JPH1172740A - Tilt controller of light control element - Google Patents
Tilt controller of light control elementInfo
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- JPH1172740A JPH1172740A JP14433598A JP14433598A JPH1172740A JP H1172740 A JPH1172740 A JP H1172740A JP 14433598 A JP14433598 A JP 14433598A JP 14433598 A JP14433598 A JP 14433598A JP H1172740 A JPH1172740 A JP H1172740A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はミラー、ハーフミラ
ー、プリズムなどの光制御要素の傾きを調節するための
光制御要素の傾き制御装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a tilt control device for a light control element for adjusting the tilt of a light control element such as a mirror, a half mirror and a prism.
【０００２】[0002]
【発明が解決しようとする課題】従来より、例えばレー
ザプリンタの光走査装置では、レーザ光源から出射され
た光ビームを感光体上で水平走査させ、記録すべき画像
をドットの集合で表示し記録するようにしている。この
ようなレーザプリンタの光走査装置においては、感光体
上を１本の光ビームで走査するのが一般的であるが、記
録速度を早くするために、複数の光ビームを同時に走査
させるようにしたマルチビーム形のものも実用化されて
いる。Conventionally, in an optical scanning device of a laser printer, for example, a light beam emitted from a laser light source is horizontally scanned on a photosensitive member, and an image to be recorded is displayed as a set of dots and recorded. I am trying to do it. In such an optical scanning device of a laser printer, it is common to scan a photosensitive member with a single light beam. However, in order to increase the recording speed, a plurality of light beams are simultaneously scanned. A multi-beam type is also in practical use.
【０００３】このマルチビーム形の光走査装置の一例を
図２２に示す。同図に示す光走査装置は、同時に４本の
光ビームを走査するように構成したもので、４個の半導
体レーザ１から出射された光ビームは、それぞれコリメ
ータレンズ２より平行光にされ、光制御要素としてのミ
ラー３により反射される。ミラー３により反射された光
ビームは、更にガルバノメータミラー４により反射さ
れ、そして、集束レンズ５により集束されて光ビームス
ポットとして感光体６上に走査される。このとき、感光
体６はガルバノメータミラー４による光ビームスポット
の走査方向と直交する方向に移動しており、これにより
感光体６上に画像情報に対応した静電潜像がドットの集
合として形成される。FIG. 22 shows an example of this multi-beam type optical scanning device. The optical scanning device shown in FIG. 1 is configured to scan four light beams at the same time, and the light beams emitted from the four semiconductor lasers 1 are converted into collimated light by a collimator lens 2, respectively. The light is reflected by the mirror 3 as a control element. The light beam reflected by the mirror 3 is further reflected by the galvanometer mirror 4 and is focused by the focusing lens 5 to be scanned on the photosensitive member 6 as a light beam spot. At this time, the photoconductor 6 is moving in a direction orthogonal to the scanning direction of the light beam spot by the galvanometer mirror 4, whereby an electrostatic latent image corresponding to image information is formed on the photoconductor 6 as a set of dots. You.
【０００４】このような光走査装置にあっては、４本の
光ビームを、感光体６上でほぼ一点に、且つ主走査方向
に対して垂直に並ぶように集束させる必要があり、その
ために、ミラー３の傾きを調節して当該ミラー３による
光ビームの反射方向を調節する必要がある。ミラー３の
傾きを調節する制御装置としては、従来、駆動源として
ステッピングモータが使用され、このステッピングモー
タの出力軸と、ミラーを取付けた軸との間にウォームと
ウォームギヤとからなる歯車減速機構が設けられて、ス
テッピングモータの出力をそのウォームギヤを介してミ
ラーに伝えるようになっており、そして、ステッピング
モータに供給するパルスの数（回転数）と回転方向とを
制御することによりミラーの傾き角が調節できるように
なっている。In such an optical scanning device, it is necessary to converge four light beams so as to be substantially aligned at one point on the photoreceptor 6 and perpendicular to the main scanning direction. It is necessary to adjust the direction of reflection of the light beam by the mirror 3 by adjusting the inclination of the mirror 3. As a control device for adjusting the inclination of the mirror 3, a stepping motor is conventionally used as a driving source, and a gear reduction mechanism including a worm and a worm gear is provided between an output shaft of the stepping motor and a shaft on which the mirror is mounted. The output of the stepping motor is transmitted to the mirror via the worm gear, and the number of rotations (number of rotations) supplied to the stepping motor and the rotation direction are controlled to control the tilt angle of the mirror. Can be adjusted.
【０００５】上記従来の傾き制御装置において、ステッ
ピングモータの出力をウォームギヤを介してミラーに伝
えるようにしている理由は、ステッピングモータの出力
をウォームギヤにより減速することによってミラーの回
転角度の分解能を上げ、これによりミラーの傾き角度を
高精度に微調整できるようにするためである。In the above-described conventional tilt control device, the output of the stepping motor is transmitted to the mirror via the worm gear because the output of the stepping motor is reduced by the worm gear to increase the resolution of the rotation angle of the mirror. Thereby, the tilt angle of the mirror can be finely adjusted with high accuracy.
【０００６】しかしながら、精度良く微調整するためと
はいえ、ウォームとウォームギヤとからなる歯車減速機
構を必要とする分、構造が複雑化し、コスト高となって
しまうという問題があり、また、全体が大形化し、光走
査装置の他の必要部品との配置に制約を生ずるという問
題も有していた。更に、ウォームギヤとウォームとの間
にバックラッシュが不可避的に存在するため、ミラーが
がたついて、傾き角の調節精度を損なうという問題があ
った。[0006] However, in order to perform fine adjustment with high accuracy, the necessity of a gear reduction mechanism comprising a worm and a worm gear complicates the structure and increases the cost. There is also a problem that the size of the optical scanning device is increased, and the arrangement of the optical scanning device with other necessary components is restricted. Further, since backlash is inevitably present between the worm gear and the worm, there is a problem that the mirror rattles and the adjustment accuracy of the tilt angle is impaired.
【０００７】本発明は上述の事情に鑑みてなされたもの
であり、従ってその目的は、ミラーなどの光制御要素の
傾きを高精度に微調節でき、しかも、構造の簡素化と小
形化を達成でき、更に光制御要素の傾き角の調節精度の
一層の向上を図ることのできるミラー駆動装置を提供す
るにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and therefore has as its object to finely adjust the inclination of a light control element such as a mirror with high precision, and to achieve a simplification and miniaturization of the structure. It is another object of the present invention to provide a mirror driving device capable of further improving the adjustment accuracy of the tilt angle of the light control element.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、圧電素子に電圧を印加することによって
ステータに進行波を発生させ、その進行波によりロータ
を回転させるモータを備え、このモータのロータに光制
御要素を設けてこの光制御要素の傾きをロータの回転に
より制御することを特徴とするものである。In order to achieve the above object, the present invention comprises a motor that generates a traveling wave in a stator by applying a voltage to a piezoelectric element, and rotates a rotor by the traveling wave. A light control element is provided on the rotor of the motor, and the inclination of the light control element is controlled by rotation of the rotor.
【０００９】この構成において、光制御要素の傾き調整
のための駆動源であるモータは、いわゆる超音波モータ
であって、本来的に、ロータを低速度で回転させること
ができるので、減速機構によりロータの回転を減速せず
とも、回転角度に関し、高い分解能が得られる。このた
め、ロータにより直接的に光制御要素を回転させる構成
を採用しても、光制御要素の傾きを精度良く微調節する
ことができる。従って、減速機構はもはや必要なく、そ
の分、構造を簡素化できると共に、小形化もでき、更
に、減速機構に歯車を用いた場合のようなバックラッシ
ュによる光制御要素のがたつきの問題もなくすことがで
きる。In this configuration, the motor which is the drive source for adjusting the inclination of the light control element is a so-called ultrasonic motor, which can basically rotate the rotor at a low speed. High resolution can be obtained for the rotation angle without decelerating the rotation of the rotor. For this reason, even if the configuration in which the light control element is directly rotated by the rotor is employed, the inclination of the light control element can be finely adjusted with high accuracy. Therefore, the speed reduction mechanism is no longer necessary, and accordingly, the structure can be simplified and the size can be reduced. Further, the problem of backlash of the light control element due to backlash as in the case of using gears for the speed reduction mechanism can be eliminated. be able to.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施例により具体
的に説明する。なお、本発明の光制御要素の傾き制御装
置は、レーザプリンタなどの光走査装置に用いられるも
のであるが、光走査装置の構成は従来と同様であるの
で、実施例では、傾き制御装置についてのみ説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to examples. The tilt control device of the light control element of the present invention is used for an optical scanning device such as a laser printer. However, since the configuration of the optical scanning device is the same as that of the related art, in the embodiment, the tilt control device I will explain only.
【００１１】図１ないし図６は本発明の第１実施例を示
す。この第１実施例は、光制御要素としてのミラーの傾
きを制御する制御装置に適用したもので、図１ないし図
６において、装置本体としての基台１１は、平坦な台板
１２の上面に左右の両側壁１３，１４と後壁１５とを一
体に設けたもので、その台板１２のうち、後壁１５より
も後方の部分（後辺部）には左右２つの取付凹部１６が
形成され、この取付凹部１６によって軸受台１１を図示
しない据付板に同じく図示しないねじ等によって取付け
るようにしている。FIG. 1 to FIG. 6 show a first embodiment of the present invention. The first embodiment is applied to a control device for controlling the inclination of a mirror as a light control element. In FIGS. 1 to 6, a base 11 as a device main body is provided on an upper surface of a flat base plate 12. The left and right side walls 13 and 14 and the rear wall 15 are integrally provided, and two left and right mounting recesses 16 are formed in a portion (rear side) of the base plate 12 behind the rear wall 15. The mounting recess 16 allows the bearing base 11 to be mounted on a mounting plate (not shown) by screws (not shown).
【００１２】又、左右の両側壁１３，１４の上部には、
前方へ開放する軸収納凹部１７，１８が形成されてお
り、左側壁１３の軸収納凹部１７下方の外面部には上下
２つのねじ孔１９が形成されている。後壁１５の上部の
背面部には、左右２つのねじ孔２０が形成されており、
更に、後壁１５と両側壁１３，１４とが交わる部分の上
面部には、ねじ孔２１が形成されている。また、後壁１
５の背面の中間部には、左右方向の全長にわたり段部２
２が形成されている。Also, on the upper portions of the left and right side walls 13 and 14,
Shaft housing recesses 17 and 18 that open forward are formed, and two upper and lower screw holes 19 are formed in the outer surface of the left side wall 13 below the shaft housing recess 17. Two screw holes 20 on the left and right sides are formed in the upper rear surface of the rear wall 15.
Further, a screw hole 21 is formed in an upper surface portion of a portion where the rear wall 15 and the side walls 13 and 14 intersect. Also, back wall 1
In the middle part on the back side of No. 5, a stepped part
2 are formed.
【００１３】一方、回転軸２３は断面が円形の丸棒状を
なし、その右端部に円板状のロータ２４が取付けられて
いる。これに対して、ミラー２５は矩形板状で、鏡面２
５ａとは反対側の裏面がアングル状のミラー取付板２６
に例えば接着により取付けられている。上記、ミラー取
付板２６には、左右２つのねじ孔２７が形成されてい
る。On the other hand, the rotating shaft 23 has a round bar shape with a circular cross section, and a disk-shaped rotor 24 is attached to the right end thereof. On the other hand, the mirror 25 has a rectangular plate shape and the mirror surface 2
A mirror mounting plate 26 having an angled back surface opposite to 5a.
, For example, by adhesion. The mirror mounting plate 26 has two screw holes 27 on the left and right sides.
【００１４】しかして、図５に示すように、ミラー２５
を一体化したミラー取付板２６の隅部に回転軸２３を当
て、この状態でねじ２８をミラー取付板２６のねじ孔２
７にねじ込んで、該ねじ２８の頭部により回転軸２３を
ミラー取付板２６の隅部に締付けることにより、回転軸
２３にミラー取付板２６が取付けられ、これにて、ミラ
ー２５とロータ２４とが一体化されている。Thus, as shown in FIG.
The rotating shaft 23 is applied to the corner of the mirror mounting plate 26 in which the
7, and the rotating shaft 23 is fastened to the corner of the mirror mounting plate 26 by the head of the screw 28, so that the mirror mounting plate 26 is mounted on the rotating shaft 23. Are integrated.
【００１５】そして、回転軸２３は、その両端部を前記
基台１１の軸収納凹部１７，１８に収納されていて、該
基台１１により径方向外側から受けられている。そし
て、回転軸２３は、押え手段としての板ばね２９により
径方向外側（図示上方）から軸収納凹部１７，１８に押
圧されている。以上により、回転軸２３が板ばね２９に
より軸収納凹部１７，１８から外れないように止められ
て収納凹部１７，１８に回転可能に支持された状態とな
る。従って、基台１１は、回転軸２３を支持する軸受台
として機能する同時に、回転軸２３と一体化されたロー
タ２４を支持するロータ支持台としても機能する。The rotating shaft 23 has both ends stored in the shaft receiving recesses 17 and 18 of the base 11, and is received by the base 11 from the outside in the radial direction. The rotating shaft 23 is pressed against the shaft housing recesses 17 and 18 from the outside in the radial direction (upward in the figure) by a leaf spring 29 as a holding means. As described above, the rotating shaft 23 is stopped by the plate springs 29 so as not to come off from the shaft storage recesses 17 and 18, and is rotatably supported by the storage recesses 17 and 18. Therefore, the base 11 functions as a bearing table that supports the rotating shaft 23 and also functions as a rotor supporting table that supports the rotor 24 integrated with the rotating shaft 23.
【００１６】上記板ばね２９は、詳細にはコ字状を成す
ものであり、その左右の両側部にはそれぞれ前部を斜め
下方へ折曲した押え部２９ａが形成されていると共に、
後部の左右両端部には取付孔３０が形成されている。か
かる板ばね２９は、その全体が基台１１の上面に載置さ
れ、その上で、取付孔３０からねじ孔２１にねじ込まれ
たねじ３１により基台１１に取付けられており、この取
付状態で、押え部２９ａが前述のように回転軸２３を基
台１１の軸収納凹部１７，１８に押圧して外れ止めをし
ているものである。The leaf spring 29 is formed in a U-shape in detail, and a pressing portion 29a having a front portion bent obliquely downward is formed on both left and right sides thereof.
Mounting holes 30 are formed at both left and right ends of the rear portion. The leaf spring 29 is entirely mounted on the upper surface of the base 11, and is mounted on the base 11 with a screw 31 screwed from the mounting hole 30 into the screw hole 21. The pressing portion 29a presses the rotating shaft 23 against the shaft receiving recesses 17 and 18 of the base 11 as described above to prevent the rotating shaft 23 from coming off.
【００１７】基台１１の左側壁１３の外面には板ばね３
２が取付けられている。この板ばね３２は矩形板状をな
し、上下２つの取付孔３３を有している。そして、板ば
ね３２は、その取付孔３３から前記ねじ孔１９にねじ込
んだねじ３４により基台１１に取付られている。この取
付状態で、板ばね３２は、自由端部である上部が回転軸
２３の両端面のうち、ロータ２４の取付端とは反対側の
端面に当接し、回転軸２３を軸方向に押圧している。A leaf spring 3 is provided on the outer surface of the left side wall 13 of the base 11.
2 are installed. The leaf spring 32 has a rectangular plate shape and has two upper and lower mounting holes 33. The leaf spring 32 is attached to the base 11 by screws 34 screwed into the screw holes 19 from the attachment holes 33. In this mounting state, the upper end, which is the free end, of the leaf spring 32 abuts on the end surface of the rotating shaft 23 opposite to the mounting end of the rotor 24, and presses the rotating shaft 23 in the axial direction. ing.
【００１８】これらに対して、モータ３５は、主とし
て、多数の圧電素子３６を備えたステータ３７と前述の
ロータ２４からなるもので、ステータ３７はリング状を
なし、圧電素子３６はそのリング状のステータ３７の裏
面側に取付けられている。このモータ３５は、圧電素子
３６に電圧を印加することにより、ステータ３７に進行
波を発生させて該ステータ３７と圧接したロータ２４を
回転させる、という構成の超音波モータとなっている。On the other hand, the motor 35 mainly comprises a stator 37 having a large number of piezoelectric elements 36 and the above-described rotor 24. The stator 37 has a ring shape, and the piezoelectric element 36 has a ring shape. It is mounted on the back side of the stator 37. The motor 35 is an ultrasonic motor configured to generate a traveling wave in the stator 37 by applying a voltage to the piezoelectric element 36 and rotate the rotor 24 pressed against the stator 37.
【００１９】このモータ３５のステータ３７は、取付ピ
ース３８にねじ３９によって取付けられ、更に、その取
付ピース３８は、ほぼＬ字板状のステータ取付台４０に
対してその内外両側からねじ４１，４２によって取付け
られている。このステータ取付台４０は、詳細にはＬ字
板状をなすもので、その一方側部分４０ａに上記ステー
タ取付台４０取付用のねじ４１を螺着るためのねじ孔４
３が形成されており、他方側部分４０ｂには左右２つの
長孔状をなす取付孔４４が形成されている。この構成
で、ステータ取付台４０は、他方側部分４０ｂを前記基
台１１の背面部のうちの段部２２上の部分に当接させた
状態で、取付孔４４からねじ孔２０にねじ込まれたねじ
４５によって基台１１に取付けられている。The stator 37 of the motor 35 is mounted on a mounting piece 38 by screws 39. The mounting piece 38 is mounted on a substantially L-shaped stator mounting base 40 by screws 41, 42 from both inside and outside. Installed by. The stator mounting base 40 has an L-shaped plate shape in detail, and a screw hole 4 for screwing the screw 41 for mounting the stator mounting base 40 into one side portion 40a.
3 is formed, and two left and right long mounting holes 44 are formed in the other side portion 40b. With this configuration, the stator mounting base 40 is screwed into the screw hole 20 from the mounting hole 44 in a state where the other side portion 40b is in contact with the portion on the step portion 22 of the back surface of the base 11. It is attached to the base 11 by screws 45.
【００２０】この基台１１へのステータ取付台４０の取
付時において、長孔状の取付孔４４にねじ４５が通され
ることにより、そのねじ４５をガイドにしてステータ取
付台４０を取付孔４４に沿って移動させ、ステータ取付
台４０の位置を調節する。このステータ取付台４０の位
置調節により、ロータ２４ひいては回転軸３２が軸方向
に移動するので、板ばね３２のたわみ量（弾発力）が調
節される。When the stator mounting base 40 is mounted on the base 11, a screw 45 is passed through the elongated mounting hole 44, and the stator mounting base 40 is mounted using the screw 45 as a guide. To adjust the position of the stator mount 40. By adjusting the position of the stator mount 40, the rotor 24 and, consequently, the rotating shaft 32 move in the axial direction, so that the amount of deflection (resilient force) of the leaf spring 32 is adjusted.
【００２１】このようにしてステータ取付台４０の位置
を調節した後、ねじ４５を締付けることにより、ステー
タ取付台４０が基台１１に固定される。この状態では、
板ばね３２がその弾発力により回転軸３２をステータ３
７側に付勢し、ロータ２４がステータ３７に圧接されて
いる。従って、板ばね３２は、ロータ２４をステータ３
７に押圧する押圧手段として機能している。After adjusting the position of the stator mount 40 in this manner, the screws 45 are tightened to fix the stator mount 40 to the base 11. In this state,
The leaf spring 32 urges the rotating shaft 32 to the stator 3
7, and the rotor 24 is pressed against the stator 37. Therefore, the leaf spring 32 connects the rotor 24 to the stator 3.
7 functions as a pressing unit that presses.
【００２２】次に、上記構成の作用を述べる。モータ３
５は、上述のように、圧電素子３６に電圧を印加するこ
とによって生じる振動により、ステータ３７に進行波を
発生させて、該ステータ３７に圧接させたロータ２４を
回転させる、という構成の超音波モータであり、ロータ
２４が回転されれば、それと一体に回転軸２３が回転
し、更にこの回転軸２３と一体にミラー２５が回動され
て、該ミラー２５の傾き角が変えられる。Next, the operation of the above configuration will be described. Motor 3
Reference numeral 5 denotes an ultrasonic wave having a configuration in which a traveling wave is generated in the stator 37 by the vibration generated by applying a voltage to the piezoelectric element 36 and the rotor 24 pressed against the stator 37 is rotated, as described above. When the rotor 24 is rotated, the rotation shaft 23 rotates integrally with the rotor 24, and the mirror 25 is further rotated integrally with the rotation shaft 23, so that the tilt angle of the mirror 25 is changed.
【００２３】この場合、超音波モータであるモータ３５
は、従来の傾き制御装置に使用していたウォームとウォ
ームギヤからなる歯車減速機構を要することなく回転角
度の分解能が高く得られるものであり、この回転角度の
分解能の高いモータ３５によって、回転軸２３を回転さ
せ、ミラー２５の傾き角を調整するのであるから、ミラ
ー２５の傾き調整が精確にできる。従って、本構成のも
のの場合、従来の傾き制御装置のような歯車減速機構は
必要なく、その分、構造を簡素化できて、コストの低廉
化を図ることができる。In this case, the motor 35 which is an ultrasonic motor
Can obtain a high resolution of the rotation angle without the need for a gear reduction mechanism composed of a worm and a worm used in a conventional tilt control device. Is rotated to adjust the tilt angle of the mirror 25, so that the tilt of the mirror 25 can be accurately adjusted. Therefore, in the case of this configuration, a gear reduction mechanism like the conventional inclination control device is not required, and the structure can be simplified accordingly, and the cost can be reduced.
【００２４】また、歯車減速機構を必要としない分、全
体の小形化を達成でき、光走査装置の他の必要部品との
配置に余裕を生じ、それらの配置をしやすくすることが
できる。更に、歯車減速機構を必要としない分、バック
ラッシュによるミラー２５のがたつきをなくすことがで
き、ミラー２５の傾き角調整精度の一層の向上を達成す
ることができる。In addition, since the gear reduction mechanism is not required, the overall size can be reduced, so that there is a margin in the arrangement of other necessary parts of the optical scanning device, and the arrangement can be facilitated. Furthermore, since the gear reduction mechanism is not required, the backlash of the mirror 25 due to backlash can be eliminated, and the accuracy of adjusting the tilt angle of the mirror 25 can be further improved.
【００２５】このほか、本構成によれば、モータ３５の
圧電素子３６の消費電力は、従来の傾き制御装置の駆動
源であるパルスモータに比べて駆動電力が少ないので、
省電力となる。また、非通電時にもロータ２４にステー
タ３７が圧接されていて両者間に作用する摩擦力により
ロータ２４が不用意に回転しないように保持できるた
め、接着等の別手段を要することなくミラー２５の傾き
角の保持が可能で、接着等していてはできないその傾き
角の変更も容易且つ所望にできる。In addition, according to this configuration, the power consumption of the piezoelectric element 36 of the motor 35 is lower than that of the pulse motor which is the driving source of the conventional tilt control device.
It saves power. In addition, even when power is not supplied, the stator 37 is pressed against the rotor 24 and can be held so that the rotor 24 is not accidentally rotated by the frictional force acting between them. The tilt angle can be maintained, and the change of the tilt angle, which cannot be achieved by bonding or the like, can be easily and desirably performed.
【００２６】加えて、特に本構成のものでは、ロータ２
４をステータ３７に押圧する押圧手段として板ばね３２
を備え、また、回転軸２３を基台１１の軸収納凹部１
７，１８へ押圧する押圧手段として板ばね２９を備えて
いるので、これらによって、それらの間のすべりやがた
をなくし、ミラー２５の調整精度を一段と向上させるこ
とができる。In addition, especially in the case of this configuration, the rotor 2
4 is pressed against the stator 37 as a pressing means.
And the rotating shaft 23 is attached to the shaft housing recess 1 of the base 11.
Since the plate springs 29 are provided as the pressing means for pressing the mirrors 7 and 18, slip and play between them can be eliminated, and the adjustment accuracy of the mirror 25 can be further improved.
【００２７】更に、本実施例では、軸受台（ロータ支持
台）である基台１１とステータ取付台４０とを別部品で
構成しており、これによって、ロータ２４をステータ３
７に圧接させる組立てが、その基台１１に対するステー
タ取付台４０の取付けによって容易且つ確実にでき、ミ
ラー２５の傾き各の調整精度を一段と向上させることが
できる。Further, in this embodiment, the base 11 which is a bearing base (rotor support base) and the stator mounting base 40 are formed as separate components, whereby the rotor 24 is connected to the stator 3.
7 can be easily and reliably assembled by attaching the stator mount 40 to the base 11, and the adjustment accuracy of each tilt of the mirror 25 can be further improved.
【００２８】図７は本発明の第２実施例を示すもので、
第１実施例と異なるところは、ステータ３７を取付ピー
ス３８に対してねじ３９により軸方向に移動可能に取付
け、取付ピース３８と圧電素子３６との間にステータ３
７をロータ２４に押圧する押圧手段としてのリング状の
板ばね５１を設けたところにある。この場合、回転軸２
３の反ロータ２４側の端部はストッパにより受けられて
いて、回転軸２３がそれ以上反ロータ側に移動できない
ように構成されている。このようにステータ３７をロー
タ２４に圧接するように構成しても、ステータ３７とロ
ータ２４との間のすべりやがたをなくし得るものであ
り、これによって、ミラー２５の調整精度を一段と向上
させることができる。FIG. 7 shows a second embodiment of the present invention.
The difference from the first embodiment is that the stator 37 is attached to the mounting piece 38 so as to be movable in the axial direction by screws 39, and the stator 3 is disposed between the mounting piece 38 and the piezoelectric element 36.
There is provided a ring-shaped leaf spring 51 as a pressing means for pressing the rotor 7 to the rotor 24. In this case, the rotating shaft 2
3 is received by a stopper at the end opposite to the rotor 24, so that the rotating shaft 23 cannot move further toward the opposite rotor. Even when the stator 37 is pressed against the rotor 24 in this manner, slippage and rattling between the stator 37 and the rotor 24 can be eliminated, thereby further improving the adjustment accuracy of the mirror 25. be able to.
【００２９】図８および図９は本発明の第３実施例を示
すもので、この実施例が第１実施例と相違するところ
は、回転軸２３にミラー６１を形成したところにある。
すなわち、回転軸２３に凹部６２を形成して、その奥部
６２ａを平面に研磨した上でメッキをするか、或いはそ
の奥部６２ａに合成樹脂を型成形により付着させた上で
同じくメッキをすることによって、奥部６２ａを鏡面状
にしてミラー６１を構成している。このようにすること
により、使用部品点数を少なくでき、コストの一層の低
廉化を図ることができる。FIGS. 8 and 9 show a third embodiment of the present invention. This embodiment differs from the first embodiment in that a mirror 61 is formed on the rotating shaft 23. FIG.
That is, the concave portion 62 is formed on the rotating shaft 23, and the inner portion 62a is polished to a flat surface and then plated, or the synthetic resin is attached to the inner portion 62a by molding and then plated. Thus, the mirror 61 is configured such that the inner portion 62a has a mirror-like shape. By doing so, the number of parts used can be reduced, and the cost can be further reduced.
【００３０】図１０〜図１３は本発明の第４実施例を示
す。この実施例は、光制御要素としてのハーフミラー７
１を対象として該ハーフミラー７１の傾きを調整しよう
とするもので、前記第１実施例と同一部分には同一符号
を付して示し、詳細な説明を省略する。まず、この実施
例では、ハーフミラー７１を、例えば図１３（ｂ）に示
すように、２本の光ビームＢ1 ，Ｂ２のうち、光ビーム
Ｂ１の反射光Ｂ１´と光ビームＢ２の透過光Ｂ２´を平
行で且つほぼ１本に揃えるために使用する。FIGS. 10 to 13 show a fourth embodiment of the present invention. This embodiment uses a half mirror 7 as a light control element.
Since the inclination of the half mirror 71 is to be adjusted with respect to 1, the same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. First, in this embodiment, as shown in FIG. 13 (b), for example, as shown in FIG. 13B, the half mirror 71 is used to reflect the reflected light B1 'of the light beam B1 and the transmitted light B2 of the light beam B2 among the two light beams B1 and B2. 'Are used to make them parallel and almost one.
【００３１】ハーフミラー７１は、光ビームの半分を反
射し、半分は透過させるという機能を有するが、図１３
の（ａ）と（ｂ）の対比から理解されるように、ハーフ
ミラー７１の傾きを変えると、その前後で光ビームＢ２
の透過光Ｂ２´の向きは変わらないが、光ビームＢ１の
反射光Ｂ１´の向きは大きく変化するので、光ビームＢ
１の反射光Ｂ１´と光ビームＢ２の透過光Ｂ２´を平行
で且つほぼ１本にするには有利である。The half mirror 71 has a function of reflecting half of the light beam and transmitting half of the light beam.
As can be understood from the comparison between (a) and (b), when the inclination of the half mirror 71 is changed, the light beam B2 is changed before and after that.
The direction of the transmitted light B2 'does not change, but the direction of the reflected light B1' of the light beam B1 changes greatly.
It is advantageous to make the one reflected light B1 'and the transmitted light B2' of the light beam B2 parallel and almost one.
【００３２】さて、この実施例では、基台７２は平板状
をなしており、この基台７２には、回転軸支持台（ロー
タ支持台）としての左右一対の支持台７３，７４がねじ
７５によって固定されている。これら支持台７３，７４
には、前記第１実施例の軸収納凹部１７，１８と同様の
軸収納凹部７６，７７が形成されており、この軸収納凹
部７６，７７に回転軸２３の両端部が収納されている。
そして、各支持台７３，７４の上面部に押え手段として
の板ばね７８，７９がねじ８０によって取付けられてお
り、この板ばね７８，７９は、第１実施例の板ばね２９
の押え部２９ａと同様に、回転軸２３を軸収納凹部７
６，７７側に押圧して回転可能に保持している。In this embodiment, the base 72 has a flat plate shape, and a pair of left and right supports 73, 74 as a rotary shaft support (rotor support) is provided on the base 72 with screws 75. Has been fixed by. These supports 73, 74
Are formed with shaft receiving recesses 76 and 77 similar to the shaft receiving recesses 17 and 18 of the first embodiment, and the shaft receiving recesses 76 and 77 accommodate both ends of the rotating shaft 23.
Further, leaf springs 78, 79 as holding means are attached to the upper surfaces of the support bases 73, 74 by screws 80. The leaf springs 78, 79 are the leaf springs 29 of the first embodiment.
Similarly to the holding portion 29a, the rotary shaft 23 is
It is held so as to be rotatable by pressing it to the 6,77 side.
【００３３】基台７２の右端部には、板状のステータ取
付台８１がねじ８２によって固定されている。このステ
ータ取付台８１には、モータ３５のステータ３７を取付
けた取付ピース３８がねじ４１，４２によって取付けら
れている。そして、回転軸２３は、左側の支持台７３に
取付けられた板ばね３２によってステータ３７側に付勢
されており、その付勢力により回転軸２３に取付けられ
たロータ２４がステータ３７に押圧されている。At the right end of the base 72, a plate-like stator mounting base 81 is fixed by screws 82. A mounting piece 38 to which the stator 37 of the motor 35 is mounted is mounted on the stator mounting base 81 with screws 41 and 42. The rotating shaft 23 is urged toward the stator 37 by the leaf spring 32 attached to the left support base 73. The urging force causes the rotor 24 attached to the rotating shaft 23 to be pressed by the stator 37. I have.
【００３４】さて、回転軸２３には、一対の板ばね８３
が挿入されており、この板ばね８３を抜け止めするため
に、図１２に示すように、回転軸２３に軸方向に離間し
て形成された一対の溝８４に止め輪８５が嵌め込まれて
いる。上記板ばね８３はほぼＬ字形に形成され、前記ハ
ーフミラー７１は、それら一対の板ばね８３間に嵌め込
まれいる。そして、ハーフミラー７１は、一対の板ばね
８３の弾発力により、それら一対の板ばね８３に挟み付
けられた状態に保持され、回転軸２３と一体的に回転す
るようになっている。なお、板ばね８３は、その弾発力
により回転軸２３或いは止め輪８５に圧接し、その摩擦
力によって回転軸２３と一体に回転するようになってい
るが、接着などによって回転軸２３、ハーフミラー７１
と一体化するようにしても良い。なお、板ばね８３は、
その弾発力により回転軸２３或いは止め輪８５に圧接
し、その摩擦力によって回転軸２３と一体に回転するよ
うになっているが、接着などによって回転軸２３、ハー
フミラー７１と一体化するようにしても良い。The rotating shaft 23 has a pair of leaf springs 83.
As shown in FIG. 12, a retaining ring 85 is fitted into a pair of grooves 84 formed in the rotating shaft 23 so as to be spaced apart in the axial direction, in order to prevent the leaf spring 83 from coming off. . The leaf spring 83 is formed substantially in an L-shape, and the half mirror 71 is fitted between the pair of leaf springs 83. The half mirror 71 is held in a state of being sandwiched between the pair of leaf springs 83 by the elastic force of the pair of leaf springs 83, and rotates integrally with the rotating shaft 23. The leaf spring 83 presses against the rotating shaft 23 or the retaining ring 85 by its resilient force and rotates integrally with the rotating shaft 23 by its frictional force. Mirror 71
And may be integrated. The leaf spring 83 is
The resilient force causes the rotating shaft 23 or the retaining ring 85 to be pressed against the rotating shaft 23 and the frictional force to rotate integrally with the rotating shaft 23. You may do it.
【００３５】この実施例によれば、ハーフミラー７１を
板ばね８３間に嵌め込むことによって当該ハーフミラー
７１を回転軸２３に取付けることができるので、組立て
作業を容易に行うことができる。また、ハーフミラー７
１の表裏両側に当該ハーフミラー７１を回転軸２３に取
付けるための部材が存在しないので、光ビームＢ１，Ｂ
２の入反射が妨げられるおそれがない。According to this embodiment, the half mirror 71 can be attached to the rotating shaft 23 by fitting the half mirror 71 between the leaf springs 83, so that the assembling work can be easily performed. Half mirror 7
1, there is no member for attaching the half mirror 71 to the rotating shaft 23 on both the front and back sides.
There is no possibility that the incoming reflection of light 2 will be hindered.
【００３６】図１４〜図１６は本発明の第５実施例を示
す。この実施例は、上記第４実施例に示されたハーフミ
ラー７１について、回転軸２３への他の取付け構成を開
示するものである。すなわち、ハーフミラー７１は、取
付部材としての矩形状の取付枠８６の内側に嵌め込まれ
て接着などにより固定されている。上記取付枠８６に
は、通し孔８７と、この通し孔８７に交差するねじ孔８
８が形成されており、該取付枠８６は、通し孔８７に回
転軸２３を通し、且つねじ８９をねじ孔８８にねじ込ん
で回転軸２３に締め付けることにより回転軸２３に固定
されている。なお、回転軸２３への取付枠８６の取付け
は、回転軸２３を支持台７３，７４に取付ける前に行わ
れる。FIGS. 14 to 16 show a fifth embodiment of the present invention. This embodiment discloses another configuration for attaching the half mirror 71 shown in the fourth embodiment to the rotating shaft 23. That is, the half mirror 71 is fitted inside a rectangular mounting frame 86 as a mounting member and fixed by bonding or the like. The mounting frame 86 has a through hole 87 and a screw hole 8 intersecting the through hole 87.
The mounting frame 86 is fixed to the rotating shaft 23 by passing the rotating shaft 23 through the through hole 87 and screwing the screw 89 into the screw hole 88 and tightening the rotating shaft 23. The attachment frame 86 is attached to the rotation shaft 23 before the rotation shaft 23 is attached to the support bases 73 and 74.
【００３７】このようにハーフミラー７１を取付枠８６
に取付けておけば、ハーフミラー７１を回転軸２３に取
付けるための組み立ての際に、ハーフミラー７１を手で
直接扱わなくとも済むので、ハーフミラー７１に手の油
脂分などの汚れが付くことを防止できる。Thus, the half mirror 71 is attached to the mounting frame 86.
If the half mirror 71 is attached to the rotating shaft 23, the half mirror 71 does not need to be directly handled by hand at the time of assembling to attach the half mirror 71 to the rotating shaft 23. Can be prevented.
【００３８】図１７〜図１９は本発明の第６実施例を示
す。この実施例は、光制御要素としてのプリズム９０を
対象として該プリズム９０の傾きを調整しようとするも
のであり、前記第４実施例と同一部分には同一符号を付
して示し、異なる部分を説明する。この実施例では、プ
リズム９０を、例えば図１９に示すように、光ビームＢ
の進行方向を１８０°変えるために使用する。FIGS. 17 to 19 show a sixth embodiment of the present invention. In this embodiment, the inclination of the prism 90 is adjusted for the prism 90 as a light control element. The same parts as those in the fourth embodiment are denoted by the same reference numerals, and different parts are indicated. explain. In this embodiment, for example, as shown in FIG.
Is used to change the traveling direction by 180 °.
【００３９】ロータ２４が取付けられた回転軸９１は短
く形成され、基台７２に取付けられた支持台７４に回転
可能に支持されている。また、基台７２には、支持台７
４に対向して別の支持台９２がねじ９３によって取付け
られており、この支持台９２には、孔９４が形成されて
いる。そして、この孔９４に先端部テーパ状に形成され
たピボット軸９５が嵌合されている。また、支持台９２
には、押圧手段としての板ばね９６がねじ９７により取
付けられており、この板ばね９６は、ピボット軸９５を
回転軸９１方向に押圧している。The rotation shaft 91 to which the rotor 24 is attached is formed short, and is rotatably supported by a support 74 attached to a base 72. In addition, the support base 7 is
A further support base 92 is attached by a screw 93 to face the support base 4, and a hole 94 is formed in the support base 92. A pivot shaft 95 having a tapered tip portion is fitted into the hole 94. The support table 92
, A leaf spring 96 as a pressing means is attached by a screw 97, and the leaf spring 96 presses the pivot shaft 95 in the direction of the rotation shaft 91.
【００４０】さて、回転軸９１の両端のうち、ロータ２
４を取付けた側とは反対側の端部には、やや径大な円盤
部９１ａが形成されており、この円盤部９１ａに前記プ
リズム９０の一端面が接着により固着されている。上記
プリズム９０の他端面の中心部には、円錐状の凹部９８
が形成されている。そして、前記ピボット軸９５のテー
パ状部の先端が凹部９８の中心部に嵌め込まれてプリズ
ム９０を回転可能に支持している。なお、ロータ２４は
板ばね９６の弾発力によりステータ３７に押圧されてい
る。Now, of the two ends of the rotating shaft 91, the rotor 2
A slightly larger disk portion 91a is formed at the end opposite to the side to which 4 is attached, and one end surface of the prism 90 is fixed to the disk portion 91a by bonding. A conical recess 98 is provided at the center of the other end surface of the prism 90.
Are formed. The tip of the tapered portion of the pivot shaft 95 is fitted into the center of the recess 98 to rotatably support the prism 90. The rotor 24 is pressed against the stator 37 by the elastic force of the leaf spring 96.
【００４１】このように、プリズム９０は一端側が回転
軸９１（ロータ２４）に連結され、他端側がピボット軸
９５に支持されているので、第４実施例のように一対の
支持部台７３，７４に支持された回転軸２３にプリズム
９０を取付ける場合とは異なり、プリズム９０の平面に
重なる部材がなく、光ビームのプリズム９０への入射、
透過が妨げられるおそれがない。As described above, one end of the prism 90 is connected to the rotating shaft 91 (rotor 24) and the other end is supported by the pivot shaft 95. Therefore, as in the fourth embodiment, a pair of support portions 73, Unlike the case where the prism 90 is mounted on the rotating shaft 23 supported by the lens 74, there is no member overlapping the plane of the prism 90, and the light beam enters the prism 90,
There is no possibility that transmission is hindered.
【００４２】図２０は本発明の第７実施例を示す。この
実施例は、上記第６実施例に示されたプリズム９０につ
いて、その他端側を支持するための他の構成を開示する
ものである。すなわち、支持台９２の孔９４には、ホル
ダ９９がねじ１００によって固定されている。このホル
ダ９９の保持孔１０１には、ボール１０２が押圧手段と
しての圧縮コイルばね１０３と共に収納されており、ボ
ール１０２はその圧縮コイルばね１０３により押圧され
て一部が保持孔１０１から突出している。そして、ボー
ル１０２は、プリズム９０の円錐状凹部９８内面に押圧
されてプリズム９０を回転可能に支持している。なお、
このプリズム９０の支持状態でロータ２４は圧縮コイル
ばね１０３の弾発力によりステータ３７（図２０には図
示されていない）に押圧されている。FIG. 20 shows a seventh embodiment of the present invention. This embodiment discloses another configuration for supporting the other end of the prism 90 shown in the sixth embodiment. That is, the holder 99 is fixed to the hole 94 of the support base 92 by the screw 100. A ball 102 is housed in a holding hole 101 of the holder 99 together with a compression coil spring 103 as a pressing means. The ball 102 is pressed by the compression coil spring 103 and a part thereof projects from the holding hole 101. The ball 102 is pressed against the inner surface of the conical recess 98 of the prism 90 to rotatably support the prism 90. In addition,
In a state where the prism 90 is supported, the rotor 24 is pressed against the stator 37 (not shown in FIG. 20) by the elastic force of the compression coil spring 103.
【００４３】なお、本発明は上記し且つ図面に示す実施
例に限定されるものではなく、次のような拡張或いは変
更が可能である。押圧手段としては、それぞれ板ばねで
なくコイルばねを用いるようにしても良い。回転軸２３
の反ロータ２４側端部においては、ねじの螺進力にて予
圧をかけるようにしても良い。The present invention is not limited to the embodiment described above and shown in the drawings, and the following expansion or modification is possible. As the pressing means, a coil spring may be used instead of a leaf spring. Rotating shaft 23
The preload may be applied at the end of the rotor opposite to the rotor 24 by the screwing force of the screw.
【００４４】光制御要素としては、ダイクロイックミラ
ーであっても良い。ダイクロイックミラーは、特定の波
長の光を反射し、他の波長の光は透過させるという性質
を有する。この性質を利用して、例えば図２１に示す第
７実施例のように、３枚のダイクロイックミラー１１１
〜１１３を平行に並べて光源１１４から発せられてレン
ズ１１５により平行な光束とされた白色光から光の三原
色である赤Ｒ、青Ｂ、緑Ｇの光を取り出すために使用さ
れる。このとき、赤Ｒ、青Ｂ、緑Ｇの光が平行になるよ
うに３枚のダイクロイックミラー１１１〜１１３の傾き
を調整するために本発明装置を使用する。The light control element may be a dichroic mirror. The dichroic mirror has a property of reflecting light of a specific wavelength and transmitting light of another wavelength. By utilizing this property, for example, as in the seventh embodiment shown in FIG. 21, three dichroic mirrors 111 are used.
113 are arranged in parallel, and are used to extract red R, blue B, and green G light, which are the three primary colors of light, from white light emitted from the light source 114 and converted into a parallel light flux by the lens 115. At this time, the apparatus of the present invention is used to adjust the inclination of the three dichroic mirrors 111 to 113 so that the red R, blue B, and green G lights are parallel.
【００４５】板ばね８３によるハーフミラー７１の取付
け構成、ピボット軸９５によるプリズム９０の取付け構
成は、他の光制御要素に適用しても良い。更に、モータ
３５の振動体３７とロータ２４との圧接は相対的になさ
れていれば良いもので、振動体３７からロータ２４へ圧
接し、あるいはロータ２４から振動体３７へ圧接する、
いずれの構造であっても良い。加えて、ロータ２４は回
転軸２３と区別なく設けられていても良い。光制御要素
としては、上記実施例に示したものに限られない。The mounting structure of the half mirror 71 by the leaf spring 83 and the mounting structure of the prism 90 by the pivot shaft 95 may be applied to other light control elements. Further, the pressure contact between the vibrating body 37 of the motor 35 and the rotor 24 only needs to be relatively made, and the vibrating body 37 presses against the rotor 24 or presses the rotor 24 against the vibrating body 37.
Either structure may be used. In addition, the rotor 24 may be provided without being distinguished from the rotating shaft 23. The light control elements are not limited to those shown in the above embodiments.
【００４６】[0046]
【発明の効果】本発明は以上説明したように、回転角度
の分解能の高いモータによって光制御要素の傾き角の調
整をするので、光制御要素の傾きを精確に調整でき、し
かも、ウォームギヤなど減速機構を必要としないので、
構造の簡素化と小形化を図ることができる。As described above, according to the present invention, the inclination angle of the light control element is adjusted by the motor having a high resolution of the rotation angle, so that the inclination of the light control element can be accurately adjusted, and the speed of the worm gear or the like can be reduced. Since no mechanism is required,
The structure can be simplified and downsized.
【図１】本発明の第１実施例を示す破断平面図FIG. 1 is a cutaway plan view showing a first embodiment of the present invention.
【図２】正面図FIG. 2 is a front view
【図３】右側面図FIG. 3 is a right side view
【図４】左側面図FIG. 4 is a left side view.
【図５】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図FIG. 5 is a sectional view taken along the line AA of FIG. 1;
【図６】分解斜視図FIG. 6 is an exploded perspective view.
【図７】本発明の第２実施例を示す部分的な断面図FIG. 7 is a partial sectional view showing a second embodiment of the present invention.
【図８】本発明の第３実施例を示す回転軸単体の正面図FIG. 8 is a front view of a single rotating shaft showing a third embodiment of the present invention.
【図９】図８のＢ−Ｂ線に沿う断面図FIG. 9 is a sectional view taken along the line BB of FIG. 8;
【図１０】本発明の第４実施例を示す図１相当図FIG. 10 is a view corresponding to FIG. 1, showing a fourth embodiment of the present invention;
【図１１】図２相当図FIG. 11 is a diagram corresponding to FIG. 2;
【図１２】板ばねの抜け止め構造を示す断面図FIG. 12 is a sectional view showing a retaining structure of a leaf spring.
【図１３】反射ミラーの使用例を示す図FIG. 13 is a diagram showing an example of use of a reflection mirror;
【図１４】本発明の第５実施例を示す図１１相当図FIG. 14 is a view corresponding to FIG. 11, showing a fifth embodiment of the present invention.
【図１５】取付枠の斜視図FIG. 15 is a perspective view of a mounting frame.
【図１６】要部の断面図FIG. 16 is a sectional view of a main part.
【図１７】本発明の第６実施例を示す図１１相当図FIG. 17 is a view corresponding to FIG. 11, showing a sixth embodiment of the present invention;
【図１８】要部の拡大断面図FIG. 18 is an enlarged sectional view of a main part.
【図１９】プリズムの使用例を示す図FIG. 19 is a diagram showing a usage example of a prism.
【図２０】本発明の第７実施例を示す図１８相当図FIG. 20 is a view corresponding to FIG. 18, showing a seventh embodiment of the present invention;
【図２１】本発明の第８実施例をダイクロイックミラー
の使用例にて示す図FIG. 21 is a diagram showing an eighth embodiment of the present invention by using a dichroic mirror;
【図２２】従来例を示す光走査装置全体の斜視図FIG. 22 is a perspective view of the entire optical scanning device showing a conventional example.
１１は基台（軸受台、ロータ支持台）、２３は回転軸、
２４はロータ、２５はミラー、２９は板ばね（押え手
段）、３２は板ばね（押圧手段）、３５はモータ、３６
は圧電素子、３７はステータ、４０はステータ取付台、
５１は板ばね（押圧手段）、６１はミラー（光制御要
素）、７１はハーフミラー（光制御要素）、７３，７４
は支持台（軸受台、ロータ支持台）、７８，７９は板ば
ね（押え手段）、８１はステータ取付台、８３は板ば
ね、８６は取付枠（取付部材）、９０はプリズム（光制
御要素）、９１は回転軸、９５はピボット軸、９６は板
ばね（押圧手段）、１０３は板ばね（押圧手段）、１１
１〜１１３はダイクロイックミラー（光制御要素）を示
す。11 is a base (bearing table, rotor support table), 23 is a rotating shaft,
24 is a rotor, 25 is a mirror, 29 is a leaf spring (pressing means), 32 is a leaf spring (pressing means), 35 is a motor, 36
Is a piezoelectric element, 37 is a stator, 40 is a stator mount,
51 is a leaf spring (pressing means), 61 is a mirror (light control element), 71 is a half mirror (light control element), 73, 74
Is a support table (bearing table, rotor support table), 78 and 79 are leaf springs (pressing means), 81 is a stator mounting table, 83 is a leaf spring, 86 is a mounting frame (mounting member), and 90 is a prism (light control element). ), 91 is a rotating shaft, 95 is a pivot shaft, 96 is a leaf spring (pressing means), 103 is a leaf spring (pressing means), 11
Reference numerals 1 to 113 denote dichroic mirrors (light control elements).
Claims (14)
ステータに進行波を発生させ、その進行波によりロータ
を回転させるモータを備え、このモータのロータに光制
御要素を設けてこの光制御要素の傾きを前記ロータの回
転により制御することを特徴とする光制御要素の傾き制
御装置。1. A motor for generating a traveling wave in a stator by applying a voltage to a piezoelectric element, and rotating a rotor by the traveling wave. A tilt control device for a light control element, wherein tilt is controlled by rotation of the rotor.
タをステータに押圧する押圧手段を備えたことを特徴と
する請求項１記載の光制御要素の傾き制御装置。2. The tilt control device for an optical control element according to claim 1, further comprising a pressing means for urging the rotor side toward the stator and pressing the rotor against the stator.
の回転軸は、該回転軸を径方向から受ける軸受台と、こ
の軸受台に回転軸を径方向から押圧する押え手段とによ
り支持されていることを特徴とする請求項１記載の光制
御要素の傾き制御装置。3. The rotor has a rotating shaft that rotates integrally with the rotor. The rotating shaft is supported by a bearing base that receives the rotating shaft from a radial direction and a pressing unit that presses the rotating shaft against the bearing base from a radial direction. 2. The tilt control device for a light control element according to claim 1, wherein:
ータをロータに押圧する押圧手段を備えたことを特徴と
する請求項１記載の光制御要素の傾き制御装置。4. A tilt control device for an optical control element according to claim 1, further comprising a pressing means for urging the stator toward the rotor and pressing the stator against the rotor.
テータ側を取付けるためのステータ取付台とを備え、そ
れらロータ支持台とステータ取付台とを別部品で構成し
たことを特徴とする請求項１記載の光制御要素の傾き制
御装置。5. The apparatus according to claim 1, further comprising: a rotor support for supporting the rotor side; and a stator mount for mounting the stator, wherein the rotor support and the stator mount are formed as separate parts. 2. The tilt control device for a light control element according to claim 1.
制御要素はその回転軸に設けられていることを特徴とす
る請求項１記載の光制御要素の傾き制御装置。6. The tilt control device for a light control element according to claim 1, wherein the rotor has a rotation shaft that rotates integrally, and the light control element is provided on the rotation shaft.
タ側に設けられていることを特徴とする請求項１記載の
光制御要素の傾き制御装置。7. The tilt control device for a light control element according to claim 1, wherein the light control element is attached to a fixture and provided on a rotor side.
材が設けられていることを特徴とする請求項３または６
記載の光制御要素の傾き制御装置。8. The rotating shaft is provided with a spring member for holding the light control element.
An apparatus for controlling the inclination of the light control element according to the above.
する請求項１記載の光制御要素の傾き制御装置。9. The tilt control device for a light control element according to claim 1, wherein the light control element is a mirror.
を特徴とする請求項１記載の光制御要素の傾き制御装
置。10. The tilt control device according to claim 1, wherein the light control element is a half mirror.
徴とする請求項１記載の光制御要素の傾き制御装置。11. The tilt control device for a light control element according to claim 1, wherein the light control element is a prism.
あることを特徴とする請求項１記載の光制御要素の傾き
制御装置。12. The tilt control device according to claim 1, wherein the light control element is a dichroic mirror.
リズムは、一端側がロータに連結され、他端側がピボッ
ト軸により支持されていることを特徴とする請求項１記
載の光制御要素の傾き制御装置。13. The tilt control of the light control element according to claim 1, wherein the light control element is a prism, one end of which is connected to the rotor, and the other end of which is supported by a pivot shaft. apparatus.
能に設けられ、押圧手段によりロータをステータに押圧
するように付勢されていることを特徴とする請求項１３
記載の光制御要素の傾き制御装置。14. The pivot shaft is provided on the support base so as to be movable in the axial direction, and is biased by pressing means to press the rotor against the stator.
An apparatus for controlling the inclination of the light control element according to the above.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14433598A JPH1172740A (en) | 1997-06-23 | 1998-05-26 | Tilt controller of light control element |
| EP98304897A EP0887679A3 (en) | 1997-06-23 | 1998-06-22 | Inclination adjusting device for light controlling element used in optical scanner |
| US09/571,266 US6339278B1 (en) | 1997-06-23 | 2000-05-15 | Inclination adjusting device for light controlling element used in optical scanner |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16563597 | 1997-06-23 | ||
| JP9-165635 | 1997-06-23 | ||
| JP14433598A JPH1172740A (en) | 1997-06-23 | 1998-05-26 | Tilt controller of light control element |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1172740A true JPH1172740A (en) | 1999-03-16 |
Family
ID=26475774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14433598A Pending JPH1172740A (en) | 1997-06-23 | 1998-05-26 | Tilt controller of light control element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1172740A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6339278B1 (en) * | 1997-06-23 | 2002-01-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Inclination adjusting device for light controlling element used in optical scanner |
| CN104076474A (en) * | 2014-07-11 | 2014-10-01 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | Adjustable lens rack structure |
-
1998
- 1998-05-26 JP JP14433598A patent/JPH1172740A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6339278B1 (en) * | 1997-06-23 | 2002-01-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Inclination adjusting device for light controlling element used in optical scanner |
| CN104076474A (en) * | 2014-07-11 | 2014-10-01 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | Adjustable lens rack structure |
| CN104076474B (en) * | 2014-07-11 | 2016-04-27 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | A kind of adjustable mirror shelf structure |
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