JPH1175360A - リニアモータ - Google Patents
リニアモータInfo
- Publication number
- JPH1175360A JPH1175360A JP24945397A JP24945397A JPH1175360A JP H1175360 A JPH1175360 A JP H1175360A JP 24945397 A JP24945397 A JP 24945397A JP 24945397 A JP24945397 A JP 24945397A JP H1175360 A JPH1175360 A JP H1175360A
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- Japan
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- strip
- bent
- fitting
- linear motor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 帯状コイルの先端位置をキャン内に正確に位
置決めできるようにする。 【解決手段】絶縁紙１０を挟んで導電材で形成した２つ
の要素コイル９、９を貼り合わせた帯状コイル１１を非
磁性の芯金１２の両面に固定してなる固定子３と、固定
子３に空隙を介して対向する永久磁石７、８を具えた可
動子２とを有し、固定子３はヘッダ１５、１６を介して
キャン１４内に取付けられているリニアモータ１におい
て、薄板を略直角に折り曲げた取付片本体１７ａと折曲
片１７ｂを有する取付片１７を備え、平板状の取付片本
体１７ａと、この取付片本体１７ａから突出させ略直角
に折り曲げた折曲片１７ｂとからなる取付片１７を備
え、前記芯金１２に取付片本体１７ａを固定するととも
に、前記取付片１７の折曲片１７ｂを前記ヘッダ１５に
固定したことを特徴とするリニアモータ。したがって、
キャン１４内に帯状コイル１１を正確な位置に取付ける
ことができる。
置決めできるようにする。 【解決手段】絶縁紙１０を挟んで導電材で形成した２つ
の要素コイル９、９を貼り合わせた帯状コイル１１を非
磁性の芯金１２の両面に固定してなる固定子３と、固定
子３に空隙を介して対向する永久磁石７、８を具えた可
動子２とを有し、固定子３はヘッダ１５、１６を介して
キャン１４内に取付けられているリニアモータ１におい
て、薄板を略直角に折り曲げた取付片本体１７ａと折曲
片１７ｂを有する取付片１７を備え、平板状の取付片本
体１７ａと、この取付片本体１７ａから突出させ略直角
に折り曲げた折曲片１７ｂとからなる取付片１７を備
え、前記芯金１２に取付片本体１７ａを固定するととも
に、前記取付片１７の折曲片１７ｂを前記ヘッダ１５に
固定したことを特徴とするリニアモータ。したがって、
キャン１４内に帯状コイル１１を正確な位置に取付ける
ことができる。
Description
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の加工
テーブル等を軸線方向に駆動するリニアモータに関する
ものである。
テーブル等を軸線方向に駆動するリニアモータに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のリニアモータは、図５ないし図７
に示すように構成されている。図において、３６はリニ
アモータで、このリニアモータ３６は可動子２１と固定
子２２より構成されている。前記可動子２１は、コ字状
の支持台２３の両脚にヨーク２４、２５を取付けてい
る。２６、２７は永久磁石で、前記ヨーク２４、２５に
取付けて、図示しない搬送装置の可動部材に取付けて可
動部材と一体に往復動できるように構成されている。前
記固定子２２はつぎのように構成されている。導電板を
打ち抜き、一方の端部にくの字状部のコイルエンド２８
ａを有する要素コイル２８を設け、この要素コイル２８
を絶縁紙３３を挟んで２枚重ね合わせて帯状コイル２９
を形成し、この帯状コイル２９を非磁性材の芯金３０に
取付けている。前記帯状コイル２９を取付けた芯金３０
側部をガイド３１に取付け、このガイド３１と一体にキ
ャン３２内に収納し、ガイド３１の側面とキャン３２の
内壁とを接着材で接着してガイド３１に取付けた帯状コ
イル２９をキャン３２に固定していた。そして、前記キ
ャン３２の両端にヘッダ３３を取付けて固定子２２を構
成している。３４は帯状コイル２９の外周に充填した絶
縁樹脂である。このように構成した固定子２２を図示し
ない搬送装置の固定部材に支持具３５を介して取付けて
いる。
に示すように構成されている。図において、３６はリニ
アモータで、このリニアモータ３６は可動子２１と固定
子２２より構成されている。前記可動子２１は、コ字状
の支持台２３の両脚にヨーク２４、２５を取付けてい
る。２６、２７は永久磁石で、前記ヨーク２４、２５に
取付けて、図示しない搬送装置の可動部材に取付けて可
動部材と一体に往復動できるように構成されている。前
記固定子２２はつぎのように構成されている。導電板を
打ち抜き、一方の端部にくの字状部のコイルエンド２８
ａを有する要素コイル２８を設け、この要素コイル２８
を絶縁紙３３を挟んで２枚重ね合わせて帯状コイル２９
を形成し、この帯状コイル２９を非磁性材の芯金３０に
取付けている。前記帯状コイル２９を取付けた芯金３０
側部をガイド３１に取付け、このガイド３１と一体にキ
ャン３２内に収納し、ガイド３１の側面とキャン３２の
内壁とを接着材で接着してガイド３１に取付けた帯状コ
イル２９をキャン３２に固定していた。そして、前記キ
ャン３２の両端にヘッダ３３を取付けて固定子２２を構
成している。３４は帯状コイル２９の外周に充填した絶
縁樹脂である。このように構成した固定子２２を図示し
ない搬送装置の固定部材に支持具３５を介して取付けて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のリニ
アモータは、キャン３２内にガイド３１と一体に帯状コ
イル２９を収納しており、帯状コイルの先端位置が不揃
いとなり必要な推力を得ることができなかった。このた
め、帯状コイル２９がキャン３２内の所定の位置にくる
ように治具を用いて位置決めしてガイド３１とキャン３
２の内壁とを接着材で接着しており、位置決め作業が煩
雑となっていた。また、キャンの内壁に帯状コイル２９
を支持するガイド３１を接着材で接着固定しているた
め、接着がはずれて帯状コイル２９が移動するという欠
点があった。そこで、本発明は、帯状コイルの先端位置
を正確に位置決めでき、キャンに帯状コイルを確実に固
定するようにすることを目的とする。
アモータは、キャン３２内にガイド３１と一体に帯状コ
イル２９を収納しており、帯状コイルの先端位置が不揃
いとなり必要な推力を得ることができなかった。このた
め、帯状コイル２９がキャン３２内の所定の位置にくる
ように治具を用いて位置決めしてガイド３１とキャン３
２の内壁とを接着材で接着しており、位置決め作業が煩
雑となっていた。また、キャンの内壁に帯状コイル２９
を支持するガイド３１を接着材で接着固定しているた
め、接着がはずれて帯状コイル２９が移動するという欠
点があった。そこで、本発明は、帯状コイルの先端位置
を正確に位置決めでき、キャンに帯状コイルを確実に固
定するようにすることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明は、絶縁紙を挟んで導電材で形成した２つ
の要素コイルを貼り合わせた帯状コイルを非磁性の芯金
の両面に固定してなる固定子と、前記固定子に空隙を介
して対向する永久磁石を具えた可動子とを有し、前記固
定子はヘッダを介してキャン内に取付けられているリニ
アモータにおいて、平板状の取付片本体と、この取付片
本体から突出させ略直角に折り曲げた折曲片とからなる
取付片を備え、前記芯金に取付片本体を固定するととも
に、前記取付片の折曲片を前記ヘッダに固定するように
している。
めに、本発明は、絶縁紙を挟んで導電材で形成した２つ
の要素コイルを貼り合わせた帯状コイルを非磁性の芯金
の両面に固定してなる固定子と、前記固定子に空隙を介
して対向する永久磁石を具えた可動子とを有し、前記固
定子はヘッダを介してキャン内に取付けられているリニ
アモータにおいて、平板状の取付片本体と、この取付片
本体から突出させ略直角に折り曲げた折曲片とからなる
取付片を備え、前記芯金に取付片本体を固定するととも
に、前記取付片の折曲片を前記ヘッダに固定するように
している。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示す実施例に
基づいて説明する。図１は本発明の実施例を示すカバー
を取り外したリニアモータの正面図で、下半分を断面図
としたものである。図２は本発明の実施例を示すリニア
モータの固定子を示すもので、（ａ）はリニアモータの
固定子の側断面図、（ｂ）は図（ａ）のＡ−Ａ線に沿う
断面図、図３はカバーを取り外したリニアモータの正面
図である。図において、１はリニアモータで、このリニ
アモータ１は可動子２と固定子３より構成されている。
前記可動子２は、コ字状の支持台４の両脚にヨーク５、
６を取付けている。７、８は永久磁石で、前記ヨーク
５、６に取付け、図示しない搬送装置の可動部材に取付
けて可動部材と一体に往復動できるように構成されてい
る。前記固定子３は、導電板を打ち抜き、一方の端部に
くの字状部のコイルエンド９ａを有する要素コイル９を
設け、この要素コイル９を絶縁紙１０を挟んで２枚重ね
合わせて帯状コイル１１を形成し、この帯状コイル１１
を非磁性材の芯金１２に取付けている。前記帯状コイル
１１を取付けた芯金１２をガイド１３に取付け、このガ
イド１３と一体に帯状コイル１１をキャン１４に収納し
ている。１５、１６はキャン１４の端部に取付けたヘッ
ダで、側部に冷媒の注入出口１５ａ、１６ａを設けてい
る。１７は取付片で、平板状の薄板より取付片本体１７
ａの側部を略直角に折り曲げた折曲片１７ｂを設け、こ
の取付片本体１７ａおよび折曲片１７ｂに取付け穴を設
けている。１８はヘッダの開口部を覆うカバーである。
１９は薄板をＬ字状に折り曲げて構成した支持具で、一
方の脚部を前記芯金１２に固定し、他方の脚部をヘッダ
１６に固定している。２０は絶縁樹脂で、前記帯状コイ
ル１１の外周に充填している。２１は前記固定子３を支
持する固定部材で、この固定部材２１を図示しない搬送
装置の固定部に取付けている。このように構成したリニ
アモータの組立はつぎのようにして行う。まず、芯金１
２の両面の所定位置に、帯状コイル１１を取付ける。前
記芯金１２に、取付片１７の取付片本体１７ａおよび支
持具１９の一方の脚部を、ねじ締めにより取付ける。前
記芯金１２の側面部に、ガイド１３を接着固定する。つ
ぎに、ヘッダ１５を取付けたキャン１４に、取付片１
７、支持具１９およびガイド１３を取付けた芯金１２を
挿入する。前記芯金１２に取付けた取付片１７の折曲片
１７ｂを、キャン１４に取付けたヘッダ１５の側面に当
接させてねじ締め固定する。これにより、芯金１２の帯
状コイル１１が、キャン１４内において軸方向および幅
方向に位置決めされる。つぎに、支持具１９の他方脚部
を芯金１２の他端とヘッダ１６とに固定して、芯金１２
をヘッダ１６に固定する。この場合、帯状コイル１１を
取付けた芯金１２は取付片１７によってねじ締め固定さ
れるので帯状コイル１１は確実に固定される。
基づいて説明する。図１は本発明の実施例を示すカバー
を取り外したリニアモータの正面図で、下半分を断面図
としたものである。図２は本発明の実施例を示すリニア
モータの固定子を示すもので、（ａ）はリニアモータの
固定子の側断面図、（ｂ）は図（ａ）のＡ−Ａ線に沿う
断面図、図３はカバーを取り外したリニアモータの正面
図である。図において、１はリニアモータで、このリニ
アモータ１は可動子２と固定子３より構成されている。
前記可動子２は、コ字状の支持台４の両脚にヨーク５、
６を取付けている。７、８は永久磁石で、前記ヨーク
５、６に取付け、図示しない搬送装置の可動部材に取付
けて可動部材と一体に往復動できるように構成されてい
る。前記固定子３は、導電板を打ち抜き、一方の端部に
くの字状部のコイルエンド９ａを有する要素コイル９を
設け、この要素コイル９を絶縁紙１０を挟んで２枚重ね
合わせて帯状コイル１１を形成し、この帯状コイル１１
を非磁性材の芯金１２に取付けている。前記帯状コイル
１１を取付けた芯金１２をガイド１３に取付け、このガ
イド１３と一体に帯状コイル１１をキャン１４に収納し
ている。１５、１６はキャン１４の端部に取付けたヘッ
ダで、側部に冷媒の注入出口１５ａ、１６ａを設けてい
る。１７は取付片で、平板状の薄板より取付片本体１７
ａの側部を略直角に折り曲げた折曲片１７ｂを設け、こ
の取付片本体１７ａおよび折曲片１７ｂに取付け穴を設
けている。１８はヘッダの開口部を覆うカバーである。
１９は薄板をＬ字状に折り曲げて構成した支持具で、一
方の脚部を前記芯金１２に固定し、他方の脚部をヘッダ
１６に固定している。２０は絶縁樹脂で、前記帯状コイ
ル１１の外周に充填している。２１は前記固定子３を支
持する固定部材で、この固定部材２１を図示しない搬送
装置の固定部に取付けている。このように構成したリニ
アモータの組立はつぎのようにして行う。まず、芯金１
２の両面の所定位置に、帯状コイル１１を取付ける。前
記芯金１２に、取付片１７の取付片本体１７ａおよび支
持具１９の一方の脚部を、ねじ締めにより取付ける。前
記芯金１２の側面部に、ガイド１３を接着固定する。つ
ぎに、ヘッダ１５を取付けたキャン１４に、取付片１
７、支持具１９およびガイド１３を取付けた芯金１２を
挿入する。前記芯金１２に取付けた取付片１７の折曲片
１７ｂを、キャン１４に取付けたヘッダ１５の側面に当
接させてねじ締め固定する。これにより、芯金１２の帯
状コイル１１が、キャン１４内において軸方向および幅
方向に位置決めされる。つぎに、支持具１９の他方脚部
を芯金１２の他端とヘッダ１６とに固定して、芯金１２
をヘッダ１６に固定する。この場合、帯状コイル１１を
取付けた芯金１２は取付片１７によってねじ締め固定さ
れるので帯状コイル１１は確実に固定される。
【０００６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によればキャ
ン内に帯状コイルの先端位置を正確に位置決めすること
ができ、キャンに帯状コイルを確実に固定することがで
きる。
ン内に帯状コイルの先端位置を正確に位置決めすること
ができ、キャンに帯状コイルを確実に固定することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示すカバーを取り外したリニ
アモータの正面図で、下半分を断面図としたものであ
る。
アモータの正面図で、下半分を断面図としたものであ
る。
【図２】本発明の実施例を示すリニアモータの固定子を
示すもので、（ａ）は固定子の側断面図、（ｂ）は図
（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
示すもので、（ａ）は固定子の側断面図、（ｂ）は図
（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】本発明の実施例を示すリニアモータのカバーを
と取り外したリニアモータの正面図である。
と取り外したリニアモータの正面図である。
【図４】従来のリニアモータの内部構造を省略した正断
面図である。
面図である。
【図５】従来のリニアモータの側断面図である。
【図６】図６のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
１ リニアモータ、 ２ 可動子、 ３ 固定子、 ４
支持台、５、６ ヨーク、 ７、８ 永久磁石、 ９
要素コイル １０ 絶縁紙、 １１ 帯状コイル、 １２ 芯金、
１３ ガイド、１４ キャン、 １５、１６ ヘッダ、
１５ａ、１６ａ 注入出口、１７ 取付片、 １７ａ
取付片本体、 １７ｂ 折曲片、１８ カバー、 １
９ 支持具
支持台、５、６ ヨーク、 ７、８ 永久磁石、 ９
要素コイル １０ 絶縁紙、 １１ 帯状コイル、 １２ 芯金、
１３ ガイド、１４ キャン、 １５、１６ ヘッダ、
１５ａ、１６ａ 注入出口、１７ 取付片、 １７ａ
取付片本体、 １７ｂ 折曲片、１８ カバー、 １
９ 支持具
Claims (1)
- 【請求項１】 絶縁紙を挟んで導電材で形成した２つの
要素コイルを貼り合わせた帯状コイルを非磁性の芯金の
両面に固定してなる固定子と、前記固定子に空隙を介し
て対向する永久磁石を具えた可動子とを有し、前記固定
子はヘッダを介してキャン内に取付けられているリニア
モータにおいて、 平板状の取付片本体と、この取付片本体から突出させ略
直角に折り曲げた折曲片とからなる取付片を備え、前記
芯金に取付片本体を固定するとともに、前記取付片の折
曲片を前記ヘッダに固定したことを特徴とするリニアモ
ータ。 【０００１】
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24945397A JP3804842B2 (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24945397A JP3804842B2 (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | リニアモータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1175360A true JPH1175360A (ja) | 1999-03-16 |
| JP3804842B2 JP3804842B2 (ja) | 2006-08-02 |
Family
ID=17193196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24945397A Expired - Fee Related JP3804842B2 (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | リニアモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3804842B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002198290A (ja) * | 2000-12-26 | 2002-07-12 | Canon Inc | 露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 |
| WO2004091079A1 (ja) * | 2003-04-07 | 2004-10-21 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ |
-
1997
- 1997-08-29 JP JP24945397A patent/JP3804842B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002198290A (ja) * | 2000-12-26 | 2002-07-12 | Canon Inc | 露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 |
| WO2004091079A1 (ja) * | 2003-04-07 | 2004-10-21 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3804842B2 (ja) | 2006-08-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060418 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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