JPH1194203A

JPH1194203A - 蒸気製造装置

Info

Publication number: JPH1194203A
Application number: JP9258782A
Authority: JP
Inventors: Taizo Kawamura; 泰三川村; Yoshitaka Uchibori; 義隆内堀
Original assignee: SEDA GIKEN KK; Omron Corp; Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: SEDA GIKEN KK; Omron Corp
Priority date: 1997-09-24
Filing date: 1997-09-24
Publication date: 1999-04-09

Abstract

(57)【要約】【課題】蒸気を発生させるボイラ部内の液体の不純物
の濃縮を簡単に防止できる蒸気製造装置を提供する。【解決手段】液体を加熱して蒸気にするボイラ部２
と、前記ボイラ部２の液面を監視する液面検出手段４２
と、前記ボイラ部２に液体を供給する給水系統１８に設
けられた第１自動開閉弁４３と、前記ボイラ部２内の液
体を排出する排水系統１９に設けられた第２自動開閉弁
４４と、始動又は停止のための操作手段４６を有し、前
記液面検出手段４２の出力に基づいて前記第１自動開閉
弁４３の開閉を制御する制御部４とを具え、前記制御部
４は、停止のための操作手段４６ｂが操作されると、前
記第１自動開閉弁４３を閉じるとともに、前記ボイラ部
２内の液体を全部排出するように前記第２自動開閉弁４
４を開くものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、食品の調理、食品
の解凍、殺菌、洗浄、サウナ等に使用される過熱蒸気の
元になる蒸気、又は化学工業において種々の加熱や処理
に使用される蒸気を発生させるための蒸気製造装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】蒸気を発生させるために、所定レベルの
液面を保つように液体が導入される管体と、前記管体に
巻回された励磁コイルと、前記励磁コイルにより発生す
る磁界変化により発熱する発熱体とを具えた電磁誘導加
熱式の蒸気発生装置が着目されるようになっている。

【０００３】この場合、管体内の水の蒸発に応じて、管
体内に水道水が導入されるため、カルキ等の不純物が管
体内で濃縮されていくことになる。そこで、管体内の液
体の不純物濃度を例えば導電計で測定し、所定濃度に達
すると、管体内の液体を排出し、新たな水道水と入れ換
えるという蒸気製造装置が提案されている（特開平９−
１２２６３５号公報参照）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ただし、導電計等で水
内の不純物濃度を精度良く測定するためには、高価な測
定器が必要になって、濃度計を付加することにより制御
系が複雑になるという問題点があった。

【０００５】本発明は、このような課題を解決するため
になされたものであり、蒸気を発生させるボイラ部内の
液体の不純物の濃縮を簡単に防止できる蒸気製造装置を
提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する請求
項１記載の発明は、液体を加熱して蒸気にするボイラ部
と、前記ボイラ部の液面を監視する液面検出手段と、前
記ボイラ部に液体を供給する給水系統に設けられた第１
自動開閉弁と、前記ボイラ部内の液体を排出する排出系
統に設けられた第２自動開閉弁と、始動又は停止のため
の操作手段を有し、前記液面検出手段の出力に基づいて
前記第１自動開閉弁の開閉を制御する制御部とを具え、
前記制御部は、停止のための操作手段が操作されると、
前記第１自動開閉弁を閉じるとともに、前記ボイラ部内
の液体を全部排出するように前記第２自動開閉弁を開く
ことを特徴とする蒸気製造装置である。

【０００７】請求項２記載の発明は、請求項１におい
て、前記制御部は、始動のための操作手段が操作される
と、前記第２自動開閉弁を閉じるとともに、前記ボイラ
部に所定量の液体を入れるために前記第１自動開閉弁を
開くものである。

【０００８】請求項３記載の発明は、請求項１又は２に
おいて、前記制御部は、前記液面検出手段の出力に基づ
いて前記ボイラ部に補給のための給水を行う前記第１自
動開閉弁の開閉回数を計数し、所定の開閉回数に達する
と、前記第２自動開閉弁を所定時間開きボイラ部に溜ま
った液体を所定量排出するとともに、前記第１自動開閉
弁を開いて排水量に見合った新たな給水を行うものであ
る。

【０００９】請求項４記載の発明は、請求項１〜３のい
ずれかにおいて、前記ボイラ部は、管体と、前記管体に
巻回された励磁コイルと、前記励磁コイルにより発生す
る磁界変化により発熱するとともに、多数の通路が形成
された導電性材料の発熱体とからなる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照しつつ説明する。図１は本発明の過熱蒸気製造装置
の機器構成図である。

【００１１】図１において、蒸気製造装置１は、ボイラ
部２と、過熱部３と、制御部４と、処理部５とからな
り、過熱蒸気発生用に構成されている。なお、過熱部３
は必須ではなく、ボイラ部２に処理部５を接続したもの
であってもよい。

【００１２】ボイラ部２は、垂直上向きの管体１１内
に、発熱体１２を収納し、管体１１に励磁コイル１３を
巻回したものである。管体１１は耐熱性、耐蝕性及び耐
圧性に優れたセラミック等の非磁性材料によりパイプ状
に形成されたものである。管体１１内に収納された発熱
体１２は、前記励磁コイル１３により発生する磁界変化
により発熱する金属等の導電性材料により多数の通路を
形成したものである。即ち、ボイラ部２は電磁誘導加熱
部として構成されている。

【００１３】このボイラ部２には、液面制御のための立
ち上げ管体１５と、気液分離のためのバイパス管路１６
と、管体１１と立ち上げ管体１５及びバイパス管路１６
に対する共通のヘッダ部１７とが付設されている。また
ヘッダ部１７には、給水系統１８と排水系統１９とが接
続されている。バイパス管路１６は、管体１１からの蒸
気を横向きに壁にぶつけて気液分離を行うＴ字部１６ａ
と、Ｔ字部１６ａで分離された液体をヘッダ部１７に戻
す連結部１６ｂと、Ｔ字部１６ａで分離された蒸気を上
向きから横向きに変えるエルボ部１６ｃとからなってい
る。

【００１４】過熱部３は、水平横向きの管体３１内に、
発熱体３２を収納し、管体３１に励磁コイル３３を巻回
したものである。管体３１は耐熱性、耐蝕性及び耐圧性
に優れたセラミック等の非磁性材料によりパイプ状に形
成されたものである。管体３１内に収納された発熱体３
２は、前記励磁コイル３３により発生する磁界変化によ
り発熱する金属等の導電性材料により多数の通路を形成
したものである。即ち、過熱部３も電磁誘導加熱部とし
て構成されている。また、過熱部３の出口側には、処理
部５が接続されている。図示例の処理部５は過熱蒸気で
食品を調理できるように構成されている。

【００１５】制御部４は、過熱部３の出口に配設され
た、温度計４１と、立ち上げ管１５に配設されたレベル
計（液面検出手段）４２と、給水系統１８に取り付けら
れた第１電磁開閉弁（第１自動開閉弁）４３と、排水系
統１９に取り付けられた第２電磁開閉弁（第２自動開閉
弁）４４と、コントローラ４５とからなっている。また
制御部４には、スタートボタン４６ａとストップボタン
４６ｂを有する操作ボックス（操作手段）４６が付設さ
れている。この制御部４は、レベル計４２からの入力に
基づき、第１電磁開閉弁４３をオンオフして供給量を調
整し、ボイラ部２の管体１１内の液体レベルが所定値に
なるように制御している。

【００１６】制御部４は、運転時の液面制御以外に、ス
タートボタン４６ａが操作されると、排水のための第２
電磁開閉弁４４を閉じ、給水のための第１電磁開閉弁４
３を開いて所定の液面レベルとする機能、ストップボタ
ン４６ｂが操作されると、給水のための第１電磁開閉弁
４３を閉じ、排水のための第２電磁開閉弁４４を開いて
ボイラ部２内の全ての液体を排出する機能、及び、通常
運転時において、ボイラ部２の液体内の不純物が濃縮さ
れないように、第１電磁開閉弁４３の所定回数の作動に
よる給水毎に、所定量の液体を排出するため第２電磁開
閉弁４４を所定時間開く機能を有している。

【００１７】なお、ボイラ部２と過熱部３の励磁コイル
１３，３３に対する高周波電源装置１４，３４は、温度
計４１からの入力を受けるコントローラ４５により、所
定の出力に制御される。また、過熱部３の管体３１と発
熱体３２を水平な横向きに配設した理由は、過熱部３の
発熱体３２の入口側が凝縮水で蓋をされた状態になら
ず、過熱部３における蒸気の通過を確保することによ
り、蒸気製造装置１の立ち上げ時の時間を短縮するため
である。ただし、化学装置などでは、過熱部３は垂直に
配設されることもある。

【００１８】つぎに、上述した構造の蒸気製造装置１の
作動を、図１の機器図及び図２のフロー図により説明す
る。

【００１９】スタートボタン４６ａを押すとフローが開
始される（Ｓ１）。このとき、ボイラ部２及び過熱部３
はドライの空状態になっているので、給水用電磁開閉弁
４３が開いて、ボイラ部２への給水を開始する（Ｓ
２）。レベル計４２でボイラ部２での所定レベルの液面
が確保されるかどうか判断し（Ｓ３）、所定レベルに達
すると（Ｓ３，ＹＥＳ）、給水用電磁開閉弁４３が閉じ
る（Ｓ４）。これにより、ボイラ部２に所定量の液体が
満たされたことになり、ボイラ部２及び過熱部３の電磁
誘導加熱部が始動する（Ｓ５）。ボイラ部２は液体に漬
かっているため、直ぐに熱交換で蒸気を発生しはじめ
る。ボイラ部２の蒸気の発生が続くと液面が低下してい
くので、レベル計４２が下限になったかどうか判断し
（Ｓ６）、下限になると（Ｓ６，ＹＥＳ）、給水用電磁
開閉弁４３を開く（Ｓ７）。給水によりレベルが上昇す
るので、レベル計４２が上限になったかどうか判断し
（Ｓ８）、上限になると（Ｓ８，ＹＥＳ）、給水用電磁
開閉弁４３を閉じる（Ｓ９）。

【００２０】このように、蒸発に伴う液体の補給のため
の給水用電磁開閉弁４３の開閉動作の回数ｎを計数する
（Ｓ１０）。開閉の回数ｎが例えば５回のｎ_maxに達し
たかどうか判断する（Ｓ１１）。所定のｎ_maxに達する
と（Ｓ１１，ＹＥＳ）、排水用電磁開閉弁４４を所定時
間開き、ボイラ部２に溜まった液体を所定量排出すると
ともに、開閉の回数ｎをゼロにクリアする（Ｓ１２）。
このとき、給水用電磁開閉弁４３が作動し、排水用電磁
開閉弁４４による排水量に見合った給水が行われる。ス
トップボタン４６ｂが操作されない限り（Ｓ１３，Ｎ
Ｏ）、蒸発に見合った給水と、給水回数に応じた所定量
の排水を繰り返す（Ｓ６〜Ｓ１２）。ストップボタン４
６ｂが操作されると（Ｓ１３，ＹＥＳ）、ボイラ部２及
び過熱部３の電磁誘導加熱部が停止され（Ｓ１４）、給
水用電磁開閉弁４３が閉じるとともに、排水用電磁開閉
弁４４が開き、ボイラ部２内の液体の全部が排出される
（Ｓ１５）。

【００２１】図３及び図４は、他の蒸気製造装置を示
す。図３の蒸気製造装置１０１の過熱部１０３は、図１
の過熱部３と同じである。ただし、ボイラ部１０２は、
蒸発缶１１１をバーナの炎１１２で加熱して蒸気を発生
させるタイプになっている。蒸発缶１１１に対して、レ
ベル計ＬＣと給水用電磁開閉弁ＳＶ１と排水用電磁開閉
弁ＳＶ２が接続される構成は図１と同様である。図４の
蒸気製造装置２０１は過熱部がなく、ボイラ部２０２だ
けになっている。このボイラ部２０２は、蒸発缶２１１
内に電気抵抗式加熱のシーズヒータ２１２を配設するタ
イプになっている。蒸発管２１１に対して、レベル計Ｌ
Ｃと給水用電磁開閉弁ＳＶ１と排水用電磁開閉弁ＳＶ２
が接続される構成は図１と同様である。このような、蒸
発缶１１１，２１１のタイプにあっては、容量が比較的
小さいコンパクトタイプの場合、排水及び給水に時間が
かからず、運転しないときには、蒸発缶１１１，２１１
を空にしておくことができる。

【００２２】伝熱面積が大きくなるように多層積層構造
体で発熱体を構成すると、ボイラ部における液体の容量
が極端に少なくなり、排水及び給水が数十秒で終わり、
運転しないとき空にしても支障を生じることがない。こ
のような発熱体の構造を図５及び図６により説明する。
なお、発熱体の構造は、大きさが異なるものの、ボイラ
部２及び過熱部３で同じ形態のものを用いることが好ま
しい。

【００２３】図５の如くジグザグの山型に折り曲げられ
た第１金属板５３１と平たい第２金属板５３２とを交互
に積層し、全体として円筒状の積層体に形成したもので
ある。この第１金属板５３１や第２金属板５３２の材質
としては、ＳＵＳ４４７Ｊ１の如きマルテンサイト系ス
テンレスが用いられる。

【００２４】図６に示されるように、第１金属板５３１
の山（又は谷）５３３は中心軸５３４に対して角度αだ
け傾くように配設され、第２金属板５３２を挟んで隣り
合う第１金属板５３１の山（又は谷）５３３は交差する
ように配設されている。そして、隣り合う第１金属板５
３１における山（又は谷）５３３の交差点において、第
１金属板５３１と第２金属板５３２がスポット溶接で溶
着され、電気的に導通可能に接合されている。

【００２５】結局、手前側の第１金属板５３１と第２金
属板５３２との間には、角度αだけ傾いた第１小流路５
３５が形成され、第２金属板５３２と奥側の第１金属板
５３１との間には、角度−αだけ傾いた第２小流路５３
６が形成され、この第１小流路５３５と第２小流路５３
６は角度２×αで交差している。また、第１金属板５３
１や第２金属板５３２の表面には、流体の乱流を生じさ
せるための第３小流路としての孔５３７が設けられてい
る。さらに、第１金属板５３１や第２金属板５３２の表
面は平滑ではなく、梨地加工又はエンボス加工によって
微小な凹凸５３８が施されている。この凹凸５３８は山
（又は谷）５３３の高さに比較して無視できる程度に小
さい。

【００２６】励磁コイル１３，３３に高周波電流を流し
て、発熱体１２，３２に高周波磁界を作用させると、第
１金属板５３１と第２金属板５３２の全体に渦電流が生
じ、発熱体１２，３２が発熱する。このときの温度分布
は、第１金属板５３１と第２金属板５３２の長手方向に
延びた目玉型となり、周辺部より中心部の方が発熱し、
中央部を流れようとする流体（液体又は蒸気）の加熱に
有利になっている。

【００２７】また、図６のように、発熱体１２，３２内
には交差する第１小流路５３５と第２小流路５３６が形
成され、周辺と中央との拡散が行われ、加えて第３小通
路を形成する孔５３７の存在によって、第１小流路５３
５と第２小流路５３６間の厚み方向の拡散も行われる。
したがって、これらの小流路５３５，５３６，５３７に
よって発熱体１２，３２の全体にわたる流体（液体又は
蒸気）のマクロ的な分散、放散、揮散が生じる。加え
て、表面の微小な凹凸５３８によってミクロ的な拡散、
放散、揮散も生じる。その結果、発熱体１２，３２を通
過する流体（液体又は蒸気）は略均一な流れになって、
第１金属板５３１及び第２金属板５３２と流体との均一
な接触機会が得られる。その結果液体又は蒸気の均一な
加熱が確保される。

【００２８】ところで、金属板５３１，５３２の厚みが
３０ミクロン以上１ｍｍ以下であり、高周波電流発生器
による高周波電流の周波数が１５〜１５０ＫＨｚの範囲
にあるものが好ましい。金属板の厚みが３０ミクロン以
上１ｍｍ以下であると、電力が入り易く、又伝熱面積を
大きくとるための波形等の加工による小流路の確保が容
易になる。また、使用する周波数が１５ＫＨｚ〜１５０
ＫＨｚの範囲であると、励磁コイルの銅損や、スイッチ
ング素子の損失を防止できる。特に、損失が少ない周波
数帯としては、２０〜７０ＫＨｚである。また、発熱体
１２，３２の１立方センチメートル当たりの伝熱面積
が、２．５平方センチメートル以上であるものが好まし
い。発熱体１２，３２の１立方センチメートル当たりの
表面積が２．５平方センチメートル以上、より好ましく
は５平方センチメートル以上になるように金属板を積層
すると、熱交換の効率を上げることができる。また、発
熱体８の表面積１平方センチメートル当たりで加熱すべ
き流体量が、０．４立方センチメートル以下であるもの
が好ましい。発熱体１２，３２の表面積１平方センチメ
ートル当たりの流体量を０．４立方センチメートル以
下、より好ましくは０．１立方センチメートル以下にす
ると、流体に対する伝熱の急速応答性が得られる。

【００２９】上述した構造の発熱体による加熱において
は、電気エネルギーから熱エネルギーへの変換効率が９
２％と極めて高いことが確認されている。例えば、１０
０ｍｍ径、長さ２００ｍｍ、表面積２．２〜６．２ｍ²
の発熱体１２，３２を用いた場合、流体の膜厚（１ｃｍ
³当たりの水膜量）が０．５〜０．２ｍｍと極めて薄膜
状であり、発熱体１２，３２を構成する金属板５３１、
５３２も薄いため、温度差も極めて小さく、熱伝達を素
早く促進できる。したがって、過熱部３がコンパクトで
あっても、大量の過熱蒸気を発生させることが可能にな
る。

【００３０】図７乃至図１０は、電磁誘導加熱部に用い
られる他の発熱体を示す。図５及び図６の発熱体は加熱
効率に優れるが、これに限られるものではない。図７の
ように、金属板をクロスさせて断面が格子状となった筒
体の発熱体５０１であっても、電磁誘導加熱が可能で、
ボイラ部の液体量が少なくなる。図８のように、一枚の
金属板を相互間に隙間を有する程度のコイル状に巻いた
発熱体５０２であっても、電磁誘導加熱が可能で、ボイ
ラ部の液体量が少なくなる。図９のように、金属たわし
を詰めた発熱体５０３であっても、電磁誘導加熱が可能
で、ボイラ部の液体量が少なくなる。更に図１０のよう
に、導電性セラミックの筒体の軸方向に多数の貫通穴を
開口させた発熱体５０４であっても、電磁誘導加熱が可
能で、ボイラ部の液体量が少なくなる。

【００３１】なお、励磁コイル１３，３３は、リッツ線
を撚り合わせたものが好ましく、管体１１，３１の外周
に巻回されるか、又は管体の肉厚内に巻回して埋設され
る。管体１１，３１は、励磁コイル１３，３３を保持
し、流体通路を区画し、その通路内に発熱する発熱体１
２，３２を収納するものであるため、耐蝕性、耐熱性、
耐圧性があって非磁性体の材質で形成される。具体的に
は、セラミック等の無機質材料、ＦＲＰ（繊維強化プラ
スチック）、フッ素樹脂等の樹脂材料、ステンレス等の
非磁性金属等が用いられるが、セラミックが最も好まし
い。発熱体１２，３２には、強磁性体の導電性材料であ
って、且つ耐蝕性に優れたマルテンサイト系ステンレス
が好ましいが、これに限らない。非磁性又は弱磁性の導
電性材料であるＳＵＳ３０４であってもよいし、非磁性
の導電性材料である炭素又は炭素化合物（セラミック）
も使用可能である。

【００３２】また、図示例は、大気圧の過熱蒸気１００
％による非酸素雰囲気とすることができる装置であった
が、過熱蒸気に空気、窒素その他のガスを混ぜて、高温
渇き状態の混合ガスを得る装置とすることもできる。こ
の場合、図１のａ点に所定の加熱気体を吹き込む構造に
すればよい。更に、液体としての水を過熱蒸気にする場
合を説明したが、水以外の沸点を有する炭化水素類の液
体でも本装置が適用可能である。

【００３３】

【実施例】水道水からの蒸気発生量６．５ｋｇ／Ｈｒ
（定格時）、使用過熱蒸気温度２５０°Ｃ（定格時）の
能力を有する図１の蒸気製造装置を一日のうち数時間を
運転し、停止した後、翌日に数時間運転することを繰り
返した。

【００３４】毎日、運転の停止時に、ボイラ部内の水が
排出されるため、ボイラ部内の液体の不純物濃度が濃縮
されることなく、またボイラ部内の発熱体にスケールが
沈殿することがなかった。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よると、毎日運転の停止時にボイラ部が空になるとき
に、ボイラ部内で濃縮された不純物が排出されるため、
ボイラ部に特に濃度計等の制御機器を設けなくても、毎
日の運転を支障なく継続することができる。

【００３６】請求項２の発明によると、ボイラ部が空に
なった状態でも、スタートボタンを操作すると、自動的
にボイラ部に給水される。

【００３７】請求項３の発明によると、ボイラ部の連続
運転が続いたとしても、ボイラ内の液体が給水に応じて
排出されるため、長時間の運転が可能になる。

【００３８】請求項４の発明によると、発熱体として、
流体が分散、拡散、放散、揮散させられる形態のものを
使用することよって、極めて熱交換性が高くなって配管
途中に組み込めるので、コンパクトの機器構成で、大量
の蒸気を連続的に得ることが出来るとともに、ボイラ部
における流体量が少なくなって、ボイラ部の液体の全部
排出に要する時間や空から所定液面までの時間が短くて
済む。また、電磁誘導加熱によると、発熱体にスケール
の付着が殆どなく、長期間の運転でも、発熱体を点検又
は交換する必要がない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の蒸気製造装置の機器構成図である。

【図２】本発明の蒸気製造装置の運転のフロー図であ
る。

【図３】本発明の他の蒸気製造装置の機器構成図であ
る。

【図４】本発明の他の蒸気製造装置の機器構成図であ
る。

【図５】発熱体の全体斜視図である。

【図６】発熱体の詳細構造図である。

【図７】他の発熱体の構造図である。

【図８】他の発熱体の構造図である。

【図９】他の発熱体の構造図である。

【図１０】他の発熱体の構造図である。

【符号の説明】

１蒸気製造装置２ボイラ部４制御部１１管体１２発熱体１３励磁コイル１８給水系統１９排水系統４２レベル計（液面検出手段）４３第１電磁開閉弁（第１自動開閉弁）４４第２電磁開閉弁（第２自動開閉弁）４５コントローラ４６操作ボックス４６ａスタートボタン（始動のための操作手段）４６ｂストップボタン（停止のための操作手段）５３１第１金属板５３２第２金属板５３５第１小流路５３６第２小流路５３７第３小流路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液体を加熱して蒸気にするボイラ部と、
前記ボイラ部の液面を監視する液面検出手段と、前記ボ
イラ部に液体を供給する給水系統に設けられた第１自動
開閉弁と、前記ボイラ部内の液体を排出する排出系統に
設けられた第２自動開閉弁と、始動又は停止のための操
作手段を有し、前記液面検出手段の出力に基づいて前記
第１自動開閉弁の開閉を制御する制御部とを具え、前記
制御部は、停止のための操作手段が操作されると、前記
第１自動開閉弁を閉じるとともに、前記ボイラ部内の液
体を全部排出するように前記第２自動開閉弁を開くこと
を特徴とする蒸気製造装置。
【請求項２】前記制御部は、始動のための操作手段が
操作されると、前記第２自動開閉弁を閉じるとともに、
前記ボイラ部に所定量の液体を入れるために前記第１自
動開閉弁を開く請求項１記載の蒸気製造装置。
【請求項３】前記制御部は、前記液面検出手段の出力
に基づいて前記ボイラ部に補給のための給水を行う前記
第１自動開閉弁の開閉回数を計数し、所定の開閉回数に
達すると、前記第２自動開閉弁を所定時間開きボイラ部
に溜まった液体を所定量排出するとともに、前記第１自
動開閉弁を開いて排水量に見合った新たな給水を行う請
求項１又は２記載の蒸気製造装置。
【請求項４】前記ボイラ部は、管体と、前記管体に巻
回された励磁コイルと、前記励磁コイルにより発生する
磁界変化により発熱するとともに、多数の通路が形成さ
れた導電性材料の発熱体とからなる請求項１〜３のいず
れかに記載の熱蒸気製造装置。