JPH1164238A - Ｃｃｄを利用した水晶片検査装置 - Google Patents
Ｃｃｄを利用した水晶片検査装置Info
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- JPH1164238A JPH1164238A JP21660397A JP21660397A JPH1164238A JP H1164238 A JPH1164238 A JP H1164238A JP 21660397 A JP21660397 A JP 21660397A JP 21660397 A JP21660397 A JP 21660397A JP H1164238 A JPH1164238 A JP H1164238A
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- Japan
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- piece
- peltier
- crystal piece
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 水晶片の周縁の欠けや内部の傷を画像処理に
より検出できる検査装置を提供する。 【解決手段】 水晶片を検査する検査装置において、水
晶片を光学系を介して撮像するＣＣＤ素子２０と、ＣＣ
Ｄ素子に熱伝導的に接続して設けられ、前記ＣＣＤ素子
を冷却するペルチェ素子ｐ１〜ｐ４と、ペルチェ素子と
ＣＣＤ素子とから断熱材２１を介して離間して設けら
れ、ＣＣＤ素子２０からの光電変換信号に従って画像信
号を生成する画像信号生成部Ｃ１とを有し、水晶片の画
像信号を処理して水晶片の傷や周縁の欠けを検出する。
更に、本発明の水晶片検査装置は、ペルチェ素子のＣＣ
Ｄ素子とは反対側に、強制空冷手段が設けられる。
より検出できる検査装置を提供する。 【解決手段】 水晶片を検査する検査装置において、水
晶片を光学系を介して撮像するＣＣＤ素子２０と、ＣＣ
Ｄ素子に熱伝導的に接続して設けられ、前記ＣＣＤ素子
を冷却するペルチェ素子ｐ１〜ｐ４と、ペルチェ素子と
ＣＣＤ素子とから断熱材２１を介して離間して設けら
れ、ＣＣＤ素子２０からの光電変換信号に従って画像信
号を生成する画像信号生成部Ｃ１とを有し、水晶片の画
像信号を処理して水晶片の傷や周縁の欠けを検出する。
更に、本発明の水晶片検査装置は、ペルチェ素子のＣＣ
Ｄ素子とは反対側に、強制空冷手段が設けられる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、水晶発振器に使用
される水晶片の欠陥等を検出する水晶片検査装置に関
し、特に水晶片からの微弱なコントラストの光をＣＣＤ
カメラで確実に検出可能にした水晶片検査装置に関す
る。
される水晶片の欠陥等を検出する水晶片検査装置に関
し、特に水晶片からの微弱なコントラストの光をＣＣＤ
カメラで確実に検出可能にした水晶片検査装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】水晶発振器は、数十μｍの厚みの水晶片
の両側に電極を形成した水晶発振子を電子回路に接続し
て構成され、水晶片の厚みと形状からきまる固有の周波
数の信号を生成する。生成される周波数を高くする為に
は、水晶片を薄くする必要がある。
の両側に電極を形成した水晶発振子を電子回路に接続し
て構成され、水晶片の厚みと形状からきまる固有の周波
数の信号を生成する。生成される周波数を高くする為に
は、水晶片を薄くする必要がある。
【０００３】この様に水晶片を利用した水晶発振器は、
発信周波数のバラツキを避ける必要があり、また発振中
の周波数の転移なども避ける必要がある。発振する周波
数のバラツキや周波数の転移の問題は、水晶片に傷や欠
けが存在することにより生じる。従って、水晶発振器の
生産ラインでは、水晶片の傷や欠けの検査工程が欠かせ
ない。
発信周波数のバラツキを避ける必要があり、また発振中
の周波数の転移なども避ける必要がある。発振する周波
数のバラツキや周波数の転移の問題は、水晶片に傷や欠
けが存在することにより生じる。従って、水晶発振器の
生産ラインでは、水晶片の傷や欠けの検査工程が欠かせ
ない。
【０００４】従来から行われている水晶片の検査工程
は、トレーに載せられた水晶片を所定のマット上に置い
て、水晶片の傷や欠けの存在を作業員が目視によりチェ
ックすることで行われている。透明な水晶片に存在する
傷は極めて微弱なコントラストしかなく、また薄い水晶
片の外周に存在する欠けも極めて検出が困難であるの
で、熟練した作業員に頼ることが必要であった。
は、トレーに載せられた水晶片を所定のマット上に置い
て、水晶片の傷や欠けの存在を作業員が目視によりチェ
ックすることで行われている。透明な水晶片に存在する
傷は極めて微弱なコントラストしかなく、また薄い水晶
片の外周に存在する欠けも極めて検出が困難であるの
で、熟練した作業員に頼ることが必要であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
目視による検査では、熟練した作業員が必要であり、単
位時間当たりに検査できる水晶片の数に限りがある。ま
た、人手による為、検査の品質にバラツキが生じ、水晶
発振器の完成品の特性にバラツキが発生するといった問
題を伴う。
目視による検査では、熟練した作業員が必要であり、単
位時間当たりに検査できる水晶片の数に限りがある。ま
た、人手による為、検査の品質にバラツキが生じ、水晶
発振器の完成品の特性にバラツキが発生するといった問
題を伴う。
【０００６】そこで、本発明の目的は、人手によらない
水晶片の検査を行うことができる水晶片検査装置を提供
することにある。
水晶片の検査を行うことができる水晶片検査装置を提供
することにある。
【０００７】更に、本発明の目的は、水晶片の画像を感
度良く捉えることができる水晶片検査装置を提供するこ
とにある。
度良く捉えることができる水晶片検査装置を提供するこ
とにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、水晶片を検査する検査装置において、水
晶片を光学系を介して撮像するＣＣＤ素子と、前記ＣＣ
Ｄ素子に熱伝導的に接続して設けられ、前記ＣＣＤ素子
を冷却するペルチェ素子と、前記ペルチェ素子とＣＣＤ
素子とから断熱材を介して離間して設けられ、前記ＣＣ
Ｄ素子からの光電変換信号に従って画像信号を生成する
画像信号生成部とを有し、前記水晶片の画像信号を処理
して該水晶片の傷や周縁の欠けを検出することを特徴と
する。
に、本発明は、水晶片を検査する検査装置において、水
晶片を光学系を介して撮像するＣＣＤ素子と、前記ＣＣ
Ｄ素子に熱伝導的に接続して設けられ、前記ＣＣＤ素子
を冷却するペルチェ素子と、前記ペルチェ素子とＣＣＤ
素子とから断熱材を介して離間して設けられ、前記ＣＣ
Ｄ素子からの光電変換信号に従って画像信号を生成する
画像信号生成部とを有し、前記水晶片の画像信号を処理
して該水晶片の傷や周縁の欠けを検出することを特徴と
する。
【０００９】更に、本発明の水晶片検査装置は、前記ペ
ルチェ素子の前記ＣＣＤ素子とは反対側に、強制空冷手
段が設けられたことを特徴とする。
ルチェ素子の前記ＣＣＤ素子とは反対側に、強制空冷手
段が設けられたことを特徴とする。
【００１０】ＣＣＤ素子に電子熱交換素子であるペルチ
ェ素子を熱伝導的に密着して設けることにより、ＣＣＤ
素子の温度を例えばマイナス数十度に下げることができ
る。その結果、ＣＣＤ素子において熱雑音の発生が抑え
られ、非常に薄い微細な水晶片に存在する傷や周縁のコ
ントラストの低い光を有効に捉えることができ、水晶片
の傷や欠けを検出することができる光電変換信号を取得
することができる。従って、その信号をＡＤ変換して画
像信号として取り出すことで、既存の画像処理により水
晶片に存在する傷や周辺の欠けを自動検出することが可
能になる。
ェ素子を熱伝導的に密着して設けることにより、ＣＣＤ
素子の温度を例えばマイナス数十度に下げることができ
る。その結果、ＣＣＤ素子において熱雑音の発生が抑え
られ、非常に薄い微細な水晶片に存在する傷や周縁のコ
ントラストの低い光を有効に捉えることができ、水晶片
の傷や欠けを検出することができる光電変換信号を取得
することができる。従って、その信号をＡＤ変換して画
像信号として取り出すことで、既存の画像処理により水
晶片に存在する傷や周辺の欠けを自動検出することが可
能になる。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の形態例の
水晶片検査装置の構成を示す図である。ＣＣＤ素子を利
用したＣＣＤカメラ１が、カメラスタンド２に垂直方向
に移動可能に取り付けられる。ＣＣＤカメラ１の下側に
は、光学系３が設けられる。カメラスタンド２は、ステ
ージ４に取り付けられ、ステージ４の中心部には、透明
のガラス基板５が設けられ、その上に、検査対象の水晶
片等の試料６が置かれる。そして、光源７により透過照
明され、光源８により所定の角度で落射照明される。Ｃ
ＣＤカメラ１は、電源・制御信号線１２とビデオ信号線
１１を介して、例えばパーソナルコンピュータからなる
画像処理装置９に接続され、ＣＣＤカメラ１で捉えられ
た画像が、表示装置１０に表示される。
水晶片検査装置の構成を示す図である。ＣＣＤ素子を利
用したＣＣＤカメラ１が、カメラスタンド２に垂直方向
に移動可能に取り付けられる。ＣＣＤカメラ１の下側に
は、光学系３が設けられる。カメラスタンド２は、ステ
ージ４に取り付けられ、ステージ４の中心部には、透明
のガラス基板５が設けられ、その上に、検査対象の水晶
片等の試料６が置かれる。そして、光源７により透過照
明され、光源８により所定の角度で落射照明される。Ｃ
ＣＤカメラ１は、電源・制御信号線１２とビデオ信号線
１１を介して、例えばパーソナルコンピュータからなる
画像処理装置９に接続され、ＣＣＤカメラ１で捉えられ
た画像が、表示装置１０に表示される。
【００１２】光源７や８を調節することにより、非常に
薄い水晶片６の周縁や傷の像が強調されて光学系３を介
してＣＣＤカメラ１に撮像される。このＣＣＤカメラ１
には、内蔵するＣＣＤ素子（図示せず）に密着して冷却
装置１３が設けられる。この冷却装置１３は、後述する
通り、ペルチェ素子と放熱ファンとの組み合わせであ
り、ＣＣＤ素子の温度を例えばマイナス４０℃程度に冷
却することができる。ＣＣＤ素子を冷却することによ
り、室温状態では熱雑音の障害の為に検出できなかった
水晶片の周縁形状や内部の傷の画像信号を検出すること
が可能になる。即ち、冷却装置１３によりＣＣＤ素子を
冷却することにより、熱雑音を取り除くことができる。
薄い水晶片６の周縁や傷の像が強調されて光学系３を介
してＣＣＤカメラ１に撮像される。このＣＣＤカメラ１
には、内蔵するＣＣＤ素子（図示せず）に密着して冷却
装置１３が設けられる。この冷却装置１３は、後述する
通り、ペルチェ素子と放熱ファンとの組み合わせであ
り、ＣＣＤ素子の温度を例えばマイナス４０℃程度に冷
却することができる。ＣＣＤ素子を冷却することによ
り、室温状態では熱雑音の障害の為に検出できなかった
水晶片の周縁形状や内部の傷の画像信号を検出すること
が可能になる。即ち、冷却装置１３によりＣＣＤ素子を
冷却することにより、熱雑音を取り除くことができる。
【００１３】図２は、その冷却装置とＣＣＤ素子の構造
を示す図である。ＣＣＤカメラに内蔵されるＣＣＤ素子
２０は、通常セラミックパッケージ内に封止され、その
パッケージの透明窓を通して露光される。かかるＣＣＤ
素子２０がＣＣＤ基台２４上に実装され、そのＣＣＤ基
台２４が熱導電性が高く熱容量の大きいダイキャスト２
５に取り付けられる。そして、このダイキャスト２５の
両側にペルチェ素子Ｐ２，Ｐ３及びＰ１，Ｐ４が密着し
て設けられる。これらの間は、導電性の接着材により熱
伝導的に接続される。
を示す図である。ＣＣＤカメラに内蔵されるＣＣＤ素子
２０は、通常セラミックパッケージ内に封止され、その
パッケージの透明窓を通して露光される。かかるＣＣＤ
素子２０がＣＣＤ基台２４上に実装され、そのＣＣＤ基
台２４が熱導電性が高く熱容量の大きいダイキャスト２
５に取り付けられる。そして、このダイキャスト２５の
両側にペルチェ素子Ｐ２，Ｐ３及びＰ１，Ｐ４が密着し
て設けられる。これらの間は、導電性の接着材により熱
伝導的に接続される。
【００１４】ペルチェ素子Ｐ１〜Ｐ４は、ＰＮ接合を有
し、そのＰＮ接合間に所定の電圧を印加することによ
り、一方向に熱を伝導する作用を有する。従って、この
実施の形態例では、ペルチェ素子Ｐ１，Ｐ２には、ダイ
キャスト２５から左側に向かって熱を伝導する様に、所
定の電圧が印加される。また、ペルチェ素子Ｐ３，Ｐ４
には、ダイキャスト２５から右側に向かって熱を伝導す
る様に、所定の電圧が印加される。
し、そのＰＮ接合間に所定の電圧を印加することによ
り、一方向に熱を伝導する作用を有する。従って、この
実施の形態例では、ペルチェ素子Ｐ１，Ｐ２には、ダイ
キャスト２５から左側に向かって熱を伝導する様に、所
定の電圧が印加される。また、ペルチェ素子Ｐ３，Ｐ４
には、ダイキャスト２５から右側に向かって熱を伝導す
る様に、所定の電圧が印加される。
【００１５】ペルチェ素子１個あたりの冷却温度は、例
えばマイナス２０℃と固定値であるので、ペルチェ素子
をこの例では２個直列に接続して設けることにより、Ｃ
ＣＤ素子２０をマイナス４０℃冷却することができる。
更に、冷却が必要な場合は、単にペルチェ素子を外側に
追加すれば良い。
えばマイナス２０℃と固定値であるので、ペルチェ素子
をこの例では２個直列に接続して設けることにより、Ｃ
ＣＤ素子２０をマイナス４０℃冷却することができる。
更に、冷却が必要な場合は、単にペルチェ素子を外側に
追加すれば良い。
【００１６】ペルチェ素子は、ダイキャスト２５の熱を
伝導し、ペルチェ素子のダイキャスト２５側とペルチェ
素子の反対側との相対的な温度差を所定の温度（マイナ
ス２０℃）にする作用を有する。従って、ダイキャスト
と反対側が高温になると、ダイキャスト２５を冷却する
ことはできない。そこで、本実施の形態例では、ペルチ
ェ素子Ｐ１，Ｐ４の外側の高温部にそこの温度を低下さ
せる冷却ファンＦ１，Ｆ２が設けられる。冷却ファンＦ
１，Ｆ２は、例えばマイクロプロセッサのモータ付き冷
却ファン等が利用され、非常にコンパクトな構成で且つ
十分な冷却機能を有する。従って、図１に示した通り、
冷却装置１３内に設けるのに適切である。冷却ファンＦ
１，Ｆ２には、冷却用電源Ｓ１から電源が供給され、強
制空冷を可能にする。
伝導し、ペルチェ素子のダイキャスト２５側とペルチェ
素子の反対側との相対的な温度差を所定の温度（マイナ
ス２０℃）にする作用を有する。従って、ダイキャスト
と反対側が高温になると、ダイキャスト２５を冷却する
ことはできない。そこで、本実施の形態例では、ペルチ
ェ素子Ｐ１，Ｐ４の外側の高温部にそこの温度を低下さ
せる冷却ファンＦ１，Ｆ２が設けられる。冷却ファンＦ
１，Ｆ２は、例えばマイクロプロセッサのモータ付き冷
却ファン等が利用され、非常にコンパクトな構成で且つ
十分な冷却機能を有する。従って、図１に示した通り、
冷却装置１３内に設けるのに適切である。冷却ファンＦ
１，Ｆ２には、冷却用電源Ｓ１から電源が供給され、強
制空冷を可能にする。
【００１７】ＣＣＤ素子２０から出力される出力信号
は、断熱材２１を隔てて設けられた画像信号生成回路Ｃ
１に供給される。画像信号生成回路Ｃ１は、断熱材２１
により常温に近い動作温度範囲内の雰囲気に置かれる。
画像信号生成回路Ｃ１内では、ＣＣＤ素子２０からのア
ナログ信号がＡＤ変換回路により例えば８ビットの画像
信号に変換される。また、断熱材２１により隔てられた
位置に、冷却用の電源回路Ｓ１も設けられる。断熱材２
１により、画像信号生成回路Ｃ１や電源回路Ｓ１から発
生する熱が、ＣＣＤ素子２０側に伝達されることが防止
される。
は、断熱材２１を隔てて設けられた画像信号生成回路Ｃ
１に供給される。画像信号生成回路Ｃ１は、断熱材２１
により常温に近い動作温度範囲内の雰囲気に置かれる。
画像信号生成回路Ｃ１内では、ＣＣＤ素子２０からのア
ナログ信号がＡＤ変換回路により例えば８ビットの画像
信号に変換される。また、断熱材２１により隔てられた
位置に、冷却用の電源回路Ｓ１も設けられる。断熱材２
１により、画像信号生成回路Ｃ１や電源回路Ｓ１から発
生する熱が、ＣＣＤ素子２０側に伝達されることが防止
される。
【００１８】図３は、ＣＣＤ素子と冷却装置のより詳細
な構成例を示す図である。図示される通り、ＣＣＤ素子
２０は、セラミック製の露光窓付きのパッケージに収納
される。このＣＣＤ素子２０は、基台２４にマウントさ
れ、中央部に孔が設けられたアルミ製のダイキャスト２
５にネジ等により固定される。中央部の孔を介してＣＣ
Ｄ素子２０の出力信号配線３４が導出される。
な構成例を示す図である。図示される通り、ＣＣＤ素子
２０は、セラミック製の露光窓付きのパッケージに収納
される。このＣＣＤ素子２０は、基台２４にマウントさ
れ、中央部に孔が設けられたアルミ製のダイキャスト２
５にネジ等により固定される。中央部の孔を介してＣＣ
Ｄ素子２０の出力信号配線３４が導出される。
【００１９】アルミ製のダイキャスト２５の外側に、熱
伝性の接着剤３２によりペルチェ素子Ｐ２，Ｐ３が接着
される。この結果、ＣＣＤ素子２０はペルチェ素子Ｐ
２，Ｐ３に熱伝導的に接続される。更に、ペルチェ素子
Ｐ３の外側にもペルチェ素子Ｐ４が熱伝性の接着剤３２
により接着される。それぞれのペルチェ素子の電源配線
２２は、断熱材２１に下側に設けられる冷却電源回路に
接続される。本実施の形態例のペルチェ素子は、１個で
マイナス２０℃の冷却が可能である。従って、本実施の
形態例では２個のペルチェ素子を設けたことにより、マ
イナス４０℃まで冷却することができる。室温が１５℃
とすると、ＣＣＤ素子２０の温度は、マイナス３５℃と
なる。かかる温度は、ＣＣＤ素子２０の正常動作温度範
囲を下回る。その結果、ＣＣＤ素子内の熱雑音はほとん
ど除去され、水晶片の周縁や傷等の微小な光をコントラ
スト良く撮像することが可能となる。
伝性の接着剤３２によりペルチェ素子Ｐ２，Ｐ３が接着
される。この結果、ＣＣＤ素子２０はペルチェ素子Ｐ
２，Ｐ３に熱伝導的に接続される。更に、ペルチェ素子
Ｐ３の外側にもペルチェ素子Ｐ４が熱伝性の接着剤３２
により接着される。それぞれのペルチェ素子の電源配線
２２は、断熱材２１に下側に設けられる冷却電源回路に
接続される。本実施の形態例のペルチェ素子は、１個で
マイナス２０℃の冷却が可能である。従って、本実施の
形態例では２個のペルチェ素子を設けたことにより、マ
イナス４０℃まで冷却することができる。室温が１５℃
とすると、ＣＣＤ素子２０の温度は、マイナス３５℃と
なる。かかる温度は、ＣＣＤ素子２０の正常動作温度範
囲を下回る。その結果、ＣＣＤ素子内の熱雑音はほとん
ど除去され、水晶片の周縁や傷等の微小な光をコントラ
スト良く撮像することが可能となる。
【００２０】ペルチェ素子Ｐ４の右側は、高温状態とな
るので、熱伝性の接着材３２により放熱板３０が接着さ
れる。そして、その放熱板に冷却ファンＦ２が取り付け
られる。冷却ファンＦ２に電源を供給することにより、
強制空冷を行い、ペルチェ素子Ｐ４の右側が高温状態に
なることを防止する。例えば、マイクロプロセッサのパ
ッケージ上の放熱板上に取り付けられる冷却用のモータ
付きファン等を利用することにより、非常にコンパクト
な構成で強制空冷を提供することができる。
るので、熱伝性の接着材３２により放熱板３０が接着さ
れる。そして、その放熱板に冷却ファンＦ２が取り付け
られる。冷却ファンＦ２に電源を供給することにより、
強制空冷を行い、ペルチェ素子Ｐ４の右側が高温状態に
なることを防止する。例えば、マイクロプロセッサのパ
ッケージ上の放熱板上に取り付けられる冷却用のモータ
付きファン等を利用することにより、非常にコンパクト
な構成で強制空冷を提供することができる。
【００２１】断熱材２１は、ペルチェ素子による冷却が
画像信号生成回路Ｃ１に影響を与えない為と、画像信号
生成回路Ｃ１の発生する熱によりＣＣＤ素子２０の温度
が上昇するのを防止する。また、冷却されるＣＣＤ素子
２０とペルチェ素子による冷却装置部分は、容器３６内
に密閉され、その中に乾燥剤を投入することで雰囲気３
８は乾燥している。こうすることで、ペルチェ素子によ
る急激な冷却に伴う結露を防止することができる。
画像信号生成回路Ｃ１に影響を与えない為と、画像信号
生成回路Ｃ１の発生する熱によりＣＣＤ素子２０の温度
が上昇するのを防止する。また、冷却されるＣＣＤ素子
２０とペルチェ素子による冷却装置部分は、容器３６内
に密閉され、その中に乾燥剤を投入することで雰囲気３
８は乾燥している。こうすることで、ペルチェ素子によ
る急激な冷却に伴う結露を防止することができる。
【００２２】図１に戻り、冷却装置１３を取り付けてＣ
ＣＤカメラ１により水晶片の周縁や傷を画像として捉え
ることができれば、その画像信号がビデオ信号としてコ
ンピュータ９に出力される。コンピュータ９では、既存
の画像処理技術を利用したパターンマッチングや面積演
算等により、水晶片の周縁が正常な形状で欠けを有しな
いか否か、水晶片内に傷が存在しないか否か等を自動的
に検出することができる。
ＣＤカメラ１により水晶片の周縁や傷を画像として捉え
ることができれば、その画像信号がビデオ信号としてコ
ンピュータ９に出力される。コンピュータ９では、既存
の画像処理技術を利用したパターンマッチングや面積演
算等により、水晶片の周縁が正常な形状で欠けを有しな
いか否か、水晶片内に傷が存在しないか否か等を自動的
に検出することができる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明した通り、ペルチェ素子と冷却
ファンの組み合わせにより、簡単な構成でＣＣＤ素子を
冷却することができる。従って、冷却されたＣＣＤ素子
には、熱雑音の影響がなくなり、水晶片の様に非常に弱
い光しか得られない試料であっても、その画像を捉える
ことができる。従って、画像処理により、水晶片の欠け
や傷を、人間の目視に頼ることなく自動で検出すること
ができる。
ファンの組み合わせにより、簡単な構成でＣＣＤ素子を
冷却することができる。従って、冷却されたＣＣＤ素子
には、熱雑音の影響がなくなり、水晶片の様に非常に弱
い光しか得られない試料であっても、その画像を捉える
ことができる。従って、画像処理により、水晶片の欠け
や傷を、人間の目視に頼ることなく自動で検出すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態例の水晶片検査装置の構成
を示す図である。
を示す図である。
【図２】冷却装置とＣＣＤ素子の構造を示す図である。
【図３】ＣＣＤ素子と冷却装置のより詳細な構成例を示
す図である。
す図である。
１ ＣＣＤカメラ ６ 試料、水晶片 ２０ ＣＣＤ素子 ２１ 断熱材 Ｐ１〜Ｐ４ ペルチェ素子 Ｆ１，Ｆ２ 強制空冷手段、冷却ファン
Claims (2)
- 【請求項１】水晶片を検査する検査装置において、 水晶片を光学系を介して撮像するＣＣＤ素子と、 前記ＣＣＤ素子に熱伝導的に接続して設けられ、前記Ｃ
ＣＤ素子を冷却するペルチェ素子と、 前記ペルチェ素子とＣＣＤ素子とから断熱材を介して離
間して設けられ、前記ＣＣＤ素子からの光電変換信号に
従って画像信号を生成する画像信号生成部とを有し、 前記水晶片の画像信号を処理して該水晶片の傷や周縁の
欠けを検出することを特徴とする水晶片検査装置。 - 【請求項２】請求項１において、 前記ペルチェ素子の前記ＣＣＤ素子とは反対側に、強制
空冷手段が設けられたことを特徴とする水晶片検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21660397A JPH1164238A (ja) | 1997-08-11 | 1997-08-11 | Ｃｃｄを利用した水晶片検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21660397A JPH1164238A (ja) | 1997-08-11 | 1997-08-11 | Ｃｃｄを利用した水晶片検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1164238A true JPH1164238A (ja) | 1999-03-05 |
Family
ID=16691020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21660397A Pending JPH1164238A (ja) | 1997-08-11 | 1997-08-11 | Ｃｃｄを利用した水晶片検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1164238A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008244938A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Fujifilm Corp | デジタルカメラ |
| CN107144566A (zh) * | 2017-05-31 | 2017-09-08 | 中国石油大学(华东) | 利用化学‑沉积相表征细粒沉积岩非均质性的方法 |
-
1997
- 1997-08-11 JP JP21660397A patent/JPH1164238A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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