JPH1163971A - 真円度測定機 - Google Patents
真円度測定機Info
- Publication number
- JPH1163971A JPH1163971A JP23543397A JP23543397A JPH1163971A JP H1163971 A JPH1163971 A JP H1163971A JP 23543397 A JP23543397 A JP 23543397A JP 23543397 A JP23543397 A JP 23543397A JP H1163971 A JPH1163971 A JP H1163971A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- work
- guide
- measuring machine
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 テーブル回転型の真円度測定機でワークの複
数の断面を測定して同軸度や円筒度を求める場合に、Ｚ
ガイドの運動精度の影響を受けずに測定できる方法を提
供する。 【解決手段】 Ｚテーブルに検出器ホルダー１５と平行
して検出器ホルダー１６を設け、各々の検出器ホルダー
に検出器１７と検出器１８を、互いの検出方向が回転テ
ーブル１２の回転中心Ｔｃに対峙する状態に設ける。そ
して、検出器１７で検出された第一測定値と回転テーブ
ル１２によってワークが１８０゜回転して検出器１８で
検出された測定値との平均値を、ワークのその点の測定
値（半径）とする。 【効果】 Ｚガイド１３の運動精度の誤差があっても、
２つの測定値の平均によって運動精度１３ａの誤差Ｅａ
が相殺される。
数の断面を測定して同軸度や円筒度を求める場合に、Ｚ
ガイドの運動精度の影響を受けずに測定できる方法を提
供する。 【解決手段】 Ｚテーブルに検出器ホルダー１５と平行
して検出器ホルダー１６を設け、各々の検出器ホルダー
に検出器１７と検出器１８を、互いの検出方向が回転テ
ーブル１２の回転中心Ｔｃに対峙する状態に設ける。そ
して、検出器１７で検出された第一測定値と回転テーブ
ル１２によってワークが１８０゜回転して検出器１８で
検出された測定値との平均値を、ワークのその点の測定
値（半径）とする。 【効果】 Ｚガイド１３の運動精度の誤差があっても、
２つの測定値の平均によって運動精度１３ａの誤差Ｅａ
が相殺される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物（本明細
書では「ワーク」という。）の真円度や円柱形状を測定
する真円度測定機に係わり、その中で、テーブル回転型
の真円度測定機に関するものである。
書では「ワーク」という。）の真円度や円柱形状を測定
する真円度測定機に係わり、その中で、テーブル回転型
の真円度測定機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】テーブル回転型の真円度測定機は図３に
示すように、ベース１１に鉛直軸回りに回転する回転テ
ーブル１２が設けられるとともに、ベース１１にはＺガ
イド１３が立設され、Ｚガイド１３にＺテーブル２４が
Ｚ方向移動自在に支持されている。Ｚテーブル２４には
検出器ホルダー１５が水平一軸方向（Ｘ方向）移動自在
に支持されており、その先端１５ａに検出器１７が設け
られている。検出器１７の測定子１７ａのＹ方向（Ｘ方
向に直角な水平方向）位置は回転テーブル１２のＹ方向
中心線上にほぼ一致している。
示すように、ベース１１に鉛直軸回りに回転する回転テ
ーブル１２が設けられるとともに、ベース１１にはＺガ
イド１３が立設され、Ｚガイド１３にＺテーブル２４が
Ｚ方向移動自在に支持されている。Ｚテーブル２４には
検出器ホルダー１５が水平一軸方向（Ｘ方向）移動自在
に支持されており、その先端１５ａに検出器１７が設け
られている。検出器１７の測定子１７ａのＹ方向（Ｘ方
向に直角な水平方向）位置は回転テーブル１２のＹ方向
中心線上にほぼ一致している。
【０００３】テーブル回転型の真円度測定機はこのよう
に構成されており、ワークの測定部分の中心を回転テー
ブル１２の回転中心に概略（検出器１７の測定可能範囲
内）合わせてワークを回転テーブル１２に載置し、ワー
クを回転さてワークの円周を測定し、測定データから真
円度を算出する。
に構成されており、ワークの測定部分の中心を回転テー
ブル１２の回転中心に概略（検出器１７の測定可能範囲
内）合わせてワークを回転テーブル１２に載置し、ワー
クを回転さてワークの円周を測定し、測定データから真
円度を算出する。
【０００４】また、検出器１７はＺテーブル２４によっ
て上下に移動可能であるので、ワークの任意の高さで真
円度測定ができる。これによって、各測定断面での真円
度データから同軸度や円筒度等の円柱形状の算出も可能
となる。さらに、回転テーブル１２を回転せずに検出器
１７を上下移動させるとワークのＸ方向の真直度の測定
も可能である。
て上下に移動可能であるので、ワークの任意の高さで真
円度測定ができる。これによって、各測定断面での真円
度データから同軸度や円筒度等の円柱形状の算出も可能
となる。さらに、回転テーブル１２を回転せずに検出器
１７を上下移動させるとワークのＸ方向の真直度の測定
も可能である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、Ｚテー
ブル２４は、Ｚ方向に移動するときにＺガイド１３の運
動精度によって変動が発生する。その結果、検出器の水
平方向位置が変位するため、同軸度や円筒度を測定する
場合に、次のような測定誤差が生じる。
ブル２４は、Ｚ方向に移動するときにＺガイド１３の運
動精度によって変動が発生する。その結果、検出器の水
平方向位置が変位するため、同軸度や円筒度を測定する
場合に、次のような測定誤差が生じる。
【０００６】これを図４に示す。Ｔｏは回転テーブル１
２の回転中心、ＣｏはＺガイド１３の運動精度１３ａの
誤差が零の場合の検出器１７の位置、ＬｃはＴｏからＣ
ｏまでの距離、Ｅｃ、Ｅｄは各々鉛直方向Ｚｃ、Ｚｄ位
置におけるＺガイド１３の運動精度１３ａのＸ方向誤
差、Ｄｃ、Ｄｄは各々Ｚｃ、Ｚｄ位置における検出器１
７の位置から測定子１７ａがワークに当接した点までの
距離を表している。したがって、ワークＷの一つの母線
Ｗｃ上のＺｃ、Ｚｄ位置における半径Ｒｃ、Ｒｄは、次
の式で表わされる。 Ｒｃ＝Ｌｃ−Ｄｃ−Ｅｃ Ｒｄ＝Ｌｃ−Ｄｄ−Ｅｄ
２の回転中心、ＣｏはＺガイド１３の運動精度１３ａの
誤差が零の場合の検出器１７の位置、ＬｃはＴｏからＣ
ｏまでの距離、Ｅｃ、Ｅｄは各々鉛直方向Ｚｃ、Ｚｄ位
置におけるＺガイド１３の運動精度１３ａのＸ方向誤
差、Ｄｃ、Ｄｄは各々Ｚｃ、Ｚｄ位置における検出器１
７の位置から測定子１７ａがワークに当接した点までの
距離を表している。したがって、ワークＷの一つの母線
Ｗｃ上のＺｃ、Ｚｄ位置における半径Ｒｃ、Ｒｄは、次
の式で表わされる。 Ｒｃ＝Ｌｃ−Ｄｃ−Ｅｃ Ｒｄ＝Ｌｃ−Ｄｄ−Ｅｄ
【０００７】同軸度は回転テーブル１２の回転中心Ｔｏ
からの各測定断面半径のばらつきで表わされるので、図
４の例の２つの位置の差でみると、次のようになる。 Ｒｃ−Ｒｄ＝（Ｄｄ−Ｄｃ）＋（Ｅｄ−Ｅｃ） つまり、運動精度１３ａの誤差ＥｃとＥｄとの差がその
まま同軸度の誤差に加算される。
からの各測定断面半径のばらつきで表わされるので、図
４の例の２つの位置の差でみると、次のようになる。 Ｒｃ−Ｒｄ＝（Ｄｄ−Ｄｃ）＋（Ｅｄ−Ｅｃ） つまり、運動精度１３ａの誤差ＥｃとＥｄとの差がその
まま同軸度の誤差に加算される。
【０００８】本発明はこのような事情を鑑みてなされた
もので、テーブル回転型の真円度測定機でワークの複数
の断面を測定して同軸度や円筒度を求める場合に、Ｚガ
イド１３の運動精度１３ａの影響を受けずに測定できる
方法を提供することを目的とする。
もので、テーブル回転型の真円度測定機でワークの複数
の断面を測定して同軸度や円筒度を求める場合に、Ｚガ
イド１３の運動精度１３ａの影響を受けずに測定できる
方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、テーブル回転型の真円度測定機のＺテーブ
ルに検出器ホルダー１５と平行して検出器ホルダー１６
を設け、検出器ホルダー１６には第二検出器を第一検出
器（従来の技術で説明した検出器１７）の検出方向と回
転テーブル１２の回転中心Ｔｃを結ぶ方向で、回転テー
ブル１２の回転中心に対峙する状態に設ける。そして、
第一検出器で検出された第一測定値と、回転テーブル１
２によってワークが１８０゜回転して第二検出器で検出
された測定値との平均値を、ワークのその点の測定値と
するようにする。こうすると、Ｚガイド１３の運動精度
１３ａの誤差があっても、２つの測定値の平均によって
運動精度の誤差が相殺される。
するために、テーブル回転型の真円度測定機のＺテーブ
ルに検出器ホルダー１５と平行して検出器ホルダー１６
を設け、検出器ホルダー１６には第二検出器を第一検出
器（従来の技術で説明した検出器１７）の検出方向と回
転テーブル１２の回転中心Ｔｃを結ぶ方向で、回転テー
ブル１２の回転中心に対峙する状態に設ける。そして、
第一検出器で検出された第一測定値と、回転テーブル１
２によってワークが１８０゜回転して第二検出器で検出
された測定値との平均値を、ワークのその点の測定値と
するようにする。こうすると、Ｚガイド１３の運動精度
１３ａの誤差があっても、２つの測定値の平均によって
運動精度の誤差が相殺される。
【００１０】
【実施の形態】本発明に係る真円度測定機の実施の形態
の全体図を図１に、測定説明図を図２に示す。図１に示
す真円度測定機は、従来の技術（図３）で説明したもの
と基本構成は同じである。従来の技術と異なるのは、検
出器が２つあることである。すなわち、図１に示すよう
に、Ｚテーブル１４には、検出器ホルダー１５と平行し
て上側に検出器ホルダー１６が設けられている。検出器
ホルダー１５には従来どおり検出器１７が取り付けられ
ており、検出器ホルダー１６には検出器１８（第二検出
器）が設けられている。検出器１８は、検出器１７の検
出方向と回転テーブル１２の回転中心Ｔｏを結ぶ方向
で、回転テーブル１２に対峙する方向に検出方向が設定
されている。
の全体図を図１に、測定説明図を図２に示す。図１に示
す真円度測定機は、従来の技術（図３）で説明したもの
と基本構成は同じである。従来の技術と異なるのは、検
出器が２つあることである。すなわち、図１に示すよう
に、Ｚテーブル１４には、検出器ホルダー１５と平行し
て上側に検出器ホルダー１６が設けられている。検出器
ホルダー１５には従来どおり検出器１７が取り付けられ
ており、検出器ホルダー１６には検出器１８（第二検出
器）が設けられている。検出器１８は、検出器１７の検
出方向と回転テーブル１２の回転中心Ｔｏを結ぶ方向
で、回転テーブル１２に対峙する方向に検出方向が設定
されている。
【００１１】本発明に係わる真円度測定機はこのように
構成されており、ワークＷを回転テーブル１２の上に載
置し固定した状態で、回転テーブル１２を駆動してワー
クの測定部分の中心を検出器１７、１８の回転中心に概
略（検出器１７、１８の測定可能範囲内）に合わせた
後、回転テーブル１２を回転させてワークＷの円周を測
定する。すると、ワークの各点は検出器１７で検出され
た後、１８０゜回転して検出器１８でも検出されるの
で、検出器１７で検出された第一測定値と検出器１８で
検出された測定値（回転テーブル１２の１８０゜回転時
間分だけ、第一測定値より遅れて検出される）との平均
値を算出し、それをワークのその点の測定値（半径）と
する。
構成されており、ワークＷを回転テーブル１２の上に載
置し固定した状態で、回転テーブル１２を駆動してワー
クの測定部分の中心を検出器１７、１８の回転中心に概
略（検出器１７、１８の測定可能範囲内）に合わせた
後、回転テーブル１２を回転させてワークＷの円周を測
定する。すると、ワークの各点は検出器１７で検出され
た後、１８０゜回転して検出器１８でも検出されるの
で、検出器１７で検出された第一測定値と検出器１８で
検出された測定値（回転テーブル１２の１８０゜回転時
間分だけ、第一測定値より遅れて検出される）との平均
値を算出し、それをワークのその点の測定値（半径）と
する。
【００１２】これを図２を用いて説明すると、次のよう
になる。図２において、Ｔｏは回転テーブル１２の回転
中心、Ｃａ、ＣｂはＺガイド１３の運動精度１３ａの誤
差が零の場合の検出器１７、検出器１８の位置、Ｌａ、
ＬｂはＴｏから各々Ｃａ、Ｃｂまでの距離、Ｅａは鉛直
方向Ｚａ位置におけるＺガイド１３の運動精度１３ａの
Ｘ方向誤差、ＤａはＺ位置における検出器１７の位置か
ら測定子１７ａがワークに当接した点までの距離、Ｄｂ
はＺ位置における検出器１８の位置から測定子１８ａが
ワークに当接した点までの距離を表している。なお、図
２でワークＷの一つの母線Ｗａは検出器１７側を実線で
表わし、母線Ｗａが１８０゜回転して検出器１８側に位
置する状態をＷｂとして想像線で表わしている。
になる。図２において、Ｔｏは回転テーブル１２の回転
中心、Ｃａ、ＣｂはＺガイド１３の運動精度１３ａの誤
差が零の場合の検出器１７、検出器１８の位置、Ｌａ、
ＬｂはＴｏから各々Ｃａ、Ｃｂまでの距離、Ｅａは鉛直
方向Ｚａ位置におけるＺガイド１３の運動精度１３ａの
Ｘ方向誤差、ＤａはＺ位置における検出器１７の位置か
ら測定子１７ａがワークに当接した点までの距離、Ｄｂ
はＺ位置における検出器１８の位置から測定子１８ａが
ワークに当接した点までの距離を表している。なお、図
２でワークＷの一つの母線Ｗａは検出器１７側を実線で
表わし、母線Ｗａが１８０゜回転して検出器１８側に位
置する状態をＷｂとして想像線で表わしている。
【００１３】図２において、ワークＷの一つの母線Ｗａ
のＺ位置における半径Ｒａ、母線Ｗａが１８０゜回転し
た時の半径Ｒｂは、次の式で表わされる。 Ｒａ＝Ｌａ−Ｄａ−Ｅａ Ｒｂ＝Ｌｂ−Ｄｂ＋Ｅａ したがって、算出される測定値は、 （Ｒａ＋Ｒｂ）／２＝（Ｌａ＋Ｌｂ−Ｄａ−Ｄｂ）／２ となり、Ｚガイド１３の運動精度１３ａの誤差Ｅａは相
殺される。
のＺ位置における半径Ｒａ、母線Ｗａが１８０゜回転し
た時の半径Ｒｂは、次の式で表わされる。 Ｒａ＝Ｌａ−Ｄａ−Ｅａ Ｒｂ＝Ｌｂ−Ｄｂ＋Ｅａ したがって、算出される測定値は、 （Ｒａ＋Ｒｂ）／２＝（Ｌａ＋Ｌｂ−Ｄａ−Ｄｂ）／２ となり、Ｚガイド１３の運動精度１３ａの誤差Ｅａは相
殺される。
【００１４】なお、以上説明した実施の形態では、２つ
の検出器１７、１８の方向をＸ方向としたが、これに限
らず、検出器ホルダー１５、１６の移動方向を他の方向
に変えても、本発明は適用できる。つまり、２つの検出
器１７、１８検出器の検出方向が回転テーブル１２の回
転中心Ｔｏに対峙していればよい。
の検出器１７、１８の方向をＸ方向としたが、これに限
らず、検出器ホルダー１５、１６の移動方向を他の方向
に変えても、本発明は適用できる。つまり、２つの検出
器１７、１８検出器の検出方向が回転テーブル１２の回
転中心Ｔｏに対峙していればよい。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、テ
ーブル回転型の真円度測定機において、Ｚテーブルに２
つの検出器ホルダーを設け、検出器ホルダーに各々検出
器を、互いの検出方向が回転テーブルの回転中心に対し
て対峙する状態に設ける。そして、第一検出器で検出さ
れた第一測定値と、回転テーブルによってワークが１８
０゜回転して第二検出器で検出された測定値との平均値
を、ワークのその点の測定値（半径）とするようにし
た。これによって、Ｚテーブルを鉛直方向に案内するＺ
ガイドの水平方向の運動精度の誤差があっても、２つの
測定値の平均によって運動精度の誤差が相殺されるの
で、Ｚガイドの運動精度の影響を受けずに同軸度や円筒
度の測定を行うことができる。
ーブル回転型の真円度測定機において、Ｚテーブルに２
つの検出器ホルダーを設け、検出器ホルダーに各々検出
器を、互いの検出方向が回転テーブルの回転中心に対し
て対峙する状態に設ける。そして、第一検出器で検出さ
れた第一測定値と、回転テーブルによってワークが１８
０゜回転して第二検出器で検出された測定値との平均値
を、ワークのその点の測定値（半径）とするようにし
た。これによって、Ｚテーブルを鉛直方向に案内するＺ
ガイドの水平方向の運動精度の誤差があっても、２つの
測定値の平均によって運動精度の誤差が相殺されるの
で、Ｚガイドの運動精度の影響を受けずに同軸度や円筒
度の測定を行うことができる。
【図１】本発明にかかる真円度測定機の実施の形態の外
観図
観図
【図２】本発明に係る真円度測定機の実施の形態の測定
説明図
説明図
【図３】従来の真円度測定機の外観図
【図４】従来の真円度測定機の測定説明図
Ｗ………ワーク １１……ベース １２……回転テーブル １３……Ｚガイド １４……Ｚテーブル １５……検出器ホルダー １６……検出器ホルダー １７……検出器 １８……検出器 １７ａ…測定子 １８ａ…測定子
Claims (1)
- 【請求項１】ベースに鉛直軸回り回転自在に支持された
回転テーブルと、 前記ベースに立設されたＺガイドに鉛直方向移動自在に
支持されたＺテーブルと、 前記回転テーブルの回転中心に対して互いに対峙する状
態で、前記Ｚテーブルに設けられた第一検出器及び第二
検出器とから構成され、 前記第一検出器で検出された第一測定値と、ワークが１
８０゜回転して前記第二検出器で検出された測定値との
平均値を、ワークのその点の測定値とすることを特徴と
する真円度測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23543397A JPH1163971A (ja) | 1997-08-15 | 1997-08-15 | 真円度測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23543397A JPH1163971A (ja) | 1997-08-15 | 1997-08-15 | 真円度測定機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1163971A true JPH1163971A (ja) | 1999-03-05 |
Family
ID=16986045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23543397A Pending JPH1163971A (ja) | 1997-08-15 | 1997-08-15 | 真円度測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1163971A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006105778A (ja) * | 2004-10-05 | 2006-04-20 | Nsk Ltd | ころ形状測定装置およびころ形状測定方法 |
| US7197835B2 (en) | 2004-11-18 | 2007-04-03 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Detector supporting mechanism |
| JP2008157863A (ja) * | 2006-12-26 | 2008-07-10 | Nissan Diesel Motor Co Ltd | 真円度測定装置及び真円度測定方法 |
| US7824183B2 (en) * | 2004-10-28 | 2010-11-02 | Gc Corporation | Measured object mounting tool and production method of three-dimensional shape data of dental prosthesis using that tool |
| CN103837122A (zh) * | 2013-01-18 | 2014-06-04 | 洛阳量云精密仪器有限公司 | 智能同轴度检测仪 |
| JP5939477B1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-06-22 | 株式会社東京精密 | 形状測定装置 |
| WO2016158530A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 株式会社東京精密 | 形状測定装置 |
| JP2016194519A (ja) * | 2016-05-19 | 2016-11-17 | 株式会社東京精密 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
| JP6031732B1 (ja) * | 2015-08-27 | 2016-11-24 | 株式会社東京精密 | 表面形状測定装置の心ずれ量算出方法、及び表面形状測定装置 |
| JP2017040661A (ja) * | 2016-10-05 | 2017-02-23 | 株式会社東京精密 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
-
1997
- 1997-08-15 JP JP23543397A patent/JPH1163971A/ja active Pending
Cited By (15)
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|---|---|---|---|---|
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| JP6083104B1 (ja) * | 2015-08-27 | 2017-02-22 | 株式会社東京精密 | 表面形状測定方法、心ずれ量算出方法、及び表面形状測定装置 |
| WO2017033581A1 (ja) * | 2015-08-27 | 2017-03-02 | 株式会社東京精密 | 表面形状測定方法、心ずれ量算出方法、及び表面形状測定装置 |
| JP6149337B1 (ja) * | 2015-08-27 | 2017-06-21 | 株式会社東京精密 | 表面形状測定装置 |
| JP2017187470A (ja) * | 2015-08-27 | 2017-10-12 | 株式会社東京精密 | 表面形状測定装置 |
| US10041779B2 (en) | 2015-08-27 | 2018-08-07 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Surface shape measuring method, misalignment amount calculating method, and surface shape measuring device |
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