JPH1193873A - Vacuum pump - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make a vacuum pump compact and to reduce the manufacturing cost with a simple structure. SOLUTION: This vacuum pump is provided with a casing 10 having a suction port and a discharge port and formed with a pump chamber 31 inside, rotor units 8, 9 having a driving rotor 8 and a driven rotor 9 stored in the pump chamber 31, timing gear units 4, 5 having a driving side timing gear 4 connected to the driving rotor 8 via a driving shaft 1 and a driven side timing gear 5 connected to the driven rotor 9 via a driven shaft 2, a first gear 6 meshed with a tooth section formed on the outer periphery of the driving side timing gear 4, and a drive motor 7 connected to the first gear 6 via the motor shaft 1 to drive the first gear 6.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、真空ポンプに関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum pump.

【０００２】[0002]

【従来の技術】真空ポンプの中で、ルーツ型ポンプ、ス
クリュー型ポンプ、クロー型ポンプは、全て一対あるい
は複数対のロータからなるロータユニットをタイミング
ギアユニットで同期回転させるものであり、例えば［わ
かりやすい真空技術」（日刊工業新聞社、６４頁〜７２
頁）に記載されている如きものがある。また、特開平７
−３０５６８９号公報には繭型ロータを使用した多段真
空ポンプが記載されている。2. Description of the Related Art Among vacuum pumps, a roots pump, a screw pump, and a claw pump all rotate a rotor unit composed of one or a plurality of pairs of rotors synchronously with a timing gear unit. Vacuum technology ”(Nikkan Kogyo Shimbun, pages 64 to 72)
P.). Also, Japanese Patent Application Laid-Open
Japanese Patent Publication No. 305689 discloses a multistage vacuum pump using a cocoon-shaped rotor.

【０００３】これら従来のロータを使用した真空ポンプ
の概略構成を図６に示す。図において、従来の真空ポン
プは、吸気口（図示せず）及び排気口（図示せず）を備
え内部にポンプ室３１を形成するケーシング１０と、ポ
ンプ室３１内に配置された駆動ロータ８及び従動ロータ
９とを備え駆動ロータ８と従動ロータ９が同期回転する
ことにより前記吸気口側の流体を前記排気口側に送り込
むロータユニット８、９と、駆動軸１により駆動ロータ
８に連結した駆動側タイミングギア４及び従動軸２によ
り従動ロータ９に連結した従動側タイミングギア５を備
え駆動ロータ８と従動ロータ９とを同期回転させるタイ
ミングギアユニット４、５と、駆動軸１の一端に連結す
るとともに駆動モータ７のモータ軸２５の一端にも連結
し内部に弾性吸収機構が形成されたカップリング２４と
を備えるものである。FIG. 6 shows a schematic configuration of a vacuum pump using these conventional rotors. In the figure, a conventional vacuum pump includes a casing 10 having an intake port (not shown) and an exhaust port (not shown) and forming a pump chamber 31 therein, a driving rotor 8 disposed in the pump chamber 31 and A rotor unit provided with a driven rotor, for sending the fluid on the intake port side to the exhaust port side by the synchronous rotation of the drive rotor and the driven rotor, and a drive connected to the drive rotor by a drive shaft; A timing gear unit provided with a driven side timing gear connected to a driven rotor by a side timing gear and a driven shaft, and connected to one end of the drive shaft; And a coupling 24 connected to one end of a motor shaft 25 of the drive motor 7 and having an elastic absorption mechanism formed therein.

【０００４】そして、駆動モータ７が駆動することによ
りその回転駆動力がモータ軸２５、カップリング２４、
駆動軸１にそれぞれ伝達されて駆動ロータ８が回転する
とともに、駆動軸１に連結した駆動側タイミングギア４
の外周に形成された歯部が従動側タイミングギア５の外
周に形成された歯部と噛合っているので、回転駆動力は
駆動側タイミングギア４から従動側タイミングギア５
に、さらに従動軸２を経て従動ロータ９に伝達され、駆
動ロータ８及び従動ロータ９が同期回転する。[0004] When the drive motor 7 is driven, its rotational driving force is changed to a motor shaft 25, a coupling 24,
The driving rotor 8 is rotated by being transmitted to the driving shaft 1, and the driving timing gear 4 connected to the driving shaft 1 is rotated.
The teeth formed on the outer circumference of the driven gear mesh with the teeth formed on the outer circumference of the driven side timing gear 5, so that the rotational driving force is transmitted from the driven side timing gear 4 to the driven side timing gear 5.
Is further transmitted to the driven rotor 9 via the driven shaft 2, and the drive rotor 8 and the driven rotor 9 rotate synchronously.

【０００５】このとき、出力軸２５と駆動軸１との軸方
向のずれは、内部に弾性吸収機構が形成されたカップリ
ング２４で吸収される。このため駆動軸１及び従動軸２
を軸支するベアリング等に偏荷重が作用することを防止
しているものである。At this time, the axial displacement between the output shaft 25 and the drive shaft 1 is absorbed by the coupling 24 in which an elastic absorption mechanism is formed. Therefore, the driving shaft 1 and the driven shaft 2
This prevents an eccentric load from acting on a bearing or the like that supports the shaft.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記説
明した従来技術では、駆動モータの駆動により回転する
モータ軸と駆動軸とをカップリング部材で連結している
ので、これらの軸方向長さが増大することでポンプの全
長が長くなり、スペース的に不利であるという問題があ
る。また、モータ軸と駆動軸との間に、内部に弾性吸収
機構を収容したカップリングを構成しなければならず、
構造が複雑になるとともに製造費用も増大するという問
題がある。However, in the above-described prior art, the motor shaft rotated by driving the drive motor and the drive shaft are connected by the coupling member, so that their axial lengths are increased. This increases the overall length of the pump, which is disadvantageous in terms of space. Further, between the motor shaft and the drive shaft, it is necessary to constitute a coupling containing an elastic absorption mechanism inside,
There is a problem that the structure becomes complicated and the manufacturing cost increases.

【０００７】故に、本発明は、上記実情に鑑みてなされ
たものであり、真空ポンプにおいて、コンパクト化を図
り、かつ簡素な構成で製造コストを低減させることを技
術的課題とするものである。[0007] Therefore, the present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its technical object to reduce the manufacturing cost of a vacuum pump with a simple structure.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】上記した技術的課題を解
決するためになされた請求項１の発明は、吸気口及び排
気口を備え内部に該吸気口及び該排気口が連通するポン
プ室を形成するケーシングと、前記ポンプ室内に配置さ
れた駆動ロータ及び従動ロータとを備え前記駆動ロータ
と前記従動ロータが同期回転することにより前記吸気口
側の流体を前記排気口側に送り込むロータユニットと、
前記駆動ロータに駆動軸で連結した駆動側タイミングギ
ア及び前記従動ロータに従動軸で連結した従動側タイミ
ングギアを備え前記駆動ロータと前記従動ロータとを同
期回転させるタイミングギアユニットと、を備えたポン
プユニットと、前記駆動側タイミングギアの外周に形成
された歯部に噛合されて配置された第１ギアと、前記第
１ギアに連結され該第１ギアを回転駆動させる駆動手段
とを備えた真空ポンプとしたことである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a pump chamber having an intake port and an exhaust port, wherein the pump chamber communicates with the intake port and the exhaust port. A casing that forms, a rotor unit that includes a drive rotor and a driven rotor disposed in the pump chamber, and that sends the fluid on the intake port side to the exhaust port side by synchronously rotating the drive rotor and the driven rotor;
A pump comprising: a drive-side timing gear connected to the drive rotor by a drive shaft; and a driven-side timing gear connected to the driven rotor by a driven shaft; and a timing gear unit for synchronously rotating the drive rotor and the driven rotor. A vacuum, comprising: a unit; a first gear meshed with a tooth formed on the outer periphery of the driving timing gear; and a driving unit connected to the first gear and configured to rotationally drive the first gear. It is a pump.

【０００９】上記発明によれば、駆動手段の駆動により
第１ギアが回転駆動すると、外周に形成された歯部で該
第１ギアと噛合している駆動側タイミングギアに駆動力
が伝達され、さらにこの駆動力は駆動軸から駆動ロータ
に伝達される。このような伝達経路で回転駆動力が伝達
され、駆動側タイミングギア、駆動軸、及び駆動ロータ
が一体回転する。このように、駆動側タイミングギア
は、その外周に形成された歯部から回転駆動力が伝達さ
れるものである。According to the invention, when the first gear is rotationally driven by the driving of the driving means, the driving force is transmitted to the driving timing gear meshed with the first gear by the teeth formed on the outer periphery, Further, the driving force is transmitted from the driving shaft to the driving rotor. The rotational drive force is transmitted through such a transmission path, and the drive-side timing gear, the drive shaft, and the drive rotor rotate integrally. As described above, the driving-side timing gear receives the rotational driving force from the teeth formed on the outer periphery thereof.

【００１０】従って、駆動手段の回転軸心と駆動側タイ
ミングギアの回転軸心とのずれを考慮せずとも、回転駆
動力のみが駆動側タイミングギアに伝達され、駆動側タ
イミングギアと駆動ロータを連結する駆動軸に偏荷重が
作用することなく駆動ロータが回転するものである。Therefore, only the rotational driving force is transmitted to the drive-side timing gear without considering the deviation between the rotational axis of the drive means and the rotational axis of the drive-side timing gear, and the drive-side timing gear and the drive rotor are connected. The drive rotor rotates without an eccentric load acting on the connected drive shaft.

【００１１】よって、従来の真空ポンプのようにカップ
リングを使用することなく真空ポンプを構成でき、真空
ポンプのコンパクト化、及び、構成の簡素化が達成でき
るとともに、製造コストも低減できるものである。Therefore, unlike the conventional vacuum pump, the vacuum pump can be configured without using a coupling, so that the vacuum pump can be made compact and the configuration can be simplified, and the manufacturing cost can be reduced. .

【００１２】また、上記技術的課題を解決するにあた
り、請求項２の発明のように、前記第１ギアは前記駆動
手段の出力軸に連結されていることが好ましい。In order to solve the above technical problem, it is preferable that the first gear is connected to an output shaft of the driving means.

【００１３】これによれば、第１ギアを直接駆動手段の
出力軸に連結することにより、さらなるコンパクト化が
達成できるとともに、連結部品が必要ないので、構成の
簡素化、製造コストの低減にも寄与するものである。According to this, by connecting the first gear directly to the output shaft of the driving means, further compactness can be achieved, and no connecting parts are required, so that the structure can be simplified and the manufacturing cost can be reduced. It will contribute.

【００１４】また、上記技術的課題を解決するにあた
り、請求項３の発明のように、前記駆動側タイミングギ
アの回転軸心及び前記従動側タイミングギアの回転軸心
並びに前記第１ギアの回転軸心が略同一直線上に配置さ
れるように前記駆動側タイミングギア及び前記従動側タ
イミングギア並びに前記第１ギアが配置されてなること
が好ましい。According to another aspect of the present invention, a rotary shaft of the driving timing gear, a rotary shaft of the driven timing gear, and a rotary shaft of the first gear are provided. It is preferable that the driving-side timing gear, the driven-side timing gear, and the first gear are arranged such that their centers are arranged on substantially the same straight line.

【００１５】これによれば、３つの回転軸心が直線上に
あることから、この軸心の位置を決めるケーシング側の
加工が容易になるので、製造コストが低減できるもので
ある。According to this, since the three rotation axes are on a straight line, the processing on the casing side for determining the position of the axes is facilitated, so that the manufacturing cost can be reduced.

【００１６】より好ましくは、請求項４の発明のよう
に、前記駆動側タイミングギアの回転軸心及び前記従動
側タイミングギアの回転軸心並びに前記第１ギアの回転
軸心を通る直線は水平面に対して平行であることを特徴
とする真空ポンプとすることである。More preferably, a straight line passing through the rotation axis of the driving-side timing gear, the rotation axis of the driven-side timing gear, and the rotation axis of the first gear is in a horizontal plane. A vacuum pump is characterized by being parallel to the vacuum pump.

【００１７】これによれば、複数のポンプを上下方向に
容易に連結させることが可能で、面積的にコンパクトと
なり、特に設置面積に制限がある所で使用する場合に有
利である。According to this, a plurality of pumps can be easily connected in the up-down direction, the area becomes compact, and it is particularly advantageous when used in a place where the installation area is limited.

【００１８】また、請求項５の発明のように、前記駆動
側タイミングギアの回転軸心及び前記従動側タイミング
ギアの回転軸心並びに前記第１ギアの回転軸心を通る直
線は水平面に対して鉛直であることを特徴とする真空ポ
ンプとしてもよい。According to a fifth aspect of the present invention, a straight line passing through the rotation axis of the driving-side timing gear, the rotation axis of the driven-side timing gear, and the rotation axis of the first gear is defined with respect to a horizontal plane. A vacuum pump characterized by being vertical may be used.

【００１９】これによれば、複数のポンプを横方向に容
易に連結させることが可能で、高さ的にコンパクトとな
り、特に設置場所に高さの制限がある所で使用する場合
に有利である。According to this, it is possible to easily connect a plurality of pumps in the lateral direction, and it is compact in height, which is advantageous particularly when the pump is used in a place where the height of the installation place is limited. .

【００２０】また、請求項６の発明は、前記真空ポンプ
は複数のロータユニット及び複数のタイミングギアユニ
ットを備え、前記各タイミングギアユニットの駆動側タ
イミングギアは前記第１ギアを介して前記駆動手段に連
結することを特徴とする真空ポンプである。According to a sixth aspect of the present invention, the vacuum pump includes a plurality of rotor units and a plurality of timing gear units, and a driving-side timing gear of each of the timing gear units is connected to the driving means via the first gear. A vacuum pump characterized by being connected to a vacuum pump.

【００２１】これによれば、１つの駆動手段により１つ
の第１ギアを介して複数個のロータユニットを駆動でき
るので、コンパクトで簡素な構成となり、製造コストを
低減することができるものである。According to this, since a plurality of rotor units can be driven by one driving means via one first gear, a compact and simple configuration can be obtained, and the manufacturing cost can be reduced.

【００２２】この場合、より好ましくは、請求項７の発
明のように、少なくとも１つの前記駆動側タイミングギ
アは第２ギアを介して前記第１ギアに連結されているこ
とを特徴とする真空ポンプとすることである。In this case, it is more preferable that at least one of the drive-side timing gears is connected to the first gear via a second gear, as in the invention of claim 7. It is to be.

【００２３】これによれば、ロータユニットの回転方向
を反対にできるので、複数のポンプの流体の流れの方向
を同一方向にすることができるものである。According to this, since the rotation direction of the rotor unit can be reversed, the directions of the fluid flows of the plurality of pumps can be made the same.

【００２４】[0024]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る実施の形態を
図面に基づいて説明する。尚、従来技術で説明した部分
と同一部分については同一符号で示す。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The same parts as those described in the related art are denoted by the same reference numerals.

【００２５】（第１実施形態例）図１は、本発明の第１
実施形態例である真空ポンプの縦断面図、図２は横断面
図である。図において、本例に示す真空ポンプは、吸気
口１１及び排気口１２を備え内部に該吸気口１１及び該
排気口１２が連通するポンプ室３１を形成するケーシン
グ１０と、ポンプ室３１内に配置された駆動ロータ８及
び従動ロータ９とを備え駆動ロータ８と従動ロータ９が
同期回転することにより吸気口１１側の流体を排気口１
２側に送り込むロータユニット８、９と、駆動ロータ８
に駆動軸１で連結した駆動側タイミングギア４及び従動
ロータ９に従動軸２で連結した従動側タイミングギア５
を備え駆動ロータ８と従動ロータ９とを同期回転させる
タイミングギアユニット４、５と、駆動側タイミングギ
ア４の外周に形成された歯部に噛合わされて配置された
第１ギア６と、第１ギア６に出力軸であるモータ軸１で
連結され該第１ギア６を回転駆動させる駆動モータ７と
を備えたものである。(First Embodiment) FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a vacuum pump according to an embodiment, and FIG. 2 is a transverse sectional view. In the figure, a vacuum pump shown in the present example has an intake port 11 and an exhaust port 12 and a casing 10 in which a pump chamber 31 communicating with the intake port 11 and the exhaust port 12 is formed. The driven rotor 8 and the driven rotor 9 are provided, and the drive rotor 8 and the driven rotor 9 are rotated synchronously so that the fluid on the intake port 11 side is discharged to the exhaust port 1.
Rotor units 8 and 9 to be fed to the second side, and drive rotor 8
And a driven-side timing gear 4 connected to the driven shaft 9 by a driven shaft 2 and a driven-side timing gear 5 connected to the driven rotor 9 by a driven shaft 2.
A timing gear unit 4, 5 for synchronously rotating the driving rotor 8 and the driven rotor 9; a first gear 6 meshed with a tooth formed on the outer periphery of the driving timing gear 4; A drive motor 7 is connected to the gear 6 by the motor shaft 1 as an output shaft and drives the first gear 6 to rotate.

【００２６】図１に示すように、ケーシング１０は、そ
の内部に３つの室を収容するように構成されている。図
において左側に配置する室がポンプ室３１、その右側の
細長い室がタイミングギア室４１、右側に配置する室が
駆動室５１である。As shown in FIG. 1, the casing 10 is configured to house three chambers therein. In the figure, the chamber arranged on the left side is the pump chamber 31, the elongated chamber on the right side is the timing gear chamber 41, and the chamber arranged on the right side is the drive chamber 51.

【００２７】ポンプ室３１には、図１及び図２からわか
るように、繭型筒状に形成された駆動ロータ８及び従動
ロータ９が収納されている。駆動ロータ８は、図２にお
ける繭型の駆動ロータ８の図心位置に駆動軸１が固設さ
れている。この駆動軸１は、図１における駆動ロータ８
の筒高さ方向（図示左右方向）に該駆動ロータ８を貫通
するようにその両端が突出して設けられており、駆動軸
１の両端はケーシング１０の図示左側内壁に形成された
有底孔１０ａ及びケーシング１０の図示右側内壁に形成
されポンプ室３１とタイミングギア室４１とを連通する
貫通孔１０ｃにベアリングを介して軸支されている。同
様に、従動ロータ９は、図２における繭型の従動ロータ
９の図心位置に従動軸２が固設されている。この従動軸
２は、図１における従動ロータ９の筒高さ方向（図示左
右方向）に該従動ロータ９を貫通するようにその両端が
突出して設けられており、従動軸２の両端はケーシング
１０の図示左側内壁に形成された有底孔１０ｂ及びケー
シング１０の図示右側内壁に形成されポンプ室３１とタ
イミングギア室４１とを連通する貫通孔１０ｄにベアリ
ングを介して軸支されているものである。As can be seen from FIGS. 1 and 2, the pump chamber 31 accommodates a drive rotor 8 and a driven rotor 9 formed in a cocoon-shaped cylindrical shape. The drive shaft 1 is fixed to the drive rotor 8 at the center of the cocoon-shaped drive rotor 8 in FIG. The drive shaft 1 is connected to a drive rotor 8 shown in FIG.
The two ends of the drive shaft 1 are provided so as to penetrate the drive rotor 8 in the cylinder height direction (left and right directions in the figure). In addition, the casing 10 is rotatably supported via a bearing in a through hole 10c formed in the inner wall on the right side in the drawing and communicating the pump chamber 31 and the timing gear chamber 41. Similarly, in the driven rotor 9, the driven shaft 2 is fixedly mounted on the center of the cocoon-shaped driven rotor 9 in FIG. The driven shaft 2 has both ends protruding so as to penetrate the driven rotor 9 in the cylinder height direction (left and right directions in the drawing) of the driven rotor 9 in FIG. Of the casing 10 and a through hole 10d formed in the right inner wall of the casing 10 and communicating the pump chamber 31 and the timing gear chamber 41 via a bearing. .

【００２８】タイミングギア室４１には第１ギア６、駆
動側タイミングギア４、従動側タイミングギア５の３つ
のギアが収納されている。各ギアの外周には歯部が形成
されており、これらの歯部を介して第１ギア６は駆動側
タイミングギア４に噛合わされ、駆動側タイミングギア
４は従動側タイミングギア５に噛合わされている。ま
た、駆動側タイミングギア４の回転軸心部分には貫通孔
１０ｃからタイミングギア室４１へ突出した駆動軸１の
端部が連結固定され、従動側タイミングギア５の回転軸
心部分には貫通孔１０ｄからタイミングギア室４１へ突
出した従動軸２の端部が連結固定されているものであ
る。In the timing gear chamber 41, three gears of a first gear 6, a driving timing gear 4, and a driven timing gear 5 are housed. Teeth are formed on the outer periphery of each gear, and the first gear 6 is meshed with the driving timing gear 4 via these teeth, and the driving timing gear 4 is meshed with the driven timing gear 5. I have. Further, an end of the drive shaft 1 protruding from the through hole 10 c to the timing gear chamber 41 is fixedly connected to a rotation axis of the drive side timing gear 4, and a through hole is formed in the rotation axis of the driven side timing gear 5. The end of the driven shaft 2 protruding from 10d into the timing gear chamber 41 is connected and fixed.

【００２９】駆動室５１には駆動モータ７が収納配置さ
れている。また、駆動室５１とタイミングギア室４１と
は連通孔２４で連通されており、この連通孔２４に駆動
モータ７のモータ軸３が挿通されて、タイミングギア室
４１内の第１ギアの回転軸心部分に連結固定されている
ものである。The drive chamber 7 houses the drive motor 7. The drive chamber 51 and the timing gear chamber 41 communicate with each other through a communication hole 24. The motor shaft 3 of the drive motor 7 is inserted into the communication hole 24, and the rotation shaft of the first gear in the timing gear chamber 41 is rotated. It is connected and fixed to the core.

【００３０】図２に示すように、ポンプ室３１は、図示
左側に吸気口１１が、図示右側に排気口１２が連通され
た断面略楕円状を呈している。略楕円状のポンプ室３１
内には繭型の駆動ロータ８及び従動ロータ９からなるロ
ータユニット８、９が配置され、駆動ロータ８と従動ロ
ータ９とは互いに位相をずらせた状態とされているもの
である。As shown in FIG. 2, the pump chamber 31 has a substantially elliptical cross section in which the intake port 11 communicates with the left side in the figure and the exhaust port 12 communicates with the right side in the figure. Substantially elliptical pump chamber 31
Rotor units 8 and 9 each including a cocoon-shaped drive rotor 8 and a driven rotor 9 are arranged therein, and the drive rotor 8 and the driven rotor 9 are out of phase with each other.

【００３１】また、図より明らかなように、駆動側タイ
ミングギア４の回転軸心及び従動側タイミングギア５の
回転軸心並びに第１ギア６の回転軸心が略同一直線上に
配置されるように、つまり、図１から見て駆動軸１、従
動軸２、モータ軸３は略同一直線上に配置されるように
各ギアが配置している。As is apparent from the drawing, the rotation axis of the driving-side timing gear 4, the rotation axis of the driven-side timing gear 5, and the rotation axis of the first gear 6 are arranged on substantially the same straight line. In other words, the gears are arranged such that the drive shaft 1, the driven shaft 2, and the motor shaft 3 are substantially co-linear when viewed from FIG.

【００３２】上記構成の真空ポンプにおいて、以下にそ
の作動について説明する。The operation of the above-structured vacuum pump will be described below.

【００３３】まず、駆動モータ７が駆動する。すると、
駆動モータ７のモータ軸３が回転駆動し、この回転駆動
力はモータ軸３に連結された第１ギア６に伝達され、第
１ギアが回転駆動する。第１ギア６は、外周に形成され
た歯部で駆動側タイミングギア４に噛合わされているの
で、回転駆動力はこの駆動側タイミングギア４に伝達さ
れ、駆動側タイミングギア４が第１ギアとは逆方向に回
転駆動する。駆動側タイミングギア４が回転駆動するこ
とにより、該駆動側タイミングギア４に連結された駆動
ロータ軸１及び、該駆動ロータ軸１に連結固定された駆
動ロータ８に駆動力が伝達され、これらは一体に回転す
る。一方、駆動側タイミングギア４は、外周に形成され
た歯部で従動側タイミングギア５に噛合わされているの
で、回転駆動力は駆動側タイミングギア４から従動側タ
イミングギア５にも伝達され、従動側タイミングギア５
が駆動側タイミングギア４とは逆方向に回転駆動する。
従動側タイミングギア５が回転駆動することにより、該
従動側タイミングギア５に連結された従動軸２及び、該
従動軸２に連結固定された従動ロータ９に駆動力が伝達
され、これらは一体に回転するものである。First, the drive motor 7 is driven. Then
The motor shaft 3 of the drive motor 7 is rotationally driven, and the rotational driving force is transmitted to the first gear 6 connected to the motor shaft 3, and the first gear is rotationally driven. Since the first gear 6 is meshed with the drive-side timing gear 4 at the teeth formed on the outer periphery, the rotational driving force is transmitted to the drive-side timing gear 4, and the drive-side timing gear 4 is connected to the first gear. Are driven to rotate in the opposite direction. When the driving timing gear 4 is rotationally driven, a driving force is transmitted to the driving rotor shaft 1 connected to the driving timing gear 4 and the driving rotor 8 connected and fixed to the driving rotor shaft 1. They rotate together. On the other hand, since the drive-side timing gear 4 is meshed with the driven-side timing gear 5 by teeth formed on the outer periphery, the rotational driving force is also transmitted from the drive-side timing gear 4 to the driven-side timing gear 5, and Side timing gear 5
Are driven to rotate in the direction opposite to the drive-side timing gear 4.
When the driven timing gear 5 rotates, a driving force is transmitted to the driven shaft 2 connected to the driven timing gear 5 and the driven rotor 9 connected and fixed to the driven shaft 2, and these are integrally formed. It rotates.

【００３４】上記のようにしてポンプ室３１内の駆動ロ
ータ８及び従動ロータ９がそれぞれ逆方向に回転する
が、このときの駆動ロータ８の回転速度と従動ロータ９
の回転速度は、駆動側タイミングギア４と従動側タイミ
ングギア５との噛合いによって同期されているので、両
者は同一回転速度でそれぞれ逆方向に回転する。上記説
明したロータの回転によって、吸気口１１側のポンプ室
３１内の流体は排気口１２側に送り込まれる。従って、
吸気口１１側に真空室を連結し、排気口１２側を大気開
放しておけば、真空室内の流体は大気に放出されて真空
状態を実現することができるものである。As described above, the driving rotor 8 and the driven rotor 9 in the pump chamber 31 rotate in opposite directions, respectively, and the rotation speed of the driving rotor 8 and the driven rotor 9
Are synchronized by the meshing of the drive-side timing gear 4 and the driven-side timing gear 5, so that both rotate in the opposite direction at the same rotation speed. By the rotation of the rotor described above, the fluid in the pump chamber 31 on the intake port 11 side is sent to the exhaust port 12 side. Therefore,
If a vacuum chamber is connected to the intake port 11 side and the exhaust port 12 side is open to the atmosphere, the fluid in the vacuum chamber is released to the atmosphere and a vacuum state can be realized.

【００３５】従来の真空ポンプでは、駆動モータの出力
軸と駆動軸とは、軸方向に配設されたカップリングを介
して連結されている。このカップリングは内部に弾性吸
収機構が形成され、モータの出力軸心と駆動軸の軸心と
のずれを該弾性吸収機構で吸収せしめ、両軸心のずれに
より発生する偏荷重が駆動軸を軸支するベアリング及び
モータの出力軸を軸支するベアリングにかかることを防
止するものである。つまり、従来の真空ポンプにおける
駆動伝達方式は、駆動源の出力軸からの回転駆動力を、
被駆動側である駆動軸に、該駆動軸の回転軸心方向から
伝達させる方式であるため、出力軸心と駆動軸の回転軸
心との軸心ずれを吸収するカップリングが不可欠であ
る。これに対し、本例では、駆動モータ７のモータ軸３
に連結した第１ギア６と駆動側タイミングギア４とが、
夫々外周に形成された歯部で噛合っているおり、両者の
噛合いによりモータ軸３からの回転駆動力が駆動タイミ
ングギア４に伝達される。即ち、本例の真空ポンプにお
ける駆動伝達方式は、駆動モータ７のモータ軸３からの
回転駆動力を、被駆動側である駆動タイミングギア４
に、第１ギア６を介して該駆動タイミングギアの外周方
向から伝達させる方式であるため、モータ軸３と駆動側
タイミングギア４の回転軸心とのずれを気にすることな
く回転力のみを伝達することができるものである。In the conventional vacuum pump, the output shaft of the drive motor and the drive shaft are connected via a coupling arranged in the axial direction. This coupling has an elastic absorption mechanism formed inside, and the deviation between the output axis of the motor and the axis of the drive shaft is absorbed by the elastic absorption mechanism. It is intended to prevent the bearing on the bearing that supports the output shaft of the motor. In other words, the drive transmission method in the conventional vacuum pump uses the rotational drive force from the output shaft of the drive source,
Since the transmission is performed to the driven shaft on the driven side from the direction of the rotation axis of the drive shaft, a coupling that absorbs a deviation between the output axis and the rotation axis of the drive shaft is indispensable. On the other hand, in this example, the motor shaft 3 of the drive motor 7 is
The first gear 6 and the drive-side timing gear 4 connected to the
The respective teeth are meshed with each other on the outer periphery, and the rotational driving force from the motor shaft 3 is transmitted to the drive timing gear 4 by the meshing of the two. That is, in the drive transmission system of the vacuum pump of this embodiment, the rotational drive force from the motor shaft 3 of the drive motor 7 is transmitted to the drive timing gear 4 on the driven side.
In addition, since the transmission is performed from the outer peripheral direction of the drive timing gear via the first gear 6, only the rotational force can be obtained without worrying about the displacement between the motor shaft 3 and the rotational axis of the drive side timing gear 4. It can be transmitted.

【００３６】以上説明したように、本例によれば、吸気
口１１及び排気口１２を備え内部に該吸気口１１及び該
排気口１２が連通するポンプ室３１を形成するケーシン
グ１０と、ポンプ室３１内に配置された駆動ロータ８及
び従動ロータ９とを備え駆動ロータ８と従動ロータ９が
同期回転することにより吸気口１１側の流体を排気口１
２側に送り込むロータユニット８、９と、駆動ロータ８
に駆動軸１で連結した駆動側タイミングギア４及び従動
ロータ９に従動軸２で連結した従動側タイミングギア５
を備え駆動ロータ８と従動ロータ９とを同期回転させる
タイミングギアユニット４、５と、駆動側タイミングギ
ア４の外周に形成された歯部に噛合わされて配置された
第１ギア６と、第１ギア６に出力軸であるモータ軸１で
連結され該第１ギア６を回転駆動させる駆動モータ７と
を備えた真空ポンプとしたので、駆動側タイミングギア
４は、その外周に形成された歯部から回転駆動力が伝達
される。従って、駆動モータ７のモータ軸３の回転軸心
と駆動側タイミングギア４の回転軸心とのずれを考慮せ
ずとも、回転駆動力のみが駆動側タイミングギア４に伝
達され、駆動側タイミングギア４と駆動ロータ８を連結
する駆動軸１に偏荷重が作用することなく駆動ロータ８
が回転するものである。よって、従来の真空ポンプのよ
うにカップリングを使用することなく真空ポンプを構成
でき、真空ポンプのコンパクト化、及び、構成の簡素化
が達成できるとともに、製造コストも低減できるもので
ある。As described above, according to the present embodiment, the casing 10 having the intake port 11 and the exhaust port 12 and forming therein the pump chamber 31 in which the intake port 11 and the exhaust port 12 communicate with each other, The drive rotor 8 and the driven rotor 9 are disposed in the inside 31 and the drive rotor 8 and the driven rotor 9 are rotated synchronously so that the fluid on the intake port 11 side is discharged to the exhaust port 1.
Rotor units 8 and 9 to be fed to the second side, and drive rotor 8
And a driven-side timing gear 4 connected to the driven shaft 9 by a driven shaft 2 and a driven-side timing gear 5 connected to the driven rotor 9 by a driven shaft 2.
A timing gear unit 4, 5 for synchronously rotating the driving rotor 8 and the driven rotor 9; a first gear 6 meshed with a tooth formed on the outer periphery of the driving timing gear 4; Since the vacuum pump includes a drive motor 7 that is connected to the gear 6 by the motor shaft 1 that is an output shaft and that drives the first gear 6 to rotate, the drive-side timing gear 4 has tooth portions formed on the outer periphery thereof. The rotational driving force is transmitted from the motor. Therefore, only the rotational driving force is transmitted to the drive-side timing gear 4 without considering the difference between the rotation axis of the motor shaft 3 of the drive motor 7 and the rotation axis of the drive-side timing gear 4, and the drive-side timing gear The drive rotor 8 does not act on the drive shaft 1 connecting the drive rotor 4 and the drive rotor 8 with an unbalanced load.
Rotates. Therefore, a vacuum pump can be configured without using a coupling unlike a conventional vacuum pump, so that the vacuum pump can be made compact and the configuration can be simplified, and the manufacturing cost can be reduced.

【００３７】また、第１ギア６は駆動モータのモータ軸
３に直接連結されているので、さらなるコンパクト化が
達成できるとともに、連結部品が必要ないので、構成の
簡素化、製造コストの低減にも寄与するものである。Further, since the first gear 6 is directly connected to the motor shaft 3 of the drive motor, further compactness can be achieved, and no connecting parts are required, so that the structure can be simplified and the manufacturing cost can be reduced. It will contribute.

【００３８】また、駆動側タイミングギア４の回転軸心
及び従動側タイミングギア５の回転軸心並びに第１ギア
３の回転軸心が略同一直線上に配置されるように駆動側
タイミングギア４及び従動側タイミングギア５並びに第
１ギア６が配置されているので、これらの軸心の位置を
決めるケーシング側の加工が容易になり、製造コストを
低減することができるものである。The drive timing gear 4 and the drive timing gear 4 are arranged such that the rotation axis of the drive timing gear 4, the rotation axis of the driven gear 5, and the rotation axis of the first gear 3 are arranged substantially on the same straight line. Since the driven-side timing gear 5 and the first gear 6 are arranged, machining on the casing side for determining the position of these axes is facilitated, and the manufacturing cost can be reduced.

【００３９】（第２実施形態例）次に、本発明の第２実
施形態例について図３に基づいて説明する。図３は、本
例における真空ポンプを示す図である。図において、本
例は真空ポンプを４個直列に接続し、２列２段に構成し
た多段式真空ポンプである。図示せぬ真空室は導管１７
により第１ポンプ１３の吸気口に連通される。第１ポン
プ１３の排気口と第２ポンプ１４の吸気口は導管１８に
より連通され、第２ポンプ１４の排気口と第３ポンプの
吸気口はＵ字状の導管１９により連通され、第３ポンプ
の排気と第４ポンプの吸気口は導管２０により連通さ
れ、第４ポンプの排気口は導管２１で大気に開放されて
いるものである。(Second Embodiment) Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a diagram showing a vacuum pump in the present example. In the figure, this example is a multistage vacuum pump in which four vacuum pumps are connected in series and configured in two rows and two stages. A vacuum chamber (not shown) has a conduit 17.
Thereby, it communicates with the intake port of the first pump 13. The exhaust port of the first pump 13 and the intake port of the second pump 14 are communicated by a conduit 18, the exhaust port of the second pump 14 and the intake port of the third pump are communicated by a U-shaped conduit 19, and the third pump The exhaust of the fourth pump is communicated with the intake of the fourth pump by a conduit 20, and the exhaust of the fourth pump is opened to the atmosphere by a conduit 21.

【００４０】各ポンプの詳細な構造は上記第１実施形態
例で説明したものと同一であるので、その説明を省略す
る。The detailed structure of each pump is the same as that described in the first embodiment, and a description thereof will be omitted.

【００４１】また、いずれのポンプも、駆動側タイミン
グギア４の回転軸心、従動側タイミングギア５の回転軸
心、第１ギア６の回転軸心を通る直線は、水平面（図示
左右方向）に対して平行となるようにされているもので
ある。In each of the pumps, a straight line passing through the rotation axis of the driving-side timing gear 4, the rotation axis of the driven-side timing gear 5, and the rotation axis of the first gear 6 is in a horizontal plane (left-right direction in the drawing). It is designed to be parallel to this.

【００４２】上記構成の多段真空ポンプにおいて、各ポ
ンプを駆動させると、各ポンプのロータが所定の回転数
で回転する。そして、図示せぬ真空室内の流体はまず第
１ポンプ１３により導管１７から導管１８に入る。導管
１８内の流体は第２ポンプ１４により導管１９に入り、
さらに第３ポンプ１５によって導管２０へ、導管２０か
ら第４ポンプ１６によって導管２１に、導管２１から大
気に放出される。このようにして順次真空室内の流体が
外部に運び込まれ、真空室内を真空にすることができる
ものである。In the multi-stage vacuum pump having the above configuration, when each pump is driven, the rotor of each pump rotates at a predetermined rotation speed. Then, the fluid in the vacuum chamber (not shown) first enters the conduit 18 from the conduit 17 by the first pump 13. The fluid in conduit 18 enters conduit 19 by second pump 14 and
It is further discharged to the conduit 20 by the third pump 15, from the conduit 20 to the conduit 21 by the fourth pump 16, and from the conduit 21 to the atmosphere. In this way, the fluid in the vacuum chamber is successively carried outside, and the vacuum chamber can be evacuated.

【００４３】本例によれば、駆動側タイミングギア４の
回転軸心及び従動側タイミングギア５の回転軸心並びに
第１ギア６の回転軸心を通る直線は水平面に対して平行
であるので、複数のポンプを上下方向に容易に連結させ
ることが可能で、面積的にコンパクトとなり、特に設置
面積に制限がある所で使用する場合に有利となるもので
ある。According to this embodiment, since the straight line passing through the rotation axis of the driving-side timing gear 4, the rotation axis of the driven-side timing gear 5, and the rotation axis of the first gear 6, is parallel to the horizontal plane. A plurality of pumps can be easily connected in the vertical direction, and the area is compact, which is advantageous particularly when used in a place where the installation area is limited.

【００４４】（第３実施形態例）次に、本発明の第３実
施形態例について、図４に基づいて説明する。図４は、
本例における真空ポンプを示す図である。図において、
本例は上記第２実施形態例と同様真空ポンプを４個直列
に接続し、横１列に配置した多段式真空ポンプである。
図示せぬ真空室は導管１７により第１ポンプ１３の吸気
口に連通される。第１ポンプ１３の排気口と第２ポンプ
１４の吸気口は導管１８により連通され、第２ポンプ１
４の排気口と第３ポンプの吸気口は導管１９により連通
され、第３ポンプの排気と第４ポンプの吸気口は導管２
０により連通され、第４ポンプの排気口は導管２１で大
気に開放されているものである。(Third Embodiment) Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG.
It is a figure showing the vacuum pump in this example. In the figure,
This example is a multi-stage vacuum pump in which four vacuum pumps are connected in series and arranged in a horizontal line, similarly to the second embodiment.
A vacuum chamber (not shown) is connected to an inlet of the first pump 13 by a conduit 17. The exhaust port of the first pump 13 and the intake port of the second pump 14 are communicated by a conduit 18 and the second pump 1
The exhaust port of the fourth pump and the intake port of the third pump are connected by a conduit 19, and the exhaust port of the third pump and the intake port of the fourth pump are connected to the conduit 2.
0 and the outlet of the fourth pump is open to the atmosphere through a conduit 21.

【００４５】各ポンプの詳細な構造は上記第１実施形態
例で説明したものと同一であるので、その説明を省略す
る。The detailed structure of each pump is the same as that described in the first embodiment, and a description thereof will be omitted.

【００４６】また、いずれのポンプも、駆動側タイミン
グギア４の回転軸心、従動側タイミングギア５の回転軸
心、第１ギア６の回転軸心を通る直線は、水平面（図示
左右方向）に対して鉛直となるようにされているもので
ある。In each of the pumps, a straight line passing through the rotation axis of the drive-side timing gear 4, the rotation axis of the driven-side timing gear 5, and the rotation axis of the first gear 6 is in a horizontal plane (horizontal direction in the drawing). It is designed to be vertical.

【００４７】上記構成の多段真空ポンプにおいて、各ポ
ンプを駆動させると、各ポンプのロータが所定の回転数
で回転する。そして、図示せぬ真空室内の流体はまず第
１ポンプ１３により導管１７から導管１８に入る。導管
１８内の流体は第２ポンプ１４により導管１９に入り、
さらに第３ポンプ１５によって導管２０へ、導管２０か
ら第４ポンプ１６によって導管２１に、導管２１から大
気に放出される。このようにして順次真空室内の流体が
外部に運び込まれ、真空室内を真空にすることができる
ものである。In the multi-stage vacuum pump having the above configuration, when each pump is driven, the rotor of each pump rotates at a predetermined rotation speed. Then, the fluid in the vacuum chamber (not shown) first enters the conduit 18 from the conduit 17 by the first pump 13. The fluid in conduit 18 enters conduit 19 by second pump 14 and
It is further discharged to the conduit 20 by the third pump 15, from the conduit 20 to the conduit 21 by the fourth pump 16, and from the conduit 21 to the atmosphere. In this way, the fluid in the vacuum chamber is successively carried outside, and the vacuum chamber can be evacuated.

【００４８】本例においては、駆動側タイミングギア４
の回転軸心及び従動側タイミングギア５の回転軸心並び
に第１ギア６の回転軸心を通る直線は水平面に対して鉛
直であるので、複数のポンプを横方向に容易に連結させ
ることが可能で、高さ的にコンパクトとなり、特に設置
場所に高さの制限がある所で使用する場合に有利となる
ものである。In this embodiment, the drive-side timing gear 4
Since the straight line passing through the rotation axis of the first gear 6, the rotation axis of the driven-side timing gear 5, and the rotation axis of the first gear 6 is perpendicular to the horizontal plane, a plurality of pumps can be easily connected in the lateral direction. Therefore, it is compact in terms of height, which is particularly advantageous when used in places where the installation location is restricted in height.

【００４９】（第４実施形態例）次に、本発明の第４実
施形態例について、図５に基づいて説明する。図５は、
本例における真空ポンプを示す図である。図において、
本例は真空ポンプを６個用い、並列配置及び直列配置を
組み合わせた多段式真空ポンプである。図示せぬ真空室
は導管１７ａにより第１−１ポンプ１３ａの吸気口に連
通されるとともに、導管１７ｂにより第１−２ポンプ１
３ｂの吸気口にも連通される。第１−１ポンプ１３ａの
排気口と第２−１ポンプ１４ａの吸気口は導管１８ａに
より連通され、また第１−２ポンプ１３ｂの排気口と第
２−２ポンプ１４ｂの吸気口は導管１８ｂにより連通さ
れる。第２−１ポンプ１４ａの排気口に連通する導管１
９ａ及び第２−２ポンプ１４ｂの排気口に連通する導管
１９ｂとはその下流側で合流し、導管１９として第３ポ
ンプ１５の吸気口に連通する。第３ポンプの排気口と第
４ポンプの吸気口は導管２０により連通され、第４ポン
プの排気口は導管２１で大気に開放されているものであ
る。(Fourth Embodiment) Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG.
It is a figure showing the vacuum pump in this example. In the figure,
This example is a multi-stage vacuum pump using six vacuum pumps and combining a parallel arrangement and a serial arrangement. A vacuum chamber (not shown) is connected to an inlet of the 1-1 pump 13a by a conduit 17a, and is connected to a 1-2 pump 1 by a conduit 17b.
3b is also communicated. The outlet of the 1-1 pump 13a and the inlet of the 2-1 pump 14a are connected by a conduit 18a, and the outlet of the 1-2 pump 13b and the inlet of the 2-2 pump 14b are connected by a conduit 18b. Communicated. (2-1) The conduit 1 communicating with the exhaust port of the pump 14a
9a and the conduit 19b communicating with the exhaust port of the 2-2 pump 14b merge on the downstream side thereof, and communicate as the conduit 19 with the intake port of the third pump 15. The exhaust port of the third pump and the intake port of the fourth pump are connected by a conduit 20, and the exhaust port of the fourth pump is opened to the atmosphere by a conduit 21.

【００５０】また、第１駆動モータ７のモータ軸３に連
結した第１ギア６は、第１−１ポンプ１３ａの駆動側タ
イミングギア４ａに噛合っているとともに、軸２２を中
心として回転可能な第２ギア２３にも噛合っている。こ
の第２ギア２３はさらに第１−２ポンプ１３ｂの駆動側
タイミングギア４ｂに噛合っているものである。尚、第
２−１ポンプ１４ａと第２−２ポンプ１４ｂ付近の構成
は上記説明した第１−１ポンプ１３ａと第１−２ポンプ
１３ｂ付近の構成と同一であるので、その説明を省略す
る。The first gear 6 connected to the motor shaft 3 of the first drive motor 7 meshes with the drive-side timing gear 4a of the 1-1-1 pump 13a and can rotate about the shaft 22. It also meshes with the second gear 23. The second gear 23 further meshes with the drive-side timing gear 4b of the 1-2 pump 13b. Note that the configuration near the 2-1 pump 14a and the 2-2 pump 14b is the same as the configuration near the 1-1 pump 13a and the 1-2 pump 13b described above, and a description thereof will be omitted.

【００５１】その他の構成、及びポンプの詳細構成は、
上記実施形態例とほぼ同一であるので、その説明を省略
する。Other structures and detailed structures of the pump are as follows.
The description is omitted because it is almost the same as the above embodiment.

【００５２】このような構成の多段式真空ポンプにおい
て、該ポンプを駆動させると、各ポンプのロータが所定
の回転数で回転し、真空室の空気を吸気して大気に放出
して真空室内を真空状態とする。この場合、第１駆動モ
ータ７が駆動してモータ軸３が回転駆動すると、この駆
動力は第１ギア６から第１−１ポンプ１３ａの駆動側タ
イミングギア４ａに伝達され、該駆動側タイミングギア
４ａに駆動軸で連結した駆動ロータ、及び、駆動側タイ
ミングギア４ａに噛合している従動側タイミングギア５
ａを経て該従動側タイミングギア５ａに従動軸で連結し
た従動ロータに回転力を付与してこれらを同期回転させ
る。これとともに、第１ギア６から第２ギア２３へも駆
動力が伝達される。この駆動力は第２ギア２３から第１
−２ポンプ１３ｂの駆動側タイミングギア４ｂに伝達さ
れ、該駆動側タイミングギア４ｂに駆動軸で連結した駆
動ロータ、及び、駆動側タイミングギア４ｂに噛合して
いる従動側タイミングギア５ｂを経て該従動側タイミン
グギア５ｂに従動軸で連結した従動ロータに回転力を付
与してこれらを同期回転させるものである。In the multistage vacuum pump having such a configuration, when the pumps are driven, the rotor of each pump rotates at a predetermined number of revolutions, sucks air from the vacuum chamber, discharges the air to the atmosphere, and discharges the vacuum chamber. Vacuum state. In this case, when the first drive motor 7 is driven and the motor shaft 3 is driven to rotate, this drive force is transmitted from the first gear 6 to the drive-side timing gear 4a of the 1-1-1 pump 13a. A drive rotor connected to the drive shaft 4a by a drive shaft, and a driven-side timing gear 5 meshed with the drive-side timing gear 4a
a, a rotational force is applied to a driven rotor connected by a driven shaft to the driven timing gear 5a via a to rotate them synchronously. At the same time, the driving force is also transmitted from the first gear 6 to the second gear 23. This driving force is transmitted from the second gear 23 to the first
-2 is transmitted to the drive-side timing gear 4b of the pump 13b and is connected to the drive-side timing gear 4b via a drive shaft and the driven-side timing gear 5b meshed with the drive-side timing gear 4b. The rotational force is applied to a driven rotor connected by a driven shaft to the side timing gear 5b to rotate them synchronously.

【００５３】尚、第１−１ポンプの駆動側タイミングギ
ア４ａの回転方向と第１−２ポンプの駆動側タイミング
ギア４ｂの回転方向とは逆になるが、図から明らかなよ
うに第１−１ポンプ１３ａにおける駆動側タイミングギ
ア４ａ及び従動側タイミングギア５ａの配置構成と、第
１−２ポンプ１３ｂにおける駆動側タイミングギア４ｂ
と従動側タイミングギア５ｂの配置構成は逆になってい
るので、流体の流れは両ポンプともに同一方向になるも
のである。The rotation direction of the driving timing gear 4a of the 1-1 pump is opposite to the rotation direction of the driving timing gear 4b of the 1-2 pump. Arrangement of drive-side timing gear 4a and driven-side timing gear 5a in one pump 13a, and drive-side timing gear 4b in 1-2 pump 13b
The arrangement of the driven-side timing gear 5b is opposite to that of the driven-side timing gear 5b, so that the fluid flows in both pumps in the same direction.

【００５４】尚、第２−１ポンプ１４ａと第２−２ポン
プ１４ｂの作動は、上記第１−１ポンプ１３ａと第１−
２ポンプ１３ｂの作動と同一であるので、その説明を省
略する。The operation of the 2-1 pump 14a and the 2-2 pump 14b depends on the operation of the 1-1 pump 13a and the 1-pump
Since the operation is the same as the operation of the two pumps 13b, the description thereof will be omitted.

【００５５】従って、図示せぬ真空室内の気体は導管１
７ａから第１−１ポンプ１３ａへ、第１−１ポンプ１３
ａから導管１８ａを経て第２−１ポンプ１４ａへ、第２
−１ポンプ１４ａから導管１９ａに達するとともに、導
管１７ｂから第１−２ポンプ１３ｂへ、第１−２ポンプ
１３ｂから導管１８ｂを経て第２−２ポンプ１４ｂへ、
第２−２ポンプ１４ｂから導管１９ｂに達する。導管１
９ａ及び導管１９ｂ内へ圧送された気体はその下流で合
流し導管１９となって第３ポンプ１５へ、さらに導管２
０から第４ポンプ１６へ、第４ポンプ１６から導管２１
を経て大気に放出されるものである。Therefore, the gas in the vacuum chamber (not shown) is
7a to the 1-1 pump 13a, the 1-1 pump 13
a through the conduit 18a to the 2-1 pump 14a,
From the pump 14a to the conduit 19a, from the conduit 17b to the 1-2 pump 13b, from the 1-2 pump 13b to the 2-2 pump 14b via the conduit 18b,
From the 2-2 pump 14b, it reaches the conduit 19b. Conduit 1
The gas pumped into the conduit 9a and the conduit 19b joins downstream thereof to form the conduit 19 to the third pump 15, and further to the conduit 2
0 to the fourth pump 16, from the fourth pump 16 to the conduit 21
It is released to the atmosphere via.

【００５６】本例によれば、第１−１ポンプ１３ａの駆
動側タイミングギア４ａと第１−２ポンプ１３ｂの駆動
側タイミングギア４ｂは、１つの駆動モータ７で駆動さ
れるので、それぞれに駆動モータを設けた場合と比べて
コンパクトで簡素な構成となり、製造コストを低減する
ことができるものである。According to the present embodiment, the drive-side timing gear 4a of the 1-1 pump 13a and the drive-side timing gear 4b of the 1-2 pump 13b are driven by one drive motor 7, so that they are respectively driven. Compared to the case where a motor is provided, the configuration is compact and simple, and the manufacturing cost can be reduced.

【００５７】[0057]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
真空ポンプにおいて、コンパクトであり、かつ簡素な構
成で製造コストを低減させることができる真空ポンプと
することができるものである。As described above, according to the present invention,
In a vacuum pump, it is possible to provide a compact vacuum pump having a simple configuration and capable of reducing manufacturing cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の第１実施形態例における真空ポンプの
縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a vacuum pump according to a first embodiment of the present invention.

【図２】本発明の第１実施形態例における真空ポンプの
横断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the vacuum pump according to the first embodiment of the present invention.

【図３】本発明の第２実施形態例における多段式真空ポ
ンプを示す図である。FIG. 3 is a view showing a multistage vacuum pump according to a second embodiment of the present invention.

【図４】本発明の第３実施形態例における多段式真空ポ
ンプを示す図である。FIG. 4 is a view showing a multi-stage vacuum pump according to a third embodiment of the present invention.

【図５】本発明の第４実施形態例における多段式真空ポ
ンプを示す図である。FIG. 5 is a view showing a multi-stage vacuum pump according to a fourth embodiment of the present invention.

【図６】従来の真空ポンプの部分縦断面図である。FIG. 6 is a partial longitudinal sectional view of a conventional vacuum pump.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１・・・駆動軸 ２・・・従動軸 ３・・・モータ軸（出力軸） ４、４ａ、４ｂ・・・駆動側タイミングギア（タイミン
グギアユニット） ５、５ａ、５ｂ・・・従動側タイミングギア（タイミン
グギアユニット） ６・・・第１ギア ７・・・モータ（駆動手段） ８・・・駆動ロータ（ロータユニット） ９・・・従動ロータ（ロータユニット） １０・・・ケーシング １１・・・吸気口 １２・・・排気口 ２３・・・第２ギア ３１・・・ポンプ室 ４１・・・タイミングギア室 ５１・・・駆動室DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Drive shaft 2 ... Driven shaft 3 ... Motor shaft (output shaft) 4, 4a, 4b ... Drive side timing gear (timing gear unit) 5, 5a, 5b ... Driven side timing Gear (timing gear unit) 6 first gear 7 motor (drive means) 8 drive rotor (rotor unit) 9 driven rotor (rotor unit) 10 casing 11・ Intake port 12 ・ ・ ・ Exhaust port 23 ・ ・ ・ Second gear 31 ・ ・ ・ Pump chamber 41 ・ ・ ・ Timing gear chamber 51 ・ ・ ・ Drive chamber

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 吸気口及び排気口を備え内部に該吸気口
及び該排気口が連通するポンプ室を形成するケーシング
と、前記ポンプ室内に配置された駆動ロータ及び従動ロ
ータとを備え前記駆動ロータと前記従動ロータが同期回
転することにより前記吸気口側の流体を前記排気口側に
送り込むロータユニットと、前記駆動ロータに駆動軸で
連結した駆動側タイミングギア及び前記従動ロータに従
動軸で連結した従動側タイミングギアを備え前記駆動ロ
ータと前記従動ロータとを同期回転させるタイミングギ
アユニットと、前記駆動側タイミングギアの外周に形成
された歯部に噛合わされて配置された第１ギアと、前記
第１ギアに連結され該第１ギアを回転駆動させる駆動手
段とを備えた真空ポンプ。1. A drive rotor, comprising: a casing having an intake port and an exhaust port and forming a pump chamber in which the intake port and the exhaust port communicate with each other; and a drive rotor and a driven rotor disposed in the pump chamber. And a rotor unit for sending the fluid on the intake port side to the exhaust port side by synchronous rotation of the driven rotor, a driving timing gear connected to the driving rotor by a driving shaft, and a driven shaft connected to the driven rotor by a driven shaft. A timing gear unit including a driven-side timing gear for synchronously rotating the drive rotor and the driven rotor; a first gear meshed with a tooth formed on an outer periphery of the drive-side timing gear; A driving means connected to the first gear and driving the first gear to rotate. 【請求項２】 請求項１において、 前記第１ギアは前記駆動手段の出力軸に連結されている
ことを特徴とする真空ポンプ。2. The vacuum pump according to claim 1, wherein the first gear is connected to an output shaft of the driving unit. 【請求項３】 請求項１において、 前記駆動側タイミングギアの回転軸心及び前記従動側タ
イミングギアの回転軸心並びに前記第１ギアの回転軸心
が略同一直線上に配置されるように前記駆動側タイミン
グギア及び前記従動側タイミングギア並びに前記第１ギ
アが配置されてなることを特徴とする真空ポンプ。3. The apparatus according to claim 1, wherein the rotation axis of the driving-side timing gear, the rotation axis of the driven-side timing gear, and the rotation axis of the first gear are arranged on substantially the same straight line. A vacuum pump comprising a driving-side timing gear, the driven-side timing gear, and the first gear. 【請求項４】 請求項３において、 前記駆動側タイミングギアの回転軸心及び前記従動側タ
イミングギアの回転軸心並びに前記第１ギアの回転軸心
を通る直線は水平面に対して平行であることを特徴とす
る真空ポンプ。4. The straight line passing through the rotation axis of the drive-side timing gear, the rotation axis of the driven-side timing gear, and the rotation axis of the first gear according to claim 3, wherein the straight line passes through the horizontal plane. A vacuum pump characterized by the following. 【請求項５】 請求項３において、 前記駆動側タイミングギアの回転軸心及び前記従動側タ
イミングギアの回転軸心並びに前記第１ギアの回転軸心
を通る直線は水平面に対して鉛直であることを特徴とす
る真空ポンプ。5. The straight line passing through the rotation axis of the driving-side timing gear, the rotation axis of the driven-side timing gear, and the rotation axis of the first gear according to claim 3, wherein the straight line passes through a horizontal plane. A vacuum pump characterized by the following. 【請求項６】 請求項１において、 前記真空ポンプは複数のロータユニット及び複数のタイ
ミングギアユニットを備え、前記各タイミングギアユニ
ットの駆動側タイミングギアは前記第１ギアを介して前
記駆動手段に連結することを特徴とする真空ポンプ。6. The vacuum pump according to claim 1, wherein the vacuum pump includes a plurality of rotor units and a plurality of timing gear units, and a driving-side timing gear of each of the timing gear units is connected to the driving unit via the first gear. Vacuum pump characterized by performing. 【請求項７】 請求項６において、 少なくとも１つの前記駆動側タイミングギアは第２ギア
を介して前記第１ギアに連結されていることを特徴とす
る真空ポンプ。7. The vacuum pump according to claim 6, wherein at least one drive-side timing gear is connected to the first gear via a second gear.