JPH1197169A - Light emitting element and protection material for it - Google Patents

Light emitting element and protection material for it

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JPH1197169A
JPH1197169A JP9269218A JP26921897A JPH1197169A JP H1197169 A JPH1197169 A JP H1197169A JP 9269218 A JP9269218 A JP 9269218A JP 26921897 A JP26921897 A JP 26921897A JP H1197169 A JPH1197169 A JP H1197169A
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Ichiro Kono
一郎 河野
Hiroyasu Sadabetto
裕康 定別当
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/87Passivation; Containers; Encapsulations
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    • H10K59/8722Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
    • HELECTRICITY
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    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
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    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/87Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K59/874Passivation; Containers; Encapsulations including getter material or desiccant

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light emitting element having a log lifetime and a protection material for the light emitting element in which deterioration resulting from a growth of so-called dark spot is precluded. SOLUTION: An anode electrode (transparent electrode) 11, an organic EL layer 12, and a cathode electrode (low work function metal electrode) 13 are formed on a transparent base board 10 one over another, and thereover a protection layer 14 is formed. The protection layer 14 is formed, for example by doping a glass forming material (host) consisting of oxide or sulfide of Si, Zn, etc., with a glass modifying material (guest) consisting of a simple substance of Sc, Ce, etc., or their oxide or sulfide. The glass modifying material cuts the mesh of molecules of glass forming material and intrudes into the voids generated between molecules of glass forming material. Therefore, the protection layer 14 becomes a glass material having a denser structure than glass consisting solely of the glass forming material, and it is possible to prevent O2 or H2 O from intruding into the cathode electrode 13.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、発光素子及び発光
素子用の保護材料に関し、特に発光素子の劣化を防ぐこ
とができるものに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light emitting device and a protective material for the light emitting device, and more particularly to a material capable of preventing deterioration of the light emitting device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、電極間に有機エレクトロルミ
ネッセンス(EL)薄膜を電極で挟み込み、これらの電
極間に電圧を印加して有機EL薄膜にキャリアを注入す
ることで発光を得る有機EL素子が知られている。この
有機EL素子は、一般に、ガラス等で構成された基板上
に、透明電極で構成されたアノード電極、有機EL層、
さらに低仕事関数金属電極で構成されたカソード電極が
順次形成されてなるものである。
2. Description of the Related Art Heretofore, an organic EL device which obtains light emission by sandwiching an organic electroluminescence (EL) thin film between electrodes and applying a voltage between these electrodes to inject carriers into the organic EL thin film has been known. Are known. This organic EL element generally has an anode electrode composed of a transparent electrode, an organic EL layer,
Further, a cathode electrode composed of a metal electrode having a low work function is sequentially formed.

【0003】この有機EL素子の形成プロセスにおい
て、パーティクル(小さなゴミ、塵、不要物などをい
う。以下、同じ)が存在すると、特に有機EL層を形成
する直前のアノード電極上に存在すると、その上に製膜
する有機EL層とアノード電極との界面にパーティクル
が存在したままとなる。このような状態で完成した有機
EL素子のアノード電極とカソード電極との間に電圧を
印加すると、電極間がショートしてパーティクルが存在
した部分のカソード電極及び有機EL層が欠損してピン
ホールが生じる。また、蒸着によって有機EL層を製膜
するときに、アノード電極上に存在するパーティクルの
部分に有機EL層が製膜できずに、小さなピンホールが
形成されることがある。このままカソード電極を形成し
た場合には、アノード電極とカソード電極との間に電圧
を印加すると、当該ピンホール部分がショートし、カソ
ード電極にピンホールが生じる。そして、このようにし
て生じたピンホールから酸素(O2)や水(H2O)が侵
入して、活性なカソード電極が酸化する。カソード電極
は、酸化すると有機EL層に電子の注入が困難となり、
この酸化した部分は有機EL層に所定の電圧を印加して
も発光しない部分(以下、ダークスポットという)とな
ってしまう。しかも、ダークスポットは、侵入するO2
びH2Oによって時間の経過と共に大きくなる。この
ダークスポットの成長により、有機EL素子が発光する
光の光量は、時間の経過と共に小さくなるという問題が
あった。
In the process of forming the organic EL element, if particles (small dust, dust, unnecessary substances, etc .; the same applies hereinafter) are present, especially if they are present on the anode electrode immediately before forming the organic EL layer, the Particles remain at the interface between the organic EL layer to be formed thereon and the anode electrode. When a voltage is applied between the anode electrode and the cathode electrode of the completed organic EL device in such a state, the electrodes are short-circuited, the cathode electrode and the organic EL layer in the portion where particles are present are lost, and a pinhole is formed. Occurs. In addition, when the organic EL layer is formed by vapor deposition, a small pinhole may be formed because the organic EL layer cannot be formed at a portion of particles existing on the anode electrode. When the cathode electrode is formed as it is, when a voltage is applied between the anode electrode and the cathode electrode, the pinhole portion is short-circuited, and a pinhole is generated in the cathode electrode. Then, oxygen (O 2 ) or water (H 2 O) penetrates from the pinhole thus generated, and the active cathode electrode is oxidized. When the cathode electrode is oxidized, injection of electrons into the organic EL layer becomes difficult,
The oxidized portion becomes a portion that does not emit light even when a predetermined voltage is applied to the organic EL layer (hereinafter, referred to as a dark spot). Moreover, the dark spot is invading O2
Increases over time by beauty H 2 O. Due to the growth of the dark spot, there is a problem that the amount of light emitted from the organic EL element decreases with time.

【0004】つまり、有機EL素子を製品化するに当た
っては、このダークスポットの成長をいかに抑えるかが
重要な課題となっていた。カソード電極が外気に触れな
いようにO2及びH2Oの侵入による酸化の進行を抑制
し、有機EL素子の製品寿命を長くするために、従来次
のような方法が用いられていた。
[0004] In other words, in commercializing an organic EL element, how to suppress the growth of this dark spot has been an important issue. Conventionally, the following method has been used to suppress the progress of oxidation due to intrusion of O 2 and H 2 O so that the cathode electrode does not come into contact with the outside air, and to prolong the product life of the organic EL element.

【0005】図11〜図13は、従来例の有機EL素子
7〜9の構造を示す断面図である。これらの有機EL素
子7〜9は、いずれも透明な基板10上に、透明電極か
らなるアノード電極11、正孔輸送層12aと電子輸送
性発光層12bとからなる有機EL層12、及び低仕事
関数金属電極からなるカソード電極13が順次積層され
てなるものである。そして、カソード電極13を外気か
ら遮断するために、図11の有機EL素子7では、第2
基板75を基板10に対向して設け、基板10と第2基
板75との間をシール材76によって封止していた。ま
た、図12の有機EL素子8では、基板10上に形成さ
れたアノード電極11、有機EL層12及びカソード電
極13を有機系樹脂からなる封止層85で被覆して封止
していた。また、図13の有機EL素子9では、基板1
0上に形成されたアノード電極11、有機EL層12及
びカソード電極13を、GeO、MoO3、GeS、S
nS、LiF等の金属酸化物、金属フッ化物あるいは金
属硫化物からなるからなる封止層95で被覆して封止し
ていた。
FIGS. 11 to 13 are sectional views showing the structures of conventional organic EL elements 7 to 9. FIG. Each of these organic EL elements 7 to 9 has an anode electrode 11 composed of a transparent electrode, an organic EL layer 12 composed of a hole transport layer 12a and an electron transportable light emitting layer 12b, and a low work on a transparent substrate 10. A cathode 13 made of a function metal electrode is sequentially laminated. In order to shield the cathode electrode 13 from the outside air, the organic EL element 7 shown in FIG.
The substrate 75 is provided so as to face the substrate 10, and the space between the substrate 10 and the second substrate 75 is sealed with the sealant 76. In the organic EL element 8 of FIG. 12, the anode electrode 11, the organic EL layer 12, and the cathode electrode 13 formed on the substrate 10 are covered and sealed with a sealing layer 85 made of an organic resin. Further, in the organic EL element 9 shown in FIG.
0 The anode electrode 11 is formed on the organic EL layer 12 and the cathode electrode 13, GeO, MoO 3, GeS , S
It was covered and sealed with a sealing layer 95 made of a metal oxide such as nS or LiF, a metal fluoride or a metal sulfide.

【0006】しかしながら、上記従来例の有機EL素子
7〜9には、次のような問題があった。図11に示した
有機EL素子7は、2枚の基板が必要となるため、全体
の構成が厚くなり、コスト高となっていた。また、外気
の遮断性は、シール材76のガス透過性に依存するが、
シール材76は、ガス透過性が完全ではなく、十分に外
気を遮断することができなかった。このため、シール材
76を介してO2及びH2Oが侵入し、カソード電極13
が酸化してダークスポットが発生、成長していた。
However, the conventional organic EL elements 7 to 9 have the following problems. Since the organic EL element 7 shown in FIG. 11 requires two substrates, the overall configuration is thick and the cost is high. Further, although the outside air blocking performance depends on the gas permeability of the sealing material 76,
The sealing material 76 was not perfect in gas permeability, and could not sufficiently shut off the outside air. For this reason, O 2 and H 2 O enter through the sealing material 76 and the cathode electrode 13
Was oxidized to produce dark spots, which were growing.

【0007】図12に示した有機EL素子8では、封止
層85に用いられている有機系樹脂の外気遮断性が十分
でなかった。このため、封止層85を介してO2及びH2
Oが侵入し、カソード電極13が酸化してダークスポッ
トが発生、成長していた。図13に示した有機EL素子
9でも、封止層95に用いられているGeO、Mo
3、GeS、SnS、LiFは、その粒径が比較的大
きく、この粒子の隙間からO2及びH2Oが侵入してしま
った。これにより、カソード電極13が酸化してダーク
スポットが発生、成長していた。
In the organic EL device 8 shown in FIG. 12, the organic resin used for the sealing layer 85 does not have sufficient external air blocking properties. For this reason, O 2 and H 2 are interposed via the sealing layer 85.
O invaded and the cathode electrode 13 was oxidized to generate and grow dark spots. Also in the organic EL element 9 shown in FIG. 13, GeO and Mo used in the sealing layer 95 are used.
O 3 , GeS, SnS, and LiF have relatively large particle sizes, and O 2 and H 2 O have penetrated through gaps between the particles. As a result, the cathode electrode 13 was oxidized to generate and grow dark spots.

【0008】すなわち、従来より用いられていた方法で
は、いずれの場合もO2及びH2Oの侵入によるカソード
電極13の酸化を十分に抑制することができなかった。
このため、従来の有機EL素子7〜9では、ダークスポ
ットの発生、成長を十分に抑え込むことができず、製品
寿命を長くすることができなかった。
That is, in any of the conventional methods, the oxidation of the cathode electrode 13 due to the penetration of O 2 and H 2 O cannot be sufficiently suppressed in any case.
For this reason, in the conventional organic EL elements 7 to 9, the occurrence and growth of dark spots could not be suppressed sufficiently, and the product life could not be extended.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術の問題点を解消するためになされたものであり、いわ
ゆるダークスポットの成長による劣化を防ぎ、製品寿命
の長い発光素子及び発光素子用のガラス材料を提供する
ことを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and is intended to prevent deterioration due to the growth of so-called dark spots, to provide a light emitting element having a long product life and a light emitting element. The purpose of the present invention is to provide a glass material.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の第1の観点にかかる発光素子は、透明電極
と、金属電極と、前記透明電極と前記金属電極との間に
介在させた発光層とを基板上に形成した発光素子であっ
て、前記透明電極、前記金属電極及び前記発光層を被覆
し、かつ、単独でアモルファス構造をとることができる
ホスト材料に不純物をゲスト材料としてドープしたガラ
ス材料からなる保護層を備える、ことを特徴とする。
In order to achieve the above object, a light emitting device according to a first aspect of the present invention comprises a transparent electrode, a metal electrode, and a light emitting element interposed between the transparent electrode and the metal electrode. A light emitting element having a light emitting layer formed on a substrate, covering the transparent electrode, the metal electrode and the light emitting layer, and using a host material capable of independently having an amorphous structure as an impurity as a guest material. A protective layer made of a doped glass material.

【0011】前記保護層を構成するガラス材料は、上記
のように構成したことによって、前記ホスト材料を構成
する分子の隙間に、前記不純物が物理的に入り込み、或
いは前記不純物がホスト材料を構成する分子と化学結合
し、結合構造が密なものとなる。従って、前記保護層に
よって外部から酸素及び水が侵入することを防ぐことが
できる。このため、前記金属電極の酸化を抑止すること
ができ、ダークスポットの成長による発光素子の劣化を
防ぐことができ、発光素子の製品寿命が長いものとな
る。
The glass material forming the protective layer is configured as described above, whereby the impurities physically enter the gaps between the molecules forming the host material, or the impurities form the host material. A chemical bond with a molecule results in a dense bond structure. Therefore, the protective layer can prevent oxygen and water from entering from the outside. For this reason, the oxidation of the metal electrode can be suppressed, the deterioration of the light emitting element due to the growth of dark spots can be prevented, and the product life of the light emitting element is prolonged.

【0012】上記発光素子において、前記ホスト材料
は、酸素原子との単結合エネルギーが370(kJ/mol)
以上である原子の酸化物によって構成され、前記ゲスト
材料は、酸素原子との単結合エネルギーが370(kJ/m
ol)未満である原子の単体または酸化物によって構成さ
れる、ものとすることができる。
In the above light-emitting element, the host material has a single bond energy with an oxygen atom of 370 (kJ / mol).
The guest material is composed of an oxide of the above atom, and has a single bond energy of 370 (kJ / m 2) with an oxygen atom.
ol).

【0013】上記発光素子において、前記ホスト材料
は、酸素原子との単結合エネルギーが260(kJ/mol)
以上である原子の酸化物によって構成され、前記ゲスト
材料は、酸素原子との単結合エネルギーが260(kJ/m
ol)未満である原子の単体または酸化物によって構成さ
れる、ものとすることもできる。
In the above light-emitting element, the host material has a single bond energy with an oxygen atom of 260 (kJ / mol).
The guest material is composed of an oxide of the above atom, and has a single bond energy of 260 (kJ / m 2) with an oxygen atom.
ol).

【0014】上記発光素子において、前記ホスト材料
は、ケイ素、ホウ素、ゲルマニウム、リン、ヒ素のうち
の何れか1種類以上の酸化物または硫化物によって構成
され、前記ゲスト材料は、アルミニウム、亜鉛、ベリリ
ウムのうちの何れか1種類以上の酸化物または硫化物に
よって構成される、ものとすることもできる。
In the above light emitting device, the host material is composed of an oxide or sulfide of at least one of silicon, boron, germanium, phosphorus, and arsenic, and the guest material is aluminum, zinc, beryllium. And at least one of oxides and sulfides.

【0015】上記発光素子において、前記ホスト材料
は、ケイ素、ホウ素、ゲルマニウム、リン、ヒ素のうち
の何れか1種類以上の酸化物または硫化物によって構成
され、前記ゲスト材料は、スカンジウム、ランタン、イ
ットリウム、スズ、バリウム、カルシウム、ストロンチ
ウム、マグネシウム、リチウム、ナトリウム、カリウ
ム、ルビジウム、セシウム、セリウムのうちの何れか1
種類以上の単体、酸化物または硫化物によって構成され
る、ものとすることもできる。
In the above light-emitting element, the host material is composed of an oxide or sulfide of at least one of silicon, boron, germanium, phosphorus, and arsenic, and the guest material is scandium, lanthanum, yttrium. , Tin, barium, calcium, strontium, magnesium, lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, cerium
It can be composed of more than one kind of simple substance, oxide or sulfide.

【0016】上記発光素子において、前記ホスト材料
は、アルミニウム、亜鉛、ベリリウムのうちの何れか1
種類以上の酸化物または硫化物によって構成され、前記
ゲスト材料は、スカンジウム、ランタン、イットリウ
ム、スズ、バリウム、カルシウム、ストロンチウム、マ
グネシウム、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジ
ウム、セシウム、セリウムのうちの何れか1種類以上の
酸化物または硫化物によって構成される、ものとするこ
ともできる。
In the above light emitting device, the host material is any one of aluminum, zinc and beryllium.
The guest material is composed of at least one kind of oxide or sulfide, and the guest material is any one of scandium, lanthanum, yttrium, tin, barium, calcium, strontium, magnesium, lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, and cerium. It can be composed of more than one kind of oxide or sulfide.

【0017】上記発光素子において、前記透明電極、前
記発光層及び前記金属電極は、例えば、前記透明電極、
前記発光層、前記金属電極の順で基板側から積層されて
形成されたものとすることができる。この場合、前記金
属電極は、3000(Å)以上の層厚で形成されている
ことを好適とする。
In the above light emitting device, the transparent electrode, the light emitting layer, and the metal electrode are, for example, the transparent electrode,
The light-emitting layer and the metal electrode may be formed by being laminated from the substrate side in this order. In this case, it is preferable that the metal electrode is formed with a layer thickness of 3000 (Å) or more.

【0018】この構成は、前記発光層が有機エレクトロ
ルミネッセンス層であるときに、特に顕著な効果を生じ
る。
This configuration has a particularly remarkable effect when the light emitting layer is an organic electroluminescent layer.

【0019】すなわち、有機エレクトロルミネッセンス
材料は熱に弱いため、前記保護層を例えば、スパッタ法
によって形成するときに、前記金属電極を3000
(Å)以上の層厚とすることによって、スパッタリング
によって生じる熱から前記有機エレクトロルミネッセン
ス層を保護することができる。
That is, since the organic electroluminescent material is weak to heat, when the protective layer is formed by, for example, a sputtering method, the metal electrode is 3,000.
(Å) With the above layer thickness, the organic electroluminescent layer can be protected from heat generated by sputtering.

【0020】上記発光素子は、さらに、前記保護層の上
に積層して形成された金属膜を備える構成とすることが
できる。
The light emitting element may further include a metal film formed by being laminated on the protective layer.

【0021】また、上記発光素子は、さらに、前記保護
層の上に積層して形成され、前記保護層を封止する有機
系樹脂からなる封止層を備える構成とすることもでき
る。
Further, the light emitting element may further include a sealing layer formed of an organic resin for sealing the protective layer, which is formed by being laminated on the protective layer.

【0022】このように構成した場合、前記保護層に何
らかの欠陥があっても、その欠陥を前記金属膜及び前記
保護層によって被覆することができる。このため、前記
保護層の欠陥部分から酸素及び水が侵入することを防ぐ
ことができる。これにより、前記金属電極の酸化による
ダークスポットの成長を、よりいっそう抑止することが
できる。
With this configuration, even if there is any defect in the protective layer, the defect can be covered by the metal film and the protective layer. Therefore, it is possible to prevent oxygen and water from entering from a defective portion of the protective layer. Thereby, the growth of the dark spot due to the oxidation of the metal electrode can be further suppressed.

【0023】また、上記発光素子は、さらに、前記基板
に対向して配置された対向基板と、前記基板と前記対向
基板との間を封止するシール材とを備える構成とするこ
ともできる。この場合、前記シール材によって前記基板
と前記対向基板との間を封止することによって形成され
た空間に、絶縁性のオイルを充填してもよい。
[0023] The light emitting element may further include a counter substrate disposed to face the substrate, and a sealing material for sealing between the substrate and the counter substrate. In this case, a space formed by sealing the space between the substrate and the counter substrate with the sealant may be filled with insulating oil.

【0024】このように構成した場合、前記対向基板
(及び前記オイル)によっても外部からの酸素及び水の
侵入を防ぐことができる。これにより、前記金属電極の
酸化によるダークスポットの成長を、よりいっそう抑止
することができる。
According to this structure, the invasion of oxygen and water from the outside can be prevented by the counter substrate (and the oil). Thereby, the growth of the dark spot due to the oxidation of the metal electrode can be further suppressed.

【0025】上記目的を達成するため、本発明の第2の
観点にかかる発光素子用の保護材料は、3次元綱目状構
造の酸化物或いは硫化物の分子間の隙間に、1種類以上
の単体、酸化物、硫化物のいずれかから選択される充填
材が混在される、ことを特徴とする。
In order to achieve the above object, a protective material for a light emitting device according to the second aspect of the present invention is provided with one or more kinds of simple substances in gaps between oxide or sulfide molecules having a three-dimensional network structure. , Oxides and sulfides.

【0026】上記発光素子用の保護材料は、前記3次元
綱目状構造の酸化物或いは硫化物が、ケイ素、ホウ素、
ゲルマニウム、リン、ヒ素のうちの何れか1種類以上の
酸化物または硫化物であり、前記充填材が、アルミニウ
ム、亜鉛、ベリリウムのうちの何れか1種類以上の酸化
物または硫化物である、ものとすることができる。
[0026] The protective material for a light-emitting element is such that the oxide or sulfide having the three-dimensional network structure is formed of silicon, boron,
One or more oxides or sulfides of germanium, phosphorus, and arsenic, and the filler is one or more oxides or sulfides of aluminum, zinc, and beryllium. It can be.

【0027】上記発光素子用の保護材料は、また、前記
3次元綱目状構造の酸化物或いは硫化物が、ケイ素、ホ
ウ素、ゲルマニウム、リン、ヒ素のうちの何れか1種類
以上の酸化物または硫化物であり、前記充填材が、スカ
ンジウム、ランタン、イットリウム、スズ、バリウム、
カルシウム、ストロンチウム、マグネシウム、リチウ
ム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、セ
リウムのうちの何れか1種類以上の単体、酸化物または
硫化物である、ものとしてもよい。
In the protective material for a light emitting device, the oxide or sulfide having the three-dimensional network structure may be an oxide or sulfide of at least one of silicon, boron, germanium, phosphorus, and arsenic. Wherein the filler is scandium, lanthanum, yttrium, tin, barium,
Any one or more of calcium, strontium, magnesium, lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, and cerium may be used alone, as an oxide or a sulfide.

【0028】上記発光素子用の保護材料は、また、前記
3次元綱目状構造の酸化物或いは硫化物が、アルミニウ
ム、亜鉛、ベリリウムのうちの何れか1種類以上の酸化
物または硫化物であり、前記充填材が、スカンジウム、
ランタン、イットリウム、スズ、バリウム、カルシウ
ム、ストロンチウム、マグネシウム、リチウム、ナトリ
ウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、セリウムのう
ちの何れか1種類以上の単体、酸化物または硫化物であ
る、ものとしてもよい。
In the protective material for a light emitting device, the oxide or sulfide having the three-dimensional network structure is at least one of aluminum, zinc, and beryllium. The filler is scandium,
Any one or more of lanthanum, yttrium, tin, barium, calcium, strontium, magnesium, lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, and cerium may be used alone, as an oxide or sulfide.

【0029】[0029]

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の実施の形態について説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

【0030】[第1の実施の形態]図1は、この実施の
形態の有機EL素子1の構造を示す断面図である。この
有機EL素子1は、ページャや携帯電話などの表示部の
バックライトとして用いられる全面発光型のものであ
る。図1に示すように、有機EL素子1は、基板10上
に順次積層して形成されたアノード電極11と、有機E
L層12と、カソード電極13と、保護層14とから構
成されている。
[First Embodiment] FIG. 1 is a sectional view showing a structure of an organic EL device 1 according to this embodiment. The organic EL element 1 is of a full-surface emission type used as a backlight of a display unit such as a pager or a mobile phone. As shown in FIG. 1, an organic EL element 1 includes an anode electrode 11 formed by sequentially laminating a substrate 10 and an organic EL element.
It comprises an L layer 12, a cathode electrode 13, and a protective layer.

【0031】基板10は、絶縁性を有し、可視光に対し
て十分な透過性を有する透明のガラスまたはプラスチッ
クなどによって構成されている。アノード電極11は、
可視光に対して十分な透過性を有し、後述する正孔輸送
層12aに十分に正孔を注入することができるITO
(Indium Tin Oxide)、ZnO−In23化合物あるい
はSnO2などの透明電極から構成される。
The substrate 10 is made of, for example, transparent glass or plastic having an insulating property and having a sufficient transparency to visible light. The anode electrode 11
ITO having sufficient transparency to visible light and capable of sufficiently injecting holes into a hole transport layer 12a described later.
(Indium Tin Oxide), a ZnO-In 2 O 3 compound, or a transparent electrode such as SnO 2 .

【0032】有機EL層12は、アノード電極11の側
に形成された正孔輸送層12aと、カソード電極13の
側に形成された電子輸送性発光層12bとの2層構造に
よって構成されている。正孔輸送層12aは、化1に示
すα−NPDから構成される。
The organic EL layer 12 has a two-layer structure of a hole transporting layer 12a formed on the anode electrode 11 side and an electron transporting light emitting layer 12b formed on the cathode electrode 13 side. . The hole transport layer 12a is composed of α-NPD shown in Chemical Formula 1.

【化1】 Embedded image

【0033】電子輸送性発光層12bは、化2に示すB
ebq2から構成される。
The electron transporting light emitting layer 12b is composed of B
ebq2.

【化2】 Embedded image

【0034】有機EL層12は、アノード電極11とカ
ソード電極13との間に電圧を印加し、電極間の有機E
L層12内に電流が流れて正孔と電子とが再結合するこ
とによって励起されたエネルギーを電子輸送性発光層1
2bが吸収することによって発光する。有機EL層12
は、電子輸送性発光層12bとしてBebq2を用いて
いることにより、アノード電極11を介して基板10側
に緑色の光を発するものである。
The organic EL layer 12 applies a voltage between the anode electrode 11 and the cathode electrode 13 to generate an organic EL layer between the electrodes.
The current excited in the L layer 12 by the recombination of holes and electrons due to the flow of the current in the L
Light is emitted by absorption by 2b. Organic EL layer 12
Emits green light toward the substrate 10 via the anode electrode 11 by using Bebq2 as the electron transporting light emitting layer 12b.

【0035】カソード電極13は、電子輸送性発光層1
2bに十分電子を注入することができるMg、Mg:I
n合金あるいはMg:Ag合金などの低仕事関数の金属
電極から構成される。カソード電極13の層厚は、保護
層14を形成するときにスパッタリングによるダメージ
から有機EL層13を保護するために、3000(Å)
以上に形成することが望ましい。
The cathode electrode 13 is composed of the electron transporting light emitting layer 1
Mg, Mg: I capable of sufficiently injecting electrons into 2b
It is composed of a metal electrode having a low work function such as an n alloy or a Mg: Ag alloy. The thickness of the cathode electrode 13 is 3000 (Å) in order to protect the organic EL layer 13 from damage due to sputtering when forming the protective layer 14.
It is desirable to form it above.

【0036】保護層14は、特殊な構造のガラスからな
るものであり、以下の(1)〜(3)の何れかの構成を
有するものである。なお、以下の(1)〜(3)におい
て、ガラス形成材料は、酸素原子との間の単結合エネル
ギーが370(kJ/mol)以上(好ましくは400(kJ/m
ol))であるSi、B、Ge、P、Asから選択される
元素の酸化物からなる。SiとOとの単結合エネルギー
は、443(kJ/mol)であり、B、 Ge、P及びAs
の各々とOとの単結合エネルギーはそれぞれ、372、
443及び464(kJ/mol)である。ガラス形成材料
は、単独でアモルファス構造をとることができる。
The protective layer 14 is made of glass having a special structure, and has any one of the following structures (1) to (3). In the following (1) to (3), the glass-forming material has a single bond energy with an oxygen atom of 370 (kJ / mol) or more (preferably 400 (kJ / m2).
ol)), which is an oxide of an element selected from Si, B, Ge, P, and As. The single bond energy between Si and O is 443 (kJ / mol), and B, Ge, P and As
And the single bond energy of O is 372,
443 and 464 (kJ / mol). The glass forming material alone can have an amorphous structure.

【0037】ガラス修飾材料は、酸素原子との単結合エ
ネルギーが260(kJ/mol)未満であるSc、La、
Y、Sn、Ba、Ca、Sr、Mg、Li、Na、K、
Rb、Cs、Ceから選択される元素の酸化物またはこ
れらの原子の単体からなる。Sc、La、Y、Sn、B
a、Ca、Sr、Mg、Li、Na、K、Rb及びCs
の各々とOとの単結合エネルギーはそれぞれ、251、
242、209、192、138、134、13415
5、151、84、54、50及び、42(kJ/mol)で
ある。
The glass-modified material includes Sc, La, and Sb having a single bond energy with an oxygen atom of less than 260 (kJ / mol).
Y, Sn, Ba, Ca, Sr, Mg, Li, Na, K,
It is composed of an oxide of an element selected from Rb, Cs, and Ce or a simple substance of these atoms. Sc, La, Y, Sn, B
a, Ca, Sr, Mg, Li, Na, K, Rb and Cs
And the single bond energy of O is 251 respectively.
242, 209, 192, 138, 134, 13415
5, 151, 84, 54, 50 and 42 (kJ / mol).

【0038】中間材料は、酸素原子との単結合エネルギ
ーが260(kJ/mol)以上、370(kJ/mol)未満であ
るAl、Zn、Beから選択される元素の酸化物からな
る。Al、Zn及びBeの各々とOとの単結合エネルギ
ーはそれぞれ、334、301及び263(kJ/mol)で
ある。中間材料は、単独でアモルファス構造をとること
ができる。なお、これらの材料は、酸化物の代わりに硫
化物を用いてもよい。
The intermediate material is made of an oxide of an element selected from Al, Zn, and Be having a single bond energy with an oxygen atom of 260 (kJ / mol) or more and less than 370 (kJ / mol). The single bond energies of Al, Zn, and Be and O are 334, 301, and 263 (kJ / mol), respectively. The intermediate material alone can have an amorphous structure. Note that these materials may use sulfides instead of oxides.

【0039】(1)ガラス形成材料をホスト、ガラス修
飾材料をゲストとするもの。保護層14の材料全体を1
00(mol%)としたとき、5〜30(mol%)のガラス
修飾材料をガラス形成材料にドープすると、ガラス形成
材料のみで構成されたガラスの網目の一部が切断され
る。そして、図2(A)に示すように、ガラス修飾材料
の原子が、網目の切断によって形成されたガラス形成材
料の原子の隙間に入り込む。これによって、ガラス形成
材料のみで構成されたガラスよりも密な構造のガラスと
なる。
(1) A glass-forming material as a host and a glass-modifying material as a guest. The entire material of the protective layer 14 is 1
When the glass-forming material is doped with 5 to 30 (mol%) when the glass-forming material is set to 00 (mol%), a part of the mesh of the glass formed of only the glass-forming material is cut. Then, as shown in FIG. 2A, the atoms of the glass modifying material enter the gaps between the atoms of the glass forming material formed by cutting the mesh. As a result, the glass has a denser structure than the glass formed of only the glass forming material.

【0040】(2)ガラス形成材料をホスト、中間材料
をゲストとするもの。保護層14の材料全体を100
(mol%)としたとき、5〜30(mol%)の中間材料を
ガラス形成材料にドープすると、ガラス形成材料のみで
構成されたガラスの網目の一部が切断される。そして、
図2(B)に示すように、中間材料の原子が、網目の切
断によって形成されたガラス形成材料の原子の隙間に入
り込むと共に、その一部はガラス形成材料と結合する。
これによって、ガラス形成材料のみで構成されたガラス
よりも密な構造のガラスとなる。
(2) A glass-forming material as a host and an intermediate material as a guest. The entire material of the protective layer 14 is 100
(Mol%), when 5 to 30 (mol%) of the intermediate material is doped into the glass forming material, a part of the mesh of the glass formed of only the glass forming material is cut. And
As shown in FIG. 2B, atoms of the intermediate material enter gaps between the atoms of the glass forming material formed by cutting the mesh, and part of the atoms are bonded to the glass forming material.
As a result, the glass has a denser structure than the glass formed of only the glass forming material.

【0041】(3)中間材料をホスト、ガラス修飾材料
をゲストとするもの。保護層14の材料全体を100
(mol%)としたとき、5〜30(mol%)のガラス修飾
材料を中間材料にドープすると、中間材料の結合の網目
の一部が切断される。そして、図2(C)に示すよう
に、ガラス修飾材料の原子が、網目の切断によって形成
された中間材料の原子の隙間に入り込むと共に、その一
部が中間材料と結合する。これによって、ガラス形成材
料のみで構成されたガラスよりも密な構造のガラスとな
る。
(3) An intermediate material having a host and a glass modifying material having a guest. The entire material of the protective layer 14 is 100
(Mol%), when 5 to 30 (mol%) of the glass modifying material is doped into the intermediate material, a part of the network of the bonding of the intermediate material is cut. Then, as shown in FIG. 2C, atoms of the glass-modified material enter gaps between the atoms of the intermediate material formed by cutting the mesh, and a part of the atoms is bonded to the intermediate material. As a result, the glass has a denser structure than the glass formed of only the glass forming material.

【0042】保護層14は、このように原子が密となっ
た構造のガラスで構成されていることによって、O2
びH2Oの侵入を阻止することができる。また、保護層
14は、絶縁性を有し、アノード電極11とカソード電
極13との間に電圧を印加しても、これらの電極間をシ
ョートさせることがない。なお、保護層14の層厚は、
3000(Å)以上であることを好適とする。
Since the protective layer 14 is made of glass having a structure in which atoms are dense, the intrusion of O 2 and H 2 O can be prevented. In addition, the protective layer 14 has an insulating property, so that even if a voltage is applied between the anode electrode 11 and the cathode electrode 13, there is no short circuit between these electrodes. The thickness of the protective layer 14 is
It is preferable that it is 3000 (Å) or more.

【0043】なお、図示しないが、アノード電極11及
びカソード電極13には、有機EL素子1の発光/非発
光に応じて所定の電圧を印加するための端子がそれぞれ
設けられている。これらの端子は、保護層14の外側に
引き出され、それぞれ所定の駆動回路に接続されてい
る。
Although not shown, the anode electrode 11 and the cathode electrode 13 are provided with terminals for applying a predetermined voltage according to light emission / non-light emission of the organic EL element 1, respectively. These terminals are drawn out of the protective layer 14 and connected to predetermined drive circuits.

【0044】以下、有機EL素子1の製造プロセスにつ
いて説明する。まず、基板10上にスパッタ法でIT
O、ZnO−In23化合物あるいはSnO2などの透
明電極材料を堆積させる。そして、堆積させた透明電極
材料のうちの不要部分、すなわちアノード電極11とな
る部分以外の部分をフォトリソグラフィー法により取り
除く。これにより、アノード電極11が形成される。
Hereinafter, the manufacturing process of the organic EL element 1 will be described. First, the IT is formed on the substrate 10 by sputtering.
A transparent electrode material such as O, ZnO—In 2 O 3 compound or SnO 2 is deposited. Then, an unnecessary portion of the deposited transparent electrode material, that is, a portion other than a portion to be the anode electrode 11 is removed by photolithography. Thereby, the anode electrode 11 is formed.

【0045】次に、アノード電極11の大きさ以下の窓
を設けたメタルマスクを所定の位置に合わせ、正孔輸送
層材料であるα−NPDと電子輸送性発光層材料である
Bebq2とをメタルマスクの窓からアノード電極11
の上に順次真空蒸着する。これにより、正孔輸送層12
aと電子輸送性発光層12bとからなる有機EL層12
が形成される。
Next, a metal mask provided with a window smaller than the size of the anode electrode 11 is positioned at a predetermined position, and α-NPD as a hole transport layer material and Bebq2 as an electron transportable light emitting layer material are metallized. Anode electrode 11 from mask window
Is sequentially vacuum-deposited. Thereby, the hole transport layer 12
organic EL layer 12 comprising a and an electron transporting light emitting layer 12b
Is formed.

【0046】次に、有機EL層12の大きさ以下の窓を
設けたメタルマスクを所定の位置に合わせ、Mg、M
g:In合金あるいはMg:Ag合金などの低仕事関数
の金属をメタルマスクの窓から有機EL層12の上に真
空蒸着する。これにより、カソード電極13が形成され
る。
Next, a metal mask provided with a window smaller than the size of the organic EL layer 12 is positioned at a predetermined position, and Mg, M
A low work function metal such as a g: In alloy or a Mg: Ag alloy is vacuum-deposited on the organic EL layer 12 from a window of a metal mask. Thereby, the cathode electrode 13 is formed.

【0047】以上の工程によって、アノード電極11、
有機EL層12及びカソード電極13が形成された基板
10(以下、発光側基板という)を低温成膜が可能なス
パッタ装置のチャンバーに固定する。そして、メタルマ
スクを所定の位置に合わせ、保護層14を構成する材料
の比率に応じた所定の割合でガラス形成材料、ガラス修
飾材料及び/または中間材料をAr雰囲気下において発
光側基板にスパッタリングする。なお、この工程でのス
パッタリングは、例えば、対向ターゲットスパッタ、マ
グネトロンスパッタ、イオンビームスパッタあるいはE
CRスパッタによって行うことができる。ただし、いず
れの方法によっても発光側基板の表面の温度は、100
℃以下の低温とする。なお、保護層14の形成は、イオ
ンビーム、イオンプレーティング等の蒸着法によっても
行うことができる。
Through the above steps, the anode electrode 11,
The substrate 10 on which the organic EL layer 12 and the cathode electrode 13 are formed (hereinafter, referred to as a light emitting side substrate) is fixed to a chamber of a sputtering apparatus capable of forming a film at a low temperature. Then, the metal mask is positioned at a predetermined position, and a glass forming material, a glass modifying material, and / or an intermediate material are sputtered on the light emitting side substrate in an Ar atmosphere at a predetermined ratio according to a ratio of a material forming the protective layer 14. . The sputtering in this step is performed by, for example, facing target sputtering, magnetron sputtering, ion beam sputtering, or E sputtering.
It can be performed by CR sputtering. However, the temperature of the surface of the light emitting side substrate is 100
The temperature should be lower than ℃. The formation of the protective layer 14 can also be performed by an evaporation method such as ion beam or ion plating.

【0048】以下、有機EL素子1におけるダークスポ
ットの発生例と、保護層14がダークスポットの成長を
抑止する作用について、図3を参照して説明する。上記
のプロセスにおいて有機EL層12を形成する前に、ア
ノード電極11の上にパーティクルが存在したとする。
このような場合、上記のプロセスを経ると、図3(A)
に示すように、有機EL層12にパーティクルPが存在
したままの有機EL素子1が形成される。
Hereinafter, an example of occurrence of a dark spot in the organic EL element 1 and an operation of the protective layer 14 for suppressing the growth of the dark spot will be described with reference to FIG. It is assumed that particles exist on the anode electrode 11 before the organic EL layer 12 is formed in the above process.
In such a case, after the above process, FIG.
As shown in FIG. 5, the organic EL element 1 is formed with the particles P existing in the organic EL layer 12.

【0049】図3(A)に示した有機EL素子1のアノ
ード電極11とカソード電極13との間に、有機EL層
12を発光させるべく所定の電圧を印加すると、その電
界の強さによってアノード電極11とカソード電極13
との間がショートする。このときのエネルギーによっ
て、図3(B)に示すように、ショートした部分すなわ
ちパーティクルが存在した部分の有機EL層12及びカ
ソード電極13が欠損してピンホールPHを生じる。ま
た、蒸着によって有機EL層12を製膜するときに、ア
ノード電極11上に存在するパーティクルの部分に有機
EL層12が製膜できずに、小さなピンホールが形成さ
れることがある。このままカソード電極13を形成した
場合にも、アノード電極11とカソード電極13との間
に電圧を印加すると、当該ピンホール部分がショート
し、図3(B)に示すとおりに、カソード電極13にピ
ンホールが生じる。
When a predetermined voltage is applied between the anode electrode 11 and the cathode electrode 13 of the organic EL device 1 shown in FIG. Electrode 11 and cathode electrode 13
Is short-circuited. Due to the energy at this time, as shown in FIG. 3B, the short-circuited portion, that is, the portion where the particles are present, of the organic EL layer 12 and the cathode electrode 13 is lost, and a pinhole PH is generated. Further, when the organic EL layer 12 is formed by vapor deposition, a small pinhole may be formed because the organic EL layer 12 cannot be formed at a portion of particles existing on the anode electrode 11. Even when the cathode electrode 13 is formed as it is, when a voltage is applied between the anode electrode 11 and the cathode electrode 13, the pinhole portion is short-circuited, and as shown in FIG. A hole is created.

【0050】ここで、保護層14がなかった場合を考え
る。有機EL素子に保護層14がない場合には、図3
(C’)に示すように、ピンホールPHの部分からカソ
ード電極13の内部に外気中に存在するO2及びH2Oが
侵入する。カソード電極13は、ピンホールPHの部分
から侵入してきたO2及びH2Oによって、図中黒く塗り
つぶしたように有機EL層12との界面までが酸化す
る。こうしてカソード電極13の有機EL層12との界
面が酸化すると、アノード電極11とカソード電極13
との間に電圧を印加しても、有機EL層12の電子輸送
性発光層12aに電子が十分に注入されなくなる。これ
によって、有機EL層12が発光しない部分であるダー
クスポットDSが生じ、このダークスポットの大きさ
は、カソード電極13の酸化の進行に伴って、時間と共
に成長する。
Here, the case where the protective layer 14 is not provided will be considered. When the organic EL element does not have the protective layer 14, FIG.
As shown in (C ′), O 2 and H 2 O existing in the outside air enter the inside of the cathode electrode 13 from the portion of the pinhole PH. The cathode electrode 13 is oxidized up to the interface with the organic EL layer 12 by O 2 and H 2 O penetrating from the pinhole PH as shown in black in the figure. When the interface between the cathode electrode 13 and the organic EL layer 12 is oxidized, the anode electrode 11 and the cathode electrode 13 are oxidized.
, The electrons are not sufficiently injected into the electron transporting light emitting layer 12a of the organic EL layer 12. As a result, a dark spot DS where the organic EL layer 12 does not emit light is generated, and the size of the dark spot grows with time as the oxidation of the cathode electrode 13 progresses.

【0051】一方、この実施の形態の有機EL素子1の
ように保護層14を設けている場合は、図3(C)に示
すように、保護層14を構成するガラス材料が密な構造
となっているため、O2及びH2Oの分子が透過できるよ
うな隙間がほとんどなく、O2及びH2Oの侵入が阻止さ
れる。このため、外気中に存在するO2及びH2Oがカソ
ード電極13のピンホールPHへの侵入が阻止され、時
間の経過によってもカソード電極13の酸化があまり進
行しない。このため、ダークスポットDSの成長が抑止
される。
On the other hand, when the protective layer 14 is provided as in the organic EL element 1 of this embodiment, as shown in FIG. 3C, the glass material forming the protective layer 14 has a dense structure. Therefore, there is almost no gap through which the molecules of O 2 and H 2 O can pass, and the intrusion of O 2 and H 2 O is prevented. For this reason, O 2 and H 2 O present in the outside air are prevented from entering the pinhole PH of the cathode electrode 13, and the oxidation of the cathode electrode 13 does not progress much with the passage of time. Therefore, the growth of the dark spot DS is suppressed.

【0052】以上説明したように、この実施の形態の有
機EL素子1では、カソード電極13を被覆する保護層
14が構成原子が密な特殊な構造のガラスによって構成
されている。この保護層14は、原子が密な状態となっ
ていることにより、外部からO2及びH2Oがカソード電
極13に侵入することを阻止することができる。このた
め、この実施の形態の有機EL素子1では、カソード電
極13の酸化を抑制することができ、ダークスポットの
成長による劣化を防ぐことができる。従って、この実施
の形態の有機EL素子1は、従来の有機EL素子に比べ
て、製品寿命が長くなる。
As described above, in the organic EL device 1 of this embodiment, the protective layer 14 covering the cathode electrode 13 is made of glass having a special structure in which the constituent atoms are dense. This protective layer 14 can prevent O 2 and H 2 O from entering the cathode electrode 13 from the outside because the atoms are in a dense state. For this reason, in the organic EL element 1 of this embodiment, oxidation of the cathode electrode 13 can be suppressed, and deterioration due to the growth of dark spots can be prevented. Therefore, the product life of the organic EL device 1 of this embodiment is longer than that of the conventional organic EL device.

【0053】また、有機EL素子1の製造プロセスにお
いて、保護層14は低温でガラス形成材料、ガラス修飾
材料及び/または中間材料をスパッタリングすることに
よって形成しているので、熱に弱い有機EL層12の発
光輝度その他の特性に影響を及ぼすことがない。
In the manufacturing process of the organic EL device 1, the protective layer 14 is formed by sputtering a glass-forming material, a glass-modified material and / or an intermediate material at a low temperature. It does not affect the emission luminance and other characteristics of the device.

【0054】[第2の実施の形態]図4は、この実施の
形態の有機EL素子2の構造を示す断面図である。この
有機EL素子2も、ページャや携帯電話などの表示部の
バックライトとして用いられる全面発光型のものであ
る。図4に示すように、有機EL素子2は、基板10上
に順次積層して形成されたアノード電極11と、有機E
L層12と、カソード電極13と、保護層14と、第2
保護層25とから構成されている。
[Second Embodiment] FIG. 4 is a sectional view showing the structure of an organic EL device 2 according to this embodiment. The organic EL element 2 is also of a full-surface emission type used as a backlight of a display unit such as a pager or a mobile phone. As shown in FIG. 4, an organic EL element 2 includes an anode electrode 11 formed by sequentially laminating on a substrate 10 and an organic EL element.
L layer 12, cathode electrode 13, protective layer 14, second layer
And a protective layer 25.

【0055】有機EL素子2において、基板10、アノ
ード電極11、有機EL層12、カソード電極13及び
保護層14の構成は、第1の実施の形態の有機EL素子
1の対応するものと実質的に同一である。なお、アノー
ド電極11及びカソード電極13には、第1の実施の形
態の有機EL素子1と同様に、有機EL素子1の発光/
非発光に応じて所定の電圧を印加するための端子がそれ
ぞれ設けられている。これらの端子は、第2保護層25
の外側に引き出され、それぞれ所定の駆動回路に接続さ
れている。
In the organic EL device 2, the configurations of the substrate 10, the anode electrode 11, the organic EL layer 12, the cathode electrode 13, and the protective layer 14 are substantially the same as those of the organic EL device 1 of the first embodiment. Is the same as Note that the anode electrode 11 and the cathode electrode 13 have the light emission / light emission of the organic EL element 1 as in the organic EL element 1 of the first embodiment.
Terminals for applying a predetermined voltage according to non-light emission are provided. These terminals are connected to the second protective layer 25.
And each is connected to a predetermined drive circuit.

【0056】第2保護層25は、AlやCr等の金属単
体、合金、または複数種の可視光に対して高い反射性を
示す金属を積層して構成される。第2保護層25は、上
記の第1の実施の形態の有機EL素子1の上に、Alや
Cr等の金属をスパッタ法あるいは真空蒸着法によって
製膜することによって形成される。
The second protective layer 25 is formed by stacking a single metal such as Al or Cr, an alloy, or a plurality of kinds of metals having high reflectivity to visible light. The second protective layer 25 is formed by forming a metal such as Al or Cr on the organic EL element 1 of the first embodiment by sputtering or vacuum evaporation.

【0057】この実施の形態の有機EL素子2は、保護
層14に何らかの欠陥があっても、その欠陥を第2保護
層25で被覆することができる。また、第2保護層25
自体がO2やH2Oの侵入を抑止する効果がある。このた
め、保護層14の欠陥部分からO2やH2Oがカソード電
極13に侵入することを防ぐことができる。このため、
この実施の形態の有機EL素子2によれば、第1の実施
の形態の有機EL素子1と同等かそれ以上の効果を得る
ことができる。そして、有機EL素子2が発光した光の
うち、それぞれの部材10、11、12での界面での反
射により基板10側に出射せずに保護層14側に出射さ
れた光が、第2保護層25により反射されて基板10側
に出射するので、より高い輝度での表示が可能となる。
In the organic EL device 2 of this embodiment, even if there is any defect in the protective layer 14, the defect can be covered with the second protective layer 25. Also, the second protective layer 25
It has the effect of suppressing the intrusion of O 2 and H 2 O by itself. Therefore, it is possible to prevent O 2 and H 2 O from entering the cathode electrode 13 from a defective portion of the protective layer 14. For this reason,
According to the organic EL device 2 of this embodiment, the same or better effects as those of the organic EL device 1 of the first embodiment can be obtained. Then, of the light emitted from the organic EL element 2, the light emitted to the protective layer 14 side without being emitted to the substrate 10 side due to the reflection at the interface at the respective members 10, 11, 12 is the second protective layer. Since the light is reflected by the layer 25 and emitted toward the substrate 10, display with higher luminance can be performed.

【0058】[第3の実施の形態]図5は、この実施の
形態の有機EL素子3の構造を示す断面図である。この
有機EL素子3も、ページャや携帯電話などの表示部の
バックライトとして用いられる全面発光型のものであ
る。図5に示すように、有機EL素子2は、基板10上
に順次積層して形成されたアノード電極11と、有機E
L層12と、カソード電極13と、保護層14と、封止
層35とから構成されている。
[Third Embodiment] FIG. 5 is a sectional view showing the structure of an organic EL device 3 according to this embodiment. The organic EL element 3 is also of a full-surface emission type used as a backlight of a display unit such as a pager or a mobile phone. As shown in FIG. 5, an organic EL element 2 includes an anode electrode 11 formed by sequentially laminating a substrate 10 and an organic EL element 2.
It is composed of the L layer 12, the cathode electrode 13, the protective layer 14, and the sealing layer 35.

【0059】有機EL素子3において、基板10、アノ
ード電極11、有機EL層12、カソード電極13及び
保護層14の構成は、第1の実施の形態の有機EL素子
1の対応するものと実質的に同一である。なお、アノー
ド電極11及びカソード電極13には、第1の実施の形
態の有機EL素子1と同様に、有機EL素子3の発光/
非発光に応じて所定の電圧を印加するための端子がそれ
ぞれ設けられている。これらの端子は、封止層35の外
側に引き出され、それぞれ所定の駆動回路に接続されて
いる。
In the organic EL device 3, the configurations of the substrate 10, the anode electrode 11, the organic EL layer 12, the cathode electrode 13, and the protective layer 14 are substantially the same as those of the organic EL device 1 of the first embodiment. Is the same as Note that the anode electrode 11 and the cathode electrode 13 have the light emission / light emission of the organic EL element 3 similar to the organic EL element 1 of the first embodiment.
Terminals for applying a predetermined voltage according to non-light emission are provided. These terminals are drawn out of the sealing layer 35 and connected to predetermined drive circuits.

【0060】封止層35は、有機系のUV硬化樹脂や熱
硬化樹脂によって構成されている。封止層35は、第1
の実施の形態の有機EL素子1の上に溶解された樹脂を
流し込み、金型によって所定の形に整形することによっ
て形成される。
The sealing layer 35 is made of an organic UV curable resin or a thermosetting resin. The sealing layer 35 is
It is formed by pouring a dissolved resin onto the organic EL element 1 of the above embodiment and shaping it into a predetermined shape by a mold.

【0061】この実施の形態の有機EL素子3は、保護
層14に何らかの欠陥があっても、その欠陥を封止層3
5で被覆することができる。また、封止層35自体がO
2やH2Oの侵入を抑止する効果がある。このため、保護
層14の欠陥部分からO2やH2Oがカソード電極13に
侵入することを防ぐことができる。このため、この実施
の形態の有機EL素子3によれば、第1の実施の形態の
有機EL素子1と同等かそれ以上の効果を得ることがで
きる。
In the organic EL device 3 of this embodiment, even if there is any defect in the protective layer 14, the defect is
5 can be coated. Further, the sealing layer 35 itself is O
2 and H 2 O are effectively prevented. Therefore, it is possible to prevent O 2 and H 2 O from entering the cathode electrode 13 from a defective portion of the protective layer 14. For this reason, according to the organic EL element 3 of this embodiment, the same or higher effects as those of the organic EL element 1 of the first embodiment can be obtained.

【0062】[第4の実施の形態]図6は、この実施の
形態の有機EL素子4の構造を示す断面図である。この
有機EL素子4も、ページャや携帯電話などの表示部の
バックライトとして用いられる全面発光型のものであ
る。図6に示すように、有機EL素子4は、基板10上
に順次積層して形成されたアノード電極11、有機EL
層12、カソード電極13及び保護層14と、基板10
に対向して設けられた第2基板45と、基板10と第2
基板45との間を封止するシール材46とから構成され
ている。
[Fourth Embodiment] FIG. 6 is a sectional view showing the structure of an organic EL device 4 according to this embodiment. The organic EL element 4 is also a full-surface light emitting type used as a backlight of a display unit such as a pager or a mobile phone. As shown in FIG. 6, an organic EL element 4 includes an anode electrode 11 and an organic EL element which are sequentially laminated on a substrate 10.
Layer 12, cathode electrode 13, protective layer 14, and substrate 10
A second substrate 45 provided to face the substrate 10;
And a sealing material 46 for sealing between the substrate 45 and the substrate 45.

【0063】有機EL素子6において、基板10、アノ
ード電極11、有機EL層12、カソード電極13及び
保護層14の構成は、第1の実施の形態の有機EL素子
1の対応するものと実質的に同一である。なお、アノー
ド電極11及びカソード電極13には、第1の実施の形
態の有機EL素子1と同様に、有機EL素子4の発光/
非発光に応じて所定の電圧を印加するための端子がそれ
ぞれ設けられている。これらの端子は、シール材46の
外側に引き出され、それぞれ所定の駆動回路に接続され
ている。
In the organic EL device 6, the configurations of the substrate 10, the anode electrode 11, the organic EL layer 12, the cathode electrode 13, and the protective layer 14 are substantially the same as those of the organic EL device 1 of the first embodiment. Is the same as Note that the anode electrode 11 and the cathode electrode 13 have the light emission / light emission of the organic EL element 4 similar to the organic EL element 1 of the first embodiment.
Terminals for applying a predetermined voltage according to non-light emission are provided. These terminals are drawn out of the sealing material 46 and connected to predetermined drive circuits.

【0064】第2基板45は、ガラス、プラスチックま
たはフィルムによって構成される。シール材46は、U
V硬化性のアクリル系樹脂、エポキシ系樹脂あるいは熱
硬化性樹脂によって構成され、基板10と第2基板45
とを減圧下で接着する。従って、基板10、45及びシ
ール材46で囲まれた空間47はO2やH2Oが極めて希
薄な状態であり、さらに、シール材46は、基板10及
び第2基板45に密着するので、外部からO2やH2Oが
侵入してくるのをかなりの程度で防ぐことができる。な
お、空間47にシリコンオイルを封入してもよい。
The second substrate 45 is made of glass, plastic or film. The sealing material 46 is made of U
The substrate 10 and the second substrate 45 are made of a V-curable acrylic resin, epoxy resin, or thermosetting resin.
Are bonded under reduced pressure. Therefore, the space 47 surrounded by the substrates 10 and 45 and the sealing material 46 is in a state where O 2 and H 2 O are extremely diluted, and the sealing material 46 is in close contact with the substrate 10 and the second substrate 45. It is possible to prevent O 2 and H 2 O from entering from the outside to a considerable extent. The space 47 may be filled with silicone oil.

【0065】この実施の形態の有機EL素子4では、基
板10と第2基板45とをシール材46によって封止す
ることによって、外部からO2やH2Oが侵入することを
かなりの程度で防ぐことができる。さらに、保護層14
によってO2やH2Oがカソード電極13に侵入すること
を防ぐことができる。このため、この実施の形態の有機
EL素子4によれば、第1の実施の形態の有機EL素子
1と同等かそれ以上の効果を得ることができる。
In the organic EL device 4 of this embodiment, the substrate 10 and the second substrate 45 are sealed with the sealing material 46 to prevent O 2 and H 2 O from entering from the outside to a considerable extent. Can be prevented. Further, the protective layer 14
O 2 and H 2 O can be prevented from entering the cathode electrode 13. For this reason, according to the organic EL element 4 of this embodiment, the same or higher effects as those of the organic EL element 1 of the first embodiment can be obtained.

【0066】[第5の実施の形態]図7は、この実施の
形態の有機EL素子5の構造を示す断面図である。この
有機EL素子5も、ページャや携帯電話などの表示部の
バックライトとして用いられる全面発光型のものであ
る。図7に示すように、有機EL素子5は、基板10上
に順次積層して形成されたアノード電極11、有機EL
層12、カソード電極13、保護層14及び接着層56
と、基板10に対向し、接着層56に積層されて接着さ
れている第2基板55とから構成されている。
[Fifth Embodiment] FIG. 7 is a sectional view showing the structure of an organic EL device 5 according to this embodiment. This organic EL element 5 is also of a full-surface emission type used as a backlight of a display unit such as a pager or a mobile phone. As shown in FIG. 7, an organic EL element 5 includes an anode electrode 11 and an organic EL element, which are sequentially laminated on a substrate 10.
Layer 12, cathode electrode 13, protective layer 14, and adhesive layer 56
And a second substrate 55 opposed to the substrate 10 and laminated and adhered to the adhesive layer 56.

【0067】有機EL素子5において、基板10、アノ
ード電極11、有機EL層12、カソード電極13及び
保護層14の構成は、第1の実施の形態の有機EL素子
1の対応するものと実質的に同一である。第2基板55
の構成は、第4の実施の形態の有機EL素子4の第2基
板45の構成と実質的に同一である。なお、アノード電
極11及びカソード電極13には、第1の実施の形態の
有機EL素子1と同様に、有機EL素子5の発光/非発
光に応じて所定の電圧を印加するための端子がそれぞれ
設けられている。これらの端子は、接着層56の外側に
引き出され、それぞれ所定の駆動回路に接続されてい
る。
In the organic EL device 5, the configurations of the substrate 10, the anode electrode 11, the organic EL layer 12, the cathode electrode 13, and the protective layer 14 are substantially the same as those of the organic EL device 1 of the first embodiment. Is the same as Second substrate 55
Is substantially the same as the configuration of the second substrate 45 of the organic EL element 4 of the fourth embodiment. Note that, similarly to the organic EL element 1 of the first embodiment, the anode electrode 11 and the cathode electrode 13 have terminals for applying a predetermined voltage according to light emission / non-light emission of the organic EL element 5, respectively. Is provided. These terminals are drawn out of the adhesive layer 56 and connected to predetermined drive circuits.

【0068】接着層56は、低吸湿性の光硬化接着剤、
エポキシ系接着剤などによって構成される。接着層56
として、低吸湿性のものを用いることによって、湿気
(H2O)の侵入をかなりの程度で防ぐことができる。
また、第2基板25によって上部からのO2やH2Oの侵
入をかなりの程度で防ぐことができる。
The adhesive layer 56 is made of a light-curing adhesive having a low hygroscopicity,
It is composed of an epoxy adhesive or the like. Adhesive layer 56
By using a low moisture absorbing material, the penetration of moisture (H 2 O) can be prevented to a considerable extent.
In addition, the second substrate 25 can prevent O 2 and H 2 O from entering from the upper part to a considerable extent.

【0069】この実施の形態の有機EL素子5では、保
護層14及び接着層56の厚さが薄いことから、接着層
56と第2基板55とによってO2やH2Oの侵入をかな
りの程度で防ぐことができる。さらに、保護層14によ
ってO2やH2Oがカソード電極13に侵入することを防
ぐことができる。このため、この実施の形態の有機EL
素子5によれば、第1の実施の形態の有機EL素子1と
同等かそれ以上の効果を得ることができる。
In the organic EL device 5 of this embodiment, since the protective layer 14 and the adhesive layer 56 are thin, the penetration of O 2 and H 2 O by the adhesive layer 56 and the second substrate 55 is considerable. The degree can be prevented. Further, the protective layer 14 can prevent O 2 and H 2 O from entering the cathode electrode 13. Therefore, the organic EL of this embodiment
According to the element 5, an effect equal to or higher than that of the organic EL element 1 of the first embodiment can be obtained.

【0070】[第6の実施の形態]図8は、この実施の
形態の有機EL素子6の構造を示す断面図である。この
有機EL素子6も、ページャや携帯電話などの表示部の
バックライトとして用いられる全面発光型のものであ
る。図8に示すように、有機EL素子6は、基板10上
に順次積層して形成されたアノード電極11、有機EL
層12、カソード電極13及び保護層14と、基板10
側を開口部とし、基板10に対向して設けられた缶型基
板65と、基板10と缶型基板65との間を封止するシ
ール材66と、シール材66によって封止された基板1
0と缶型基板65との間の空間部に充填されたオイル6
7とから構成されている。
[Sixth Embodiment] FIG. 8 is a sectional view showing the structure of an organic EL device 6 according to this embodiment. The organic EL element 6 is also of a full-surface emission type used as a backlight of a display unit such as a pager or a mobile phone. As shown in FIG. 8, an organic EL element 6 includes an anode electrode 11 and an organic EL element, which are sequentially laminated on a substrate 10.
Layer 12, cathode electrode 13, protective layer 14, and substrate 10
Substrate 65 having an opening on the side facing the substrate 10, a sealing material 66 for sealing between the substrate 10 and the can-type substrate 65, and a substrate 1 sealed by the sealing material 66.
Oil 6 filled in the space between the substrate 0 and the can-shaped substrate 65
7 is comprised.

【0071】有機EL素子2において、基板10、アノ
ード電極11、有機EL層12、カソード電極13及び
保護層14の構成は、第1の実施の形態の有機EL素子
1の対応するものと実質的に同一である。なお、アノー
ド電極11及びカソード電極13には、第1の実施の形
態の有機EL素子1と同様に、有機EL素子6の発光/
非発光に応じて所定の電圧を印加するための端子がそれ
ぞれ設けられている。これらの端子は、シール材66の
外側に引き出され、それぞれ所定の駆動回路に接続され
ている。
In the organic EL device 2, the configurations of the substrate 10, the anode electrode 11, the organic EL layer 12, the cathode electrode 13, and the protective layer 14 are substantially the same as those of the organic EL device 1 of the first embodiment. Is the same as Note that the anode electrode 11 and the cathode electrode 13 have the light emission / light emission of the organic EL element 6 similar to the organic EL element 1 of the first embodiment.
Terminals for applying a predetermined voltage according to non-light emission are provided. These terminals are drawn out of the sealing material 66 and connected to predetermined driving circuits.

【0072】缶型基板65は、ガラスまたはプラスチッ
クによって構成され、基板10側の一底面を開口したも
のである。シール材66は、UV硬化性のアクリル系樹
脂、エポキシ系樹脂あるいは熱硬化性樹脂によって構成
され、基板10と缶型基板65とを接着する。シール材
66は、基板10及び缶型基板65に密着し、外部から
2やH2Oが侵入してくるのをかなりの程度で防ぐこと
ができる。オイル67は、シリコンオイルやトートシー
ル等の絶縁性を有するオイルによって構成される。オイ
ル67は、疎水性を有する。
The can-shaped substrate 65 is made of glass or plastic, and has an opening at one bottom surface on the substrate 10 side. The sealing material 66 is made of a UV-curable acrylic resin, an epoxy resin, or a thermosetting resin, and adheres the substrate 10 to the can-shaped substrate 65. The sealing material 66 is in close contact with the substrate 10 and the can-shaped substrate 65, and can prevent O 2 and H 2 O from entering from the outside to a considerable extent. The oil 67 is made of an insulating oil such as a silicone oil or a tote seal. The oil 67 has hydrophobicity.

【0073】この実施の形態の有機EL素子6では、基
板10と缶型基板65とをシール材66によって封止す
ることによって、外部からO2やH2Oが侵入することを
かなりの程度で防ぐことができる。また、オイル67に
よって外部からのH2Oの侵入を防ぐことができる。さ
らに、保護層14によってO2やH2Oがカソード電極1
3に侵入することを防ぐことができる。このため、この
実施の形態の有機EL素子6によれば、第1の実施の形
態の有機EL素子1と同等かそれ以上の効果を得ること
ができる。
In the organic EL element 6 according to this embodiment, the substrate 10 and the can-shaped substrate 65 are sealed with the sealing material 66 to prevent O 2 and H 2 O from entering from the outside to a considerable extent. Can be prevented. Further, the oil 67 can prevent H 2 O from entering from outside. Further, O 2 and H 2 O are formed on the cathode electrode 1 by the protective layer 14.
3 can be prevented from invading. For this reason, according to the organic EL element 6 of this embodiment, the same or higher effects as those of the organic EL element 1 of the first embodiment can be obtained.

【0074】[実施の形態の変形]本発明は、上記の第
1〜第6の実施の形態で示したものに限られず、様々な
変形が可能である。以下、上記の実施の形態の変形例に
ついて、説明する。
[Modifications of Embodiment] The present invention is not limited to the above-described first to sixth embodiments, and various modifications are possible. Hereinafter, modified examples of the above embodiment will be described.

【0075】上記の第3の実施の形態では、封止層35
は、有機系透明樹脂によって構成されていたが、金属酸
化物、金属フッ化物あるいは金属硫化物から構成したも
のであってもよい。また、封止層35は、保護層14を
被覆して形成していたが、第2の実施の形態の有機EL
素子2において保護層14の上に形成された第2保護層
25の上に被覆して形成してもよい。
In the third embodiment, the sealing layer 35
Is composed of an organic transparent resin, but may be composed of a metal oxide, a metal fluoride or a metal sulfide. Further, the sealing layer 35 is formed by covering the protective layer 14, but the organic EL of the second embodiment is formed.
The element 2 may be formed so as to cover the second protective layer 25 formed on the protective layer 14.

【0076】上記の第4〜第6の実施の形態では、第1
の実施の形態の有機EL素子1の構成に第2基板45、
55や缶型基板65などの構成を加えていた。しかしな
がら、第2、第3の実施の形態の有機EL素子2、3の
構成や、上記した第2保護層の上に封止層を形成した有
機EL素子の構成に加えて、第2基板や缶型基板などの
構成を加えてもよい。
In the fourth to sixth embodiments, the first
The configuration of the organic EL element 1 of the embodiment
55 and a can-shaped substrate 65 are added. However, in addition to the configuration of the organic EL elements 2 and 3 of the second and third embodiments and the configuration of the organic EL element in which the sealing layer is formed on the second protective layer, the second substrate A configuration such as a can-type substrate may be added.

【0077】上記の第1〜第6の実施の形態では、透明
電極によって構成されたアノード電極11は基板10の
側に、カソード電極13は有機EL層12を挟んで、基
板10の反対側に形成されていた。そして、有機EL層
12が発光した光は、基板10の側から外部に放出され
ていた。しかしながら、例えば、カソード電極を基板側
に、アノード電極を有機EL層を挟んで基板の反対側に
形成した有機EL素子にも適用することができる。もっ
とも、この場合は、基板の反対側に形成されるアノード
電極、保護層、第2保護層、封止層、接着層、第2基
板、缶型基板、あるいはオイルは、有機EL層で発光し
た光を十分に透過することができる材料で構成しなけれ
ばならない。
In the first to sixth embodiments, the anode electrode 11 composed of a transparent electrode is on the substrate 10 side, and the cathode electrode 13 is on the opposite side of the substrate 10 with the organic EL layer 12 interposed therebetween. Had been formed. The light emitted from the organic EL layer 12 was emitted to the outside from the substrate 10 side. However, for example, the present invention can also be applied to an organic EL element in which a cathode electrode is formed on the substrate side and an anode electrode is formed on the opposite side of the substrate with the organic EL layer interposed therebetween. However, in this case, the anode electrode, the protective layer, the second protective layer, the sealing layer, the adhesive layer, the second substrate, the can-type substrate, or the oil formed on the opposite side of the substrate emitted light from the organic EL layer. It must be made of a material that can transmit light sufficiently.

【0078】上記の第1〜第6の実施の形態では、有機
EL層12は、α−NPDからなる正孔輸送層12aと
Bebq2からなる電子輸送性発光層12bの2層構造
で形成されており、緑色の光を発するものであった。こ
れに対し、有機EL層12は、正孔輸送性発光層と電子
輸送層との2層構造、あるいは正孔輸送層、発光層及び
電子輸送層の3層構造で形成してもよい。また、これら
の各層に使用する有機EL材料を選択することによっ
て、緑色以外の任意の波長成分の光を発する有機EL素
子を構成することもできる。さらには、本発明は、無機
EL材料などの他の発光材料を発光層として用いた発光
素子にも適用することができる。
In the first to sixth embodiments, the organic EL layer 12 has a two-layer structure of the hole transporting layer 12a made of α-NPD and the electron transporting light emitting layer 12b made of Bebq2. And emitted green light. On the other hand, the organic EL layer 12 may have a two-layer structure of a hole-transporting light-emitting layer and an electron-transport layer, or a three-layer structure of a hole-transport layer, a light-emitting layer, and an electron-transport layer. Further, by selecting an organic EL material used for each of these layers, an organic EL element which emits light of an arbitrary wavelength component other than green can be formed. Further, the present invention can be applied to a light-emitting element using another light-emitting material such as an inorganic EL material as a light-emitting layer.

【0079】上記の第1〜第6の実施の形態では、保護
層14に、(1)ガラス形成材料にガラス修飾材料をド
ープしたもの、(2)ガラス形成材料に中間材料をドー
プしたもの、(3)中間材料にガラス修飾材料をドープ
したもの、の何れかの構造のガラスを適用していた。し
かしながら、これら(1)〜(3)の構造のガラスは、
基板10、第2基板45、55あるいは缶型基板65に
適用してもよい。これにより、基板10、第2基板4
5、55あるいは缶型基板65を介して外部からO2
びH2Oがカソード電極13へ侵入することも防ぐこと
ができる。
In the first to sixth embodiments described above, the protective layer 14 is composed of (1) a glass-forming material doped with a glass modifying material, (2) a glass-forming material doped with an intermediate material, (3) Glass having any of the structures of doping an intermediate material with a glass modifying material. However, these glasses having the structures (1) to (3) are:
The present invention may be applied to the substrate 10, the second substrates 45 and 55, or the can-type substrate 65. Thereby, the substrate 10 and the second substrate 4
It is also possible to prevent O 2 and H 2 O from entering the cathode electrode 13 from the outside via 5, 55 or the can-shaped substrate 65.

【0080】上記の第1〜第6の実施の形態では、ペー
ジャや携帯電話などの表示部のバックライトとして用い
る全面発光型の有機EL素子に本発明を適用した場合に
ついて説明した。しかしながら、本発明は、画像をセグ
メント表示する発光素子や、単純マトリクス方式やアク
ティブマトリクス方式で画像をドットマトリクス表示す
る発光素子にも適用することができる。
In the above-described first to sixth embodiments, the case where the present invention is applied to an organic EL device of a full light emission type used as a backlight of a display unit such as a pager or a mobile phone has been described. However, the present invention can also be applied to a light emitting element that displays an image in segments and a light emitting element that displays an image in a dot matrix in a simple matrix system or an active matrix system.

【0081】[0081]

【実施例】本発明の効果を確認するため、次のような実
験を行った。 [実施例1]この実施例においては、図1に示した構成
で、次のような条件を有する有機EL素子(1)〜
(4)を用意した。
EXAMPLES In order to confirm the effects of the present invention, the following experiments were conducted. [Example 1] In this example, the organic EL elements (1) to (2) having the structure shown in FIG.
(4) was prepared.

【0082】アノード電極11は、有機EL素子(1)
〜(4)とも、2000(Å)の層厚のITOによって
構成した。有機EL層12は、有機EL素子(1)〜
(4)とも、500(Å)の層厚のBebq2からなる
正孔輸送層12aと、500(Å)の層厚のα−NPD
からなる電子輸送性発光層12bとの2層構造によって
構成した。カソード電極13は、有機EL素子(1)〜
(4)とも、5000(Å)の層厚のMg:In合金に
よって構成した。
The anode electrode 11 is made of an organic EL element (1)
Each of (4) to (4) was made of ITO having a layer thickness of 2000 (Å). The organic EL layer 12 includes the organic EL elements (1) to
(4) a hole transport layer 12a made of Bebq2 having a layer thickness of 500 (Å) and an α-NPD having a layer thickness of 500 (Å)
And a two-layer structure with an electron-transporting light-emitting layer 12b. The cathode electrode 13 is composed of the organic EL elements (1) to
Both (4) were made of a Mg: In alloy with a layer thickness of 5000 (Å).

【0083】保護層14は、有機EL素子(1)では、
形成しなかった。すなわち、有機EL素子(1)におい
て保護層14の層厚は、0(Å)とした。有機EL素子
(2)〜(4)のいずれにおいても、保護層14には、
図2(C)に示すような構造の、ZnSをホストとし、
20(mol%)のCeOx(Ce、CeO、CeO2が混
在したもの)をゲストとしてドープしたZnS−CeO
xを使用した。CeOxは、斜線が付された円で示すよう
に、3次元綱目状構造のZnsの隙間に物理的に混在し
ている。ただし、保護層14の層厚は、有機EL素子
(2)では1000(Å)、有機EL素子(3)では4
000(Å)、有機EL素子(4)では10000
(Å)とした。
In the organic EL element (1), the protective layer 14
Did not form. That is, the layer thickness of the protective layer 14 in the organic EL element (1) was set to 0 (Å). In any of the organic EL devices (2) to (4), the protective layer 14
With ZnS as a host having a structure as shown in FIG.
ZnS—CeO doped with 20 (mol%) CeO x (a mixture of Ce, CeO, and CeO 2 ) as a guest
x was used. CeO x is physically mixed in gaps between Zns having a three-dimensional network structure, as indicated by hatched circles. However, the thickness of the protective layer 14 is 1000 (Å) in the organic EL element (2) and 4 (Å) in the organic EL element (3).
000 (Å), 10,000 for the organic EL element (4)
(Å)

【0084】これらの有機EL素子(1)〜(4)を気
温80℃、湿度90%の環境条件下に放置した。そし
て、時間の経過によって有機EL素子(1)〜(4)の
それぞれにおいてダークスポットがどのように成長する
かを観察した。
The organic EL devices (1) to (4) were left under environmental conditions of a temperature of 80 ° C. and a humidity of 90%. Then, it was observed how dark spots grew in each of the organic EL elements (1) to (4) over time.

【0085】有機EL素子(1)〜(4)における時間
の経過によるダークスポットの個数の変化を表1に示
す。
Table 1 shows the change in the number of dark spots over time in the organic EL elements (1) to (4).

【表1】 [Table 1]

【0086】また、有機EL素子(1)〜(4)におけ
る時間の経過によるダークスポットの面積比率の変化を
表2に示す。また、このダークスポットの面積比率の変
化を図9にグラフで表す。
Table 2 shows the change in the area ratio of dark spots over time in the organic EL elements (1) to (4). FIG. 9 is a graph showing the change in the area ratio of the dark spot.

【表2】 [Table 2]

【0087】また、有機EL素子(1)〜(4)におけ
る時間の経過によるダークスポットの最大直径の変化を
表3に示す。また、このダークスポットの最大直径の変
化を図10にグラフで表す。
Table 3 shows the change in the maximum diameter of the dark spot over time in the organic EL elements (1) to (4). FIG. 10 is a graph showing a change in the maximum diameter of the dark spot.

【表3】 [Table 3]

【0088】なお、これらの実験結果において、初期状
態(0時間)におけるダークスポットの数、面積比率及
び最大直径は、有機EL素子の製造上の問題に起因す
る。以下、上記の実験結果に基づいて、本発明の効果が
いかに得られたかを考察する。
In these experimental results, the number, area ratio, and maximum diameter of dark spots in the initial state (0 hour) are caused by problems in manufacturing the organic EL device. Hereinafter, how the effects of the present invention have been obtained will be considered based on the above experimental results.

【0089】上記の表及びグラフで示すように、有機E
L素子(1)及び(2)では、ダークスポットの数は1
44時間後にほぼ半減するものの、面積比率は30%を
超え、また、最大直径も0.25mm以上となる。ここ
で、ダークスポットの数の減少は、ダークスポットの成
長によって2以上のダークスポットが繋がって1つのダ
ークスポットを生じるためであると思われる。
As shown in the above table and graph, the organic E
In the L elements (1) and (2), the number of dark spots is one.
Although it is almost halved after 44 hours, the area ratio exceeds 30% and the maximum diameter is 0.25 mm or more. Here, it is considered that the decrease in the number of dark spots is due to the fact that two or more dark spots are connected to generate one dark spot due to the growth of the dark spots.

【0090】保護層14を設けていない有機EL素子
(1)は、O2あるいはH2Oのカソード電極13への侵
入を阻止できないため、上記結果が示すように、ダーク
スポットの成長を抑止できない。上記結果は、有機EL
素子(2)でもダークスポットの成長を十分に抑止でき
ないことを示している。言い換えれば、保護層14があ
っても、その層厚が1000(Å)程度ではO2あるい
はH2Oのカソード電極13への侵入を阻止できないこ
とを示している。
[0090] The organic EL element provided with no protective layer 14 (1), can not be prevented from entering the O 2 or of H 2 O cathode electrode 13, as shown above results, can not suppress the growth of dark spots . The above results were obtained using the organic EL
This indicates that even the element (2) cannot sufficiently suppress the growth of dark spots. In other words, even if the protective layer 14 is present, it is impossible to prevent O 2 or H 2 O from entering the cathode electrode 13 if the thickness is about 1000 (保護).

【0091】有機EL素子(3)では、ダークスポット
の数は時間によってほとんど変化なく、144時間後で
も面積比率は12%台に、最大直径は0.18mmに止ま
る。この結果から、保護層14の層厚を4000(Å)
とすれば、ダークスポットの成長が抑止される、すなわ
ち、保護層14がO2あるいはH2Oのカソード電極13
への侵入をかなりの部分で阻止していることがわかる。
保護層14は、これと同時にダークスポットの発生もあ
る程度抑止する効果があることがわかる。
In the organic EL element (3), the number of dark spots hardly changed with time, and even after 144 hours, the area ratio was on the order of 12% and the maximum diameter was only 0.18 mm. From this result, the thickness of the protective layer 14 was set to 4000 (Å).
In this case, the growth of dark spots is suppressed, that is, the protective layer 14 is made of O 2 or H 2 O cathode electrode 13.
It can be seen that it has prevented the intrusion into a considerable part.
It can be seen that the protective layer 14 also has the effect of suppressing the occurrence of dark spots to some extent.

【0092】有機EL素子(4)では、ダークスポット
の数は時間の経過と共に微増している。しかしながら、
144時間後のダークスポットの面積比率は2.8%
に、最大直径は0.16mmに止まる。また、288時間
後でもダークスポットの面積比率は5.2%に、最大直
径は0.22mmに止まる。この結果は、保護層14の層
厚を10000(Å)とすれば、ダークスポットの成長
がよりいっそう抑止される、すなわち、保護層14は、
その層厚が厚ければ厚いほど、O2あるいはH2Oのカソ
ード電極13への侵入を阻止できることがわかる。
In the organic EL element (4), the number of dark spots slightly increases with time. However,
The area ratio of dark spots after 144 hours is 2.8%
In addition, the maximum diameter is limited to 0.16 mm. Even after 288 hours, the area ratio of dark spots remains at 5.2% and the maximum diameter remains at 0.22 mm. This result indicates that if the layer thickness of the protective layer 14 is 10000 (Å), the growth of dark spots is further suppressed, that is, the protective layer 14
It can be seen that the thicker the layer, the more the penetration of O 2 or H 2 O into the cathode electrode 13 can be prevented.

【0093】以上の結果から、ある程度の層厚以上のZ
nS−CeOxからなる保護層14を設けることによっ
て、カソード電極13へのO2あるいはH2Oの侵入を阻
止することができ、ダークスポットの成長を抑止するこ
とができる。しかも、保護層14の層厚が厚くなればな
るほどその効果が大きくなり、本発明の効果が生じてい
ることがわかる。保護層14は、これと同時にダークス
ポットの発生もある程度抑止する効果があることがわか
る。すなわち、保護層14は、Znsの3次元綱目状構
造の隙間にCeOxが埋まるように混在している極めて
緻密な分子構造により、O2あるいはH2Oの侵入を抑止
できるものであることが確認された。
From the above results, it can be seen that Z having a certain thickness or more
By providing the protective layer 14 made of nS-CeO x, it is possible to prevent O 2 or H 2 O from entering the cathode electrode 13 and suppress the growth of dark spots. In addition, it can be seen that the effect increases as the layer thickness of the protective layer 14 increases, and the effect of the present invention occurs. It can be seen that the protective layer 14 also has the effect of suppressing the occurrence of dark spots to some extent. That is, the protective layer 14 may be capable of suppressing O 2 or H 2 O penetration by an extremely dense molecular structure in which CeO x is mixed so as to fill the gaps of the three-dimensional network structure of Zns. confirmed.

【0094】[実施例2]この実施例においては、図1
に示した構成で、次のような条件を有する有機EL素子
(5)、(6)を用意した。有機EL素子(5)、
(6)共に、アノード電極11、有機EL層12、カソ
ード電極13の構成は、実施例1の有機EL素子(1)
〜(4)と同一とした。
[Embodiment 2] In this embodiment, FIG.
Organic EL devices (5) and (6) having the following conditions and having the following conditions were prepared. Organic EL element (5),
(6) In each case, the configuration of the anode electrode 11, the organic EL layer 12, and the cathode electrode 13 is the same as the organic EL element (1) of the first embodiment.
To (4).

【0095】保護層14は、有機EL素子(6)では、
図2(A)に示すような構造の、SiO2をホストと
し、20(mol%)のCeOx(Ce、CeO、CeO2
が混在したもの)をゲストとしてドープしたSiO2
CeOxを使用した。CeOxは、斜線が付された円で示
すように、3次元綱目状構造のSiO2の隙間に物理的
に混在している。この場合の保護層14の層厚は、32
00(Å)とした。有機EL素子(5)では、上記実施
の形態で示した構造を有しない純物質を保護層14とし
て設けた。この場合の保護層14の層厚は、4000
(Å)とした。
In the organic EL device (6), the protective layer 14
The structure as shown in FIG. 2 (A), and the SiO 2 host, 20 CeO x (Ce of (mol%), CeO, CeO 2
SiO 2 but doped mixed ones) as a guest -
CeO x was used. CeO x is physically mixed in the gaps between the SiO 2 having the three-dimensional network structure, as indicated by the hatched circles. In this case, the thickness of the protective layer 14 is 32
00 (Å). In the organic EL element (5), a pure substance not having the structure described in the above embodiment was provided as the protective layer. In this case, the thickness of the protective layer 14 is 4000
(Å)

【0096】これらの有機EL素子(5)、(6)を気
温80℃、湿度90%の環境条件下に放置した。そし
て、時間の経過によって有機EL素子(5)、(6)の
それぞれにおいてダークスポットがどのように成長する
かを観察した。
The organic EL devices (5) and (6) were left under environmental conditions of a temperature of 80 ° C. and a humidity of 90%. Then, it was observed how dark spots grow in each of the organic EL elements (5) and (6) with the passage of time.

【0097】有機EL素子(5)、(6)における時間
の経過によるダークスポットの面積比率の変化を表4に
示す。
Table 4 shows the change in the area ratio of dark spots over time in the organic EL elements (5) and (6).

【表4】 [Table 4]

【0098】以下、上記の実験結果に基づいて、本発明
の効果がいかに得られたかを考察する。上記の表に示す
ように、保護層14がSiO2の純物質からなる有機E
L素子(5)では、24時間が経過するとダークスポッ
トの面積比率が6.58(%)に達している。これに対
し、保護層14にCeOxをゲストとしてドープした有
機EL素子(6)では、144時間を経過してもダーク
スポットの面積比率は4.71(%)にしかすぎなかっ
た。
The following will discuss how the effects of the present invention were obtained based on the above experimental results. As shown in the table above, the organic E protective layer 14 is made of pure substances of SiO 2
In the L element (5), the area ratio of dark spots has reached 6.58 (%) after 24 hours. On the other hand, in the organic EL device (6) in which the protective layer 14 was doped with CeO x as a guest, the area ratio of dark spots was only 4.71 (%) even after 144 hours.

【0099】この結果から、保護層14においてSiO
2にCeOxをドープすることによって、ダークスポット
の成長が抑制されることがわかる。これは、SiO2
CeOxをドープすることによって、カソード電極13
へのO2あるいはH2Oの侵入が阻止されるためであると
思われる。以上のように、この実験結果によって本発明
の効果が生じていることがわかる。すなわち、保護層1
4は、SiO2の3次元綱目状構造の隙間にCeOxが埋
まるように混在している極めて緻密な分子構造により、
2あるいはH2Oの侵入を抑止できるものであることが
確認された。
From this result, it is found that the protective layer 14 has SiO 2
It can be seen that the growth of dark spots is suppressed by doping 2 with CeO x . This is because the SiO 2 is doped with CeO x so that the cathode 13
It is considered that the intrusion of O 2 or H 2 O into H 2 O is prevented. As described above, it can be seen that the effects of the present invention are produced by the experimental results. That is, the protective layer 1
4 is an extremely dense molecular structure in which CeO x is mixed so as to be embedded in the gaps of the three-dimensional network structure of SiO 2 ,
It was confirmed that O 2 or H 2 O could be prevented from entering.

【0100】[0100]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の発光素子
では、保護層を設けたことによって酸素及び水が外部か
ら金属電極に侵入することを防ぐことができる。このた
め、金属電極の酸化を抑止することができ、ダークスポ
ットの成長による発光素子の劣化を防ぐことができる。
このため、本発明では、製品寿命の長い発光素子を提供
することができる。
As described above, in the light emitting device of the present invention, provision of the protective layer can prevent oxygen and water from entering the metal electrode from the outside. Therefore, oxidation of the metal electrode can be suppressed, and deterioration of the light emitting element due to growth of a dark spot can be prevented.
Therefore, according to the present invention, a light-emitting element having a long product life can be provided.

【0101】また、本発明の発光素子用の保護材料を使
用して発光素子を形成した場合、ガラスを構成する分子
の隙間から酸素及び水が侵入することを防ぐことができ
る。このため、発光素子に使用されている金属電極の酸
化を抑止することができ、ダークスポットの成長による
発光素子の劣化を防ぐことができる。
When a light-emitting element is formed using the protective material for a light-emitting element of the present invention, it is possible to prevent oxygen and water from entering through gaps between molecules constituting glass. Therefore, oxidation of the metal electrode used in the light emitting element can be suppressed, and deterioration of the light emitting element due to the growth of dark spots can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態の有機EL素子の構
造を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a structure of an organic EL device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】(A)〜(C)は、図1の有機EL素子に使用
される保護層の材料の構造を示す図である。
FIGS. 2A to 2C are diagrams showing the structure of a material of a protective layer used in the organic EL device of FIG.

【図3】図1の有機EL素子におけるダークスポットの
発生例と、その成長の抑止について説明する図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating an example of occurrence of a dark spot in the organic EL element of FIG. 1 and suppression of its growth.

【図4】本発明の第2の実施の形態の有機EL素子の構
造を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a structure of an organic EL device according to a second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第3の実施の形態の有機EL素子の構
造を示す断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a structure of an organic EL device according to a third embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第4の実施の形態の有機EL素子の構
造を示す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a structure of an organic EL device according to a fourth embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第5の実施の形態の有機EL素子の構
造を示す断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a structure of an organic EL device according to a fifth embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第6の実施の形態の有機EL素子の構
造を示す断面図である。
FIG. 8 is a sectional view showing a structure of an organic EL device according to a sixth embodiment of the present invention.

【図9】本発明の実施例1のダークスポットの面積比率
の経過時間による変化を示すグラフである。
FIG. 9 is a graph showing a change with time of the area ratio of dark spots according to the first embodiment of the present invention.

【図10】本発明の実施例1のダークスポットの最大直
径の経過時間による変化を示すグラフである。
FIG. 10 is a graph showing a change in a maximum diameter of a dark spot according to elapsed time according to the first embodiment of the present invention.

【図11】従来例の有機EL素子の構造を示す断面図で
ある。
FIG. 11 is a cross-sectional view showing the structure of a conventional organic EL element.

【図12】従来例の有機EL素子の構造を示す断面図で
ある。
FIG. 12 is a cross-sectional view illustrating a structure of a conventional organic EL element.

【図13】従来例の有機EL素子の構造を示す断面図で
ある。
FIG. 13 is a cross-sectional view illustrating a structure of a conventional organic EL element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1〜6・・・有機EL素子、10・・・基板、11・・・アノー
ド電極、12・・・有機EL層、12a・・・正孔輸送層、1
2b・・・電子輸送性発光層、13・・・カソード電極、14
・・・保護層、25・・・第2保護層、35・・・封止層、45・
・・第2基板、46・・・シー材、55・・・第2基板、56・・
・接着層、65・・・缶型基板、66・・・シール材、67・・・
オイル
1 to 6: organic EL element, 10: substrate, 11: anode electrode, 12: organic EL layer, 12a: hole transport layer, 1
2b: electron transporting light emitting layer, 13: cathode electrode, 14
... protective layer, 25 ... second protective layer, 35 ... sealing layer, 45
..Second substrate, 46... Sealing material, 55... Second substrate, 56.
・ Adhesive layer, 65 ・ ・ ・ Can type substrate, 66 ・ ・ ・ Seal material, 67 ・ ・ ・
oil

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】透明電極と、金属電極と、前記透明電極と
前記金属電極との間に介在させた発光層とを基板上に形
成した発光素子であって、 前記透明電極、前記金属電極及び前記発光層を被覆し、
かつ、単独でアモルファス構造をとることができるホス
ト材料に不純物をゲスト材料としてドープしたガラス材
料からなる保護層を備える、 ことを特徴とする発光素子。
1. A light emitting device having a transparent electrode, a metal electrode, and a light emitting layer interposed between the transparent electrode and the metal electrode formed on a substrate, wherein the transparent electrode, the metal electrode, Coating the light emitting layer,
And a protective layer made of a glass material in which an impurity is used as a guest material in a host material which can have an amorphous structure by itself.
【請求項2】前記ホスト材料は、酸素原子との単結合エ
ネルギーが370(kJ/mol)以上である原子の酸化物に
よって構成され、 前記ゲスト材料は、酸素原子との単結合エネルギーが3
70(kJ/mol)未満である原子の単体または酸化物によ
って構成される、 ことを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
2. The host material is composed of an oxide of an atom whose single bond energy with an oxygen atom is 370 (kJ / mol) or more, and the guest material has a single bond energy with an oxygen atom of 3 or more.
The light-emitting element according to claim 1, wherein the light-emitting element is constituted by a single atom or an oxide having an atom number of less than 70 (kJ / mol).
【請求項3】前記ホスト材料は、酸素原子との単結合エ
ネルギーが260(kJ/mol)以上である原子の酸化物に
よって構成され、 前記ゲスト材料は、酸素原子との単結合エネルギーが2
60(kJ/mol)未満である原子の単体または酸化物によ
って構成される、 ことを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
3. The host material is composed of an oxide of an atom having a single bond energy with an oxygen atom of 260 (kJ / mol) or more, and the guest material has a single bond energy with an oxygen atom of 2 (kJ / mol).
The light-emitting element according to claim 1, wherein the light-emitting element is constituted by a single atom or an oxide having an atom number of less than 60 (kJ / mol).
【請求項4】前記ホスト材料は、ケイ素、ホウ素、ゲル
マニウム、リン、ヒ素のうちの何れか1種類以上の酸化
物または硫化物によって構成され、 前記ゲスト材料は、アルミニウム、亜鉛、ベリリウムの
うちの何れか1種類以上の酸化物または硫化物によって
構成される、 ことを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
4. The host material is composed of an oxide or sulfide of one or more of silicon, boron, germanium, phosphorus, and arsenic, and the guest material is one of aluminum, zinc, and beryllium. The light-emitting device according to claim 1, wherein the light-emitting device is formed of any one or more kinds of oxides or sulfides.
【請求項5】前記ホスト材料は、ケイ素、ホウ素、ゲル
マニウム、リン、ヒ素のうちの何れか1種類以上の酸化
物または硫化物によって構成され、 前記ゲスト材料は、スカンジウム、ランタン、イットリ
ウム、スズ、バリウム、カルシウム、ストロンチウム、
マグネシウム、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビ
ジウム、セシウム、セリウムのうちの何れか1種類以上
の単体、酸化物または硫化物によって構成される、 ことを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
5. The host material is composed of an oxide or sulfide of at least one of silicon, boron, germanium, phosphorus, and arsenic, and the guest material is scandium, lanthanum, yttrium, tin, Barium, calcium, strontium,
The light-emitting element according to claim 1, wherein the light-emitting element is formed of any one or more of magnesium, lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, and cerium, an oxide, or a sulfide.
【請求項6】前記ホスト材料は、アルミニウム、亜鉛、
ベリリウムのうちの何れか1種類以上の酸化物または硫
化物によって構成され、 前記ゲスト材料は、スカンジウム、ランタン、イットリ
ウム、スズ、バリウム、カルシウム、ストロンチウム、
マグネシウム、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビ
ジウム、セシウム、セリウムのうちの何れか1種類以上
の酸化物または硫化物によって構成される、 ことを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
6. The host material is aluminum, zinc,
The guest material is composed of any one or more oxides or sulfides of beryllium, and the guest material is scandium, lanthanum, yttrium, tin, barium, calcium, strontium,
The light-emitting device according to claim 1, wherein the light-emitting device is formed of one or more oxides or sulfides of magnesium, lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, and cerium.
【請求項7】前記透明電極、前記発光層及び前記金属電
極は、前記透明電極、前記発光層、前記金属電極の順で
基板側から積層されて形成されており、 前記金属電極は、3000(Å)以上の層厚で形成され
ている、 ことを特徴とする請求項1乃至6に記載の発光素子。
7. The transparent electrode, the light emitting layer, and the metal electrode are formed by laminating the transparent electrode, the light emitting layer, and the metal electrode in this order from the substrate side. 7) The light emitting device according to any one of claims 1 to 6, wherein the light emitting device is formed with the above layer thickness.
【請求項8】前記発光層は、有機エレクトロルミネッセ
ンス層である、 ことを特徴とする請求項7に記載の発光素子。
8. The light emitting device according to claim 7, wherein said light emitting layer is an organic electroluminescent layer.
【請求項9】3次元綱目状構造の酸化物或いは硫化物の
分子間の隙間に、1種類以上の単体、酸化物、硫化物の
いずれかから選択される充填材が混在される、 ことを特徴とする発光素子用の保護材料。
9. A filler selected from one or more of a simple substance, an oxide, and a sulfide is mixed in a gap between molecules of an oxide or a sulfide having a three-dimensional network structure. Characteristic protective material for light-emitting elements.
【請求項10】前記3次元綱目状構造の酸化物或いは硫
化物は、ケイ素、ホウ素、ゲルマニウム、リン、ヒ素の
うちの何れか1種類以上の酸化物または硫化物であり、 前記充填材は、アルミニウム、亜鉛、ベリリウムのうち
の何れか1種類以上の酸化物または硫化物である、 ことを特徴とする請求項9に記載の発光素子用の保護材
料。
10. The oxide or sulfide of the three-dimensional network structure is an oxide or sulfide of at least one of silicon, boron, germanium, phosphorus, and arsenic, and the filler is: The protective material for a light emitting device according to claim 9, wherein the protective material is an oxide or sulfide of one or more of aluminum, zinc, and beryllium.
【請求項11】前記3次元綱目状構造の酸化物或いは硫
化物は、ケイ素、ホウ素、ゲルマニウム、リン、ヒ素の
うちの何れか1種類以上の酸化物または硫化物であり、 前記充填材は、スカンジウム、ランタン、イットリウ
ム、スズ、バリウム、カルシウム、ストロンチウム、マ
グネシウム、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジ
ウム、セシウム、セリウムのうちの何れか1種類以上の
単体、酸化物または硫化物である、 ことを特徴とする請求項9に記載の発光素子用の保護材
料。
11. The oxide or sulfide having a three-dimensional network structure is an oxide or sulfide of one or more of silicon, boron, germanium, phosphorus and arsenic, and the filler is: Scandium, lanthanum, yttrium, tin, barium, calcium, strontium, magnesium, lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, cerium, which is a simple substance, an oxide or a sulfide. The protective material for a light emitting device according to claim 9.
【請求項12】前記3次元綱目状構造の酸化物或いは硫
化物は、アルミニウム、亜鉛、ベリリウムのうちの何れ
か1種類以上の酸化物または硫化物であり、 前記充填材は、スカンジウム、ランタン、イットリウ
ム、スズ、バリウム、カルシウム、ストロンチウム、マ
グネシウム、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジ
ウム、セシウム、セリウムのうちの何れか1種類以上の
単体、酸化物または硫化物である、 ことを特徴とする請求項9に記載の発光素子用の保護材
料。
12. The oxide or sulfide of the three-dimensional network structure is an oxide or sulfide of at least one of aluminum, zinc and beryllium, and the filler is scandium, lanthanum, 10. An element or an oxide or sulfide of at least one of yttrium, tin, barium, calcium, strontium, magnesium, lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, and cerium. 3. The protective material for a light emitting device according to claim 1.
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