JPH1187054A - Ｅｌ表示素子の製造方法、正孔注入輸送材料および発光材料の製造方法 - Google Patents
Ｅｌ表示素子の製造方法、正孔注入輸送材料および発光材料の製造方法Info
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- JPH1187054A JPH1187054A JP9237104A JP23710497A JPH1187054A JP H1187054 A JPH1187054 A JP H1187054A JP 9237104 A JP9237104 A JP 9237104A JP 23710497 A JP23710497 A JP 23710497A JP H1187054 A JPH1187054 A JP H1187054A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
-
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】フルカラー表示の可能なＥＬ表示素子の製造方
法を提供するために、発光層および正孔注入輸送層を膜
厚制御しながらパターニングすることが課題であった。 【解決手段】ガラス基板にパターニング形成された陽極
上に正孔注入層が形成され、この上層に少なくとも赤、
緑、青より選択された発光色を有する発光層が形成さ
れ、更にこの上層に陰極が形成されるＥＬ表示素子の製
造方法において、発光層および正孔注入輸送層の形成お
よび配列が、材料の表面に界面活性剤を吸着させること
により該材料を水溶液中にてミセル化分散し、透明基板
２０５を溶液２０４中に浸せき後、陽極２０６上に該材
料を電解成膜することにより成される。ミセル分散液２
０４への材料分散は界面活性剤により行われ、分散安定
性を保持するために材料表面は疎水化される。
法を提供するために、発光層および正孔注入輸送層を膜
厚制御しながらパターニングすることが課題であった。 【解決手段】ガラス基板にパターニング形成された陽極
上に正孔注入層が形成され、この上層に少なくとも赤、
緑、青より選択された発光色を有する発光層が形成さ
れ、更にこの上層に陰極が形成されるＥＬ表示素子の製
造方法において、発光層および正孔注入輸送層の形成お
よび配列が、材料の表面に界面活性剤を吸着させること
により該材料を水溶液中にてミセル化分散し、透明基板
２０５を溶液２０４中に浸せき後、陽極２０６上に該材
料を電解成膜することにより成される。ミセル分散液２
０４への材料分散は界面活性剤により行われ、分散安定
性を保持するために材料表面は疎水化される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、正孔注入輸送材
料、発光材料およびその製造方法に関し、さらに、ミセ
ル電解方式を用いたフルカラーＥＬ表示素子の製造方法
に関する。
料、発光材料およびその製造方法に関し、さらに、ミセ
ル電解方式を用いたフルカラーＥＬ表示素子の製造方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＥＬ表示素子は、蛍光性の無機および有
機化合物を含む薄膜を、陰極と陽極とで挟んだ構成を有
し、前記薄膜に電子および正孔（ホール）を注入して再
結合させることにより励起子（エキシトン）を生成さ
せ、このエキシトンが失活する際の光の放出（蛍光・燐
光）を利用して発光させる素子である。ＥＬ表示素子の
特徴は、１０Ｖ以下の低電圧で１００〜１０００００ c
d/m2 程度の高輝度の面発光が可能であり、また蛍光物
質の種類を選択することにより青色から赤色までの発光
が可能なことである。
機化合物を含む薄膜を、陰極と陽極とで挟んだ構成を有
し、前記薄膜に電子および正孔（ホール）を注入して再
結合させることにより励起子（エキシトン）を生成さ
せ、このエキシトンが失活する際の光の放出（蛍光・燐
光）を利用して発光させる素子である。ＥＬ表示素子の
特徴は、１０Ｖ以下の低電圧で１００〜１０００００ c
d/m2 程度の高輝度の面発光が可能であり、また蛍光物
質の種類を選択することにより青色から赤色までの発光
が可能なことである。
【０００３】ＥＬ表示素子は、安価な大面積フルカラー
表示素子を実現するものとして注目を集めている（電子
情報通信学会技術報告、第８９巻、ＮＯ．１０６、４９
ページ、１９８９年）。報告によると、強い蛍光を発す
る色素を発光層に使用し、青、緑、赤色の明るい発光を
得ている。成膜は、真空蒸着法による。この材料は、薄
膜状で強い蛍光を発し、また蒸着においてピンホール欠
陥ができないような有機色素を用いたことで、高輝度な
フルカラー表示実現の可能性が示唆されている。さら
に、特開平５−７８６５５号公報には、発光層の成分が
正孔注入輸送材料と発光材料の混合物からなる薄膜層を
真空蒸着法により設け、濃度消光を防止して発光材料の
選択幅を広げ、高輝度なフルカラー素子へ応用できると
されている。
表示素子を実現するものとして注目を集めている（電子
情報通信学会技術報告、第８９巻、ＮＯ．１０６、４９
ページ、１９８９年）。報告によると、強い蛍光を発す
る色素を発光層に使用し、青、緑、赤色の明るい発光を
得ている。成膜は、真空蒸着法による。この材料は、薄
膜状で強い蛍光を発し、また蒸着においてピンホール欠
陥ができないような有機色素を用いたことで、高輝度な
フルカラー表示実現の可能性が示唆されている。さら
に、特開平５−７８６５５号公報には、発光層の成分が
正孔注入輸送材料と発光材料の混合物からなる薄膜層を
真空蒸着法により設け、濃度消光を防止して発光材料の
選択幅を広げ、高輝度なフルカラー素子へ応用できると
されている。
【０００４】フルカラー化の方式については、現在まで
に、さまざまな方式が提案されている。中でも三原色に
対応する発光層を適当なパターニング方法で並べるとい
う方式が、最も発光効率のロスが少ない方法である。
に、さまざまな方式が提案されている。中でも三原色に
対応する発光層を適当なパターニング方法で並べるとい
う方式が、最も発光効率のロスが少ない方法である。
【０００５】一方、湿式での薄膜のパターン形成法の１
つでミセル電解方式がある。これは、水に難溶性あるい
は不溶性の微粒子を、電気的な酸化反応を受けて陽電荷
を帯びるようなフェロセン系ノニオン系界面活性剤を用
いて水溶液にミセル化分散した後、このミセル水溶液中
に電極付きの基板および対向電極を浸せきし、それぞれ
に正電荷、負電荷をかけて電極上でミセル水溶液を電解
する。これにより、電極上で界面活性剤が陽電荷を帯び
て材料表面から脱離し、界面活性剤の吸着が解かれた材
料が電極上に物理吸着により堆積する。ミセル電解法
は、上記のごとく基板上に薄膜を形成する技術である。
薄膜形成を行う場所をあらかじめ電極パターンを形成し
ておき、そこだけ電圧を印可すれば電極パターンになら
って所望の薄膜を形成することができ、これによりフル
カラー表示に求められる微細なパターニングが可能とな
る。さらに、特開平２−２６７２９８に記載があるよう
に、印可電圧および印可時間をコントロールすれば、容
易に任意の膜厚を形成することができる。
つでミセル電解方式がある。これは、水に難溶性あるい
は不溶性の微粒子を、電気的な酸化反応を受けて陽電荷
を帯びるようなフェロセン系ノニオン系界面活性剤を用
いて水溶液にミセル化分散した後、このミセル水溶液中
に電極付きの基板および対向電極を浸せきし、それぞれ
に正電荷、負電荷をかけて電極上でミセル水溶液を電解
する。これにより、電極上で界面活性剤が陽電荷を帯び
て材料表面から脱離し、界面活性剤の吸着が解かれた材
料が電極上に物理吸着により堆積する。ミセル電解法
は、上記のごとく基板上に薄膜を形成する技術である。
薄膜形成を行う場所をあらかじめ電極パターンを形成し
ておき、そこだけ電圧を印可すれば電極パターンになら
って所望の薄膜を形成することができ、これによりフル
カラー表示に求められる微細なパターニングが可能とな
る。さらに、特開平２−２６７２９８に記載があるよう
に、印可電圧および印可時間をコントロールすれば、容
易に任意の膜厚を形成することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の技術で
は、真空蒸着法により形成する正孔注入輸送層をはじ
め、赤、緑、青色の発光層を微細にパターニングするこ
とは技術的に非常に困難であり、フルカラー表示パネル
の構成や製造方法については実証されていない。つま
り、正孔注入輸送層および発光層を蒸着時にマスクパタ
ーニングしたり、あるいは蒸着後、通常のフォトリソグ
ラフィーで発光層等をパターン加工することは非常に困
難であるという問題点を有していた。
は、真空蒸着法により形成する正孔注入輸送層をはじ
め、赤、緑、青色の発光層を微細にパターニングするこ
とは技術的に非常に困難であり、フルカラー表示パネル
の構成や製造方法については実証されていない。つま
り、正孔注入輸送層および発光層を蒸着時にマスクパタ
ーニングしたり、あるいは蒸着後、通常のフォトリソグ
ラフィーで発光層等をパターン加工することは非常に困
難であるという問題点を有していた。
【０００７】さらに、ＥＬ素子は、発光色毎に発光輝度
や発光効率が異なるのが通常である。効率は正孔注入輸
送層および発光層の膜厚に多大な影響を受ける。従来の
真空蒸着法による成膜の場合、各画素毎に異なる膜厚の
正孔注入輸送層をパターニングしたり、正孔注入輸送層
の膜厚を赤、緑および青の発光色層にあわせて調整した
り、さらに発光層の膜厚をそのパターニングと併せて制
御することは困難であるという問題点を有していた。
や発光効率が異なるのが通常である。効率は正孔注入輸
送層および発光層の膜厚に多大な影響を受ける。従来の
真空蒸着法による成膜の場合、各画素毎に異なる膜厚の
正孔注入輸送層をパターニングしたり、正孔注入輸送層
の膜厚を赤、緑および青の発光色層にあわせて調整した
り、さらに発光層の膜厚をそのパターニングと併せて制
御することは困難であるという問題点を有していた。
【０００８】一方、ミセル電解方式は、ＥＬ発光層等を
直接に微細パターニングし、しかも任意に膜厚をコント
ロールできる優れた薄膜形成法である。しかしながら、
材料粒子を所定の界面活性剤を用いて純水に分散させる
必要がある。したがって、材料の表面は界面活性剤の疎
水部と強く相互作用するものが有効である。ミセル電解
法の原材料であるミセル化分散水溶液の分散安定性は、
薄膜の均一性確保をはじめ、溶液のポットライフが向上
するという点で非常に重要である。実際の生産ラインで
は材料の補充や入れ替えが容易にできることが望まれて
おり、ポットライフは望ましくは２４時間以上分散性に
変化がないよう要求される。従来の正孔注入輸送材料や
発光材料表面は、真空蒸着による成膜性、発光輝度や発
光効率などＥＬ材料としての特性のみが優先しているの
で、所望の界面活性剤が材料表面に吸着しやすいように
新たな表面設計の検討が必要であるという問題点を有し
ていた。
直接に微細パターニングし、しかも任意に膜厚をコント
ロールできる優れた薄膜形成法である。しかしながら、
材料粒子を所定の界面活性剤を用いて純水に分散させる
必要がある。したがって、材料の表面は界面活性剤の疎
水部と強く相互作用するものが有効である。ミセル電解
法の原材料であるミセル化分散水溶液の分散安定性は、
薄膜の均一性確保をはじめ、溶液のポットライフが向上
するという点で非常に重要である。実際の生産ラインで
は材料の補充や入れ替えが容易にできることが望まれて
おり、ポットライフは望ましくは２４時間以上分散性に
変化がないよう要求される。従来の正孔注入輸送材料や
発光材料表面は、真空蒸着による成膜性、発光輝度や発
光効率などＥＬ材料としての特性のみが優先しているの
で、所望の界面活性剤が材料表面に吸着しやすいように
新たな表面設計の検討が必要であるという問題点を有し
ていた。
【０００９】そこで本発明は、水溶液中での疎水性相互
作用を利用、すなわち、界面活性剤の疎水部が吸着しや
すいように正孔注入輸送材料および発光材料の表面を疎
水生物の被服あるいは修飾により疎水化し、ミセル電解
方式に適した材料表面を設計しミセル液の分散安定性を
向上させることを目的とする。さらに、この液を用いて
ミセル電解方式による微細パターニングを行い発光効率
の高い、色バランスに優れたフルカラーＥＬ素子を提供
することを目的とする。
作用を利用、すなわち、界面活性剤の疎水部が吸着しや
すいように正孔注入輸送材料および発光材料の表面を疎
水生物の被服あるいは修飾により疎水化し、ミセル電解
方式に適した材料表面を設計しミセル液の分散安定性を
向上させることを目的とする。さらに、この液を用いて
ミセル電解方式による微細パターニングを行い発光効率
の高い、色バランスに優れたフルカラーＥＬ素子を提供
することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１記載のＥＬ表示
素子の製造方法は、陽極上にパターン形成された透明電
極上に正孔注入輸送層が形成され、この上層に少なくと
も赤、緑、青の各パターン毎に赤、緑、青より選択され
た発光色を有する発光層が形成され、さらにこの上層に
陰極が形成されるＥＬ表示体の製造方法において、該発
光層の形成および配列が、発光材料の表面に界面活性剤
を吸着させることにより該材料を水溶液中にてミセル化
分散し、該透明基板を水溶液中に浸せき後、該陽極上に
該材料を電解成膜することにより成されることを特徴と
する。
素子の製造方法は、陽極上にパターン形成された透明電
極上に正孔注入輸送層が形成され、この上層に少なくと
も赤、緑、青の各パターン毎に赤、緑、青より選択され
た発光色を有する発光層が形成され、さらにこの上層に
陰極が形成されるＥＬ表示体の製造方法において、該発
光層の形成および配列が、発光材料の表面に界面活性剤
を吸着させることにより該材料を水溶液中にてミセル化
分散し、該透明基板を水溶液中に浸せき後、該陽極上に
該材料を電解成膜することにより成されることを特徴と
する。
【００１１】上記の構成によれば、発光層のパターニン
グ化可能となり、また、任意の膜厚を形成することがで
きるため、発光効率が高く、各発光色毎に発光輝度をそ
ろえた色バランスに優れたフルカラーＥＬ表示素子の製
造が可能となるという効果を有する。
グ化可能となり、また、任意の膜厚を形成することがで
きるため、発光効率が高く、各発光色毎に発光輝度をそ
ろえた色バランスに優れたフルカラーＥＬ表示素子の製
造が可能となるという効果を有する。
【００１２】請求項２記載のＥＬ表示素子の製造方法
は、前記正孔注入輸送層の形成および配列が、正孔注入
材料の表面に界面活性剤を吸着させることにより該材料
を水溶液中にてミセル化分散し、前記透明基板を水溶液
中に浸せき後、前記陽極上に該材料を電解成膜すること
により成されることを特徴とする。
は、前記正孔注入輸送層の形成および配列が、正孔注入
材料の表面に界面活性剤を吸着させることにより該材料
を水溶液中にてミセル化分散し、前記透明基板を水溶液
中に浸せき後、前記陽極上に該材料を電解成膜すること
により成されることを特徴とする。
【００１３】上記の構成によれば、正孔注入輸送層のパ
ターニング化可能となり、また、任意の膜厚を形成する
ことができるため、発光効率が高く、各発光色毎に発光
輝度をそろえた色バランスに優れたフルカラーＥＬ表示
素子の製造が可能となるという効果を有する。
ターニング化可能となり、また、任意の膜厚を形成する
ことができるため、発光効率が高く、各発光色毎に発光
輝度をそろえた色バランスに優れたフルカラーＥＬ表示
素子の製造が可能となるという効果を有する。
【００１４】請求項３記載の発光材料の製造方法は、前
記発光材料の表面が、疎水性化合物のカップリング処理
により疎水化されることを特徴とする。
記発光材料の表面が、疎水性化合物のカップリング処理
により疎水化されることを特徴とする。
【００１５】上記の構成によれば、ミセル電解法におけ
る発光材料のミセル化分散液の分散安定性が向上し、こ
れにより分散液のポットライフが長くなり、成膜後の膜
厚均一性が確保できるという効果を有する。
る発光材料のミセル化分散液の分散安定性が向上し、こ
れにより分散液のポットライフが長くなり、成膜後の膜
厚均一性が確保できるという効果を有する。
【００１６】請求項４記載の正孔注入輸送材料の製造方
法は、前記正孔注入輸送材料の表面が、疎水性化合物の
カップリング処理により疎水化されることを特徴とす
る。
法は、前記正孔注入輸送材料の表面が、疎水性化合物の
カップリング処理により疎水化されることを特徴とす
る。
【００１７】上記の構成によれば、ミセル電解法におけ
る正孔注入輸送材料のミセル化分散液の分散安定性が向
上し、これにより分散液のポットライフが長くなり、成
膜後の膜厚均一性が確保できるという効果を有する。
る正孔注入輸送材料のミセル化分散液の分散安定性が向
上し、これにより分散液のポットライフが長くなり、成
膜後の膜厚均一性が確保できるという効果を有する。
【００１８】請求項５記載の発光材料の製造方法は、前
記発光材料の表面が、疎水性高分子の表面グラフト重合
処理により疎水化されることを特徴とする。
記発光材料の表面が、疎水性高分子の表面グラフト重合
処理により疎水化されることを特徴とする。
【００１９】上記の構成によれば、ミセル電解法におけ
る発光材料のミセル化分散液の分散安定性が向上し、こ
れにより分散液のポットライフが長くなり、成膜後の膜
厚均一性が確保できるという効果を有する。
る発光材料のミセル化分散液の分散安定性が向上し、こ
れにより分散液のポットライフが長くなり、成膜後の膜
厚均一性が確保できるという効果を有する。
【００２０】請求項６記載の正孔注入輸送材料の製造方
法は、前記正孔注入輸送材料の表面が、疎水性高分子の
表面グラフト重合処理により疎水化されることを特徴と
する。
法は、前記正孔注入輸送材料の表面が、疎水性高分子の
表面グラフト重合処理により疎水化されることを特徴と
する。
【００２１】上記の構成によれば、ミセル電解法におけ
る正孔注入輸送材料のミセル化分散液の分散安定性が向
上し、これにより分散液のポットライフが長くなり、成
膜後の膜厚均一性が確保できるという効果を有する。
る正孔注入輸送材料のミセル化分散液の分散安定性が向
上し、これにより分散液のポットライフが長くなり、成
膜後の膜厚均一性が確保できるという効果を有する。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【００２３】（実施例１）図１は、ストライプ上にピッ
チ１００ミクロンのＩＴＯ透明画素電極をパターン形成
したガラス基板上に、ＥＬ素子を形成するプロセスを示
す図である。その構成を説明すると、（Ａ）透明基板１
０４上に真空スパッタ法により、厚さ１５０ｎｍのＩＴ
Ｏ透明電極を形成し、フォトリソグラフィーにてパター
ニングする。これにより赤発光領域電極１０１、緑発光
領域電極１０２、青発光領域電極１０３を得る。（Ｂ）
ＩＴＯ電極パターンにミセル電解法にて厚さ２０ｎｍの
赤発色用正孔注入輸送層１０５、厚さ１５ｎｍの緑発光
用正孔注入輸送層１０６、厚さ１０ｎｍの青発光用正孔
注入輸送層１０７を形成する。（Ｃ）さらに正孔注入輸
送層の導電性を利用して、その上層に同様にミセル電解
法にてそれぞれ１００ｎｍの赤発光層２０８、緑発光層
２０９、青発光層２１０を形成する。（Ｄ）最後に、真
空スパッタ法にてＡｌ、Ｌｉ反射電極１１１を８００ｎ
ｍを全面に形成する。図示したとおり、膜の凹凸がある
ので、各色パターン間は電極が連続せずに断線し、結果
して反射電極は自己パターニングされている。こうし
て、単純マトリックス駆動のフルカラーＥＬ表示素子を
得ることができる。
チ１００ミクロンのＩＴＯ透明画素電極をパターン形成
したガラス基板上に、ＥＬ素子を形成するプロセスを示
す図である。その構成を説明すると、（Ａ）透明基板１
０４上に真空スパッタ法により、厚さ１５０ｎｍのＩＴ
Ｏ透明電極を形成し、フォトリソグラフィーにてパター
ニングする。これにより赤発光領域電極１０１、緑発光
領域電極１０２、青発光領域電極１０３を得る。（Ｂ）
ＩＴＯ電極パターンにミセル電解法にて厚さ２０ｎｍの
赤発色用正孔注入輸送層１０５、厚さ１５ｎｍの緑発光
用正孔注入輸送層１０６、厚さ１０ｎｍの青発光用正孔
注入輸送層１０７を形成する。（Ｃ）さらに正孔注入輸
送層の導電性を利用して、その上層に同様にミセル電解
法にてそれぞれ１００ｎｍの赤発光層２０８、緑発光層
２０９、青発光層２１０を形成する。（Ｄ）最後に、真
空スパッタ法にてＡｌ、Ｌｉ反射電極１１１を８００ｎ
ｍを全面に形成する。図示したとおり、膜の凹凸がある
ので、各色パターン間は電極が連続せずに断線し、結果
して反射電極は自己パターニングされている。こうし
て、単純マトリックス駆動のフルカラーＥＬ表示素子を
得ることができる。
【００２４】次に、（Ｃ）および（Ｄ）のミセル電解法
について、その構成を説明する。正孔注入輸送材料とし
て銅フタロシアニンを用意し、表１記載の組成で水に分
散させる。
について、その構成を説明する。正孔注入輸送材料とし
て銅フタロシアニンを用意し、表１記載の組成で水に分
散させる。
【００２５】
【表１】
【００２６】分散は、３０分マグネチックスターラーに
て室温攪拌後、超音波を９０分印可し、さらに超音波ホ
モジナイザーで９０分処理して分散完成させ、これをミ
セル化分散液とする。成膜は、分散安定性を考慮し、分
散処理後ただちに行われるのが望ましい。
て室温攪拌後、超音波を９０分印可し、さらに超音波ホ
モジナイザーで９０分処理して分散完成させ、これをミ
セル化分散液とする。成膜は、分散安定性を考慮し、分
散処理後ただちに行われるのが望ましい。
【００２７】図２に示すように、容器２０３にミセル化
分散液２０４を満たし、そこにＩＴＯ透明パターン電極
付きガラス２０５を浸漬し、ＩＴＯ電極２０６を陽極、
対向電極のアルミ板２０２を陰極として直流電源２０１
にて０．２Ｖを印可する。
分散液２０４を満たし、そこにＩＴＯ透明パターン電極
付きガラス２０５を浸漬し、ＩＴＯ電極２０６を陽極、
対向電極のアルミ板２０２を陰極として直流電源２０１
にて０．２Ｖを印可する。
【００２８】パターニングは、図３に示すように、透明
ガラス基板３０４上に形成された各色毎のパターン領域
３０１〜３０３に選択的に導電性ゴム３０５を圧着して
直流電源３０６により通電することで成される。対向基
板はアルミ電極３０７とし、赤色発光用正孔注入輸送層
には６０秒、緑色発光用正孔注入輸送層には４５秒、青
色発光用正孔注入輸送層には３０秒間通電する。膜厚の
設定は通電時間によりなされ、長いほど膜は厚くなる。
この場合、発光色毎に発光効率をそろえるために、正孔
注入輸送層の厚みを変えてパターニングした。パターニ
ングはまず、赤発光領域３０１を選択的に通電後、ガラ
ス基板を引き上げ、緩やかに水洗して熱風にさらして仮
乾燥をした。この工程を緑発光領域３０１および青色発
光領域３０３というように各色毎３回繰り返すことによ
り各色毎の所定膜厚で正孔注入輸送層をパターニング形
成する。さらに、１１０℃にて１０分間ベークを行い正
孔注入輸送層の成膜を完了する。
ガラス基板３０４上に形成された各色毎のパターン領域
３０１〜３０３に選択的に導電性ゴム３０５を圧着して
直流電源３０６により通電することで成される。対向基
板はアルミ電極３０７とし、赤色発光用正孔注入輸送層
には６０秒、緑色発光用正孔注入輸送層には４５秒、青
色発光用正孔注入輸送層には３０秒間通電する。膜厚の
設定は通電時間によりなされ、長いほど膜は厚くなる。
この場合、発光色毎に発光効率をそろえるために、正孔
注入輸送層の厚みを変えてパターニングした。パターニ
ングはまず、赤発光領域３０１を選択的に通電後、ガラ
ス基板を引き上げ、緩やかに水洗して熱風にさらして仮
乾燥をした。この工程を緑発光領域３０１および青色発
光領域３０３というように各色毎３回繰り返すことによ
り各色毎の所定膜厚で正孔注入輸送層をパターニング形
成する。さらに、１１０℃にて１０分間ベークを行い正
孔注入輸送層の成膜を完了する。
【００２９】次に、発光層としての赤、緑および青の発
光材料のミセル分散液を表２、３および４記載のごとく
用意する。
光材料のミセル分散液を表２、３および４記載のごとく
用意する。
【００３０】
【表２】
【００３１】
【表３】
【００３２】
【表４】
【００３３】まず、正孔注入材料と同様の分散処理直後
の赤色発光材料のミセル化分散液中にガラス基板を浸
し、上記のごとく正孔注入材料と同様に０．２Ｖで１５
分間成膜する。通電は導電ゴムの圧着により、赤色発光
領域の電極３０１に対してのみ行うことで選択的に赤色
発光層を形成することができる。ガラス基板を引き上
げ、緩やかに水洗し、１１０℃にて１０分間ベークを行
い成膜を完了する。
の赤色発光材料のミセル化分散液中にガラス基板を浸
し、上記のごとく正孔注入材料と同様に０．２Ｖで１５
分間成膜する。通電は導電ゴムの圧着により、赤色発光
領域の電極３０１に対してのみ行うことで選択的に赤色
発光層を形成することができる。ガラス基板を引き上
げ、緩やかに水洗し、１１０℃にて１０分間ベークを行
い成膜を完了する。
【００３４】同様の作業を繰り返し、通電１３分にて緑
色発光領域３０１を、そして通電１６分にて青色発光領
域３０３についてもミセル電解法による成膜を終える。
なお、正孔注入輸送層の上部に発光層を重ねるわけであ
るが、正孔注入輸送材料自体に電気導電性物質であるの
で、この膜をを介してもＩＴＯへ印可した電流は十分溶
液中に流れることをあらかじめ確認してある。
色発光領域３０１を、そして通電１６分にて青色発光領
域３０３についてもミセル電解法による成膜を終える。
なお、正孔注入輸送層の上部に発光層を重ねるわけであ
るが、正孔注入輸送材料自体に電気導電性物質であるの
で、この膜をを介してもＩＴＯへ印可した電流は十分溶
液中に流れることをあらかじめ確認してある。
【００３５】なお、界面活性剤は、吸着する材料の種類
によりその酸化還元電位が変化するので、正孔注入輸送
材料および発光材料さらにそれぞれ赤、緑および青用の
それらをすべて混合した１液のミセル溶液を用意し、発
光色毎に最適な成膜電圧を印可することによって１バッ
チですべての配色と膜厚を制御することも可能である。
によりその酸化還元電位が変化するので、正孔注入輸送
材料および発光材料さらにそれぞれ赤、緑および青用の
それらをすべて混合した１液のミセル溶液を用意し、発
光色毎に最適な成膜電圧を印可することによって１バッ
チですべての配色と膜厚を制御することも可能である。
【００３６】ミセル化分散液への材料の仕込みは様々で
あり、例えばカラーバランスを取るために赤色発光層材
料として赤および黄色の発光材料を混合させたり、同様
に異なる２種類以上の正孔注入輸送層材料を分散してお
いても良い。
あり、例えばカラーバランスを取るために赤色発光層材
料として赤および黄色の発光材料を混合させたり、同様
に異なる２種類以上の正孔注入輸送層材料を分散してお
いても良い。
【００３７】また、ミセル電解法によるパターニングで
正孔注入輸送層を形成後、通常の真空蒸着による成膜に
よって発光層を形成してもよいし、逆に正孔注入輸送層
を真空蒸着した後、発光層の形成にミセル電解パターニ
ング法を用いることもできる。
正孔注入輸送層を形成後、通常の真空蒸着による成膜に
よって発光層を形成してもよいし、逆に正孔注入輸送層
を真空蒸着した後、発光層の形成にミセル電解パターニ
ング法を用いることもできる。
【００３８】さらに、ガラス基板に、コンデンサと組み
合わせた電流制御用薄膜トランジスタおよびスイッチン
グ用薄膜トランジスタを各画素中に備えたアクティブマ
トリックス素子を形成しておけば、任意の画素に電圧を
印可することが可能であり、したがって発光色の配置を
ストライプのみならず、デルタ、モザイクといったあら
ゆるパターンに適用できる。また、上記の薄膜トランジ
スタはそのままＥＬ発光の制御を司ることができ、これ
はによりアクティブ駆動のＥＬ表示素子を提供すること
ができる。
合わせた電流制御用薄膜トランジスタおよびスイッチン
グ用薄膜トランジスタを各画素中に備えたアクティブマ
トリックス素子を形成しておけば、任意の画素に電圧を
印可することが可能であり、したがって発光色の配置を
ストライプのみならず、デルタ、モザイクといったあら
ゆるパターンに適用できる。また、上記の薄膜トランジ
スタはそのままＥＬ発光の制御を司ることができ、これ
はによりアクティブ駆動のＥＬ表示素子を提供すること
ができる。
【００３９】なお、反射電極は、厚さをコントロールす
ることで、透明電極としても使用できる。
ることで、透明電極としても使用できる。
【００４０】上述のような構成によれば、各材料を所望
の位置に任意の厚みでパターニングができるので、単純
マトリックス型およびアクティブマトリックス型のフル
カラー有機ＥＬ表示体の製造が可能となる。
の位置に任意の厚みでパターニングができるので、単純
マトリックス型およびアクティブマトリックス型のフル
カラー有機ＥＬ表示体の製造が可能となる。
【００４１】（実施例２）銅フタロシアニン５ｇを２０
０ｍｌナスフラスコにとり、トリメトキシフェニルシラ
ンの５ｗｔ％トルエン溶液１００ｇを加え、６０℃にて
５０時間還流し、カップリング処理する。反応後の微粒
子を遠心分離し、メタノールでソックスレー抽出洗浄し
た後、１１０℃にて乾燥する。
０ｍｌナスフラスコにとり、トリメトキシフェニルシラ
ンの５ｗｔ％トルエン溶液１００ｇを加え、６０℃にて
５０時間還流し、カップリング処理する。反応後の微粒
子を遠心分離し、メタノールでソックスレー抽出洗浄し
た後、１１０℃にて乾燥する。
【００４２】乾燥後の粒子を実施例１の正孔注入輸送材
料（表１）と同様の組成で同じく分散処理する。分散処
理後所定時間経過する毎に液面付近の水分散液を１０ｍ
ｌずつバイアル管に採取し、水を蒸発させた後のバイア
ル管中の残留粒子の重量により粒子の分散性を評価す
る。
料（表１）と同様の組成で同じく分散処理する。分散処
理後所定時間経過する毎に液面付近の水分散液を１０ｍ
ｌずつバイアル管に採取し、水を蒸発させた後のバイア
ル管中の残留粒子の重量により粒子の分散性を評価す
る。
【００４３】比較のため、カップリング処理無しの銅フ
タロシアニン粒子の分散液について分散性を評価する。
この結果を表５に示す。
タロシアニン粒子の分散液について分散性を評価する。
この結果を表５に示す。
【００４４】
【表５】
【００４５】表５より明らかなごとく、未処理品は再分
散後２４時間静置したとき既に粒子は完全に沈降し、上
澄みには分散粒子は存在しなかった。一方、カップリン
グ処理した粒子は静置後７２時間を経過しても分散性を
保持する。
散後２４時間静置したとき既に粒子は完全に沈降し、上
澄みには分散粒子は存在しなかった。一方、カップリン
グ処理した粒子は静置後７２時間を経過しても分散性を
保持する。
【００４６】さらに、分散処理後１０時間後に実施例１
同様にミセル電着によりＩＴＯベタ電極上に成膜を行
い、カップリング処理の有無で膜の平坦性を電子顕微鏡
にて観察する。この結果を表６に示す。
同様にミセル電着によりＩＴＯベタ電極上に成膜を行
い、カップリング処理の有無で膜の平坦性を電子顕微鏡
にて観察する。この結果を表６に示す。
【００４７】
【表６】
【００４８】表６より明らかなごとく、膜の平坦性はカ
ップリング処理した銅フタロシアニン膜は凹凸のない非
常に平坦性のよいものであることが確認できる。
ップリング処理した銅フタロシアニン膜は凹凸のない非
常に平坦性のよいものであることが確認できる。
【００４９】（実施例３）赤色発光材料であるポリ
（２，５−ビスヘキシルオキシ−１，４−フェニレン−
（１−シアノビニレン）１００ｇをボールミル中で微粉
砕した物を用意する。これをビーカーにとり、高圧紫外
線ランプ（４００Ｗ）をビーカー内に挿入し、自公転式
のマグネチックスターラーで粒子を攪拌しながら１時間
処理する。この粒子５ｇを直径１８ｍｍのガラス管にと
り、メタクリル酸メチルの３０ｗｔ％トルエン溶液１５
ｇを入れ、凍結乾燥による脱気後封管し、６０℃の高温
漕中にて超音波を印加し、かつ激しく揺動を与えながら
１時間表面グラフト重合する。反応後の微粒子を遠心分
離し、メタノールでソックスレー抽出洗浄した後、１１
０℃にて乾燥する。
（２，５−ビスヘキシルオキシ−１，４−フェニレン−
（１−シアノビニレン）１００ｇをボールミル中で微粉
砕した物を用意する。これをビーカーにとり、高圧紫外
線ランプ（４００Ｗ）をビーカー内に挿入し、自公転式
のマグネチックスターラーで粒子を攪拌しながら１時間
処理する。この粒子５ｇを直径１８ｍｍのガラス管にと
り、メタクリル酸メチルの３０ｗｔ％トルエン溶液１５
ｇを入れ、凍結乾燥による脱気後封管し、６０℃の高温
漕中にて超音波を印加し、かつ激しく揺動を与えながら
１時間表面グラフト重合する。反応後の微粒子を遠心分
離し、メタノールでソックスレー抽出洗浄した後、１１
０℃にて乾燥する。
【００５０】乾燥後の粒子を実施例１の赤色発光材料
（表２）と同様の組成で同じく分散処理する。分散処理
後所定時間経過する毎に液面付近の水分散液を１０ｍｌ
ずつバイアル管に採取し、水を蒸発させた後のバイアル
管中の残留粒子の重量により粒子の分散性を評価する。
（表２）と同様の組成で同じく分散処理する。分散処理
後所定時間経過する毎に液面付近の水分散液を１０ｍｌ
ずつバイアル管に採取し、水を蒸発させた後のバイアル
管中の残留粒子の重量により粒子の分散性を評価する。
【００５１】比較のため、グラフト重合処理無しの赤色
発光材料粒子の分散液について分散性を評価する。
発光材料粒子の分散液について分散性を評価する。
【００５２】この結果を表７に示す。
【００５３】
【表７】
【００５４】表７より明らかなごとく、未処理品は再分
散後２４時間静置したとき既に粒子は完全に沈降し、上
澄みには分散粒子は存在しない。一方、グラフト処理し
た粒子は静置後７２時間を経過しても分散性を保持す
る。
散後２４時間静置したとき既に粒子は完全に沈降し、上
澄みには分散粒子は存在しない。一方、グラフト処理し
た粒子は静置後７２時間を経過しても分散性を保持す
る。
【００５５】さらに、分散処理後１０時間後に実施例１
同様にミセル電着によりＩＴＯベタ電極上に成膜を行
い、グラフト処理の有無で膜の平坦性を電子顕微鏡にて
観察した結果を表８に示す。
同様にミセル電着によりＩＴＯベタ電極上に成膜を行
い、グラフト処理の有無で膜の平坦性を電子顕微鏡にて
観察した結果を表８に示す。
【００５６】
【表８】
【００５７】表８より明らかなごとく、平坦性はグラフ
ト処理した赤色発光層膜は凹凸のない非常に平坦性のよ
いものであることが確認できる。
ト処理した赤色発光層膜は凹凸のない非常に平坦性のよ
いものであることが確認できる。
【００５８】
【発明の効果】従来、パターニングができないとされた
正孔注入輸送層および発光層をミセル電解方式により膜
厚をコントロールしながら形成および配列することでパ
ターニングが可能となり、発光効率および色バランスに
優れたフルカラーのＥＬ表示素子を実現した。また、材
料表面を疎水化することによりミセル化分散液の安定性
が向上し、また、成膜均一性の確保および分散液のポッ
トライフが向上した。これにより、安価で大画面のフル
カラー表示体が歩留まり良く製造可能となり、効果は大
である。
正孔注入輸送層および発光層をミセル電解方式により膜
厚をコントロールしながら形成および配列することでパ
ターニングが可能となり、発光効率および色バランスに
優れたフルカラーのＥＬ表示素子を実現した。また、材
料表面を疎水化することによりミセル化分散液の安定性
が向上し、また、成膜均一性の確保および分散液のポッ
トライフが向上した。これにより、安価で大画面のフル
カラー表示体が歩留まり良く製造可能となり、効果は大
である。
【図１】本発明の第１、第２および第３の実施形態にお
けるＥＬ表示体の製造プロセスを図。
けるＥＬ表示体の製造プロセスを図。
【図２】本発明の第１、第２および第３の実施形態にお
けるミセル電解法の装置構成図。
けるミセル電解法の装置構成図。
【図３】本発明の第１の実施形態でミセル電解法による
正孔注入輸送層および発光層のパターニングにおける、
基板上での選択的電圧印可の回路構成図。
正孔注入輸送層および発光層のパターニングにおける、
基板上での選択的電圧印可の回路構成図。
１０１ ＩＴＯ電極（赤色発光域） １０２ ＩＴＯ電極（緑色発光域） １０３ ＩＴＯ電極（青色発光域） １０４ ガラス基板 １０５ 正孔注入輸送層（赤色発光用） １０６ 正孔注入輸送層（緑色発光用） １０７ 正孔注入輸送層（青色発光用） １０８ 発光層（赤色発光用） １０９ 発光層（緑色発光用） １１０ 発光層（青色発光用） １１１ 反射電極 ２０１ 直流電源 ２０２ アルミ対向電極 ２０３ 容器 ２０４ ミセル化分散溶液 ２０５ ガラス基板 ２０６ ＩＴＯ電極 ３０１ ＩＴＯ電極（赤色発光領域） ３０２ ＩＴＯ電極（緑色発光領域） ３０３ ＩＴＯ電極（青色発光領域） ３０４ ガラス基板 ３０５ 導電ゴム ３０６ 直流電源 ３０７ アルミ対向電極
Claims (6)
- 【請求項１】透明基板上にパターン形成された陽極上に
正孔注入輸送層が形成され、この上層に少なくとも赤、
緑、青の各パターン毎に赤、緑、青より選択された発光
色を有する発光層が形成され、さらにこの上層に陰極が
形成されるＥＬ表示体の製造方法において、該発光層の
形成および配列が、発光材料の表面に界面活性剤を吸着
させることにより該材料を水溶液中にてミセル化分散
し、該透明基板を水溶液中に浸せき後、該陽極上に該材
料を電解成膜することにより成されることを特徴とする
ＥＬ表示素子の製造方法。 - 【請求項２】前記正孔注入輸送層の形成および配列が、
正孔注入輸送材料の表面に界面活性剤を吸着させること
により該材料を水溶液中にてミセル化分散し、前記透明
基板を水溶液中に浸せき後、前記陽極上に該材料を電解
成膜することにより成されることを特徴とする請求項１
記載のＥＬ表示素子の製造方法。 - 【請求項３】前記の発光材料表面が、疎水性化合物のカ
ップリング処理により疎水化されることを特徴とする請
求項１記載の発光材料の製造方法。 - 【請求項４】前記正孔注入輸送材料の表面が、疎水性化
合物のカップリング処理により疎水化されることを特徴
とする請求項２記載の正孔注入輸送材料の製造方法。 - 【請求項５】前記発光材料の表面が、疎水性高分子の表
面グラフト重合処理により疎水化されることを特徴とす
る請求項１記載の発光材料の製造方法。 - 【請求項６】前記正孔注入輸送材料の表面が、疎水性高
分子の表面グラフト重合処理により疎水化されることを
特徴とする請求項２記載の正孔注入輸送材料の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23710497A JP3941180B2 (ja) | 1997-09-02 | 1997-09-02 | Ｅｌ表示素子の製造方法 |
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| JP2002266880A Division JP3915641B2 (ja) | 2002-09-12 | 2002-09-12 | Ｅｌ素子、およびカラー表示体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1187054A true JPH1187054A (ja) | 1999-03-30 |
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|---|---|---|---|
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Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001067044A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-03-16 | Sanyo Electric Co Ltd | エレクトロルミネッセンス表示装置の駆動方法 |
| JP2001092413A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Ｅｌ表示装置および電子装置 |
| JP2001244079A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-07 | Junji Kido | 有機エレクトロルミネッセント素子、有機エレクトロルミネッセント素子群及びその発光スペクトルの制御方法 |
| JP2002050484A (ja) * | 2000-05-22 | 2002-02-15 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置および電気器具 |
| US6633121B2 (en) | 2000-01-31 | 2003-10-14 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Organic electroluminescence display device and method of manufacturing same |
| JP2007005057A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-01-11 | Seiko Epson Corp | 電子デバイス用基板の製造方法、電子デバイス用基板、電子デバイスおよび電子機器 |
| JP2011008272A (ja) * | 2010-07-14 | 2011-01-13 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Ｅｌ表示装置 |
| WO2020136713A1 (ja) * | 2018-12-25 | 2020-07-02 | シャープ株式会社 | 発光デバイスの製造方法 |
-
1997
- 1997-09-02 JP JP23710497A patent/JP3941180B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001067044A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-03-16 | Sanyo Electric Co Ltd | エレクトロルミネッセンス表示装置の駆動方法 |
| JP2001092413A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Ｅｌ表示装置および電子装置 |
| US7786958B1 (en) | 1999-09-24 | 2010-08-31 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | EL display device and electronic device |
| US6633121B2 (en) | 2000-01-31 | 2003-10-14 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Organic electroluminescence display device and method of manufacturing same |
| JP2001244079A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-07 | Junji Kido | 有機エレクトロルミネッセント素子、有機エレクトロルミネッセント素子群及びその発光スペクトルの制御方法 |
| JP2002050484A (ja) * | 2000-05-22 | 2002-02-15 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置および電気器具 |
| JP4683766B2 (ja) * | 2000-05-22 | 2011-05-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | アクティブマトリクス型発光装置 |
| JP2007005057A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-01-11 | Seiko Epson Corp | 電子デバイス用基板の製造方法、電子デバイス用基板、電子デバイスおよび電子機器 |
| JP2011008272A (ja) * | 2010-07-14 | 2011-01-13 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Ｅｌ表示装置 |
| WO2020136713A1 (ja) * | 2018-12-25 | 2020-07-02 | シャープ株式会社 | 発光デバイスの製造方法 |
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