JPH1194754A - 基板検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、小型化を実現できるとともに、被検
査基板に対し精度の高い欠陥検査を効率よく行うことが
できる基板検査装置を提供する。 【解決手段】ホルダ２の前側支点受け部１３を支点部１
５に支持するとともに、ガイド付ボールネジ４によりホ
ルダ２を上方向に駆動しホルダ２を立ち上げることによ
り被検査基板を検査者側に引き寄せた状態で、実体顕微
鏡２６を用いての被検査基板表面の観察を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、液晶ディ
スプレイ（ＬＣＤ）のガラス基板などの欠陥検査に用い
られる基板検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＬＣＤに用いられるガラス基板の
欠陥検査は、ガラス基板表面に照明光を当て、その反射
光の光学的変化から基板表面の傷などの欠陥部分を観察
するマクロ観察と、マクロ観察で検出された欠陥部分を
拡大して観察するミクロ観察を切り替えて可能にしたも
のがある。

【０００３】具体的には、特開平５−３２２７８３号公
報に開示されるように、Ｘ、Ｙ方向に水平移動可能にし
たＸ−Ｙステージに対応させてマクロ観察系とミクロ観
察系を設け、Ｘ−Ｙステージ上に被検査基板を載置した
状態から、Ｘ−ＹステージをＸ、Ｙ方向の２次元方向に
移動して被検査基板の検査部位をマクロ観察系またはミ
クロ観察系の観察領域に位置させることで、被検査基板
面の欠陥部分に対するマクロ観察またはミクロ観察を可
能にしたものがある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、最近、ＬＣ
Ｄの大型化にともないガラス基板のサイズは、ますます
大型化の傾向にあり、このため、このような大型サイズ
のガラス基板の欠陥検査において、上述したようなＸ−
ＹステージをＸ、Ｙ方向の２次元方向に水平移動するよ
うにしたものでは、基板面積の４倍もの移動範囲が必要
となり、基板サイズの大型化とともに、装置の大型化を
免れない。また、このように構成したものでは、被検査
基板面が検査者の目の位置から遠く離れるため、微小な
傷に対する検査が困難で、さらに検出した欠陥部の位置
情報などを取り出すことも難しいことなどから、精度の
高い欠陥検査を行うことができないという問題があっ
た。

【０００５】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、小型化を実現できるとともに、被検査基板に対し精
度の高い欠陥検査を効率よく行うことができる基板検査
装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
被検査基板を保持する被検査基板保持部と、この被検査
基板保持部の両側面中間部を回動自在に支持するととも
に、前記被検査基板保持部に対し上下方向の駆動力を作
用させる第１の駆動手段と、前記被検査基板保持部の前
記第１の駆動手段による支持部を挟んだ両端部にそれぞ
れ設けられるとともに、相反関係で着脱され前記被検査
基板保持部を回動支持する回動支持手段と、前記第１の
駆動手段および回動支持手段を前記第１の駆動手段の駆
動方向と直交する水平方向に駆動する第２の駆動手段
と、前記回動支持手段により前記被検査基板保持部の一
方端部を回動支持するとともに、前記第１の駆動手段に
より前記被検査基板保持部を上方向に駆動した状態の前
記被検査基板保持部上の前記被検査基板面に対応して設
けられ、前記被検査基板面の一方向に沿って移動可能に
設けられた観察ユニット支持手段と、この観察ユニット
支持手段に、前記被検査基板面上での前記観察ユニット
支持手段の移動方向と直交する方向に移動可能に設けら
れたミクロ観察手段とを具備し、前記観察ユニット支持
手段の前記被検査基板面上の一方向に沿った移動と前記
ミクロ観察手段の前記被検査基板面上の前記観察ユニッ
ト支持手段の移動方向と直交する方向の移動により、前
記ミクロ観察手段による観察を可能にしている。

【０００７】請求項２記載の発明は、請求項１記載にお
いて、前記観察ユニット支持手段およびミクロ観察手段
のそれぞれの移動方向に沿って前記ミクロ観察手段の位
置座標を検出する座標検出手段を設けている。

【０００８】この結果、請求項１記載の発明によれば、
被検査基板保持部の一方端部を回動支持するとともに、
被検査基板保持部を上方向に駆動し、前方に立ち上げる
ことにより、被検査基板を検査者側に引き寄せた状態
で、ミクロ観察手段による被検査基板面の観察を行うこ
とができ、検査者は、目視で欠陥位置を確認しながらミ
クロ観察手段による欠陥部の観察を行うようにできる。
また、ミクロ観察手段は、被検査基板面の一方向に沿っ
て移動可能に設けられた観察ユニット支持手段に、被検
査基板面上での観察ユニット支持手段の移動方向と直交
する方向に移動可能に設けられ、被検査基板保持部を移
動することなく、ミクロ観察手段のみを移動するのみで
ミクロ観察を行うことができる。

【０００９】また、請求項２記載の発明によれば、ミク
ロ観察手段の位置座標を検出することができるので、ミ
クロ観察の結果による被検査基板上の欠陥部の位置情報
を簡単に取り出すことができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面に従い説明する。図１および図２は、本発明の一実施
の形態が適用される基板検査装置の概略構成を示してい
る。図において、１は装置本体で、この装置本体１内部
には、被検査基板保持手段としてホルダ２を配置してい
る。このホルダ２は、ＬＣＤに用いられるガラス基板の
ような大型の被検査基板を載置保持するものである。

【００１１】ホルダ２は、両側面中間部を一対のアーム
３先端に回動自在に支持されている。これらアーム３
は、図３に示すように垂直方向に配置されるもので、そ
の基端部を一対のガイド付ボールネジ４の可動部４０１
に各別に回動自在に接続している。

【００１２】これらガイド付ボールネジ４は、図示しな
いボールネジの回転によりガイドに沿って可動部４０１
を上下方向に移動するもので、可動部４０１の移動によ
りアーム３を介してホルダ２に上下方向の駆動力を作用
させるようにしている。また、これらガイド付ボールネ
ジ４は、図４に示すように、それぞれプーリ５、５を設
けていて、これらプーリ５、５の間にベルト６を架け渡
すとともに、一方のガイド付ボールネジ４のプーリ５に
直結したプーリ５０１に、図３に示すようにベルト７を
介してモータ８の回転軸に接続し、モータ８の回転によ
りベルト７、６およびプーリ５０１、５を介して、それ
ぞれのガイド付ボールネジ４のボールネジを同時に回転
させ、ホルダ２の両側面中間部に作用する上下方向の駆
動力が相等しくなるようにしている。

【００１３】なお、図４において、符号９は、プーリ
５、５間のベルト６の張力を調整するための中継プーリ
である。アーム３を介してホルダ２を支持する一対のガ
イド付ボールネジ４は、共通ベース１０に設けている。
このベース１０は、図４および図５に示すように装置本
体１側の固定部１０１に所定の間隔をおいて平行に設け
られた一対のレール１０２に対し、ガイド１１を介して
移動可能に設けている。また、装置本体１側の固定部１
０１の一対のレール１０２の間には、エアシリンダ１２
を設け、このエアシリンダ１２によりベース１０を一対
のレール１０２に沿って移動させるようにしている。つ
まり、共通ベース１０に設けられた一対のガイド付ボー
ルネジ４は、アーム３を介してホルダ２を支持した状態
で、図２に示す装置本体１の前方（図示左側）および後
方（図示右側）のそれぞれの方向に所定範囲で往復移動
できるようになっている。

【００１４】一方、ホルダ２は、図３に示すようにアー
ム３による支持部を挟んだ両端部のうち、装置本体１前
方に対応する端部の両側に、前側支点受け部１３を設
け、また、装置本体１後方に対応する端部の両側に、後
側支点受け部１４を設けている。さらに、ベース１０上
には、前側支点受け部１３に対応する支点部１５および
後側支点受け部１４に対応する支点部１６を設けてい
る。この場合、前側支点受け部１３に対応する支点部１
５は、後側支点受け部１４に対応する支点部１６より僅
かに高い位置に設けられている。

【００１５】ここで、ホルダ２に設けられる前側支点受
け部１３は、図６（ａ）に示すように筒状の受け部ケー
ス１３１の中空部にベアリング１３２を介して受け部本
体１３３を回転可能に収容している。この受け部本体１
３３は、前方に受孔部１３４を有するとともに、軸方向
に移動可能に軸１３５を挿通していて、後述する支点部
１５の支点軸１５１が受孔部１３４に挿入されると、こ
の状態で、支点軸１５１を回転自在に支持するととも
に、軸１３５を押込みむことで、センサ１３６により支
点軸１５１の挿入状態を検知するようにしている。一
方、支点部１５は、図６（ａ）（ｂ）に示すように支点
軸１５１を有する可動部１５２をガイド１５３に沿って
移動可能に設け、この可動部１５２にエアシリンダ１５
４の可動軸１５５に接続することで、エアシリンダ１５
４により可動部１５２を介して支点軸１５１を進退可能
に移動させ、支点受け部１３の受孔部１３４に挿脱可能
にしている。ここで、図６（ａ）は、支点部１５の支点
軸１５１が後退して支点受け部１３の受孔部１３４から
抜け出た状態、図７は、支点部１５の支点軸１５１が前
進して支点受け部１３の受孔部１３４に挿入した状態を
示している。

【００１６】なお、後側支点受け部１４および支点部１
６についても、上述した前側支点受け部１３および支点
部１５と同様な構成からなっているので、ここでの説明
は省略している。

【００１７】装置本体１の上方に、被検査基板表面のマ
クロ観察用照明に用いられる点光源としてのメタルハラ
イドランプ１７と線光源としてのナトリウムランプ１８
を設けている。メタルハライドランプ１７は、主にフレ
ネルレンズ２０により収束光を得るためのものである。
また、ナトリウムランプ１８は、干渉を生じ易い特定波
長の光を液晶フィルタ２１で散乱させて、散乱光を得る
ためのものである。この場合、ナトリウムランプ１８
は、図示しないシャッタなどを用いて光の発生、しゃ断
を切り替えできるようにしている。

【００１８】そして、これらメタルハライドランプ１７
およびナトリウムランプ１８に対向させて反射ミラー１
９を配置している。このミラー１９は、４５°傾けて設
けられていて、メタルハライドランプ１７およびナトリ
ウムランプ１８からの光を反射しフレネルレンズ２０に
与えるようにしている。このフレネルレンズ２０には、
液晶フィルタ２１を設けている。

【００１９】液晶フィルタ２１は、常時不透明で、電源
投入により透明に切り替わるようにしたもので、不透明
の状態では、ナトリウムランプ１８からの光を散乱して
面光源としてマクロ観察時のホルダ２上を照射し、ま
た、透明な状態では、メタルハライドランプ１７からの
光をフレネルレンズ２０を通して、収束光にしてマクロ
観察時のホルダ２上を照射するようにしている。

【００２０】装置本体１の後方に蛍光灯を内蔵したバッ
クライト２２を設けている。このバックライト２２は、
ミクロ観察用照明に用いられるもので、バックライト２
２の表面には、外光の反射を防止するためのＮＤフィル
タ２３を設けている。

【００２１】さらに、装置本体１の前方下部には、被検
査基板裏面のマクロ観察用照明として用いられる蛍光灯
などからなる光源２４を設けている。図１に示す装置本
体１前方には、該装置本体１の前面両側縁に沿って図示
しないガイドレールを設け、また、装置本体１前面を左
右に横切るように観察ユニット支持部２５を配置し、こ
の観察ユニット支持部２５を前記ガイドレールに沿って
装置本体１前面を図示Ｙ軸方向、つまり装置本体１前方
に立ち上げられたホルダ２上の被検査基板面の上下方向
に移動可能に設けている。

【００２２】観察ユニット支持部２５は、実体顕微鏡２
６を移動可能に支持している。この場合、実体顕微鏡２
６は、観察ユニット支持部２５に沿って、装置本体１前
面の観察ユニット支持部２５の移動方向と直交する図示
Ｘ軸方向、つまり被検査基板面上の左右方向に移動可能
になっており、ホルダ２上の被検査基板全面についてミ
クロ観察を行うことができるようにしている。

【００２３】また、装置本体１前方のＸ方向およびＹ方
向のそれぞれの側縁には、Ｘスケール２７１およびＹス
ケール２７２を設けている。これらＸスケール２７１お
よびＹスケール２７２は、実体顕微鏡２６の位置座標を
検出するためのもので、この場合、実体顕微鏡２６の位
置座標をホルダ２の被検査基板面に対応させておくこと
により、被検査基板上における実体顕微鏡２６の位置座
標データを収集できるようにしている。

【００２４】次に、以上のように構成した実施の形態の
動作を説明する。まず、被検査基板表面のマクロ観察を
行う場合は、ホルダ２上に被検査基板を載置保持し、図
２に示すようにホルダ２の前側支点受け部１３を支点部
１５により支持させた状態で、ガイド付ボールネジ４に
よりアーム３を下方向に移動させる。この場合、支点部
１５は、図７に示すようにエアシリンダ１５４により可
動部１５２を介して支点軸１５１を前進させ、支点軸１
５１を支点受け部１３の受孔部１３４に挿入している。

【００２５】この状態では、ホルダ２は、ほぼ水平に保
持される。次いで、メタルハライドランプ１７を点灯
し、同時に液晶フィルタ２１の電源を投入して透明状態
に切り替えると、メタルハライドランプ１７からの光
は、反射ミラー１９で反射され、フレネルレンズ２０を
通して、点Ｆに収束する光としてホルダ２上の被検査基
板面に照射される。これにより、検査者の目視により被
検査基板表面の傷や汚れなどの欠陥を検査するマクロ観
察が実行される。

【００２６】次に、メタルハライドランプ１７に代え
て、図示しないシャッタを開いてナトリウムランプ１８
の光を発生させ、また、液晶フィルタ２１の電源を切っ
て不透明状態（散乱状態）に切り替える。すると、今度
は、ナトリウムランプ１８からの光が、不透明な液晶フ
ィルタ２１で散乱され、面光源としてマクロ観察時のホ
ルダ２上に照射される。この場合も、検査者の目視によ
る被検査基板表面のマクロ観察になるが、ここでのナト
リウムランプ１８は、干渉を生じ易い特定波長の光を発
生するので、被検査基板上の膜むらなど欠陥を検出する
ことができる。この表面マクロ観察では、アーム３を上
方に移動させてホルダ２を所望の角度に傾斜させたり、
アーム３を上下動させてホルダ２を揺動させることも可
能である。

【００２７】次に、被検査基板裏面のマクロ観察を行う
場合は、ガイド付ボールネジ４によりアーム３を僅かに
下方向に移動させる。すると、ホルダ２は、前側支点受
け部１３を支点部１５により支持されているので、支点
部１５を中心に反時計方向に僅かに回転し、後側支点受
け部１４が支点部１６に対向して位置される。そして、
この状態から、図７に示す動作に準じて後側支点受け部
１４を支点部１６により支持させる。また、後側支点受
け部１４を支点部１６により支持されたことをセンサ
（図７に示すセンサ１３６が相当）が検知したのち、今
度は、前側支点受け部１３の支点部１５による支持を解
除する。この場合、図６（ａ）に示すようにエアシリン
ダ１５４により可動部１５２を介して支点軸１５１を後
退させ、支点軸１５１を支点受け部１３の受孔部１３４
より抜き取るようになる。

【００２８】次いで、ガイド付ボールネジ４によりアー
ム３を上方向に移動する。この場合、図３および図４に
示すようにモータ８の回転によりベルト７、６およびプ
ーリ５０１、５を介して、それぞれのガイド付ボールネ
ジ４のボールネジを同時に回転させ、ホルダ２の両側縁
中央部に相等しい上方向の駆動力を作用させる。する
と、ホルダ２は、支点部１６を中心に時計方向に回転
し、図２の（２Ａ）に示す位置まで立ち上げられる。

【００２９】次に、図５に示すようにエアシリンダ１２
を付勢してガイド付ボールネジ４を設けた共通ベース１
０をレール１０２に沿って装置本体１の前方に移動させ
る。この時、アーム３も、ガイド付ボールネジ４の可動
部４０１の支持部を中心に回動されている。これによ
り、ホルダ２は、立ち上げられた状態のままで、図２の
（２Ｂ）に示す装置本体１の前方位置まで移動される。
その後、装置本体１の前方下部の光源２４を点灯する
と、この光源２４からの光は、ホルダ２上の被検査基板
裏面に照射され、この状態で、検査者の目視により被検
査基板裏面の傷や汚れなどの欠陥を検査するマクロ観察
が実行される。

【００３０】次に、被検査基板表面のミクロ観察を行う
には、図２に示すホルダ２の前側支点受け部１３を支点
部１５により支持させた被検査基板表面のマクロ観察の
状態から、ガイド付ボールネジ４によりアーム３を上方
向に移動する。この場合、図３および図４に示すように
モータ８の回転によりベルト７、６およびプーリ５０
１、５を介して、それぞれのガイド付ボールネジ４のボ
ールネジを同時に回転させ、ホルダ２の両側縁中央部に
相等しい上方向の駆動力を作用させる。すると、ホルダ
２は、支点部１５を中心に反時計方向に回転され、図２
の（２Ｃ）、（２Ｄ）、（２Ｅ）の順に、（２Ｆ）に示
す装置本体１の前方位置に立ち上げられる。

【００３１】この状態から、装置本体１の後方のバック
ライト２２を点灯すると、バックライト２２の光は、ホ
ルダ２上の被検査基板背面から照射される。この状態
で、検査者により、実体顕微鏡２６を用いて被検査基板
表面の傷などの欠陥を検査するミクロ観察が行われる。

【００３２】この場合、実体顕微鏡２６を観察ユニット
支持部２５に沿ってＸ方向に移動させながら、観察ユニ
ット支持部２５をＹ方向に移動させることで、実体顕微
鏡２６を被検査基板全面にわたって走査でき、この状態
で、ミクロ観察を行う。また、このミクロ観察で、実体
顕微鏡２６により被検査基板表面の傷などを見付けた場
合は、確認操作を行うと、この時の被検査基板上での実
体顕微鏡２６の位置座標がＸスケール２７１、Ｙスケー
ル２７２により検出され、位置座標データとして収集す
ることができる。

【００３３】従って、このようにすれば、ホルダ２の前
側支点受け部１３を支点部１５に支持するとともに、ガ
イド付ボールネジ４によりホルダ２を上方向に駆動しホ
ルダ２を立ち上げることにより被検査基板を検査者側に
引き寄せた状態で、実体顕微鏡２６を用いて被検査基板
表面の観察を行うことができるので、被検査基板面を検
査者の目の位置に十分近付けてのミクロ観察を実行で
き、これにより検査者は、目視で欠陥位置を確認しなが
ら実体顕微鏡２６による欠陥部の観察を行うようにで
き、ミクロ観察を効率よく行うことができるとともに、
微小な傷に対する検査を含めて精度の高い欠陥検査を行
うことができる。また、実体顕微鏡２６は、被検査基板
面の一方向に沿って移動可能に設けられた観察ユニット
支持部２５に、被検査基板面上での観察ユニット支持部
２５の移動方向と直交する方向に移動可能に設けられ、
ホルダ２を移動することなく、実体顕微鏡２６のみを移
動するのみでミクロ観察を行うことができるので、従来
の、被検査基板面積の４倍ものステージの移動範囲を必
要とするものと比べ、装置の大幅な小型化を実現するこ
とができる。

【００３４】また、実体顕微鏡２６の位置座標を装置本
体１前方のＸ方向およびＹ方向のそれぞれの側縁に配置
したＸスケール２７１およびＹスケール２７２により検
出することができるので、被検査基板上の欠陥部の位置
情報を簡単に取り出すことができる。

【００３５】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、被検
査基板保持部の前端部または後端部を回転支持するとと
もに、被検査基板保持部を上下方向に駆動することによ
り、被検査基板の表面と裏面の観察ができる。また、被
検査基板保持部の一方端部を回動支持するとともに、被
検査基板保持部を上方向に駆動し、前方に立ち上げるこ
とにより、被検査基板を検査者側に引き寄せた状態で、
ミクロ観察手段による被検査基板面の観察を行うことが
でき、これにより検査者は、目視で欠陥位置を確認しな
がらミクロ観察手段による欠陥部の観察を行うようにで
き、ミクロ観察を効率よく行うことができるとともに、
微小な傷に対する検査を含めて精度の高い欠陥検査を行
うことができる。

【００３６】また、ミクロ観察手段は、被検査基板面の
一方向に沿って移動可能に設けられた観察ユニット支持
手段に、被検査基板面上での観察ユニット支持手段の移
動方向と直交する方向に移動可能に設けられ、被検査基
板保持部を移動することなく、ミクロ観察手段のみを移
動するのみでミクロ観察を行うことができるので、従来
の、被検査基板面積の４倍ものステージの移動範囲を必
要とするものと比べ、装置の大幅な小型化を実現するこ
とができる。さらに、ミクロ観察手段の位置座標を検出
することができるので、ミクロ観察の結果による被検査
基板上の欠陥部の位置情報を簡単に取り出すことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の概略構成を示す正面
図。

【図２】一実施の形態の概略構成を示す側面図。

【図３】一実施の形態に用いられるホルダの上下方向の
駆動部の概略構成を示す図。

【図４】一実施の形態に用いられるガイド付ボールネジ
の駆動部の概略構成を示す図。

【図５】一実施の形態に用いられるガイド付ボールネジ
を設けたベースの概略構成を示す図。

【図６】一実施の形態に用いられる支点受け部および支
点部の概略構成を示す図。

【図７】一実施の形態に用いられる支点受け部および支
点部の概略構成を示す図。

【符号の説明】

１…装置本体、 ２…ホルダ、 ３…アーム、 ４…ガイド付ボールネジ、 ４０１…可動部、 ５、５０１…プーリ、 ６、７…ベルト、 ８…モータ、 ９…中継プーリ、 １０…ベース、 １０１…固定部、 １０２…レール、 １０３…固定部、 １１…ガイド、 １２…エアシリンダ、 １３…前側支点受け部、 １３１…受け部ケース、 １３２…ベアリング、 １３３…受け部本体、 １３４…受孔部、 １３５…軸、 １４…後側支点受け部、 １５、１６…支点部、 １５１…支点軸、 １５２…可動部、 １５３…ガイド、 １５４…エアシリンダ、 １５５…可動軸、 １７…メタルハライドランプ、 １８…ナトリウムランプ、 １９…ミラー、 ２０…フレネルレンズ、 ２１…液晶フィルタ、 ２２…バックライト、 ２３…ＮＤフィルタ、 ２４…光源、 ２５…観察ユニット支持部、 ２６…実体顕微鏡、 ２７１、２７２…スケール。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査基板を保持する被検査基板保持部
   と、 この被検査基板保持部の両側面中間部を回動自在に支持
   するとともに、前記被検査基板保持部に対し上下方向の
   駆動力を作用させる第１の駆動手段と、 前記被検査基板保持部の前記第１の駆動手段による支持
   部を挟んだ両端部にそれぞれ設けられるとともに、相反
   関係で着脱され前記被検査基板保持部を回動支持する回
   動支持手段と、 前記第１の駆動手段および回動支持手段を前記第１の駆
   動手段の駆動方向と直交する水平方向に駆動する第２の
   駆動手段と、 前記回動支持手段により前記被検査基板保持部の一方端
   部を回動支持するとともに、前記第１の駆動手段により
   前記被検査基板保持部を上方向に駆動した状態の前記被
   検査基板保持部上の前記被検査基板面に対応して設けら
   れ、前記被検査基板面の一方向に沿って移動可能に設け
   られた観察ユニット支持手段と、 この観察ユニット支持手段に、前記被検査基板面上での
   前記観察ユニット支持手段の移動方向と直交する方向に
   移動可能に設けられたミクロ観察手段と、 を具備し、 前記観察ユニット支持手段の前記被検査基板面上の一方
   向に沿った移動と前記ミクロ観察手段の前記被検査基板
   面上の前記観察ユニット支持手段の移動方向と直交する
   方向の移動により、前記ミクロ観察手段による観察を可
   能にしたことを特徴とする基板検査装置。
2. 【請求項２】 前記観察ユニット支持手段およびミクロ
   観察手段のそれぞれの移動方向に沿って前記ミクロ観察
   手段の位置座標を検出する座標検出手段を設けたことを
   特徴とする請求項１記載の基板検査装置。