JPH1153439A - Recipe automatic determining method of manufacturing device - Google Patents
Recipe automatic determining method of manufacturing deviceInfo
- Publication number
- JPH1153439A JPH1153439A JP20747597A JP20747597A JPH1153439A JP H1153439 A JPH1153439 A JP H1153439A JP 20747597 A JP20747597 A JP 20747597A JP 20747597 A JP20747597 A JP 20747597A JP H1153439 A JPH1153439 A JP H1153439A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recipe
- lot
- manufacturing apparatus
- correspondence table
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 79
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 141
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 239000010408 film Substances 0.000 description 12
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- Control By Computers (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、処理対象物に応じ
て処理条件（レシピ）を変更する各種製品の製造装置群
からなる製造ラインにおける製造装置のレシピ自動決定
方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for automatically determining a recipe of a manufacturing apparatus in a manufacturing line including a group of manufacturing apparatuses for various products, which changes processing conditions (recipe) according to an object to be processed.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般的に、半導体等の製造ラインにおい
ては、処理対象物となる基板を複数個まとめたロット単
位で投入から払出しまで行うことが多い。このロットの
投入から払出しまでの間に、各基板は複数の製造装置に
おいて処理されるが、製造される製品の機種などに応じ
て、同一の製造装置であっても異なるレシピに基づいて
処理する場合がある。このような場合は、ロット毎を分
類しておき、ロットの分類が変わる毎に製造装置のレシ
ピを切り換える必要がある。2. Description of the Related Art In general, in a production line for semiconductors or the like, it is often the case that a lot of substrates to be processed are put into a lot and the process is performed from the input to the discharge. Each substrate is processed in a plurality of manufacturing apparatuses from the input of this lot to the dispensing, but the same manufacturing apparatus is processed based on different recipes depending on the type of a product to be manufactured. There are cases. In such a case, it is necessary to classify each lot and switch the recipe of the manufacturing apparatus every time the lot classification changes.
【０００３】これらに対し従来は、全ロット毎に工程フ
ロー情報や工程進捗情報等を記入するペーパー等の管理
表を添付し、作業者が管理表を参照して製造装置のレシ
ピを該ロット毎に適応するように設定し、該製造装置で
の処理が完了すると前記管理表に処理完了等の情報を記
入した後、次の工程へロットを送る作業を行っていた。Conventionally, a management table such as paper for entering process flow information and process progress information is attached to each lot, and an operator refers to the management table to change the recipe of the manufacturing apparatus for each lot. When the processing in the manufacturing apparatus is completed, information such as completion of the processing is entered in the management table, and then the lot is sent to the next process.
【０００４】ところで、人手を介して製造装置のレシピ
を変更した場合、作業者の負担が大きくなるともに、人
件費がかさむ等の問題点があった。更に、半導体等の精
密機器の製造工程においては、塵やゴミ等の異物の発生
を極力避ける必要があるが、工程内に立ち入る人の数が
多くなればなるほど異物が発生しやすくなるため、製造
歩留を低下させてしまうという問題点があった。[0004] Incidentally, when the recipe of the manufacturing apparatus is changed manually, there is a problem that the burden on the operator is increased and the labor cost is increased. Furthermore, in the manufacturing process of precision equipment such as semiconductors, it is necessary to minimize the generation of foreign matter such as dust and dirt. However, as the number of people entering the process increases, foreign matter is more likely to be generated. There is a problem that the yield is reduced.
【０００５】そこで、製造装置のレシピの変更を自動化
させることが近年行われるようになってきている。これ
は、例えば各ロット毎には分類名を記録した記録媒体
（例えばバーコード等）を備えておき、一方各製造装置
には前記記録媒体に記録された各ロットの分類名を読み
取るリード装置（例えばバーコードリーダー等）を備え
ておく方法や、各製造装置と複数のコンピュータとを通
信回線等を介して結び、各製造装置に対する制御をコン
ピュータにより行う、いわゆるＣＩＭシステムを構築
し、前記コンピュータから各製造装置が行うべき処理条
件を逐一制御する方法等が考えられている。Therefore, in recent years, automatic change of recipes in a manufacturing apparatus has been performed. This means that, for example, a recording medium (for example, a bar code or the like) recording the classification name is provided for each lot, while a read device (for reading the classification name of each lot recorded on the recording medium) is provided for each manufacturing apparatus. For example, a barcode reader, etc.) or a so-called CIM system in which each manufacturing apparatus is connected to a plurality of computers via a communication line or the like, and each of the manufacturing apparatuses is controlled by the computer. A method of controlling the processing conditions to be performed by each manufacturing apparatus one by one has been considered.
【０００６】また、特開平７−１２１２２９号公報で
は、コンピュータから各製造装置が行うべき処理条件を
逐一制御することによるシステムの複雑化を避けるため
に、各製造装置がメニュー化されたレシピを複数個備え
ており、前記コンピュータは該複数個のレシピの中から
一つを選択することによって、コンピュータが管理する
情報量を低減する生産管理方法を提案している。In Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-112229, in order to avoid complication of the system by controlling the processing conditions to be performed by each manufacturing device from a computer one by one, each manufacturing device uses a plurality of menu-based recipes. The computer proposes a production management method in which the computer selects one of the plurality of recipes to reduce the amount of information managed by the computer.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】ところで、液晶表示装
置等のように、複数の薄膜を多層に重ねて製造する必要
がある場合、同一ロットの基板に対して、同一の製造装
置によって複数回処理されることがある。When it is necessary to manufacture a plurality of thin films in a multi-layered manner, as in a liquid crystal display device or the like, a substrate of the same lot is processed a plurality of times by the same manufacturing apparatus. May be done.
【０００８】例えば、成膜装置で膜を形成した後、露光
装置、現像装置を経て再び前記成膜装置で膜を形成する
場合がある。このような場合、同一ロットの基板に対し
ても、１回目の成膜条件と２回目の成膜条件とが異なる
場合があるので、それぞれ異なるレシピに基づいて処理
することが必要となる。For example, after a film is formed by a film forming apparatus, the film may be formed again by the film forming apparatus via an exposure apparatus and a developing apparatus. In such a case, the first film formation condition and the second film formation condition may be different even for substrates of the same lot, so that it is necessary to perform processing based on different recipes.
【０００９】しかしながら、上述した従来技術において
は、各製造装置に投入されたロットに応じて、該ロット
に適するレシピを決定あるいは選択するものであるた
め、同一ロットの処理対象物に対して、同一の製造装置
において異なるレシピに基づいて処理することについて
は考慮されていなかった。そのため、誤ったレシピに基
づいて処理対象物を処理することによるロットの途中工
程での破棄が発生することがあり、製造歩留の低下を招
いていた。However, in the above-described conventional technique, a recipe suitable for the lot is determined or selected in accordance with the lot supplied to each manufacturing apparatus. No consideration has been given to processing based on different recipes in this manufacturing apparatus. As a result, the processing of the processing target based on the wrong recipe may cause the lot to be discarded in the middle of the process, leading to a reduction in the manufacturing yield.
【００１０】本発明は上述した問題点を解決するために
なされたものであり、同一ロットの処理対象物に対し
て、同一の製造装置において異なるレシピに基づいて処
理する必要がある場合にも対応できる製造装置のレシピ
自動決定方法を提供するものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and is also applicable to a case where it is necessary to process objects to be processed of the same lot in the same manufacturing apparatus based on different recipes. It is an object of the present invention to provide a method for automatically determining a recipe of a manufacturing apparatus.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
製造装置のレシピ自動決定方法は、処理対象物に応じて
レシピを変更する各種製品の製造装置群からなる製造ラ
インにおける製造装置のレシピ自動決定方法であって、
工程番号とレシピとが対応づけられた工程フロー及び前
記各工程フローのＩＤ番号が複数定義されており、前記
処理対象物は定義された工程フローに基づいて前記工程
フローのＩＤ番号と工程番号とを記録するＩＤキャリア
を有し、前記製造装置は定義された工程フローに基づい
て前記工程フローのＩＤ番号、工程番号及びレシピがそ
れぞれ対応づけられた工程レシピ対応表を有し、前記製
造装置は、投入された処理対象物が有するＩＤキャリア
に記録された内容を読み取り、読み取った内容から工程
レシピ対応表を参照して前記処理対象物に対するレシピ
を自動決定することを特徴とするものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for automatically determining a recipe of a manufacturing apparatus, comprising the steps of changing a recipe in accordance with an object to be processed; A method for automatically determining a recipe,
A plurality of process flows in which a process number and a recipe are associated with each other and an ID number of each of the process flows are defined, and the object to be processed is based on the defined process flow. The manufacturing apparatus has a process recipe correspondence table in which ID numbers of the process flows, process numbers, and recipes are respectively associated with each other based on a defined process flow, The content recorded on the ID carrier of the input processing target is read, and the recipe for the processing target is automatically determined by referring to the process recipe correspondence table from the read content.
【００１２】したがって、製造装置が前記処理対象物に
対して工程フローのＩＤ番号と工程番号とを参照してレ
シピを自動決定しているので、同一ロットの処理対象物
に対して、同一の製造装置において異なるレシピに基づ
いて処理する必要がある場合にも対応することが可能と
なる。Therefore, since the manufacturing apparatus automatically determines the recipe for the processing object with reference to the process flow ID number and the process number, the same manufacturing method is applied to the processing object of the same lot. It is also possible to cope with a case where the apparatus needs to perform processing based on different recipes.
【００１３】また、前記製造装置が有する工程レシピ対
応表は、処理対象物が次に処理される次工程番号を更に
有しており、前記製造装置によって前記ＩＤキャリアに
記録された工程番号を次工程番号に書き換えるようにし
ても良い。この場合、前記処理対象物のＩＤキャリアの
内容を書き換えるためのシステムを別途構成する必要が
無くなる。[0013] The process recipe correspondence table of the manufacturing apparatus further includes a next process number at which the object to be processed is processed next, and a process number recorded on the ID carrier by the manufacturing apparatus is next. It may be replaced with a process number. In this case, there is no need to separately configure a system for rewriting the content of the ID carrier of the processing target.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】本発明の製造装置のレシピ自動決
定方法について、図１乃至図８を用いて説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method for automatically determining a recipe of a manufacturing apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS.
【００１５】図１は本発明に係る各ロットの構成を示す
概念図である。図１の（ａ）に示されるように、各ロッ
トはＩＤキャリア１と複数の処理対象物２とを有してい
る。前記ＩＤキャリア１は磁気カード等のような読み書
き可能な記録媒体からなっており、この中には、図１の
（ｂ）に示されるように、内部情報として工程フローＩ
Ｄ番号及び工程番号が記録されている。FIG. 1 is a conceptual diagram showing the configuration of each lot according to the present invention. As shown in FIG. 1A, each lot has an ID carrier 1 and a plurality of processing objects 2. The ID carrier 1 is made of a readable and writable recording medium such as a magnetic card, and includes a process flow I as internal information as shown in FIG.
The D number and the process number are recorded.
【００１６】図２は本発明に係る各製造装置の構成を示
す概念図である。図２の（ａ）に示されるように、各製
造装置は、前記各ロットが有するＩＤキャリア１を読み
書きするためのＩＤリーダ／ライタ装置３と、工程レシ
ピ対応表４と、登録レシピ群５とを有している。前記工
程レシピ対応表４は、図２の（ｂ）に示されるように、
工程フローＩＤ番号、工程番号、レシピ、及び次工程番
号が登録されたテーブルからなっている。FIG. 2 is a conceptual diagram showing the configuration of each manufacturing apparatus according to the present invention. As shown in FIG. 2A, each manufacturing device includes an ID reader / writer device 3 for reading and writing the ID carrier 1 of each lot, a process recipe correspondence table 4, a registered recipe group 5, have. The process recipe correspondence table 4 is, as shown in FIG.
It consists of a table in which a process flow ID number, a process number, a recipe, and a next process number are registered.
【００１７】図１、図２のように構成されたロットと製
造装置とを複数組み合わせた製造装置のレシピ自動決定
方法について、図３に示す処理フロー図に基づいて説明
する。まず、ロットが製造装置に投入されると、製造装
置のＩＤリーダ／ライタ装置３によってロットが保持し
ているＩＤキャリア１に記録された工程フローＩＤ番号
及び工程番号を読み取る（工程）。次に、読み取った
工程フローＩＤ番号及び工程番号を、製造装置が有する
工程レシピ対応表４の中から検索する（工程）。次
に、検索した内容が工程レシピ対応表４に登録されてい
る場合、登録されているレシピに応じて前記ロットを処
理する（工程）。処理が完了したら、製造装置のＩＤ
リーダ／ライタ装置３によってロットが保持しているＩ
Ｄキャリア１に記録されている工程番号を、工程レシピ
対応表４に登録されている次工程番号に書き換え（工程
）、次工程への払出しを行う。A method for automatically determining a recipe of a manufacturing apparatus in which a plurality of lots and manufacturing apparatuses configured as shown in FIGS. 1 and 2 are combined will be described with reference to a processing flowchart shown in FIG. First, when the lot is put into the manufacturing apparatus, the process flow ID number and the process number recorded on the ID carrier 1 held by the lot are read by the ID reader / writer device 3 of the manufacturing apparatus (step). Next, the read process flow ID number and process number are searched from the process recipe correspondence table 4 of the manufacturing apparatus (process). Next, when the searched content is registered in the process recipe correspondence table 4, the lot is processed according to the registered recipe (process). When processing is completed, the ID of the manufacturing device
I held by the lot by the reader / writer device 3
The process number recorded on the D carrier 1 is rewritten (processed) to the next process number registered in the process recipe correspondence table 4, and the payout to the next process is performed.
【００１８】検索した内容が工程レシピ対応表４に登録
されていない場合は、ロットキャンセルを行い（工程
）、ロットを適当な装置へ投入する。If the searched content is not registered in the process recipe correspondence table 4, the lot is canceled (process) and the lot is put into an appropriate device.
【００１９】このように、各ロットは工程フローＩＤ番
号に加えて工程番号を情報として保持しており、各製造
装置は各ロットの進捗工程に応じたレシピを選択するよ
うにしているので、同一ロットの基板に対して、同一の
製造装置において異なるレシピに基づいて処理する必要
がある場合にも対応することができる。As described above, each lot holds the process number as information in addition to the process flow ID number, and each manufacturing apparatus selects a recipe according to the progress process of each lot. It is also possible to cope with a case where it is necessary to process lot substrates in the same manufacturing apparatus based on different recipes.
【００２０】以下、工程フローや工程レシピ対応表につ
いて具体的な例を挙げて説明する。以下の説明において
は、洗浄工程、成膜工程、露光工程、現像工程を２回繰
り返した後、最後に洗浄工程を行うプロセスに対応した
場合について説明する。Hereinafter, the process flow and the process recipe correspondence table will be described with reference to specific examples. In the following description, a case will be described in which a cleaning step, a film forming step, an exposure step, and a developing step are repeated twice, and a cleaning step is finally performed.
【００２１】図４は工程フローの定義を示す図である。
各工程フローには、工程番号、レシピ、処理装置がそれ
ぞれ規定されている。ここでは、（ａ）、（ｂ）に示す
２種類の工程フローを示しており、それぞれ「Ａ」、
「Ｂ」という工程フローＩＤ番号が付与されているもの
とする。なお、これらの工程フローは、通常はもっと複
数定義されていても構わない。FIG. 4 is a diagram showing the definition of the process flow.
In each process flow, a process number, a recipe, and a processing device are specified. Here, two types of process flows shown in (a) and (b) are shown, and "A",
It is assumed that a process flow ID number “B” is assigned. It should be noted that a plurality of these process flows may normally be defined.
【００２２】図５は各製造装置が有する工程レシピ対応
表を示す図である。各工程レシピ対応表は、工程フロー
ＩＤ番号、工程番号、レシピ、次工程番号がそれぞれ規
定されている。なお、本実施形態においては、成膜装
置、露光装置、現像装置には４種類のレシピが登録され
ており、洗浄装置には１種類のレシピが登録されてい
る。必要に応じてこれらのレシピは更に複数種類設けて
も良い。FIG. 5 is a diagram showing a process recipe correspondence table included in each manufacturing apparatus. Each process recipe correspondence table defines a process flow ID number, a process number, a recipe, and a next process number. In the present embodiment, four types of recipes are registered in the film forming apparatus, the exposure apparatus, and the developing apparatus, and one type of recipe is registered in the cleaning apparatus. If necessary, a plurality of these recipes may be provided.
【００２３】このように定義された工程フロー及び工程
レシピ対応表に対して、まず各ロットが有するＩＤキャ
リアには、当該ロットが処理されるべき工程を示す
「Ａ」又は「Ｂ」のいずれかの工程フローＩＤ番号が登
録され、更に工程番号として、最初の工程番号である
「１」が登録されている。With respect to the process flow and the process recipe correspondence table defined in this way, first, the ID carrier of each lot is provided with either “A” or “B” indicating the process to be processed in the lot. , And the first process number “1” is registered as the process number.
【００２４】そして、図３に示すフローにしたがって各
ロットが製造装置へ投入され、処理が終了すると工程番
号が書き換えられ、次工程の製造装置へ投入される。Then, each lot is supplied to the manufacturing apparatus according to the flow shown in FIG. 3, and when the processing is completed, the process number is rewritten, and the lot is supplied to the next manufacturing apparatus.
【００２５】各ロットが有するＩＤキャリアの内部情報
からレシピが決定され、更に工程番号が書き換えられる
様子を、図６を用いてより具体的に説明する。The manner in which a recipe is determined from the internal information of the ID carrier of each lot and the process number is further rewritten will be described more specifically with reference to FIG.
【００２６】図６は、本実施形態の製造装置のレシピ自
動決定方法におけるロットが有するＩＤキャリアの内容
を示す図であり、ロット（ａ）、ロット（ｂ）、ロット
（ｃ）、ロット（ｄ）の４種類のロットについて説明し
ている。FIG. 6 is a diagram showing the contents of the ID carrier possessed by the lot in the automatic recipe determination method of the manufacturing apparatus according to the present embodiment, wherein the lot (a), the lot (b), the lot (c), and the lot (d) ) Are described.
【００２７】これらのロットは洗浄工程が終了し、成膜
装置に投入されるべきものである。これらのロットが成
膜装置に投入されると、成膜装置では各ロットのＩＤキ
ャリアからＩＤリーダ／ライタ装置によって工程フロー
ＩＤ番号と工程番号とを読み取り、図５に示した工程レ
シピ対応表を参照し、図７に示すように４種類の中から
適合するレシピを自動決定する。なお、ロット（ｄ）の
ように、何らかの理由で工程番号が書き換えられている
場合には、成膜装置は当該ロットに対してロットキャン
セルを行う。ロットキャンセルされたロットは、工程内
の作業者によってＩＤキャリアの内部情報の確認及び訂
正が行われ、正しい製造装置へ投入される。These lots are to be put into a film forming apparatus after the cleaning process is completed. When these lots are put into the film forming apparatus, the film forming apparatus reads the process flow ID number and the process number from the ID carrier of each lot by an ID reader / writer device, and reads the process recipe correspondence table shown in FIG. Referring to FIG. 7, a suitable recipe is automatically determined from the four types as shown in FIG. When the process number is rewritten for some reason as in the case of the lot (d), the film forming apparatus performs lot cancellation for the lot. The lot in which the lot has been canceled is checked and corrected by the internal information of the ID carrier by a worker in the process, and is put into a correct manufacturing apparatus.
【００２８】なお、図７に示したようにレシピが自動決
定された後は、該レシピに従って各ロットを処理し、各
ロットが有するＩＤキャリアの工程番号を、図５に示し
た工程レシピ対応表を参照し、ＩＤリーダ／ライタ装置
によって次工程番号に書き換える。すると、ロット
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）のＩＤキャリアの内容は図８の
ようになり、これらのロットは露光装置へ投入される。After the recipe is automatically determined as shown in FIG. 7, each lot is processed according to the recipe, and the process number of the ID carrier of each lot is stored in the process recipe correspondence table shown in FIG. , And rewrite to the next process number by the ID reader / writer device. Then, the contents of the ID carriers of lots (a), (b), and (c) are as shown in FIG. 8, and these lots are put into the exposure apparatus.
【００２９】このようにして、各ロットは所定の処理工
程を経て、最後に洗浄装置で処理されて払出された後、
所定の場所へ保管される。As described above, each lot goes through a predetermined processing step, and is finally processed by the cleaning device and paid out.
Stored in place.
【００３０】なお、各製造装置が有する工程レシピ対応
表の登録内容は、工程フローの内容が変更する必要が生
じた場合に備えて、追加、変更、削除が行えるようにし
ておけば、工程の変化にも柔軟に対応することができ
る。The registered contents of the process recipe correspondence table of each manufacturing apparatus can be added, changed, or deleted in case that the contents of the process flow need to be changed. It can respond flexibly to changes.
【００３１】また、各種製造装置や搬送装置などをコン
ピュータにより制御するＣＩＭシステムを別途構築し、
コンピュータによる工程管理と上述した製造装置のレシ
ピ自動決定方法とを併用することにより、何らかのトラ
ブルによってコンピュータがダウンした場合においても
レシピの自動決定を継続して行うことができる。Further, a CIM system for controlling various manufacturing apparatuses and transport apparatuses by a computer is separately constructed,
By using the process management by the computer and the above-mentioned automatic recipe determination method of the manufacturing apparatus, the automatic determination of the recipe can be continued even when the computer goes down due to some trouble.
【００３２】[0032]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の製造装置
のレシピ自動決定方法によれば、工程番号とレシピとが
対応づけられた工程フロー及び前記各工程フローのＩＤ
番号が複数定義されており、前記処理対象物は定義され
た工程フローに基づいて前記工程フローのＩＤ番号と工
程番号とを記録するＩＤキャリアを有し、前記製造装置
は定義された工程フローに基づいて前記工程フローのＩ
Ｄ番号、工程番号及びレシピがそれぞれ対応づけられた
工程レシピ対応表を有し、前記製造装置は、投入された
処理対象物が有するＩＤキャリアに記録された内容を読
み取り、読み取った内容から工程レシピ対応表を参照し
て前記処理対象物に対するレシピを自動決定することに
より、製造装置が前記処理対象物に対して工程フローの
ＩＤ番号と工程番号とを参照してレシピを自動決定する
こととなり、同一ロットの処理対象物に対して、同一の
製造装置において異なるレシピに基づいて処理する必要
がある場合にも対応することができるという効果を奏す
る。As described above, according to the method for automatically determining a recipe of a manufacturing apparatus of the present invention, a process flow in which a process number is associated with a recipe and an ID of each process flow
A plurality of numbers are defined, and the processing object has an ID carrier for recording an ID number and a process number of the process flow based on the defined process flow, and the manufacturing apparatus is configured to perform the process flow according to the defined process flow. I of the above process flow
The manufacturing apparatus has a process recipe correspondence table in which a D number, a process number, and a recipe are associated with each other. The manufacturing apparatus reads the content recorded on the ID carrier of the input processing target, and reads the process recipe from the read content. By automatically determining the recipe for the processing target with reference to the correspondence table, the manufacturing apparatus automatically determines the recipe with reference to the process flow ID number and the process number for the processing target, This has the effect that it is possible to cope with the case where it is necessary to process the objects to be processed of the same lot in the same manufacturing apparatus based on different recipes.
【００３３】また、前記製造装置が有する工程レシピ対
応表は、処理対象物が次に処理される次工程番号を更に
有しており、前記製造装置によって前記ＩＤキャリアに
記録された工程番号を次工程番号に書き換えるようにし
ても良い。この場合、前記処理対象物のＩＤキャリアの
内容を書き換えるためのシステムを別途構成する必要が
無くなるという効果を奏する。The process recipe correspondence table of the manufacturing apparatus further includes a next step number for processing the object to be processed next, and a next step number recorded on the ID carrier by the manufacturing apparatus. It may be replaced with a process number. In this case, there is an effect that it is not necessary to separately configure a system for rewriting the content of the ID carrier of the processing target.
【図１】本発明に係る各ロットの構成を示す概念図であ
る。FIG. 1 is a conceptual diagram showing a configuration of each lot according to the present invention.
【図２】本発明に係る各製造装置の構成を示す概念図で
ある。FIG. 2 is a conceptual diagram showing a configuration of each manufacturing apparatus according to the present invention.
【図３】本発明の製造装置のレシピ自動決定方法の処理
フロー図である。FIG. 3 is a processing flowchart of a method for automatically determining a recipe of a manufacturing apparatus according to the present invention.
【図４】工程フローＩＤの定義を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a definition of a process flow ID.
【図５】各製造装置が有する工程レシピ対応表を示す図
である。FIG. 5 is a diagram showing a process recipe correspondence table included in each manufacturing apparatus.
【図６】一実施形態の製造装置のレシピ自動決定方法に
おけるロットが有するＩＤキャリアの内容を示す図であ
る。FIG. 6 is a diagram showing the contents of an ID carrier possessed by a lot in the automatic recipe determination method of the manufacturing apparatus according to one embodiment.
【図７】図６に示す各ロットが有するＩＤキャリアに基
づいて自動決定されるレシピを示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a recipe automatically determined based on the ID carrier of each lot shown in FIG. 6;
【図８】図６に示す各ロットが有するＩＤキャリアの内
容が製造装置によって書き換えられた後の内容を示す図
である。8 is a diagram showing the contents of the ID carrier of each lot shown in FIG. 6 after the contents are rewritten by the manufacturing apparatus.
１ ＩＤキャリア ２ 処理対象物 ３ ＩＤリーダ／ライタ装置 ４ 工程レシピ対応表 ５ 登録レシピ群 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ID carrier 2 Processing object 3 ID reader / writer device 4 Process recipe correspondence table 5 Registration recipe group
Claims (2)
種製品の製造装置群からなる製造ラインにおける製造装
置のレシピ自動決定方法であって、 工程番号とレシピとが対応づけられた工程フロー及び前
記各工程フローのＩＤ番号が複数定義されており、 前記処理対象物は定義された工程フローに基づいて前記
工程フローのＩＤ番号と工程番号とを記録するＩＤキャ
リアを有し、 前記製造装置は定義された工程フローに基づいて前記工
程フローのＩＤ番号、工程番号及びレシピがそれぞれ対
応づけられた工程レシピ対応表を有し、 前記製造装置は、投入された処理対象物が有するＩＤキ
ャリアに記録された内容を読み取り、読み取った内容か
ら工程レシピ対応表を参照して前記処理対象物に対する
レシピを自動決定することを特徴とする製造装置のレシ
ピ自動決定方法。1. A method for automatically determining a recipe of a manufacturing apparatus in a manufacturing line comprising a group of manufacturing apparatuses for various products, wherein a recipe is changed according to an object to be processed, comprising: a process flow in which a process number is associated with a recipe; A plurality of ID numbers for each of the process flows are defined, and the object to be processed has an ID carrier that records the ID numbers and the process numbers of the process flows based on the defined process flows. The manufacturing apparatus has a process recipe correspondence table in which the process flow ID number, the process number, and the recipe are associated with each other based on the defined process flow, and the manufacturing apparatus records on the ID carrier of the input processing target. Reading the read contents, and automatically determining a recipe for the processing object by referring to a process recipe correspondence table from the read contents. Recipes automatic determination method of the device.
は、処理対象物が次に処理される次工程番号を更に有し
ており、前記製造装置によって前記ＩＤキャリアに記録
された工程番号を次工程番号に書き換えることを特徴と
する請求項１記載の製造装置のレシピ自動決定方法。2. The process recipe correspondence table of the manufacturing apparatus further includes a next process number at which the object to be processed is processed next, and a next process number recorded on the ID carrier by the manufacturing apparatus. 2. The method for automatically determining a recipe in a manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the method is rewritten with a process number.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20747597A JPH1153439A (en) | 1997-08-01 | 1997-08-01 | Recipe automatic determining method of manufacturing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20747597A JPH1153439A (en) | 1997-08-01 | 1997-08-01 | Recipe automatic determining method of manufacturing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1153439A true JPH1153439A (en) | 1999-02-26 |
Family
ID=16540375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20747597A Pending JPH1153439A (en) | 1997-08-01 | 1997-08-01 | Recipe automatic determining method of manufacturing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1153439A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7016753B2 (en) | 2001-10-30 | 2006-03-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Management system for production line and management method for production line |
| CN105320055A (en) * | 2014-07-28 | 2016-02-10 | 日本电产三协株式会社 | Production system |
| JP2017507816A (en) * | 2014-02-24 | 2017-03-23 | プレジス・イノベーティブ・パッケージング・エルエルシー | Recipe controlled device for manufacturing packaging materials |
-
1997
- 1997-08-01 JP JP20747597A patent/JPH1153439A/en active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7016753B2 (en) | 2001-10-30 | 2006-03-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Management system for production line and management method for production line |
| JP2017507816A (en) * | 2014-02-24 | 2017-03-23 | プレジス・イノベーティブ・パッケージング・エルエルシー | Recipe controlled device for manufacturing packaging materials |
| US10293569B2 (en) | 2014-02-24 | 2019-05-21 | Pregis Innovative Packaging Llc | Recipe controlled process for making packaging materials |
| US11345110B2 (en) | 2014-02-24 | 2022-05-31 | Pregis Innovative Packaging Llc | Recipe controlled process for making packaging materials |
| US11772353B2 (en) | 2014-02-24 | 2023-10-03 | Pregis Innovative Packaging Llc | Recipe controlled process for making packaging materials |
| CN105320055A (en) * | 2014-07-28 | 2016-02-10 | 日本电产三协株式会社 | Production system |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6480755B1 (en) | Process control device and process control method permitting processing order and processing condition to be changed while manufacturing process continues | |
| JPS62237569A (en) | Commodity file managing system for pos terminal | |
| JP2001068392A (en) | Automatic assembly for semiconductor factory, automatic system thereof, and automatic method thereof | |
| US7016753B2 (en) | Management system for production line and management method for production line | |
| JPH1153439A (en) | Recipe automatic determining method of manufacturing device | |
| US6604010B2 (en) | System for selectively managing workpieces and a method for controlling the same | |
| KR20010062370A (en) | Method and system for automatic process controlling non product wafers and product wafers, and recording medium storing the method | |
| US6601760B1 (en) | System and method for delivering photographic-based products to a customer | |
| US20050197730A1 (en) | System and method for process contamination prevention for semiconductor manufacturing | |
| JPH06196544A (en) | Manufacturing process control system | |
| JP3301228B2 (en) | Process control method for articles in the manufacturing process | |
| JP4381673B2 (en) | Production line management method | |
| US20060142887A1 (en) | Systems and methods for managing lot aggregation | |
| AU1664001A (en) | Method and apparatus for ordering photofinishing goods and/or services | |
| US7613534B1 (en) | Web based semiconductor ordering architecture | |
| US6757578B1 (en) | Semiconductor factory automation system and method for processing lot of semiconductor wafers at full-automation mode or semi-automation mode | |
| JPH10236612A (en) | Stock control device and production control device | |
| JP2004241697A (en) | Manufacture management apparatus for semiconductor wafer | |
| JPH08293540A (en) | Substrate holding device | |
| JP2003228412A (en) | Managing system of production line | |
| JP4483384B2 (en) | Photomask manufacturing information management system and photomask manufacturing information management method using the same | |
| US20030055740A1 (en) | Sales method of photomask design data | |
| JP2001265419A (en) | Production management system for learning reference information | |
| JPH09180980A (en) | Semiconductor device manufacturing system | |
| JP2000309411A (en) | Article stock control system, method and recording medium storing article stock control program |