JPH1173510A - Position detecting device - Google Patents
Position detecting deviceInfo
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- JPH1173510A JPH1173510A JP9234587A JP23458797A JPH1173510A JP H1173510 A JPH1173510 A JP H1173510A JP 9234587 A JP9234587 A JP 9234587A JP 23458797 A JP23458797 A JP 23458797A JP H1173510 A JPH1173510 A JP H1173510A
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- inspection
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- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、画像処理を用いる
位置検出装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a position detecting device using image processing.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種の位置検出装置として、特
開平６−１６００４７号により開示されたものが存在す
る。このものは、検査画像とその検査画像内で粗検出用
変位量ずつ順に変位する検出用変位動作をした正解画像
とを圧縮処理された画像同士で比較する比較処理の比較
結果に基づいて、検査範囲における検査対象の凡その位
置である粗位置を検出する粗検出処理をしてから、検査
画像と検査画像内で粗検出用変位量ずつ順に検出用変位
動作をした正解画像とを前回の圧縮率よりも緩和した圧
縮率でもって圧縮処理された画像同士で比較する比較処
理の比較結果に基づいて、検査範囲における検査対象の
位置を粗位置の近傍でより正確な精位置を検出する精検
出処理をして、検査範囲における検査対象の位置を多段
階検出する。2. Description of the Related Art Conventionally, as this kind of position detecting device, there is one disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-160047. This inspection is performed based on a comparison result of a comparison process of comparing the inspection image and a correct image that has undergone a displacement operation for detection that sequentially displaces by a displacement amount for coarse detection in the inspection image, between the compressed images. After performing coarse detection processing to detect the coarse position, which is the approximate position of the inspection target in the range, the previous compression of the inspection image and the correct image that has been sequentially subjected to the detection displacement operation in the inspection image by the coarse detection displacement amount Based on the comparison result of the comparison processing that compares the images compressed by the compression ratio less than the compression ratio, the precise detection of the position of the inspection target in the inspection range in the vicinity of the coarse position is performed more accurately. By performing the processing, the position of the inspection target in the inspection range is detected in multiple stages.
【０００３】詳しくは、このものは、正解画像を構成す
る複数の画素の一部を抽出する、いわゆる間引き処理で
もって、圧縮処理している。More specifically, the compression processing is performed by a so-called thinning-out processing for extracting a part of a plurality of pixels constituting a correct image.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の位置検
出装置にあっては、検査範囲における検査対象の位置を
多段階検出するから、１段階の検出処理でもって、検査
範囲における検査対象の位置を初めから正確に検出する
よりも、検出時間が短くてすむようになっている。In the above-described conventional position detecting device, the position of the inspection target in the inspection range is detected in multiple stages. The detection time is shorter than that of accurately detecting from the beginning.
【０００５】しかしながら、このものは、間引き処理で
もって圧縮処理しているから、正解画像を構成する複数
の画素から抽出されたものが、平均的な値を有するもの
ではなくて、特異的な値を有するものであるとき、検査
範囲における検査対象の位置を正確に精検出することが
できなくなってしまう。[0005] However, since this image is compressed by the thinning process, the image extracted from a plurality of pixels constituting the correct image is not an average value but a specific value. In this case, it becomes impossible to accurately and precisely detect the position of the inspection target in the inspection range.
【０００６】本発明は、上記の点に着目してなされたも
ので、その目的とするところは、検査範囲における検査
対象の位置を精度良く検出することができる位置検出装
置を提供することにある。The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a position detecting device capable of accurately detecting the position of an inspection object in an inspection range. .
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、請求項１記載の発明は、検査画像とその検査画
像内で粗検出用変位量ずつ順に変位する検出用変位動作
をした正解画像とを圧縮処理された画像同士で比較する
比較処理の比較結果に基づいて、検査範囲における検査
対象の凡その位置である粗位置を検出する粗検出処理を
してから、前記検査画像と前記検査画像内で粗検出用変
位量ずつ順に変位する検出用変位動作をした前記正解画
像とを前回の圧縮率よりも緩和した圧縮率でもって圧縮
処理された画像同士で比較する比較処理の比較結果に基
づいて、検査範囲における検査対象の位置を粗位置の近
傍でより正確な精位置を検出する精検出処理をして、検
査範囲における検査対象の位置を多段階検出する位置検
出装置において、前記圧縮処理は、平均圧縮処理である
構成にしてある。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problem, the invention according to claim 1 is a method for performing a detection displacement operation for sequentially displacing an inspection image and a coarse detection displacement amount within the inspection image. Based on a comparison result of a comparison process of comparing images and compressed images, a coarse detection process of detecting a rough position that is an approximate position of the inspection target in the inspection range, and then the inspection image and the A comparison result of a comparison process in which the correct image that has been subjected to the detection displacement operation that is sequentially displaced by the coarse detection displacement amount in the inspection image is compared with the images that have been subjected to the compression processing at a compression ratio that is less than the previous compression ratio. Based on the, in the position detection device that performs a fine detection process of detecting the position of the inspection target in the inspection range more accurate near the coarse position, and detects the position of the inspection target in the inspection range in multiple stages Serial compression process, are the average is compressed configuration.
【０００８】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記粗検出処理でもって前記粗位置を複数
個検出してから、前記複数の粗位置を絞り込む絞込処理
を伴った前記精検出処理をする構成にしてある。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the method further includes a narrowing-down process of narrowing down the plurality of coarse positions after detecting the plurality of coarse positions by the rough detection process. It is configured to perform fine detection processing.
【０００９】請求項３記載の発明は、請求項１又は２の
いずれかに記載の発明において、前記精検出用変位量
は、前記粗検出用変位量よりも小さい精検出用変位量
は、前記粗検出用変位量よりも小さい構成にしてある。According to a third aspect of the present invention, in the invention according to any one of the first and second aspects, the fine detection displacement is smaller than the coarse detection displacement. The configuration is smaller than the displacement amount for coarse detection.
【００１０】請求項４記載の発明は、請求項１乃至３の
いずれかに記載の発明において、前記粗検出用変位動作
が平行移動動作であり、前記精検出用変位動作が回転及
び平行移動を複合した複合変位動作である構成にしてあ
る。According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the coarse detection displacement operation is a parallel movement operation, and the fine detection displacement operation is a rotation and a parallel movement. It is configured to be a composite displacement operation.
【００１１】請求項５記載の発明は、請求項１乃至４の
いずれかに記載の発明において、前記比較処理は積和演
算を伴うものであって、その積和演算は、狙いとする計
算を専門に実行する計算手段によりなされた構成にして
ある。According to a fifth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the first to fourth aspects, the comparison processing involves a sum-of-products operation. The configuration is made by calculation means that is executed specially.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】本発明の第１実施形態を図１乃至
図７に基づいて以下に説明する。この位置検出装置は、
ＴＶカメラ1 、モニタ2 、メモリ3 、キャプチャーメモ
リ4A,4B 、ディスプレイメモリ5A,5B 、オーバーメモリ
6 、ＬＵＴ(Look Up Table) 7 、ＣＰＵ8 、ＡＳＩＣ9
、スキャンメモリ（図示せず）を備えて構成される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. This position detection device
TV camera 1, monitor 2, memory 3, capture memory 4A, 4B, display memory 5A, 5B, over memory
6, LUT (Look Up Table) 7, CPU8, ASIC9
, And a scan memory (not shown).
【００１３】ＴＶカメラ1 は、モニタ2 と共に、検査対
象を撮像する。メモリ3 は、検査対象を含む正解画像を
保存する。このメモリ3 は、切替スイッチSW1 によっ
て、ＣＰＵ8 とのアクセスとＡＳＩＣ9 とのアクセスが
切り替えられ、ＡＳＩＣ9 とＣＰＵ8 とにより、同時に
アクセスされないようになっている。The TV camera 1 captures an image of the inspection object together with the monitor 2. The memory 3 stores the correct image including the inspection target. The access to the memory 3 is switched between the access to the CPU 8 and the access to the ASIC 9 by the changeover switch SW1, and is not simultaneously accessed by the ASIC 9 and the CPU 8.
【００１４】キャプチャーメモリ4A,4B は、検査対象が
存在する検査範囲の検査画像をＴＶカメラ1 から取り込
み、その検査画像を記録する。このキャプチャーメモリ
4A,4B は、切替スイッチSW2a,SW2b によって、ＣＰＵ8
とのアクセスとＡＳＩＣ9 とのアクセスとＴＶカメラ1
との接続とがそれぞれ切り替えられるので、キャプチャ
ーメモリ4A又はキャプチャーメモリ4Bのいずれか一方が
ＣＰＵ8 又はＡＳＩＣ9 のいずれかに接続されていると
きは、他方がＴＶカメラ1 に接続されるようになってい
る。従って、キャプチャーメモリ4A又はキャプチャーメ
モリ4Bのいずれか一方がＣＰＵ8 又はＡＳＩＣ9 のいず
れかにより処理が行われているときは、他方がＴＶカメ
ラ1 に接続されて、次の検査画像の取り込みが行われる
ようになっている。The capture memories 4A and 4B capture the inspection image of the inspection range where the inspection object exists from the TV camera 1 and record the inspection image. This capture memory
4A and 4B are connected to the CPU 8 by the changeover switches SW2a and SW2b.
Access and ASIC9 access and TV camera 1
And the connection to the camera is switched, so that when one of the capture memory 4A and the capture memory 4B is connected to either the CPU 8 or the ASIC 9, the other is connected to the TV camera 1. . Therefore, when one of the capture memory 4A and the capture memory 4B is being processed by either the CPU 8 or the ASIC 9, the other is connected to the TV camera 1 so that the next inspection image is captured. It has become.
【００１５】ディスプレイメモリ5A,5B は、モニタ2 に
表示する画像を記録するものでって、切替スイッチSW3
a,SW3b によって、ＣＰＵ8 とのアクセスと、検査画像
の取り込みためのＴＶカメラ1 との接続と、表示のため
のモニタ2 との接続とがそれぞれ切り替えられる。The display memories 5A and 5B store images to be displayed on the monitor 2, and are provided with a changeover switch SW3.
By a and SW3b, access to the CPU 8, connection to the TV camera 1 for capturing an inspection image, and connection to the monitor 2 for display are respectively switched.
【００１６】オーバーメモリ6 は、文字や図形を描画
し、検査画像と重ねてモニタ2 に表示させる。ＬＵＴ(L
ook Up Table) 7 は、モニタ2 への出力値を決定するテ
ーブルを有している。The over memory 6 draws characters and figures and displays them on the monitor 2 so as to overlap with the inspection image. LUT (L
The ook up table 7 has a table for determining output values to the monitor 2.
【００１７】ＣＰＵ8 は、汎用計算を実行するものであ
って、ＡＳＩＣ9 が処理する計算以外の全ての処理の計
算を実行する。The CPU 8 executes general-purpose calculations, and executes calculations of all processes other than the calculations performed by the ASIC 9.
【００１８】ＡＳＩＣ（計算手段）9 は、単純計算であ
る乗算及び加算を繰り返して行うのに適したものであっ
て、狙いとする計算である積和演算（Σｘｙ）を専門に
実行する。この積和演算は、ｘ＝１のときは総和計算と
なり、ｘ≠ｙのときは狭義の積和計算となり、ｘ＝ｙの
ときは二乗和計算となる。なお、このＡＳＩＣ9 の動作
及び積和演算式については、それぞれ詳しく後述する。The ASIC (calculation means) 9 is suitable for repeatedly performing simple multiplication and addition, and specially executes a product-sum operation (Σxy) as a target calculation. This sum-of-products operation is a summation calculation when x = 1, a narrowly-defined sum-of-products calculation when x ≠ y, and a square-sum calculation when x = y. The operation of the ASIC 9 and the product-sum operation expression will be described later in detail.
【００１９】スキャンメモリは、ＡＳＩＣ9 を実際に動
作させるためのスキャンデータが保存され、メモリ3 及
びキャプチャーメモリ4A,4B と共に、メモリ部を構成す
る。なお、スキャンデータは、ＣＰＵ8 によって作成さ
れる。The scan memory stores scan data for actually operating the ASIC 9, and constitutes a memory section together with the memory 3 and the capture memories 4A and 4B. The scan data is created by the CPU 8.
【００２０】次に、図３に基づいて、ＡＳＩＣ9 の動作
を詳しく説明する。初めに、ＣＰＵ8 がＡＳＩＣ9 を選
択して、スキャンデータを転送すると、ＡＳＩＣ9 は、
メモリ選択及びライトモード選択を行う。これによっ
て、メモリ部では、そのスキャンメモリにスキャンデー
タを書き込むようになっている。そして、チェッカ装置
（図示せず）をスタートさせると、ＣＰＵ8 によって、
ＡＳＩＣ9 では、メモリ選択及びスキャンメモリの読出
アドレスを生成する。これによって、メモリ部では、ス
キャンメモリからデータの読出を行う。このデータの読
出に対応して、ＡＳＩＣ9 は、データ数のチェック、モ
ード設定、各種パラメータ設定、スキャンデータの生成
を行うとともに、ビデオメモリであるキャプチャーメモ
リ4A,4B 及びメモリ3 のデータの読出を行う。ＡＳＩＣ
9 は、この読み出したデータを設定モードセレクトに基
づいて、濃淡データカウント、つまり、総和、狭義の積
和、二乗和の計算である積和演算を行い、その積和演算
の結果を読み出すよう、ＣＰＵ8 に要求を行う。ＣＰＵ
8 は、タイミング調整を行って、積和演算の結果を読出
を行う。Next, the operation of the ASIC 9 will be described in detail with reference to FIG. First, when the CPU 8 selects the ASIC 9 and transfers the scan data, the ASIC 9
Memory selection and write mode selection are performed. Thus, the memory unit writes the scan data to the scan memory. Then, when a checker device (not shown) is started, the CPU 8
The ASIC 9 generates a memory selection and a read address of the scan memory. Thus, the memory section reads data from the scan memory. In response to the reading of the data, the ASIC 9 checks the number of data, sets a mode, sets various parameters, generates scan data, and reads data from the capture memories 4A and 4B, which are video memories, and the memory 3. . ASIC
9 performs, based on the set mode select, the read data, performs a gray-scale data count, that is, a sum-of-products calculation in a narrow sense, and a sum-of-squares calculation, and reads the result of the sum-of-products calculation. It makes a request to CPU8. CPU
8 performs timing adjustment and reads the result of the product-sum operation.
【００２１】次に、このものの全体動作を説明する。こ
のものは、検査画像内で粗検出用変位量ずつ順に変位す
る検出用変位動作をした検査対象を含む正解画像と検査
画像とを、図１に示すように圧縮処理がなされた画像同
士で比較する比較処理の比較結果に基づいて、検査範囲
における検査対象の凡その位置である粗位置を検出する
粗検出処理をしてから、検査画像内で粗検出用変位量ず
つ順に変位する検出用変位動作をした正解画像と検査画
像とを前回の圧縮率よりも緩和した圧縮率でもって圧縮
処理された画像同士で比較する比較処理の比較結果に基
づいて、検査範囲における検査対象の位置を粗位置の近
傍でより正確に検出する精検出処理をして、検査範囲に
おける検査対象の位置を多段階で検出する多段階検出
を、圧縮率をＸ，Ｙ方向のいずれの方向も、１／１６か
ら１／８，１／４，１／２，１／１と順に緩和した５段
階で行っている。ここで、圧縮処理とは、正方形の領域
内の輝度の平均値を計算して、この計算値を圧縮画像の
１画素の輝度とする平均圧縮処理のことをいう。例え
ば、１／１６の圧縮率であれば、１６×１６画素の領域
内の輝度の平均値が、圧縮画像の１画素の輝度となる。Next, the overall operation of this device will be described. As shown in FIG. 1, a correct image including an inspection target that has undergone a displacement operation for detection that is sequentially displaced by a coarse detection displacement amount in an inspection image is compared with an inspection image between images that have been subjected to compression processing as shown in FIG. Based on the comparison result of the comparison process, the detection displacement is performed by performing a coarse detection process of detecting a rough position, which is an approximate position of the inspection target in the inspection range, and then sequentially displacing the coarse detection displacement amount in the inspection image. The position of the inspection target in the inspection range is set to the coarse position based on the comparison result of the comparison processing in which the operated correct image and the inspection image are compared with each other at the compression ratio relaxed from the previous compression ratio. The multi-stage detection for detecting the position of the inspection target in the inspection range in multiple stages by performing the fine detection process for more accurately detecting in the vicinity of, and the compression ratio in both the X and Y directions from 1/16 1/8, 1/4 Is carried out in five steps was relaxed to 1 / 2,1 / 1 and sequentially. Here, the compression processing refers to an average compression processing in which an average value of luminance in a square area is calculated and the calculated value is set as the luminance of one pixel of the compressed image. For example, if the compression ratio is 1/16, the average value of the luminance in a region of 16 × 16 pixels is the luminance of one pixel of the compressed image.
【００２２】次に、図７に基づいて、このものの動作を
詳しく説明する。初めに、上記した圧縮率でもって、検
査画像及び正解画像の圧縮処理がなされる。それから、
圧縮された正解画像は、図４に示すように、変位動作の
１つである回転を検出用変位角（検出用変位量）θだけ
行い、続いて、変位動作の１つである平行移動を圧縮画
像の１画素である検出用変位長（検出用変位量）ずつ所
定範囲内で順に行う、いわゆるラスタ走査をする。この
回転及び平行移動からなる変位動作は、回転角度が所定
角度φになるまで行われる。Next, the operation of this device will be described in detail with reference to FIG. First, the inspection image and the correct image are compressed with the above-mentioned compression ratio. then,
As shown in FIG. 4, the compressed correct answer image is rotated by one of the displacement operations by a displacement angle for detection (displacement amount for detection) θ, and then subjected to a parallel movement, one of the displacement operations. So-called raster scanning is performed in order within a predetermined range by a detection displacement length (detection displacement amount), which is one pixel of the compressed image. The displacement operation including the rotation and the parallel movement is performed until the rotation angle reaches the predetermined angle φ.
【００２３】なお、第１段階の検出処理での所定角度φ
は、例えば、３６０°である。検出用変位角θは、回転
中心から最も離れた位置の画素が１画素変位するときの
角度を計算する(1) 式により求められる。この(1) 式に
おいて、Distは、回転中心とその回転中心から最も離れ
た位置の画素との距離を示す。このDistは、回転中心と
その回転中心から最も離れた位置の画素との距離である
から、圧縮率が緩和されるにつれて次第に大きくなる。
従って、検出用変位角θは、圧縮率が緩和されるにつれ
て次第に小さくなる。つまり、精検出処理に用いられる
精検出用変位角は、粗検出処理に用いられる粗検出用変
位角よりも小さくなる。The predetermined angle φ in the first stage of the detection process
Is 360 °, for example. The detection displacement angle θ is obtained by Expression (1) that calculates the angle at which the pixel farthest from the rotation center is displaced by one pixel. In the equation (1), Dist indicates the distance between the rotation center and the pixel farthest from the rotation center. This Dist is the distance between the center of rotation and the pixel at the position farthest from the center of rotation, and thus gradually increases as the compression ratio is reduced.
Accordingly, the detection displacement angle θ gradually decreases as the compression ratio is reduced. That is, the displacement angle for fine detection used in the fine detection process is smaller than the displacement angle for coarse detection used in the coarse detection process.
【００２４】 検出用変位角θ＝Ｓｉｎ-1（１／Dist） (1) 一方、第１段階の検出処理での所定範囲は、圧縮された
画像の全領域である。検出用変位長は、前述したよう
に、圧縮画像の１画素であるから、圧縮率が緩和される
につれて小さくなる。つまり、精検出処理に用いられる
精検出用変位長は、粗検出処理に用いられる粗検出用変
位長よりも小さくなる。The detection displacement angle θ = Sin −1 (1 / Dist) (1) On the other hand, the predetermined range in the first-stage detection processing is the entire region of the compressed image. As described above, since the detection displacement length is one pixel of the compressed image, the displacement length decreases as the compression ratio is reduced. That is, the displacement length for fine detection used in the fine detection process is smaller than the displacement length for coarse detection used in the coarse detection process.
【００２５】こうして、第１段階の検出処理がなされた
後に、次段階の検出処理がなされる。次段階以降の検出
処理での所定角度φは、図５に示すように、検査対象の
凡その位置が検出された角度を中心として、前段階の検
出用変位角θを加算した角度と減算した角度の間とす
る。なお、図５は、所定角度φを説明するための図であ
って、圧縮処理がなされていない。After the first-stage detection process is performed, the next-stage detection process is performed. As shown in FIG. 5, the predetermined angle φ in the detection processing of the next and subsequent steps is, as shown in FIG. 5, a value obtained by subtracting an angle obtained by adding the detection displacement angle θ of the previous step about the angle at which the approximate position of the inspection target is detected. Between angles. FIG. 5 is a diagram for explaining the predetermined angle φ, and the compression process is not performed.
【００２６】次段階の検出処理での所定範囲を定める所
定寸法LLは、図６に示すように、Ｘ，Ｙ方向のいずれの
方向も、検査対象の凡その位置が検出された粗位置を中
心として、（次段階である今回の圧縮率）／（前回の圧
縮率）からなる寸法値L を加算した位置と減算した位置
との間とする。例えば、前回の圧縮率が１／１６、次回
の圧縮率が１／８であると、寸法値L が２となり、次段
階の検出処理での所定寸法LLは、前段階で検出された位
置を中心として、±２画素の範囲となる。なお、図６
は、所定寸法LLを説明するための図であって、圧縮処理
がなされていない。As shown in FIG. 6, the predetermined size LL defining the predetermined range in the next detection processing is, in any of the X and Y directions, centered on the coarse position where the approximate position of the inspection object is detected. It is assumed that the position is between the position where the dimension value L composed of (the next stage of the current compression ratio) / (the previous compression ratio) is added and the position where the dimensional value L is subtracted. For example, if the previous compression ratio is 1/16 and the next compression ratio is 1/8, the dimension value L is 2, and the predetermined dimension LL in the next stage of detection processing is the position detected in the previous stage. The center is within a range of ± 2 pixels. FIG.
Is a diagram for explaining a predetermined size LL, in which a compression process is not performed.
【００２７】上記した変位動作の後に、積和演算を伴う
式(2) により、正解画像と検査画像とが重合する重合領
域での両画像の一致度を示す相関値Ｒをそれぞれ計算し
て、その相関値Ｒを比較し、相関値Ｒが最大となる座標
及び回転角度の組み合わせを求めることでもって、検出
検査範囲における検査対象の位置を検出する。After the above displacement operation, a correlation value R indicating the degree of coincidence between the correct image and the inspection image in the overlapping area where the correct image and the inspection image overlap is calculated by Expression (2) involving the product-sum operation, The correlation value R is compared, and the position of the inspection target in the detection inspection range is detected by obtaining the combination of the coordinate and the rotation angle at which the correlation value R becomes the maximum.
【００２８】なお、式(2) において、ｆ（ｘ，ｙ）は座
標（ｘ，ｙ）での正解画像の輝度値を示し、ｇ（ｘ，
ｙ）は座標（ｘ，ｙ）での検査画像の輝度値を示し、Ｓ
は正解画像と検査画像とが重合する重合領域を示し、ｍ
ｎは重合領域の画素数を示している。In equation (2), f (x, y) indicates the luminance value of the correct image at coordinates (x, y), and g (x, y)
y) indicates the luminance value of the inspection image at the coordinates (x, y), and S
Indicates a superimposed area where the correct image and the inspection image are superimposed, and m
n indicates the number of pixels in the overlapping area.
【００２９】[0029]
【数１】 (Equation 1)
【００３０】上記した手順により、検出検査範囲におけ
る検査対象の位置を検出すると、例えば、検査画像のサ
イズが５１２×４８０画素、正解画像のサイズが１２８
×１２８画素、最終段階の検出用変位角θが１°である
とき、検出処理に伴う全計算処理数が１９３００回とな
り、全処理時間が１秒程度となっている。これは、多段
階検出をせずに１段階の検出でもって検出検査範囲にお
ける検査対象の位置を検出する場合の全計算処理数が４
８００万回、全処理時間が数秒であるのに比較して、検
出処理数及び検出時間を大幅に小さくしたものとなって
いる。なお、上記した１９３００回の処理回数の約９８
％は、第１段階の検出処理での処理回数となっている。When the position of the inspection object in the detection inspection range is detected by the above-described procedure, for example, the size of the inspection image is 512 × 480 pixels, and the size of the correct image is 128.
When × 128 pixels and the displacement angle θ for detection at the final stage are 1 °, the total number of calculation processes involved in the detection process is 19,300, and the total processing time is about 1 second. This is because the total number of calculation processes when detecting the position of the inspection target in the detection inspection range by one-stage detection without performing multi-stage detection is four.
The number of detection processes and the detection time are significantly reduced as compared with 8 million times and the total processing time is several seconds. In addition, about 98 of the above-mentioned 19300 processing times
% Is the number of times of processing in the first-stage detection processing.
【００３１】かかる位置検出装置にあっては、平均圧縮
処理による画像は、正解画像を構成する複数の画素の一
部を抽出する、いわゆる間引き処理による画像とは異な
って、複数の画素の有する値が平均された値を有してい
るから、複数の画素に特異的な値を有するものがあって
も、その特異的な値が平均されるために特異的な値その
ものを有することがなくなるので、検査範囲における検
査対象の位置を正確に検出することができる。In such a position detecting device, the image obtained by the average compression process is different from the image obtained by the so-called decimation process in which a part of the plurality of pixels constituting the correct image is extracted. Has an averaged value, so even if a plurality of pixels have a specific value, since the specific value is averaged, the pixel does not have a specific value itself. In addition, the position of the inspection target in the inspection range can be accurately detected.
【００３２】また、粗検出用変位量よりも小さい精検出
用変位量ずつ順に変位することにより、粗検出用変位量
と同一の精検出用変位量ずつ順に変位する場合よりも、
精緻な精検出処理をすることができ、検査範囲における
検査対象の位置を正確に検出することができるという効
果を、一段と奏することができる。Further, by sequentially displacing the fine detection displacement amount smaller than the coarse detection displacement amount, it is possible to displace the fine detection displacement amount in the same order as the coarse detection displacement amount.
This makes it possible to perform a fine and precise detection process, and to achieve the effect of being able to accurately detect the position of the inspection target in the inspection range.
【００３３】また、積和演算は、狙いとする計算を専門
に実行するＡＳＩＣ9 によりなされるのであって、汎用
計算に用いられるＣＰＵ8 によってなされるのではない
から、ＣＰＵ8 よりも積和演算に要する時間を短くする
ことができる。例えば、検査画像のサイズが５１２×４
８０画素、正解画像のサイズが１２８×１２８画素であ
るとき、ＣＰＵ8 のみによる積和演算を実行した場合は
処理時間が数秒かかっていたのに対し、本実施形態で
は、１秒程度まで短縮される。Further, since the product-sum operation is performed by the ASIC 9 that executes a target calculation exclusively, and is not performed by the CPU 8 used for general-purpose calculation, the time required for the product-sum operation is longer than that of the CPU 8. Can be shortened. For example, if the size of the inspection image is 512 × 4
When the product-sum operation is executed only by the CPU 8 when the size of the correct image is 80 × 80 pixels and the size of the correct image is 128 × 128 pixels, the processing time takes several seconds. In the present embodiment, the processing time is reduced to about 1 second. .
【００３４】次に、本発明の第２実施形態を図８に基づ
いて以下に説明する。なお、第１実施形態と同一の部材
には同一の符号を付し、第１実施形態と異なるところの
み記す。第１実施形態では、各段階の検出処理の際に、
相関値Ｒが最大となる座標及び回転角度を求めることで
もって、検査対象の位置を検出しているのに対し、本実
施形態では、最終段階以外の各段階の検出処理の際に、
相関値Ｒが相対的に高くて、かつ閾値を超える座標及び
回転角度の組み合わせを複数個求めてから、その次の段
階の検出の際に、前段階で求められた複数の組み合わせ
を絞り込む絞込処理を伴った検出を行うようにしてい
る。Next, a second embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. The same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and only the parts different from those in the first embodiment will be described. In the first embodiment, at the time of the detection processing at each stage,
While the position of the inspection target is detected by obtaining the coordinates and the rotation angle at which the correlation value R becomes the maximum, in the present embodiment, at the time of the detection processing of each stage other than the final stage,
After obtaining a plurality of combinations of coordinates and rotation angles that have a relatively high correlation value R and exceed a threshold, when detecting the next stage, narrow down the plurality of combinations obtained in the previous stage. Detection accompanied by processing is performed.
【００３５】詳しくは、例えば、第１段階の検出処理の
際に、図８に示すように、相関値Ｒがそれ程低くもない
上位７位までの座標及び回転角度の組み合わせがある場
合、相関値Ｒが相対的に高い上位５位までの組み合わせ
を選択し、選択閾値を超える相関値Ｒを有した組み合わ
せが上位４位までであるとき、その上位４位までの組み
合わせ、すなわち第１位乃至第４位の組み合わせC1,C2,
C3,C4 のみを求めることでもって、検査対象の位置を複
数個検出し、次段階である第２段階の検出処理の際に、
上位４位までの検出位置それぞれに基づいて、変位動作
の１つである平行移動のための所定範囲及び検出用変位
長Ｌ、並びに変位動作の１つである回転のための所定角
度φ及び検出用変位角θを計算して、第２段階の検出処
理を行う。More specifically, for example, in the first stage of the detection process, as shown in FIG. 8, when there are combinations of the coordinates and rotation angles of the top seven positions where the correlation value R is not so low, the correlation value R The top five combinations having a relatively high R are selected, and when the combinations having the correlation value R exceeding the selection threshold are the top four combinations, the combinations up to the top four, that is, the first to fourth combinations 4th combination C 1 , C 2 ,
By obtaining only C 3 and C 4 , a plurality of positions to be inspected are detected, and in the next stage of the second stage of the detection process,
Based on each of the top four detection positions, a predetermined range and a detection displacement length L for parallel movement as one of the displacement operations, a predetermined angle φ for rotation as one of the displacement operations, and detection. Is calculated, and a second-stage detection process is performed.
【００３６】かかる位置検出装置にあっては、前段階の
検出処理で、唯一の位置を検出する場合では、ノイズ等
の要因により、その検出された位置が精度良く検出され
たものでなく誤差を有するときもあり得るが、前段階の
検出処理の際に、複数個の位置を検出してから、次段階
の検出処理の際に、複数個の検出位置を絞り込む絞込処
理もすると、ノイズ等の要因により、その検出された複
数の位置の中に、万が一、精度良く検出されたものでな
く誤差を有するものが含まれていても、検出位置を絞り
込む絞込処理の際に、誤差を有するものを排除すること
ができるから、検査範囲における検査対象の位置を正確
に検出することができるという効果を、一段と奏するこ
とができる。In such a position detecting device, when only one position is detected in the detection processing in the previous stage, the detected position is not accurately detected due to a factor such as noise and an error is detected. Although it may be possible to detect the noise, if a plurality of positions are detected in the detection process in the previous stage, and then a plurality of detection positions are narrowed down in the detection process in the next stage, noise or the like may occur. Due to the above factor, even if the plurality of detected positions include an error that is not accurately detected and has an error, an error occurs during the narrowing-down process of narrowing down the detected position. Since the object can be eliminated, the effect that the position of the inspection target in the inspection range can be accurately detected can be further exhibited.
【００３７】また、第１実施形態と同様に、粗検出用変
位量よりも小さい精検出用変位量ずつ順に変位すること
により、検査範囲における検査対象の位置を正確に検出
することができるという効果を、一段と奏することがで
きる。Further, similarly to the first embodiment, the position of the inspection object in the inspection range can be accurately detected by sequentially displacing the fine detection displacement amount smaller than the coarse detection displacement amount. Can be played further.
【００３８】また、第１実施形態と同様に、積和演算
は、狙いとする計算を専門に実行するＡＳＩＣ9 により
なされるから、ＣＰＵ8 によるよりも積和演算に要する
時間を短くすることができる。Further, as in the first embodiment, since the product-sum operation is performed by the ASIC 9 which executes the target calculation exclusively, the time required for the product-sum operation can be shorter than that by the CPU 8.
【００３９】次に、本発明の第３実施形態を図９に基づ
いて以下に説明する。なお、第１実施形態と同一の部材
には同一の符号を付し、第１実施形態と異なるところの
み記す。第１実施形態では、第１段階の検出処理の際
に、平行移動及び回転の変位動作をしているのに対し、
本実施形態では、平行移動のみの変位動作をするように
している。Next, a third embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. The same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and only the parts different from those in the first embodiment will be described. In the first embodiment, in the first stage of the detection processing, a parallel movement and a rotational displacement operation are performed.
In the present embodiment, the displacement operation is performed only by the parallel movement.
【００４０】詳しくは、第１段階の検出処理では、例え
ば、１／４の圧縮率でもって、検査画像及び正解画像の
圧縮処理がなされてから、圧縮された正解画像は、変位
動作である平行移動を、圧縮画像の１画素である検出用
変位長ずつ、所定範囲、すなわち圧縮された画像の全領
域内で行う。More specifically, in the first stage of the detection processing, after the inspection image and the correct image have been compressed at a compression ratio of, for example, 1/4, the compressed correct image is displaced in parallel. The movement is performed in a predetermined range, that is, in the entire region of the compressed image, by the detection displacement length, which is one pixel of the compressed image.
【００４１】こうして、第１段階の検出処理がなされた
後に、平行移動及び回転の変位動作を伴う第２段階の検
出処理がなされる。この第２段階以降の圧縮率は、１／
１としている。第２段階以降の所定範囲は、検査対象の
凡その位置が検出された位置を中心として、（次段階の
検出処理のための今回の圧縮率）／（前回の圧縮率）か
らなる寸法値L を加算した位置と減算した位置との間と
する。例えば、前段階の検出処理での圧縮率が１／４、
次段階の検出処理のための今回の圧縮率が１／１である
と、寸法値L が２となり、次段階の検出処理の所定範囲
は、前段階で検出された位置を中心として、±４画素の
範囲となる。また、第２段階以降の検出用変位長は、１
／（２×前回の圧縮率）としている。例えば、前回の圧
縮率が１／４、今回の圧縮率が１／１であると、検出用
変位長は２画素となる。一方、第１段階の検出処理の検
出用変位長は、圧縮率が１／４の圧縮画像の１画素であ
って、圧縮されていない画像における４画素であるか
ら、第２段階の検出処理における検出用変位長が、検出
用変位長よりも小さくなっている。なお、検出用変位長
が１画素未満となるときは、検出段階の進行に伴って、
所定範囲及び検出用変位長を変更しない。Thus, after the first-stage detection processing is performed, the second-stage detection processing involving translational and rotational displacement operations is performed. The compression ratio after the second stage is 1 /
It is set to 1. The predetermined range after the second step is a dimension value L of (current compression rate for next detection processing) / (previous compression rate) centering on the position where the approximate position of the inspection target is detected. Between the position at which is added and the position at which it is subtracted. For example, the compression ratio in the detection processing in the previous stage is 1/4,
If the current compression ratio for the next-stage detection processing is 1/1, the dimension value L becomes 2, and the predetermined range of the next-stage detection processing is ± 4% around the position detected in the previous stage. This is the range of pixels. Further, the displacement length for detection after the second stage is 1
/ (2 × previous compression ratio). For example, if the previous compression rate is 1/4 and the current compression rate is 1/1, the detection displacement length is 2 pixels. On the other hand, the displacement length for detection in the first-stage detection process is one pixel of the compressed image having a compression ratio of ４ and four pixels in the uncompressed image. The displacement length for detection is smaller than the displacement length for detection. In addition, when the displacement length for detection is less than one pixel, with the progress of the detection step,
The predetermined range and the detection displacement length are not changed.
【００４２】一方、第２段階の所定角度φは、例えば、
±１６°としている。また、第３段階以降の所定角度φ
は、±（１／前回の圧縮率）としている。例えば、前回
の圧縮率が１／４、今回の圧縮率が１／１であると、所
定角度φは±４°となる。この第３段階以降の所定角度
φは、±（１／前回の圧縮率）としているから、圧縮率
が１／１よりも小さいときは、検出段階が進むにつれて
小さくなる。また、検出用変位角θは、所定角度φの１
／４としている。例えば、所定角度φが±１６°である
と、検出用変位角は８°となる。この検出用変位角θ
は、所定角度φの１／４としているから、所定角度が、
前述したように検出段階が進むにつれて小さくなると、
検出用変位角θそのものも、検出段階が進むにつれて小
さくなる。なお、検出用変位角θが限界精度を超えると
きは、検出段階の進行に伴って、所定範囲及び検出用変
位長を変更しない。On the other hand, the predetermined angle φ in the second stage is, for example,
± 16 °. In addition, the predetermined angle φ after the third stage
Is ± (1 / previous compression ratio). For example, if the previous compression ratio is 1/4 and the current compression ratio is 1/1, the predetermined angle φ is ± 4 °. Since the predetermined angle φ after the third stage is ± (1 / compression ratio of the previous time), when the compression ratio is smaller than 1/1, it decreases as the detection stage proceeds. In addition, the detection displacement angle θ is a predetermined angle φ of 1
/ 4. For example, if the predetermined angle φ is ± 16 °, the displacement angle for detection is 8 °. This detection displacement angle θ
Is 1/4 of the predetermined angle φ, so that the predetermined angle is
As mentioned above, as the detection phase progresses,
The detection displacement angle θ itself becomes smaller as the detection stage proceeds. When the detection displacement angle θ exceeds the limit accuracy, the predetermined range and the detection displacement length are not changed with the progress of the detection step.
【００４３】かかる位置検出装置にあっては、凡その粗
位置を検出する粗検出処理である第１段階の検出処理
は、粗位置の近傍でより正確な精位置を検出する精検出
処理である第２段階の検出処理と比較して、検出範囲が
広くて、検出処理のための計算量が多いために、処理に
要する時間がかかるけれども、平行移動のみの変位動作
を伴うだけであるから、回転及び平行移動を複合した変
位動作を伴う場合よりも、処理に要する時間が短くな
る。具体的に説明すると、例えば、検査画像のサイズが
５１２×４８０画素、正解画像のサイズが１２８×１２
８画素、第２段階の検出処理での所定角度φが±１６
°、第１段階の検出処理での圧縮率が１／４、角度の限
界精度が１°であるとき、検出処理に伴う全計算処理数
が８８０回となり、検出処理に要する時間も４００ｍｓ
ｅｃとなっている。In such a position detecting device, the first-stage detection processing, which is a coarse detection processing for detecting an approximate coarse position, is a fine detection processing for detecting a more accurate fine position near the coarse position. Compared with the detection process in the second stage, the detection range is wide and the amount of calculation for the detection process is large, so that it takes a long time for the process, but only involves a displacement operation of only translation. The time required for the processing is shorter than in a case involving a displacement operation combining rotation and translation. More specifically, for example, the size of the inspection image is 512 × 480 pixels, and the size of the correct image is 128 × 12.
8 pixels, the predetermined angle φ in the second stage detection processing is ± 16
°, when the compression ratio in the first-stage detection processing is 1/4 and the limit accuracy of the angle is 1 °, the total number of calculation processing involved in the detection processing is 880, and the time required for the detection processing is also 400 ms.
ec.
【００４４】また、第１実施形態と同様に、粗検出用変
位量よりも小さい精検出用変位量ずつ順に変位すること
により、検査範囲における検査対象の位置を正確に検出
することができるという効果を、一段と奏することがで
きる。Further, similarly to the first embodiment, the position of the inspection target in the inspection range can be accurately detected by sequentially displacing the fine detection displacement smaller than the coarse detection displacement. Can be played further.
【００４５】また、第１実施形態と同様に、積和演算
は、狙いとする計算を専門に実行するＡＳＩＣ9 により
なされるから、ＣＰＵ8 によるよりも積和演算に要する
時間を短くすることができる。Further, as in the first embodiment, the product-sum operation is performed by the ASIC 9 which executes the target calculation exclusively, so that the time required for the product-sum operation can be shorter than that by the CPU 8.
【００４６】次に、本発明の第４実施形態を図10に基づ
いて以下に説明する。なお、第３実施形態と同一の部材
には同一の符号を付し、第３実施形態と異なるところの
み記す。第３実施形態では、第２段階の検出処理の際
に、相関値Ｒが最大となる座標及び回転角度を求めるこ
とでもって、検査対象の位置を検出しているのに対し、
本実施形態では、第２実施形態の第１段階乃至第４段階
の検出処理のように、相関値Ｒが相対的に高くて、かつ
閾値を超える座標及び回転角度の組み合わせを複数個求
めてから、第３段階処理の検出の際に、第２段階の検出
処理で求められた複数の組み合わせを絞り込む絞込処理
を伴った検出を行うようにしている。Next, a fourth embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. Note that the same members as those of the third embodiment are denoted by the same reference numerals, and only different points from the third embodiment will be described. In the third embodiment, the position of the inspection target is detected by calculating the coordinate and the rotation angle at which the correlation value R is maximum at the time of the second-stage detection processing.
In the present embodiment, as in the first to fourth stages of the detection processing of the second embodiment, a plurality of combinations of coordinates and rotation angles having a relatively high correlation value R and exceeding a threshold are obtained. At the time of detection in the third stage processing, detection accompanied by a narrowing-down process for narrowing down a plurality of combinations obtained in the second stage detection processing is performed.
【００４７】かかる位置検出装置にあっては、第３実施
形態の効果に加えて、第２実施形態と同様に、検出され
た複数の位置の中に、万が一、精度良く検出されたもの
でなく誤差を有するものが含まれていても、検出位置を
絞り込む絞込処理の際に、誤差を有するものを排除する
ことができるから、検査範囲における検査対象の位置を
正確に検出することができるという効果を、一段と奏す
ることができる。In such a position detecting device, in addition to the effects of the third embodiment, similarly to the second embodiment, among the plurality of detected positions, it is not necessary to accurately detect the positions. Even if an object having an error is included, an object having an error can be excluded during the narrowing-down process for narrowing the detection position, so that the position of the inspection target in the inspection range can be accurately detected. The effect can be further enhanced.
【００４８】なお、第１乃至第４実施形態では、検出用
変位角θが、検出段階が進むにつれて小さくなる場合も
あるが、例えば、検出用変位角θが極めて小さいとき
は、検出段階が進むにつれて小さくなるようにしなくて
もよい。In the first to fourth embodiments, the detection displacement angle θ may decrease as the detection step proceeds. For example, when the detection displacement angle θ is extremely small, the detection step proceeds. It does not have to be made smaller as it goes.
【００４９】また、検出用変位長及び検出用変位角θを
検出段階が進むにつれて小さくする手順は、第１乃至第
４実施形態に示した手順に限るものではない。The procedure for reducing the displacement length for detection and the displacement angle θ for detection as the detection step proceeds is not limited to the procedure shown in the first to fourth embodiments.
【００５０】また、第１乃至第４実施形態では、積和演
算は、狙いとする計算を専門に実行するＡＳＩＣ9 によ
りなされているが、例えば、検査画像が小さくて、検出
処理のための計算がそれ程多くないときは、ＣＰＵ8 に
よりなされてもよい。In the first to fourth embodiments, the multiply-accumulate operation is performed by the ASIC 9 which executes the target calculation exclusively. For example, when the inspection image is small, the calculation for the detection process is not performed. If not, the processing may be performed by the CPU 8.
【００５１】[0051]
【発明の効果】請求項１記載の発明は、平均圧縮処理に
よる画像は、正解画像を構成する複数の画素の一部を抽
出する、いわゆる間引き処理による画像とは異なって、
複数の画素の有する値が平均された値を有しているか
ら、複数の画素に特異的な値を有するものがあっても、
その特異的な値が平均されるために特異的な値そのもの
を有することがなくなるので、検査範囲における検査対
象の位置を正確に精検出することができる。According to the first aspect of the present invention, an image obtained by the average compression processing is different from an image obtained by so-called thinning-out processing in which a part of a plurality of pixels constituting a correct image is extracted.
Since the values of a plurality of pixels have an averaged value, even if there are those having specific values for a plurality of pixels,
Since the specific value is averaged, the specific value does not have the specific value itself, so that the position of the inspection target in the inspection range can be accurately and precisely detected.
【００５２】請求項２記載の発明は、粗検出処理でもっ
て唯一の粗位置を検出する場合では、ノイズ等の要因に
より、その検出された粗位置が精度良く検出されたもの
でなく誤差を有するときもあり得るが、粗検出処理でも
って粗位置を複数個検出してから、精検出処理により複
数の粗位置を絞り込む絞込処理もすると、ノイズ等の要
因により、その抽出された複数の粗位置の中に、万が
一、精度良く検出されたものでなく誤差を有するものが
含まれていても、粗位置を絞り込む絞込処理の際に、誤
差を有するものを排除することができるから、検査範囲
における検査対象の位置を正確に検出することができる
という請求項１記載の発明の効果を、一段と奏すること
ができる。According to the second aspect of the present invention, when a single coarse position is detected by the coarse detection process, the detected coarse position is not accurately detected and has an error due to factors such as noise. Although it is possible in some cases, if a plurality of coarse positions are detected by the coarse detection process, and then a narrowing process of narrowing down the plurality of coarse positions by the fine detection process is performed, the extracted plurality of coarse positions may be lost due to factors such as noise. Even if the position includes an error that is not accurately detected and has an error, it is possible to exclude an error in the narrowing process for narrowing the coarse position. The effect of the invention described in claim 1 that the position of the inspection target in the range can be accurately detected can be further exhibited.
【００５３】請求項３記載の発明は、粗検出用変位量よ
りも小さい精検出用変位量ずつ順に変位する変位するこ
とにより、粗検出用変位量と同一の精検出用変位量ずつ
順に変位する変位するよりも、精緻な精検出処理をする
ことができ、請求項１又は２のいずれかに記載の発明よ
りも、検査範囲における検査対象の位置を正確に検出す
ることができるという請求項１記載の発明の効果を、一
段と奏することができる。According to the third aspect of the present invention, the displacement is sequentially displaced by a fine detection displacement smaller than the coarse detection displacement, thereby sequentially displacing by the same fine detection displacement as the coarse detection displacement. More precisely, it is possible to perform a finer detection process than to displace, and it is possible to more accurately detect the position of the inspection target in the inspection range than to the invention according to claim 1 or 2. The effects of the described invention can be further achieved.
【００５４】請求項４記載の発明は、請求項１乃至３の
いずれかに記載の発明の効果に加えて、凡その粗位置を
検出する粗検出処理は、粗位置の近傍でより正確な精位
置を検出する精検出処理と比較して、検出範囲が広いた
めに、処理に要する時間がかかるけれども、平行移動動
作のみの変位動作を伴うだけであるから、回転及び平行
移動を複合した変位動作を伴う場合よりも、処理に要す
る時間が短くなる。According to a fourth aspect of the present invention, in addition to the effect of any one of the first to third aspects, the rough detection processing for detecting the rough position is more accurate in the vicinity of the rough position. Compared to the fine detection processing for detecting the position, the detection range is wider and the processing time is longer, but the displacement operation involves only the parallel movement operation. The time required for the processing is shorter than that in the case where.
【００５５】請求項５記載の発明は、請求項１乃至４の
いずれかに記載の発明の効果に加えて、積和演算は、狙
いとする計算を専門に実行する加算手段によりなされる
のであって、汎用計算に用いられるＣＰＵ等の計算手段
によってなされるのではないから、ＣＰＵ等の計算手段
よりも積和演算に要する時間を短くすることができる。According to a fifth aspect of the present invention, in addition to the effects of the first to fourth aspects, the product-sum operation is performed by an adder for executing a target calculation exclusively. In addition, since the calculation is not performed by calculation means such as a CPU used for general-purpose calculation, the time required for the product-sum operation can be shorter than that of the calculation means such as the CPU.
【図１】本発明の第１実施形態による圧縮処理を示す説
明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing a compression process according to a first embodiment of the present invention.
【図２】同上の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of the above.
【図３】同上のＣＰＵ及びＡＳＩＣ等の動作を示す説明
図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing operations of a CPU, an ASIC, and the like in the embodiment.
【図４】同上の圧縮された基準画像の回転の変位動作を
示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a rotational displacement operation of the compressed reference image.
【図５】同上の次段階での回転の所定角度を示す説明図
である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a predetermined angle of rotation in a next stage of the above.
【図６】同上の次段階での平行移動の所定範囲を示す説
明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram showing a predetermined range of parallel movement in a next stage of the above.
【図７】同上の検出動作を示すフローチャートである。FIG. 7 is a flowchart showing a detection operation of the above.
【図８】本発明の第２実施形態の第１段階の検出処理に
より検出された複数個の位置を示す説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram showing a plurality of positions detected by the first-stage detection processing according to the second embodiment of the present invention.
【図９】本発明の第３実施形態の検出動作を示すフロー
チャートである。FIG. 9 is a flowchart illustrating a detection operation according to the third embodiment of the present invention.
【図１０】本発明の第４実施形態の検出動作を示すフロ
ーチャートである。FIG. 10 is a flowchart illustrating a detection operation according to a fourth embodiment of the present invention.
9 ＡＳＩＣ（計算手段） 9 ASIC (Calculation means)
Claims (5)
位量ずつ順に変位する検出用変位動作をした正解画像と
を圧縮処理された画像同士で比較する比較処理の比較結
果に基づいて、検査範囲における検査対象の凡その位置
である粗位置を検出する粗検出処理をしてから、前記検
査画像と前記検査画像内で粗検出用変位量ずつ順に変位
する検出用変位動作をした前記正解画像とを前回の圧縮
率よりも緩和した圧縮率でもって圧縮処理された画像同
士で比較する比較処理の比較結果に基づいて、検査範囲
における検査対象の位置を粗位置の近傍でより正確な精
位置を検出する精検出処理をして、検査範囲における検
査対象の位置を多段階検出する位置検出装置において、 前記圧縮処理は、平均圧縮処理であることを特徴とする
位置検出装置。1. A comparison process of comparing an inspection image and a correct image that has been subjected to a detection displacement operation in which the inspection image is sequentially displaced by a coarse detection displacement amount within the inspection image, based on a comparison result of a comparison process. After performing a coarse detection process of detecting a coarse position that is an approximate position of an inspection target in an inspection range, and then performing a detection displacement operation of sequentially displacing the inspection image and a coarse detection displacement amount in the inspection image, Based on the comparison result of the comparison processing that compares the image and the compressed image with the compression ratio relaxed from the previous compression ratio, the position of the inspection target in the inspection range is more precisely adjusted in the vicinity of the coarse position. A position detecting device that performs a fine detection process for detecting a position and detects a position of an inspection target in an inspection range in multiple stages, wherein the compression process is an average compression process.
数個検出してから、前記複数の粗位置を絞り込む絞込処
理を伴った前記精検出処理をするよう成したことを特徴
とする請求項１記載の位置検出装置。2. The method according to claim 1, wherein a plurality of the coarse positions are detected by the coarse detection process, and then the fine detection process is performed together with a narrowing process for narrowing down the plurality of coarse positions. Item 4. The position detecting device according to Item 1.
位量よりも小さいことを特徴とする請求項１又は２のい
ずれかに記載の位置検出装置。3. The position detecting device according to claim 1, wherein the fine detection displacement amount is smaller than the coarse detection displacement amount.
あり、前記精検出用変位動作が回転及び平行移動を複合
した複合変位動作であることを特徴とする請求項１乃至
３のいずれかに記載の位置検出装置。4. The displacement operation for coarse detection is a translation operation, and the displacement operation for fine detection is a composite displacement operation in which rotation and translation are combined. 3. The position detecting device according to claim 1.
って、その積和演算は、狙いとする計算を専門に実行す
る計算手段によりなされたことを特徴とする請求項１乃
至４のいずれかに記載の位置検出装置。5. The method according to claim 1, wherein the comparison process involves a sum-of-products operation, and the sum-of-products operation is performed by a calculation unit that specially executes a target calculation. The position detecting device according to any one of the above.
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9234587A JPH1173510A (en) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | Position detecting device |
| EP98100737A EP0854436B1 (en) | 1997-01-17 | 1998-01-16 | Position detection system and method |
| DE69831519T DE69831519T2 (en) | 1997-01-17 | 1998-01-16 | System and method for determining location |
| US09/008,077 US6185343B1 (en) | 1997-01-17 | 1998-01-16 | Position detection system and method |
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Cited By (5)
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|---|---|---|---|---|
| JP2009087251A (en) * | 2007-10-02 | 2009-04-23 | Canon Inc | Pattern recognition method, pattern recognition device, and program |
| JP2010206800A (en) * | 2009-03-05 | 2010-09-16 | Tektronix Inc | Method of aligning test image with reference image |
| JP2011095228A (en) * | 2009-11-02 | 2011-05-12 | Sony Computer Entertainment Inc | Operation input device |
| JP4764531B1 (en) * | 2011-02-28 | 2011-09-07 | ヴィスコ・テクノロジーズ株式会社 | Image inspection device |
| TWI651512B (en) * | 2016-08-19 | 2019-02-21 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | Substrate processing device and displacement detecting method |
-
1997
- 1997-08-29 JP JP9234587A patent/JPH1173510A/en active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009087251A (en) * | 2007-10-02 | 2009-04-23 | Canon Inc | Pattern recognition method, pattern recognition device, and program |
| US8625858B2 (en) | 2007-10-02 | 2014-01-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Method, apparatus, and computer-readable storage medium for pattern recognition |
| JP2010206800A (en) * | 2009-03-05 | 2010-09-16 | Tektronix Inc | Method of aligning test image with reference image |
| JP2011095228A (en) * | 2009-11-02 | 2011-05-12 | Sony Computer Entertainment Inc | Operation input device |
| JP4764531B1 (en) * | 2011-02-28 | 2011-09-07 | ヴィスコ・テクノロジーズ株式会社 | Image inspection device |
| TWI651512B (en) * | 2016-08-19 | 2019-02-21 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | Substrate processing device and displacement detecting method |
| US10580163B2 (en) | 2016-08-19 | 2020-03-03 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Displacement detecting apparatus, displacement detecting method and substrate processing apparatus |
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