JPS58123111A - 純水バブラ− - Google Patents
純水バブラ−Info
- Publication number
- JPS58123111A JPS58123111A JP554182A JP554182A JPS58123111A JP S58123111 A JPS58123111 A JP S58123111A JP 554182 A JP554182 A JP 554182A JP 554182 A JP554182 A JP 554182A JP S58123111 A JPS58123111 A JP S58123111A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pure water
- liquid level
- bubbler
- amount
- level sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D9/00—Level control, e.g. controlling quantity of material stored in vessel
- G05D9/12—Level control, e.g. controlling quantity of material stored in vessel characterised by the use of electric means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Level Indicators Using A Float (AREA)
- Control Of Non-Electrical Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は純水の量を常に一定に保ちウェット（Ｗｅｔ）
ガス生底条件管一定に保つことＫより長時間連続して’
ｆｌａｔガスを安定供給で龜るようにするために１バブ
ラーに純水の液面センサー及び純水の供給装置を設けた
ものである。
ガス生底条件管一定に保つことＫより長時間連続して’
ｆｌａｔガスを安定供給で龜るようにするために１バブ
ラーに純水の液面センサー及び純水の供給装置を設けた
ものである。
従来の純水バブラーは第１図に示すものでバブラー容器
１１内の純水１５はＷ−一ガス生成のために消費され減
少する。それゆえ、この不足した純水１５を補給するた
めに一度Ｗｅｔガスの生ａｔ中斬しなけｎばならず、長
時間連続して使用でＩｔいという欠点があった。さらに
バブツー容器１１内の純水１５の量が時間の経過ととも
に変化する結果とし工水蒸気の濃度が変化し、例えばガ
スとして０１ｔ−使用しＷ＠ｇｏ、ガスを発生させるこ
とにより作った酸化膜厚の均一性が損われるという欠点
もあった。なお、１３はドライ（Ｄｒシンガス供艙口、
１４はＷ−ｔガス排出口、１６はツメ、１２はマントル
ヒータである。
１１内の純水１５はＷ−一ガス生成のために消費され減
少する。それゆえ、この不足した純水１５を補給するた
めに一度Ｗｅｔガスの生ａｔ中斬しなけｎばならず、長
時間連続して使用でＩｔいという欠点があった。さらに
バブツー容器１１内の純水１５の量が時間の経過ととも
に変化する結果とし工水蒸気の濃度が変化し、例えばガ
スとして０１ｔ−使用しＷ＠ｇｏ、ガスを発生させるこ
とにより作った酸化膜厚の均一性が損われるという欠点
もあった。なお、１３はドライ（Ｄｒシンガス供艙口、
１４はＷ−ｔガス排出口、１６はツメ、１２はマントル
ヒータである。
本発明は上記の欠点上除去するためになされ糞もので、
バブラー容器内の純水の量ｔｉｌ１面センナ−により検
知し一定量以上の純水の減少が認めも詐ると直ちに電磁
パルプ管開くことによ）純水を純水供給口よ）自動供給
する。ｉた前記のようにして純水を補給してバブラー内
の純水の量が増重して一定量の純水が見ら詐ると中はｐ
ｉ１面七ソナーがこのことを検知して、今度は電磁パル
プが閉じら詐る０以上のような機構によりバブラー内の
純水の量を常に一定に保つことによって長時連続的に同
一条件でＶａｔガス管生酸生成ることを目的とする。
バブラー容器内の純水の量ｔｉｌ１面センナ−により検
知し一定量以上の純水の減少が認めも詐ると直ちに電磁
パルプ管開くことによ）純水を純水供給口よ）自動供給
する。ｉた前記のようにして純水を補給してバブラー内
の純水の量が増重して一定量の純水が見ら詐ると中はｐ
ｉ１面七ソナーがこのことを検知して、今度は電磁パル
プが閉じら詐る０以上のような機構によりバブラー内の
純水の量を常に一定に保つことによって長時連続的に同
一条件でＶａｔガス管生酸生成ることを目的とする。
以下本発明の実施例の断面図を第２図に示し以下で詳細
に説明する＊ ＤＴＶガス供給口１３、Ｗ＊ｔガス排出
口１４、純水１ｓｔ−加熱するためのマントルヒーター
１２は従来の純水バブラーにもある基本的な部分でさら
に本発明では純水１５のａｔ−検知するための液面セン
サーδが液面モニ＃−管２６Ｋｊｌり付けらｎ１前記液
面センサー５と連動して開閉する電磁パルプ２８を有す
る純水供給口ｎがバブラー容６１１の１１１面に設けら
扛ている。第２図によシ本発明の動作管説明するとり、
シガス供給口乙よりバブラー容器２１の内へ導入′−：
５ｒしたＤデシガスはマントルヒーター１２により加熱
され沸とうしている純水１５の中を気泡となって通９、
’Ｎｅｔガス排出口１４より出工行（時には水蒸気を含
んだガスとなっている。いま電磁バルブ四が閉じられて
いると１１ａｔガスを生成するに伴い純水ｎの量は減少
し、同時に液面モニター管が円の液面４下がる。
に説明する＊ ＤＴＶガス供給口１３、Ｗ＊ｔガス排出
口１４、純水１ｓｔ−加熱するためのマントルヒーター
１２は従来の純水バブラーにもある基本的な部分でさら
に本発明では純水１５のａｔ−検知するための液面セン
サーδが液面モニ＃−管２６Ｋｊｌり付けらｎ１前記液
面センサー５と連動して開閉する電磁パルプ２８を有す
る純水供給口ｎがバブラー容６１１の１１１面に設けら
扛ている。第２図によシ本発明の動作管説明するとり、
シガス供給口乙よりバブラー容器２１の内へ導入′−：
５ｒしたＤデシガスはマントルヒーター１２により加熱
され沸とうしている純水１５の中を気泡となって通９、
’Ｎｅｔガス排出口１４より出工行（時には水蒸気を含
んだガスとなっている。いま電磁バルブ四が閉じられて
いると１１ａｔガスを生成するに伴い純水ｎの量は減少
し、同時に液面モニター管が円の液面４下がる。
ヒれｔ液面センサー６で検知すると電磁バＡ！１篇は開
き純水が純水供給口２’７を通して補充さｎｌＡ水扛水
加増加面が上昇する。一定の水位以上Ｋ１１画が上がる
と再び液面センサー２５により検知し前置は電磁パルプ
四が閉じられる０以上の動作を＜１返すことにより純水
１５の量はある軛囲円の一定量に保たｎ長時間にわた９
連続的〈同一濃度のＷ−ｔガスを生成することができる
という効果がある、従来の純水バブラーを示す笛１図に
おいてＷ−ｔガス生成に伴い純水１５が減少したからと
いりてＷｅｔガス生成を続けたｉまでフタ１６ｔはずし
純水を補給しようとすれば、沸騰した水蒸馬が吹龜出し
て危険であると同時にバブラー器１１内の圧力が急に下
がりＷｓｔガスの水蒸気の濃度は大きく変動してしまう
という大きな欠点があることはいう會でもない。
き純水が純水供給口２’７を通して補充さｎｌＡ水扛水
加増加面が上昇する。一定の水位以上Ｋ１１画が上がる
と再び液面センサー２５により検知し前置は電磁パルプ
四が閉じられる０以上の動作を＜１返すことにより純水
１５の量はある軛囲円の一定量に保たｎ長時間にわた９
連続的〈同一濃度のＷ−ｔガスを生成することができる
という効果がある、従来の純水バブラーを示す笛１図に
おいてＷ−ｔガス生成に伴い純水１５が減少したからと
いりてＷｅｔガス生成を続けたｉまでフタ１６ｔはずし
純水を補給しようとすれば、沸騰した水蒸馬が吹龜出し
て危険であると同時にバブラー器１１内の圧力が急に下
がりＷｓｔガスの水蒸気の濃度は大きく変動してしまう
という大きな欠点があることはいう會でもない。
本発明を応用する際に１１ａｔガス生成条件管よ１安定
させたい場合は純水供給口２７より補充する純水管あら
かじめバブラー容ａ１１内の純水１５と同寝度に加熱し
ておけばよい。
させたい場合は純水供給口２７より補充する純水管あら
かじめバブラー容ａ１１内の純水１５と同寝度に加熱し
ておけばよい。
ｗＪ１図は従来の純水バブラーの断面図、第２図は本発
明の一実施例の断面図である。 Ｉｔ 、 、バブラー容器 １２ 、 、 ｆｆント
ルヒータ１３、、Ｄｆシガス供給ロ − １４、、Ｗａｔガス排出口 １６９．フタδ１．液面セ
ンサー 屓０．液面モニター管ｎ０．純水供給口
公０．電磁バルブ以上 出願人 株式会社第二精工舎 代理人 弁理士最上 務 １７図 第２図
明の一実施例の断面図である。 Ｉｔ 、 、バブラー容器 １２ 、 、 ｆｆント
ルヒータ１３、、Ｄｆシガス供給ロ − １４、、Ｗａｔガス排出口 １６９．フタδ１．液面セ
ンサー 屓０．液面モニター管ｎ０．純水供給口
公０．電磁バルブ以上 出願人 株式会社第二精工舎 代理人 弁理士最上 務 １７図 第２図
Claims (1)
- 純水をた（わ見るバブラー容器と、前記バブラーｇａｆ
１面にそれぞれ設けたドライガス供給管、ウェット排出
管及び純水供給管と、前記バブラー側面に設けた液面モ
ニター管と、前記液面モニター管に設けらｎた液面セン
す−と、前記純水供給管に設けられて前記液面センサと
連動して開閉する電磁バルブと、前記バブラーに近接し
て設けら扛るクロ熱器とからなる純水バブラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP554182A JPS58123111A (ja) | 1982-01-18 | 1982-01-18 | 純水バブラ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP554182A JPS58123111A (ja) | 1982-01-18 | 1982-01-18 | 純水バブラ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58123111A true JPS58123111A (ja) | 1983-07-22 |
Family
ID=11614045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP554182A Pending JPS58123111A (ja) | 1982-01-18 | 1982-01-18 | 純水バブラ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58123111A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4979545A (en) * | 1988-10-31 | 1990-12-25 | Olin Corporation | Bubbler container automatic refill system |
| US5038840A (en) * | 1990-07-31 | 1991-08-13 | Olin Corporation | Bubbler container automatic refill system |
| US5279338A (en) * | 1990-09-28 | 1994-01-18 | Olin Hunt Specialty Products, Inc. | Modular bubbler container automatic refill system |
-
1982
- 1982-01-18 JP JP554182A patent/JPS58123111A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4979545A (en) * | 1988-10-31 | 1990-12-25 | Olin Corporation | Bubbler container automatic refill system |
| US5038840A (en) * | 1990-07-31 | 1991-08-13 | Olin Corporation | Bubbler container automatic refill system |
| US5279338A (en) * | 1990-09-28 | 1994-01-18 | Olin Hunt Specialty Products, Inc. | Modular bubbler container automatic refill system |
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