JPH1159856A - Vibrating conveyer - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibrating conveyer wherein the conveyer is formed in small size into a thin type further with weight lightened as compared with a conventional constitution, and a relation between a direction of vibration and a surface direction of a vibrator can be easily and arbitrarily constituted. SOLUTION: This vibrating conveyer 1 has an exciter 10 and a vibratory conveying path 5 connected mechanically to the exciter 10 and formed with a conveying path. The exciter 10 is constituted as an electrostatic motor 10 performing reciprocation drive. By reciprocation driving the electrostatic motor 10, the vibratory conveying path 5 is vibrated. Since the electrostatic motor 10 is of very thin type, a constitution arbitrarily adjusting a surface direction of the vibratory conveying path 5 and a drive direction of the electrostatic motor 10 is made possible. For instance, the vibratory conveying path 5, by providing it is the drive direction of the electrostatic motor 10, can be easily vibrated along a direction of the vibratory conveying path 5.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、振動する振動面上
に物体を載せ、振動面と物体との間に働く相互作用の関
係を利用することによって振動面上の物体を搬送あるい
は分離する振動式搬送装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration for placing or resting an object on a vibrating surface and carrying or separating the object on the surface by utilizing an interaction between the surface and the object. The present invention relates to a transfer device.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来の振動式搬送装置は、図１９に示す
ように、振動を励起する加振装置１００と、加振装置１
００に連結されるとともに搬送物Ｐに振動および摩擦を
与える振動体１０１とから構成されている。このうち加
振装置１００は、電磁ソレノイドや圧電素子等の変位発
生機構と板バネとから構成されている。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 19, a conventional vibrating transfer apparatus includes a vibrating device 100 for exciting vibration and a vibrating device 1 as shown in FIG.
00 and a vibrating body 101 for applying vibration and friction to the conveyed object P. The vibration device 100 includes a displacement generating mechanism such as an electromagnetic solenoid or a piezoelectric element, and a leaf spring.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来の振動式搬送装置
は、例えば組立工場の部品供給ライン等において利用さ
れており、「振動パーツフィーダ」などと呼ばれてい
る。原理的にはいかなる物体でも搬送可能なのである
が、実際には工場内でのパーツの供給や粉体等の供給に
用途が限られている。これは、従来の振動式搬送装置は
電磁ソレノイド等を有しており、大型で重く取り扱いが
困難なため、と考えられる。A conventional vibratory transfer apparatus is used, for example, in a part supply line of an assembly factory, and is called a "vibrating part feeder". In principle, any object can be transported, but in practice, its use is limited to the supply of parts and the supply of powder and the like in a factory. This is considered to be because the conventional vibration-type transfer device has an electromagnetic solenoid or the like, and is large and heavy and difficult to handle.

【０００４】また従来の振動式搬送装置は、振動方向と
振動体１０１の面方向とを同一方向に構成することが困
難で、実際には振動方向が振動体１０１の面に対してあ
る程度の角度を有している。このため従来の振動式搬送
装置では、搬送速度向上のため振動数や振動振幅を大き
くした場合に搬送中の搬送物Ｐが振動体１０１上で跳ね
上がることがあり、そのことによって搬送物が破損した
り振動体１０１の振動が乱れたり騒音が発生するという
問題がある。Further, in the conventional vibrating transfer device, it is difficult to configure the vibration direction and the plane direction of the vibrating body 101 in the same direction. have. For this reason, in the conventional vibratory transfer apparatus, when the vibration frequency or the vibration amplitude is increased to improve the transfer speed, the transfer object P during transfer may jump on the vibrating body 101, and the transfer object may be damaged. There is a problem that vibration of the vibrating body 101 is disturbed or noise is generated.

【０００５】本発明は、このような点を考慮してなされ
たものであり、従来の構成と比較して小型、薄型かつ軽
量であって、振動方向と振動体の面方向との関係を容易
に任意に構成できる振動式搬送装置を提供することを目
的とする。The present invention has been made in view of the above points, and is smaller, thinner and lighter than the conventional structure, and can easily determine the relationship between the vibration direction and the plane direction of the vibration body. It is another object of the present invention to provide a vibration-type transfer device that can be arbitrarily configured.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、加振装置と、
加振装置に機械的に接続されるとともに搬送路を形成す
る振動搬送路と、を備え、前記加振装置は、往復駆動す
る静電モータを有している、ことを特徴とする振動式搬
送装置である。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a vibrating device,
A vibrating conveyance path mechanically connected to the vibration device and forming a conveyance path, wherein the vibration device has an electrostatic motor that reciprocates. Device.

【０００７】本発明によれば、加振装置は静電モータを
有し、小型、薄型かつ軽量となっているため、振動式搬
送装置の装置全体を小型かつ軽量とすることが可能であ
る。また振動搬送路の面方向と静電モータの駆動方向と
を任意に調整して構成できるため、例えば振動搬送路を
静電モータの駆動方向に設けることによって振動搬送路
を振動搬送路の方向に沿って容易に振動させることがで
きる。According to the present invention, the vibrating device has an electrostatic motor and is small, thin and light, so that the entire device of the vibrating transfer device can be made small and light. In addition, since the surface direction of the vibration conveyance path and the driving direction of the electrostatic motor can be arbitrarily adjusted, for example, by providing the vibration conveyance path in the driving direction of the electrostatic motor, the vibration conveyance path is moved in the direction of the vibration conveyance path. It can be easily vibrated along.

【０００８】[0008]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１は、本発明による振動
式搬送装置の一実施の形態を示す構成図である。図１に
示すように、振動式搬送装置１は、直線往復駆動する静
電モータ１０からなる加振装置と、静電モータ１０の駆
動方向と平行に配置されるとともに、静電モータ１０に
機械的に接続されて搬送路を形成する振動搬送路５とを
備えている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of the vibration type transport apparatus according to the present invention. As shown in FIG. 1, the vibration-type transport device 1 is a vibration device including an electrostatic motor 10 that drives linearly reciprocally, and is disposed in parallel with the driving direction of the electrostatic motor 10. And a vibrating conveyance path 5 which is connected to form a conveyance path.

【０００９】このうち静電モータ１０は、図２（ａ）に
示すように、内部に互いに平行かつ周期的に配置された
３相帯状電極１１ａ、１１ｂ、１１ｃを有する平面状の
固定子１１と、同様に内部に互いに平行かつ周期的に配
置された３相帯状電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃを有する
平面状の振動子１２とからなっている。この場合、固定
子１１の３相帯状電極１１ａ、１１ｂ、１１ｃと振動子
１２の３相帯状電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃとは対向す
るように配置されている。また固定子１１は基盤Ｂ上に
固定されており、一方振動子１２の上面には上述した振
動搬送路５が固着されている。As shown in FIG. 2 (a), the electrostatic motor 10 includes a flat stator 11 having three-phase strip electrodes 11a, 11b, 11c which are arranged in parallel and periodically with each other. And a planar vibrator 12 having three-phase band electrodes 12a, 12b, and 12c similarly arranged in parallel and periodically inside. In this case, the three-phase strip electrodes 11a, 11b, and 11c of the stator 11 and the three-phase strip electrodes 12a, 12b, and 12c of the vibrator 12 are arranged to face each other. In addition, the stator 11 is fixed on the base B, while the above-described vibration transfer path 5 is fixed on the upper surface of the vibrator 12.

【００１０】静電モータ１０はプリント基板技術等を用
いて製作され、全体として薄くなっており、好ましくは
１ミリ以下の厚さとなっている。特に、ＦＰＣ（Flexib
le Print Circuit）基板技術を用いて製作し、静電モー
タ１０を構成する固定子１１および振動子１２を各々フ
レキシブルフィルム状に構成することにより、全体とし
てより薄型の構成とすることが可能である。また固定子
１１と振動子１２との間には、摩擦低減と絶縁性維持の
ため高い絶縁性を有する液体を介在させることも可能で
あるが、通常はその必要は無い。The electrostatic motor 10 is manufactured using a printed circuit board technique or the like, and is thin as a whole, and preferably has a thickness of 1 mm or less. In particular, FPC (Flexib
le Print Circuit) The stator 11 and the vibrator 12 constituting the electrostatic motor 10 are manufactured by using the substrate technology, and each of the stator 11 and the vibrator 12 is formed in a flexible film shape. . In addition, a liquid having a high insulating property can be interposed between the stator 11 and the vibrator 12 in order to reduce friction and maintain the insulating property, but it is usually not necessary.

【００１１】静電モータ１０はさらに、図２（ｂ）に示
すように、接続回路１３を有しており、この接続回路１
３には、３相電圧を発生させて接続回路１３を介して固
定子１１の３相帯状電極１１ａ、１１ｂ、１１ｃおよび
振動子１２の３相帯状電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃに印
加するための印加装置１４が接続されている。接続回路
１３は、固定子１１の３相帯状電極１１ａ、１１ｂ、１
１ｃと振動子１２の３相帯状電極１２ａ、１２ｂ、１２
ｃのうち、任意に定めた基準位置に位置する固定子１１
の電極、本実施の形態では電極１１ｂと、この電極１１
ｂに対向する振動子１２の電極、すなわち基準位置に位
置する振動子１２の電極１２ｂに対して、印加装置１４
により同一位相の電圧を印加するものであり、同時に基
準位置に対して一側に位置する固定子１１の電極１１ａ
と基準位置に対して他側に位置する振動子１２の電極１
２ｃに対して同一位相の電圧を印加するとともに、基準
位置に対して他側に位置する固定子１１の電極１１ｃと
基準位置に対して一側に位置する振動子１２の電極１２
ａに対して同一位相の電圧を印加するようになってい
る。The electrostatic motor 10 further has a connection circuit 13 as shown in FIG.
Reference numeral 3 denotes an application for generating a three-phase voltage and applying it to the three-phase strip electrodes 11a, 11b, and 11c of the stator 11 and the three-phase strip electrodes 12a, 12b, and 12c of the vibrator 12 via the connection circuit 13. Device 14 is connected. The connection circuit 13 includes three-phase strip electrodes 11a, 11b, 1
1c and the three-phase strip electrodes 12a, 12b, 12 of the vibrator 12.
c, the stator 11 located at an arbitrarily determined reference position
, The electrode 11b in this embodiment, and the electrode 11b
b, the electrode 12b of the vibrator 12 located at the reference position,
To apply the same phase voltage, and at the same time, the electrodes 11a of the stator 11 located on one side with respect to the reference position.
And the electrode 1 of the vibrator 12 located on the other side with respect to the reference position
2c is applied with the same phase voltage, and the electrode 11c of the stator 11 located on the other side with respect to the reference position and the electrode 12 of the oscillator 12 located on one side with respect to the reference position
The voltage of the same phase is applied to a.

【００１２】図２（ａ）および図２（ｂ）において、静
電モータ１０を連続直線駆動させる場合、印加装置１４
は３相交流電源でよいが、本発明のように静電モータ１
０を往復駆動させる場合は、印加装置１４を以下に説明
するようにして制御する。In FIG. 2A and FIG. 2B, when the electrostatic motor 10 is driven continuously and linearly, an application device 14 is used.
May be a three-phase AC power supply.
When the reciprocating drive is performed at 0, the application device 14 is controlled as described below.

【００１３】すなわち本発明において、印加装置１４は
静電モータ１０を往復駆動させ、その往復駆動に伴って
振動搬送路５を振動させて搬送物Ｐが効果的に搬送され
るように制御される。搬送物Ｐの搬送のためには、往復
の駆動制御が非対称である必要があり、特に搬送物Ｐの
効果的な搬送のためには、例えば図３（ａ）や図３
（ｂ）に示すように、時間と振動子１２の駆動変位との
関係が略鋸歯状となるような制御が望ましい。振動子１
２の駆動変位をこのように制御するための印加装置１４
の３相電圧は、次のように決定される。That is, in the present invention, the application device 14 is controlled so that the electrostatic motor 10 is reciprocally driven, and the reciprocating drive vibrates the vibrating conveyance path 5 so that the conveyed object P is conveyed effectively. . In order to transport the article P, it is necessary that the reciprocating drive control is asymmetric. In particular, in order to effectively transport the article P, for example, FIG.
As shown in (b), it is desirable that the control be such that the relationship between the time and the driving displacement of the vibrator 12 becomes substantially saw-toothed. Vibrator 1
The application device 14 for controlling the drive displacement of the motor 2 in this way
Are determined as follows.

【００１４】本件の発明者は、連続直線駆動する静電モ
ータ１０に通常の３相交流電圧が印加されていることに
基づいて、振動子１２の駆動変位と印加電圧の位相とが
おおよそ次のような対応関係にあることを知見した。こ
の対応関係を以下に示す。The inventor of the present application has found that the driving displacement of the vibrator 12 and the phase of the applied voltage are approximately the following based on the fact that a normal three-phase AC voltage is applied to the continuous linearly driven electrostatic motor 10. It was found that there was such a correspondence. This correspondence is shown below.

【００１５】[0015]

【数１】 この関係を利用することにより、図４（ａ）の矢印に示
すように、静電モータ１０の駆動方向を逆転させる場
合、印加する電圧の位相を逆進させればよい。静電モー
タ１０の駆動変位ｘを時間ｔの複雑な関数ｘ＝ｆ（ｔ）
とする場合であっても前記関係式は成立し、例えば駆動
変位ｘと時間ｔとの関係を図３（ａ）に示した周期関数
とする場合、３相電圧は図４（ｂ）に示すような位相変
化となるよう制御される。(Equation 1) By utilizing this relationship, when the driving direction of the electrostatic motor 10 is reversed as shown by the arrow in FIG. 4A, the phase of the applied voltage may be reversed. The driving displacement x of the electrostatic motor 10 is represented by a complicated function x = f (t) of time t.
If the relationship between the drive displacement x and the time t is a periodic function shown in FIG. 3A, the three-phase voltage is shown in FIG. 4B. It is controlled so that such a phase change occurs.

【００１６】次に、このような構成からなる本実施の形
態の作用について説明する。印加装置１４は、予め設定
された往復駆動変位ｘに基づいて制御された３相電圧を
接続回路１３を介して固定子１１の３相帯状電極１１
ａ、１１ｂ、１１ｃおよび振動子１２の３相帯状電極１
２ａ、１２ｂ、１２ｃに印加する。振動子１２は、印加
される電圧に従って固定子１１に対してｘ変位する。こ
のため、振動子１２に固着された振動搬送路５は振動子
１２の往復変位に伴って往復変位する、すなわち振動す
る。この場合、時間と駆動変位との関係が往復で非対称
であれば、振動搬送路５上に搬送物Ｐを載せると当該振
動によって搬送物Ｐが搬送される。Next, the operation of the present embodiment having such a configuration will be described. The application device 14 applies the three-phase voltage controlled based on the preset reciprocating drive displacement x via the connection circuit 13 to the three-phase band electrode 11 of the stator 11.
a, 11b, 11c and three-phase strip electrode 1 of vibrator 12
2a, 12b and 12c. The vibrator 12 displaces x with respect to the stator 11 according to the applied voltage. Therefore, the vibration conveyance path 5 fixed to the vibrator 12 reciprocates, that is, vibrates with the reciprocal displacement of the vibrator 12. In this case, if the relationship between the time and the driving displacement is asymmetric in the reciprocation, when the transported object P is placed on the vibration transport path 5, the transported object P is transported by the vibration.

【００１７】以上のように本実施の形態によれば、静電
モータ１０の振動子１２と振動搬送路５とを固着するこ
とにより、振動搬送路５の振動方向を振動搬送路５の方
向（面方向）に容易に合わせることができ、振動搬送路
５上の搬送物Ｐが跳ね上がって搬送物Ｐが破損するとい
う問題が回避される。また、静電モータ１０の駆動力は
電極１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１２ａ、１２ｂ、１２ｃ
の面積に比例するため、駆動力の大きい静電モータ１０
であっても小型、薄型で軽量であるため、装置全体も小
型で軽量である。As described above, according to the present embodiment, the vibrator 12 of the electrostatic motor 10 and the vibration transfer path 5 are fixed, so that the vibration direction of the vibration transfer path 5 is changed to the direction of the vibration transfer path 5 ( (The plane direction) can be easily adjusted, and the problem that the transported object P on the vibrating transport path 5 jumps up and the transported object P is damaged can be avoided. In addition, the driving force of the electrostatic motor 10 is controlled by the electrodes 11a, 11b, 11c, 12a, 12b, 12c.
, The electrostatic motor 10 having a large driving force
However, since the apparatus is small, thin and lightweight, the entire apparatus is also small and lightweight.

【００１８】本実施の形態は特に、紙、カード、ディス
ク等のシート状物体の搬送において利点を有する。これ
らの搬送装置としては、図１２に示すようにローラ１０
５と通常のモータ１０６とベルト１０７によるカードＣ
の搬送装置が知られているが、本発明による振動式搬送
装置１を利用してカードＣを搬送することにより装置の
著しい小型・薄型化を図ることができる。例えば、プリ
ンタ、コピー機、カードリーダ、ディスクドライブ等の
装置において、本発明による振動式搬送装置１を用いる
と、図１３および図１４に示すように各装置は著しく小
型・薄型化され得る。さらに本発明による振動式搬送装
置１は、粉体や各種の搬送物Ｐの搬送においても同様に
利点を有する。The present embodiment is particularly advantageous in conveying sheet-like objects such as paper, cards, and disks. These transporting devices include a roller 10 as shown in FIG.
5 and card C by normal motor 106 and belt 107
Although the transport device is known, by transporting the card C using the vibratory transport device 1 according to the present invention, the device can be significantly reduced in size and thickness. For example, when the vibrating conveyance device 1 according to the present invention is used in a device such as a printer, a copier, a card reader, and a disk drive, each device can be significantly reduced in size and thickness as shown in FIGS. Furthermore, the vibratory transfer device 1 according to the present invention has the same advantage in the transfer of powder and various kinds of transferred objects P.

【００１９】ところで搬送物Ｐの搬送は、搬送物Ｐと振
動搬送路５との相互作用、具体的には摩擦力や静電気に
よる静電吸引力に依存する。従って例えば搬送物Ｐの摩
擦係数の相違を利用することによって、本発明による振
動式搬送装置１を分離機構や分級機構として利用するこ
とも可能である。この場合、時間と振動子１２の駆動変
位との関係を、例えば図３（ｂ）のように制御する。The transport of the transported object P depends on the interaction between the transported object P and the vibration transport path 5, specifically, the frictional force and the electrostatic attraction force due to the static electricity. Therefore, for example, by utilizing the difference in the coefficient of friction of the transported object P, the vibration type transport apparatus 1 according to the present invention can be used as a separation mechanism or a classification mechanism. In this case, the relationship between the time and the driving displacement of the vibrator 12 is controlled, for example, as shown in FIG.

【００２０】次に、図５を用いて、本発明による振動式
搬送装置の他の実施の形態について説明する。図５に示
すように本実施の形態においては、静電モータ１０の振
動子１２の電極（スキューされた帯状電極）１２ｄ、１
２ｅ、１２ｆを、Ｖ字形状にスキューされている点が異
なるのみであり、その他の構成は図１乃至図４に示す実
施の形態と略同様である。Next, another embodiment of the vibration-type transfer device according to the present invention will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 5, in the present embodiment, the electrodes (skewed strip electrodes) 12d, 1
The only difference is that the 2e and 12f are skewed in a V-shape, and the other configurations are substantially the same as those of the embodiment shown in FIGS.

【００２１】図５において、図１乃至図４に示す実施の
形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略
する。In FIG. 5, the same parts as those of the embodiment shown in FIGS. 1 to 4 are denoted by the same reference numerals, and the detailed description is omitted.

【００２２】図５に示す実施の形態において、振動子１
２の電極１２ｄ、１２ｅ、１２ｆがスキューされている
ことにより、〔数１〕に示した振動子１２の駆動変位と
印加電圧の位相との対応関係がより精度良く現れるた
め、より安定に振動子１２の駆動を制御することができ
る。従って、図１乃至図４に示した実施の形態による効
果に加えて、静電モータ１０の駆動変位の制御性が大幅
に向上する（電気学会論文誌Ｄ、１１７巻３号、平成９
年、ｐｐ．３７３―３７８参照）。In the embodiment shown in FIG.
Since the electrodes 12d, 12e, and 12f are skewed, the correspondence between the driving displacement of the vibrator 12 and the phase of the applied voltage shown in [Equation 1] appears more accurately, and thus the more stable vibrator. 12 can be controlled. Therefore, in addition to the effects of the embodiment shown in FIGS. 1 to 4, the controllability of the drive displacement of the electrostatic motor 10 is greatly improved (IEEE Transactions D, 117, 3;
Year, pp. 373-378).

【００２３】次に、図６を用いて、本発明による振動式
搬送装置の更に他の実施の形態について説明する。図６
に示すように本実施の形態においては、静電モータ２０
は、内部に互いに平行かつ周期的に配置された１相帯状
電極２１ａを有する面状の固定子２１と、内部に２相帯
状電極２２ａ、２２ｂを有する面状の振動子２２とを備
えている。振動子２２の２相帯状電極２２ａ、２２ｂ
は、振動子２２を中央で２分した領域に分かれて設けら
れている。また２相帯状電極２２ａ、２２ｂを構成する
各電極２２ａ、２２ｂは、振動子２２の両側の領域にお
いてそれぞれ平行かつ周期的に配置され、各電極２２
ａ、２２ｂのみをみると、１相帯状電極と同様の構造と
なっている。またいずれの２相帯状電極２２ａ、２２ｂ
も、対応する固定子２１の１相帯状電極２１ａに対して
外側にずれた位置に対向して配置されている。さらに静
電モータ２０は、接続回路２３と、３相電圧を発生させ
て接続回路２３を介して固定子２１の１相帯状電極２１
ａおよび振動子２２の２相帯状電極２２ａ、２２ｂに印
加する印加装置２４とを有するが、その他の構成は図１
乃至図４に示す実施の形態と略同様である。Next, still another embodiment of the vibration type transport apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG.
In this embodiment, as shown in FIG.
Is provided with a planar stator 21 having a one-phase strip electrode 21a parallel and periodically arranged therein, and a planar vibrator 22 having two-phase strip electrodes 22a and 22b therein. . Two-phase strip electrodes 22a and 22b of vibrator 22
Is provided in a region where the vibrator 22 is divided into two at the center. The electrodes 22a, 22b constituting the two-phase strip electrodes 22a, 22b are arranged in parallel and periodically in the regions on both sides of the vibrator 22, respectively.
Looking only at a and 22b, the structure is the same as that of the one-phase strip electrode. In addition, any of the two-phase strip electrodes 22a and 22b
Also, they are arranged to face the one-phase strip electrodes 21a of the corresponding stator 21 at positions shifted outward. The electrostatic motor 20 further includes a connection circuit 23, a three-phase voltage generated by the three-phase voltage,
a and an application device 24 for applying to the two-phase strip electrodes 22a and 22b of the vibrator 22.
4 to FIG. 4 are substantially the same.

【００２４】図６に示す静電モータ２０を有する実施の
形態の作用について以下に説明する。図６に示す実施の
形態によれば、印加装置２４によって各帯状電極２１
ａ、２２ａ、２２ｂに通常の３相交流電圧（３相正弦波
電圧）が印加され、この３相交流電圧によって振動子２
２が振動する。このため、静電モータ２０の駆動制御の
ための電圧の設定および印加がより容易となり、静電モ
ータ２０の駆動回路が簡略化できる。The operation of the embodiment having the electrostatic motor 20 shown in FIG. 6 will be described below. According to the embodiment shown in FIG.
a, 22a and 22b are applied with a normal three-phase AC voltage (three-phase sine wave voltage).
2 vibrates. Therefore, the setting and application of the voltage for drive control of the electrostatic motor 20 become easier, and the drive circuit of the electrostatic motor 20 can be simplified.

【００２５】次に、図７を用いて、本発明による振動式
搬送装置の更に他の実施の形態について説明する。図７
に示すように本実施の形態においては、静電モータ３０
は、内部に互いに平行かつ周期的に配置された２相帯状
電極３１ａ、３１ｂを有する平面状の固定子３１と、内
部に互いに平行かつ周期的に配置された１相帯状電極３
２ａを有する平面状の振動子３２とを備えている。この
うち振動子３２の１相帯状電極３２ａは、対応する固定
子３１の２相帯状電極３１ａ、３１ｂの中間位置に対向
して配置されている。さらに静電モータ３０は、接続回
路３３と、３相電圧を発生させて接続回路３３を介して
各帯状電極３１ａ、３１ｂ、３２ａに印加する印加装置
３４とを有するが、その他の構成は図１乃至図４に示す
実施の形態と同様である。Next, still another embodiment of the vibration type transport apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG.
In this embodiment, as shown in FIG.
Is a planar stator 31 having two-phase strip electrodes 31a and 31b disposed therein in parallel and periodically with each other, and a one-phase strip electrode 3 disposed therein in parallel with and at regular intervals.
2a. Among them, the one-phase strip electrode 32a of the vibrator 32 is arranged to face the intermediate position between the two-phase strip electrodes 31a and 31b of the corresponding stator 31. Further, the electrostatic motor 30 has a connection circuit 33 and an application device 34 that generates a three-phase voltage and applies the three-phase voltage to each of the strip electrodes 31a, 31b, and 32a via the connection circuit 33. To the embodiment shown in FIG.

【００２６】図７に示す実施の形態によれば、図６に示
す実施の形態の場合と同様、印加装置３４によって各電
極３１ａ、３１ｂ、３２ａに通常の３相交流電圧（３相
正弦波電圧）が印加され、このことによって振動子３２
が振動する。このため、静電モータ３０の駆動制御のた
めの電圧の設定および印加がより容易となり、静電モー
タ３０の駆動回路が簡略化できる。According to the embodiment shown in FIG. 7, similarly to the embodiment shown in FIG. 6, a normal three-phase AC voltage (three-phase sine wave voltage) is applied to each of the electrodes 31a, 31b, 32a by the application device 34. ) Is applied, which causes the oscillator 32
Vibrates. For this reason, it becomes easier to set and apply a voltage for drive control of the electrostatic motor 30, and the drive circuit of the electrostatic motor 30 can be simplified.

【００２７】次に、図８を用いて、本発明による振動式
搬送装置の更に他の実施の形態について説明する。図８
に示すように本実施の形態においては、静電モータ４０
は、内部に互いに平行かつ周期的に配置された１相帯状
電極４１ａを有する平面状の固定子４１と、内部に互い
に平行かつ周期的に配置された１相帯状電極４２ａを有
する平面状の振動子４２とを備えている。Next, still another embodiment of the vibratory transfer device according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG.
In the present embodiment, as shown in FIG.
Is a planar stator 41 having a one-phase strip electrode 41a parallel and periodically disposed therein and a planar vibration having a one-phase strip electrode 42a parallel and periodically disposed therein. And a child 42.

【００２８】図８において、固定子４１の１相帯状電極
４１ａと振動子４２の１相帯状電極４２ａとは互いに対
向する位置であって、帯状電極４１ａ、４２ａが延びる
方向と直交する方向（図８の左右方向）にずれて配置さ
れている。また固定子４１と振動子４２との間には、弾
性体４５が設けられている。さらに静電モータ４０は、
接続回路４３と、電圧を発生させて接続回路４３を介し
て固定子４１の１相帯状電極４１ａおよび振動子４２の
１相帯状電極４２ａに印加する印加装置４４とを有する
が、その他の構成は図１乃至図４に示す実施の形態と同
様である。In FIG. 8, the one-phase strip electrode 41a of the stator 41 and the one-phase strip electrode 42a of the vibrator 42 are at positions facing each other, and are perpendicular to the direction in which the strip electrodes 41a and 42a extend (see FIG. 8). 8 left and right directions). An elastic body 45 is provided between the stator 41 and the vibrator 42. Further, the electrostatic motor 40
A connection circuit 43 and an application device 44 for generating a voltage and applying the voltage to the one-phase band electrode 41a of the stator 41 and the one-phase band electrode 42a of the vibrator 42 via the connection circuit 43 are provided. This is the same as the embodiment shown in FIGS.

【００２９】図８において、印可装置４４によって帯状
電極４１ａおよび帯状電極４２ａのうちの一方に通常の
交流電圧（正弦波電圧）が印加され、帯状電極４１ａお
よび帯状電極４２ａのうちの他方に電圧ゼロが印加され
る（接地される）と、固定子４１と振動子４２とが互い
に変位するが、この変位は弾性体４５の復元力によって
復元し、このようにして振動子４２が振動する。図８に
示す実施の形態によれば、印加装置４４によって帯状電
極４１ａと帯状電極４２ａとに通常の交流電圧（正弦波
電圧）と接地電圧とを印加することによって振動子４２
を振動させることができるため、静電モータ４０の駆動
制御のための電圧の設定および印加がより容易となり、
静電モータ４０の駆動回路が簡略化できる。In FIG. 8, a normal AC voltage (sine wave voltage) is applied to one of the strip-shaped electrode 41a and the strip-shaped electrode 42a by the application device 44, and zero voltage is applied to the other of the strip-shaped electrode 41a and the strip-shaped electrode 42a. Is applied (grounded), the stator 41 and the vibrator 42 are displaced from each other, but this displacement is restored by the restoring force of the elastic body 45, and the vibrator 42 vibrates in this manner. According to the embodiment shown in FIG. 8, the application device 44 applies a normal AC voltage (sine wave voltage) and a ground voltage to the band-shaped electrode 41a and the band-shaped electrode 42a.
Can be oscillated, so that setting and application of a voltage for drive control of the electrostatic motor 40 becomes easier,
The drive circuit of the electrostatic motor 40 can be simplified.

【００３０】図９は、本発明による振動式搬送装置の更
に他の実施の形態を示す構成図である。本実施の形態で
は、静電モータ５０が帯状電極５１ａ、５１ｂ、５１ｃ
を有する固定子５１と、帯状電極５２ａ、５２ｂ、５２
ｃを有する振動子５２とを備え、振動子５２がそのまま
延長されてその延長部が振動搬送路５５を形成している
点が異なるのみであり、その他の構成は図１乃至図４に
示す実施の形態と略同様である。FIG. 9 is a structural view showing still another embodiment of the vibrating transfer device according to the present invention. In the present embodiment, the electrostatic motor 50 has the strip electrodes 51a, 51b, 51c.
, And strip electrodes 52a, 52b, 52
c, and the only difference is that the vibrator 52 is extended as it is and its extension forms a vibrating conveyance path 55. Other configurations are the same as those shown in FIGS. This is substantially the same as the embodiment.

【００３１】図９に示す実施の形態によれば、静電モー
タ５０の振動子５２の延長部が振動搬送路５５を形成す
るとともに、振動子５２の振動方向と振動搬送路５５の
配置方向が一致するため、制御性が向上するとともに装
置全体の一層の小型化を図ることができる。According to the embodiment shown in FIG. 9, the extension of the vibrator 52 of the electrostatic motor 50 forms the vibration conveyance path 55, and the vibration direction of the vibrator 52 and the arrangement direction of the vibration conveyance path 55 are different. Since they match, the controllability is improved and the overall size of the apparatus can be further reduced.

【００３２】図１０は、本発明による振動式搬送装置の
他の実施の形態を示す構成図である。本実施の形態で
は、静電モータ６０が帯状電極６１ａ、６１ｂ、６１ｃ
を有する固定子６１と、帯状電極６２ａ、６２ｂ、６２
ｃを有する振動子６２とを備え、振動子６２の電極６２
ａ、６２ｂ、６２ｃの上部に電界を遮蔽する遮蔽板６６
が一直線状（平板状）に一体に設けられている点が異な
るのみであり、その他の構成は図９に示す実施の形態と
略同様である。図１０において遮蔽板６８は、通常の電
極板で構成されている。また図１０において振動子６２
の延長部は振動搬送路６５を形成している。FIG. 10 is a block diagram showing another embodiment of the vibration type transport apparatus according to the present invention. In the present embodiment, the electrostatic motor 60 has the strip electrodes 61a, 61b, 61c.
And a strip electrode 62a, 62b, 62
c, and an electrode 62 of the oscillator 62
a, a shielding plate 66 for shielding an electric field above the 62b, 62c
Are provided integrally in a straight line (flat plate), and other configurations are substantially the same as those of the embodiment shown in FIG. In FIG. 10, the shielding plate 68 is formed of a normal electrode plate. Also, in FIG.
Form an oscillation conveyance path 65.

【００３３】図１０に示す実施の形態によれば、静電モ
ータ６０の固定子６１の帯状電極６１ａ、６１ｂ、６１
ｃおよび振動子６２の帯状電極６２ａ、６２ｂ、６２ｃ
への電圧の印加に伴って発生する電界の搬送物Ｐへの影
響を回避することが可能である。搬送物Ｐの誘電率や導
電率によっては、静電モータ６０の電極６１ａ、６１
ｂ、６１ｃ、６２ａ、６２ｂ、６２ｃへの電圧の印加の
影響から搬送物Ｐおよび振動式搬送装置が予想外の挙動
を示す恐れがあるため、この効果は極めて重要である。According to the embodiment shown in FIG. 10, the strip electrodes 61a, 61b, 61 of the stator 61 of the electrostatic motor 60 are provided.
c and the strip electrodes 62a, 62b, 62c of the vibrator 62
It is possible to avoid the influence of the electric field generated by the application of the voltage to the transport object P. The electrodes 61a, 61 of the electrostatic motor 60 depend on the permittivity and the conductivity of the transported object P.
This effect is extremely important because the transferred object P and the vibrating transfer device may exhibit unexpected behavior due to the influence of the application of the voltage to b, 61c, 62a, 62b, and 62c.

【００３４】図１１は、本発明による振動式搬送装置の
更に他の実施の形態を示す構成図である。本実施の形態
では、静電モータ７０が帯状電極７１ａ、７１ｂ、７１
ｃを有する固定子７１と、帯状電極７２ａ、７２ｂ、７
２ｃを有する振動子７２とを備え、振動子７２内の帯状
電極７２ａ、７２ｂ、７２ｃの上部に遮蔽板７６が一直
線上に設けられ、さらに遮蔽板７６の上部に静電吸引用
電極７７が一体に設けられている点が異なるのみであ
り、その他の構成は図９に示す実施の形態と略同様であ
る。図１１に示す静電吸引用電極７７は、平行かつ周期
的な２相帯状吸引用電極７７ａとして構成され（図１２
（ａ）参照）、接続回路７８を介して静電吸引用電源７
９に接続されている。なお図１２（ｂ）に示すように、
静電吸引用電極７７を平面状吸引用電極７７ｂとして構
成してもよい。また図１１において、振動子７２の延長
部は振動搬送路７５を形成している。FIG. 11 is a configuration diagram showing still another embodiment of the vibration type transport apparatus according to the present invention. In the present embodiment, the electrostatic motor 70 has the strip electrodes 71a, 71b, 71
c, and strip electrodes 72a, 72b, 7
A vibrator 72 having a vibrator 2c, a shielding plate 76 is provided in a straight line above the band-shaped electrodes 72a, 72b, 72c in the vibrator 72, and an electrostatic attraction electrode 77 is integrally formed on the upper part of the vibrating plate 76. Are different from those in the embodiment shown in FIG. The electrostatic suction electrode 77 shown in FIG. 11 is configured as a parallel and periodic two-phase band-shaped suction electrode 77a (FIG. 12).
(A)), the power supply 7 for electrostatic attraction via the connection circuit 78.
9 is connected. In addition, as shown in FIG.
The electrostatic suction electrode 77 may be configured as a planar suction electrode 77b. In FIG. 11, the extension of the vibrator 72 forms a vibrating conveyance path 75.

【００３５】図１１に示す実施の形態によれば、図１０
に示す実施の形態による効果に加えて、静電吸引用電極
７７に適当な電圧を印加して振動搬送路７５と搬送物Ｐ
との間の静電吸引力を調整することによって、搬送物Ｐ
の搬送効率をより向上させることが可能である。さらに
は、図１３に示す態様により本実施の形態による振動式
搬送装置１を利用する場合、積み重ねられた複数枚の用
紙（一般に導電性を有する）のうち最上段の１枚のみに
静電吸引力を働かせて用紙を分離することも可能であ
る。According to the embodiment shown in FIG. 11, FIG.
In addition to the effects of the embodiment shown in FIG.
By adjusting the electrostatic attraction force between the object P
Can be further improved. Further, in the case where the vibration-type transport device 1 according to the present embodiment is used in the mode shown in FIG. 13, only the topmost one of a plurality of stacked sheets (generally having conductivity) is subjected to electrostatic suction. It is also possible to separate sheets by using force.

【００３６】本実施の形態においては、静電吸引用電極
７７へ周期的変化をさせて電圧を印加してもよく、一定
の電圧を印加し続けるだけでもよい。この場合静電吸引
用電極７７と遮蔽板７６とを一体化することも可能であ
る。尚、静電吸引用電極７７は、振動子７２の電極７２
ａ、７２ｂ、７２ｃに対応する領域のみに設ける必要は
なく、さらに延長して搬送路７５の全長にわたって設け
ても良い。In the present embodiment, the voltage may be applied to the electrostatic attraction electrode 77 with a periodic change, or a constant voltage may be continuously applied. In this case, the electrostatic suction electrode 77 and the shielding plate 76 can be integrated. The electrostatic suction electrode 77 is connected to the electrode 72 of the vibrator 72.
It is not necessary to provide them only in the areas corresponding to a, 72b, and 72c.

【００３７】尚、以上に示した実施の形態は、静電モー
タ１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０がいずれ
も直線往復駆動するものであるが、静電モータ１０、２
０、３０、４０、５０、６０、７０を構成する固定子１
１、２１、３１、４１、５１、６１、７１および振動子
１２、２２、３２、４２、５２、６２、７２は前述した
ようにフレキシブルフィルム状に構成できるため、図１
５に示すように、静電モータ１０、２０、３０、４０、
５０、６０、７０を例えば円弧状等の湾曲した構造とす
ることが可能である。この場合、静電モータ１０、２
０、３０、４０、５０、６０、７０の往復駆動方向も円
弧状等となるため、静電モータ１０、２０、３０、４
０、５０、６０、７０の駆動方向に沿って円弧状に湾曲
した振動搬送路５、５５、６５、７５を形成することが
できる。In the embodiment described above, the electrostatic motors 10, 20, 30, 40, 50, 60, and 70 are all driven in a linear reciprocating manner.
Stator 1 constituting 0, 30, 40, 50, 60, 70
1, 21, 31, 41, 51, 61, 71 and the vibrators 12, 22, 32, 42, 52, 62, 72 can be formed in a flexible film shape as described above.
As shown in FIG. 5, the electrostatic motors 10, 20, 30, 40,
50, 60, and 70 may have a curved structure such as an arc shape. In this case, the electrostatic motors 10, 2
Since the reciprocating drive directions of 0, 30, 40, 50, 60, and 70 are also arc-shaped, the electrostatic motors 10, 20, 30, 4,
Vibration conveyance paths 5, 55, 65, 75 curved in an arc shape along the driving directions of 0, 50, 60, 70 can be formed.

【００３８】また、静電モータ１０、２０、３０、４
０、５０、６０、７０および振動搬送路５、５５、６
５、７５の断面形状についても、平面でなくＵ字状等の
湾曲形状に構成することも可能である。さらに発展し
て、図１６に示すように、静電モータ１０、２０、３
０、４０、５０、６０、７０の固定子１１、２１、３
１、４１、５１、６１、７１と振動子１２、２２、３
２、４２、５２、６２、７２とを直径の異なる円筒状に
構成することもできる。この場合、固定子１１、２１、
３１、４１、５１、６１、７１および振動子１２、２
２、３２、４２、５２、６２、７２の各電極１１ａ、１
１ｂ、１１ｃ、１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２
ｅ、１２ｆ、２１ａ、２２ａ、２２ｂ、３１ａ、３１
ｂ、３２ａ、４１ａ、４２ａ、５１ａ、５１ｂ、５１
ｃ、５２ａ、５２ｂ、５２ｃ、６１ａ、６１ｂ、６１
ｃ、６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、７１ａ、７１ｂ、７１
ｃ、７２ａ、７２ｂ、７２ｃは、らせん状に構成され得
る。なお、図１６において振動搬送路５、５５、６５、
７５はＵ字状であるが、振動搬送路５、５５、６５、７
５を円筒状とすることも可能である。The electrostatic motors 10, 20, 30, 4
0, 50, 60, 70 and the vibration conveying paths 5, 55, 6
The cross-sections 5 and 75 can also be formed in a curved shape such as a U-shape instead of a plane. Further developing, as shown in FIG. 16, the electrostatic motors 10, 20, 3
Stators 11, 21, 3 of 0, 40, 50, 60, 70
1, 41, 51, 61, 71 and vibrators 12, 22, 3,
2, 42, 52, 62, and 72 may be formed in cylindrical shapes having different diameters. In this case, the stators 11, 21,
31, 41, 51, 61, 71 and vibrators 12, 2
2, 32, 42, 52, 62, 72 electrodes 11a, 1
1b, 11c, 12a, 12b, 12c, 12d, 12
e, 12f, 21a, 22a, 22b, 31a, 31
b, 32a, 41a, 42a, 51a, 51b, 51
c, 52a, 52b, 52c, 61a, 61b, 61
c, 62a, 62b, 62c, 71a, 71b, 71
c, 72a, 72b, 72c may be configured in a spiral. In FIG. 16, the vibration transport paths 5, 55, 65,
75 is a U-shape, but the vibrating conveyance paths 5, 55, 65, 7
It is also possible for 5 to be cylindrical.

【００３９】さらに静電モータが回転往復駆動する場合
の実施の形態について、図１７に示す。図１７は、本発
明による振動式搬送装置の更に他の実施の形態を示す構
成図である。本実施の形態では、円形静電モータ８０が
放射状帯状電極８１ａ、８１ｂ、８１ｃを有する円形固
定子８１と、放射状帯状電極８２ａ、８２ｂ、８２ｃを
有する円形振動子８２とを備え、振動子８２がそのまま
振動搬送路８５を形成している点が異なるのみであり、
その他の構成は図１乃至図４に示す実施の形態と略同様
である。FIG. 17 shows an embodiment in which the electrostatic motor rotates and reciprocates. FIG. 17 is a configuration diagram showing still another embodiment of the vibration-type transport device according to the present invention. In the present embodiment, the circular electrostatic motor 80 includes a circular stator 81 having radial strip electrodes 81a, 81b, 81c, and a circular vibrator 82 having radial strip electrodes 82a, 82b, 82c. The only difference is that the vibration conveyance path 85 is formed as it is,
Other configurations are substantially the same as those of the embodiment shown in FIGS.

【００４０】図１７に示す実施の形態によれば、円形静
電モータ８０はその中心からの距離に応じて駆動変位が
異なるため、特に分離、分級、の用途への利用が期待さ
れる。According to the embodiment shown in FIG. 17, since the circular electrostatic motor 80 has different driving displacements depending on the distance from the center thereof, it is expected to be used particularly for separation and classification.

【００４１】さらに２以上の駆動方向を有する実施の形
態について、図１８に示す。図１８は、本発明による振
動式搬送装置の更に他の実施の形態を示す構成図であ
る。本実施の形態では、方形静電モータ９０が帯状電極
９１ａ、９１ｂ、９１ｃによる第１電極群Ｆと、第１電
極群Ｆの電極と直交する帯状電極９１ｄ、９１ｅ、９１
ｆによる第２電極群Ｓとを有する固定子９１と、固定子
９１の各電極９１ａ〜９１ｆに対応する帯状電極９２ａ
〜９２ｆを有する振動子９２とを備え、振動子９２がそ
のまま振動搬送路９５および振動搬送路９５’を形成し
ている点が異なるのみであり、その他の構成は図１乃至
図４に示す実施の形態と略同様である。FIG. 18 shows an embodiment having two or more driving directions. FIG. 18 is a configuration diagram showing still another embodiment of the vibration-type transport device according to the present invention. In the present embodiment, the rectangular electrostatic motor 90 includes a first electrode group F including strip electrodes 91a, 91b, and 91c, and strip electrodes 91d, 91e, and 91 that are orthogonal to the electrodes of the first electrode group F.
f, and a strip-shaped electrode 92a corresponding to each of the electrodes 91a to 91f of the stator 91.
1 to 4, except that the vibrator 92 directly forms the vibration conveyance path 95 and the vibration conveyance path 95 ′, and the other configurations are the same as those shown in FIGS. 1 to 4. This is substantially the same as the embodiment.

【００４２】図１８に示す実施の形態によれば、静電モ
ータ９０は第１電極群Ｆと第２電極群Ｓとによる２方向
の駆動が可能であるので、これらを交互に駆動すること
により、振動搬送路９５と振動煩労路９５’とを任意に
選択することができる。さらには、振動子９２上の任意
の位置に搬送物Ｐを搬送することも可能である。According to the embodiment shown in FIG. 18, the electrostatic motor 90 can be driven in two directions by the first electrode group F and the second electrode group S. The vibration conveying path 95 and the vibration complicated path 95 'can be arbitrarily selected. Furthermore, it is possible to convey the article P to any position on the vibrator 92.

【００４３】[0043]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、装置全体
が極めて薄型で、小型かつ軽量であるため、従来装置と
比較して取り扱いおよび設置が容易である。As described above, according to the present invention, since the entire apparatus is extremely thin, small and light, it is easier to handle and install than the conventional apparatus.

【００４４】また本発明は、薄型かつ軽量であるため、
プリンタ、コピー機、カードリーダ、ディスクドライブ
等の装置においてシート状物体の搬送に利用することに
より、各装置の著しい小型化を可能にする。Further, the present invention is thin and lightweight,
By utilizing the apparatus for transporting a sheet-like object in apparatuses such as a printer, a copier, a card reader, and a disk drive, it is possible to significantly reduce the size of each apparatus.

【００４５】さらに本発明は、粉体や各種の搬送物の搬
送においても同様の利点を有する。また本発明は、搬送
物と振動搬送路との摩擦係数の相違を利用することによ
って、分級機構として利用することも可能である。Further, the present invention has the same advantage in the transfer of powder and various kinds of conveyed objects. The present invention can also be used as a classification mechanism by utilizing the difference in the coefficient of friction between the conveyed object and the vibration conveyance path.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明による振動式搬送装置の一実施の形態を
示す構成概略図。FIG. 1 is a schematic configuration diagram illustrating an embodiment of a vibration-type transfer device according to the present invention.

【図２】本発明による振動式搬送装置の一実施の形態に
おいて用いられる静電モータの構成概略図。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of an electrostatic motor used in an embodiment of the vibration-type transfer device according to the present invention.

【図３】本発明による振動式搬送装置の一実施の形態に
おいて時間と静電モータの駆動変位との関係を示す図。FIG. 3 is a diagram showing a relationship between time and driving displacement of an electrostatic motor in one embodiment of the vibration-type transfer device according to the present invention.

【図４】本発明による振動式搬送装置の一実施の形態に
おいて印加装置による印加電圧を示す図。FIG. 4 is a diagram showing a voltage applied by an application device in one embodiment of the vibration type conveyance device according to the present invention.

【図５】本発明による振動式搬送装置の他の実施の形態
において用いられる静電モータの固定子および振動子の
電極の態様を示す概略図。FIG. 5 is a schematic view showing an embodiment of an electrode of a stator and a vibrator of an electrostatic motor used in another embodiment of the vibrating transfer device according to the present invention.

【図６】本発明による振動式搬送装置の他の実施の形態
において用いられる静電モータの構成概略図。FIG. 6 is a schematic configuration diagram of an electrostatic motor used in another embodiment of the vibration-type transfer device according to the present invention.

【図７】本発明による振動式搬送装置の他の実施の形態
において用いられる静電モータの構成概略図。FIG. 7 is a schematic configuration diagram of an electrostatic motor used in another embodiment of the vibration-type transport device according to the present invention.

【図８】本発明による振動式搬送装置の他の実施の形態
において用いられる静電モータの構成概略図。FIG. 8 is a schematic configuration diagram of an electrostatic motor used in another embodiment of the vibration-type transfer device according to the present invention.

【図９】本発明による振動式搬送装置の他の実施の形態
を示す構成概略図。FIG. 9 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the vibration-type transfer device according to the present invention.

【図１０】本発明による振動式搬送装置の他の実施の形
態を示す構成概略図。FIG. 10 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the vibration-type transport device according to the present invention.

【図１１】本発明による振動式搬送装置の他の実施の形
態を示す構成概略図。FIG. 11 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the vibration-type transport device according to the present invention.

【図１２】図１１に示す実施の形態における静電吸引用
電極の態様を示す概略図。FIG. 12 is a schematic view showing an embodiment of an electrostatic attraction electrode in the embodiment shown in FIG. 11;

【図１３】本発明による振動式搬送装置を用紙の搬送装
置とした状態を示す概略図。FIG. 13 is a schematic diagram showing a state in which the vibration-type transport device according to the present invention is used as a paper transport device.

【図１４】本発明による振動式搬送装置をカードの搬送
装置とした状態を示す概略図。FIG. 14 is a schematic diagram showing a state in which the vibration-type transport device according to the present invention is used as a card transport device.

【図１５】本発明による振動式搬送装置の振動搬送路を
湾曲して構成した状態を示す構成概略図。FIG. 15 is a schematic configuration diagram illustrating a state in which a vibration transfer path of the vibration transfer apparatus according to the present invention is curved.

【図１６】本発明による振動式搬送装置の静電モータを
円筒状に構成した状態を示す構成概略図。FIG. 16 is a schematic configuration diagram illustrating a state in which the electrostatic motor of the vibration-type transport device according to the present invention is configured in a cylindrical shape.

【図１７】本発明による振動式搬送装置の他の実施の形
態を示す構成概略図。FIG. 17 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the vibration-type transport device according to the present invention.

【図１８】本発明による振動式搬送装置の他の実施の形
態を示す構成概略図。FIG. 18 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the vibration-type transport device according to the present invention.

【図１９】従来の振動式搬送装置を示す構成概略図。FIG. 19 is a schematic diagram showing a configuration of a conventional vibration-type transfer device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 振動式搬送装置 ５ 振動搬送路 １０ 静電モータ（加振装置） １１ 固定子 １１ａ 帯状電極 １１ｂ 帯状電極 １１ｃ 帯状電極 １２ 振動子 １２ａ 帯状電極 １２ｂ 帯状電極 １２ｃ 帯状電極 １２ｄ スキューされた帯状電極 １２ｅ スキューされた帯状電極 １２ｆ スキューされた帯状電極 １３ 接続回路 １４ 印加装置 ２０ 静電モータ ２１ 固定子 ２１ａ 帯状電極 ２２ 振動子 ２２ａ 帯状電極 ２２ｂ 帯状電極 ２３ 接続回路 ２４ 印加装置 ３０ 静電モータ ３１ 固定子 ３１ａ 帯状電極 ３１ｂ 帯状電極 ３２ 振動子 ３２ａ 帯状電極 ３３ 接続回路 ３４ 印加装置 ４０ 静電モータ ４１ 固定子 ４１ａ 帯状電極 ４２ 振動子 ４２ａ 帯状電極 ４３ 接続回路 ４４ 印加装置 ４５ 弾性体 ５０ 静電モータ ５１ 固定子 ５１ａ 帯状電極 ５１ｂ 帯状電極 ５１ｃ 帯状電極 ５２ 振動子 ５２ａ 帯状電極 ５２ｂ 帯状電極 ５２ｃ 帯状電極 ５５ 振動搬送路 ６０ 静電モータ ６１ 固定子 ６１ａ 帯状電極 ６１ｂ 帯状電極 ６１ｃ 帯状電極 ６２ 振動子 ６２ａ 帯状電極 ６２ｂ 帯状電極 ６２ｃ 帯状電極 ６５ 搬送振動路 ６６ 遮蔽板 ７０ 静電モータ ７１ 固定子 ７１ａ 帯状電極 ７１ｂ 帯状電極 ７１ｃ 帯状電極 ７２ 振動子 ７２ａ 帯状電極 ７２ｂ 帯状電極 ７２ｃ 帯状電極 ７５ 振動搬送路 ７６ 遮蔽板 ７７ 静電吸引用電極 ７７ａ ２相帯状吸引用電極 ７７ｂ 平面状吸引用電極 ７８ 接続回路 ７９ 静電吸引用電源 ８０ 円形静電モータ ８１ 円形固定子 ８１ａ 帯状電極 ８１ｂ 帯状電極 ８１ｃ 帯状電極 ８２ 円形振動子 ８２ａ 帯状電極 ８２ｂ 帯状電極 ８２ｃ 帯状電極 ８５ 振動搬送路 ９０ 方形静電モータ ９１ 固定子 ９１ａ 帯状電極 ９１ｂ 帯状電極 ９１ｃ 帯状電極 ９１ｄ 帯状電極 ９１ｅ 帯状電極 ９１ｆ 帯状電極 ９２ 振動子 ９２ａ 帯状電極 ９２ｂ 帯状電極 ９２ｃ 帯状電極 ９２ｄ 帯状電極 ９２ｅ 帯状電極 ９２ｆ 帯状電極 ９５ 振動搬送路 １００ 加振装置 １０１ 振動体 １０５ ローラ １０６ モータ １０７ ベルト DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vibration-type conveyance apparatus 5 Vibration conveyance path 10 Electrostatic motor (vibration apparatus) 11 Stator 11a Strip electrode 11b Strip electrode 11c Strip electrode 12 Transducer 12a Strip electrode 12b Strip electrode 12c Strip electrode 12d Skewed strip electrode 12e Skew Stripped electrode 12f Skewed strip electrode 13 Connection circuit 14 Applying device 20 Electrostatic motor 21 Stator 21a Strip electrode 22 Vibrator 22a Strip electrode 22b Strip electrode 23 Connection circuit 24 Applying device 30 Electrostatic motor 31 Stator 31a Strip Electrode 31b Strip-shaped electrode 32 Transducer 32a Strip-shaped electrode 33 Connection circuit 34 Applicator 40 Electrostatic motor 41 Stator 41a Strip-shaped electrode 42 Transducer 42a Strip-shaped electrode 43 Connection circuit 44 Applying device 45 Elastic body 50 Electrostatic motor 51 Stator 51a Electrode 51b band Electrode 51c Strip electrode 52 Vibrator 52a Strip electrode 52b Strip electrode 52c Strip electrode 55 Vibration transport path 60 Electrostatic motor 61 Stator 61a Strip electrode 61b Strip electrode 61c Strip electrode 62 Transducer 62a Strip electrode 62b Strip electrode 62c Strip electrode Vibration path 66 Shield plate 70 Electrostatic motor 71 Stator 71a Strip electrode 71b Strip electrode 71c Strip electrode 72 Vibrator 72a Strip electrode 72b Strip electrode 72c Strip electrode 75 Vibration transfer path 76 Shield plate 77 Electrostatic suction electrode 77a Two-phase strip Suction electrode 77b Flat suction electrode 78 Connection circuit 79 Electrostatic suction power supply 80 Circular electrostatic motor 81 Circular stator 81a Strip electrode 81b Strip electrode 81c Strip electrode 82 Circular vibrator 82a Strip electrode 82b Strip electrode 82c Strip electrode 85 Vibration conveyance path 0 square electrostatic motor 91 stator 91a strip electrode 91b strip electrode 91c strip electrode 91d strip electrode 91e strip electrode 91f strip electrode 92 vibrator 92a strip electrode 92b strip electrode 92c strip electrode 92d strip electrode 92e strip electrode 92f strip electrode 92f strip electrode 92f strip electrode 92f strip electrode 92f strip electrode 92f strip electrode 92f Road 100 Exciter 101 Vibrator 105 Roller 106 Motor 107 Belt

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】加振装置と、 加振装置に機械的に接続されるとともに搬送路を形成す
る振動搬送路と、を備え、 前記加振装置は、往復駆動する静電モータを有してい
る、ことを特徴とする振動式搬送装置。1. A vibration device comprising: a vibration device; and a vibration conveyance path mechanically connected to the vibration device and forming a conveyance path, wherein the vibration device has an electrostatic motor driven reciprocally. A vibration-type transfer device. 【請求項２】前記振動搬送路は、静電モータの駆動方向
に設けられている、ことを特徴とする請求項１に記載の
振動式搬送装置。2. The vibration-type conveyance device according to claim 1, wherein said vibration conveyance path is provided in a driving direction of an electrostatic motor. 【請求項３】静電モータは、 内部に３相帯状電極を有する面状の固定子と、 内部に３相帯状電極を有する面状の振動子と、 ３相電圧を発生させて接続回路を介して固定子の３相帯
状電極および振動子の３相帯状電極に印加する印加装置
とを有し、 固定子の３相帯状電極および振動子の３相帯状電極は対
向して配置され、固定子の３相帯状電極と振動子の３相
帯状電極のうち基準位置に位置する固定子の電極と基準
位置に位置する振動子の電極に対して印加装置により同
一位相の電圧が印加され、基準位置に対して一側に位置
する固定子の電極と基準位置に対して他側に位置する振
動子の電極に対して印加装置により同一位相の電圧が印
加され、基準位置に対して他側に位置する固定子の電極
と基準位置に対して一側に位置する振動子の電極に対し
て印加装置により同一位相の電圧が印加されるようにな
っていることを特徴とする請求項１または２に記載の振
動式搬送装置。3. An electrostatic motor, comprising: a planar stator having a three-phase strip electrode therein; a planar vibrator having a three-phase strip electrode therein; and a connection circuit for generating a three-phase voltage to form a connection circuit. And an application device for applying a voltage to the three-phase band electrode of the stator and the three-phase band electrode of the vibrator through the three-phase band electrode of the stator and the three-phase band electrode of the vibrator. A voltage of the same phase is applied by an application device to the electrode of the stator positioned at the reference position and the electrode of the vibrator positioned at the reference position among the three-phase band electrodes of the vibrator and the three-phase band electrodes of the vibrator. The same phase voltage is applied by the applying device to the electrode of the stator located on one side with respect to the position and the electrode of the vibrator located on the other side with respect to the reference position. The stator electrode located and the transducer electrode located on one side of the reference position The vibratory conveyance device according to claim 1, wherein a voltage having the same phase is applied by a voltage application device. 【請求項４】静電モータは、 内部に１相帯状電極を有する面状の固定子および振動子
のうちの一方と、 内部に２相帯状電極を有する面状の固定子および振動子
のうちの他方と、 ３相電圧を発生させて接続回路を介して１相帯状電極お
よび２相帯状電極に印加する印加装置とを有し、 １相帯状電極および２相帯状電極は対向して配置され、
印加装置は１相帯状電極および２相帯状電極に対して異
なる位相で電圧を印加するようになっていることを特徴
とする請求項１または２に記載の振動式搬送装置。4. An electrostatic motor comprising: one of a planar stator and a vibrator having a one-phase band electrode therein; and an outer surface of a planar stator and a vibrator having a two-phase band electrode therein. And an applying device for generating a three-phase voltage and applying the generated three-phase voltage to the one-phase strip electrode and the two-phase strip electrode via a connection circuit, wherein the one-phase strip electrode and the two-phase strip electrode are arranged to face each other. ,
3. The vibration-type transfer device according to claim 1, wherein the application device applies voltages at different phases to the one-phase band electrode and the two-phase band electrode. 【請求項５】静電モータは、 内部に１相帯状電極を有する面状の固定子と、 内部に１相帯状電極を有する面状の振動子と、 固定子と振動子との間に設けられた弾性体と、 電圧を発生させて接続回路を介して固定子の１相帯状電
極および振動子の１相帯状電極に印加する印加装置とを
有し、 固定子の１相帯状電極および振動子の１相帯状電極は対
向して配置され、印加装置は固定子の１相帯状電極およ
び振動子の１相帯状電極に対して異なる位相で電圧を印
加するようになっていることを特徴とする請求項１また
は２に記載の振動式搬送装置。5. An electrostatic motor comprising: a planar stator having a one-phase band electrode therein; a planar vibrator having a one-phase band electrode therein; and an electrostatic motor provided between the stator and the vibrator. And an application device for generating a voltage and applying the generated voltage to the one-phase band electrode of the stator and the one-phase band electrode of the vibrator via the connection circuit, wherein the one-phase band electrode of the stator and the vibration The one-phase strip electrodes of the vibrator are arranged to face each other, and the application device is configured to apply voltages with different phases to the one-phase strip electrodes of the stator and the one-phase strip electrodes of the vibrator. The vibration-type transport device according to claim 1 or 2, wherein 【請求項６】静電モータは振動子を有しており、振動搬
送路と振動子とが一体に構成されたことを特徴とする請
求項１から５のいずれかに記載の振動式搬送装置。6. The vibratory transfer device according to claim 1, wherein the electrostatic motor has a vibrator, and the vibrating transfer path and the vibrator are integrally formed. . 【請求項７】加振装置はさらに、電界を遮蔽する遮蔽板
を有することを特徴とする請求項１から６のいずれかに
記載の振動式搬送装置。7. The vibration-type transfer device according to claim 1, wherein the vibration device further comprises a shielding plate for shielding an electric field. 【請求項８】遮蔽板は、静電モータと一体に構成された
ことを特徴とする請求項７に記載の振動式搬送装置。8. The vibratory transfer device according to claim 7, wherein the shielding plate is formed integrally with the electrostatic motor. 【請求項９】振動搬送路は、静電吸引用電極を有するこ
とを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の振動
式搬送装置。9. The vibration-type conveyance device according to claim 1, wherein the vibration conveyance path has an electrode for electrostatic suction.