JPH116989A - 液晶プロジェクター用照射装置 - Google Patents

液晶プロジェクター用照射装置

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JPH116989A
JPH116989A JP9158970A JP15897097A JPH116989A JP H116989 A JPH116989 A JP H116989A JP 9158970 A JP9158970 A JP 9158970A JP 15897097 A JP15897097 A JP 15897097A JP H116989 A JPH116989 A JP H116989A
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JP
Japan
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light
reflecting mirror
beam splitter
quarter
wave plate
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JP9158970A
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English (en)
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So Fukada
創 深田
Hideyoshi Horigome
秀嘉 堀米
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の液晶プロジェクター用照射装置では光
源からの光利用効率が2%程度と極めて非効率であり、
集光光学系および偏光変換光学系の改良によって光利用
効率を改善した液晶プロジェクタ用照射装置を提供す
る。 【解決手段】 白色光源からの光線を放物面反射鏡およ
び中央に開口を有する球面反射鏡に集光する集光光学系
と、4分の1波長板および偏光ビームスプリッターを有
する偏光変換光学系を用いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶プロジェクター
用照射装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の液晶プロジェクター用照射装置で
は、集光効率および偏光効率が極めて悪く最終的な光の
利用効率は2%程度である。その原因としては光源の大
きさに起因する集光特性の不備、さらに液晶ライトバル
ブは偏光板と検光子を用いるため、偏光変換損失および
吸収などがある。また、偏光変換光学系における光学素
子の波長依存性による偏光特性の不備などが挙げられ
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の液晶プロジェク
ター用照射装置では、光源からの光利用効率は2%程度
と極めて低い水準にある。通常用いられている光源はメ
タルハライドランプであるが、点光源でないため、完全
な平行光を得るのは不可能であるが集光特性の改善が必
要である。また、液晶ライトバルブに照射する際には直
線偏光であることが必要であるが、上記光源は自然光に
近い無偏光状態のため効率よく直線偏光に変換しなけれ
ばならない。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題の解決のため
に、第1発明は、第1の凹面反射鏡と第1凹面反射鏡の
ほぼ焦点位置に配設された白色光源と、焦点が第1の凹
面反射鏡の焦点とほぼ一致するように対向して配設した
出射開口を有する第2の凹面反射鏡と、第2の凹面反射
鏡の出射開口の後方に配設した4分の1波長板と、4分
の1波長板の後方に配設された偏光ビームスプリッター
とを有することを提案する。
【0005】第2発明は、第1の凹面反射鏡と第1凹面
反射鏡のほぼ焦点位置に配設された白色光源と、焦点が
第1の凹面反射鏡の焦点とほぼ一致するように対向して
配設したコリメーターレンズと、コリメーターレンズの
後方に配設した4分の1波長板と、4分の1波長板の後
方に配設された偏光ビームスプリッターとを有すること
を提案する。。
【0006】第3発明は、開口を有する楕円面反射鏡
と、楕円面反射鏡の開口側とは反対側の焦点にほぼ配設
される白色光源と、焦点が楕円面反射鏡の開口側とは反
対側に位置する焦点にほぼ一致するように対向配設され
た出射開口を有する開口球面反射鏡と、焦点が楕円面反
射鏡の開口側に位置する焦点にほぼ一致するように配設
されたコリメーターレンズと、コリメーターレンズに後
置された4分の1波長板と4分の1波長板に後置された
偏光ビームスプリッターとを有することを提案する。
【0007】第4発明は、開口を有する楕円面反射鏡
と、開口を有する楕円面反射鏡の開口と反対側に位置す
る焦点にほぼ配設される白色光源と、焦点が楕円面反射
鏡の開口側に位置する焦点にほぼ一致するように配設さ
れたコリメーターレンズと、コリメーターレンズに後置
された4分の1波長板と、4分の1波長板に後置された
偏光ビームスプリッターとを有することを提案する。
【0008】第5発明は、白色光源と、白色光源からの
光線を平行光線とする凹面反射鏡とを含む集光光学系
と、集光光学系からの光線を、赤色光、緑色光、青色光
に分離する第1および第2のダイクロイックミラーと、
分離された赤色光、緑色光、青色光のそれぞれに対する
4分の1波長板と偏光ビームスプリッターとから成る光
学素子と、それぞれの光学素子からの光線をダイクロイ
ックミラーを介して合成する手段とを有することを提案
する。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を用い
て詳しく説明する。
【0010】図1は本発明の実施の形態を示す光学系の
概略構成図である。メタルハライドランプ、ハロゲンラ
ンプあるいはキセノンランプである白色光源1から出射
した光線の一部は放物面反射鏡2により反射される。こ
の際、白色光源1は放物面反射鏡2のほぼ焦点位置に配
置されているため、反射された光線はほぼ平行光に変換
される。また、放物面反射鏡2により直接反射されない
一部の光線は中央部に円形開口あるいは矩形開口を有す
る開口球面反射鏡3により反射される。この際、白色光
源1は開口球面反射鏡3のほぼ焦点位置に配置されてい
るため、反射された光線は開口球面反射鏡3の焦点位置
を通過し、放物面反射鏡2により反射され、平行光に変
換される。
【0011】上述の如く平行光に変換された光線は自然
光のため偏光方向は無秩序である。平行光に変換された
光線は4分の1波長板4に入射し、偏光面変調されプリ
ズム型偏光ビームスプリッター5に入射する。ここで、
偏光面変調された光線の内、P偏光成分はプリズム型偏
光ビームスプリッター5を透過するが、S偏光成分は反
射面6および7により反射され再び4分の1波長板4に
向かって進行し、4分の1波長板4を通過することによ
り円偏光に変換される。なぜなら、4分の1波長板4の
高速軸あるいは低速軸がプリズム型偏光ビームスプリッ
ター5の反射面6および7と入射光線がなす入射面に対
して45度になっているためでる。円偏光に変換された
光線は、放物面反射鏡2により反射され白色光源1を通
過し、一部は再び放物面反射鏡2により反射され平行光
に変換され、さらに4分の1波長板4により円偏光から
P偏光に変換され、プリズム型偏光ビームスプリッター
5を透過する。
【0012】また、円偏光に変換された光線のうち放物
面反射鏡2により反射され白色光源1を通過し、開口球
面反射鏡3により反射される光線が存在する。この光線
は再び白色光源1を通過し、さらに放物面反射鏡2によ
り反射され、平行光に変換される。平行光に変化された
円偏光の光線は4分の1波長板により円偏光からP偏光
に変換され、プリズム型偏光ビームスプリッター5を透
過する。この直線偏光に変換された略平行光線は図7に
示す従来よく知られている色分離光学系に導かれる。上
述の如く構成した光学系によって、液晶プロジェクター
用照射装置の集光効率および偏光変換効率が飛躍的に向
上する。
【0013】図2は本発明の実施の形態を示す光学系の
概略構成図である。図2において、白色光源1、放物面
反射鏡2、開口球面反射鏡3のほぼ焦点位置に配置され
ているため、反射された光線は開口球面反射鏡3、そし
て4分の1波長板4の構成は図1の実施形態と同じであ
る。図2において、4分の1波長板4に入射した光線
は、偏光面変調されワイヤグリッド型偏光ビームスプリ
ッター29に入射する。ここで、偏光面変調された光線
の内、S偏光成分はワイヤグリッド型偏光ビームスプリ
ッター29を透過するが、P偏光成分は反射され再び4
分の1波長板4に向かって進行し、4分の1波長板4を
通過することにより円偏光に変換される。なぜなら、4
分の1波長板4の高速軸あるいは低速軸がワイヤグリッ
ド型偏光ビームスプリッター29への入射光線がなす入
射面に対して45度になっているためである。円偏光に
変換された光線は、放物面反射鏡2により反射され白色
光源1を通過し、一部は再び放物面反射鏡2により反射
され平行光に変換され、さらに4分の1波長板4により
円偏光からS偏光に変換され、ワイヤグリッド型偏光ビ
ームスプリッター29を透過する。
【0014】また、円偏光に変換された光線のうち放物
面反射鏡2により反射され白色光源1を通過し、開口球
面反射鏡3により反射される光線が存在する。この光線
は再び白色光源1を通過し、さらに放物面反射鏡2によ
り反射され、平行光に変換される。平行光に変化された
円偏光の光線は4分の1波長板により円偏光からS偏光
に変換され、ワイヤグリッド型偏光ビームスプリッター
29を透過する。この直線偏光(S偏光)に変換された
略平行光線は図7に示す従来よく知られている色分離光
学系に導かれる。上述の如く構成した光学系によって、
液晶プロジェクター用照射装置の集光効率および偏光変
換効率が飛躍的に向上する。
【0015】次に、図3を用いて第三の実施形態を説明
する。図1の実施形態との相違点は放物面反射鏡2を球
面反射鏡8aとし、さらに、開口球面反射鏡3をコリメ
ーターレンズ9としたことである。白色光源1は球面反
射鏡8aのほぼ焦点位置に配置され、さらにコリメータ
ーレンズ9のほぼ焦点位置に配置されている。従って、
白色光源1から出射した光線の大部分は球面反射鏡8a
およびコリメーターレンズ9により集光され、平行光に
変換される。平行光に変換された光線は4分の1波長板
4により偏光面変調され、プリズム型偏光ビームスプリ
ッター5に入射し、P偏光成分は透過するがS偏光成分
は反射面6および7により反射される。反射されたS偏
光成分は再び4分の1波長板を通過し、円偏光に変換さ
れる。
【0016】さらに、コリメーターレンズ9により、白
色光源1の位置に集光し、再び発散光となり球面反射鏡
8aで反射され、再び白色光源1の位置に集光し、さら
に発散光となりコリメーターレンズ9により平行光に変
換される。平行光に変換された円偏光の光線は4分の1
波長板4を透過することにより、P偏光に変換されるの
でプリズム型偏光ビームスプリッター5を透過すること
ができる。この直線偏光に変換された略平行光線は図7
に示す従来よく知られている色分離光学系に導かれる。
以上のように本発明を用いることにより効率よく直線偏
光を得ることができる。従ってこの光学系によって、液
晶プロジェクター用照射装置の集光効率および偏光変換
効率が飛躍的に向上する。
【0017】図4は第四の実施形態を説明する。図3に
示す実施形態との相違点はプリズム型偏光ビームスプリ
ッター5がワイヤグリッド型偏光ビームスプリッター2
9に置き代わっていることである。図4でコリメーター
レンズ9により平行光に変換された光線は4分の1波長
板4、ワイヤグリッド型偏光ビームスプリッター5に入
射し、S偏光成分は透過するがP偏光成分は反射され
る。反射されたP偏光成分は再び4分の1波長板を通過
し、円偏光に変換される。
【0018】さらに、コリメーターレンズ9により、白
色光源1の位置に集光し、再び発散光となり球面反射鏡
8aで反射され、再び白色光源1の位置に集光し、さら
に発散光となりコリメーターレンズ9により平行光に変
換される。平行光に変換された円偏光の光線は4分の1
波長板4を透過することにより、S偏光に変換されるの
でワイヤグリッド型偏光ビームスプリッター5を透過す
ることができる。この直線偏光に変換された略平行光線
は図7に示す従来よく知られている色分離光学系に導か
れる。以上のように本発明を用いることにより効率よく
直線偏光を得ることができる。従ってこの光学系によっ
て、液晶プロジェクター用照射装置の集光効率および偏
光変換効率が飛躍的に向上する。
【0019】次に、図5を用いて第五の実施形態を説明
する。図3の実施形態との相違点は球面反射鏡8aを楕
円面反射鏡8bとし且つ開口球面反射鏡を付加し、白色
光源1は楕円面反射鏡8bに近い側の焦点位置にほぼ一
致する位置に配置され、さらにコリメーターレンズ9は
その焦点位置が楕円反射鏡8bのもう一方の焦点にほぼ
一致するように配置されている。従って、白色光源1か
ら出射した光線の大部分は楕円面反射鏡8b、開口球面
反射鏡3およびコリメーターレンズ9により集光され、
平行光に変換される。平行光に変換された光線は4分の
1波長板4により偏光面変調され、プリズム型偏光ビー
ムスプリッター5に入射し、P偏光成分は透過するがS
偏光成分は反射面6および7により反射される。反射さ
れたS偏光成分は再び4分の1波長板を通過し、円偏光
に変換される。
【0020】さらに、コリメーターレンズ9により、楕
円面反射鏡8bのコリメターレンズ3側の焦点位置に集
光し、再び発散光となり楕円面反射鏡8bで反射され、
再び白色光源1の位置に集光し、さらに発散して楕円面
反射鏡8bのコリメターレンズ3側の焦点位置に集光
し、さらに発散しコリメーターレンズ9により平行光に
変換される。平行光に変換された円偏光の光線は4分の
1波長板4を透過することにより、P偏光に変換される
のでプリズム型偏光ビームスプリッター5を透過するこ
とができる。この直線偏光に変換された略平行光線は図
7に示す従来よく知られている色分離光学系に導かれ
る。従って、本光学系によって液晶プロジェクター用照
射装置の集光効率および偏光変換効率が飛躍的に向上す
る。
【0021】次に、図6を用いて第六の実施形態を説明
する。図5の実施形態との相違点は図5でのプリズム型
偏光ビームスプリッター5が図6ではワイヤグリッド型
偏光ビームスプリッター29に置き代わっていることで
ある。図6で、コリメーターレンズ9により平行光に変
換された光線は4分の1波長板4により偏光面変調さ
れ、ワイヤグリッド型偏光ビームスプリッター29に入
射し、S偏光成分は透過するがP偏光成分は反射され
る。反射されたP偏光成分は再び4分の1波長板を通過
し、円偏光に変換される。
【0022】さらに、コリメーターレンズ9により、楕
円面反射鏡8bのコリメターレンズ3側の焦点位置に集
光し、再び発散光となり楕円面反射鏡8bで反射され、
再び白色光源1の位置に集光し、さらに発散して楕円面
反射鏡8bのコリメターレンズ3側の焦点位置に集光
し、さらに発散しコリメーターレンズ9により平行光に
変換される。平行光に変換された円偏光の光線は4分の
1波長板4を透過することにより、S偏光に変換される
のでワイヤグリッド型偏光ビームスプリッター29を透
過することができる。この直線偏光(S偏光)に変換さ
れた略平行光線は図7に示す従来よく知られている色分
離光学系に導かれる。以上のように本発明を用いること
により、液晶プロジェクター用照射装置の集光効率およ
び偏光変換効率が飛躍的に向上する。
【0023】図7は従来よく知られている色分離光学系
を示す。直線偏光に変換された略平行光線はダイクロイ
ックミラー10により、赤色光は透過し、それ以外は反
射される。反射された光線はダイクロイックミラー11
により青色光は透過し、緑色光は反射される。透過した
青色光はミラー12により反射され、コンデンサーレン
ズ19により液晶ライトバルブ20に照射される。通過
した画像情報を有する青色光はダイクロイックミラー2
1を透過し、投射レンズ22に入射する。また、ダイク
ロイックミラー10を透過した赤色光はミラー13によ
り反射され、コンデンサレンズ14により液晶ライトバ
ルブ15に照射される。透過した赤色光はダイクロイッ
クミラー16を透過し、さらにダイクロイックミラー2
1により反射され投射レンズ22に入射する。また、ダ
イクロイックミラー11により反射された緑色光はコン
デンサーレンズ17により液晶ライトバルブ18に照射
される。透過した緑色光はダイクロイックミラー16に
より反射され、さらにダイクロイックミラー21により
反射され、投射レンズ22へ入射する。
【0024】液晶ライトバルブ15、18および20の
各画素は画像データによってON、OFFされ、光線の
透過量が制御される。投射レンズ22に入射した赤色、
青色および緑色の画像情報は重ね合わされて最終的な画
像としてスクリーンに投影される。図7に示した色分離
光学系に用いられている全ての液晶ライトバルブは、光
線の入射側に偏光変換用の偏光板はなく、液晶の配向方
向と入射光線の偏光方向は一致しているため、投射効率
を改善できる。
【0025】次に、第七の実施形態について説明する。
図8は集光光学系により集光された後の光線を赤色、青
色および緑色に分離し、直線偏光化する光学系の概略構
成図である。本発明の特徴は赤色、青色および緑色のそ
れぞれの中心波長に最適化した4分の1波長板とプリズ
ム型偏光ビームスプリッターの組み合わせを用い、それ
ぞれの色に対して独立に直線偏光化機能を持つように構
成してある。すなわち、4分の1波長板27とプリズム
型偏光ビームスプリッター28は赤色の中心波長に最適
化されており、プリズム型偏光ビームスプリッター28
により反射されたS偏光成分の赤色光線は図1、図3あ
るいは図5で説明した偏光変換光学系を除いた集光光学
系に戻り、再び4分の1波長板27とプリズム型偏光ビ
ームスプリッター28からなる偏光変換光学系に入射
し、効率よく赤色光線はP偏光に変換される。同様に、
4分の1波長板23とプリズム型偏光ビームスプリッタ
ー24は緑色の中心波長に最適化されており、効率よく
緑色光線はP偏光に変換される。さらに、4分の1波長
板25とプリズム型偏光ビームスプリッター26は青色
の中心波長に最適化されており、効率よく青色光線はP
偏光に変換される。
【0026】上述の如く、赤色、緑色および青色が独立
にP偏光変換されるため、各原色において極めて高品質
の直線偏光を得ることができる。このように、直線偏光
化した光線は投射レンズ22に入射する。液晶ライトバ
ルブ15、18および20の各画素は画像データによっ
てON、OFFされ、光線の透過量が制御され、赤色、
青色および緑色の画像情報が重ね合わされて最終的な画
像としてスクリーンに投影される。図8に示した色分離
光学系に用いられている全ての液晶ライトバルブは、光
線の入射側に偏光変換用の偏光板はなく、液晶の配向方
向と入射光線の偏光方向を一致させることにより、投射
効率を飛躍的に改善できる。
【0027】本発明の第七の実施形態で示したダイクロ
イックミラー10、11、16および21、さらにミラ
ー12および13の反射率および透過率の偏光依存性は
小さいことが望ましい。
【0028】次に、図9に示す第八の実施形態について
説明する。図9において、図8の実施形態との相違点は
図8でのプリズム型偏光ビームスプリッター24、2
6、28が図9ではワイヤグリッド型偏光ビームスプリ
ッター29に置き代わっていることである。図9は集光
光学系により集光された後の光線を赤色、青色および緑
色に分離し、直線偏光化する光学系の概略構成図であ
る。本発明の特徴は赤色、青色および緑色のそれぞれの
中心波長に最適化した4分の1波長板4とワイヤグリッ
ド型偏光ビームスプリッター29の組み合わせを用い、
それぞれの色に対して独立に直線偏光化機能を持つよう
に構成してある。
【0029】すなわち、4分の1波長板4とワイヤグリ
ッド型偏光ビームスプリッター29は赤色の中心波長に
最適化されており、ワイヤグリッド型偏光ビームスプリ
ッター29により反射されたP偏光成分の赤色光線は図
2、図4あるいは図6で説明した偏光変換光学系を除い
た集光光学系に戻り、再び4分の1波長板4とワイヤグ
リッド型偏光ビームスプリッター29からなる偏光変換
光学系に入射し、効率よく赤色光線はS偏光に変換され
る。同様に、他の4分の1波長板4とワイヤグリッド型
偏光ビームスプリッター29も緑色、青色の中心波長に
最適化されており、効率よく緑色光線はS偏光に変換さ
れる。上述の如く、赤色、緑色および青色が独立にS偏
光変換されるため、各原色において極めて高品質の直線
偏光を得ることができる。従ってこの光学系によって、
液晶プロジェクター用照射装置の集光効率および偏光変
換効率が飛躍的に向上する。
【0030】図10は、第九の発明の実施の形態を示す
光学系の概略構成図である。メタルハライドランプ、ハ
ロゲンランプあるいはキセノンランプである白色光源1
から出射した光線の一部は開口楕円面反射鏡8cにより
反射される。この際、白色光源1は開口楕円面反射鏡8
cのほぼ第一焦点位置に配置されており、反射された光
線は楕円面反射鏡8cのほぼ第二焦点位置に集光する。
コリメータレンズ9の焦点位置を楕円面反射鏡8cのほ
ぼ第二焦点位置に合せておくと、第二焦点位置に集光し
た光線はコリメータレンズ9でほぼ平行光に変換され
る。その平行光の振る舞いは、図1、図3に示す実施例
で説明した内容と同じで、この直線偏光に変換された略
平行光線は図7に示す従来よく知られている色分離光学
系に導かれる。従って本光学系によって、液晶プロジェ
クター用照射装置の集光効率および偏光変換効率が飛躍
的に向上する。
【0031】図11は、第十の発明の実施の形態を示す
光学系の概略構成図である。図11において、図10の
実施形態との相違点は図10でのプリズム型偏光ビーム
スプリッター5が図11ではワイヤグリッド型偏光ビー
ムスプリッター29に置き代わっていることと、ワイヤ
グリッド型偏光ビームスプリッター29を出た光束がS
偏光になっていることである。このワイヤグリッドに垂
直な方向に振動するS偏光から成る直線偏光に変換され
た略平行光線は図7に示す従来よく知られている色分離
光学系に導かれる。従ってこの光学系によって、液晶プ
ロジェクター用照射装置の集光効率および偏光変換効率
が飛躍的に向上する。
【0032】次に、図12、13、14、15、16を
用いて、図2、4、6、9、11に示す本発明実施例の
照明光学系で用いられている、ワイヤグリッド型偏光ビ
ームスプリッター29の作成方法の一例を述べる。
【0033】図12は、ワイヤグリッド型偏光ビームス
プリッターの構成原理図を示す。ワイヤグリッド偏光ス
プリッター37は、多数の平行導体線36が配列されて
構成されており、これら平行導体線36のピッチ(周
期)dは、このワイヤグリッド偏光スプリッター37に
入射される光の波長よりも短くなされている。そして、
このワイヤグリッド偏光スプリッター37においては、
偏光方向が上記各平行導体線の方向に一致したP偏光
は、このワイヤグリッド偏光スプリッター37を透過す
ることなく、反射される。また、このワイヤグリッド偏
光スプリッター37においては、偏光方向が上記各平行
導体線36の方向に対して垂直であるS偏光は、このワ
イヤグリッド偏光スプリッター37により反射されるこ
となく、透過する。このワイヤグリッド偏光スプリッタ
ーにおいては、上記各平行導体線36の幅をaとし、ピ
ッチ(周期)をdとしたとき、(a/d)≒0.6であ
ることが望ましく、また、光線の波長をλとしたとき、
(λ/d)≧5であることが望ましい。さらに、ワイヤ
グリッドが被着された透明ガラス板の屈折率は、1に近
いことが望ましい。
【0034】上記ワイヤグリッド偏光スプリッター37
を作成するには、まず、図13に示すように、両面に反
射防止膜33,35が設けられたガラス基板34の片面
上に、Ni−Cr(ニッケルクローム)層32(厚さ5
nm)及びAu(金)層31(厚さ100nm)を真空
蒸着により形成し、さらに、フォトレジスト層30(厚
さ300nm)をスピンコート法により形成する。上記
Ni−Cr層32は、上記反射防止膜33と上記Au層
31との付着力を強めるためのアンダーコーティングで
ある。
【0035】次に、図14に示すように、He−Cdレ
ーザ(発光波長:λ=441.6nm)の2光束干渉
で、ホログラフイック露光を行い、現像する。この状態
で、レジストパターンの断面形状は、正弦半波状とな
る。ここで、露光及び現像条件を制御することにより、
上記Au層31の一部を露出させ、上述の(a/d)を
0.6に近づける。
【0036】そして、図15に示すように、垂直方向か
らAr(アルゴン)イオンビームエッチングを行う。こ
のArイオンビームエッチングでは、上記Au層31の
方がフォトレジストよりも早く削れるので、露出してい
たAu部分のみが上記Ni−Cr層32を含めて除去さ
れ、フォトレジスト部が残存することで、グリッドパタ
ーンが形成される。
【0037】次に、図16に示すように、図示していな
いがプラズマ照射により、残存しているフォトレジスト
を灰化除去することにより、上記各平行導体線(Au
線)36が配列された上記ワイヤグリッド偏光スプリッ
ター37が作成される。
【0038】
【発明の効果】本発明の液晶プロジェクター用照射装置
を用いることにより、直線偏光化のために使用されてい
た偏光板の替わりに、4分の1波長板と偏光ビームスプ
リッターを組み合わせることにより極めて効率のよい直
線偏光化が可能になる。また、放物面反射鏡、楕円面反
射鏡、球面反射鏡、コリメーターレンズ等の組み合わせ
による集光光学系と上記4分の1波長板と偏光ビームス
プリッターの組み合わせによる偏光変換光学系の相乗効
果は特に大きい。また、上記偏光変換光学系を赤色、緑
色および青色のそれぞれに対して独立に設けることによ
って、液晶プロジェクター用照射装置の偏光変換効率を
飛躍的に改善できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の液晶プロジェクター用照射装置の概略
光学系構成図である。
【図2】本発明の液晶プロジェクター用照射装置の概略
光学系構成図である。
【図3】本発明の液晶プロジェクター用照射装置の概略
光学系構成図である。
【図4】本発明の液晶プロジェクター用照射装置の概略
光学系構成図である。
【図5】本発明の液晶プロジェクター用照射装置の概略
光学系構成図である。
【図6】本発明の液晶プロジェクター用照射装置の概略
光学系構成図である。
【図7】従来の色分離光学系の概略構成図である。
【図8】本発明の偏光変換光学系と色分離光学系の概略
構成図である。
【図9】本発明の液晶プロジェクター用照射装置の概略
光学系構成図である。
【図10】本発明の液晶プロジェクター用照射装置の概
略光学系構成図である。
【図11】本発明の液晶プロジェクター用照射装置の概
略光学系構成図である。
【図12】本発明に用いられるワイヤグリッド型偏光ビ
ームスプリッターの構成原理図である。
【図13】本発明に用いられるワイヤグリッド型偏光ビ
ームスプリッター作成工程の図である。
【図14】本発明に用いられるワイヤグリッド型偏光ビ
ームスプリッター作成工程の図である。
【図15】本発明に用いられるワイヤグリッド型偏光ビ
ームスプリッター作成工程の図である。
【図16】本発明に用いられるワイヤグリッド型偏光ビ
ームスプリッター作成工程の図である。
【符号の説明】
1 白色光源 2 放物面反射鏡 3 開口球面反射鏡 4 4分の1波長板 5 プリズム型偏光ビームスプリッター 6 反射面 7 反射面 8a 球面反射鏡 8b 楕円面反射鏡 9 コリメーターレンズ 10 ダイクロイックミラー 11 ダイクロイックミラー 12 ミラー 13 ミラー 14 コンデンサーレンズ 15 液晶ライトバルブ 16 ダイクロイックミラー 17 コンデンサーレンズ 18 液晶ライトバルブ 19 コンデンサーレンズ 20 液晶ライトバルブ 21 ダイクロイックミラー 22 投射レンズ 23 4分の1波長板 24 プリズム型偏光ビームスプリッター 25 4分の1波長板 26 プリズム型偏光ビームスプリッター 27 4分の1波長板 28 プリズム型偏光ビームスプリッター 29 ワイヤグリッド型偏光ビームスプリッター 30 レジスト 31 Au膜 32 Ni−Cr膜 33 反射防止膜 34 基盤 35 反射防止膜 36 導体線 37 ワイヤグリッド偏光スプリッター

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の凹面反射鏡と該第1凹面反射鏡の
    ほぼ焦点位置に配設された白色光源と、 焦点が第1の凹面反射鏡の焦点とほぼ一致するように対
    向して配設した出射開口を有する第2の凹面反射鏡と、 第2の凹面反射鏡の出射開口の後方に配設した4分の1
    波長板と、 該4分の1波長板の後方に配設された偏光ビームスプリ
    ッターとを有することを特徴とする液晶プロジェクター
    用照射装置。
  2. 【請求項2】 前記第1の凹面反射鏡が放物面反射鏡
    で、第2の凹面反射鏡が球面反射鏡であることを特徴と
    する請求項1記載の液晶プロジェクター用照射装置。
  3. 【請求項3】 第1の凹面反射鏡と該第1凹面反射鏡の
    ほぼ焦点位置に配設された白色光源と、 焦点が第1の凹面反射鏡の焦点とほぼ一致するように対
    向して配設したコリメーターレンズと、 該コリメーターレンズの後方に配設した4分の1波長板
    と、 該4分の1波長板の後方に配設された偏光ビームスプリ
    ッターとを有することを特徴とする液晶プロジェクター
    用照射装置。
  4. 【請求項4】 開口を有する楕円面反射鏡と、 該楕円面反射鏡の開口側とは反対側の焦点にほぼ配設さ
    れる白色光源と、 焦点が前記楕円面反射鏡の開口側とは反対側に位置する
    焦点にほぼ一致するように対向配設された出射開口を有
    する開口球面反射鏡と、 焦点が前記楕円面反射鏡の開口側に位置する焦点にほぼ
    一致するように配設されたコリメーターレンズと、 該コリメーターレンズに後置された4分の1波長板と4
    分の1波長板に後置された偏光ビームスプリッターとを
    有することを特徴とする液晶プロジェクター用照射装
    置。
  5. 【請求項5】 開口を有する楕円面反射鏡と、 該開口を有する楕円面反射鏡の開口と反対側に位置する
    焦点にほぼ配設される白色光源と、 焦点が前記楕円面反射鏡の開口側に位置する焦点にほぼ
    一致するように配設されたコリメーターレンズと、 該コリメーターレンズに後置された4分の1波長板と、 該4分の1波長板に後置された偏光ビームスプリッター
    とを有することを特徴とする液晶プロジェクター用照射
    装置。
  6. 【請求項6】 白色光源と、該白色光源からの光線を平
    行光線とする凹面反射鏡とを含む集光光学系と、 該集光光学系からの光線を、赤色光、緑色光、青色光に
    分離する第1および第2のダイクロイックミラーと、 分離された赤色光、緑色光、青色光のそれぞれに対する
    4分の1波長板と偏光ビームスプリッターとから成る光
    学素子と、 該それぞれの光学素子からの光線をダイクロイックミラ
    ーを介して合成する手段とを有することを特徴とする液
    晶プロジェクター用照射装置。
  7. 【請求項7】 偏光ビームスプリッターがプリズム型偏
    光ビームスプリッターであることを特徴とする請求項1
    から6までのいずれか1項記載の液晶プロジェクター用
    照射装置。
  8. 【請求項8】 偏光ビームスプリッターがワイヤグリッ
    ド型偏光ビームスプリッターであることを特徴とする請
    求項1から6までのいずれか1項記載の液晶プロジェク
    ター用照射装置。
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