JPH1151810A - Apparatus for inspecting lcd panel - Google Patents
Apparatus for inspecting lcd panelInfo
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- JPH1151810A JPH1151810A JP20587297A JP20587297A JPH1151810A JP H1151810 A JPH1151810 A JP H1151810A JP 20587297 A JP20587297 A JP 20587297A JP 20587297 A JP20587297 A JP 20587297A JP H1151810 A JPH1151810 A JP H1151810A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、ＬＣＤパネルの検査
装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection apparatus for an LCD panel.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ＬＣＤ（liquid crystal display) パネ
ルの検査は、人間の目視による検査が主流である。しか
し、近年、検査基準の定量化、生産性の向上のために自
動検査が試みられている。2. Description of the Related Art Inspection of LCD (liquid crystal display) panels is mainly performed by human visual inspection. However, in recent years, automatic inspection has been attempted in order to quantify inspection standards and improve productivity.
【０００３】ＬＣＤパネルの自動検査では、ＣＣＤ（ch
arge coupled device)カメラ等の撮像装置によってＬＣ
Ｄパネルが撮像され、その撮像画像の２値化画像に基づ
いて、ＬＣＤパネルの欠陥の検査が行なわれる。ＬＣＤ
パネルの欠陥には、点欠陥、線欠陥、面欠陥等がある。In an automatic inspection of an LCD panel, a CCD (ch)
LC by an imaging device such as a camera
The D panel is imaged, and the LCD panel is inspected for defects based on the binarized image of the image. LCD
Panel defects include point defects, line defects, and surface defects.
【０００４】ＬＣＤパネルの欠陥の検査においては、Ｌ
ＣＤパネルが全点灯状態である明画面の中に黒く現れる
暗側欠陥の検査（以下、暗側欠陥検査という）と、ＬＣ
Ｄパネルが全消灯状態である暗画面の中に白く現れる明
側欠陥の検査（以下、明側欠陥検査という）とが行なわ
れる。In the inspection for defects of the LCD panel, L
Inspection of a dark side defect appearing black in a bright screen where the CD panel is fully lit (hereinafter referred to as dark side defect inspection), and LC
Inspection of a light-side defect that appears white in a dark screen in which the D panel is completely turned off (hereinafter, referred to as a light-side defect inspection) is performed.
【０００５】従来の暗側欠陥検査および明側欠陥検査を
行なう装置においては、一般的に、ＬＣＤパネルを撮像
するＣＣＤカメラは、ＬＣＤパネルの法線方向と平行に
設置されている。In a conventional apparatus for performing a dark side defect inspection and a light side defect inspection, a CCD camera for picking up an image on an LCD panel is generally installed in parallel with a normal direction of the LCD panel.
【０００６】また、欠陥がより抽出されやすい画像を得
るために、ＬＣＤパネルの法線方向に対して所定の視角
だけ傾斜した状態でビテオカメラが設置されている場合
もある（特開平８−１７８８００号公報参照）。しかし
ながら、いずれにしても、暗側欠陥検査および明側欠陥
検査は、同じ位置に設置された１台のＣＣＤカメラによ
って撮像された画像に基づいて行なわれている。Further, in order to obtain an image from which defects can be more easily extracted, a video camera may be installed in a state of being inclined by a predetermined viewing angle with respect to the normal direction of the LCD panel (Japanese Patent Laid-Open No. 8-178800). Gazette). However, in any case, the dark side defect inspection and the light side defect inspection are performed based on an image taken by one CCD camera installed at the same position.
【０００７】本出願の発明者は、欠陥を抽出するのに最
適なＣＣＤカメラの傾き角度が、暗側欠陥検査を行なう
場合と、明側欠陥検査を行なう場合とにおいて異なるこ
とを発見した。The inventor of the present application has found that the optimal inclination angle of the CCD camera for extracting a defect is different between when performing a dark side defect inspection and when performing a bright side defect inspection.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】この発明は、暗側欠陥
検査および明側欠陥検査において、欠陥を抽出するのに
最適な画像を得ることができるＬＣＤパネルの検査装置
を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an LCD panel inspection apparatus capable of obtaining an optimum image for extracting defects in a dark side defect inspection and a light side defect inspection. I do.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】この発明によるＬＣＤパ
ネルの検査装置は、ＬＣＤパネルを撮像する暗側欠陥検
査用の第１の撮像装置と、ＬＣＤパネルを撮像する明側
欠陥検査用の第２の撮像装置と、第１の撮像装置によっ
て撮像された画像に基づいて暗側欠陥検査を行なう第１
の検査処理手段と、第２の撮像装置によって撮像された
画像に基づいて明側欠陥検査を行なう第２の検査処理手
段とを備えており、第１の撮像装置は、ＬＣＤパネルの
法線方向に対して、暗側欠陥のコントラストが最大とな
るような視角だけ傾斜した状態で配置されており、第２
の撮像装置は、ＬＣＤパネルの法線方向に対して、明側
欠陥のコントラストが最大となるような視角だけ傾斜し
た状態で配置されていることを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION An LCD panel inspection apparatus according to the present invention comprises a first image pickup apparatus for dark side defect inspection for imaging an LCD panel, and a second image pickup apparatus for bright side defect inspection for imaging an LCD panel. And a first apparatus for performing a dark side defect inspection based on an image captured by the first image capturing apparatus.
Inspection processing means, and second inspection processing means for performing a light-side defect inspection based on an image picked up by the second imaging device, wherein the first imaging device has a normal direction of the LCD panel. Is arranged in a state of being inclined by a viewing angle such that the contrast of the dark side defect is maximized.
Is characterized in that it is arranged in such a manner that it is inclined with respect to the normal direction of the LCD panel by a viewing angle that maximizes the contrast of the bright side defect.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて説明する。Embodiments of the present invention will be described below.
【００１１】〔１〕ＬＣＤパネル検査装置の構成の説明[1] Description of the configuration of the LCD panel inspection apparatus
【００１２】図１は、ＬＣＤパネル検査装置の構成を示
している。ＬＣＤパネル検査装置は、ＬＣＤパネル１に
背面から光を当てるバックライト２、ＬＣＤパネル１を
駆動するためのＬＣＤ駆動部３、ＬＣＤパネル１を撮像
するための２台のＣＣＤカメラ１１、１２、ＣＣＤカメ
ラ１１または１２によって撮像された画像に対して画像
処理を行なう画像処理装置４、ＣＣＤカメラ１１、１２
によって撮像された画像等を表示するためのモニタ５な
らびに画像処理装置４およびＬＣＤ駆動部３を制御する
ためのパーソナルコンピュータ６を備えている。FIG. 1 shows the configuration of an LCD panel inspection apparatus. The LCD panel inspection apparatus includes a backlight 2 for illuminating the LCD panel 1 from behind, an LCD driving unit 3 for driving the LCD panel 1, two CCD cameras 11 and 12 for imaging the LCD panel 1, and a CCD. An image processing device 4 for performing image processing on an image captured by the camera 11 or 12, the CCD cameras 11 and 12
A monitor 5 for displaying an image or the like captured by the computer and a personal computer 6 for controlling the image processing device 4 and the LCD drive unit 3 are provided.
【００１３】第１のＣＣＤカメラ１１は、暗側欠陥検査
を行なう際に使用されるカメラであり、ＬＣＤパネルの
法線方向に対して、視角θ１だけ傾斜した状態で配置さ
れている。第２のＣＣＤカメラ１２は、明側欠陥検査を
行なう際に使用されるカメラであり、ＬＣＤパネルの法
線方向に対して、視角θ２だけ傾斜した状態で配置され
ている。The first CCD camera 11 is a camera used when performing a dark side defect inspection, and is arranged so as to be inclined by a viewing angle θ1 with respect to the normal direction of the LCD panel. The second CCD camera 12 is a camera used for performing a light-side defect inspection, and is arranged so as to be inclined by a viewing angle θ2 with respect to the normal direction of the LCD panel.
【００１４】〔２〕θ１およびθ２の設定方法の説明[2] Description of the method of setting θ1 and θ2
【００１５】〔２−１〕θ１の設定方法 まず、予め用意したＬＣＤパネルを検査装置にセットす
る。そして、ＬＣＤパネルを全点灯状態にする。そし
て、第１のＣＣＤカメラ１１の視角θをそれぞれ変化さ
せてＬＣＤパネルを撮像する。[2-1] Setting method of θ1 First, an LCD panel prepared in advance is set in the inspection apparatus. Then, the LCD panel is set to the full lighting state. Then, the viewing angle θ of the first CCD camera 11 is changed to image the LCD panel.
【００１６】図２は、撮像画像の一例を示している。図
２において、ａは欠陥のない正常部分を示し、ｂは暗側
欠陥部を示している。FIG. 2 shows an example of a captured image. In FIG. 2, a indicates a normal portion having no defect, and b indicates a dark side defective portion.
【００１７】各視角θ毎の撮像画像それぞれについて、
次の数式１に基づいて暗側欠陥部のコントラストＣを算
出する。For each captured image for each viewing angle θ,
The contrast C of the dark side defect portion is calculated based on the following equation (1).
【００１８】[0018]
【数１】 (Equation 1)
【００１９】数式１において、Ｌａは正常部分ａの輝度
値であり、Ｌｂは暗側欠陥部ｂの輝度値である。In equation (1), La is the luminance value of the normal part a, and Lb is the luminance value of the dark side defect part b.
【００２０】各視角θｉ毎に得られた暗側欠陥部のコン
トラストＣから図３に示すような視角θに対するコント
ラストの特性曲線を求める。そして、コントラストＣが
最大となるθを、最適な視角θ１として設定する。From the contrast C of the dark side defect obtained for each viewing angle θi, a contrast characteristic curve for the viewing angle θ as shown in FIG. 3 is obtained. Then, θ at which the contrast C is maximized is set as the optimal viewing angle θ1.
【００２１】〔２−２〕θ２の設定方法 まず、予め用意したＬＣＤパネルを検査装置にセットす
る。そして、ＬＣＤパネルを全消灯状態にする。そし
て、第２のＣＣＤカメラ１２の視角θをそれぞれ変化さ
せてＬＣＤパネルを撮像する。[2-2] Setting method of θ2 First, an LCD panel prepared in advance is set in the inspection apparatus. Then, the LCD panel is completely turned off. Then, the LCD panel is imaged while changing the viewing angle θ of the second CCD camera 12.
【００２２】そして、各視角θ毎の撮像画像それぞれに
ついて、次の数式２に基づいて明側欠陥部のコントラス
トＣを算出する。Then, the contrast C of the bright side defect portion is calculated based on the following equation 2 for each of the captured images for each viewing angle θ.
【００２３】[0023]
【数２】 (Equation 2)
【００２４】数式２において、Ｌａは正常部分ａの輝度
値であり、Ｌｂは明側欠陥部ｂの輝度値である。In Equation 2, La is the luminance value of the normal portion a, and Lb is the luminance value of the light-side defect b.
【００２５】各視角θ毎に得られた明側欠陥部のコント
ラストＣから図３に示すような視角θに対するコントラ
ストの特性曲線を求める。そして、コントラストＣが最
大となるθを、最適な視角θ２として設定する。From the contrast C of the bright side defect obtained for each viewing angle θ, a characteristic curve of the contrast with respect to the viewing angle θ as shown in FIG. 3 is obtained. Then, θ at which the contrast C is maximized is set as the optimal viewing angle θ2.
【００２６】〔３〕画像処理部およびパーソナルコンピ
ュータによって行なわれる欠陥検査処理の説明[3] Description of Defect Inspection Processing Performed by Image Processing Unit and Personal Computer
【００２７】ＬＣＤパネルの撮像画像では、照明の不均
一性、モアレの発生等により、欠陥がない場合でも、撮
像画像内部の各位置によって輝度が変化してしまう。た
とえば、ある水平ラインに対する輝度分布は、図４の元
画像のようになる。図４において、ピーク部分Ｐ１は明
側の点欠陥または線欠陥であり、ピーク部分Ｐ２は暗側
の点欠陥または線欠陥である。ピーク部分以外の定常部
分は、同じ輝度値ではなく緩やかに変化していることが
分かる。In the captured image of the LCD panel, the luminance varies depending on each position in the captured image even if there is no defect due to unevenness of illumination, occurrence of moire, and the like. For example, the luminance distribution for a certain horizontal line is as shown in the original image in FIG. In FIG. 4, a peak portion P1 is a light-side point defect or a line defect, and a peak portion P2 is a dark-side point defect or a line defect. It can be seen that the steady portion other than the peak portion is not the same luminance value but changes slowly.
【００２８】このような撮像画像が得られた場合に、暗
側の点欠陥または線欠陥を抽出するために、ピーク部分
Ｐ２を抽出できるしきい値を用いて撮像画像を２値化す
ると、定常部分の一部もしきい値以下となって欠陥とし
て抽出されてしまうおそれがある。When such a picked-up image is obtained, if the picked-up image is binarized using a threshold for extracting the peak portion P2 in order to extract a point defect or a line defect on the dark side, There is a possibility that a part of the portion may be below the threshold value and may be extracted as a defect.
【００２９】このような誤抽出を防止するために、図４
に示すように、元画像からその平滑化画像を減算した
後、所定の輝度値、この例では”１２８”を加算するこ
とによって、定常部分が一定の輝度値となる画像（以
下、平滑−差分画像という）を生成し、平滑−差分画像
に対してしきい値η１またはη２を用いて２値化を行な
うことが考えられる。To prevent such erroneous extraction, FIG.
As shown in (1), after the smoothed image is subtracted from the original image, a predetermined luminance value, in this example, "128" is added to the image so that the steady portion has a constant luminance value (hereinafter referred to as "smooth-difference"). (Referred to as an image), and binarizing the smoothed-difference image using the threshold η1 or η2.
【００３０】このような考え方は、欠陥部分がピーク部
分として現れる線欠陥および点欠陥を抽出する場合には
好適であるが、欠陥部分がピーク部分として現れない面
欠陥を抽出することは困難である。Such a concept is suitable for extracting a line defect and a point defect where a defective portion appears as a peak portion, but it is difficult to extract a surface defect where the defective portion does not appear as a peak portion. .
【００３１】例えば、図５に示すように、面欠陥部分Ｑ
と、線欠陥または点欠陥部分Ｐ１、Ｐ２とを含む元画像
からその平滑化画像を減算した後、所定の輝度値を加算
することによって平滑−差分画像を生成した場合には、
得られた平滑−差分画像には、面欠陥部分Ｑは現れなく
なる。したがって、線欠陥および点欠陥は平滑−差分画
像の２値化画像に基づいて抽出し、面欠陥は元画像の２
値化画像に基づいて抽出することが好ましい。For example, as shown in FIG.
And after subtracting the smoothed image from the original image including the line defect or point defect portions P1 and P2, and then adding a predetermined luminance value to generate a smoothed-difference image,
The surface defect portion Q does not appear in the obtained smoothed-difference image. Therefore, line defects and point defects are extracted based on the binarized image of the smoothed-difference image, and surface defects are extracted based on the binary image of the original image.
It is preferable to extract based on the binarized image.
【００３２】しかしながら、線欠陥および点欠陥を平滑
−差分画像の２値化画像に基づいて抽出する場合には、
次のような問題がある。However, when extracting line defects and point defects based on the binarized image of the smoothed-difference image,
There are the following problems.
【００３３】つまり、図６に示すように、輝度差の大き
な欠陥、この例では暗側の面欠陥が存在する場合、その
平滑−差分画像には、元画像の面欠陥の境界部分の内側
に暗側のピーク部分Ｐ１が、元画像の面欠陥の境界部分
の外側に明側のピーク部分Ｐ２が発生するため、これら
を点欠陥として誤抽出するおそれがある。That is, as shown in FIG. 6, when there is a defect having a large luminance difference, in this example, a surface defect on the dark side, the smoothed-difference image includes the defect inside the boundary between the surface defects of the original image. Since the peak part P1 on the dark side has a peak part P2 on the light side outside the boundary part of the surface defect of the original image, there is a possibility that these may be erroneously extracted as point defects.
【００３４】このような誤抽出を防止するためには、ピ
ーク部分Ｐ１およびＰ２を含む様な大きさの面欠陥マス
クを用いて、平滑−差分画像からピーク部分Ｐ１および
Ｐ２を除去した後、線欠陥または点欠陥の抽出を行なえ
ばよい。In order to prevent such erroneous extraction, the peak portions P1 and P2 are removed from the smoothed-difference image using a surface defect mask having a size including the peak portions P1 and P2, and then the line is removed. Defects or point defects may be extracted.
【００３５】図７は、以上のような考え方を採用したＬ
ＣＤパネルの検査方法を示している。FIG. 7 shows L which adopts the above concept.
9 shows a method for inspecting a CD panel.
【００３６】暗側欠陥検査においては、第１のＣＣＤカ
メラ１１によって検査対象のＬＣＤパネル１が撮像され
る。そして、得られた撮像画像に基づいて、欠陥検査処
理が行なわれる。In the dark side defect inspection, the LCD panel 1 to be inspected is imaged by the first CCD camera 11. Then, a defect inspection process is performed based on the obtained captured image.
【００３７】明側欠陥検査においては、第２のＣＣＤカ
メラ１２によって検査対象のＬＣＤパネル１が撮像され
る。そして、得られた撮像画像に基づいて、欠陥検査処
理が行なわれる。In the light side defect inspection, the LCD panel 1 to be inspected is imaged by the second CCD camera 12. Then, a defect inspection process is performed based on the obtained captured image.
【００３８】暗側欠陥検査および明側欠陥検査のいずれ
においても、取り込まれた画像に対する処理はほとんど
同じであるので、ここでは、明側欠陥検査についてのみ
説明する。また、撮像画像は、白が”２５５”、黒が”
０”の２５６階調の濃淡画像であるものとする。また、
ＣＣＤカメラの画素数に応じた解像度の画像をＣＣＤ画
像といい、ＬＣＤパネルの画素数に応じた解像度の画像
をＬＣＤ画像ということにする。In both the dark side defect inspection and the light side defect inspection, the processing for the captured image is almost the same, so only the light side defect inspection will be described here. In the captured image, white is “255” and black is “255”.
It is assumed that the image is a grayscale image of 256 gradations of 0 ″.
An image having a resolution corresponding to the number of pixels of the CCD camera is referred to as a CCD image, and an image having a resolution corresponding to the number of pixels of the LCD panel is referred to as an LCD image.
【００３９】まず、ＣＣＤカメラの画素とＬＣＤパネル
の画素との対応関係が記憶されたインデックステーブル
に基づいてＣＣＤ画像がＬＣＤ画像に変換される。これ
により、ＬＣＤ画像Ａが得られる。First, a CCD image is converted to an LCD image based on an index table in which the correspondence between the pixels of the CCD camera and the pixels of the LCD panel is stored. Thereby, an LCD image A is obtained.
【００４０】得られたＬＣＤ画像Ａに対して、平滑化処
理が行なわれることにより、平滑化ＬＣＤ画像Ｂが得ら
れる。By performing a smoothing process on the obtained LCD image A, a smoothed LCD image B is obtained.
【００４１】平滑化ＬＣＤ画像Ｂが得られると、線およ
び点欠陥抽出用画像の生成処理が行なわれるとともに面
欠陥マスク生成処理が行なわれる。When the smoothed LCD image B is obtained, a process for generating a line and point defect extracting image and a process for generating a plane defect mask are performed.
【００４２】線および点欠陥抽出用画像の生成処理にお
いては、ＬＣＤ画像Ａと、平滑化ＬＣＤ画像Ｂとの差分
が取られることにより、平滑−差分画像が生成される。
そして、平滑−差分画像が２値化されることにより、平
滑−差分画像の２値化画像Ｃが得られる。In the process of generating a line and point defect extraction image, a difference between the LCD image A and the smoothed LCD image B is obtained, thereby generating a smoothed-difference image.
Then, the binarized image of the smoothed-differential image C is obtained by binarizing the smoothed-differential image.
【００４３】この平滑−差分画像の２値化画像Ｃにおい
て、白の縦線は、線欠陥を示し、右下の３つの白点は点
欠陥を示し、左上の５つの白点は図６で説明した理由に
よって面欠陥の境界部に発生した偽点欠陥を示してい
る。In this binarized image C of the smoothed-difference image, white vertical lines indicate line defects, three white points at the lower right indicate point defects, and five white points at the upper left in FIG. This shows a false point defect that has occurred at the boundary of a surface defect for the reason described.
【００４４】面欠陥マスク生成処理では、まず、平滑化
ＬＣＤ画像Ｂに対して２値化処理が施されることによ
り、平滑化ＬＣＤ画像の２値化画像Ｄが得られる。この
平滑化ＬＣＤ画像の２値化画像Ｄでは、面欠陥、線欠陥
および点欠陥が現れている。この平滑化ＬＣＤ画像の２
値化画像Ｄには、図示されていないが、実際には、面欠
陥の周囲、線欠陥の延長上等に偽点欠陥が発生してい
る。In the plane defect mask generation processing, first, a binarization processing is performed on the smoothed LCD image B, thereby obtaining a binarized image D of the smoothed LCD image. In the binarized image D of the smoothed LCD image, surface defects, line defects, and point defects appear. 2 of this smoothed LCD image
Although not shown in the digitized image D, a false point defect has actually occurred around a surface defect, an extension of a line defect, or the like.
【００４５】得られた平滑化ＬＣＤ画像の２値化画像Ｄ
に対して、線欠陥、点欠陥および偽点欠陥を除去するた
めに収縮処理が２回施される。この後、収縮処理後の画
像に残った面欠陥を元の大きさより大きくするために、
収縮処理によって得られた画像に対して膨張処理が４回
施される。これにより、面欠陥マスク画像Ｅが得られ
る。A binarized image D of the obtained smoothed LCD image
Are subjected to a shrinking process twice to remove line defects, point defects and false point defects. After that, in order to make the surface defect remaining in the image after the shrinkage process larger than the original size,
An expansion process is performed four times on the image obtained by the contraction process. Thus, a surface defect mask image E is obtained.
【００４６】このようにして、平滑−差分画像の２値化
画像Ｃが生成されるとともに、面欠陥マスク画像Ｅが生
成されると、平滑−差分画像の２値化画像Ｃにおいて面
欠陥の境界で発生した偽点欠陥を面欠陥マスク画像Ｅで
マスクするために、平滑−差分画像の２値化画像Ｃと面
欠陥マスク画像Ｅとの論理和（ＯＲ）が演算される。こ
れにより、画像Ｆが得られる。つまり、両画像において
共に黒”０”である部分以外は、白”１”となる画像が
得られる。As described above, when the binarized image C of the smoothed-difference image is generated and the plane defect mask image E is generated, the boundary of the plane defect in the binarized image C of the smoothed-difference image is obtained. In order to mask the false point defect generated in the above with the surface defect mask image E, a logical sum (OR) of the binarized image C of the smoothed-difference image and the surface defect mask image E is calculated. Thus, an image F is obtained. In other words, an image that is white “1” is obtained except for a portion where both images are black “0”.
【００４７】次に、得られた画像Ｆに対してラベリング
処理が行なわれる。そして、ラベル付けされた画像に対
して、面欠陥、線欠陥または点欠陥の識別処理が行なわ
れることにより、面欠陥、線欠陥および点欠陥がそれぞ
れ抽出される。Next, a labeling process is performed on the obtained image F. Then, by performing a process of identifying a surface defect, a line defect, or a point defect on the labeled image, the surface defect, the line defect, and the point defect are respectively extracted.
【００４８】[0048]
【発明の効果】この発明によれば、暗側欠陥検査および
明側欠陥検査において、欠陥を抽出するのに最適な画像
を得ることができるようになる。According to the present invention, in a dark side defect inspection and a light side defect inspection, an image optimal for extracting a defect can be obtained.
【図１】ＬＣＤパネル検査装置の構成を示す構成図であ
る。FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of an LCD panel inspection device.
【図２】ＬＣＤパネルの撮像画像の一例を示す模式図で
ある。FIG. 2 is a schematic diagram illustrating an example of a captured image of an LCD panel.
【図３】各視角θｉ毎に得られた暗側欠陥部のコントラ
ストＣから求められた、視角θに対するコントラストの
特性曲線を示すグラフである。FIG. 3 is a graph showing a characteristic curve of contrast with respect to a viewing angle θ obtained from a contrast C of a dark side defect portion obtained for each viewing angle θi.
【図４】点または線欠陥を有する元画像と、その平滑−
差分画像とを示す模式図である。FIG. 4 shows an original image having a point or line defect and its smoothness.
It is a schematic diagram which shows a difference image.
【図５】点または線欠陥および面欠陥を有する元画像
と、その平滑−差分画像とを示す模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing an original image having a point or line defect and a surface defect, and a smoothed-difference image thereof.
【図６】輝度差の大きい面欠陥を有する元画像と、その
平滑−差分画像とを示す模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram showing an original image having a surface defect with a large luminance difference and a smoothed-difference image thereof.
【図７】ＬＣＤパネルの検査処理手順を示すフローチャ
ートである。FIG. 7 is a flowchart showing an inspection processing procedure of the LCD panel.
１ ＬＣＤパネル ２ バックライト ３ ＬＣＤ駆動部 ４ 画像処理装置 ５ モニタ ６ パーソナルコンピュータ １１、１２ ＣＣＤカメラ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 LCD panel 2 Backlight 3 LCD drive part 4 Image processing device 5 Monitor 6 Personal computer 11, 12 CCD camera
Claims (1)
の第１の撮像装置と、ＬＣＤパネルを撮像する明側欠陥
検査用の第２の撮像装置と、第１の撮像装置によって撮
像された画像に基づいて暗側欠陥検査を行なう第１の検
査処理手段と、第２の撮像装置によって撮像された画像
に基づいて明側欠陥検査を行なう第２の検査処理手段と
を備えており、 第１の撮像装置は、ＬＣＤパネルの法線方向に対して、
暗側欠陥のコントラストが最大となるような視角だけ傾
斜した状態で配置されており、第２の撮像装置は、ＬＣ
Ｄパネルの法線方向に対して、明側欠陥のコントラスト
が最大となるような視角だけ傾斜した状態で配置されて
いるＬＣＤパネルの検査装置。1. A first imaging device for dark side defect inspection for imaging an LCD panel, a second imaging device for bright side defect inspection for imaging an LCD panel, and an image taken by the first imaging device. A first inspection processing unit that performs a dark side defect inspection based on an image; and a second inspection processing unit that performs a bright side defect inspection based on an image captured by a second imaging device. The first imaging device is arranged in a direction normal to the LCD panel.
The second imaging device is arranged in a state of being inclined by a viewing angle such that the contrast of the dark side defect is maximized.
An inspection apparatus for an LCD panel which is arranged in a state of being inclined with respect to a normal direction of a D panel by a viewing angle so as to maximize the contrast of a bright side defect.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20587297A JPH1151810A (en) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | Apparatus for inspecting lcd panel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20587297A JPH1151810A (en) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | Apparatus for inspecting lcd panel |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1151810A true JPH1151810A (en) | 1999-02-26 |
Family
ID=16514133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20587297A Pending JPH1151810A (en) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | Apparatus for inspecting lcd panel |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1151810A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007285869A (en) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Denso Corp | Surface inspection system and surface inspection method |
| JP5201350B2 (en) * | 2006-07-14 | 2013-06-05 | 株式会社ニコン | Surface inspection device |
| CN111381391A (en) * | 2018-12-27 | 2020-07-07 | 光远科技股份有限公司 | Display device |
-
1997
- 1997-07-31 JP JP20587297A patent/JPH1151810A/en active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007285869A (en) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Denso Corp | Surface inspection system and surface inspection method |
| JP5201350B2 (en) * | 2006-07-14 | 2013-06-05 | 株式会社ニコン | Surface inspection device |
| KR101382020B1 (en) * | 2006-07-14 | 2014-04-04 | 가부시키가이샤 니콘 | Surface inspecting apparatus |
| CN111381391A (en) * | 2018-12-27 | 2020-07-07 | 光远科技股份有限公司 | Display device |
| CN111381391B (en) * | 2018-12-27 | 2023-04-18 | 光远科技股份有限公司 | Display device |
| US11750910B2 (en) | 2018-12-27 | 2023-09-05 | Dynascan Technology Corp. | Display apparatus |
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