には下盤３の厚さ寸法よりもわずかに長い
可動軸２４・・・が挿通されている。各可動軸２４・・
・の上端には、挿通孔２３・・・よシも大径で第１の凹
部ＩＳ・・・内に各電磁マグネ、ト１４＆−１４１と対
向位置する磁性材料からなる鍔２５・・・が形成され、
下盤３の下面から突出した下端には、第２図に示すよう
に、円形の第１乃至第６のホルダ２６ａ〜２６１が固着
されている。これらホルダ２６１〜２６ｆは、第３図に
示すように、第２の凹部２２・・・に収納されたばね２
１・・・によって下盤３の下面から離間する方向に付勢
され、また下面にはそれぞれ工具としての砥石が取り付
けられている。すなわち、第１．第４のホルダ２６ａ。In addition, the lower plate 3 constituting the swinging part 4 of the base 1 has a second recess opened on the lower surface side of the lower plate 3 at a position corresponding to the first recess 13 formed in the upper plate 2. 22... are formed. These first recesses J3... and second recesses 22
. . , and communicate through an insertion hole 23 . . . formed in the center of the second recess 22 . Movable shafts 24, which are slightly longer than the thickness of the lower plate 3, are inserted into these through holes 23, respectively. Each movable axis 24...
- At the upper end, there is a flange 25 made of a magnetic material located in the insertion hole 23...and a first recess IS...with a larger diameter and facing each of the electromagnetic magnets 14 & -141. formed,
As shown in FIG. 2, first to sixth circular holders 26a to 261 are fixed to the lower end protruding from the lower surface of the lower plate 3. As shown in FIG. These holders 261 to 26f, as shown in FIG.
1... are urged in a direction away from the lower surface of the lower plate 3, and a grindstone as a tool is attached to each lower surface. That is, 1st. Fourth holder 26a.

２６ｄには粗仕上げ用の第１の砥石２８、第２゜第５の
ホルダ２６ｂ、２６・には中仕上げ用の第２の砥石２９
、第３．＠６のホルダ２６ｃ。A first whetstone 28 for rough finishing is installed at 26d, a second whetstone 29 for semi-finishing is installed at the second and fifth holders 26b and 26.
, 3rd. @6 holder 26c.

２６１には精密仕上げ用の第３の砥石３０が取り付けら
れている。なお、各ホルダ２６ａ〜２６ｆに対する各砥
石２Ｂ、２９．３０の取り付は構造は、第２図及びｓ１
！４図に示すようにホルダ２６＆〜ｓｉｔの下面に９０
度間隔で４本のアリ溝ＪＪｔｔ１！？！十字状に形成し
、これらアリ溝３１にこれと対応する形状に形成された
上記各砥石２Ｂ、２９．３０を挿入するようにしている
・ 一方、上記基体１にはその軸体５と振部４とを貫通する
透過孔３２が穿設され、この透過孔３２の軸体５の上端
の開放端には仕上面判定装置１１を構成する光源３４が
ハーフミラ−３５を介して配着されている。上記光源３
４がら出力された光はハーフミラ−３５を透過し透過孔
３２を通って基体１の振部４と対向した被加工物３６全
照射する。そして、この被加工物３６からの反射光は上
記ハーフミラ−３５で反射し、この反射方向に配蓋され
たホトセル３１で検知される。このホトセル３１には判
定器３８が接続され、この判定器３８によってホトセル
３７が検知した光量を判定し、この判定信号が駆動装置
３９に入力されるようになっている。この駆動装置３９
は上記第１乃至１１ｇ３の接触子１９゜１０．２１′に
スライド駆動するＭｌ乃至Ｐ、３のソレノイドに接続さ
れていて、上記判定信号により後述するように第１乃至
第３のソレノイドを選択的に駆動するようになっている
。A third grindstone 30 for precision finishing is attached to 261. The mounting structure of each grindstone 2B, 29.30 to each holder 26a to 26f is as shown in Fig. 2 and s1.
! 4. As shown in Figure 4, 90
4 dovetail grooves at degree intervals JJtt1! ? ! The grindstones 2B and 29.30 are formed in a cross shape, and each of the grindstones 2B and 29.30 formed in a shape corresponding to the dovetail grooves 31 are inserted into the dovetail grooves 31. On the other hand, the base body 1 has its shaft body 5 and a vibrating part. A transmission hole 32 is drilled through the shaft 5, and a light source 34 constituting the finished surface determination device 11 is disposed at the open end of the upper end of the shaft 5 of the transmission hole 32 via a half mirror 35. . Above light source 3
The light outputted from the substrate 1 passes through the half mirror 35, passes through the transmission hole 32, and irradiates the entire workpiece 36 facing the swing section 4 of the base 1. The reflected light from the workpiece 36 is reflected by the half mirror 35 and detected by a photocell 31 disposed in the direction of reflection. A determiner 38 is connected to the photocell 31, and the determiner 38 determines the amount of light detected by the photocell 37, and this determination signal is input to the drive device 39. This drive device 39
are connected to the solenoids Ml to P, 3 that slide and drive the contacts 19°10.21' of the first to 11g3, and the first to third solenoids are selectively activated by the judgment signal as described later. It is designed to be driven by

なお、上記被加工物３６は、水平面方向および上下方向
に駆動されるテーツｅＶｏの上面に載置固定されている
。Note that the workpiece 36 is mounted and fixed on the upper surface of the Tates eVo, which is driven in the horizontal direction and the vertical direction.

つぎに、上記構成の作用について説明する。Next, the operation of the above configuration will be explained.

せたならば、モータ７金作動させて基体１を回転駆動す
るとともに仕上面判定装置３３を作動させる。仕上面判
定装置３３の光源３４から出力されて被加工物３６で反
射する反射光の光量は、被加工物３６０表面が粗い程反
射率が低いため小さくなる。したがって、被加工物３６
が未加工の状態であるならばホトセル３７による受光光
量がわずかであるから、この受光色分が判定器３８に人
力されることにより、被加工物３６が未加工であること
が判別され、この判定信号で駆動装置３９を介して第２
，３０ルノイドが駆動され、第２．＠３の接触子２０゜
２１が第２．第３のスリ、ブリング１６．Ｉ’１に接触
する。これによって第２．第５の電磁マグネット１４ｂ
、１４・と第３．第６の電磁マグネッ）　Ｊ　４　ｃ　
、　１’４１に通電されるため、中仕上げ用の第２の砥
石２９を保持した第２．第５のホルダ２６ｂ、２６・と
、精密仕上は用の第３の砥石５Ｏｔ−保持した第３．第
６のホルダ１６ｃ　、２６１とを連結した可動軸２４・
・・の鍔２５・・・が第３図に示すように上記各電磁マ
グネｙト１４ｂ、１４＠、１４ｃ、１４１に吸引される
。そのため、振部４の下盤３の下面側においては、第１
　、Ｉ！４のホルダ２ｇ＆、２ｆｊｄＶｃ保持された粗
仕上げ用の第１の砥石２８が他の砥石２９．３０よりも
突出した状態になるので、テーブル４０を上昇させて被
加工物３６を第１の砥石２８に接触させたのち、上記チ
ーノル４０を往復駆動させることにより、上記第１の砥
石２８によって被加工物３６は粗仕上げされる・ このような粗仕上げが所定時間行なわれて被加工物３６
の表面状態が最初に比べ平滑になってくると、この被加
工物３６で反射する反射光量が増大し、そのことがホト
セル３１を介して判定器３８で判別される。すなわち、
第１の砥石２８による粗仕上けが完了したことが検知さ
れる。すると、この判定信号によってつぎは第１、第３
のソレノイドが駆動されて第１．第３の接触子１９．２
１が第１．第３のスリラグリンｒ１ｓ　、Ｊ　ｖＫ接触
Ｌ、ＩＩＩ　、第４（Ｄ％伝マグネット１４ｍ、１４−
ｄと第３．第６０ｗｇ１マグネット１４ｅ、１４ｆに通
電される。し九がって、第１．第４のホルダ２６ｍ、２
６ｄと第３、第６のホルダ２６ｅ、２６ｆが吸引される
ため、中仕上げ用の第２の砥石２９が他の砥石ｘｓ、５
ｏｚｐも振部４の下面側から突出した状態となるので、
この第２の砥石２９によって被加工物３６が中仕上けさ
れる。When the finish is determined, the motor 7 is activated to rotate the base 1 and the finished surface determining device 33 is activated. The amount of reflected light outputted from the light source 34 of the finished surface determining device 33 and reflected by the workpiece 36 becomes smaller as the surface of the workpiece 360 becomes rougher because the reflectance is lower. Therefore, the workpiece 36
If the workpiece 36 is in an unprocessed state, the amount of light received by the photocell 37 is small, so by manually inputting this received light color to the determiner 38, it is determined that the workpiece 36 is unprocessed. The determination signal causes the second
, 30 lunoids are driven, and the second . Contactor 20°21 of @3 is the second contactor. Third Pickpocket, Bling 16. Contact I'1. This leads to the second. Fifth electromagnetic magnet 14b
, 14. and 3rd. 6th electromagnetic magnet) J 4 c
, 1'41, the second grinding wheel 29 holding the second grinding wheel 29 for semi-finishing is energized. The fifth holder 26b, 26. holds a third whetstone 5Ot for precision finishing. The movable shaft 24 connected to the sixth holder 16c, 261.
The collars 25... are attracted to each of the electromagnetic magnets 14b, 14@, 14c, 141 as shown in FIG. Therefore, on the lower surface side of the lower plate 3 of the swinging part 4, the first
, I! The first grindstone 28 for rough finishing held by the holders 2g&, 2fjdVc of No. 4 protrudes from the other grindstones 29 and 30, so the table 40 is raised and the workpiece 36 is moved to the first grindstone 28. The workpiece 36 is rough-finished by the first grindstone 28 by reciprocating the grindstone 40 after being brought into contact with the workpiece 36.
When the surface condition of the workpiece 36 becomes smoother than the initial state, the amount of reflected light reflected by the workpiece 36 increases, and this is determined by the determiner 38 via the photocell 31. That is,
It is detected that the rough finishing by the first grindstone 28 has been completed. Then, based on this determination signal, the first and third
The first solenoid is activated. Third contact 19.2
1 is the first. 3rd sliragrin r1s, J vK contact L, III, 4th (D% Den magnet 14m, 14-
d and 3rd. The 60th wg1 magnets 14e and 14f are energized. Finally, the first. Fourth holder 26m, 2
6d and the third and sixth holders 26e and 26f are suctioned, so the second whetstone 29 for semi-finishing is replaced by the other whetstones xs and 5.
Since the ozp also protrudes from the lower surface side of the swing part 4,
The workpiece 36 is semi-finished by the second grindstone 29.

そして、＃４２の砥石２９による中仕上けが轡定間行な
われて被加工物３６の表面状態かさらに平滑にな９、反
射光量が再び増大すると、そのことがホトセル３７を介
して判定器３８で判別される。すなわち、第２の砥石２
９による中仕上げが完了した仁とが検知される。すると
、この判定信号によって＠１．第２のソレノイド９が駆
動されて第１．第２の接触子１９．２０が第１．第２の
スリ、！リング１５．１６に接触し、第１．＠４の電磁
マグネット１４ｍ、１４ｄと第２．第５の電磁マグネｙ
）Ｊ４ｂ、Ｊ４ｆに通電される。したがって、第１．第
４のホルダ２６＊、２６ｄと＠２　、第５ノホルダ２６
ｂ。Then, when intermediate finishing with the #42 grindstone 29 is performed for a certain period of time and the surface condition of the workpiece 36 becomes even smoother 9 and the amount of reflected light increases again, this is detected by the determiner 38 via the photocell 37. It is determined. That is, the second whetstone 2
9 is detected. Then, @1. The second solenoid 9 is activated and the first solenoid 9 is activated. The second contact 19.20 is connected to the first contact 19.20. Second pickpocket! contacting rings 15, 16 and the first. @4 electromagnetic magnets 14m, 14d and the second. Fifth electromagnetic magnet
) J4b and J4f are energized. Therefore, the first. Fourth holder 26*, 26d and @2, fifth holder 26
b.

２６・が吸引されるため、精密仕上げ用の第３の砥石３
０が他の砥石２８．２９よりも振部４の下面側から突出
した状態となるので、この第３の砥石３０によって被加
工物３６が精密仕上けされる。Since 26. is sucked, the third grinding wheel 3 for precision finishing
Since the third grindstone 30 protrudes from the lower surface of the swinging section 4 more than the other grindstones 28 and 29, the workpiece 36 is precisely finished by the third grindstone 30.

被加工物３６が第３の砥石３Ｑによって精密仕上けされ
、その表面が鏡面となることにより、反射光量がさらに
増大してそのことがホトセル１１１を介して判定器３８
で判定されると、この判定器１８からたとえば警報など
の研摩加工終了の信号が出される。The workpiece 36 is precision-finished by the third grindstone 3Q, and its surface becomes a mirror surface, so that the amount of reflected light further increases, which is detected by the determiner 38 via the photocell 111.
If it is determined, the determiner 18 issues a signal indicating the end of the polishing process, such as an alarm.

なお、第１乃至＠３の砥石２８〜３０は、第２の凹部２
２・・・に収納されたばね２１・・・の復元力によって
被加工物３６に押し付けられるから、上記ばね２７・・
・のばね定数會変えることによって第１乃至第３の砥石
２８〜３０の押し付は力を一節することができる。たと
えば、第１の砥石２８よシも第２の砥石２９の押し付は
力を弱くシ、さらに第２の砥石２９よりも第３の砥石３
０の押し付は力を弱くした方が良好な仕上げ面を得るこ
とができる。Note that the first to third grindstones 28 to 30 are located in the second recess 2.
2... is pressed against the workpiece 36 by the restoring force of the springs 21... stored in the springs 27...
By changing the spring constant of . . . , the pressing force of the first to third grindstones 28 to 30 can be made uniform. For example, the pressing force of the second whetstone 29 is weaker than that of the first whetstone 28, and furthermore, the pressing force of the third whetstone 3 is lower than that of the second whetstone 29.
A better finished surface can be obtained by weakening the pressing force of 0.

すなわち、上記構成の研摩装置によれば、粗仕上け、中
仕上げおよび精密仕上けの各工程において、その都度基
体１を停止して砥石を交換するということをせずに被加
工物３６を研摩加工することができる。That is, according to the polishing apparatus having the above configuration, the workpiece 36 can be polished in each process of rough finishing, intermediate finishing, and precision finishing without stopping the base 1 and replacing the grindstone each time. Can be processed.

なお、この発明は上記−実施例に限定されず、たとえば
工具としては砥石に代り研摩布紙やパフなどを用いても
よい、また、仕上面判定装置に代りタイマを用い、各砥
石による研摩加工を時間で制御するよう圧してもよい。Note that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments; for example, the tool may be an abrasive cloth or a puff instead of the grindstone, or a timer may be used instead of the finished surface judgment device, and the polishing process using each grindstone may be performed as a tool. may be controlled by time.

また、基体は回転運動でなく直線運動をさせるようにし
たものでもよく、さらに各ホルダは電磁マグネ。Furthermore, the base body may be configured to move linearly rather than rotatably, and each holder may be an electromagnetic magnet.

トに代り電磁パルプを用い、油圧を制御して変位させる
ようにしてもよい。It is also possible to use electromagnetic pulp instead of the hydraulic pressure to control the displacement.

また、この発明に係る研摩装置は乾式以外に湿式にも適
用可能であること熱論である。さらに、基体に設けられ
るホルダの数もなんら限定されず、たとえば６つ以上あ
るいけ６つ以下であってもよい。Furthermore, it is a matter of course that the polishing apparatus according to the present invention can be applied not only to dry polishing but also to wet polishing. Further, the number of holders provided on the base body is not limited at all, and may be, for example, six or more or six or less.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上述べたようにこの発明は、基体の被加工物と対向す
る面にこの面に対して直交する方向に変位自在に複数の
ホルダを設け、これらホルダを制御機構によって選択的
に変位させるとともに、選択的に変位させられるホルダ
ごとにそれぞれ被加工物に対して異なる仕上げ加工を行
なう工具を設けたから、各工具による異なる仕上げ加工
を連続的に行なうことができる。九とえば、工具が砥石
である場合には、粗仕上げ、中仕上げおよび精密仕上げ
を各工程ごとに装置を停止して砥石全交換するというこ
とをせずに能率よく行なうことができる。As described above, the present invention provides a plurality of holders that are displaceable in a direction perpendicular to the surface of the base body facing the workpiece, selectively displaces these holders by a control mechanism, and Since tools for performing different finishing operations on the workpiece are provided for each selectively displaced holder, different finishing operations can be performed continuously using each tool. For example, if the tool is a grindstone, rough finishing, semi-finishing and fine finishing can be efficiently performed without having to stop the equipment and replace the grindstone after each process.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図面はこの発明の一実施例を示し、第１図は全体の構成
會示す断面図、Ｉ！２図は基体の振部の平面図、第３図
はホルダを変位させた状態の拡大断面図、第４図はホル
ダと砥石の取り付は精造の拡大断面図である。 １・・・基体、７・・・モータ（駆動源）、２６ａ〜２
６１・・・ホルダ、２８〜３０・・・第１乃至第３の砥
石（工具）、３３・・・仕上面判定装置（制御機構）、
１４１〜Ｊ４ｆ・・・電磁マグネット（制御機構）、３
６・・・被加工物。The drawings show one embodiment of the invention, and FIG. 1 is a cross-sectional view showing the overall configuration. 2 is a plan view of the swinging portion of the base, FIG. 3 is an enlarged sectional view of the holder in a displaced state, and FIG. 4 is an enlarged sectional view of the attachment of the holder and grindstone. 1...Base body, 7...Motor (drive source), 26a-2
61... Holder, 28-30... First to third grindstones (tools), 33... Finished surface determination device (control mechanism),
141~J4f...electromagnetic magnet (control mechanism), 3
6...Workpiece.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 駆動源によって駆動される基体と、この基体の被加工物
と対向する面にとの面忙対して直交する方向に変位自在
に設けられた複数のホルダと、これらホルダを選択的に
変位させる制御機構と、この制御機構によって選択的に
変位させられるホルダごとにそれぞれ設けられた上記被
加工物に対して異なる仕上げ加工を行なう工具とを具備
したことを特徴とする研摩装置。A base body driven by a drive source, a plurality of holders provided on a surface of the base body facing the workpiece so as to be freely displaceable in a direction perpendicular to the surface of the base body, and control for selectively displacing these holders. A polishing device comprising: a mechanism; and a tool that performs different finishing operations on the workpiece provided for each holder, which is selectively displaced by the control mechanism.