JPH1157301A - Azeotropic composition, dewatering and drying agent using same and dewatering and drying method - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an azeotropic compsn. capable of dewatering and drying precision parts, etc., at a high drying rate without staining and ensuring easy liq. control by using octamethylcyclotetrasiloxane and dipropylene glyco]- monomethyl ether as essential components. SOLUTION: It is preferable that the azeotropic compsn. contains 40-90 wt.%, in particular about 60 to 90 wt.% octamethylcyclotetrasiloxane and 10-60 wt.%, in particular 10 to about 40 wt.% dipropylene glycol monomethyl ether. The azeotropic compsn. has about 373 to about 388 deg.K azeotropic temp. under a reduced pressure of 100 Torr. A dewatering performance improver capable of improving dewatering performance when added to the azeotropic compsn. is, e.g. a surfactant or a polar solvent such as a hydrophilic solvent.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体、液晶、ガ
ラスレンズ等の精密部品等の水切り乾燥に係わり、特
に、早い乾燥速度、優れた乾燥仕上がり性および再生能
等を示す共沸組成物、ならびにこれを用いた水切り蒸気
乾燥剤および水切り蒸気乾燥方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to drainage drying of precision parts such as semiconductors, liquid crystals and glass lenses, and more particularly to an azeotropic composition exhibiting a high drying speed, excellent drying finish and regenerating ability, etc. The present invention also relates to a draining steam drying agent and a draining steam drying method using the same.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、半導体などの実装基板などの電子
部品や、レンズなどの光学部品の乾燥にフロンが多用さ
れていた。しかし、フロンにはオゾン層破壊等の問題が
あるため、全廃が見込まれる中、フロンを代替する乾燥
剤および乾燥方法について種々の検討がなされている。
近年、半導体や液晶のカラーフィルタのような精密乾燥
が必要な分野を中心に、アルカリ洗浄、純水リンス後、
アルコールのような親水性の有機溶媒の蒸気により乾燥
する方法が実施されるようになった。この蒸気乾燥の中
に、メッキ工程後あるいは水系洗浄剤の使用後に、シミ
等のない乾燥を行うことを目的とした「水切り乾燥」が
含まれる。2. Description of the Related Art Freon has been frequently used for drying electronic components such as a mounting substrate such as a semiconductor and optical components such as a lens. However, since chlorofluorocarbon has problems such as destruction of the ozone layer, various studies have been made on a desiccant and a drying method for substituting chlorofluorocarbon, while it is expected to be completely eliminated.
In recent years, especially in fields that require precision drying, such as color filters for semiconductors and liquid crystals, after alkaline cleaning and pure water rinsing,
A method of drying with a vapor of a hydrophilic organic solvent such as alcohol has come into practice. The steam drying includes "water drainage drying" for the purpose of performing stain-free drying after the plating step or after using an aqueous cleaning agent.

【０００３】しかしながら、前述のアルカリ洗浄、純水
リンス後、親水性の有機溶媒により蒸気乾燥を行う洗浄
方法では、ソルベントアタック、すなわちプラスチック
部品や樹脂被膜を白化させたりクラックを発生させやす
いという問題や、凝縮熱が大きい関係から被洗浄物表面
で生ずる凝縮液の量が少ないため水切りが不十分になり
やすいことに加え、アルコールなどの親水性溶媒は水を
溶解させやすい関係から被洗浄物の上に残渣（乾燥ジ
ミ）を発生しやすいという問題があった。[0003] However, the above-described cleaning method of performing steam drying with a hydrophilic organic solvent after the alkali cleaning and pure water rinsing described above has a problem in that solvent attack, that is, whitening or cracking of plastic parts and resin coatings is liable to occur. In addition to the fact that the amount of condensate generated on the surface of the object to be cleaned is small due to the large heat of condensation, drainage tends to be insufficient. However, there is a problem that a residue (dry spot) is easily generated.

【０００４】前述の親水性溶媒の一例として、イソプロ
ピルアルコール（ＩＰＡ）が挙げられる。このＩＰＡ
は、上述の通り、蒸発熱が大きいために乾燥ジミが発生
し易く、しかも空気中からの吸湿により乾燥ジミがより
顕著になるという問題を有している。An example of the above-mentioned hydrophilic solvent is isopropyl alcohol (IPA). This IPA
However, as described above, there is a problem that dry spots are easily generated due to large evaporation heat, and dry spots become more remarkable due to moisture absorption from the air.

【０００５】また、ＩＰＡ等のアルコールは水と共沸す
るために、蒸留により分離、再生することができず、使
い捨てとならざるを得ないばかりでなく、蒸気密度が低
いために揮散ロスが大きく、さらに乾燥速度が遅いため
に、蒸気洗浄後でも場合によっては温風乾燥が必要とな
る等の問題を有している。[0005] Further, alcohols such as IPA azeotrope with water, so that they cannot be separated and regenerated by distillation and must be disposable. In addition, since the vapor density is low, volatilization loss is large. Further, since the drying speed is slower, there is a problem that hot air drying may be required even after steam cleaning.

【０００６】さらに、ＩＰＡ等の水に対して無限の相溶
性をもつ親水性溶媒による蒸気乾燥は、部品に付着した
水を置換するため、次第にＩＰＡ中の水分濃度は増加す
る。この水分はＩＰＡと共沸混合物を形成し、その結
果、蒸気槽中の水分濃度も増加する。これは部品表面に
おける水の置換に影響を及ぼし、ウォーターマークやパ
ーティクルの発生などの乾燥性低下の原因になる。その
ため、ＩＰＡ中の水分濃度管理が重要であり、液のライ
フタイムや処理回数に応じた液交換や、液を非抵抗にす
るなど、管理が必要となる。また、部品に付着した水を
置換したＩＰＡは、前述のとおり、ＩＰＡ純度を保つ目
的で廃液にせざるを得ず、消費量は多く、高ランニング
コストという問題がある。[0006] Furthermore, since steam drying with a hydrophilic solvent having infinite compatibility with water such as IPA displaces water adhering to parts, the water concentration in IPA gradually increases. This water forms an azeotrope with the IPA, which also increases the water concentration in the steam bath. This affects the replacement of water on the surface of the component, which causes a decrease in drying properties such as generation of watermarks and particles. For this reason, it is important to control the water concentration in the IPA, and it is necessary to perform management such as liquid exchange according to the lifetime of the liquid and the number of treatments, and non-resistance of the liquid. Further, as described above, IPA in which water adhering to parts has been replaced has to be used as a waste liquid in order to maintain IPA purity, and has a problem of high consumption and high running cost.

【０００７】上述したような問題を解決する方法とし
て、ペルフルオロヘキサンとトリフルオロエタノールと
の混合系による水切り洗浄が提案されているが、この混
合系は親水性がないペルフルオロヘキサンを含むため
に、水切り性に乏しいという問題を有している。そもそ
も、ペルフルオロヘキサンとトリフルオロエタノールと
は、液体状態では相溶していないために、液管理が困難
であると共に、乾燥対象物の表面に凝縮液が不均一に漏
れるために、乾燥ジミが生じやすいというような問題を
有している。[0007] As a method for solving the above-mentioned problem, there has been proposed a method of draining and washing with a mixed system of perfluorohexane and trifluoroethanol. However, since this mixed system contains perfluorohexane which has no hydrophilic property, it is drained. It has a problem of poor sex. In the first place, perfluorohexane and trifluoroethanol are not compatible in the liquid state, making liquid management difficult.In addition, condensed liquid leaks unevenly on the surface of the object to be dried, causing drying spots. There is a problem that it is easy.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる問題点
に鑑みてなされたもので、半導体、液晶、ガラスレンズ
等の精密部品等のシミのない、乾燥速度の早い水切り蒸
気乾燥が可能で、さらに、液管理が容易で再生可能な共
沸組成物を用いた水切り蒸気乾燥剤および水切り蒸気乾
燥方法を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and it is possible to carry out high-speed steam-drying without any spots such as semiconductors, liquid crystals, and precision parts such as glass lenses. It is a further object of the present invention to provide a draining steam desiccant and a draining steam drying method using a renewable azeotropic composition that is easy to manage.

【０００９】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、（ａ）オ
クタメチルシクロテトラシロキサンと、（ｂ）ジプロピ
レングリコールモノメチルエーテルとから実質的になる
共沸組成物が、水置換性、乾燥速度、使用上の安全性等
に優れることを見出だした。Means for Solving the Problems The present inventors have found that an azeotropic composition consisting essentially of (a) octamethylcyclotetrasiloxane and (b) dipropylene glycol monomethyl ether has a water-replaceable, dry It was found to be excellent in speed, safety in use, and the like.

【００１０】本発明の共沸組成物における各成分の配合
比は、（ａ）オクタメチルシクロテトラシロキサンが４
０〜９０重量％、（ｂ）ジプロピレングリコールモノメ
チルエーテルが１０〜６０重量％であることが好まし
い。より好ましくは、（ａ）オクタメチルシクロテトラ
シロキサンが６０〜９０重量％、（ｂ）ジプロピレング
リコールモノメチルエーテルが１０〜４０重量％であ
る。このような配合比において、１００Ｔｏｒｒの減圧
下で、共沸温度が３７３Ｋから３８８Ｋの共沸組成物が
得られる。尚、共沸組成物の具体的な組成比は、条件に
よって変動し得るものである。The mixing ratio of each component in the azeotropic composition of the present invention is as follows: (a) octamethylcyclotetrasiloxane is 4
It is preferable that the content of (b) dipropylene glycol monomethyl ether is 10 to 60% by weight. More preferably, (a) octamethylcyclotetrasiloxane is 60 to 90% by weight, and (b) dipropylene glycol monomethyl ether is 10 to 40% by weight. At such a mixing ratio, an azeotropic composition having an azeotropic temperature of 373K to 388K is obtained under a reduced pressure of 100 Torr. The specific composition ratio of the azeotropic composition can vary depending on conditions.

【００１１】ここで、本発明における共沸組成物とは、
その組成が共沸混合物のように挙動する、すなわち共沸
点を有し、かつ一定の沸騰特性を示し、沸騰または蒸発
したときに分留しない傾向にあることを意味する。従っ
て、このような組成物においては、沸騰中または蒸留中
に形成される蒸気の組成は元の液体組成と同一または実
質的に同一である。沸騰または蒸発中に液体組成が仮に
変化するとしても、それは最小限または無視できる程度
の変化にすぎない。これは沸騰または蒸発中に液体組成
が実質的な程度まで変化してしまう非共沸混合物組成と
大きく異なる点である。共沸組成物は、沸騰したときに
分留を起こさないため、場合によっては可燃性溶剤の引
火性を消失させることができる。さらに、汚れ成分が混
入した洗浄剤を、蒸気洗浄装置を利用して組成変化を起
こすことなく、再生できるという利点がある。また、共
沸組成物には、上記したような共沸組成物の特徴を実質
的に損わない範囲で、共沸組成物より構成成分を余分に
含有、つまり添加物が加えられいて、共沸点が±５℃程
度ずれていて、上記した共沸組成物とほぼ同様な特性を
示す共沸様組成物も含まれる。Here, the azeotropic composition in the present invention is:
It means that the composition behaves like an azeotrope, ie has an azeotropic point and exhibits constant boiling characteristics and does not tend to fractionate when boiling or evaporating. Thus, in such compositions, the composition of the vapor formed during boiling or distillation is the same or substantially the same as the original liquid composition. If the liquid composition changes during boiling or evaporation, it changes only minimally or negligibly. This is in sharp contrast to non-azeotropic compositions in which the liquid composition changes to a substantial degree during boiling or evaporation. Since the azeotropic composition does not cause fractional distillation when boiling, the flammability of the combustible solvent can be eliminated in some cases. Further, there is an advantage that the cleaning agent mixed with the dirt component can be regenerated using a steam cleaning device without causing a change in composition. Further, the azeotropic composition contains components in excess of the azeotropic composition within a range that does not substantially impair the characteristics of the azeotropic composition as described above, that is, additives are added to the azeotropic composition. An azeotropic composition having a boiling point shifted by about ± 5 ° C. and exhibiting substantially the same properties as the above-mentioned azeotropic composition is also included.

【００１２】上述したように、本発明における共沸組成
物は共沸状態の組成となっている。共沸性は混合物とし
ての沸点が、各成分の固有の沸点よりも低くなる、ある
いは高くなる場合に発現する。従って、共沸混合物を得
るためには、単に各成分を混合しただけでは得られない
場合が多く、混合物の沸点が各成分の固有の沸点よりも
低くなる場合には、任意の割合で混合した液を蒸留し、
留分を繰り返し蒸留したり、あるいは段数を設けた精留
により得ることができる。このようにして得られる共沸
組成物（混合物）は、さらに一定圧のもとで蒸留を繰り
返しても、留分の実質的な組成変化は見られないという
特徴を有する。なお、共沸組成物の具体的な組成比は、
条件によって変動し得るものである。また、共沸様組成
物についても同様にして得ることができる。As described above, the azeotropic composition of the present invention has an azeotropic composition. The azeotropic property is exhibited when the boiling point of the mixture is lower or higher than the specific boiling point of each component. Therefore, in order to obtain an azeotropic mixture, in many cases, it is not possible to obtain the azeotropic mixture simply by mixing the components, and when the boiling point of the mixture is lower than the intrinsic boiling point of each component, the components are mixed at an arbitrary ratio. Distill the liquid,
The fraction can be obtained by repeatedly distilling the fraction or by rectification with a number of stages. The azeotropic composition (mixture) thus obtained is characterized in that no substantial change in the composition of the fraction is observed even when distillation is repeated under a constant pressure. The specific composition ratio of the azeotropic composition is
It can vary depending on conditions. An azeotropic composition can be obtained in the same manner.

【００１３】本発明の共沸組成物において、オクタメチ
ルシクロテトラシロキサンは、表面張力が１９dyn/cm
（２９３Ｋ）と小さく、浸透性に優れている。また溶解
力の指標であるカウリブタノール値（ＫＢ値）が１５程
度と小さく、蒸気乾燥によるプラスチック等の被洗浄物
を劣化させるおそれははとんどない。さらに、蒸発潜熱
が約３６．７cal/g と小さいために、良好な乾燥性を有
している。ただし、オクタメチルシクロテトラシロキサ
ンは疎水性であるため、それ単独では良好な水置換性は
得られない。In the azeotropic composition of the present invention, octamethylcyclotetrasiloxane has a surface tension of 19 dyn / cm.
(293K) and excellent in permeability. In addition, the Kauributanol value (KB value), which is an index of the dissolving power, is as small as about 15, and there is almost no possibility that the object to be cleaned such as plastic is deteriorated by steam drying. Furthermore, since the latent heat of vaporization is as small as about 36.7 cal / g, it has good drying properties. However, since octamethylcyclotetrasiloxane is hydrophobic, good water displacement cannot be obtained by itself.

【００１４】一方、ジプロピレングリコールモノメチル
エーテルは、水と任意相溶し、蒸発潜熱が１０７．６ca
l/g であり、同様に水と相溶するメタノール（２６３ca
l/g）、エタノール（２０２．７cal/g ）、ＩＰＡ（１
６１cal/g ）と比べて低い値を示す。蒸発潜熱の低い溶
媒は、乾燥する際に部品表面を、冷やすことによって大
気中の湿気を結露させることがないため、乾燥特性に優
れている。ただし、たとえ蒸発潜熱が低くても水と任意
相溶しない溶媒は、乾燥特性は良好だが、水切り（水置
換）性に劣る。On the other hand, dipropylene glycol monomethyl ether is arbitrarily compatible with water and has a latent heat of vaporization of 107.6 ca.
l / g, and methanol (263 ca)
l / g), ethanol (202.7 cal / g), IPA (1
61 cal / g). A solvent having a low latent heat of vaporization has excellent drying characteristics because the surface of the component is cooled during drying so that moisture in the atmosphere does not dew. However, a solvent that does not have any compatibility with water even if the latent heat of vaporization is low has good drying characteristics but is inferior in drainage (water replacement).

【００１５】従って、本発明の構成成分であるオクタメ
チルシクロテトラシロキサンのみでは良好な水切り性が
得られず、水と任意相溶し、かつ蒸発潜熱の低いジプロ
ピレングリコールモノメチルエーテルとを混合すること
で、水切り性、乾燥性に優れ、プラスチックへの悪影響
を及ぼさない組成物とすることができる。また、ジプロ
ピレングリコールモノメチルエーテルとオクタメチルシ
クロテトラシロキサンからなる共沸組成物の引火点は、
メタノール、エタノール、ＩＰＡ等の低級アルコールの
それより高いため、安全性の面からも優れている。Therefore, good drainage properties cannot be obtained only with octamethylcyclotetrasiloxane which is a component of the present invention, and it is necessary to mix dipropylene glycol monomethyl ether which is freely compatible with water and has a low latent heat of vaporization. Thus, it is possible to obtain a composition having excellent drainage and drying properties and having no adverse effect on plastic. Further, the flash point of the azeotropic composition composed of dipropylene glycol monomethyl ether and octamethylcyclotetrasiloxane,
Since it is higher than that of lower alcohols such as methanol, ethanol and IPA, it is also excellent in terms of safety.

【００１６】本発明における水切り蒸気乾燥剤は、本発
明の共沸組成物を用いたものであればよく、本発明の共
沸組成物単独に限らず、オクタメチルシクロテトラシロ
キサンとジプロピレングリコールモノメチルエーテルの
共沸組成比や水切り性、乾燥性を損なわない範囲であれ
ば、例えば他の有機溶剤や界面活性剤および／または安
定化剤等をさらに混合して用いることができる。さらに
オクタメチルシクロテトラシロキサンとジプロピレング
リコールモノメチルエーテルと極性溶媒とで３成分の共
沸組成とすることもできる。The draining steam desiccant in the present invention may be any one using the azeotropic composition of the present invention, and is not limited to the azeotropic composition of the present invention alone, but may be octamethylcyclotetrasiloxane and dipropylene glycol monomethyl. As long as the azeotropic composition ratio of ether, the draining property, and the drying property are not impaired, for example, another organic solvent, a surfactant, and / or a stabilizer can be further mixed and used. Furthermore, octamethylcyclotetrasiloxane, dipropylene glycol monomethyl ether, and a polar solvent may have a three-component azeotropic composition.

【００１７】例えば有機溶剤として、へプタン等の炭化
水素類を混合することによってコストを低くすることが
できる。さらにはＣ₆ Ｆ₁₄、Ｃ₇ Ｆ₁₆、Ｃ₈ Ｆ₁₈等のペ
ルフルオロカーボン類やＣＦ₃ ＣＦ₂ ＣＦＨＦＨＣＦ₃
等のハイドロフルオロカーボンやＣ₄ Ｆ₉ ＯＣＨ₃ 等の
ハイドロフルオロエーテルやＣ₃ ＨＣｌ₂ Ｆ₅ 等のハイ
ドロクロロフルオロカーボン類等のフルオロカーボン類
を組み合わせて使用することができ、これによって難燃
性または不燃性を付与させることができる。これら炭化
水素類の混合比は共沸組成物１００重量部に対して１０
から１００００重量部以下、さらに５０００重量部以下
が好ましい。フルオロカーボン類の混合比は共沸組成物
１００重量部に対して１０から１００００重量部の範囲
とすることが好ましく、より好ましくは５０００重量部
以下が好ましい。なお、上述した炭化水素類は単独で、
あるいは２種以上併用して添加することができる。For example, the cost can be reduced by mixing a hydrocarbon such as heptane as an organic solvent. Further, perfluorocarbons such as C ₆ F ₁₄ , C ₇ F ₁₆ and C ₈ F ₁₈ and CF ₃ CF ₂ CFHFHCF ₃
A combination of hydrofluorocarbon or C ₄ F ₉ OCH hydrofluoroether or C ₃ HCl ₂ F hydrochlorofluorocarbons such fluorocarbons such as _5, such as ₃ etc. can be used, whereby the flame-retardant or nonflammable Can be provided. The mixing ratio of these hydrocarbons is 10 to 100 parts by weight of the azeotropic composition.
To 10,000 parts by weight or less, more preferably 5000 parts by weight or less. The mixing ratio of fluorocarbons is preferably in the range of 10 to 10000 parts by weight, more preferably 5000 parts by weight or less, per 100 parts by weight of the azeotropic composition. In addition, the above-mentioned hydrocarbons alone,
Alternatively, two or more kinds can be added in combination.

【００１８】また、本発明の組成物に添加して、水切り
性能を向上させることができる水切り性能向上剤として
は、例えば界面活性剤や親水性溶剤等の極性溶媒が例示
される。界面活性剤は、特に浸漬による水切り性の向上
に寄与するものである。本発明において好ましく用いら
れる界面活性剤としてはポリオキシアルキレンアルキル
エーテルスルホン酸塩、リン酸エステル等のアニオン系
界面活性剤、多価アルコール脂肪酸エステル、ポリオキ
シアルキレン脂肪酸エステル、ポリオキシアルキレンア
ルキルエーテル等のノニオン系界面活性剤、イミダゾリ
ン誘導体等の両性界面活性剤、アルキルアミン塩、アル
キル第４級アンモニウム塩等のカチオン系界面活性剤、
アミン化合物と飽和脂肪酸の組み合わせによる界面活性
剤とが例示され、その他には単一物質で存在することは
少ないが、天然物から抽出されるテルペン系化合物や高
級脂肪酸エステル等が挙げられる。また、上述したよう
な各種化合物の化学構造の一部をフッ素原子やケイ素原
子で置き換えた合成化合物を用いることも可能である。
界面活性剤の組成比は、特に限定されるものではない
が、共沸組成物１００重量部対して２０重量部以下、さ
らに３重量部以下が好ましい。なお、上述した界面活性
剤は単独で、あるいは２種以上併用して添加することが
できる。Examples of the draining performance improver which can be added to the composition of the present invention to improve the draining performance include polar solvents such as surfactants and hydrophilic solvents. The surfactant contributes to the improvement of the drainage property particularly by immersion. Surfactants preferably used in the present invention include polyoxyalkylene alkyl ether sulfonates, anionic surfactants such as phosphate esters, polyhydric alcohol fatty acid esters, polyoxyalkylene fatty acid esters, and polyoxyalkylene alkyl ethers. Nonionic surfactants, amphoteric surfactants such as imidazoline derivatives, cationic surfactants such as alkylamine salts and alkyl quaternary ammonium salts,
Examples thereof include surfactants based on a combination of an amine compound and a saturated fatty acid, and terpene compounds extracted from natural products, higher fatty acid esters, and the like, which are rarely present as a single substance. Further, it is also possible to use a synthetic compound in which a part of the chemical structure of each compound described above is replaced with a fluorine atom or a silicon atom.
Although the composition ratio of the surfactant is not particularly limited, it is preferably 20 parts by weight or less, more preferably 3 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the azeotropic composition. The above-mentioned surfactants can be added alone or in combination of two or more.

【００１９】本発明において好ましく用いられる親水性
溶剤としては、例えば、１−ブタノール、２−ブタノー
ル、イソブチルアルコール、ｔｅｒｔ−ブタノール、１
−ペンタノール、２−ペンタノール、３−ペンタノー
ル、２−メチル−１−ブタノール、イソペンチルアルコ
ール、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、メチ
ルエチルケトン、２−ペンタノン、３−ペンタノン、２
−ヘキサノン、酢酸、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸
イソプロピル、酢酸イソブチル、酢酸sec ブチル、メチ
ルイソブチルケトン、ギ酸、ギ酸プロピル、ギ酸ｎ−ブ
チル、ギ酸イソブチル、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテ
ル、トリフルオロエタノール等が挙げられる。The hydrophilic solvent preferably used in the present invention includes, for example, 1-butanol, 2-butanol, isobutyl alcohol, tert-butanol,
-Pentanol, 2-pentanol, 3-pentanol, 2-methyl-1-butanol, isopentyl alcohol, methyl propionate, ethyl propionate, methyl ethyl ketone, 2-pentanone, 3-pentanone, 2
-Hexanone, acetic acid, ethyl acetate, propyl acetate, isopropyl acetate, isobutyl acetate, sec butyl acetate, methyl isobutyl ketone, formic acid, propyl formate, n-butyl formate, isobutyl formate, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, triethyl Fluoroethanol and the like.

【００２０】極性溶媒の組成比は特に限定されるもので
はないが、共沸組成物１００重量部に対して０．１から
１００００重量部以下、好ましくは、１０００重量部以
下、より好ましくは、１００重量部以下である。なお、
上述した極性溶媒は単独で、あるいは２種以上併用して
添加することができる。The composition ratio of the polar solvent is not particularly limited, but is 0.1 to 10,000 parts by weight, preferably 1,000 parts by weight or less, more preferably 100 parts by weight, based on 100 parts by weight of the azeotropic composition. Not more than parts by weight. In addition,
The polar solvents described above can be added alone or in combination of two or more.

【００２１】また、本発明の共沸組成物に添加できる安
定化剤としては、例えばグリシドール、シクロヘキセン
オキシド等のエポキシド類、ｌ，４−ジオキセン、１，
３，５−トリオキセン等のエーテル類、１−ペンテン、
１−へキセン等の不飽和炭化水素類、アクリル酸メチ
ル、アクリル酸エチル等のアクリル酸エステル等が挙げ
られる。これら安定化剤は、洗浄剤の全重量に対して
０．１から５重量％程度の割合で添加することが好まし
い。なお上述した安定化剤は単独で、あるいは２種以上
併用して添加することができる。Examples of the stabilizer which can be added to the azeotropic composition of the present invention include epoxides such as glycidol and cyclohexene oxide, 1,4-dioxene,
Ethers such as 3,5-trioxene, 1-pentene,
Unsaturated hydrocarbons such as 1-hexene; acrylates such as methyl acrylate and ethyl acrylate; These stabilizers are preferably added at a ratio of about 0.1 to 5% by weight based on the total weight of the detergent. The above stabilizers can be added alone or in combination of two or more.

【００２２】本発明の共沸組成物およびこれを用いた水
切り蒸気乾燥剤は、各種被洗浄物に対して適用可能であ
り、被洗浄物の材質は特に限定されるものではなく、金
属、半金属、セラミックス、プラスチック材料等が挙げ
られる。例えば、金属や半金属としては鉄、アルミニウ
ム、シリコン、銅、ステンレス等が、セラミックスとし
ては窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸化アルミニウム、ガラ
ス、磁器等が、プラスチックとしてはポリアミド、ポリ
イミド、エポキシ、ポリオレフィン、ポリエステル、ア
クリル樹脂等が例示され、またこれらの複合材料であっ
てもよい。具体的にはプリント基板や実装部品等の電子
部品、電気部品、半導体部品、金属部品、表面処理部
品、精密機器部品、光学部品、ガラス部品、セラミック
ス部品、プラスチック部品等が挙げられる。The azeotropic composition of the present invention and the steam desiccant using the azeotropic composition can be applied to various objects to be cleaned, and the material of the object to be cleaned is not particularly limited. Examples include metals, ceramics, and plastic materials. For example, metals and semi-metals include iron, aluminum, silicon, copper, stainless steel, etc., ceramics include silicon nitride, silicon carbide, aluminum oxide, glass, porcelain, etc., and plastics include polyamide, polyimide, epoxy, polyolefin, and polyester. , An acrylic resin and the like, and a composite material thereof may be used. Specific examples include electronic parts such as printed circuit boards and mounting parts, electric parts, semiconductor parts, metal parts, surface treatment parts, precision equipment parts, optical parts, glass parts, ceramic parts, plastic parts, and the like.

【００２３】以上、共沸組成物を有効成分とする水切り
蒸気乾燥剤について説明してきたが、このような共沸組
成物は、水切り蒸気乾燥剤以外の例えば塗料用溶剤、試
薬、各種溶剤等の用途に、それ自身で共沸組成物として
使用することができる。The draining steam desiccant containing an azeotropic composition as an active ingredient has been described above. Such an azeotropic composition is not limited to a draining steam desiccant such as a solvent for coatings, a reagent, and various solvents. The application may itself be used as an azeotropic composition.

【００２４】本発明の共沸組成物は、蒸気により水置換
性を示す。共沸組成物は、使用中に実質的な液組成の変
動がなく水置換性、乾燥速度、乾燥特性、再性能等に優
れた乾燥剤が得られる。さらには、脱指性があることか
ら、軽度な油分や、パーティクルを蒸気により除去する
ことが可能である。また、本発明の組成物は、超音波、
機械的撹拌を併用することによる浸漬によって水置換す
ることもできる。蒸気による水置換は、レンズ、シリコ
ンウェーハ、カラーフィルタ等の表面がフラットなもの
に対して有効である。部品表面の形状が複雑であれば、
浸漬による水切りが有効である。The azeotropic composition of the present invention exhibits water displacement by steam. The azeotropic composition provides a desiccant excellent in water displacement property, drying speed, drying characteristics, re-performance and the like without substantially changing the liquid composition during use. Furthermore, since it has finger removal properties, it is possible to remove light oil and particles by steam. Further, the composition of the present invention, ultrasonic,
Water replacement can also be performed by immersion using mechanical stirring in combination. Water replacement with steam is effective for lenses, silicon wafers, color filters, and other flat surfaces. If the shape of the component surface is complicated,
Draining by immersion is effective.

【００２５】本発明の水切り蒸気乾燥方法は、減圧下に
て共沸温度に加温してある（ａ）オクタメチルシクロテ
トラシロキサンと（ｂ）ジプロピレングリコールモノメ
チルエーテルとから実質的になる共沸共沸組成物からな
る水切り蒸気乾燥剤で、大気圧下で対象物を水切りする
工程と、対象物を減圧下にて乾燥する工程とからなるこ
とを特徴としている。減圧度は、１０〜２００Ｔｏｒ
ｒ、より好ましくは４０〜１５０Ｔｏｒｒである。この
他の乾燥方法としては、自然乾燥、温風乾燥等が挙げら
れる。In the method of the present invention, the azeotropic composition substantially comprises (a) octamethylcyclotetrasiloxane and (b) dipropylene glycol monomethyl ether heated to an azeotropic temperature under reduced pressure. The method is characterized by comprising a step of draining an object under atmospheric pressure with a draining steam desiccant made of an azeotropic composition, and a step of drying the object under reduced pressure. Decompression degree is 10 to 200 Torr
r, more preferably 40 to 150 Torr. Other drying methods include natural drying and hot air drying.

【００２６】上述したように、本発明の共沸組成物を用
いた水切り蒸気乾燥剤および方法によれば、使用中の組
成変化を極力抑えることができ、水置換性、乾燥速度、
乾燥特性、再生能に優れると共に、基本成分としてフロ
ンに代表される塩素系有機溶剤を含まないためにオゾン
層の破壊を招くことがない。さらに共沸組成物の説明で
詳述したように、プラスチックを劣化させることがない
と共に、水を分離することにより、水分の混入を抑制す
ることができるため、含有水分に起因するしみの発生や
錆等の金属の腐食を極力抑制することができる。As described above, according to the draining steam desiccant and the method using the azeotropic composition of the present invention, the composition change during use can be suppressed as much as possible, and the water replacement property, drying speed,
It has excellent drying characteristics and reproducibility, and does not contain a chlorine-based organic solvent typified by freon as a basic component, so that it does not cause destruction of the ozone layer. Further, as described in detail in the description of the azeotropic composition, while not deteriorating the plastic, by separating water, it is possible to suppress the incorporation of moisture, so that the occurrence of stains due to the contained moisture and Corrosion of metal such as rust can be suppressed as much as possible.

【００２７】本発明の共沸組成物を用いた水切り蒸気乾
燥剤は、工業的な連続使用により次第に水分が含まれて
くる。水切り効果が得られなくなるようであれば、さら
に水を加えることで水にジプロピレングリコールモノメ
チルエーテルを抽出させて純度の高いオクタメチルシク
ロテトラシロキサンを分離回収した後、このオクタメチ
ルシクロテトラシロキサンに新たにジプロピレングリコ
ールモノメチルエーテルを混合する、あるいは水切り効
果が得られなくなった水切り蒸気乾燥剤に水切り効果の
あるジプロピレングリコールモノメチルエーテルを添加
することにより簡単に純度の高い水切り蒸気乾燥剤を再
生することができる。The draining steam desiccant using the azeotropic composition of the present invention gradually contains water due to continuous industrial use. If the draining effect is no longer obtained, dipropylene glycol monomethyl ether is extracted into the water by adding more water to separate and recover high-purity octamethylcyclotetrasiloxane. To easily regenerate high-purity steam-dried steam desiccant by mixing dipropylene glycol monomethyl ether in water or by adding dipropylene glycol monomethyl ether, which has a water-draining effect, to the steam-dried steam desiccant that no longer has a draining effect Can be.

【００２８】[0028]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

［実施例１］まず、ガスクロ純度９９．５％のオクタメ
チルシクロテトラシロキサンとガスクロ純度９９．５％
のジプロピレングリコールモノメチルエーテルとを１対
１の割合で混合し、この混合物２００ｇを蒸留フラスコ
に入れ、理論段数３０段の精留塔を用いて１００Ｔｏｒ
ｒの減圧下で蒸留を行った。この蒸留によって、３７３
から３８８Ｋにおいて共沸留分が得られた。この共沸留
分からなる組成物を水切り蒸気乾燥剤として用いた。Example 1 First, octamethylcyclotetrasiloxane having a gas chromatography purity of 99.5% and gas chromatography purity of 99.5%
Of dipropylene glycol monomethyl ether at a ratio of 1: 1, 200 g of this mixture was placed in a distillation flask, and 100 Torr using a rectification column having 30 theoretical plates.
Distillation was performed under reduced pressure of r. By this distillation, 373
At 388 K gave an azeotropic distillate. The composition consisting of this azeotropic fraction was used as a draining steam desiccant.

【００２９】上記共沸留分をガスクロマトグラフィーに
より分析し、得られたピーク面積比から実際の添加割合
を帰属したところ、オクタメチルシクロテトラシロキサ
ンが８８重量％、ジプロピレングリコールモノメチルエ
ーテルが１２重量％であった。なお、ガスクロマトグラ
フィーは、以下に示す条件で行った。The azeotropic distillate was analyzed by gas chromatography, and the actual addition ratio was assigned based on the obtained peak area ratio. As a result, octamethylcyclotetrasiloxane was 88% by weight and dipropylene glycol monomethyl ether was 12% by weight. %Met. The gas chromatography was performed under the following conditions.

【００３０】［ガスクロマトグラフィー条件］ 装置：
島津製作所製ＧＤ−１４Ａ(TC-D)、カラム：ｓｕｓ製２
ｍ×３ｍｍφ（ＧＬサイエンスクロモソルブ（株）ＷＡ
ＹＤＭＣ８，メッシュ６０／８０）、充填剤:Silicone
SE-30 １０％、インジェクション温度：５２３Ｋ、ＴＣ
−Ｄ温度：３Ｋ、初期温度３２３Ｋ、初期保持時間：０
分、昇温連度：１０Ｋ／分、最終温度：５２３Ｋ、最終
保持時間：０分、current ：１００、ＦＲ ＣＲ Ｈ
ｅ：４０ml、ATTENUATION ：６４ なお、本明細書における組成物の重量割合は、いずれも
混合組成物を上記条件にてガスクロマトグラフィーで分
析し、得られた成分のピーク面積から帰属した添加割合
を示している。[Gas chromatography conditions]
Shimadzu GD-14A (TC-D), column: sus 2
mx 3mmφ (GL Science Chromosolve Co., Ltd. WA
YDMC8, mesh 60/80), filler: Silicone
SE-30 10%, Injection temperature: 523K, TC
-D temperature: 3K, initial temperature: 323K, initial holding time: 0
Min, continuous temperature rise: 10 K / min, final temperature: 523 K, final holding time: 0 min, current: 100, FR CR H
e: 40 ml, ATTENUATION: 64 In addition, the weight ratio of the composition in the present specification is obtained by analyzing the mixed composition by gas chromatography under the above conditions, and calculating the addition ratio based on the peak area of the obtained component. Is shown.

【００３１】［実施例２〜５および比較例１〜７］実施
例２〜５および比較例１〜７を実施例１と同様に調製し
た。添加割合を表１および２に示す。Examples 2 to 5 and Comparative Examples 1 to 7 Examples 2 to 5 and Comparative Examples 1 to 7 were prepared in the same manner as in Example 1. The addition ratio is shown in Tables 1 and 2.

【００３２】［乾燥速度および外観評価］被洗浄対象物
として、アルカリ洗浄後、純水でリンスしたMICRO SLID
EGLASS（厚さ０．８から１．０ｍｍ、Pre-Cleaned 、７
６×７６ｍｍ）およびCOVER GLASS （厚さ０．２ｍｍ、
Pre-Cleaned 、１８×１８ｍｍ）を用意した。[Evaluation of Drying Speed and Appearance] As an object to be cleaned, MICRO SLID rinsed with pure water after alkali cleaning.
EGLASS (0.8-1.0mm thick, Pre-Cleaned, 7
6 × 76mm) and COVER GLASS (0.2mm thick,
Pre-Cleaned, 18 × 18 mm) was prepared.

【００３３】実施例１〜５および比較例１〜７を収容し
たトールビーカーと加熱器を用いて蒸気相を形成させ
た。その沸騰した蒸気相に被洗浄対象物を、それぞれ１
分間浸漬し、水切り乾燥に要する時間を目視で測定し
た。その後、蒸気相から１５ｍｍ／秒の速度で引き上げ
ながら乾燥し、ＳＥＭにより外観（水切り性）を評価し
た。これらの結果を表１および２に示す。A vapor phase was formed using a tall beaker containing Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 7 and a heater. The object to be cleaned is placed in the boiling vapor phase for 1
After immersion for a minute, the time required for draining and drying was visually measured. Thereafter, drying was performed while pulling up from the vapor phase at a speed of 15 mm / sec, and the appearance (water drainage) was evaluated by SEM. The results are shown in Tables 1 and 2.

【００３４】[0034]

【表１】 [Table 1]

【表２】 表１および２の結果から明らかなように、実施例１〜５
は、引火点が高く、乾燥性および水切り性に優れた共沸
組成物となるのに対し、比較例１、２、４および６はい
ずれも乾燥性および水切り性に劣り、引火点の低い共沸
組成物となった。比較例３および５は乾燥ジミはないも
のの、乾燥時間が長く、水切り性に劣る引火点の低い共
沸組成物となった。比較例７は、乾燥ジミ、乾燥性およ
び引火点もそう悪くはないが、水切り性に劣るものであ
った。[Table 2] As is clear from the results of Tables 1 and 2, Examples 1 to 5
Are azeotropic compositions having a high flash point and excellent drying and draining properties, whereas Comparative Examples 1, 2, 4 and 6 are all poor in drying and draining properties and have low flash points. A boiling composition was obtained. In Comparative Examples 3 and 5, although there was no dry spot, the drying time was long, and the azeotropic compositions having a low flash point were inferior in drainability. In Comparative Example 7, although the drying spot, the drying property and the flash point were not so bad, the drainage property was poor.

【００３５】[0035]

【発明の効果】本発明によれば、水切り性に優れ、乾燥
速度が早く、乾燥ジミのない蒸気乾燥を行うことがで
き、液管理の必要のない共沸組成物、これを用いた水切
り蒸気乾燥剤および水切り蒸気乾燥方法を実現すること
ができる。According to the present invention, there is provided an azeotropic composition which is excellent in drainage property, has a high drying speed, can perform steam drying without drying spots, and does not require liquid management. A desiccant and draining steam drying method can be realized.

【００３６】[0036]

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 （ａ）オクタメチルシクロテトラシロキ
サンと、（ｂ）ジプロピレングリコールモノメチルエー
テルとから実質的になることを特徴とする共沸組成物。1. An azeotropic composition substantially consisting of (a) octamethylcyclotetrasiloxane and (b) dipropylene glycol monomethyl ether. 【請求項２】 有機溶剤、界面活性剤および／または安
定化剤が添加されていることを特徴とする請求項１記載
の共沸組成物。2. The azeotropic composition according to claim 1, wherein an organic solvent, a surfactant and / or a stabilizer are added. 【請求項３】 （ａ）オクタメチルシクロテトラシロキ
サンと、（ｂ）ジプロピレングリコールモノメチルエー
テルとから実質的になる共沸組成物からなる水切り蒸気
乾燥剤。3. A draining steam desiccant comprising an azeotropic composition consisting essentially of (a) octamethylcyclotetrasiloxane and (b) dipropylene glycol monomethyl ether. 【請求項４】 前記（ａ）オクタメチルシクロテトラシ
ロキサンが４０〜９０重量％、前記（ｂ）ジプロピレン
グリコールモノメチルエーテルが１０〜６０重量％であ
ることを特徴とする請求項３記載の水切り蒸気乾燥剤。4. The draining steam according to claim 3, wherein (a) the octamethylcyclotetrasiloxane is 40 to 90% by weight, and (b) the dipropylene glycol monomethyl ether is 10 to 60% by weight. desiccant. 【請求項５】 有機溶剤、界面活性剤および／または安
定化剤が添加されていることを特徴とする請求項３記載
の水切り蒸気乾燥剤。5. The draining steam desiccant according to claim 3, wherein an organic solvent, a surfactant and / or a stabilizer are added. 【請求項６】 減圧下にて共沸温度に加温してある
（ａ）オクタメチルシクロテトラシロキサンと（ｂ）ジ
プロピレングリコールモノメチルエーテルとから実質的
になる共沸組成物からなる水切り蒸気乾燥剤で、大気圧
下で対象物を水切りする工程と、前記対象物を減圧下に
て乾燥する工程とからなる水切り蒸気乾燥方法。6. Draining steam drying consisting of an azeotropic composition consisting essentially of (a) octamethylcyclotetrasiloxane and (b) dipropylene glycol monomethyl ether heated to an azeotropic temperature under reduced pressure. A draining steam drying method comprising: a step of draining an object under atmospheric pressure with an agent; and a step of drying the object under reduced pressure.