JPH1152339A - Variable light attenuator and its production - Google Patents
Variable light attenuator and its productionInfo
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- JPH1152339A JPH1152339A JP9204811A JP20481197A JPH1152339A JP H1152339 A JPH1152339 A JP H1152339A JP 9204811 A JP9204811 A JP 9204811A JP 20481197 A JP20481197 A JP 20481197A JP H1152339 A JPH1152339 A JP H1152339A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、可変光減衰器およ
びその製造方法に係わり、特に、光ファイバあるいは光
ファイバアレイ中の光の強度を調整する可変光減衰器に
適用して有効な技術に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a variable optical attenuator and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a technique effective when applied to a variable optical attenuator for adjusting the intensity of light in an optical fiber or an optical fiber array. .
【０００２】[0002]
【従来の技術】光ファイバによる光通信は大容量の情報
を高速に伝送することができるために、最近急速に実用
化されつつある。従来、光ファイバによる光通信は、光
ファイバの両端に送信機と受信機が繋がれた単純な１：
１の通信が中心であった。しかし、近年光スイッチの技
術が進展したため、光を電気信号に変換することなく、
光を光のままで切り替える光クロスコネクトが実用化さ
れるようになった。2. Description of the Related Art Optical communication using an optical fiber has recently been rapidly put into practical use because it can transmit a large amount of information at a high speed. 2. Description of the Related Art Conventionally, optical communication using an optical fiber is a simple one in which a transmitter and a receiver are connected to both ends of the optical fiber.
One communication was dominant. However, in recent years, the technology of optical switches has advanced, so that light is not converted to electrical signals,
Optical cross-connects, which switch light as it is, have come into practical use.
【０００３】光クロスコネクトでは、多数の光ファイバ
の光信号の経路をそれぞれ異なる経路に切り替える。こ
のため、多チャンネル光スイッチが光クロスコネクトに
用いられる。多チャンネル光スイッチでは、スイッチン
グすることにより、光のパスの長さが変化し、また、通
過する光スイッチ部が変化することにより、通過減衰量
（ロス）が変化する。In the optical cross-connect, the paths of optical signals of many optical fibers are switched to different paths. For this reason, multi-channel optical switches are used for optical cross-connects. In the multi-channel optical switch, the length of the optical path changes by switching, and the passing attenuation (loss) changes by changing the passing optical switch.
【０００４】即ち、例え、入力側に等強度の光が入力し
たとしても、出力側からの出力光の強度にばらつきが生
じる。また、スイッチングにより、同じ出力端子でも出
力光の強度が変化するという欠点がある。That is, even if light of the same intensity is input to the input side, the intensity of output light from the output side varies. Further, there is a disadvantage that the intensity of output light changes even at the same output terminal due to switching.
【０００５】このため、光信号の切り替えに対応して、
その出力光の強度を一定に保つように調整する可変光減
衰器が必要になる。また、多端子である場合には、アレ
イ構成の可変光減衰器が必要になる。Therefore, in response to the switching of the optical signal,
A variable optical attenuator that adjusts the intensity of the output light to be constant is required. In the case of multi-terminals, a variable optical attenuator having an array configuration is required.
【０００６】従来の可変光減衰器は、ガラス基板上にそ
の透過率が変化するように薄膜を蒸着したものをメカニ
カルに回転または平行移動して調整するものが用いられ
ている。しかし、メカニカル部品を用いているため、小
型化できず、またシングルモードコリメートファイバを
対向させるため、そのアライメントに労力を要するとい
う欠点があった。As a conventional variable optical attenuator, a glass substrate on which a thin film is vapor-deposited so as to change its transmittance is mechanically rotated or translated to adjust. However, since mechanical parts are used, the size cannot be reduced, and since the single-mode collimating fiber is opposed, alignment requires labor.
【０００７】そのため、光透過率が変化する液晶層をフ
ァイバで挟んだ構造の可変光減衰器が多数提案されてい
る。この可変光減衰器には、ネマチック液晶あるいはコ
レステリック液晶が使用される。ネマチック液晶を使用
する可変光減衰器は、ネマチック液晶層に電流を流しそ
の配向を乱すことにより光を散乱させる（動的散乱効果
と呼ばれる）ものであり、また、コレステリック液晶を
使用する可変光減衰器は、コレステリック液晶が電圧が
印加されない時にフォーカルコニック組織をとって光を
散乱し、電圧が印加された時にホメオトロピック配向と
なって透明になる原理を使用するものである。For this reason, many variable optical attenuators having a structure in which a liquid crystal layer whose light transmittance changes are sandwiched by fibers have been proposed. A nematic liquid crystal or a cholesteric liquid crystal is used for the variable optical attenuator. A variable optical attenuator using a nematic liquid crystal scatters light by passing an electric current through a nematic liquid crystal layer and disturbing the alignment (called a dynamic scattering effect), and a variable optical attenuator using a cholesteric liquid crystal. The device uses the principle that the cholesteric liquid crystal takes a focal conic structure when no voltage is applied and scatters light, and when a voltage is applied it becomes homeotropically oriented and becomes transparent.
【０００８】これら、ネマチック液晶あるいはコレステ
リック液晶をファイバで挟んだ構造の光減衰器は、例え
ば、特開昭５１−１４０６４１号「光ファイバ可変減衰
器」、特開昭５１−８８０４３号「光減衰器」、特開昭
５２−９２５３７号「光ファイバ用可変減衰器」、特開
昭５２−１５５５５４号「光学可変抵抗器」、特開昭５
３−７８８５３号「光量制御素子」、特開昭５７−２７
２３４号「光制御素子」等に記載されている。These optical attenuators having a structure in which a nematic liquid crystal or a cholesteric liquid crystal is sandwiched between fibers are disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. S51-14064, "Optical Fiber Variable Attenuator" and Japanese Patent Application Laid-Open No. S51-88043, "Optical Attenuator" JP-A-52-92537, "Variable Attenuator for Optical Fiber," JP-A-52-155554, "Optical Variable Resistor,"
3-78853, "Light control element", JP-A-57-27
No. 234, "Light control element" and the like.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記ネ
マチック液晶を使用する可変光減衰器は、液晶研究の初
期によく用いられたものであるが、液晶に電流を流すこ
とにより、液晶が劣化するという問題点があり、現在で
はほとんど用いられていない。However, the variable optical attenuator using the nematic liquid crystal is often used in an early stage of the research on liquid crystal. However, when a current flows through the liquid crystal, the liquid crystal deteriorates. It has problems and is hardly used at present.
【００１０】また、コレステリック液晶を使用する可変
光減衰器も、やはり寿命の問題があり、現在ではほとん
ど用いられていない。A variable optical attenuator using a cholesteric liquid crystal also has a problem of its life, and is hardly used at present.
【００１１】さらに、これらネマチック液晶あるいはコ
レステリック液晶は液体であり、配向膜を塗布し、ラビ
ング処理を施す必要があるためガラス層で挟む必要があ
り、液晶素子作製において制約があるという問題点があ
った。Further, these nematic liquid crystals or cholesteric liquid crystals are liquids, and need to be coated with an alignment film and subjected to a rubbing treatment. Was.
【００１２】なお、ファイバ自体で挟む構造も提案され
ているが、通常のファイバを採用しているため、通過減
衰量（ロス）が大きいという問題点があった。Although a structure in which the fiber itself is sandwiched has been proposed, there is a problem in that the passage attenuation (loss) is large because a normal fiber is employed.
【００１３】本発明は、前記従来技術の問題点を解決す
るためになされたものであり、本発明の目的は、可変光
減衰器およびその製造方法において、高分子分散型液晶
を使用して、液晶素子作成上の制約を少なくでき、かつ
寿命を長くすることが可能となる技術を提供することに
ある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a variable optical attenuator and a method of manufacturing the same using polymer-dispersed liquid crystal. It is an object of the present invention to provide a technique capable of reducing restrictions on the production of a liquid crystal element and extending the life.
【００１４】また、本発明の他の目的は、可変光減衰器
およびその製造方法において、通過減衰量を少なくする
ことが可能となる技術を提供することにある。Another object of the present invention is to provide a variable optical attenuator and a method for manufacturing the same, which provide a technique capable of reducing the amount of passage attenuation.
【００１５】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
にする。The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.
【００１６】[0016]
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記の通りである。SUMMARY OF THE INVENTION Among the inventions disclosed in the present application, the outline of a representative one will be briefly described.
It is as follows.
【００１７】可変光減衰器において、液晶粒を高分子内
に分散させた高分子分散型液晶層と、前記高分子分散型
液晶層を挟んで設けられる電極と、前記高分子分散型液
晶層を挟んで設けられるコアとクラッドとからなり光を
閉じ込めて伝搬させる部品とを備え、前記電極に電圧を
印加して前記高分子分散型液晶層の透過率を変化させる
ことを特徴とする。In the variable optical attenuator, a polymer dispersed liquid crystal layer in which liquid crystal particles are dispersed in a polymer, an electrode provided with the polymer dispersed liquid crystal layer interposed therebetween, and the polymer dispersed liquid crystal layer A component comprising a core and a clad sandwiched therebetween and for confining and propagating light is provided, and a voltage is applied to the electrode to change the transmittance of the polymer dispersed liquid crystal layer.
【００１８】前記光を伝搬させる部品は、前記高分子分
散型液晶層と対向する側の先端部のコアが拡大されてい
ることを特徴とする。The component for transmitting the light is characterized in that the core at the front end on the side facing the polymer dispersed liquid crystal layer is enlarged.
【００１９】前記電極は、前記光を伝搬させる部品の前
記高分子分散型液晶層と対向する側の先端、あるいは側
面部に形成された透明電極であることを特徴とする。The electrode is a transparent electrode formed on a tip or a side face of the component for transmitting the light on a side facing the polymer-dispersed liquid crystal layer.
【００２０】前記高分子分散型液晶層は、フィルム状の
高分子分散型液晶層であり、前記電極は、前記フィルム
状の高分子分散型液晶層の両面に形成された透明電極で
あることを特徴とする。The polymer dispersed liquid crystal layer is a film-shaped polymer dispersed liquid crystal layer, and the electrodes are transparent electrodes formed on both surfaces of the film polymer dispersed liquid crystal layer. Features.
【００２１】可変光減衰器の製造方法において、コアの
一部が拡大されている、コアとクラッドとからなり光を
閉じ込めて伝搬させる部品の、当該コア拡大部分を略垂
直に切断する工程と、当該切断部に、両面に透明電極が
形成されたフィルム状の高分子分散型液晶層を挿入する
工程とを備えることを特徴とする。In the method of manufacturing a variable optical attenuator, a step of substantially vertically cutting the enlarged core portion of a part, which is composed of a core and a clad and confine and propagates light, in which a part of the core is enlarged; Inserting a film-shaped polymer-dispersed liquid crystal layer having transparent electrodes formed on both sides into the cut portion.
【００２２】即ち、本発明は、従来の液体の液晶層の代
わりに、高分子分散型液晶層を用い、当該高分子分散型
液晶層を光ファイバ、またはファイバアレイ、あるいは
光導波路で挟んだことを特徴とする。That is, the present invention uses a polymer-dispersed liquid crystal layer instead of a conventional liquid crystal layer, and sandwiches the polymer-dispersed liquid crystal layer with an optical fiber, a fiber array, or an optical waveguide. It is characterized by.
【００２３】[0023]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。なお、実施の形態を説明す
るための全図において、同一機能を有するものは同一符
号を付け、その繰り返しの説明は省略する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In all the drawings for describing the embodiments, components having the same functions are denoted by the same reference numerals, and repeated description thereof will be omitted.
【００２４】［実施の形態１］図２は、高分子分散型液
晶素子の構造とその動作原理を示す要部断面図である。
同図において、２０１はネマチック液晶粒、２０２は高
分子層、２０３は透明電極、２０４は透明基板、２０５
は駆動電源である。[First Embodiment] FIG. 2 is a cross-sectional view of a principal part showing the structure of a polymer dispersed liquid crystal element and its operating principle.
In the figure, 201 is a nematic liquid crystal particle, 202 is a polymer layer, 203 is a transparent electrode, 204 is a transparent substrate, 205
Is a drive power supply.
【００２５】高分子分散型液晶は、高分子あるいは高分
子前駆体と液晶の混合物から、液晶を層分離させて得る
方法が一般的である。図２に示す高分子分散型液晶素子
は、紫外線硬化接着剤とネマチック液晶を混合したもの
を、透明電極２０３が形成された透明基板２０４に塗布
し、紫外線を照射して硬化させることにより作製され
る。The polymer-dispersed liquid crystal is generally obtained by separating a liquid crystal from a polymer or a mixture of a polymer precursor and a liquid crystal. The polymer-dispersed liquid crystal element shown in FIG. 2 is manufactured by applying a mixture of an ultraviolet-curable adhesive and a nematic liquid crystal to a transparent substrate 204 on which a transparent electrode 203 is formed, and irradiating ultraviolet rays to cure. You.
【００２６】この高分子分散型液晶素子では、駆動電源
２０５から電圧が印加されない時には、ネマチック液晶
粒２０１内の液晶分子は、ランダムな方向に向き、高分
子層２０２とネマチック液晶粒２０１の界面での屈折率
差により光ビームは散乱されるので、入射光は減衰され
る。しかしながら、駆動電源２０５から電圧が印加され
るにしたがって、ネマチック液晶粒２０１内の液晶分子
は垂直に立つようになり、高分子層２０２の屈折率に近
づくため、入射光は散乱されず透過するようになる。こ
の高分子分散型液晶素子は、電圧を印加することによ
り、光の透過率を調整できるため、調光ガラスとして市
販されており、その寿命も保証されている。In this polymer-dispersed liquid crystal element, when no voltage is applied from the drive power supply 205, the liquid crystal molecules in the nematic liquid crystal particles 201 are oriented in a random direction, and at the interface between the polymer layer 202 and the nematic liquid crystal particles 201. The incident light is attenuated because the light beam is scattered by the refractive index difference of However, as a voltage is applied from the driving power supply 205, the liquid crystal molecules in the nematic liquid crystal particles 201 stand vertically and approach the refractive index of the polymer layer 202, so that incident light is transmitted without being scattered. become. This polymer-dispersed liquid crystal element can be adjusted in light transmittance by applying a voltage, and thus is commercially available as a light control glass, and its life is guaranteed.
【００２７】なお、本明細書中の高分子分散型液晶と
は、使用波長帯で透明な高分子中に粒状の液晶が分散さ
れているものをいう。高分子層２０２を構成する高分子
としては、熱可塑性高分子、熱硬化性高分子、光硬化性
高分子のいずれでもよいが、光硬化性の高分子が作製上
好ましい。The polymer-dispersed liquid crystal in this specification refers to a liquid crystal in which granular liquid crystals are dispersed in a polymer that is transparent in a wavelength band used. As a polymer constituting the polymer layer 202, any of a thermoplastic polymer, a thermosetting polymer, and a photocurable polymer may be used, but a photocurable polymer is preferable for production.
【００２８】液晶粒を構成する液晶としては、ネマチッ
ク液晶、コレステリック液晶、強誘電性液晶などがあげ
られるが、配向の変化により屈折率変化の大きいネマチ
ック液晶が望ましい。また、液晶粒の大きさは特に限定
するものではないが、効率的な散乱が可能な１乃至１０
μｍ程度が適当である。Examples of the liquid crystal constituting the liquid crystal particles include a nematic liquid crystal, a cholesteric liquid crystal, and a ferroelectric liquid crystal. A nematic liquid crystal having a large refractive index change due to a change in orientation is desirable. Further, the size of the liquid crystal particles is not particularly limited, but 1 to 10 where efficient scattering is possible.
About μm is appropriate.
【００２９】図１は、本発明の実施の形態１の可変光減
衰器の概略構成を示す分解斜視図である。本実施の形態
の可変光減衰器は、透明電極付きコア拡大（ＴＥＣ）フ
ァイバで高分子分散型液晶層を挾んだ構造の可変光減衰
器である。FIG. 1 is an exploded perspective view showing a schematic configuration of the variable optical attenuator according to the first embodiment of the present invention. The variable optical attenuator of the present embodiment is a variable optical attenuator having a structure in which a polymer dispersed liquid crystal layer is sandwiched between core expanded (TEC) fibers with transparent electrodes.
【００３０】同図において、１０１はコアが拡大された
ＴＥＣファイバ、１０２はフェルール先端および側面全
体を覆う透明電極、１０３は高分子分散型液晶層、１０
４はコネクタのスリーブ、１０５は入力側ファイバ、１
０６はフェルール終端部の金属部分、１０７はフェルー
ル、１０８は出力側ファイバ、１０９は取り出し電極、
１１０は液晶挿入用の穴である。なお、後述するよう
に、高分子分散型液晶層１０３は、液晶挿入用の穴１１
０から挿入される。In the figure, 101 is a TEC fiber having an enlarged core, 102 is a transparent electrode covering the tip of the ferrule and the entire side face, 103 is a polymer dispersed liquid crystal layer, 10
4 is a connector sleeve, 105 is an input side fiber, 1
06 is the metal part of the ferrule end, 107 is the ferrule, 108 is the output fiber, 109 is the extraction electrode,
Reference numeral 110 denotes a hole for inserting a liquid crystal. As described later, the polymer-dispersed liquid crystal layer 103 is provided with a hole 11 for inserting a liquid crystal.
Inserted from 0.
【００３１】本実施の形態の可変光減衰器は、次のよう
にして作成される。まず、ＴＥＣファイバ１０１をフェ
ルール１０７に挿入し先端を研磨する。次に、スパッタ
装置内でフェルール１０７の先端部および側面部全体を
覆うように、ＩＴＯからなる透明電極１０２を形成す
る。このとき、フェルール終端部の金属部１０６とコン
タクトが取れるようにする。The variable optical attenuator of this embodiment is manufactured as follows. First, the TEC fiber 101 is inserted into the ferrule 107 and the tip is polished. Next, a transparent electrode 102 made of ITO is formed so as to cover the entire front end and side surfaces of the ferrule 107 in the sputtering apparatus. At this time, a contact can be made with the metal part 106 at the end of the ferrule.
【００３２】コネクタのスリーブ１０４に両端から入力
側ファイバ１０５と出力側ファイバ１０８とを、両者の
間のギャップ長が数μｍになるように挿入する。次に、
コネクタのスリーブ１０４上の液晶挿入用の穴１１０か
ら、紫外線硬化型樹脂に液晶を混合したものを挿入し、
紫外線照射によって樹脂を硬化させるとともに液晶を分
散させる。さらに、フェルール終端部の金属部分１０６
に取り出し電極１０９を取り付ける。The input fiber 105 and the output fiber 108 are inserted into the connector sleeve 104 from both ends so that the gap length between them becomes several μm. next,
A mixture of liquid crystal and ultraviolet curable resin is inserted through a liquid crystal insertion hole 110 on the connector sleeve 104,
The resin is cured by UV irradiation and the liquid crystal is dispersed. Further, the metal part 106 at the end of the ferrule
Then, an extraction electrode 109 is attached.
【００３３】ＴＥＣファイバ１０１でカップリングさせ
た場合に、その間隔が数μｍから数１０μｍの場合に
は、通過減衰量（ロス）はほとんど無視できる。When the coupling is performed by the TEC fiber 101 and the interval is several μm to several tens μm, the amount of transmission attenuation (loss) can be almost ignored.
【００３４】本可変光減衰器では、高分子分散型液晶層
１０３は、電圧が印加されない時には完全な散乱体とし
て働き、２０ｄＢ以上の減衰量（ロス）となる。電圧を
印加していくと、高分子分散型液晶層１０３は透明に近
づき、減衰量は約０．５ｄＢ程度となる。したがって、
入力ファイバ１０５中の光強度を何らかの方法によって
測定し、可変光減衰器にフィードバックすることによ
り、常にその光出力を一定とすることができる。なお、
応答速度は数ｍｓｅｃであり、メカニカルな可変アッテ
ネータとほぼ等しい値である。In this variable optical attenuator, the polymer dispersed liquid crystal layer 103 functions as a perfect scatterer when no voltage is applied, and has an attenuation (loss) of 20 dB or more. As the voltage is applied, the polymer-dispersed liquid crystal layer 103 becomes nearly transparent, and the attenuation becomes about 0.5 dB. Therefore,
By measuring the light intensity in the input fiber 105 by any method and feeding it back to the variable optical attenuator, the light output can always be kept constant. In addition,
The response speed is several msec, which is almost the same value as a mechanical variable attenuator.
【００３５】このように、本実施の形態では、高分子分
散型液晶層１０３を使用しているので、液晶素子を作成
する際の制約が少なく、また、高分子分散型液晶層１０
３をコアが拡大されたＴＥＣファイバ１０１を挟む構造
としたので、電圧を印加しない時の通過減衰量を少なく
することができる。As described above, in the present embodiment, since the polymer dispersed liquid crystal layer 103 is used, there are few restrictions in producing a liquid crystal element.
3 has a structure in which the TEC fiber 101 whose core is enlarged is sandwiched, so that the amount of passage attenuation when no voltage is applied can be reduced.
【００３６】［実施の形態２］図３は、本発明の他の実
施の形態である可変光減衰器の構成を示す斜視図であ
る。本実施の形態の可変光減衰器は、ファイバアレイに
適用されるアレイ構成の可変光減衰器である。[Embodiment 2] FIG. 3 is a perspective view showing a configuration of a variable optical attenuator according to another embodiment of the present invention. The variable optical attenuator of the present embodiment is a variable optical attenuator having an array configuration applied to a fiber array.
【００３７】同図において、３０１は高分子分散型液晶
素子、３０２，３０３は光ビームアレイが入出力される
光コリメータアレイ、３０４は入力側ファイバアレイ、
３０５は出力側ファイバアレイである。In the figure, 301 is a polymer dispersed liquid crystal element, 302 and 303 are optical collimator arrays to and from which a light beam array is input and output, 304 is an input side fiber array,
Reference numeral 305 denotes an output fiber array.
【００３８】本実施の形態の高分子分散型液晶素子３０
１は、それぞれ透明電極が形成された一対の透明基板間
に高分子分散型液晶層が挟み込まれて構成される。The polymer-dispersed liquid crystal element 30 of the present embodiment
Reference numeral 1 is configured by sandwiching a polymer-dispersed liquid crystal layer between a pair of transparent substrates each having a transparent electrode formed thereon.
【００３９】図４は、本実施の形態の高分子分散型液晶
素子３０１における、一対の透明基板に形成される透明
電極パターン例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of a transparent electrode pattern formed on a pair of transparent substrates in the polymer-dispersed liquid crystal element 301 of the present embodiment.
【００４０】同図において、４０１は一対の透明基板、
４０２はストライプ状の透明電極、４０３はマトリクス
状に配置された四角形状（以下、□状と称す。）の透明
電極、４０４は基板全面に形成された透明電極、４０６
は□状の透明電極４０３の端面までの引き出し電極、４
０７は薄膜抵抗、４０８は個々の□状の透明電極４０３
に印加する電圧を調整する薄膜トランジスタである。In the figure, reference numeral 401 denotes a pair of transparent substrates,
402 is a striped transparent electrode, 403 is a square (hereinafter referred to as □) transparent electrode arranged in a matrix, 404 is a transparent electrode formed on the entire surface of the substrate, 406
Are the extraction electrodes up to the end surface of the □ -shaped transparent electrode 403;
07 is a thin film resistor, 408 is an individual □ -shaped transparent electrode 403
Is a thin film transistor for adjusting the voltage applied to the thin film transistor.
【００４１】図４（ａ）に示す透明電極パターンでは、
ストライプ状の透明電極４０２が互いに直交するように
形成され、当該ストライプ状の透明電極４０２をマトリ
クス駆動することにより、当該ストライプ状の透明電極
４０２が交差する点の高分子分散型液晶層のそれぞれ
に、独立に電圧を印加することができる。In the transparent electrode pattern shown in FIG.
The stripe-shaped transparent electrodes 402 are formed so as to be orthogonal to each other, and the stripe-shaped transparent electrodes 402 are driven in a matrix, so that each of the polymer-dispersed liquid crystal layers at the points where the stripe-shaped transparent electrodes 402 intersect is formed. , Can be applied independently.
【００４２】図４（ｂ）に示す透明電極パターンでは、
各□状の透明電極４０３からそれぞれ引き出し電極４０
６が基板端面まで引き出されており、各□状の透明電極
４０３にそれぞれ独立に電圧を印加することができる。In the transparent electrode pattern shown in FIG.
Extraction electrode 40 from each □ -shaped transparent electrode 403
6 are drawn out to the end face of the substrate, and a voltage can be independently applied to each of the □ -shaped transparent electrodes 403.
【００４３】図４（ｃ）に示す透明電極パターンでは、
各□状の透明電極４０３が薄膜抵抗４０７で直列に接続
されており、先端部の□状の透明電極４０３と終端部の
□状の透明電極４０３とに印加する電圧が決定される
と、各□状の透明電極４０３に印加される電圧は、各薄
膜抵抗４０７の抵抗値によって決定される。In the transparent electrode pattern shown in FIG.
Each of the □ -shaped transparent electrodes 403 is connected in series by a thin film resistor 407, and when a voltage to be applied to the □ -shaped transparent electrode 403 at the front end and the □ -shaped transparent electrode 403 at the end is determined, The voltage applied to the □ -shaped transparent electrode 403 is determined by the resistance value of each thin film resistor 407.
【００４４】図４（ｄ）に示す透明電極パターンでは、
各□状の透明電極４０３のそれぞれに薄膜トランジスタ
４０８が形成され、行（あるいは列）方向の薄膜トラン
ジスタ４０８をオンとし、それに合わせて、列（あるい
は行）方向の薄膜トランジスタ４０８のソース（あるい
はドレイン）に電圧を印加することにより、各□状の透
明電極４０３に独立に電圧を印加することができる。In the transparent electrode pattern shown in FIG.
A thin film transistor 408 is formed on each of the □ -shaped transparent electrodes 403, and the thin film transistor 408 in the row (or column) direction is turned on, and a voltage is applied to the source (or drain) of the thin film transistor 408 in the column (or row) direction. , A voltage can be independently applied to each of the □ -shaped transparent electrodes 403.
【００４５】図４（ｅ）に示す透明電極パターンでは、
一方の透明基板４０１にストライプ状の透明電極４０２
が形成され、各ストライプ状の透明電極４０２毎に独立
に電圧を印加することができる。In the transparent electrode pattern shown in FIG.
A transparent electrode 402 having a stripe shape is formed on one transparent substrate 401.
Is formed, and a voltage can be independently applied to each of the stripe-shaped transparent electrodes 402.
【００４６】図４（ｆ）に示す透明電極パターンでは、
一方の透明基板４０１にストライプ状の透明電極４０２
が形成され、このストライプ状の透明電極４０２は薄膜
抵抗４０７で直列に接続される。したがって、先端部の
ストライプ状の透明電極４０２と終端部のストライプ状
の透明電極４０２とに印加する電圧が決定されると、各
ストライプ状の透明電極４０２に印加される電圧は、各
薄膜抵抗４０７の抵抗値によって決定される。In the transparent electrode pattern shown in FIG.
A transparent electrode 402 having a stripe shape is formed on one transparent substrate 401.
Are formed, and the stripe-shaped transparent electrodes 402 are connected in series by a thin-film resistor 407. Therefore, when the voltage to be applied to the stripe-shaped transparent electrode 402 at the leading end and the stripe-shaped transparent electrode 402 at the terminal end is determined, the voltage applied to each of the stripe-shaped transparent electrodes 402 becomes equal to each of the thin-film resistors 407. Is determined by the resistance value.
【００４７】図５は、本実施の形態の光コリメータアレ
イ（３０２，３０３）の一例の概略構成を示す斜視図で
ある。FIG. 5 is a perspective view showing a schematic configuration of an example of the optical collimator array (302, 303) of the present embodiment.
【００４８】図５（ａ）は、１次元の光コリメータアレ
イを示し、５０１はファイバアレイ、５０２は等間隔で
形成されたＶ溝アレイを備えるＶ溝基板、５０３はマイ
クロレンズアレイ、５０４は出力光ビームアレイであ
る。この光コリメータアレイでは、Ｖ溝基板５０２内の
Ｖ溝に光ファイバを並べ、平面マイクロレンズアレイ５
０３をその先端に取り付け、コリメータアレイ化してい
る。FIG. 5A shows a one-dimensional optical collimator array, wherein 501 is a fiber array, 502 is a V-groove substrate having V-groove arrays formed at equal intervals, 503 is a microlens array, and 504 is an output. It is a light beam array. In this optical collimator array, optical fibers are arranged in a V-groove in a V-groove substrate 502,
03 is attached to the tip to form a collimator array.
【００４９】また、図５（ｂ）は、２次元の光コリメー
タアレイを示し、５０１はファイバアレイ、５０３はマ
イクロレンズアレイ、５０４は出力光ビームアレイ、５
０５はマイクロフェルールを納める枠、５０６はマイク
ロフェルール、５０７は光ファイバである。この光コリ
メータアレイでは、マイクロフェルール５０６内に光フ
ァイバ５０７を挿入し、マイクロフェルール５０６を２
次元状に並べたものに、平面マイクロレンズアレイ５０
３を装着し、２次元コリメータアレイ化している。FIG. 5B shows a two-dimensional optical collimator array, wherein 501 is a fiber array, 503 is a microlens array, 504 is an output light beam array,
Reference numeral 05 denotes a frame for storing the micro ferrule, reference numeral 506 denotes a micro ferrule, and reference numeral 507 denotes an optical fiber. In this optical collimator array, an optical fiber 507 is inserted into a micro ferrule 506 and two micro ferrules 506 are inserted.
A planar microlens array 50 is arranged in a three-dimensional array.
3 and a two-dimensional collimator array.
【００５０】このように、本実施の形態では、レンズア
レイ５０３、あるいはファイバコリメータアレイ（４０
２，４０３）を用いるようにしたので、電圧が印加され
ない時の通過減衰量を少なくすることができる。As described above, in this embodiment, the lens array 503 or the fiber collimator array (40
2, 403), the amount of passage attenuation when no voltage is applied can be reduced.
【００５１】なお、本実施の形態では、ファイバアレイ
（３０４，３０５）を用いたが、ガラスまたは高分子の
光導波路でも同様の効果がある。Although the fiber array (304, 305) is used in the present embodiment, the same effect can be obtained by using a glass or polymer optical waveguide.
【００５２】［実施の形態３］本実施の形態の可変光減
衰器は、ＴＥＣファイバで構成されるファイバアレイに
適用されるアレイ構成の可変光減衰器である。[Third Embodiment] A variable optical attenuator according to the present embodiment is a variable optical attenuator having an array configuration applied to a fiber array composed of TEC fibers.
【００５３】図６は、本実施の形態のＴＥＣファイバで
構成されるファイバアレイに適用されるアレイ構成の可
変光減衰器の製造方法を説明するための図である。以
下、図６を用いて、本実施の形態の可変光減衰器の製造
方法について説明する。FIG. 6 is a diagram for explaining a method of manufacturing a variable optical attenuator having an array configuration applied to the fiber array composed of TEC fibers according to the present embodiment. Hereinafter, a method for manufacturing the variable optical attenuator of the present embodiment will be described with reference to FIG.
【００５４】始めに、図６（ａ）に示すように、ＴＥＣ
ファイバ６０１を用意し、その先端部および側面にスパ
ッタ法により透明電極６０２を形成する。First, as shown in FIG.
A fiber 601 is prepared, and a transparent electrode 602 is formed on its tip and side surfaces by a sputtering method.
【００５５】次に、図６（ｂ）に示すように、等間隔で
形成されたＶ溝アレイを備えるＶ溝基板６０３を用意
し、Ｖ溝基板６０３のＶ溝に、ＴＥＣファイバ６０１
を、ＴＥＣファイバ６０１の先端部とＶ溝基板６０３の
端面とが同じ面になるように配列し、接着剤で接着・固
定する。Next, as shown in FIG. 6B, a V-groove substrate 603 having a V-groove array formed at equal intervals is prepared, and a TEC fiber 601 is inserted into the V-groove of the V-groove substrate 603.
Are arranged so that the tip of the TEC fiber 601 and the end face of the V-groove substrate 603 are on the same plane, and are bonded and fixed with an adhesive.
【００５６】次に、図６（ｃ）に示すように、Ｖ溝基板
６０３のＶ溝にＴＥＣファイバ６０１が配列、固定され
たファイバアレイを２個用意し、当該２個のファイバア
レイを、数μｍから数十μｍのスペーサ６０４を挟んで
対向させ、入力側からの光が出力側にカップリングする
ように張り合わせる。Next, as shown in FIG. 6C, two fiber arrays in which the TEC fibers 601 are arranged and fixed in the V-groove of the V-groove substrate 603 are prepared, and the two fiber arrays are numbered. They are opposed to each other with a spacer 604 of μm to several tens μm interposed therebetween, and bonded so that light from the input side is coupled to the output side.
【００５７】次に、図６（ｄ）に示すように、スペーサ
６０４により形成されるギャップの中に紫外線硬化型樹
脂とネマチック液晶を混合したものを充填し、紫外線を
照射して硬化させ、高分子分散型液晶層６０５を形成す
る。また、ファイバの側面に取り出し電極６０６を取り
付けて、高分子分散型液晶層６０５に電圧を印加するた
めの電極とする。Next, as shown in FIG. 6D, the gap formed by the spacer 604 is filled with a mixture of an ultraviolet curable resin and a nematic liquid crystal, and is irradiated with ultraviolet rays to be cured. A molecular dispersion type liquid crystal layer 605 is formed. An extraction electrode 606 is attached to the side surface of the fiber to serve as an electrode for applying a voltage to the polymer dispersed liquid crystal layer 605.
【００５８】対向する一対のＴＥＣファイバ６０１は、
その間隔を開けても少ない減衰量で光のカップリングが
できるため、本実施の形態の可変光減衰器では、従来の
光ファイバを用いる場合よりも、カップリングロスを低
くすることができる。また、高分子分散型液晶層６０５
では、配向膜の形成、ラビング処理が不要のためアレイ
化が非常に容易である。The pair of TEC fibers 601 facing each other
Even if the interval is widened, light can be coupled with a small amount of attenuation, so that the variable optical attenuator of the present embodiment can lower the coupling loss as compared with the case where a conventional optical fiber is used. In addition, the polymer dispersed liquid crystal layer 605
In this case, since formation of an alignment film and rubbing treatment are not required, arraying is very easy.
【００５９】なお、本実施の形態では、ＴＥＣファイバ
６０１を、Ｖ溝基板６０３のＶ溝に配列したファイバア
レイを用いたが、コアが拡大されたガラスまたは高分子
の光導波路でも同様の効果がある。In this embodiment, the fiber array in which the TEC fibers 601 are arranged in the V-groove of the V-groove substrate 603 is used. However, the same effect can be obtained by using a glass or polymer optical waveguide having an enlarged core. is there.
【００６０】［実施の形態４］本実施の形態の可変光減
衰器は、フィルム状の高分子分散型液晶素子を用いたア
レイ構成の可変光減衰器である。Fourth Embodiment A variable optical attenuator according to the present embodiment is a variable optical attenuator having an array configuration using a film-shaped polymer-dispersed liquid crystal element.
【００６１】図７は、本実施の形態のフィルム状の高分
子分散型液晶素子を用いたアレイ構成の可変光減衰器の
製造方法を説明するための図である。以下、図７を用い
て、本実施の形態の可変光減衰器の製造方法について説
明する。FIG. 7 is a diagram for explaining a method of manufacturing a variable optical attenuator having an array configuration using a film-like polymer-dispersed liquid crystal element of the present embodiment. Hereinafter, a method for manufacturing the variable optical attenuator of the present embodiment will be described with reference to FIG.
【００６２】まず、図７（ａ）に示すように、部分的に
コアが拡大されたコア拡大部７０２を備えるＴＥＣファ
イバ７０１を用意する。First, as shown in FIG. 7A, a TEC fiber 701 having a core enlarged portion 702 with a partially enlarged core is prepared.
【００６３】次に、図７（ｂ）に示すように、等間隔で
形成されたＶ溝アレイを備えるＶ溝基板７０３を用意
し、当該Ｖ溝基板７０３のＶ溝に、ＴＥＣファイバ７０
１を配列する。その際、Ｖ溝基板７０３のほぼ中心位置
に、コア拡大部７０２が位置するように配列し、接着剤
で接着・固定する。Next, as shown in FIG. 7B, a V-groove substrate 703 having V-groove arrays formed at equal intervals is prepared, and the TEC fiber 70 is provided in the V-groove of the V-groove substrate 703.
1 is arranged. At this time, the core enlarged portion 702 is arranged so as to be located substantially at the center of the V-groove substrate 703, and is bonded and fixed with an adhesive.
【００６４】次に、図７（ｃ）に示すように、Ｖ溝基板
７０３のＶ溝に配置、接着されたファイバアレイのコア
拡大部７０２を、ダイシングソー７０４で切削し、数μ
ｍから数十μｍの幅の溝（スリット）７０５を形成す
る。Next, as shown in FIG. 7C, the core enlarged portion 702 of the fiber array arranged and bonded in the V-groove of the V-groove substrate 703 is cut with a dicing saw 704 to obtain several μm.
A groove (slit) 705 having a width of m to several tens μm is formed.
【００６５】また、予め、図７（ｄ）に示すように、高
分子分散型液晶フィルム７０６を用意し、高分子分散型
液晶フィルム７０６の一方の面の全面に透明電極７０
７、および、他方の面にファイバアレイのピッチと同じ
ピッチのストライプ状の透明電極７０７を蒸着により形
成し、さらに取り出し電極として、フレキシブルケーブ
ル７０８を取り付け、フィルム状の高分子分散型液晶素
子を作成しておく。As shown in FIG. 7D, a polymer dispersed liquid crystal film 706 is prepared in advance, and a transparent electrode 70 is formed on one entire surface of the polymer dispersed liquid crystal film 706.
7, and a stripe-shaped transparent electrode 707 having the same pitch as that of the fiber array is formed on the other surface by vapor deposition, and a flexible cable 708 is further attached as an extraction electrode to produce a film-shaped polymer-dispersed liquid crystal element. Keep it.
【００６６】次に、図７（ｅ）に示すように、図７
（ｃ）で形成した溝７０５に、図７（ｄ）で作製したフ
ィルム状の高分子分散型液晶素子を挿入し、フィルム状
の高分子分散型液晶素子の透明電極７０７に、ＴＥＣフ
ァイバ７０１から出力された光ビームが入射するように
調整する。さらに、フィルム状の高分子分散型液晶素子
と溝７０５との空隙にマッチングオイル７０９を充填す
る。Next, as shown in FIG.
The polymer-dispersed liquid crystal element in the form of a film prepared in FIG. 7D is inserted into the groove 705 formed in FIG. Adjust so that the output light beam is incident. Further, a gap between the film-shaped polymer dispersed liquid crystal element and the groove 705 is filled with a matching oil 709.
【００６７】本方法によれば、ＴＥＣファイバ７０１の
位置合わせの必要もなく、非常に簡単にアレイ構成の可
変光減衰器を作成することができる。なお、本実施の形
態では、ＴＥＣファイバ７０１を、Ｖ溝基板７０３のＶ
溝に配列したファイバアレイを用いたが、コアが拡大さ
れたガラスまたは高分子の光導波路でも同様の効果があ
る。According to the present method, it is not necessary to align the TEC fiber 701, and a variable optical attenuator having an array configuration can be formed very easily. Note that, in the present embodiment, the TEC fiber 701 is
Although a fiber array arranged in grooves is used, a glass or polymer optical waveguide having an enlarged core has the same effect.
【００６８】［実施の形態５］本実施の形態の可変光減
衰器は、高分子分散型液晶層に平行方向の電界を印加す
るようにしたアレイ構成の可変光減衰器である。[Fifth Embodiment] The variable optical attenuator of the present embodiment is a variable optical attenuator having an array configuration in which an electric field in a parallel direction is applied to a polymer dispersed liquid crystal layer.
【００６９】図８は、本実施の形態の高分子分散型液晶
層に平行方向の電界を印加するようにしたアレイ構成の
可変光減衰器の製造方法を説明するための図である。以
下、図８を用いて、本実施の形態の可変光減衰器の製造
方法について説明する。FIG. 8 is a view for explaining a method of manufacturing a variable optical attenuator having an array configuration in which a parallel electric field is applied to the polymer-dispersed liquid crystal layer of the present embodiment. Hereinafter, a method of manufacturing the variable optical attenuator of the present embodiment will be described with reference to FIG.
【００７０】始めに、図８（ａ）に示すように、コア拡
大部を備えるＴＥＣファイバ８０１のコア拡大部分を切
断し、その端面を研磨する。当該ＴＥＣファイバ８０１
を、等間隔で形成されたＶ溝アレイを備えるＶ溝基板８
０２のＶ溝に配列し、ＴＥＣファイバ８０１の先端部と
Ｖ溝基板８０２の側面とが同じ面になるように接着剤で
接着・固定する。ここで、図８（ａ）の右側の側面図に
示すように、Ｖ溝基板８０２の側面には対向する一対の
電極（８０３，８０４）が形成される。この一対の電極
（８０３，８０４）には、電極取り出し用のフレキシブ
ルケーブル８０５が接続される。First, as shown in FIG. 8A, the enlarged core portion of the TEC fiber 801 having the enlarged core portion is cut, and its end face is polished. The TEC fiber 801
V-groove substrate 8 having V-groove arrays formed at equal intervals
The V-groove No. 02 is arranged in a V-groove, and the tip of the TEC fiber 801 and the side surface of the V-groove substrate 802 are bonded and fixed with an adhesive so that they are flush with each other. Here, as shown in the right side view of FIG. 8A, a pair of electrodes (803, 804) facing each other is formed on the side surface of the V-groove substrate 802. A flexible cable 805 for extracting electrodes is connected to the pair of electrodes (803, 804).
【００７１】次に、図８（ｂ）に示すように、図８
（ａ）に示すファイバアレイと対をなす、Ｖ溝基板８０
２のＶ溝にＴＥＣファイバ８０１が配列、固定された別
のファイバアレイを用意し、当該２個のファイバアレイ
を、数μｍから数十μｍのスペーサ８０６を挟んで対向
させ、入力側からの光が出力側にカップリングするよう
に張り合わせる。Next, as shown in FIG.
V-groove substrate 80 paired with the fiber array shown in FIG.
A second fiber array in which TEC fibers 801 are arranged and fixed in the V groove of No. 2 is prepared, and the two fiber arrays are opposed to each other with a spacer 806 of several μm to several tens μm interposed therebetween. Are bonded so as to couple to the output side.
【００７２】次に、図８（ｃ）に示すように、スペーサ
８０６により形成されるギャップの中に紫外線硬化型樹
脂とネマチック液晶を混合したものを充填し、紫外線を
照射して硬化させ、高分子分散型液晶層８０７を形成す
る。Next, as shown in FIG. 8C, the gap formed by the spacers 806 is filled with a mixture of an ultraviolet curable resin and a nematic liquid crystal, and is irradiated with ultraviolet rays to be cured. A molecular dispersion type liquid crystal layer 807 is formed.
【００７３】本実施の形態において、一対の電極（８０
３，８０４）に電圧を印加すると、図８（ｃ）の右側の
上面図に示すように、高分子分散型液晶層８０７には、
高分子分散型液晶層８０７に平行の電界が印加される。
なお、図８（ｃ）の右側の上面図において、８０８は、
一対の電極（８０３，８０４）間に電圧を印加すること
により、高分子分散型液晶層８０７に生成される電気力
線を示し、また、８０９はＴＥＣファイバ８０１から出
射された光ビームを示している。In this embodiment, a pair of electrodes (80
When a voltage is applied to (3, 804), as shown in the top view on the right side of FIG.
A parallel electric field is applied to the polymer dispersed liquid crystal layer 807.
In addition, in the top view on the right side of FIG.
Lines of electric force generated in the polymer-dispersed liquid crystal layer 807 by applying a voltage between the pair of electrodes (803, 804), and 809 indicates a light beam emitted from the TEC fiber 801. I have.
【００７４】前記実施の形態１ないし実施の形態４で
は、高分子分散型液晶層に対して、垂直方向の電界が印
加されたのに対し、本実施の形態では、高分子分散型液
晶層８０７に対して、平行方向に印加される。In the first to fourth embodiments, a vertical electric field is applied to the polymer dispersed liquid crystal layer. In the present embodiment, the polymer dispersed liquid crystal layer 807 is used. Is applied in a parallel direction.
【００７５】高分子分散型液晶では、印加電界の方向に
関わらず、電圧が印加されない時に散乱体として動作
し、電圧を印加するとともにその透過率が向上する。The polymer-dispersed liquid crystal operates as a scatterer when no voltage is applied regardless of the direction of the applied electric field, and the voltage is applied and the transmittance is improved.
【００７６】本実施の形態では、ＴＥＣファイバ８０１
から出射される光ビーム８０９の直径は高々数１０μｍ
であり、この部分の透過率は、ＴＥＣファイバ８０１の
両側に設けられた一対の電極（８０３，８０４）によっ
て制御可能である。In this embodiment, the TEC fiber 801
The diameter of the light beam 809 emitted from the light source is several tens μm at most.
The transmittance of this portion can be controlled by a pair of electrodes (803, 804) provided on both sides of the TEC fiber 801.
【００７７】なお、前記各実施の形態では、ＴＥＣファ
イバ８０１を、Ｖ溝基板８０２のＶ溝に配列したファイ
バアレイを用いたが、コアが拡大されたガラスまたは高
分子の光導波路でも同様の効果がある。In each of the above embodiments, the fiber array in which the TEC fibers 801 are arranged in the V-groove of the V-groove substrate 802 is used. However, the same effect can be obtained by using a glass or polymer optical waveguide having an enlarged core. There is.
【００７８】以上、本発明者によってなされた発明を、
前記実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明
は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは
勿論である。As described above, the invention made by the present inventor is:
Although a specific description has been given based on the above-described embodiment, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it is needless to say that various modifications can be made without departing from the gist of the invention.
【００７９】[0079]
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。The effects obtained by typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
【００８０】（１）本発明によれば、従来の液体の液晶
の代わりに、固体である高分子分散型液晶を用いるよう
にしたので、寿命を長くすることができ、かつ、配向膜
の塗布、ラビング処理が必要でなく、高分子分散型液晶
層を作成する際の制約を少なくすることが可能である。(1) According to the present invention, a solid polymer-dispersed liquid crystal is used instead of the conventional liquid crystal, so that the life can be extended and the alignment film is coated. Further, a rubbing treatment is not required, and it is possible to reduce restrictions when forming a polymer dispersed liquid crystal layer.
【００８１】（２）本発明によれば、高分子分散型液晶
層を、コアが拡大されたコアとクラッドとからなり光を
閉じ込めて伝搬させる部品で挟む構造としたので、電圧
が印加された時の最大透過率を高くすることが可能であ
る。(2) According to the present invention, the polymer-dispersed liquid crystal layer has a structure in which the core is formed of a core having an enlarged core and a clad, and the light is confined and propagated, so that a voltage is applied. It is possible to increase the maximum transmittance at the time.
【図１】本発明の実施の形態１の可変光減衰器の概略構
成を示す分解斜視図である。FIG. 1 is an exploded perspective view illustrating a schematic configuration of a variable optical attenuator according to a first embodiment of the present invention.
【図２】高分子分散型液晶素子の構造とその動作原理を
示す要部断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a main part showing a structure of a polymer dispersed liquid crystal element and an operation principle thereof.
【図３】本実施の形態２のアレイ構成の可変光減衰器の
構成を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a configuration of a variable optical attenuator having an array configuration according to a second embodiment.
【図４】本実施の形態２の高分子分散型液晶素子におけ
る、一対の透明基板に形成される透明電極パターン例を
示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of a transparent electrode pattern formed on a pair of transparent substrates in the polymer-dispersed liquid crystal device of the second embodiment.
【図５】本実施の形態２のコリメータアレイの一例の概
略構成を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view illustrating a schematic configuration of an example of a collimator array according to a second embodiment.
【図６】本実施の形態３のＴＥＣファイバで構成される
ファイバアレイに適用されるアレイ構成の可変光減衰器
の製造方法を説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining a method of manufacturing a variable optical attenuator having an array configuration applied to a fiber array including TEC fibers according to the third embodiment.
【図７】本実施の形態４のフィルム状の高分子分散型液
晶素子を用いたアレイ構成の可変光減衰器の製造方法を
説明するための図である。FIG. 7 is a diagram for explaining a method of manufacturing a variable optical attenuator having an array configuration using a film-shaped polymer-dispersed liquid crystal element according to the fourth embodiment.
【図８】本実施の形態５の高分子分散型液晶層に平行方
向の電界を印加するようにしたアレイ構成の可変光減衰
器の製造方法を説明するための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining a method of manufacturing a variable optical attenuator having an array configuration in which an electric field in a parallel direction is applied to the polymer-dispersed liquid crystal layer according to the fifth embodiment.
１０１，６０１，７０１，８０１…ＴＥＣファイバ、１
０２，２０３，４０２，４０３，４０４，６０２，７０
７…透明電極、１０３，６０５，８０７…高分子分散型
液晶層、１０４…コネクタのスリーブ、１０５，１０
８，５０７…光ファイバ、１０６…フェルール終端部の
金属部分、１０７…フェルール、１０９，６０６…取り
出し電極、１１０…液晶挿入用の穴、２０１…ネマチッ
ク液晶粒、２０２…高分子層、２０４，４０１…透明基
板、２０５…駆動電源、３０１…高分子分散型液晶素
子、３０２，３０３…光コリメータアレイ、３０４，３
０５，５０１…ファイバアレイ、４０６…引き出し電
極、４０７…薄膜抵抗、４０８…薄膜トランジスタ、５
０２，６０３，７０３，８０２…Ｖ溝基板、５０３…マ
イクロレンズアレイ、５０４…出力光ビームアレイ、５
０５…マイクロフェルールを納める枠、５０６…マイク
ロフェルール、６０４，８０６…スペーサ、７０２…コ
ア拡大部分、７０４…ダイシングソー、７０５…溝（ス
リット）、７０８，８０５…フレキシブルケーブル、７
０６…高分子分散型液晶フィルム、７０９…マッチング
オイル、８０３，８０４…電極、８０８…電気力線、８
０９…出射光ビーム。101, 601, 701, 801... TEC fiber, 1
02, 203, 402, 403, 404, 602, 70
7: Transparent electrode, 103, 605, 807: Polymer dispersed liquid crystal layer, 104: Connector sleeve, 105, 10
8,507: optical fiber, 106: metal part of ferrule termination, 107: ferrule, 109,606: extraction electrode, 110: hole for liquid crystal insertion, 201: nematic liquid crystal particle, 202: polymer layer, 204, 401 ... Transparent substrate, 205 ... Drive power supply, 301 ... Polymer dispersed liquid crystal element, 302,303 ... Optical collimator array, 304,3
05, 501: fiber array, 406: extraction electrode, 407: thin film resistor, 408: thin film transistor, 5
02, 603, 703, 802: V-groove substrate, 503: micro lens array, 504: output light beam array, 5
05: frame for storing micro ferrule, 506: micro ferrule, 604, 806: spacer, 702: core enlarged portion, 704: dicing saw, 705: groove (slit), 708, 805: flexible cable, 7
06: polymer dispersed liquid crystal film, 709: matching oil, 803, 804: electrodes, 808: lines of electric force, 8
09 ... Outgoing light beam.
Claims (11)
散型液晶層と、前記高分子分散型液晶層を挟んで設けら
れる電極と、前記高分子分散型液晶層を挟んで設けられ
るコアとクラッドとからなり光を閉じ込めて伝搬させる
部品とを備え、前記電極に電圧を印加して前記高分子分
散型液晶層の透過率を変化させることを特徴とする可変
光減衰器。1. A polymer-dispersed liquid crystal layer in which liquid crystal particles are dispersed in a polymer, an electrode provided with the polymer-dispersed liquid crystal layer interposed therebetween, and a polymer-dispersed liquid crystal layer provided with the polymer dispersed liquid crystal layer interposed therebetween. A variable optical attenuator, comprising: a component comprising a core and a clad for confining and propagating light, and applying a voltage to the electrode to change the transmittance of the polymer dispersed liquid crystal layer.
分散型液晶層と対向する側の先端部のコアが拡大されて
いることを特徴とする請求項１に記載された可変光減衰
器。2. The variable optical attenuator according to claim 1, wherein the component for transmitting the light has an enlarged core at an end portion on a side facing the polymer-dispersed liquid crystal layer. .
前記高分子分散型液晶層と対向する側の先端、あるいは
側面部に形成された透明電極であることを特徴とする請
求項１または請求項２に記載された可変光減衰器。3. The transparent electrode formed on a tip or a side face of the component for transmitting the light, the tip being on a side facing the polymer dispersed liquid crystal layer. The variable optical attenuator according to claim 2.
の高分子分散型液晶層であり、前記電極は、前記フィル
ム状の高分子分散型液晶層の両面に形成された透明電極
であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載
された可変光減衰器。4. The polymer dispersed liquid crystal layer is a film-shaped polymer dispersed liquid crystal layer, and the electrodes are transparent electrodes formed on both surfaces of the film polymer dispersed liquid crystal layer. The variable optical attenuator according to claim 1 or 2, wherein:
基板間に挟まれており、前記電極は、前記一対の透明基
板上に形成された透明電極であり、さらに、前記光を伝
搬させる部品の前記高分子分散型液晶層と対向する側の
先端に設けられるレンズまたはマイクロレンズアレイを
備えることを特徴とする請求項１に記載された可変光減
衰器。5. The polymer-dispersed liquid crystal layer is sandwiched between a pair of transparent substrates, the electrode is a transparent electrode formed on the pair of transparent substrates, and further transmits the light. The variable optical attenuator according to claim 1, further comprising a lens or a microlens array provided at a tip of a part to be made to face the polymer-dispersed liquid crystal layer.
バ、またはファイバアレイ、あるいは光導波路であるこ
とを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項
に記載された可変光減衰器。6. The variable optical attenuator according to claim 1, wherein the component for transmitting the light is an optical fiber, a fiber array, or an optical waveguide. .
散型液晶層と、前記高分子分散型液晶層を挟んで設けら
れる光ファイバ、あるいはファイバアレイと、前記光フ
ァイバ、あるいはファイバアレイが設置されるＶ溝付き
基板と、前記Ｖ溝付き基板の前記高分子分散型液晶層と
対向する面に、ファイバを挾むように形成された一対の
電極とを備え、前記一対の電極に電圧を印加して前記高
分子分散型液晶層の透過率を変化させることを特徴とす
る可変光減衰器。7. A polymer-dispersed liquid crystal layer in which liquid crystal particles are dispersed in a polymer, an optical fiber or fiber array provided with the polymer-dispersed liquid crystal layer interposed therebetween, and the optical fiber or fiber array. And a pair of electrodes formed on the surface of the V-grooved substrate facing the polymer-dispersed liquid crystal layer so as to sandwich the fiber, and applying a voltage to the pair of electrodes. A variable optical attenuator, wherein a voltage is applied to change the transmittance of the polymer dispersed liquid crystal layer.
散型液晶層と、前記高分子分散型液晶層を挟んで設けら
れる光導波路と、前記光導波路が形成される光導波路基
板の前記高分子分散型液晶層と対向する面に、光導波路
を挾むように形成された一対の電極とを備え、前記一対
の電極に電圧を印加して前記高分子分散型液晶層の透過
率を変化させることを特徴とする可変光減衰器。8. A polymer dispersed liquid crystal layer in which liquid crystal particles are dispersed in a polymer, an optical waveguide provided with the polymer dispersed liquid crystal layer interposed therebetween, and an optical waveguide substrate on which the optical waveguide is formed. On the surface facing the polymer dispersed liquid crystal layer, there is provided a pair of electrodes formed so as to sandwich the optical waveguide, and a voltage is applied to the pair of electrodes to change the transmittance of the polymer dispersed liquid crystal layer. A variable optical attenuator characterized in that:
イ、あるいは光導波路は、前記高分子分散型液晶層と対
向する側の先端部のコアが拡大されていることを特徴と
する請求項７または請求項８に記載された可変光減衰
器。9. The optical fiber, the fiber array, or the optical waveguide, wherein a core at an end portion on a side facing the polymer-dispersed liquid crystal layer is enlarged. 8. The variable optical attenuator according to 8.
クラッドとからなり光を閉じ込めて伝搬させる部品の、
当該コア拡大部分を略垂直に切断する工程と、当該切断
部に、両面に透明電極が形成されたフィルム状の高分子
分散型液晶層を挿入する工程とを備えることを特徴とす
る可変光減衰器の製造方法。10. A part, comprising a core and a clad, in which a part of the core is enlarged, for confining and propagating light,
A step of cutting the enlarged portion of the core substantially vertically, and a step of inserting a film-shaped polymer-dispersed liquid crystal layer having transparent electrodes formed on both sides into the cut portion, Method of manufacturing the vessel.
バ、またはファイバアレイ、あるいは光導波路であるこ
とを特徴とする請求項１０に記載された可変光減衰器の
製造方法。11. The method for manufacturing a variable optical attenuator according to claim 10, wherein the component for transmitting the light is an optical fiber, a fiber array, or an optical waveguide.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9204811A JPH1152339A (en) | 1997-07-30 | 1997-07-30 | Variable light attenuator and its production |
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| JPH1152339A true JPH1152339A (en) | 1999-02-26 |
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