JPH1173620A - Magnetic recording medium and its production - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To produce a magnetic recording medium excellent in both gride characteristics and CSS characteristics. SOLUTION: An adhesive layer 2, a protrusive structure 3, a middle layer 4, a non-magnetic underlying layer 5, a magnetic layer 6 and a protective layer 7 are formed on a substrate 1 to obtain the objective magnetic recording medium. The protrusive structure 3 having a large number of protrusions 3a that form irregularities to the surface of the protective layer 7 is formed on the adhesive layer 2. The heights of the protrusions 3a are in the range of 50-300 Åand the number of protrusions whose heights are >=70% of the max. height is 1-50 per 1 μm<2> area of the substrate.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
（以下、ＨＤＤという）などに用いられる磁気ディスク
等の磁気記録媒体およびその製造方法に関し、特にグラ
イド特性およびＣＳＳ特性の両方が優れた磁気記録媒体
およびその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium such as a magnetic disk used in a magnetic disk drive (hereinafter referred to as an HDD) and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a magnetic recording medium having both excellent glide characteristics and CSS characteristics. The present invention relates to a medium and a method for manufacturing the medium.

【０００２】[0002]

【従来の技術】一般に、ＨＤＤにおいては、記録再生時
に磁気ヘッドが磁気記録媒体に対して接触摺動−ヘッド
浮上−接触摺動するＣＳＳ（接触起動停止）方式が採用
されている。このＣＳＳ方式を採用したＨＤＤにおいて
は、停止時に磁気ヘッドと磁気記録媒体が接触し、始動
時に磁気ヘッドが磁気記録媒体に対して摺動する。この
ため、停止時における磁気ヘッドの磁気記録媒体に対す
る吸着や、摺動時における磁気記録媒体の磨耗を防ぐた
めに、基板表面に機械研磨を施すことなどによって磁気
記録媒体表面を粗面化し、磁気記録媒体の磁気ヘッドに
対する摩擦係数を低減させるテクスチャ処理が広く行わ
れている。2. Description of the Related Art In general, an HDD employs a CSS (contact start / stop) system in which a magnetic head contacts, slides, and floats on a magnetic recording medium during recording and reproduction. In the HDD adopting the CSS method, the magnetic head comes into contact with the magnetic recording medium when stopped, and the magnetic head slides with respect to the magnetic recording medium when started. Therefore, the surface of the magnetic recording medium is roughened by mechanically polishing the substrate surface to prevent the magnetic head from being attracted to the magnetic recording medium at the time of stoppage and to prevent the magnetic recording medium from being worn during sliding. Texture processing for reducing the coefficient of friction of a medium with respect to a magnetic head is widely performed.

【０００３】ところで、近年では、ＨＤＤの高記録密度
化に対する要望が高まっており、磁気記録媒体の磁気ヘ
ッドに対する低摩擦化および高耐摺動性化、即ちＣＳＳ
特性の向上ばかりでなく、磁気ヘッドのグライド高さ低
減が重要な技術課題となっている。これに伴い、テクス
チャ処理によって基板表面に形成するべき凹凸の高低差
等の制御を高い精度で行い、ＣＳＳ特性を低下させるこ
となく磁気記録媒体の表面粗さを小さくし、グライド特
性を向上させることが強く要望されてきている。[0003] In recent years, there has been an increasing demand for higher recording densities of HDDs, and a reduction in friction and a higher sliding resistance of a magnetic recording medium with respect to a magnetic head, ie, CSS.
Not only the improvement of the characteristics but also the reduction of the glide height of the magnetic head is an important technical problem. Along with this, it is necessary to control with high precision the height difference of irregularities to be formed on the substrate surface by texture processing, to reduce the surface roughness of the magnetic recording medium without lowering the CSS characteristics, and to improve the glide characteristics. Has been strongly desired.

【０００４】磁気記録媒体の上記特性を高めるため、ス
パッタリングによって基板上にテクスチャ処理を施すこ
とが提案され、近年、大きな関心を集めている。スパッ
タリングによるテクスチャ処理が施された磁気記録媒体
としては、例えば特開平３−７３４１９号公報に開示さ
れた磁気記録媒体が知られている。該公報に開示された
磁気記録媒体は、基板上に、スパッタリングにより形成
された凸部が、磁気記録媒体表面に凹凸を形成するよう
に設けられたものである。[0004] In order to enhance the above characteristics of the magnetic recording medium, it has been proposed to perform a texture treatment on the substrate by sputtering, and in recent years, has attracted great interest. As a magnetic recording medium subjected to a texture process by sputtering, for example, a magnetic recording medium disclosed in JP-A-3-73419 is known. In the magnetic recording medium disclosed in this publication, a projection formed by sputtering is provided on a substrate so as to form irregularities on the surface of the magnetic recording medium.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＨＤＤ
のいっそうの高記録密度化が要求されている現況下にあ
って、上記従来の磁気記録媒体のグライド特性およびＣ
ＳＳ特性は決して十分なものであるといえず、これらの
特性の更なる向上が要望されているのが現状である。本
発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、グライド特
性およびＣＳＳ特性の両方が優れた磁気記録媒体および
その製造方法を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION However, HDD
Under the current situation where higher recording density is required, the glide characteristics and C
The SS characteristics are not always satisfactory, and there is a demand for further improvement of these characteristics. The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a magnetic recording medium having both excellent glide characteristics and CSS characteristics, and a method for manufacturing the same.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】上記課題は、基板上に、
少なくとも非磁性下地層、磁性層、および保護層を有
し、基板と非磁性下地層との間に、保護層表面に凹凸を
形成する多数の突出部を有する突起状構造体を設け、突
起状構造体を、突出部の突出高さが５０〜３００Åの範
囲にあり、これら突出部のうち最大突出高さに対して７
０％以上の高さを有するものが基板面積に対して１〜５
０個／μｍ²の割合で形成されたものとした磁気記録媒
体によって解決される。上記突起状構造体は、ＡｌＳ
ｉ、Ｃｕ、またはこれらの合金を主成分とする材料から
なるものとするのが好ましい。また、突起状構造体は、
基板の面方向に島状に点在し、かつ積算厚みが５〜５０
Åとされたものとするのが好ましい。また、基板と突起
状構造体との間には、突起状構造体の基板側からの剥離
を防ぐ密着層を設けるのが好ましく、この密着層は、Ｃ
ｒ、Ｔｉ、またはこれらの合金を主成分とする材料から
なるものとするのが好ましい。また、突起状構造体上に
は、この磁気記録媒体の磁気特性を高める中間層を設け
るのが好ましく、この中間層は、Ｔａを含む材料、好ま
しくはＴａＮを主成分とする材料からなるものとするの
が好ましい。また、本発明の磁気記録媒体の製造方法
は、上記突起状構造体を、スパッタリングによって形成
することを特徴とするものである。Means for Solving the Problems The above object is achieved on a substrate by:
A projection-like structure having at least a nonmagnetic underlayer, a magnetic layer, and a protective layer, and having between the substrate and the nonmagnetic underlayer, a projection-like structure having a large number of projections for forming irregularities on the surface of the protection layer, The structure is such that the protrusion height of the protrusions is in the range of 50 to 300 ° and the maximum protrusion height of these protrusions is 7 °.
Those having a height of 0% or more are 1 to 5 with respect to the substrate area.
The problem is solved by a magnetic recording medium formed at a rate of 0 pieces / μm ² . The protruding structure is made of AlS
It is preferable to use a material containing i, Cu, or an alloy thereof as a main component. Also, the protruding structure is
Island-like scattered in the plane direction of the substrate, and the integrated thickness is 5 to 50
It is preferable to set it as Å. It is preferable to provide an adhesion layer between the substrate and the protruding structure to prevent the protruding structure from peeling off from the substrate side.
It is preferable to use a material containing r, Ti, or an alloy thereof as a main component. Further, it is preferable to provide an intermediate layer for improving the magnetic properties of the magnetic recording medium on the protruding structure. Is preferred. Further, a method of manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention is characterized in that the protruding structure is formed by sputtering.

【０００７】[0007]

【発明の実施の形態】以下、本発明の磁気記録媒体の一
例について図面を参照して説明する。図１は、本発明の
磁気記録媒体の一例を示すもので、ここに示す磁気記録
媒体は、基板１上に、密着層２、突起状構造体３、中間
層４、非磁性下地層５、磁性層６、および保護層７を順
次設けたものである。基板１としては、磁気記録媒体用
基板として一般に用いられるＮｉＰメッキ膜が形成され
たＡｌ合金に加え、ガラス、セラミック、カーボン、シ
リコン、シリコンカーバイドなどからなるものを用いる
ことができる。また、基板１は、その表面にメカニカル
テクスチャ処理などのテクスチャ処理を施したものとし
てもよい。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an example of a magnetic recording medium according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows an example of a magnetic recording medium according to the present invention. The magnetic recording medium shown in FIG. 1 has an adhesive layer 2, a projecting structure 3, an intermediate layer 4, a non-magnetic underlayer 5, The magnetic layer 6 and the protective layer 7 are sequentially provided. As the substrate 1, a substrate made of glass, ceramic, carbon, silicon, silicon carbide, or the like can be used in addition to an Al alloy having a NiP plating film generally used as a substrate for a magnetic recording medium. Further, the substrate 1 may have a surface that has been subjected to texture processing such as mechanical texture processing.

【０００８】密着層２は、突起状構造体３の基板側から
の剥離を防ぎ、磁気記録媒体の耐久性を向上させるため
のもので、その材料としては、この層に隣接する基板
１、突起状構造体３等に対する接合力の高いものが使用
される。具体例としてはＣｒ、Ｔｉ、またはこれらの合
金を主成分とするもの等が挙げられる。密着層２の厚み
は１０〜１０００Åとするのが好ましい。The adhesion layer 2 is for preventing the protrusion-like structure 3 from peeling off from the substrate side and for improving the durability of the magnetic recording medium. A material having a high bonding force to the flaky structure 3 or the like is used. Specific examples include those containing Cr, Ti, or an alloy thereof as a main component. It is preferable that the thickness of the adhesion layer 2 be 10 to 1000 °.

【０００９】突起状構造体３は、磁気記録媒体の表面に
微細な凹凸を形成し、磁気記録媒体のＣＳＳ特性を向上
させるためのもので、突出部３ａの突出高さが５０〜３
００Åの範囲にあり、かつこれら突出部３ａのうち最大
突出高さに対して７０％以上の高さを有するものが基板
１の面積に対して１〜５０個／μｍ²の割合で形成され
ているものとされている。なお、ここでいう突出部３ａ
の突出高さとは、上記多数の突起状構造体３の突出部突
出高さの最大値のことをいう。The protruding structure 3 is used to form fine irregularities on the surface of the magnetic recording medium to improve the CSS characteristics of the magnetic recording medium.
The projections 3a having a height of 70% or more with respect to the maximum projection height are formed at a rate of 1 to 50 pieces / μm ^{2 with} respect to the area of the substrate 1. It is supposed to be. In addition, the protrusion 3a referred to here
Is the maximum value of the projecting height of the projecting portions of the large number of projecting structures 3.

【００１０】突起状構造体３の突出部３ａの突出高さが
５０Å未満であると、磁気記録媒体表面の凹凸の高低差
が不足し磁気記録媒体への磁気ヘッド吸着が起きやすく
なり、ＣＳＳ特性が劣化する。また突出高さが３００Å
を越えると、突出部高さが不均一となり、磁気記録媒体
の最大表面粗さが大きくなり、グライド特性が低下す
る。If the protrusion height of the protrusion 3a of the protruding structure 3 is less than 50 °, the height difference between the irregularities on the surface of the magnetic recording medium is insufficient, and the magnetic head is likely to be attracted to the magnetic recording medium, and the CSS characteristics are increased. Deteriorates. The protruding height is 300mm
Is exceeded, the height of the protrusions becomes uneven, the maximum surface roughness of the magnetic recording medium increases, and the glide characteristics deteriorate.

【００１１】また、上記突出部３ａのうち突出高さが最
大のものに対して７０％以上の高さを有するものの単位
面積当たり個数が１個／μｍ²未満であると、磁気記録
媒体表面の摩擦係数が増加し、磁気ヘッドの吸着が起き
やすくなる。また単位面積当たり個数が５０個／μｍ²
を越えると、磁気記録媒体表面の凹凸の高低差が不足
し、ヘッドと媒体との間の接触面積が増加し、磁気ヘッ
ド吸着が起きやすくなるため好ましくない。If the number of the protrusions 3a having a height of 70% or more of the height of the protrusion 3a is less than 1 / μm ² , the surface of the magnetic recording medium can be reduced. The friction coefficient increases, and the magnetic head is likely to be attracted. The number per unit area is 50 pieces / μm ²
If it exceeds, the difference in height of the irregularities on the surface of the magnetic recording medium becomes insufficient, the contact area between the head and the medium increases, and the magnetic head is easily attracted, which is not preferable.

【００１２】突起状構造体３は、図１に示すように密着
層２上に不連続な島状に点在するように設けるのが好ま
しい。これは、突起状構造体３をこのような点在型とす
ると、製造時にその単位面積当たり個数を制御するのが
容易となり、しかも接合力の高い密着層２と上記中間層
４とを接触させることができ、これら層同士を強固に接
合させ、突起状構造体３を周囲から押さえつけ、突起状
構造体３の基板側または表面側隣接層からの剥離を確実
に防ぎ、磁気記録媒体の耐久性を向上させることができ
るためである。The projecting structures 3 are preferably provided so as to be scattered in discontinuous islands on the adhesive layer 2 as shown in FIG. This is because, when the projection-like structures 3 are of such a dotted type, it is easy to control the number per unit area at the time of manufacturing, and the contact layer 2 having a high bonding force is brought into contact with the intermediate layer 4. These layers are firmly joined to each other, the protrusion-like structure 3 is pressed down from the periphery, and the protrusion-like structure 3 is reliably prevented from peeling from the substrate side or the surface side adjacent layer, and the durability of the magnetic recording medium is improved. It is because it can improve.

【００１３】また、突起状構造体３は、積算厚みが５〜
５０Åとなるように形成することが好ましい。この積算
厚みが５Å未満であると、製造の際にこの積算厚みをコ
ントロールするのが難しくなる。また積算厚みが５０Å
を越えると、突起状構造体３の幅が大きくなり、突起状
構造体３が形成されていない部分、すなわち密着層２と
中間層４との接触部分の面積が小さくなり、磁気記録媒
体の耐久性が低下する。また磁気記録媒体表面の凹凸の
高低差が不足し、表面摩擦係数が増加し、磁気ヘッド吸
着が起きやすくなる。The projecting structure 3 has an integrated thickness of 5 to 5.
Preferably, it is formed to have an angle of 50 °. If the integrated thickness is less than 5 °, it is difficult to control the integrated thickness during manufacturing. The total thickness is 50mm
Is exceeded, the width of the protruding structure 3 becomes large, and the area of the portion where the protruding structure 3 is not formed, that is, the area of the contact portion between the adhesion layer 2 and the intermediate layer 4 becomes small. Is reduced. Further, the height difference between the irregularities on the surface of the magnetic recording medium is insufficient, the surface friction coefficient is increased, and the magnetic head is easily attracted.

【００１４】突起状構造体３の材料としては、ＡｌＳ
ｉ、Ｃｕ、またはこれらの合金を主成分とするものを用
いるのが好ましい。上記ＡｌＳｉとしては、Ｓｉの含有
率を５〜１５ａｔ％としたものを用いるのが好適であ
る。突起状構造体３の形成位置は、基板１の全面であっ
ても良く、一部のみであってもよい。なお、本明細書に
おいて、主成分とするとは、当該成分を５０ａｔ％以上
含むことをいう。The material of the projecting structure 3 is AlS
It is preferable to use one containing i, Cu, or an alloy thereof as a main component. It is preferable to use AlSi having a Si content of 5 to 15 at%. The formation position of the protruding structure 3 may be the entire surface of the substrate 1 or only a part thereof. In the present specification, the term “main component” means that the component is contained at 50 at% or more.

【００１５】中間層４は、その上に形成される非磁性下
地層５の結晶方位を整え、磁気記録媒体の保磁力等の磁
気特性を向上させるためのもので、その材料としては、
Ｔａを含むものを用いるのが好ましい。中でも特にＴａ
Ｎを主成分とするもの、特に１〜５０ａｔ％のＮを含む
ＴａＮを主成分とするものを用いるのが好ましい。中間
層４の厚みは２５〜１０００Åとするのが好ましい。The intermediate layer 4 is for adjusting the crystal orientation of the non-magnetic underlayer 5 formed thereon and improving the magnetic properties such as the coercive force of the magnetic recording medium.
It is preferable to use one containing Ta. Especially Ta
It is preferable to use one containing N as a main component, particularly one containing TaN containing 1 to 50 at% of N as a main component. It is preferable that the thickness of the intermediate layer 4 be 25 to 1000 °.

【００１６】非磁性下地層５としては、Ｃｒ、Ｃｒ／Ｔ
ｉ、Ｃｒ／Ｖ、Ｃｒ／Ｓｉなどを主成分とするものを用
いてよい。非磁性下地層５の厚みは、１０〜１０００Å
とするのが好ましい。The nonmagnetic underlayer 5 is made of Cr, Cr / T
A material containing i, Cr / V, Cr / Si or the like as a main component may be used. The thickness of the nonmagnetic underlayer 5 is 10 to 1000 °.
It is preferred that

【００１７】磁性層６としては、Ｃｏ，Ｆｅ，Ｎｉなど
の３ｄ遷移元素や４ｆ遷移元素等の磁性元素を含むもの
が用いられる。中でも特に、異方性エネルギーが大き
く、ｈｃｐ構造を取るＣｏを主成分とするものとする
と、保磁力を向上させることができるため好ましい。こ
の磁性層６の具体例としては、Ｃｏ／Ｃｒ，Ｃｏ／Ｃｒ
／Ｔａ，Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ／Ｔａ，Ｃｏ／Ｎｉ，Ｃｏ／
Ｎｉ／Ｐｔ，Ｃｏ／Ｎｉ／Ｃｒ，Ｃｏ／Ｎｉ／Ｃｒ／Ｐ
ｔ等を主成分とする合金からなるものを挙げることがで
きる。As the magnetic layer 6, a layer containing a magnetic element such as a 3d transition element such as Co, Fe, or Ni or a 4f transition element is used. Among them, it is particularly preferable to use Co, which has a large anisotropic energy and has an hcp structure as a main component, because the coercive force can be improved. Specific examples of the magnetic layer 6 include Co / Cr, Co / Cr
/ Ta, Co / Cr / Pt / Ta, Co / Ni, Co /
Ni / Pt, Co / Ni / Cr, Co / Ni / Cr / P
An alloy composed mainly of t or the like can be given.

【００１８】保護層７としては、カーボン、酸化シリコ
ン、窒化シリコンなどからなるものとしてよく、その厚
みは、３０〜１５０Åとするのが好ましい。また、保護
層７上に、パーフルオロポリエーテルなどからなる潤滑
層を設けてもよい。The protective layer 7 may be made of carbon, silicon oxide, silicon nitride, or the like, and preferably has a thickness of 30 to 150 °. Further, a lubricating layer made of perfluoropolyether or the like may be provided on the protective layer 7.

【００１９】次に、上記構成の磁気記録媒体を製造する
場合を例として、本発明の磁気記録媒体の製造方法の一
例について説明する。まず、ＮｉＰメッキＡｌ合金など
からなる基板１を用意し、この上に密着層２を形成す
る。密着層２を形成する方法としては、例えばＣｒ、Ｔ
ｉ、またはこれらの合金を主成分とする材料を用い、ス
パッタリング、真空蒸着、イオンプレーティング、メッ
キなどの手法により上記層を形成する方法を採用してよ
い。Next, an example of a method for manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention will be described, taking as an example the case of manufacturing the magnetic recording medium having the above configuration. First, a substrate 1 made of NiP-plated Al alloy or the like is prepared, and an adhesion layer 2 is formed thereon. As a method of forming the adhesion layer 2, for example, Cr, T
A method of forming the above layer by using a material containing i or an alloy thereof as a main component and employing a technique such as sputtering, vacuum deposition, ion plating, and plating may be employed.

【００２０】続いて、密着層２上に突起状構造体３を形
成する。突起状構造体３を形成する方法としては、スパ
ッタリングが採用される。スパッタリングを行うには、
汎用のＤＣマグネトロンスパッタ装置などのスパッタ装
置を用いることができる。Subsequently, a protruding structure 3 is formed on the adhesion layer 2. As a method of forming the protruding structure 3, sputtering is employed. To perform sputtering,
A sputtering device such as a general-purpose DC magnetron sputtering device can be used.

【００２１】スパッタリングによって突起状構造体３を
形成するには、まず、上記密着層２を形成した基板１を
スパッタ装置のチャンバ内に収容した状態で、チャンバ
内圧を好ましくは２×１０^-7Torr以下まで低下させると
ともに、上記密着層２を形成した基板１を５０〜２５０
℃程度となるよう加熱した後、ターゲットとして好まし
くはＡｌＳｉ、Ｃｕ、またはこれらの合金を主成分とす
る材料を用いてスパッタリングを行う。In order to form the protruding structure 3 by sputtering, first, the substrate 1 on which the above-mentioned adhesion layer 2 is formed is housed in a chamber of a sputtering apparatus, and the internal pressure of the chamber is preferably 2 × 10 ⁻⁷ Torr. The substrate 1 on which the adhesion layer 2 is formed is reduced to 50 to 250
After heating to about ° C., sputtering is preferably performed using a material mainly containing AlSi, Cu, or an alloy thereof as a target.

【００２２】一般に、被蒸着物上にスパッタリングを行
う際には、被蒸着物の温度が比較的高い状態で操作を行
うと、蒸着物が被蒸着物上で凝集しやすくなり、蒸着物
により形成される凸部の高さが大きくなる。また、蒸着
物の供給量を多くすると、凸部の単位面積当たりの数が
多くなる。またこの他、スパッタガス組成、その圧力、
スパッタ出力などを変化させることによってこれら凸部
高さや数を変化させることができる。また、上記のよう
なスパッタリング条件を適宜設定することによって、蒸
着物の凝集しやすさ、供給量を調節し、上記凸部の積算
厚みを変化させることもできる。In general, when sputtering is performed on an object to be deposited, if the operation is performed in a state in which the temperature of the object to be deposited is relatively high, the object tends to agglomerate on the object to be deposited. The height of the projected portion becomes large. In addition, when the supply amount of the deposition material is increased, the number of projections per unit area is increased. In addition, the composition of the sputtering gas, its pressure,
The height and number of these projections can be changed by changing the sputter output and the like. In addition, by appropriately setting the sputtering conditions as described above, it is also possible to adjust the easiness of agglomeration of the deposited material, the supply amount, and to change the integrated thickness of the projections.

【００２３】よって、スパッタリングを行う際には、上
記スパッタリング条件、即ち基板１の加熱温度、および
上記材料の供給量などを適宜調節することによって、突
起状構造体３を、突出部３ａの突出高さが５０〜３００
Åの範囲にあり、これら突出部３ａのうち最大突出高さ
に対して７０％以上の高さを有するものが基板面積に対
して１〜５０個／μｍ²の割合で形成されたものとす
る。また突起状構造体３は、積算厚みが５〜５０Åとな
り、かつ密着層２上に不連続な島状に点在するように形
成することが好ましい。Therefore, when sputtering is performed, the protrusion-like structure 3 is adjusted by appropriately adjusting the above-mentioned sputtering conditions, that is, the heating temperature of the substrate 1 and the supply amount of the above-described material, so that the protrusion height of the protrusion 3a is increased. Saga 50-300
It is assumed that one of these protruding portions 3a having a height of 70% or more with respect to the maximum protruding height is formed at a rate of 1 to 50 pieces / μm ^{2 with} respect to the substrate area. . Further, it is preferable that the projecting structures 3 are formed so that the integrated thickness is 5 to 50 ° and the discontinuous islands are scattered on the adhesive layer 2.

【００２４】次いで、中間層４、非磁性下地層５、磁性
層６、および保護層７をスパッタリング、真空蒸着、イ
オンプレーティング、メッキなどの手法により形成す
る。中間層４の材料としてＴａＮを用い、これを成膜す
る方法としてスパッタリングを採用する場合には、Ｔａ
ターゲットを用い、スパッタガス中にＮ₂ガスを所定割
合で含有させてスパッタリングを行う反応スパッタリン
グを用いるのが好適である。Next, the intermediate layer 4, the nonmagnetic underlayer 5, the magnetic layer 6, and the protective layer 7 are formed by a technique such as sputtering, vacuum deposition, ion plating, and plating. When TaN is used as the material of the intermediate layer 4 and sputtering is used as a method of forming the film, TaN is used.
Using a target, it is preferred to use a reactive sputtering the sputtering process is effected by incorporating a N ₂ gas at a predetermined ratio in the sputtering gas.

【００２５】上記構成の磁気記録媒体にあっては、突起
状構造体３の突出部３ａを、突出高さが５０〜３００Å
の範囲にあり、かつ最大突出高さに対して７０％以上の
高さを有するものが基板１の面積に対して１〜５０個／
μｍ²の割合で形成されているものとしたので、磁気記
録媒体表面に十分な高低差を有する凹凸が形成され、磁
気ヘッド吸着が発生しにくいものとなる。さらには、上
記表面凹凸の高低差を均一化し、大きなバリを無くし表
面粗さを小さくし、磁気ヘッドのグライド高さを例えば
１．０μinch以下まで低くすることを可能とすることが
できる。したがって、グライド特性およびＣＳＳ特性の
両方に優れた磁気記録媒体を得ることができる。In the magnetic recording medium having the above structure, the projection 3a of the projection-like structure 3 has a height of 50 to 300 degrees.
, And having a height of 70% or more with respect to the maximum protrusion height, 1 to 50 pieces /
Since the magnetic recording medium is formed at a ratio of μm ² , irregularities having a sufficient height difference are formed on the surface of the magnetic recording medium, and the magnetic head is less likely to be attracted. Further, it is possible to make the difference in height of the surface irregularities uniform, eliminate large burrs, reduce the surface roughness, and reduce the glide height of the magnetic head to, for example, 1.0 μinch or less. Therefore, it is possible to obtain a magnetic recording medium having excellent glide characteristics and CSS characteristics.

【００２６】また、突起状構造体３を密着層２上に不連
続な島状に点在するように設けることによって、製造時
にその単位面積当たり個数を制御するのが容易となり、
しかも突起状構造体３の上下に隣接する層である密着層
２と中間層４とを接合させ、突起状構造体３を周囲から
押さえつけ、突起状構造体３の基板側または表面側隣接
層からの剥離を確実に防ぐことができる。従って突起状
構造体３の材料として、これに隣接する層との接合力が
弱いものを用いた場合でも磁気記録媒体の耐久性を高く
することができる。Further, by providing the protruding structures 3 so as to be scattered in discontinuous islands on the adhesive layer 2, it is easy to control the number per unit area during manufacturing.
Moreover, the adhesive layer 2 and the intermediate layer 4 which are layers adjacent to the protrusion-like structure 3 above and below are joined to each other, and the protrusion-like structure 3 is pressed down from the periphery, so that the protrusion-like structure 3 is formed on the substrate side or the surface side adjacent layer. Can reliably be prevented from peeling off. Therefore, the durability of the magnetic recording medium can be increased even when a material having a weak bonding force with a layer adjacent thereto is used as the material of the projecting structure 3.

【００２７】また、これに加えて突起状構造体３を積算
厚みが５〜５０Åとなるようにすることによって、突起
状構造体３の幅を小さくし、突起状構造体３が形成され
ていない部分の密着層２と中間層４との接触部分の面積
を大きくし、磁気記録媒体の耐久性を一層向上させるこ
とができる。さらには、磁気記録媒体表面の凹凸の高低
差を十分なものとし、そのＣＳＳ特性を良好なものとす
ることができる。In addition, the width of the projecting structure 3 is reduced by making the projecting structure 3 have an integrated thickness of 5 to 50 °, so that the projecting structure 3 is not formed. The area of the contact portion between the contact layer 2 and the intermediate layer 4 in the portion can be increased, and the durability of the magnetic recording medium can be further improved. Further, the height difference between the irregularities on the surface of the magnetic recording medium can be made sufficient and the CSS characteristics can be made good.

【００２８】このように、突起状構造体３を密着層２上
に不連続な島状に点在するように設け、かつ突起状構造
体３を積算厚みが５〜５０Åとなるようにすることによ
って、容易に製造でき、かつ耐久性およびＣＳＳ特性に
優れた磁気記録媒体を得ることができる。As described above, the projection-like structures 3 are provided on the adhesion layer 2 so as to be scattered in discontinuous islands, and the projection-like structures 3 have an integrated thickness of 5 to 50 °. As a result, a magnetic recording medium that can be easily manufactured and has excellent durability and CSS characteristics can be obtained.

【００２９】また、基板１と突起状構造体３との間に密
着層２を設けることによって、突起状構造体３と密着層
２、および密着層２と基板１をそれぞれ強固に接合し、
磁気ヘッドが磁気記録媒体上を摺動する際に磁気記録媒
体に大きな力が加わったときでも突起状構造体３が基板
側から剥離するのを防ぎ、磁気記録媒体の耐久性を向上
させることができる。また、突起状構造体３上に、Ｔａ
を含む材料からなる中間層４を設けることによって、非
磁性下地層５をエピタキシャル成長させ、その結晶方位
を良好なものとし、磁気記録媒体の保磁力などの磁気特
性を向上させることができる。また、中間層４を、Ｔａ
Ｎを主成分とする材料からなるものとすることによっ
て、上記磁気特性をさらに向上させることができる。Further, by providing the adhesion layer 2 between the substrate 1 and the projection-like structure 3, the projection-like structure 3 and the adhesion layer 2, and the adhesion layer 2 and the substrate 1 are firmly joined, respectively.
Even when a large force is applied to the magnetic recording medium when the magnetic head slides on the magnetic recording medium, it is possible to prevent the protruding structure 3 from peeling off from the substrate side and to improve the durability of the magnetic recording medium. it can. Also, on the protruding structure 3, Ta
By providing the intermediate layer 4 made of a material containing, the nonmagnetic underlayer 5 can be epitaxially grown, its crystal orientation can be improved, and the magnetic characteristics such as the coercive force of the magnetic recording medium can be improved. The intermediate layer 4 is made of Ta.
The magnetic characteristics can be further improved by using a material containing N as a main component.

【００３０】また、上記磁気記録媒体の製造方法にあっ
ては、スパッタリングによって突起状構造体３を形成す
るので、スパッタリング時に基板１の加熱温度、上記材
料の供給量などを適宜調節することによって、突出高さ
および単位面積当たり個数が上記範囲内にある突出部３
ａを有する突起状構造体３を簡単な操作で製造すること
ができる。したがって、グライド特性およびＣＳＳ特性
の両方に優れた磁気記録媒体を容易に製造することがで
きる。In the method of manufacturing a magnetic recording medium, the projections 3 are formed by sputtering. Therefore, by appropriately adjusting the heating temperature of the substrate 1 and the supply amount of the above-described material during sputtering, Projection 3 whose projection height and number per unit area are within the above ranges
The projection-like structure 3 having a can be manufactured by a simple operation. Therefore, it is possible to easily manufacture a magnetic recording medium excellent in both glide characteristics and CSS characteristics.

【００３１】なお、上記例の磁気記録媒体にあっては、
突起状構造体３を、密着層２上に島状に点在した点在型
としたが、本発明の磁気記録媒体では、これに限らず、
図２に示すように、突起状構造体３'をこれらが一体化
した一体型としてもよい。In the magnetic recording medium of the above example,
Although the protrusion-like structures 3 are of an interspersed type in which the protrusions 3 are scattered like islands on the adhesive layer 2, the magnetic recording medium of the present invention is not limited to this.
As shown in FIG. 2, the projection-like structure 3 ′ may be an integral type in which these are integrated.

【００３２】以下、具体例を示して本発明の作用効果を
明確化する。 （実施例１）図１に示すものと同様の構造の磁気記録媒
体を作製した。基板１としてＮｉＰメッキＡｌ基板（直
径９５ｍｍ、厚さ０．８ｍｍ）を用い、この基板１に表
面粗さＲａが１５Åとなるようにメカニカルテクスチャ
リングを施した後、この基板１をＤＣマグネトロンスパ
ッタ装置（３１００スパッタ機、アネルバ社製）のチャ
ンバ内にセットした。チャンバ内を到達真空度が２×１
０^-7Torrとなるまで減圧した後、基板１上に、Ｃｒ₈₅Ｔ
ｉ₁₅からなる密着層２（厚さ１００Å）を成膜した。Hereinafter, the working effects of the present invention will be clarified by showing specific examples. (Example 1) A magnetic recording medium having the same structure as that shown in FIG. 1 was manufactured. A NiP-plated Al substrate (95 mm in diameter and 0.8 mm in thickness) is used as the substrate 1, and the substrate 1 is subjected to mechanical texturing so as to have a surface roughness Ra of 15 °. (3100 sputter machine, manufactured by Anelva) was set in the chamber. The ultimate vacuum degree in the chamber is 2 × 1
After reducing the pressure to 0 ^-7 Torr, Cr ₈₅ T
It was deposited adhesion layer 2 (thickness 100 Å) composed of i _15.

【００３３】次いで、上記スパッタ装置を用いて、上記
密着層２が形成された基板１の温度を２１０℃とした
後、密着層２上に突起状構造体３を形成した。この際、
ターゲットとしては、Ｓｉを５ａｔ％含むＡｌ（以下、
Ａｌ５％Ｓｉと表記）からなるものを用いた。Next, the temperature of the substrate 1 on which the adhesion layer 2 was formed was set to 210 ° C. by using the sputtering apparatus, and then the protruding structures 3 were formed on the adhesion layer 2. On this occasion,
As a target, Al containing 5 at% of Si (hereinafter, referred to as Al)
Al5% Si).

【００３４】引き続いて、上記スパッタ装置を用いて、
ＴａＮからなる中間層４（厚さ５０）Å、Ｃｒ₈₅Ｔｉ₁₅
からなる非磁性下地層５（厚さ１００Å）、Ｃｏ₇₅Ｃｒ
₁₅Ｐｔ₆Ｔａ₃からなる磁性層６、およびカーボンからな
る保護層７（厚さ１００Å）を成膜した。上記操作にお
いて、密着層２、突起状構造体３、非磁性下地層５、磁
性層６、保護層７を形成する際には、スパッタガスとし
てＡｒを用い、その圧力を３mTorrとした。また、中間
層４を形成する際には、スパッタガスとしてＡｒとＮ₂
の混合ガス（Ｎ₂ガスの分圧比２％）を用い、圧力を３m
Torrとした。突起状構造体３の突出部３ａの突出高さに
相当する平均線（中心線）の深さ（Ｒｐ）、最大突出高
さに対して７０％以上の高さを有する突起状構造体３の
単位面積当たり個数、および積算厚みを原子間力顕微鏡
（ＡＦＭ）を用いて測定した結果を表１に示す。Subsequently, using the above sputtering apparatus,
Intermediate layer 4 of TaN (thickness 50) ５０, Cr ₈₅ Ti ₁₅
Nonmagnetic underlayer 5 (thickness: 100 mm) made of Co ₇₅ Cr
_A magnetic layer 6 made of ₁₅ Pt ₆ Ta ₃ and a protective layer 7 (thickness: 100 °) made of carbon were formed. In the above operation, when forming the adhesion layer 2, the protruding structure 3, the nonmagnetic underlayer 5, the magnetic layer 6, and the protective layer 7, Ar was used as a sputtering gas, and the pressure was 3 mTorr. When forming the intermediate layer 4, Ar and N ₂ are used as sputtering gases.
Pressure of 3m using a mixed gas (2% partial pressure ratio of N ₂ gas)
Torr. The depth (Rp) of an average line (center line) corresponding to the protrusion height of the protrusion 3a of the protrusion-like structure 3, the height of the protrusion-like structure 3 having a height of 70% or more of the maximum protrusion height. Table 1 shows the results of measurement of the number per unit area and the integrated thickness using an atomic force microscope (AFM).

【００３５】（実施例２〜１０）基板１として、ＮｉＰ
メッキＡｌ基板（実施例１で用いたものと同様のも
の）、結晶化ガラス（直径９５ｍｍ、厚さ０．６３５ｍ
ｍ）、またはアルミノシリケート（直径９５ｍｍ、厚さ
０．６３５ｍｍ）を用い、突起状構造体３の材料として
Ａｌ10%Ｓｉ、Ａｌ15%Ｓｉ、Ａｌ20%Ｓｉ、またはＣｕ
を用いて、突起状構造体３を、Ｒｐ、単位面積当たり個
数、および積算厚みが表１に示すとおりとなるように上
記スパッタ装置によって形成し、その他の条件は実施例
１と同様にして磁気記録媒体を作製した。(Examples 2 to 10) As the substrate 1, NiP
Plated Al substrate (same as used in Example 1), crystallized glass (95 mm in diameter, 0.635 m in thickness)
m) or aluminosilicate (95 mm in diameter, 0.635 mm in thickness), and the material of the protruding structure 3 is Al10% Si, Al15% Si, Al20% Si, or Cu.
And the projection-like structure 3 is formed by the above-mentioned sputtering apparatus so that Rp, the number per unit area, and the integrated thickness are as shown in Table 1, and the other conditions are the same as those of the first embodiment. A recording medium was manufactured.

【００３６】（比較例１〜４）基板として、上記各実施
例で用いたものと同様のＮｉＰメッキＡｌ基板、結晶化
ガラス、またはアルミノシリケートを用い、突起状構造
体の材料としてＡｌ、Ａｇ、Ａｌ10%Ｓｉ、またはＡｌ2
0%Ｓｉを用い、突起状構造体のＲｐ、単位面積当たり個
数、および積算厚みを表１に示すとおりとし、その他の
条件は実施例１と同様にして磁気記録媒体を作製した。
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）による観察の結果、上記実施
例１〜１０および比較例１〜４の突起状構造体３は、い
ずれも図１に示すように密着層２上に島状に点在した形
状のものとなっていた。(Comparative Examples 1 to 4) The same NiP-plated Al substrate, crystallized glass, or aluminosilicate as those used in the above embodiments was used as the substrate, and Al, Ag, Al10% Si or Al2
Using 0% Si, the magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the Rp of the protruding structure, the number per unit area, and the integrated thickness were as shown in Table 1.
As a result of observation with an atomic force microscope (AFM), the protrusion-like structures 3 of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 4 were all scattered in islands on the adhesion layer 2 as shown in FIG. It was of the shape which was.

【００３７】上記実施例１〜１０および比較例１〜４の
各磁気記録媒体について、以下の項目を測定した。 (1)ＣＳＳ特性試験：再生部に磁気抵抗（ＭＲ）素子を
有する複合型薄膜磁気ヘッドを用い、ヘッド浮上量を
１．５μinch、磁気記録媒体の回転数を５４００ｒｐｍ
とし、半径１５ｍｍの位置で、上記磁気ヘッドのＣＳＳ
を１００００回繰り返した。この試験を最後まで支障無
く行うことができたものを○と評価した。 (2)摩擦係数：上記ＣＳＳ特性試験終了後の磁気記録媒
体表面の摩擦係数を測定した。 (3)耐久性試験：マルテンス式引掻き硬さ試験を実施し
た。この試験の結果、硬さ値が５ｇを越えたものを○、
１〜５ｇとなったものを△、１ｇ未満となったものを×
と評価した。 (4)グライドアバランチポイント：ピエゾ素子を備えた
グライドヘッドを媒体上で飛行させ、その浮上量を０．
５〜２．０μinchの範囲で０．１μinch刻みで変化させ
つつヒット信号をプロットし、その立ち上がりポイント
をグライドアバランチポイントとした。テスタとしては
ＳＯＮＹテクトロＤＳ４１００ヘッド２レール７０％ス
ライダを使用した。この項目については、実施例２、６
および比較例３の磁気記録媒体のみを測定した。 これら試験の結果を表１および表２に示す。The following items were measured for each of the magnetic recording media of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 4. (1) CSS characteristic test: using a composite thin film magnetic head having a magnetoresistive (MR) element in the reproducing section, the flying height of the head is 1.5 μinch, and the rotation speed of the magnetic recording medium is 5400 rpm.
And the CSS of the magnetic head at a position with a radius of 15 mm
Was repeated 10,000 times. A sample that was able to perform this test without any trouble was evaluated as ○. (2) Friction coefficient: The friction coefficient on the surface of the magnetic recording medium after the completion of the CSS characteristic test was measured. (3) Durability test: A Martens scratch hardness test was performed. As a result of this test, those having a hardness value exceeding 5 g were evaluated as ○,
1 to 5 g, x less than 1 g
Was evaluated. (4) Glide avalanche point: A glide head equipped with a piezo element is flown over a medium, and its flying height is set to 0.
The hit signal was plotted while being changed in the range of 5 to 2.0 μinch in increments of 0.1 μinch, and the rising point was defined as the glide avalanche point. As a tester, a SONY Tektro DS4100 head 2-rail 70% slider was used. This item is described in Examples 2 and 6.
Only the magnetic recording medium of Comparative Example 3 was measured. Tables 1 and 2 show the results of these tests.

【００３８】[0038]

【表１】 [Table 1]

【００３９】[0039]

【表２】 [Table 2]

【００４０】表１に示されるように、Ｒｐが５０〜３０
０Åの範囲にあり、かつ最大突出高さに対して７０％以
上の高さを有する突起状構造体３が基板１の面積に対し
て１〜５０個／μｍ²の割合で形成された実施例１〜１
０の磁気記録媒体は、ＣＳＳ特性に優れたものとなった
ことがわかる。これに対し、Ｒｐまたは単位面積当たり
個数が上記範囲外とされた比較例１〜４のものは、ＣＳ
Ｓ特性試験時に磁気ヘッドの吸着またはクラッシュが発
生し、ＣＳＳ特性に劣るものであることがわかる。As shown in Table 1, Rp is 50-30.
Example in which the projection-like structures 3 in the range of 0 ° and having a height of 70% or more with respect to the maximum projection height are formed at a rate of 1 to 50 / μm ^{2 with} respect to the area of the substrate 1. 1 to 1
It can be seen that the magnetic recording medium of No. 0 had excellent CSS characteristics. On the other hand, those of Comparative Examples 1 to 4 in which Rp or the number per unit area was out of the above-mentioned range were CS
It can be seen that the magnetic head is attracted or crashed during the S characteristic test, and the CSS characteristic is poor.

【００４１】また、表１に示す耐久性試験の結果より、
実施例１〜１０の中でも、突起状構造体３の積算厚みが
５〜５０Åの範囲にある実施例１〜８のものは、積算厚
みが上記範囲外である実施例９、１０のものに比べて優
れた耐久性を示したことがわかる。Further, from the results of the durability test shown in Table 1,
Among Examples 1 to 10, those of Examples 1 to 8 in which the cumulative thickness of the protruding structure 3 is in the range of 5 to 50 ° are compared with those of Examples 9 and 10 in which the cumulative thickness is outside the above range. It can be seen that they exhibited excellent durability.

【００４２】また、表２に示されるように、突起状構造
体３のＲｐが５０〜３００Åの範囲にある実施例２およ
び５の磁気記録媒体は、比較例２のものに比べてグライ
ド特性に優れたものとなったことがわかる。Further, as shown in Table 2, the magnetic recording media of Examples 2 and 5 in which the Rp of the protruding structure 3 was in the range of 50 to 300 ° had better glide characteristics than that of Comparative Example 2. It turns out that it became excellent.

【００４３】（実施例１１〜１４）上記スパッタ装置を
用い、次に示すように磁気記録媒体を作製した。実施例
１で用いたものと同様のＮｉＰメッキＡｌ基板上に、実
施例１で示した操作でＣｒまたはＴｉからなる密着層
（厚さ１００Å）を形成し、その上にＡｌ10%Ｓｉから
なる突起状構造体を形成した。この突起状構造体は、突
出高さが２００〜２５０Åであり、かつ最大突出高さに
対して７０％以上の高さを有するものが基板の面積に対
して３０〜４０個／μｍ²の割合で形成され、積算厚み
２５Åとされたものとなった。(Examples 11 to 14) Using the above sputtering apparatus, magnetic recording media were manufactured as follows. On the same NiP-plated Al substrate as used in Example 1, an adhesion layer (thickness: 100 mm) made of Cr or Ti was formed by the operation shown in Example 1, and a projection made of Al10% Si was formed thereon. -Like structures were formed. The protruding structure is a projection height is 200～250A, and the proportion of 30 to 40 pieces / [mu] m ² having 70% or more in height relative to the maximum protrusion height of the area of the substrate And an integrated thickness of 25 °.

【００４４】実施例１１〜１３においては、この上に、
実施例１において説明した操作でＴａＮからなる中間層
（厚さ１００Å）を形成した。また、実施例１４におい
ては、Ｔａからなる中間層（厚さ１００Å）を形成し
た。次いでＣｒ₈₅Ｔｉ₁₅からなる非磁性下地層（厚さ２
００Å）、Ｃｏ₇₅Ｃｒ₁₆Ｐｔ₆Ｔａ₃からなる磁性層（厚
さ２００Å）、カーボンからなる保護層（厚さ１００
Å）を成膜した。In Examples 11 to 13, on top of this,
An intermediate layer (thickness: 100 °) made of TaN was formed by the operation described in Example 1. In Example 14, an intermediate layer (thickness: 100 °) made of Ta was formed. Nonmagnetic underlayer made of Cr ₈₅ Ti ₁₅ followed (thickness 2
00Å), a magnetic layer made of Co ₇₅ Cr ₁₆ Pt ₆ Ta ₃ (thickness 200), and a protective layer made of carbon (thickness 100１００).
Å) was formed into a film.

【００４５】（実施例１５）中間層を設けないこと以外
は、実施例１２と同様にして磁気記録媒体を作製した。Example 15 A magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 12 except that no intermediate layer was provided.

【００４６】上記実施例１１〜１５の磁気記録媒体の磁
気特性を、振動式磁気特性装置（ＶＳＭ）を用いて、保
磁力（Ｈｃ）、残留磁化膜厚積（Ｂｒδ）、保磁力角型
比（Ｓ^*）の各項目について測定した。また、磁気記録
媒体の記録再生特性は、再生部に磁気抵抗（ＭＲ）素子
を有する複合型薄膜磁気ヘッドを用い、線記録密度１６
０ＫＦＣＩ（測定半径２８．１４ｍｍ、回転数５４００
ｒｐｍ）にて測定した。測定項目は、Ｓ／Ｎ比およびＪ
ＩＴＴＥＲとした。測定結果を表３に示す。The magnetic characteristics of the magnetic recording media of Examples 11 to 15 were measured by using a vibrating magnetic property device (VSM) to determine the coercive force (Hc), the product of the residual magnetization film thickness (Brδ), and the coercive force squareness ratio. It measured about each item of (S ^* ). The recording / reproducing characteristics of the magnetic recording medium were determined by using a composite thin-film magnetic head having a magneto-resistive (MR) element in the reproducing section, and a linear recording density of 16
0KFCI (measurement radius 28.14 mm, rotation speed 5400
rpm). Measurement items are S / N ratio and J
ITTER. Table 3 shows the measurement results.

【００４７】[0047]

【表３】 [Table 3]

【００４８】表３に示されるように、中間層を設けてい
ない実施例１５の磁気記録媒体に比べて、中間層を有す
る実施例１１〜１４のものは、保磁力（Ｈｃ）、保磁力
角型比（Ｓ^*）、Ｓ／Ｎ比、ＪＩＴＴＥＲに関して優れ
ていることがわかる。また、実施例１１〜１４の中でも
特に、中間層をＴａＮからなるものとした実施例１１〜
１３のものは上記磁気特性に優れたものとなったことが
わかる。As shown in Table 3, the coercive force (Hc) and the coercive force angle of the magnetic recording media of Examples 11 to 14 having the intermediate layer were different from those of the magnetic recording medium of Example 15 having no intermediate layer. It can be seen that the mold ratio (S ^* ), S / N ratio, and JITTER are excellent. Further, among Examples 11 to 14, Examples 11 to 14 in which the intermediate layer was made of TaN.
13 indicates that the magnetic properties were excellent.

【００４９】[0049]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気記録
媒体にあっては、突起状構造体を、その突出部の突出高
さが５０〜３００Åの範囲にあり、かつこれら突出部の
うち最大突出高さに対して７０％以上の高さを有するも
のが基板１の面積に対して１〜５０個／μｍ²の割合で
形成されているものとしたので、磁気記録媒体表面に十
分な高低差を有する凹凸が形成され、磁気ヘッド吸着が
発生しにくいものとなる。 さらには、上記表面凹凸の
高低差を均一化し、大きなバリを無くし表面粗さを小さ
くし、磁気ヘッドのグライド高さを低くすることができ
る。したがって、グライド特性およびＣＳＳ特性の両方
に優れた磁気記録媒体を得ることができる。As described above, in the magnetic recording medium of the present invention, the projecting structure is formed such that the projecting height of the projecting portion is in the range of 50 to 300 mm, and It is assumed that those having a height of 70% or more with respect to the maximum protruding height are formed at a rate of 1 to 50 pieces / μm ^{2 with} respect to the area of the substrate 1. Asperities having a height difference are formed, and magnetic head suction is less likely to occur. Further, the difference in height of the surface irregularities can be made uniform, large burrs can be eliminated, the surface roughness can be reduced, and the glide height of the magnetic head can be reduced. Therefore, it is possible to obtain a magnetic recording medium having excellent glide characteristics and CSS characteristics.

【００５０】また、突起状構造体を島状に点在するよう
に設け、かつ突起状構造体を積算厚みが５〜５０Åとな
るようにすることによって、容易に製造でき、かつ耐久
性およびＣＳＳ特性に優れた磁気記録媒体を得ることが
できる。Further, by providing the protruding structures so as to be scattered in islands, and by making the protruding structures have an integrated thickness of 5 to 50 °, they can be easily manufactured, and the durability and CSS can be improved. A magnetic recording medium having excellent characteristics can be obtained.

【００５１】また、本発明の磁気記録媒体の製造方法に
あっては、スパッタリングによって突起状構造体を形成
するので、突出高さおよび単位面積当たり個数が上記範
囲内にある突出部を有する突起状構造体を簡単な操作で
製造することができる。したがって、グライド特性およ
びＣＳＳ特性の両方に優れた磁気記録媒体を容易に製造
することができる。In the method of manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention, since the projection-like structure is formed by sputtering, the projection height and the number of projections having a number per unit area within the above-mentioned range are provided. The structure can be manufactured with a simple operation. Therefore, it is possible to easily manufacture a magnetic recording medium excellent in both glide characteristics and CSS characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】 本発明の磁気記録媒体の一例を示す一部断
面図である。FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing one example of a magnetic recording medium of the present invention.

【図２】 本発明の磁気記録媒体の他の例を示す一部
断面図である。FIG. 2 is a partial sectional view showing another example of the magnetic recording medium of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１・・・基板、２・・・密着層、３・・・突起状構造体、４・・・中
間層、５・・・非磁性下地層、６・・・磁性層、７・・・保護層DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate, 2 ... Adhesion layer, 3 ... Protrusion-like structure, 4 ... Intermediate layer, 5 ... Nonmagnetic underlayer, 6 ... Magnetic layer, 7 ... Protection layer

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 基板上に、少なくとも非磁性下地層、磁
性層、および保護層を有し、基板と非磁性下地層との間
に、保護層表面に凹凸を形成する多数の突出部を有する
突起状構造体を設けた磁気記録媒体であって、 前記突起状構造体を、突出部の突出高さが５０〜３００
Åの範囲にあり、これら突出部のうち最大突出高さに対
して７０％以上の高さを有するものが基板面積に対して
１〜５０個／μｍ²の割合で形成されたものとしたこと
を特徴とする磁気記録媒体。1. A substrate having at least a non-magnetic underlayer, a magnetic layer, and a protective layer on a substrate, and a plurality of protrusions for forming irregularities on the surface of the protective layer between the substrate and the non-magnetic underlayer. A magnetic recording medium provided with a protrusion-like structure, wherein the protrusion-like structure has a protrusion height of 50 to 300.
In the range of Å, that those having 70% or more in height relative to the maximum protrusion height of these protrusions is to those formed at a rate of 1-50 / [mu] m ² with respect to the substrate area A magnetic recording medium characterized by the above-mentioned. 【請求項２】 突起状構造体は、ＡｌＳｉ、Ｃｕ、また
はこれらの合金を主成分とする材料からなるものである
ことを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the projecting structure is made of a material mainly composed of AlSi, Cu, or an alloy thereof. 【請求項３】 突起状構造体は、基板の面方向に島状に
点在し、かつ積算厚みが５〜５０Åとされたものである
ことを特徴とする請求項１または２記載の磁気記録媒
体。3. The magnetic recording according to claim 1, wherein the projecting structures are scattered in an island shape in a plane direction of the substrate and have an integrated thickness of 5 to 50 °. Medium. 【請求項４】 基板と突起状構造体との間に、密着層を
設けたことを特徴とする請求項１〜３のうちいずれか１
項記載の磁気記録媒体。4. The method according to claim 1, wherein an adhesion layer is provided between the substrate and the protruding structure.
Item 7. The magnetic recording medium according to Item 1. 【請求項５】 密着層は、Ｃｒ、Ｔｉ、またはこれらの
合金を主成分とする材料からなるものであることを特徴
とする請求項４項記載の磁気記録媒体。5. The magnetic recording medium according to claim 4, wherein the adhesion layer is made of a material containing Cr, Ti, or an alloy thereof as a main component. 【請求項６】 突起状構造体上に、中間層を設けたこと
を特徴とする請求項１〜５のうちいずれか１項記載の磁
気記録媒体。6. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein an intermediate layer is provided on the protruding structure. 【請求項７】 中間層は、Ｔａを含む材料からなるもの
であることを特徴とする請求項６記載の磁気記録媒体。7. The magnetic recording medium according to claim 6, wherein the intermediate layer is made of a material containing Ta. 【請求項８】 中間層は、ＴａＮを主成分とする材料か
らなるものであることを特徴とする請求項７記載の磁気
記録媒体。8. The magnetic recording medium according to claim 7, wherein the intermediate layer is made of a material containing TaN as a main component. 【請求項９】 請求項１〜８のうちいずれか１項記載の
磁気記録媒体を製造する方法であって、突起状構造体
を、スパッタリングによって形成することを特徴とする
磁気記録媒体の製造方法。9. A method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein the protruding structure is formed by sputtering. .