JPH1174449A - メモリモジュール - Google Patents

メモリモジュール

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JPH1174449A
JPH1174449A JP9235365A JP23536597A JPH1174449A JP H1174449 A JPH1174449 A JP H1174449A JP 9235365 A JP9235365 A JP 9235365A JP 23536597 A JP23536597 A JP 23536597A JP H1174449 A JPH1174449 A JP H1174449A
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JP
Japan
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memory
chip
module
module substrate
substrate
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JP9235365A
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Koichi Ikeda
孝市 池田
Takeshi Ikeda
毅 池田
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T I F KK
Original Assignee
T I F KK
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item

Landscapes

  • Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 モジュール基板上の各メモリチップのノイズ
対策を行うことができ、しかも各種基板へモジュール基
板を実装する際のノイズ対策部品を含む実装工程の簡略
化が可能となるメモリモジュールを提供すること。 【解決手段】 モジュール基板2には、半導体ウエハか
ら切り出されたメモリ用ベアチップ1やノイズ対策のた
めのダンピング抵抗6やパスコン7が実装されている。
ダンピング抵抗6は、メモリ用ベアチップ1上のチップ
用パッド3とモジュール基板2の外部接続端子8とを接
続する信号線に挿入されている。また、パスコン7は、
電源電圧を与える端子Vddに対応するチップ用パッド3
と電源電圧を与える端子Vddに対応する外部接続端子8
との間を接続する信号線と、グランドレベルを与える端
子Vssに対応するチップ用パッド3とグランドレベルを
与える端子Vssに対応する外部接続端子8との間を接続
する信号線とを接続している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、パーソナルコンピ
ュータ(パソコン)等に使用されるメモリモジュールに
関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】半導体
ウエハから切り出されたメモリ用ベアチップ等は、通常
はパッケージングされた状態で各種基板等に実装され
る。ところが、パッケージの外形寸法は、各種のベアチ
ップ自体のサイズに比べてかなり大きいため、プリント
基板等に実装可能なメモリパッケージの数をあまり大き
くすることはできない。
【0003】一方、最近では、画像等の大容量のデータ
を高速に処理するため、メモリシステムに大容量化や処
理の高速化が求められている。このため、複数のベアチ
ップをパッケージング基板とほぼ同サイズの基板上に実
装したマルチチップモジュール(MCM)が普及しつつ
ある。このマルチチップモジュールを用いることによ
り、実装面積の小型・軽量化、高密度配線、ベアチ
ップ実装による高性能・高速化、高信頼性の確保等が
可能になる。
【0004】ところで、パッケージングされたメモリI
Cを各種の基板に実装した場合に、急峻な立ち上がりや
立ち下がりをする信号波形におけるオーバーシュートや
アンダーシュートとアンダーシュートによるはね返り波
等のノイズが発生したり、入出力信号の立ち上がり時や
立ち下がり時に大きな電源電流が流れることによる電源
電圧の低下によってノイズが発生する。これらのノイズ
は誤動作の原因となることがあるため、ノイズを低減さ
せる対策が必要である。特に、DRAMはコンデンサの
充放電により記憶動作を行うため、その際の信号波形は
非常に急峻な立ち上がりや立ち下がりとなり、大きなノ
イズが発生するため、ノイズ対策は重要である。
【0005】メモリICのノイズ対策としては、メモリ
ICが実装される各種基板にダンピング抵抗やバイパス
コンデンサ(パスコン)を実装する手法が従来から汎用
されている。ところが、上述したマルチチップモジュー
ルにメモリチップを実装する場合を考えると、各メモリ
チップ毎にダンピング抵抗やパスコンを用意して各種基
板上に実装しなければならないため、モジュールを実装
する際にメモリのノイズ対策に必要な数多くのダンピン
グ抵抗やパスコンを併せて実装する必要があり、実装工
程が複雑になる。また、モジュールを実装する基板上に
おいてノイズ対策を行うことになるが、電源電圧の低下
に対しては、メモリチップにできるだけ近い位置にパス
コンを実装することが望ましい。
【0006】本発明は、このような点に鑑みて創作され
たものであり、その目的は、モジュール基板上の各メモ
リチップのノイズ対策を行うことができ、しかも各種基
板へモジュール基板を実装する際のノイズ対策部品を含
む実装工程の簡略化が可能となるメモリモジュールを提
供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明のメモリモジュールは、モジュール基板
上に実装されたメモリチップと、このメモリチップに形
成されたチップ用パッドに直列に接続されてモジュール
基板上に実装された抵抗とを有しており、この抵抗を介
してメモリチップに対する信号の入出力が行われるよう
になっている。具体的には、モジュール基板に形成され
た外部接続端子と、メモリチップとの電気的な接続を行
うためにモジュール基板に形成された基板用パッドとの
間を接続する信号線に抵抗が挿入されている。
【0008】上述した抵抗はダンピング抵抗として機能
し、このような抵抗を信号線に挿入することにより、信
号波形の立ち上がりや立ち下がりが緩やかになるため、
オーバーシュートやアンダーシュートとアンダーシュー
トによるはね返り波等のノイズの発生が低減される。ま
た、上述した抵抗は、モジュール基板上に形成された基
板用パッドと外部接続端子との間の信号線に挿入するこ
とで、容易にモジュール基板上に実装することができ
る。特に、メモリチップにDRAMを使用した場合、D
RAMはコンデンサの充放電によって記憶動作を行うた
め、データの読み書きを行う場合の信号波形は急峻な立
ち上がりや立ち下がりとなるが、上述した抵抗を介して
信号の入出力を行うことによって、これらの信号波形が
緩やかになり、ノイズの発生を低減することができる。
【0009】また、本発明のメモリモジュールは、メモ
リチップに形成された電源端子に対応するチップ用パッ
ドと接地端子に対応するチップ用パッドとの間にコンデ
ンサが接続されている。このコンデンサによって、入出
力信号の立ち上がり時や立ち下がり時に大きな電源電流
が流れる場合であっても、電源電圧の低下を抑制するこ
とができるため、ノイズの発生が低減される。上述した
コンデンサは、モジュール基板に形成された電源端子に
対応する外部接続端子とモジュール基板に形成された電
源端子に対応する基板用パッドとを接続する導電パター
ン等の信号線と、モジュール基板に形成された接地端子
に対応する外部接続端子とモジュール基板に形成された
接地端子に対応する基板用パッドとを接続する導電パタ
ーン等の信号線との間に挿入することで、容易にモジュ
ール基板上に実装することができる。
【0010】このようにして、モジュール基板上の各メ
モリチップのノイズ対策を行うことができる。また、メ
モリモジュールが実装される各種基板上にノイズ対策の
ためのダンピング抵抗やパスコンを実装する必要がなく
なるため、メモリモジュールを各種基板に実装する工程
を簡略化することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した一実施形
態のメモリモジュールについて、図面を参照しながら具
体的に説明する。
【0012】図1は、一実施形態のメモリモジュールの
一方の面の概略を示す図である。同図に示すように、半
導体ウエハから個別に切り出された4個のメモリチップ
としてのメモリ用ベアチップ1がモジュール基板2の一
方の面にワイヤボンディングによってCOB(Chip On
Board )実装されている。メモリ用ベアチップ1は、例
えば、4M×4ビットの容量を有するDRAMであり、
いずれのメモリ用ベアチップ1も長方形形状をしてお
り、その長辺に沿って中央に一列にチップ用パッド3が
形成されている。
【0013】モジュール基板2は、SO−DIMM(Sm
all Outline Dual Inline Memory Module )基板等に実
装可能な外形寸法を有しており、中央には長辺にほぼ平
行に複数の基板用パッド4がほぼ一列に形成されてい
る。また、複数の基板用パッド4を挟んで両側に2個ず
つメモリ用ベアチップ1が実装され、複数の基板用パッ
ド4の並ぶ方向とメモリ用ベアチップ1に形成された複
数のチップ用パッド3の並ぶ方向はほぼ平行になってい
る。換言すれば、互いの長辺が隣接するように配置され
た2つのメモリ用ベアチップ1の間に、それぞれの複数
のチップ用パッド3と並行するように、モジュール基板
2に複数の基板用パッド4が形成されている。
【0014】チップ用パッド3と基板用パッド4との間
は、ボンディングワイヤ5によって接続されている。基
板用パッド4には、ボンディングワイヤ5が2本接続さ
れたものと1本接続されたものがあり、メモリ用ベアチ
ップ1のアドレス端子など、複数のメモリ用ベアチップ
1に共通に接続される端子については、基板用パッド4
に複数のボンディングワイヤ5を接続することで、基板
用パッド4の共有化を図っている。
【0015】また、モジュール基板2上には、後述する
ノイズ対策を行うために、短辺近傍に複数のダンピング
抵抗6が実装され、また、4個のパスコン7が実装され
ている。パスコン7は、各メモリ用ベアチップ1に1個
ずつ接続されている。また、モジュール基板2の短辺の
外側面には、凹部形状に形成された複数の外部接続端子
8が設けられている。これらの外部接続端子8に半田を
流し込むことによって、メモリモジュール10は、いわ
ゆるLCC(Leadless Chip Carrier )方式により、S
O−DIMM基板等の各種基板に実装される。
【0016】次に、メモリモジュール10のノイズ対策
について説明する。図2は、モジュール基板2のダンピ
ング抵抗6が形成された部分を拡大した斜視図である。
同図に示すように、チップ用パッド3と外部接続端子8
との間は、基板用パッド4を介して、ボンディングワイ
ヤ5や導電パターン9によって電気的に接続されてお
り、外部接続端子8とSO−DIMM基板等の各種基板
の信号線11とは、電気的に接続されている。
【0017】また、本実施形態のメモリモジュール10
においては、図2に示すように、基板用パッド4と外部
接続端子8とを接続する信号線としての導電パターン9
にダンピング抵抗6が挿入されている。このダンピング
抵抗6によって、信号波形の立ち上がりや立ち下がりを
緩やかにすることができるため、オーバーシュートやア
ンダーシュートとアンダーシュートによるはね返り波等
によるノイズの発生を低減することができる。
【0018】また、図3は、モジュール基板2のパスコ
ン7が形成された部分を拡大した斜視図である。同図に
示すように、チップ用パッド3や外部接続端子8には、
電源電圧を与える端子Vdd(電源端子)とグランドレベ
ルを与える端子Vss(接地端子)とが含まれる。電源端
子Vddに対応するチップ用パッド3と電源端子Vddに対
応する外部接続端子8との間や、接地端子Vssに対応す
るチップ用パッド3と接地端子Vssに対応する外部接続
端子8との間は、それぞれ基板用パッド4を介してボン
ディングワイヤ5や導電パターン9によって接続されて
いる。
【0019】ところで、入出力信号の立ち上がり時や立
ち下がり時には、貫通電流やメモリ用ベアチップ1内外
の寄生容量が充放電されることによって大きな電源電流
が流れるため、電源電圧が低下し、ノイズが発生する。
電源電圧が低下するとメモリの動作マージンを減少させ
てしまうことになるため、このノイズについても対策が
必要となる。
【0020】そこで、本実施形態のメモリモジュール1
0においては、図3に示すように、電源端子Vddに対応
する外部接続端子8と電源端子Vddに対応する基板用パ
ッド4とを接続する信号線としての導電パターン9と、
接地端子Vssに対応する外部接続端子8と接地端子Vss
に対応する基板用パッド4とを接続する信号線としての
導電パターン9との間にパスコン7を挿入している。パ
スコン7を挿入することによって、入出力信号の立ち上
がり時や立ち下がり時に大きな電源電流が流れる場合で
あっても、パスコン7が電荷を供給することによって、
電源電圧の低下を抑制することができるため、ノイズの
発生を低減することが可能となる。なお、パスコン7に
用いられるコンデンサとしては、比較的高周波のノイズ
に対しては、セラミックスコンデンサが用いられ、比較
的低周波のノイズに対しては、固体タンタルコンデンサ
が用いられる。
【0021】また、上述したダンピング抵抗6やパスコ
ン7には、チップ素子が用いられ、SMT(Surface Mo
unt Technology)方式によって、半田ペースト等を介し
てモジュール基板2上に実装されている。
【0022】図4は、本実施形態のメモリモジュール1
0の回路図である。この図では、簡略化のため、一部の
端子が省略されている。同図に示すように、各メモリ用
ベアチップ1の各端子と外部接続端子の各端子との接続
は、アドレス端子A0〜A10のそれぞれが外部接続端
子ADR0〜ADR10に共通に接続され、制御端子R
ASが外部接続端子REに、制御端子WEが外部接続端
子WEに、制御端子OEが外部接続端子OEにそれぞれ
共通に接続されている。一方、各メモリ用ベアチップ1
の端子のうち、データ端子I/O0〜I/O3がそれぞ
れ別個に外部接続端子D0〜D15に接続され、電源端
子Vddが外部接続端子Vddに、接地端子Vssが外部接続
端子Vssにそれぞれ別個に接続されている。
【0023】また、各メモリ用ベアチップ1の各端子−
各外部接続端子間の信号線には、電源端子Vdd−外部接
続端子Vdd間の信号線および接地端子Vss−外部接続端
子Vss間の信号線を除き、ダンピング抵抗6が挿入され
ており、電源端子Vdd−外部接続端子Vdd間の信号線と
接地端子Vss端子−外部接続端子Vss間の信号線とは、
パスコン7によって接続されている。これらのダンピン
グ抵抗6やパスコン7によって上述したノイズの低減が
行われる。
【0024】このように、本実施形態のメモリモジュー
ル10は、メモリ用ベアチップ1のノイズ対策に必要な
ダンピング抵抗6やパスコン7をモジュール基板2上に
実装して、メモリ用ベアチップ1のノイズ対策を行って
いる。また、モジュール基板2上にダンピング抵抗6や
パスコン7を実装してノイズ対策を行っているため、メ
モリモジュール10が実装されるSO−DIMM基板等
の各種基板上にノイズ対策のためのダンピング抵抗やパ
スコンを実装する必要がなくなり、メモリモジュール1
0をSO−DIMM基板等の各種基板に実装する工程を
簡略化することができる。
【0025】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施
が可能である。上述した実施形態では、各メモリ用ベア
チップ1に1個ずつパスコン7を接続したが、1個のパ
スコン7を複数のメモリ用ベアチップ1で共有してもよ
い。但し、パスコン7の役割は、電荷を供給して電源電
圧の低下を抑制することにあるので、パスコン7をあま
り多くのメモリ用ベアチップ1で共有することは望まし
くない。
【0026】また、上述した実施形態では、電源端子と
接地端子を除くすべての端子にダンピング抵抗6を接続
するようにしたが、各メモリ用ベアチップ1のデータ端
子I/O0〜I/O3だけに対応させてダンピング抵抗
6を接続するようにしてもよい。特に、メモリ用ベアチ
ップ1にDRAMを使用した場合は、上述したように、
コンデンサの充放電により記憶動作を行うため、データ
の読み書きを行う場合の信号波形は急峻な立ち上がりや
立ち下がりとなる。したがって、データ端子だけに対応
させてダンピング抵抗6を接続することでもノイズ対策
を行うことができる。
【0027】また、上述した実施形態では、モジュール
基板2上に4個のメモリ用ベアチップ1を実装する例を
説明したが、モジュール基板2に実装されるメモリ用ベ
アチップ1の数は4個に限定されない。ただし、通常の
コンピュータ機器は、メモリ容量を4の倍数で設定する
ことが多いため、モジュール基板に実装するメモリ用ベ
アチップ1の数は偶数個が望ましい。この場合も、上述
したように、各メモリ用ベアチップ1には1個ずつパス
コン7を接続することが望ましい。
【0028】上述した実施形態では、メモリ用ベアチッ
プ1をモジュール基板2にワイヤボンディングによって
COB実装を行ったが、フリップチップ実装を行っても
よい。この場合は、ワイヤボンディングによるCOB実
装と比較して、実装密度を高めることができるため、メ
モリモジュール10の外形寸法を小さくすることができ
る。
【0029】上述した実施形態では、基板用パッド4は
2個のメモリ用ベアチップ1に挟まれるように形成され
ているが、基板用パッド4の形成位置はメモリ用ベアチ
ップ1の外側でもよい。また、上述した実施形態では、
モジュール基板2にメモリ用ベアチップ1としてDRA
Mを実装する例を説明したが、SRAMやフラッシュR
OM等の他の種類のメモリ用ベアチップ1や、メモリ以
外のベアチップを実装することも可能である。
【0030】上述した実施形態では、COB実装によっ
てメモリ用ベアチップ1をモジュール基板2に実装する
例を説明したが、ガラス基板上にメモリ用ベアチップ1
を実装するいわゆるCOG(Chip On Glass )実装を行
ってもよく、モジュール基板2の材質は適宜変更するこ
とができる。
【0031】図5〜図14は、メモリモジュールの変形
例を示す図である。なお、これらの図においては、メモ
リ用ベアチップ1の配置状態やボンディングワイヤ5に
よる配線状態に着目しており、ダンピング抵抗6やパス
コン7は省略されている。図5に示すように、モジュー
ル基板2の中央に一列に形成された基板用パッド4に対
して、両側に配置されたメモリ用ベアチップ1から交互
にボンディングワイヤ5を引き出すようにしてもよい。
あるいは、図6に示すように複数本を単位として交互に
ボンディングワイヤ5を引き出したり、図7に示すよう
にモジュール基板2に形成された二列以上(同図では二
列)の基板用パッド4に対してボンディングワイヤ5を
接続するようにしてもよい。
【0032】また、図8や図9に示すように、メモリ用
ベアチップ1の長辺に沿って二列にチップ用パッド3を
形成し、各メモリ用ベアチップ1の両側にボンディング
ワイヤ5を引き出したり、図10〜図13に示すよう
に、メモリ用ベアチップ1の短辺に沿って二列にチップ
用パッド3を形成し、各メモリ用ベアチップ1の両側に
ボンディングワイヤ5を引き出すようにしてもよい。ま
た、図14に示すように、2個のメモリ用ベアチップ1
を用いてメモリモジュールを構成してもよい。
【0033】また、図15に示すように、メモリ用ベア
チップ1上のパッドと同間隔でモジュール基板2上にパ
ッド4′を形成しておいて、これらのパッド4′とメモ
リ用ベアチップ1上のパッドとが向かい合うように配置
することにより、フリップチップ実装を行うようにして
もよい。また、図11に示したようなメモリ用ベアチッ
プを用いてフリップチップ実装を行う場合には、取り付
け状態が不安定になるおそれがあるため、図16(a)
あるいは(b)に示すように、各メモリ用ベアチップの
短辺に近い位置に数個のパッドを形成することが望まし
い。
【0034】また、メモリ用ベアチップ上に一列にチッ
プ用パッド3を形成する場合には、一直線上に形成する
場合の他に、図17に示すように、階段状に一列に形成
するようにしてもよい。
【0035】
【発明の効果】上述したように、本発明によれば、メモ
リチップに形成されたチップ用パッドに直列に抵抗を接
続しており、この抵抗を介して入出力される信号波形の
立ち上がりや立ち下がりが緩やかになるため、オーバー
シュートやアンダーシュートとアンダーシュートによる
はね返り波等のノイズの発生が低減される。
【0036】また、本発明によれば、メモリチップに形
成された電源端子に対応するチップ用パッドと接地端子
に対応するチップ用パッドとの間にコンデンサを接続し
ており、入出力信号の立ち上がり時や立ち下がり時に大
きな電源電流が流れる場合であっても、コンデンサによ
る放電によって電荷を供給することにより電源電圧の低
下が抑制されるため、ノイズが低減される。
【0037】このようにして、モジュール基板上の各メ
モリチップのノイズ対策を行うことができる。また、メ
モリモジュールが実装される各種基板上にノイズ対策の
ためのダンピング抵抗やパスコンを実装する必要がなく
なるため、メモリモジュールを各種基板に実装する工程
を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態のメモリモジュールの概略を示す図
である。
【図2】図1に示したメモリモジュールのダンピング抵
抗が実装された部分を拡大した斜視図である。
【図3】図1に示したメモリモジュールのパスコンが実
装された部分を拡大した斜視図である。
【図4】図1に示したメモリモジュールの回路図であ
る。
【図5】メモリモジュールの変形例を示す図である。
【図6】メモリモジュールの他の変形例を示す図であ
る。
【図7】メモリモジュールの他の変形例を示す図であ
る。
【図8】メモリモジュールの他の変形例を示す図であ
る。
【図9】メモリモジュールの他の変形例を示す図であ
る。
【図10】メモリモジュールの他の変形例を示す図であ
る。
【図11】メモリモジュールの他の変形例を示す図であ
る。
【図12】メモリモジュールの他の変形例を示す図であ
る。
【図13】メモリモジュールの他の変形例を示す図であ
る。
【図14】メモリモジュールの他の変形例を示す図であ
る。
【図15】メモリモジュールの他の変形例を示す図であ
る。
【図16】メモリ用ベアチップの変形例を示す図であ
る。
【図17】メモリ用ベアチップの他の変形例を示す図で
ある。
【符号の説明】
1 メモリ用ベアチップ 2 モジュール基板 3 チップ用パッド 4 基板用パッド 5 ボンディングワイヤ 6 ダンピング抵抗 7 パスコン(バイパスコンデンサ) 8 外部接続端子 9 導電パターン 10 メモリモジュール 11 各種基板の信号線

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体ウエハから切り出されたメモリチ
    ップと、 前記メモリチップが実装されるモジュール基板と、 前記モジュール基板上に実装され、前記メモリチップに
    形成されたチップ用パッドに直列に接続される抵抗と、 を備えることを特徴とするメモリモジュール。
  2. 【請求項2】 請求項1において、 前記抵抗は、前記モジュール基板に形成された外部接続
    端子と、前記チップ用パッドとの間で電気的な接続を行
    うために前記モジュール基板に形成された基板用パッド
    との間を接続する信号線に挿入されることを特徴とする
    メモリモジュール。
  3. 【請求項3】 請求項1または2において、 前記メモリチップとしてDRAMを用いたことを特徴と
    するメモリモジュール。
  4. 【請求項4】 半導体ウエハから切り出されたメモリチ
    ップと、 前記メモリチップが実装されるモジュール基板と、 前記モジュール基板上に実装され、前記メモリチップに
    形成された電源端子に対応するチップ用パッドと接地端
    子に対応するチップ用パッドとの間に接続されるコンデ
    ンサと、 を備えることを特徴とするメモリモジュール。
  5. 【請求項5】 請求項4において、 前記コンデンサは、前記モジュール基板に形成された電
    源端子に対応する外部接続端子と前記モジュール基板に
    形成された電源端子に対応する基板用パッドとを接続す
    る信号線と、前記モジュール基板に形成された接地端子
    に対応する外部接続端子と前記モジュール基板に形成さ
    れた接地端子に対応する基板用パッドとを接続する信号
    線との間に挿入されることを特徴とするメモリモジュー
    ル。
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