JPH1196587A - Light reflection unit, optical head and optical device - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical head of simple constitution capable of recording and reproducing with optical disks of both of DVD standards and CD standards. SOLUTION: The optical head 7 is constituted by using a light reflection unit 7 provided with a thin film 34 on a substrate 30 formed with rugged patterns 35 on its front surface as a rising mirror. This light reflection unit 7 is usable as a mirror finished surface as well unless a potential difference is applied on the substrate 30 and the thin film 34 and, therefore, the processing of the DVD is possible. If, on the other hand, the potential difference is applied, the pattern 35 appears and decreases the reflection area. The substantial numerical aperture of the objective lens 8 may thus be lowered by reflecting a laser beam with the area suitable for the processing of the CD. Since the optical head 10 of this example does not require the increase of the optical element from the optical head to be exclusively used for the CD or DVD and, therefore, the constitution thereof is sampled and the energy attenuation of the laser beam may be prevented.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、反射面積を変えら
れる能動型の光学素子として利用できる光反射ユニット
およびそれを用いて,デジタルビデオディスク（ＤＶ
Ｄ）やコンパクトディスク（ＣＤ）などの種類（規格）
の異なる光記録メディアに対して、記録あるいは再生な
どの処理を行える光ヘッドおよび光ディスク装置に関す
るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light reflection unit which can be used as an active optical element whose reflection area can be changed, and a digital video disk (DV) using the same.
Type (standard) such as D) and compact disc (CD)
The present invention relates to an optical head and an optical disk device capable of performing processing such as recording or reproduction with respect to different optical recording media.

【０００２】[0002]

【従来の技術】現在、光記録媒体として用いられる光デ
ィスクは複数の規格のものが混在しつつある。例えば従
来の記録密度のそれほど高くないＣＤ規格の光ディスク
は、ディスクの基板厚みが１．２ｍｍで、情報を記録す
るためのトラックピッチが１．６μｍであり、このＣＤ
を再生するために波長が０．７８μｍのレーザ光が採用
されている。そして、ＣＤ規格の光ディスク（ＣＤ）を
再生または記録するための光ヘッドとしては、上記の波
長を出射する半導体レーザと、開口数（ＮＡ）が０．４
５程度の対物レンズを備えたものが用いられている。2. Description of the Related Art At present, an optical disk used as an optical recording medium is mixed with a plurality of standards. For example, a conventional optical disc of the CD standard having a not so high recording density has a disc substrate thickness of 1.2 mm, a track pitch for recording information of 1.6 μm, and
Laser light having a wavelength of 0.78 μm is employed to reproduce the data. As an optical head for reproducing or recording an optical disk (CD) conforming to the CD standard, a semiconductor laser emitting the above wavelength and a numerical aperture (NA) of 0.4 are used.
A lens having about five objective lenses is used.

【０００３】最近、ＣＤ規格に対し記録密度を高めたＤ
ＶＤ規格の光ディスクが市販されており、基板厚みが
０．６ｍｍ程度と薄く、トラックピッチ０．７４μｍと
狭くなり、さらに、記録または再生のために波長が０．
６５μｍのレーザ光が採用されている。記録密度の高い
ＤＶＤが記録メディアとして用いられている。このよう
な高記録密度の光ディスクに適した小径のスポットを形
成するにはレーザ光の波長を短くするとともにＮＡを大
きくすることが望ましいが、ＮＡを大きくするとコマ収
差（ディスクの傾きに対する許容値）とともにディスク
の厚みむらに対する許容値がそれぞれ３乗および４乗に
逆比例して現象する。そこで、ＤＶＤにおいては、光デ
ィスクの厚みを削減し、光ヘッドとして波長が０．６５
μｍのレーザ光を出射する半導体レーザと、開口数（Ｎ
Ａ）が０．６程度とほぼ限界に近い対物レンズを用いる
ことによって記録あるいは再生が可能なようにしてい
る。Recently, the recording density has been increased with respect to the CD standard.
An optical disk of the VD standard is commercially available, the substrate thickness is as thin as about 0.6 mm, the track pitch is as narrow as 0.74 μm, and the wavelength is 0.2 mm for recording or reproduction.
A 65 μm laser beam is employed. DVDs with a high recording density are used as recording media. In order to form a small-diameter spot suitable for such a high-recording-density optical disk, it is desirable to shorten the wavelength of the laser beam and increase the NA, but when the NA is increased, coma aberration (allowable value for the inclination of the disk) At the same time, the allowable value for the disc thickness unevenness is inversely proportional to the third power and the fourth power, respectively. Therefore, in the DVD, the thickness of the optical disc is reduced, and the wavelength of the optical head is set to 0.65.
a semiconductor laser that emits a laser beam of μm, and a numerical aperture (N
Recording or reproduction is enabled by using an objective lens whose A) is almost the limit of about 0.6.

【０００４】現在、このような複数の規格の異なる光デ
ィスクが混在しつつあり、将来的には記録密度の高いＤ
ＶＤに移行するとしても当面は従来の資産であるＣＤも
利用できることが望ましい。しかしながら、上記のよう
に規格の異なる光ディスクを再生しようとすると、たと
えば、ＤＶＤ用の開口数０．６の対物レンズを用いてＣ
Ｄを再生するとコマ収差が著しくなり、信号再生が不可
能になる。このため、ＤＶＤ用の波長のレーザ光を用
い、ＣＤを再生するときは、対物レンズのＮＡをＤＶＤ
用の０．６からＣＤ用に減じた、たとえば０．３５程度
まで削減できるようにした光ヘッドが開発されている。At present, such optical discs having different standards are being mixed, and in the future, D disks having a high recording density will be used.
Even if moving to VD, for the time being, it is desirable that CD, which is a conventional asset, can be used. However, when trying to reproduce an optical disc having a different standard as described above, for example, using an objective lens having a numerical aperture of 0.6 for a DVD, C
When D is reproduced, coma aberration becomes remarkable, and signal reproduction becomes impossible. For this reason, when reproducing a CD using laser light having a wavelength for DVD, the NA of the objective lens is set to DVD.
Optical heads have been developed which can be reduced from 0.6 for CDs to about 0.35 for CDs.

【０００５】このため、特開平８−３３５３３０では、
ＣＤを再生するときには、環状フィルタを挿入すること
により、開口数を制御する技術が開示されており、ま
た、特開平９−５０６４７では、環状フィルターの代わ
りに偏光フィルターを挿入するといった方法で開口数の
調整を行うことが開示されている。このような技術を用
いて、ＣＤとＤＶＤに対して共に利用できる光ヘッドが
実現できるが、発光源であるレーザダイオードと対物レ
ンズとの光路に環状フィルターあるいは、偏光フィルタ
ーを機械的に挿入して開口数を制御しているので、これ
らの光学部品を機械的に動かす機構が必要となり、構成
の複雑化およびコスト高になるといった問題がある。さ
らに各光学部品を交換する際に生じる微少な傾きなどに
より収差が増大しやすいので、光ディスク上に形成され
る光スポット品質の低下、あるいは、フォーカス制御の
動作点ずれといった問題が生じることが多い。For this reason, Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-335330 discloses that
A technique for controlling the numerical aperture by inserting a circular filter when reproducing a CD is disclosed. Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-50647 discloses a numerical aperture by inserting a polarizing filter instead of a circular filter. It is disclosed to make adjustments. Using such a technique, an optical head that can be used for both CD and DVD can be realized, but an annular filter or a polarizing filter is mechanically inserted into the optical path between the laser diode, which is the light emitting source, and the objective lens. Since the numerical aperture is controlled, a mechanism for mechanically moving these optical components is required, and there is a problem that the configuration becomes complicated and the cost increases. Further, since aberrations are likely to increase due to a slight inclination or the like that occurs when each optical component is replaced, problems such as a decrease in the quality of a light spot formed on an optical disk or a shift in an operating point of focus control often occur.

【０００６】そこで、特開平９−１６１３０６あるいは
特開平９−１６１３０７では、液晶施光子と偏光ホログ
ラムという光学素子を用いて偏光方向切換えることによ
り機械的な機構を用いずに、開口数の調整を行なう技術
が開示されている。Therefore, in JP-A-9-161306 or JP-A-9-161307, the numerical aperture is adjusted without using a mechanical mechanism by switching the polarization direction using an optical element such as a liquid crystal photon and a polarization hologram. Techniques are disclosed.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
９−１６１３０６あるいは、特開平９−１６１３０７で
開示された技術では、開口数を制御するために光学素子
が追加されるので、光ヘッドを構成する部品が増えると
ともに光学系が複雑になり、光ヘッドが大型化するとと
もにコストも高くなる。さらに、発光源のレーザダイオ
ードから対物レンズまでの光路中に、液晶旋光素子およ
び偏光ホログラムといった光学素子を追加されるので、
これらの光学素子による減衰に起因して光ディスクに照
射されるレーザ光の強度が減じる。このような光強度の
減衰は、再生のみを行う従来の光記録装置においてはそ
れほど問題にならないが、今後、一般化すると考えられ
る書き換え型、あるいは追記型の光記録装置においては
書き込み用のレーザ光の強度が減じられることになり書
き込みエラーの要因になる。However, in the technology disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 9-161306 or Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-161307, an optical element is added to control the numerical aperture, so that an optical head is constructed. As the number of components increases, the optical system becomes complicated, the optical head becomes larger, and the cost increases. Furthermore, since an optical element such as a liquid crystal rotation element and a polarization hologram is added in the optical path from the laser diode of the light emission source to the objective lens,
Due to the attenuation by these optical elements, the intensity of the laser light applied to the optical disk decreases. Such a decrease in light intensity is not so problematic in a conventional optical recording apparatus that performs only reproduction, but in a rewritable or write-once optical recording apparatus that is expected to be generalized in the future, a writing laser beam is used. Is reduced, which causes a writing error.

【０００８】これらの技術に加えて、透過型ホログラム
を用いた光ヘッドによって、厚みの異なるＤＶＤおよび
ＣＤに合致した位置に２つの焦点を常に形成し、ＤＶＤ
およびＣＤを再生するという技術も開発されている。し
かしながら、この技術を用いた光ヘッドでは、光ディス
クに照射可能なレーザ光の強度がレーザダイオードから
出射されるレーザ光の強度の常に１／２あるいはそれ以
下になる。このため、上記の光ヘッドと同様に光ディス
クに照射されるレーザ光の強度が低下するので、記録さ
れたデータを読み出す際にＳ／Ｎ比が低下して読み出し
エラーの発生率が高くなる、あるいは、書き込み可能な
光ディスク媒体であるＤＶＤ−ＲやＣＤ−Ｒヘデータを
書き込む際に書き込みエラーが増加するなどの問題が発
生しやすい。このように、今後、一般に使用されると考
えられるＤＶＤ−ＲやＣＤ−Ｒなどの記録可能な光ディ
スクに対応した光ヘッドおよび光ディスク装置を実現す
るには、焦点を分割したり、光ヘッド内の光学部品を増
やすことなくＤＶＤおよびＣＤに十分な程度の集光でき
る光学系を用いた光ヘッドを実現することが重要であ
る。In addition to these techniques, an optical head using a transmission hologram always forms two focal points at positions matching DVDs and CDs having different thicknesses.
Also, a technology for reproducing CDs has been developed. However, in an optical head using this technique, the intensity of laser light that can be applied to an optical disk is always １ ／ or less than the intensity of laser light emitted from a laser diode. For this reason, the intensity of the laser beam applied to the optical disk decreases as in the case of the above-described optical head, so that when reading recorded data, the S / N ratio decreases and the rate of occurrence of read errors increases, or In addition, when writing data to a writable optical disk medium such as a DVD-R or a CD-R, a problem such as an increase in write errors is likely to occur. As described above, in order to realize an optical head and an optical disk apparatus compatible with recordable optical disks such as DVD-R and CD-R which are generally considered to be used in the future, it is necessary to divide the focal point or to set the optical head in the optical head. It is important to realize an optical head using an optical system capable of condensing light to a sufficient degree on DVDs and CDs without increasing the number of optical components.

【０００９】そこで、本発明においては、ＤＶＤあるい
はＣＤ専用の光ヘッドと比較して光学部品を追加するこ
となくＤＶＤおよびＣＤのいずれにも記録および再生可
能な光ヘッド、およびこの光ヘッドに適した光反射ユニ
ット、さらに、本発明の光ヘッドを用いてＤＶＤおよび
ＣＤを記録あるいは再生可能な光ディスク装置を提供す
ることを目的としている。このため、本発明において
は、光学素子を追加したり、レーザ光を分割することな
くＤＶＤとＣＤに集光できる光ヘッドおよび光ディスク
装置を提供することを目的としている。また、ＤＶＤお
よびＣＤのいずれも記録あるいは再生可能で、さらに、
簡易な構成の光ヘッドを実現することにより、軽量で、
フォーカス制御やトラッキングが容易であり、さらに、
低コストで供給可能な光ヘッドおよび光ディスク装置を
提供することを目的としている。さらには、ＤＶＤある
いはＣＤに対し波面収差の補正も可能で、ＤＶＤおよび
ＣＤでの高精度な読み取り性能を持ち、書き込み処理に
十分な強度のレーザ光を照射可能な光反射ユニット、光
ヘッドおよび光ディスク装置を提供することを目的とし
ている。Therefore, in the present invention, an optical head capable of recording and reproducing data on and from both DVDs and CDs without adding an optical component as compared with an optical head dedicated to DVDs or CDs, and an optical head suitable for this optical head. It is an object of the present invention to provide an optical disc device capable of recording or reproducing DVDs and CDs using the light reflection unit and the optical head of the present invention. Therefore, it is an object of the present invention to provide an optical head and an optical disk device that can focus light onto DVDs and CDs without adding an optical element or dividing laser light. In addition, both DVD and CD can be recorded or reproduced.
By realizing an optical head with a simple configuration, it is lightweight,
Focus control and tracking are easy, and
An object is to provide an optical head and an optical disk device that can be supplied at low cost. Furthermore, a light reflection unit, an optical head and an optical disk capable of correcting wavefront aberration for DVDs and CDs, having high-precision reading performance for DVDs and CDs, and capable of irradiating laser light of sufficient intensity for writing processing It is intended to provide a device.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】このため、本発明におい
ては、レーザダイオードから出射されたレーザ光を対物
レンズなどの集光システムの反射する際に反射面積を静
電力（電位差）によって能動的に集光システムの実効的
な開口数（ＮＡ）を制御可能な光反射ユニットを実現
し、この光反射ユニットを用いて開口数を電気的に制御
可能な光ヘッドおよび光ディスク装置を提供するように
している。すなわち、本発明の光反射ユニットは、表面
にほぼ円形または楕円形の第１の領域と、この第１の領
域の周囲に位置するの第２の領域とを備え、少なくとも
第２の領域に複数の凸部および凹部が形成された基板
と、これらの第１および第２の領域を少なくとも覆うよ
うに基板の表面に設けた光反射性の薄膜とを有し、基板
および薄膜の間に静電力が発生するような電位差を設定
すると複数の凸部および凹部に従って薄膜が変形するこ
とを特徴としている。Therefore, according to the present invention, when a laser beam emitted from a laser diode is reflected by a condensing system such as an objective lens, the reflection area is actively controlled by electrostatic force (potential difference). A light reflecting unit capable of controlling an effective numerical aperture (NA) of a light-collecting system is provided, and an optical head and an optical disk device capable of electrically controlling the numerical aperture using the light reflecting unit are provided. I have. That is, the light reflecting unit of the present invention includes a substantially circular or elliptical first region on the surface and a second region located around the first region, and at least the second region And a light-reflective thin film provided on the surface of the substrate so as to cover at least the first and second regions, and an electrostatic force is applied between the substrate and the thin film. When a potential difference is set so as to cause the above, the thin film is deformed in accordance with the plurality of convex portions and concave portions.

【００１１】この本発明の光反射ユニットにおいては、
基板と薄膜の間に電位差を与えずに静電力が発生しない
ようにしているときは、第１の領域および第２の領域を
覆う薄膜の表面は平面となり、第１および第２の領域全
体を平面的な鏡面として利用できる。一方、電位差を与
えて薄膜と基板との間に静電力を発生させると薄膜が基
板に密着して第２の領域に形成された凹凸が現れ、第２
の領域では光が散乱され、鏡面として利用できる面積が
第１の領域に限定されることになる。このように、本発
明の光反射ユニットにおいては、静電力を付与するか否
かで反射面積を自由に調整することが可能となる。In the light reflecting unit of the present invention,
When an electrostatic force is not generated without applying a potential difference between the substrate and the thin film, the surface of the thin film covering the first region and the second region is flat, and the entire first and second regions are formed. It can be used as a flat mirror surface. On the other hand, when a potential difference is applied to generate an electrostatic force between the thin film and the substrate, the thin film adheres to the substrate, so that irregularities formed in the second region appear,
In the region, light is scattered, and the area available as a mirror surface is limited to the first region. Thus, in the light reflection unit of the present invention, the reflection area can be freely adjusted depending on whether or not an electrostatic force is applied.

【００１２】したがって、レーザダイオードと、このレ
ーザダイオードから出射されたレーザ光を光ディスクに
集光する集光システムと、光ディスクから反射された反
射光を受光する受光部と、レーザダイオードから出射さ
れたレーザ光を、集光システムに導く光反射ユニットと
を有する光ヘッドにおいて、光反射ユニットに本発明の
光反射ユニットを用いると、電気的に光反射ユニットの
反射面積を制御して集光システムを通過するレーザ光束
の断面積を制御することが可能となる。このため、本発
明の光反射ユニットを用いて集光システムの実質的な開
口数を制御することができる。したがって、ＤＶＤ用に
レーザ光の波長および集光システムの開口数を設定され
ている本発明の光ヘッドにおいては、光反射ユニットに
電位差を与えない状態ではＤＶＤの記録再生に適した状
態のレーザ光を出射でき、一方、光反射ユニットに電位
差を与えることにより集光システムの開口数が実質的に
ＣＤの記録再生に適した値に減じた状態のレーザ光を出
射することができる。Therefore, a laser diode, a condensing system for condensing laser light emitted from the laser diode on an optical disk, a light receiving section for receiving light reflected from the optical disk, and a laser emitted from the laser diode In an optical head having a light reflection unit that guides light to a light collection system, when the light reflection unit of the present invention is used as the light reflection unit, the light reflection unit of the light reflection unit is electrically controlled to pass through the light collection system. It is possible to control the cross-sectional area of the laser beam to be emitted. For this reason, it is possible to control the substantial numerical aperture of the light collecting system by using the light reflecting unit of the present invention. Therefore, in the optical head of the present invention in which the wavelength of the laser beam and the numerical aperture of the light condensing system are set for the DVD, the laser beam in a state suitable for recording and reproduction of the DVD when no potential difference is applied to the light reflection unit. On the other hand, by giving a potential difference to the light reflection unit, it is possible to emit laser light in a state where the numerical aperture of the light-collecting system is substantially reduced to a value suitable for recording and reproduction of CD.

【００１３】また、本発明の光ヘッドにおいては、レー
ザダイオードから出射されたレーザ光を集光システムに
反射する光反射ユニットそれ自体で開口数を制御できる
ようにしている。したがって、ＣＤあるいはＤＶＤ専用
の光ヘッドと比較して光学素子を増やすことなく、ま
た、基本的な構成を変えることなく、本発明の光ヘッド
はＣＤおよびＤＶＤのいずれに対しても処理が可能にな
っている。このため、新たな光学素子によるレーザ光の
減衰がなく、また、照射される過程において光束が分割
されることもないので、ＣＤおよびＤＶＤに対してエネ
ルギーの高いレーザ光を照射することが可能であり、読
み取りエラーはもちろん、特に、書き込みエラーが発生
する要因の少ない、読み書き両用に優れた性能を備えた
光ヘッドを提供することができる。さらに、ＣＤおよび
ＤＶＤ兼用となっても部品点数が増加せず、また、簡易
な構成を維持できるので、小型軽量で位置制御もしやす
く、さらに、低コストで提供可能なＣＤおよびＤＶＤ兼
用の光ヘッドを実現することができる。そして、本発明
の光ヘッドを有することを特徴とする光ディスク装置に
よって、ＤＶＤとＣＤを再生および記録再生できる小型
軽量かつ低コストの光ディスク装置を提供できる。Further, in the optical head according to the present invention, the numerical aperture can be controlled by the light reflecting unit itself for reflecting the laser light emitted from the laser diode to the light collecting system. Therefore, the optical head of the present invention can process both CDs and DVDs without increasing the number of optical elements and changing the basic configuration as compared with an optical head dedicated to CD or DVD. Has become. For this reason, the laser beam is not attenuated by the new optical element, and the light beam is not divided in the irradiation process, so that the CD and DVD can be irradiated with high-energy laser light. In addition, it is possible to provide an optical head having excellent performance for both reading and writing, in which factors causing a writing error as well as a reading error are particularly small. Furthermore, since the number of components does not increase even if the optical disk is used for both CD and DVD, and a simple configuration can be maintained, the optical head for dual use of CD and DVD can be provided at a low cost because it is small and light, easy to control the position. Can be realized. Further, with the optical disk device having the optical head of the present invention, a compact, lightweight and low-cost optical disk device capable of reproducing and recording / reproducing DVDs and CDs can be provided.

【００１４】さらに本発明の光反射ユニットは、第２の
領域の凸部および凹部は、第１の方向、すなわち、レー
ザダイオードの側から入射されたレーザ光に対応した特
性の波長の光が第２の方向、すなわち、集光システムの
側に反射される強度を減じるようにパターニングするこ
とが可能であり、第２の領域から集光システムに反射さ
れる強度をほぼ０にすることが可能である。また、光反
射ユニットは、第１の領域にも複数の凸部および凹部を
形成することが可能であり、これら第１の領域に形成さ
れた凸部および凹部は、第１の方向から、すなわち、レ
ーザダイオードの側から入射されたレーザ光に対応する
特定の波長の光が第２の方向、すなわち、集光システム
の側に反射される波面を集散可能なようにパターニング
することも可能である。このように、本発明の光反射ユ
ニットは、静電力を与えたときの薄膜の形状に波面を変
換可能なホログラムとしての機能を付与することも可能
であり、第１の領域に単純な反射ではなくＣＤに照射さ
れるレーザ光の波面を調整して球面収差が少なくなるよ
うな補正機能を与えることが可能である。Further, in the light reflecting unit of the present invention, the projections and recesses of the second region have light in a first direction, that is, light having a wavelength corresponding to the laser light incident from the laser diode side. It can be patterned to reduce the intensity reflected in two directions, i.e., the side of the collection system, and the intensity reflected from the second region to the collection system can be nearly zero. is there. Further, the light reflection unit can form a plurality of convex portions and concave portions also in the first region, and the convex portions and concave portions formed in the first region can be formed from the first direction, that is, It is also possible to pattern so that light of a specific wavelength corresponding to the laser light incident from the side of the laser diode can be dispersed in the second direction, that is, the wavefront reflected on the side of the light collection system. . As described above, the light reflection unit of the present invention can also provide a function as a hologram that can convert a wavefront to a shape of a thin film when an electrostatic force is applied. Instead, it is possible to adjust the wavefront of the laser beam irradiated on the CD to provide a correction function that reduces spherical aberration.

【００１５】[0015]

【発明の実施の形態】以下に図面を参照して本発明の実
施の形態を示し、本発明につきさらに説明する。図１
に、本発明にかかる光ヘッド１０を用いた光ディスク装
置５１の概略構成を示してある。本例の光ディスク装置
５１は、ＣＤ用光ディスク９ａおよびＤＶＤ用光ディス
ク９ｂの両方の光ディスク９を設定することができよう
になっている。このため、本例の光ディスク装置５１
は、これらの光ディスク、すなわち、ＤＶＤ９ｂおよび
ＣＤ９ａに対しレーザ光を照射して適当なスポットを形
成可能な光ヘッド１０と、この光ヘッド１０の受光部か
ら得られた信号からフォーカスエラー信号およびトラッ
キングエラー信号などのサーボ系の信号を生成し、さら
に、光ディスクに記録されているデータを再生するため
の再生信号を生成する機能などを備えたアンプ５２と、
サーボ系の信号に基づき光ヘッド１０のアクチュエータ
６と協動してフォーカシングおよびトラッキングを行う
サーボ制御回路５３と、このサーボ制御回路５３によっ
て制御されるアクチュエータ５４を備えている。また、
アンプ５２から得られた再生信号をデジタルフィルタな
どの機能を用いて外部のコンピュータなど提供可能なデ
ータとして出力する処理回路５６も備えている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings, and the present invention will be further described. FIG.
FIG. 1 shows a schematic configuration of an optical disk device 51 using the optical head 10 according to the present invention. The optical disk device 51 of the present example can set both the optical disks 9 for the CD optical disk 9a and the DVD optical disk 9b. For this reason, the optical disk device 51 of the present example
Is an optical head 10 capable of forming an appropriate spot by irradiating a laser beam to these optical disks, that is, DVD 9b and CD 9a, and a focus error signal and a tracking error signal from a signal obtained from a light receiving section of the optical head 10. An amplifier 52 having a function of generating a signal of a servo system such as a signal and a function of generating a reproduced signal for reproducing data recorded on an optical disc;
A servo control circuit 53 that performs focusing and tracking in cooperation with the actuator 6 of the optical head 10 based on a servo system signal, and an actuator 54 controlled by the servo control circuit 53 are provided. Also,
There is also provided a processing circuit 56 that outputs the reproduction signal obtained from the amplifier 52 as data that can be provided by an external computer using a function such as a digital filter.

【００１６】図２に、本例の光ヘッド１０の構成を示し
てある。本例の光ヘッド１０は、レーザ光の出射源であ
る半導体レーザ(レーザダイオード)１と、このレーザダ
イオード１から出射された図面上の実線で示すレーザ光
束４ａを平行な光束４ｂに変換するコリメターレンズ３
と、その光束４ｂを集光システムである対物レンズ８の
方向に直角に反射する光反射ユニット７とを備えてお
り、これらがケース６０に収納され、アクチュエータ６
によって一体となって動くようになっている。そして、
レーザダイオード１から出射されたレーザ光は、光反射
ユニット７により実線で示すＤＶＤ用の光束４ｄまたは
破線で示すＣＤ用の光束４ｃが形成されて対物レンズ８
を通り光ディスク９の記録面に集光するようになってい
る。FIG. 2 shows the configuration of the optical head 10 of this embodiment. The optical head 10 of the present embodiment includes a semiconductor laser (laser diode) 1 which is a laser beam emission source, and a collimator for converting a laser beam 4a shown by a solid line on the drawing and emitted from the laser diode 1 into a parallel beam 4b. Tar lens 3
And a light reflecting unit 7 for reflecting the light beam 4b at right angles to the direction of the objective lens 8 which is a light condensing system.
Is to move together. And
The laser beam emitted from the laser diode 1 forms a DVD light beam 4d indicated by a solid line or a CD light beam 4c indicated by a broken line by a light reflection unit 7 and an objective lens 8
And condenses on the recording surface of the optical disc 9.

【００１７】また、本例の光ヘッド１０は、光ディスク
９によって反射された反射光が出射光線と同様に対物レ
ンズ８および光反射ユニット７を通ってケース６の内部
に導入され、破線の光束４ｅで示すように回析格子５に
よって適当な非点収差を発生するようにレーザダイオー
ド１の外側に設置された受光部２に集光される。In the optical head 10 of this embodiment, the light reflected by the optical disk 9 is introduced into the case 6 through the objective lens 8 and the light reflecting unit 7 in the same manner as the emitted light, and the light flux 4e indicated by a broken line is obtained. As shown by (5), the light is condensed on the light receiving section 2 installed outside the laser diode 1 so as to generate appropriate astigmatism by the diffraction grating 5.

【００１８】本例の光ヘッド１０は、現在市販されてい
るＣＤ規格の光ディスク（ディスク厚みが１．２ｍｍ、
トラックピッチが１．６μｍ）９ａの再生ができると共
に、光記録密度のＤＶＤ規格の光ディスク（ディスク厚
みが０．６ｍｍ、トラックピッチが０．７４μｍ）９ｂ
に再生あるいは記録再生ができるようになっており、こ
のため、反射面積を変更可能な本発明にかかる素子を光
反射ユニット７に採用している。そして、反射面積を制
御することにより、ＤＶＤ用の光束４ｄに対し、断面積
の狭いＣＤ用の光束４ｃを対物レンズ８の側に反射して
実質的な開口数（ＮＡ）を制御し、それぞれの規格の光
ディスクに対し記録および再生に適した光スポットを形
成できるようにしている。また、後述するように、本例
の光反射ユニット７は、開口数を変えるとともにＣＤ用
の光束４ｃの波面を広げて球面収差を補正することもで
きるようになっている。The optical head 10 of this embodiment is a currently available CD-standard optical disk (with a disk thickness of 1.2 mm,
9b capable of reproducing 9a with a track pitch of 1.6 μm and an optical recording density DVD standard (disc thickness of 0.6 mm, track pitch of 0.74 μm) 9b
Therefore, the element according to the present invention capable of changing the reflection area is employed in the light reflection unit 7. By controlling the reflection area, the light flux 4c for CD having a small cross-sectional area is reflected toward the objective lens 8 with respect to the light flux 4d for DVD, thereby controlling the substantial numerical aperture (NA). It is possible to form an optical spot suitable for recording and reproduction on an optical disk of the standard. As will be described later, the light reflection unit 7 of the present example can correct the spherical aberration by changing the numerical aperture and expanding the wavefront of the light beam 4c for CD.

【００１９】図３に、本例の光反射ユニット７の詳しい
構成を、平面図（図３（ａ））および断面図（図３
（ｂ））を用いて示してある。本例の光反射ユニット７
は、断面図（図３（ｂ））に示すように、ガラス製また
はシリコン製の基板３０の表面３０ａに薄膜３４を設け
た全体として２層構造である。さらに、図４に示すよう
に薄膜３４も、シリコンにボロンドープした適当な強度
と電気伝導度を備えた第１の薄膜３２に、鏡面として十
分な反射性能を備えたクロムおよび金から成る第２の薄
膜３３を設けた構造となっている。基板３０の表面３０
ａには、レーザ波長のほぼ１／４程度の微少な深さの複
数の凹凸（ランド３５ｂおよびグルーブ３５ａ）が繰り
返されたパターン３５が形成されており、グルーブ３５
ａの部分には電極３１が設置されている。いる。この基
板３０の表面３０ａに形成されたパターン３５は、レー
ザ光が入射または反射される４５度方向から見るとほぼ
円形または楕円形に見える楕円状になっており、同心円
中央部の第１の領域（フレネルレンズ領域）２２と、こ
の領域の周囲に形成された第２の領域（散乱領域）２３
でランド３５ｂおよびグルーブ３５ａのピッチや幅が異
なる２つの光学的な性能の異なったパターンが形成され
ている。そして、薄膜３４は、このような２つのパター
ン２２および２３の両方をカバーするように基板３０の
表面３０ａに積層されている。FIG. 3 is a plan view (FIG. 3A) and a sectional view (FIG. 3A) showing the detailed configuration of the light reflecting unit 7 of this embodiment.
(B)). Light reflection unit 7 of this example
As shown in the cross-sectional view (FIG. 3B), has a two-layer structure in which a thin film 34 is provided on a surface 30a of a glass or silicon substrate 30. Further, as shown in FIG. 4, the thin film 34 is also formed by adding a second thin film 32 made of chromium and gold having sufficient reflection performance as a mirror surface to the first thin film 32 having appropriate strength and electric conductivity obtained by doping boron into silicon. It has a structure in which a thin film 33 is provided. Surface 30 of substrate 30
On a, a pattern 35 in which a plurality of irregularities (lands 35b and grooves 35a) having a minute depth of about 1/4 of the laser wavelength are repeated is formed.
An electrode 31 is provided in the portion a. I have. The pattern 35 formed on the surface 30a of the substrate 30 has an elliptical shape that looks almost circular or elliptical when viewed from the 45-degree direction where the laser light is incident or reflected, and a first region at the center of the concentric circle. (Fresnel lens area) 22 and second area (scattering area) 23 formed around this area
Thus, two patterns having different optical performances with different pitches and widths of the land 35b and the groove 35a are formed. The thin film 34 is laminated on the surface 30a of the substrate 30 so as to cover both of the two patterns 22 and 23.

【００２０】このような本例の光反射ユニット７におい
ては、グルーブ３５ａ内の電極３１および薄膜３４を同
電位に保持すると薄膜３４は平面状態となり、その表面
側の第２の薄膜３３によって反射率の高い鏡面が形成さ
れる。一方、電極３１および薄膜３４に極性の異なる電
位を付加すると静電力によって薄膜３４が基板３０の表
面３０ａに密着してパターン３５が現れ、電位を付与し
ていないときと異なった光学的な性能を備えた面が形成
される。したがって、電位差を設定することで反射面積
などの光学的な特性を能動的に変えることができる光学
素子を提供することができる。In the light reflecting unit 7 of this embodiment, when the electrode 31 and the thin film 34 in the groove 35a are kept at the same potential, the thin film 34 is in a planar state, and the reflectance is changed by the second thin film 33 on the surface side. Mirror surface is formed. On the other hand, when potentials having different polarities are applied to the electrode 31 and the thin film 34, the thin film 34 comes into close contact with the surface 30 a of the substrate 30 due to electrostatic force, and a pattern 35 appears, and the optical performance differs from that when no potential is applied. A provided surface is formed. Therefore, it is possible to provide an optical element capable of actively changing optical characteristics such as a reflection area by setting a potential difference.

【００２１】図４に、散乱領域２３を例として、本例の
光反射ユニット７の光学的性能が変化する様子を説明す
る。図４（ａ）に電極３１と薄膜３４を同電位にしたと
きの状態を拡大して示してある。本図からわかるよう
に、薄膜３４は基板表面のパターン３５に影響されずに
平面的に延びており、その表面側の第２の薄膜３３によ
ってレーザ光３６はほぼ一様に反射される。これに対
し、電極３１と薄膜３４に電位差を与えると、静電力に
よって図４（ｂ）に示すように薄膜３４がグルーブ３５
ａの電極３１に密着（吸着）し、その結果、パターン３
５が現れる。散乱領域２３では、薄膜３４が電極３１に
密着すると、ランド３５ｂの部分とグルーブ３５ａの部
分とで４５度方向から入射されるレーザ光３６に対して
半波長（λ／２）の光路差が生ずるようにパターニング
されており、この結果、４５度方向から入射されたレー
ザ光が鏡面から反射される方向の光強度がほぼ０となる
ようになっている。すなわち、本例の光反射ユニット７
を用いた光ヘッド１０においては、散乱領域２３では、
電極３１および薄膜３４が同電位に保持されるとほぼす
べてのレーザ光が対物レンズ８に向かって反射されるの
に対し、電極３１および薄膜３４に電位差が与えられて
静電力が発生すると対物レンズ８の方向に反射されるレ
ーザ光の強度はほぼ０になる。FIG. 4 illustrates how the optical performance of the light reflection unit 7 of this embodiment changes, taking the scattering region 23 as an example. FIG. 4A shows an enlarged view when the electrode 31 and the thin film 34 have the same potential. As can be seen from the figure, the thin film 34 extends in a plane without being affected by the pattern 35 on the substrate surface, and the laser light 36 is almost uniformly reflected by the second thin film 33 on the surface side. On the other hand, when a potential difference is applied between the electrode 31 and the thin film 34, the thin film 34 is moved by the electrostatic force, as shown in FIG.
a (adhesion) to the electrode 31 of FIG.
5 appears. In the scattering region 23, when the thin film 34 is in close contact with the electrode 31, an optical path difference of a half wavelength (λ / 2) is generated between the land 35 b and the groove 35 a with respect to the laser light 36 incident from a 45-degree direction. As a result, the light intensity in the direction in which the laser light incident from the 45-degree direction is reflected from the mirror surface becomes substantially zero. That is, the light reflection unit 7 of this example
In the optical head 10 using
When the electrode 31 and the thin film 34 are held at the same potential, almost all the laser light is reflected toward the objective lens 8, whereas when a potential difference is given to the electrode 31 and the thin film 34 to generate an electrostatic force, the objective lens The intensity of the laser light reflected in the direction 8 becomes almost zero.

【００２２】散乱領域２３の内側に位置するフレネルレ
ンズ領域２２においても薄膜３４は上記と同様に動作す
る。この結果、フレネルレンズ領域２２は電極３１およ
び薄膜３４が同電位に保持されると鏡面として機能して
レーザ光をほぼ減衰なしに対物レンズ８の方向に反射す
る。これに対し、電極３１と薄膜３４の間に電位差が設
定されて静電力が働くとパターンが現れてレーザ光が散
乱されるが、フレネルレンズ領域２２のパターンは波面
が若干広がるようにパターニングされているのでレーザ
光の減衰はほとんどなく、ＣＤに照射されたときに球面
収差を改善する程度の光束が得られることになる。In the Fresnel lens region 22 located inside the scattering region 23, the thin film 34 operates in the same manner as described above. As a result, the Fresnel lens region 22 functions as a mirror surface when the electrode 31 and the thin film 34 are maintained at the same potential, and reflects the laser light toward the objective lens 8 with almost no attenuation. On the other hand, when a potential difference is set between the electrode 31 and the thin film 34 and an electrostatic force acts, a pattern appears and the laser light is scattered. However, the pattern of the Fresnel lens region 22 is patterned so that the wavefront slightly widens. Therefore, the laser beam is hardly attenuated, and a light beam that improves spherical aberration when irradiated onto a CD can be obtained.

【００２３】図５に本例の光反射ユニット７の基板３０
をガラス基板あるいはシリコン基板などを用いて実現し
た例を示してある。本例の基板３０は全体が正方形とな
っており、その中央部にパターン３５が形成され、パタ
ーン３５のグルーブ３５ａに電極３１が配置されてい
る。一方、パターン３５を形成するランド３５ｂは、そ
の一部３５ｃが切りかかれており、この切り欠きの部分
３５ｃにグルーブ３５ａ内の電極３１に電位を付与する
ための電力供給用の電線３９が配置されている。この電
線３９はさらに基板３０の隅に設けられた接続用の電極
３９ａにつながっており、この電極３９ａと薄膜３４の
一部に電力を供給することによって光反射ユニット７の
光学的な機能を自由に制御することができる。FIG. 5 shows the substrate 30 of the light reflection unit 7 of this embodiment.
Is realized using a glass substrate or a silicon substrate. The substrate 30 of the present example has a square shape as a whole, a pattern 35 is formed in the center thereof, and the electrode 31 is arranged in a groove 35 a of the pattern 35. On the other hand, a portion 35c of the land 35b forming the pattern 35 is cut out, and a power supply wire 39 for applying a potential to the electrode 31 in the groove 35a is arranged in the cutout portion 35c. ing. The electric wire 39 is further connected to a connection electrode 39a provided at a corner of the substrate 30. By supplying power to the electrode 39a and a part of the thin film 34, the optical function of the light reflection unit 7 can be freely controlled. Can be controlled.

【００２４】このように、本例の光ヘッド１０は、薄膜
と基板との電位差を制御することによって反射面積など
の光学的な性質を制御できる光反射ユニット７を採用し
ているので、ＤＶＤ９ｂにレーザ光を照射して記録再生
するときは光反射ユニット７の全体を鏡面として用いて
ＤＶＤ９ｂに光学的特定が合致した対物レンズ８にレー
ザ光をそのまま反射してＤＶＤ９ｂに対する処理を行う
ことができる。これに対し、ＣＤ９ａの処理を行うとき
は、光反射ユニット７の薄膜３４と基板３１との間に電
位差を与えてパターン３５を浮かび上がらせ、反射面積
を減らすことによってＤＶＤと同じ波長のレーザ光でＣ
Ｄ９ａを記録再生するときに適した開口数ＮＡで対物レ
ンズ８を使用している。さらに、実質的な開口数を絞る
とともにこれによっては補正しきれない球面収差の補正
ができるようにフレネルレンズとして機能するパターン
を薄膜３４に浮かび上がらせて記録再生の精度を向上で
きるようにしている。実質的な開口数を変更するだけで
十分な記録再生性能が得られる場合は、中央部の第１の
領域２２にフレネルレンズとしての機能を付加する必要
はなく、凹凸のパターンを形成しなくても良いことはも
ちろんである。As described above, the optical head 10 of this embodiment employs the light reflection unit 7 that can control the optical properties such as the reflection area by controlling the potential difference between the thin film and the substrate. When recording and reproduction are performed by irradiating the laser beam, the entire light reflecting unit 7 is used as a mirror surface, and the laser beam can be directly reflected on the objective lens 8 whose optical specification matches the DVD 9b, thereby performing processing on the DVD 9b. On the other hand, when performing the processing of the CD 9a, a potential difference is given between the thin film 34 of the light reflection unit 7 and the substrate 31 to raise the pattern 35, and the reflection area is reduced. C
The objective lens 8 is used with a numerical aperture NA suitable for recording and reproducing D9a. Further, the pattern functioning as a Fresnel lens is made to emerge on the thin film 34 so that the numerical aperture can be substantially reduced and spherical aberration that cannot be completely corrected by this can be improved, so that the recording / reproducing accuracy can be improved. When sufficient recording / reproducing performance can be obtained only by changing the substantial numerical aperture, it is not necessary to add a function as a Fresnel lens to the first region 22 at the center, and it is not necessary to form an uneven pattern. Of course, it is good.

【００２５】また、本例の光ヘッド１０は、レーザダイ
オードから出射されたレーザ光を対物レンズの側に立ち
あげる立ち上げミラーとしての機能を備えた光反射ユニ
ット７で開口数、およびその他の光学的な制御ができる
ようにしている。したがって、従来の液晶施光子あるい
は偏光ホログラムといった光学素子を追加して開口数な
どを制御する光ヘッドと異なり、構成も簡略化され、さ
らに、これらの追加された光学素子によってレーザ光の
エネルギーが減少されることを防止することができる。
特に、本例の光ヘッド１０においては、書き込み時に特
に高エネルギーのレーザ光が要求される高記録密度のＤ
ＶＤ−Ｒ（書き換え可能なＤＶＤ規格の光ディスク）に
対し、光反射ユニット７を鏡面として用いたＤＶＤ専用
の光ヘッドと同一の構成を採用することができ、書き込
みエラーなどの発生の少ない性能および信頼性の高い光
ヘッドを実現することができる。そして、ＣＤあるいは
記録型のＣＤ−Ｒに対しても光反射ユニット７を制御す
ることにより開口数などを変更することによって記録・
再生に適した光スポットを形成することができる。The optical head 10 of the present embodiment employs a light reflecting unit 7 having a function as a rising mirror for raising a laser beam emitted from a laser diode toward an objective lens, and has a numerical aperture and other optics. Control is possible. Therefore, unlike the conventional optical head that controls the numerical aperture and the like by adding an optical element such as a liquid crystal photon or a polarization hologram, the configuration is simplified, and the energy of the laser beam is reduced by these added optical elements. Can be prevented.
In particular, in the optical head 10 of the present example, a high recording density D that requires a particularly high energy laser beam during writing is required.
For VD-R (rewritable DVD-standard optical disc), the same configuration as that of an optical head dedicated to DVD using the light reflection unit 7 as a mirror surface can be adopted, and the performance and reliability with less occurrence of writing errors and the like can be achieved. An optical head with high performance can be realized. Further, by controlling the light reflection unit 7 for a CD or a recording-type CD-R, the recording / reading is performed by changing the numerical aperture and the like.
A light spot suitable for reproduction can be formed.

【００２６】また、本例の光ヘッド１０は簡易な構成で
光学素子を増やさずにＤＶＤおよびＣＤといった特性の
異なる光ディスクを一括して処理することが可能なの
で、小型軽量の光ヘッドを低コストで供給することがで
きる。そして、この光ヘッドを用いることによりＤＶＤ
およびＣＤに記録再生可能な小型で低コストの光ディス
ク装置を提供することができる。また、ＤＶＤおよびＣ
Ｄの切り替えも光反射ユニットに供給する電位を制御す
るだけで良く、制御系も極めて簡単であり、この点でも
小型化および低コスト化が可能となる。The optical head 10 of this embodiment can collectively process optical disks having different characteristics, such as DVD and CD, with a simple configuration and without increasing the number of optical elements. Can be supplied. By using this optical head, DVD
In addition, it is possible to provide a small-sized and low-cost optical disk device capable of recording and reproducing on a CD. DVD and C
Switching of D is only required to control the potential supplied to the light reflection unit, and the control system is extremely simple. In this regard, miniaturization and cost reduction can be achieved.

【００２７】[0027]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明において
は、静電力を用いて光学特性を自由に変えることができ
る光反射ユニットを実現しており、この光反射ユニット
を用いることにより高記録密度に対応したＤＶＤ規格の
光ディスクのみならず、従来のＣＤなど含めた複数の仕
様の光ディスクが一台で処理可能な光ヘッドおよび光デ
ィスク装置を提供することができる。特に、本発明の光
反射ユニットを採用することにより、光学的な部品をふ
やさずにＤＶＤおよびＣＤに対応可能な光ヘッドを実現
できるので、簡易な構成で低価格に提供できると共に、
読み込みや書き換えエラーの少ない優れた性能の光ヘッ
ドおよびこれを用いた光ディスク装置を提供することが
可能となる。As described above, in the present invention, a light reflection unit capable of freely changing optical characteristics by using electrostatic force is realized, and by using this light reflection unit, high recording can be achieved. It is possible to provide an optical head and an optical disk device that can process not only an optical disk of a DVD standard corresponding to the density but also optical disks of a plurality of specifications including a conventional CD by one unit. In particular, by employing the light reflection unit of the present invention, an optical head compatible with DVD and CD can be realized without increasing the number of optical components.
It is possible to provide an optical head having excellent performance with less reading and rewriting errors and an optical disk apparatus using the same.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の実施の形態に係る光ディスク装置の構
成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an optical disk device according to an embodiment of the present invention.

【図２】図１に示す光ディスク装置に用いられている本
発明に係る光ヘッドの構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a configuration of an optical head according to the present invention used in the optical disk device shown in FIG.

【図３】図２に示す光ヘッドに用いられている本発明に
係る光反射ユニットの構成を示す図であり、図３（ａ）
は平面図、図３（ｂ）は断面を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a light reflecting unit according to the present invention used in the optical head shown in FIG. 2, and FIG.
Is a plan view, and FIG. 3B is a view showing a cross section.

【図４】図３に示す光反射ユニットの一部を拡大して示
す図であり、図４（ａ）は電位差を与えないときの状態
を示し、図４（ｂ）は電位差を与えたときの状態を示し
てある。4 is an enlarged view of a part of the light reflection unit shown in FIG. 3; FIG. 4 (a) shows a state when no potential difference is applied; FIG. 4 (b) shows a state when a potential difference is applied; Is shown.

【図５】光反射ユニットの基板構成の一例を示す図であ
る。FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a substrate configuration of a light reflection unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１・・半導体レーザ（レーザダイオード） ２・・受光部 ３・・コリメターレンズ ４・・光束 ５・・回析格子 ６・・アクチュエータ ７・・光反射ユニット ８・・対物レンズ ９・・光ディスク １０・・光ヘッド ２２・・第１の領域（フレネルレンズ領域） ２３・・第２の領域（散乱領域） ３０・・ガラス基板 ３１・・ＩＴＯ電極 ３２・・シリコン、ボロンドープ層 ３３・・金、クロム層 ３４・・薄膜 ３５・・凹凸パターン ３６・・波面 ５１・・光ディスク装置 ５２・・ＲＦアンプ ５３・・サーボ制御回路 ５４・・サーボ用アクチュエータ ５６・・信号処理回路 ６０・・ハウジング 1. Semiconductor laser (laser diode) 2. Light receiving unit 3. Collimator lens 4. Light flux 5. Diffraction grating 6. Actuator 7. Light reflection unit 8. Objective lens 9. Optical disk 10 ..Optical head 22..first region (Fresnel lens region) 23..second region (scattering region) 30..glass substrate 31..ITO electrode 32..silicon, boron doped layer 33..gold, chrome Layer 34, thin film 35, uneven pattern 36, wavefront 51, optical disk drive 52, RF amplifier 53, servo control circuit 54, servo actuator 56, signal processing circuit 60, housing

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 表面にほぼ円形または楕円形の第１の領
域と、この第１の領域の周囲に位置する第２の領域とを
備え、少なくとも前記第２の領域に複数の凸部および凹
部が形成された基板と、 前記第１および第２の領域を少なくとも覆うように前記
基板の表面に設けた光反射性の薄膜とを有し、 前記基板および薄膜の間の静電力によって前記複数の凸
部および凹部に従って前記薄膜が変形することを特徴と
する光反射ユニット。A first region having a substantially circular or elliptical shape on a surface thereof; and a second region located around the first region, wherein a plurality of convex portions and concave portions are provided in at least the second region. And a light-reflective thin film provided on a surface of the substrate so as to cover at least the first and second regions. The plurality of light-reflective thin films are formed by electrostatic force between the substrate and the thin film. A light reflecting unit, wherein the thin film is deformed according to a convex portion and a concave portion. 【請求項２】 請求項１において、前記第２の領域の凸
部および凹部は、第１の方向から入射された特性の波長
の光が第２の方向に反射される強度を減じるようにパタ
ーニングされていることを特徴とする光反射ユニット。2. The method according to claim 1, wherein the convex portions and the concave portions of the second region are patterned so as to reduce the intensity of light having a characteristic wavelength incident from the first direction reflected in the second direction. A light reflection unit, characterized in that: 【請求項３】 請求項１において、前記第１の領域に複
数の凸部および凹部が形成されており、これら第１の領
域に形成された凸部および凹部は、第１の方向から入射
された特定の波長の光が第２の方向に反射される波面を
集散可能なようにパターニングされていることを特徴と
する光反射ユニット。3. The method according to claim 1, wherein a plurality of convex portions and concave portions are formed in the first region, and the convex portions and concave portions formed in the first region are incident from a first direction. A light reflection unit, wherein the light reflection unit is patterned so that light having a specific wavelength can be dispersed in a wavefront reflected in the second direction. 【請求項４】 レーザダイオードと、このレーザダイオ
ードから出射されたレーザ光を光ディスクに集光する集
光システムと、前記光ディスクから反射された反射光を
受光する受光部と、前記レーザダイオードから出射され
たレーザ光を前記集光システムに導く光反射ユニットと
を有し、 この光反射ユニットは、表面にほぼ円形または楕円形の
第１の領域、およびこの第１の領域の周囲に位置する第
２の領域が形成され、少なくとも前記第２の領域に複数
の凸部および凹部が形成された基板と、この基板の表面
に前記第１および第２の領域を少なくとも覆うように設
けた光反射性の薄膜とを備えており、前記基板および薄
膜の間の静電力によって前記複数の凸部および凹部に従
って前記薄膜が変形することを特徴とする光ヘッド。4. A laser diode, a condensing system for condensing laser light emitted from the laser diode on an optical disk, a light receiving unit for receiving light reflected from the optical disk, and light emitted from the laser diode. A light reflection unit for guiding the laser light to the light collection system, the light reflection unit comprising a first region having a substantially circular or elliptical shape on a surface thereof, and a second region located around the first region. A substrate having a plurality of projections and depressions formed at least in the second region, and a light-reflecting surface provided on the surface of the substrate so as to cover at least the first and second regions. An optical head, comprising: a thin film, wherein the thin film is deformed according to the plurality of protrusions and recesses by electrostatic force between the substrate and the thin film. 【請求項５】 請求項４において、前記第２の領域の凸
部および凹部は、前記レーザ光を前記集光システムに反
射する際にその強度を減じるようにパターニングされて
いることを特徴とする光ヘッド。5. The method according to claim 4, wherein the projections and the depressions of the second region are patterned so as to reduce the intensity of the laser light when the laser light is reflected by the light collection system. Light head. 【請求項６】 請求項４において、前記第１の領域に複
数の凸部および凹部が形成されており、これら第１の領
域に形成された凸部および凹部は、前記レーザ光を前記
集光システムに反射する際にその波面を集散可能なよう
にパターニングされていることを特徴とする光ヘッド。6. The method according to claim 4, wherein a plurality of convex portions and concave portions are formed in the first region, and the convex portions and concave portions formed in the first region condense the laser light. An optical head characterized in that it is patterned so that its wavefront can be dispersed when reflected on the system. 【請求項７】 請求項４に記載の光ヘッドを有すること
を特徴とする光ディスク装置。7. An optical disk device comprising the optical head according to claim 4.