JPH1151693A - リニアエンコーダ装置 - Google Patents
リニアエンコーダ装置Info
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- JPH1151693A JPH1151693A JP9224209A JP22420997A JPH1151693A JP H1151693 A JPH1151693 A JP H1151693A JP 9224209 A JP9224209 A JP 9224209A JP 22420997 A JP22420997 A JP 22420997A JP H1151693 A JPH1151693 A JP H1151693A
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- linear encoder
- encoder device
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- linear
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/008—Systems with a plurality of bearings, e.g. four carriages supporting a slide on two parallel rails
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C41/00—Other accessories, e.g. devices integrated in the bearing not relating to the bearing function as such
- F16C41/007—Encoders, e.g. parts with a plurality of alternating magnetic poles
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/003—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring position, not involving coordinate determination
-
- G—PHYSICS
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/023—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
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- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
- G01D5/2451—Incremental encoders
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K29/00—Motors or generators having non-mechanical commutating devices, e.g. discharge tubes or semiconductor devices
- H02K29/06—Motors or generators having non-mechanical commutating devices, e.g. discharge tubes or semiconductor devices with position sensing devices
- H02K29/08—Motors or generators having non-mechanical commutating devices, e.g. discharge tubes or semiconductor devices with position sensing devices using magnetic effect devices, e.g. Hall-plates, magneto-resistors
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 長尺な位置測定が可能で、長尺で高速な案内
装置に配設するのに最適であり、しかも簡単な構成でな
るリニアエンコーダ装置を提供すること。 【解決手段】 長手状の矩形板状でなる基板に、長手方
向に所定の等ピッチで第１のホールＩＣを配設し、およ
び、この第１のホールＩＣと長手方向に９０度の位相差
でずれた位置から前記等ピッチで第２のホールＩＣを配
設し、テーブルに、これら第１のホールＩＣおよび第２
のホールＩＣと対向して前記等ピッチの２分の１の長さ
の単一で矩形板状の界磁マグネット２を配設して構成し
たものでなること。
装置に配設するのに最適であり、しかも簡単な構成でな
るリニアエンコーダ装置を提供すること。 【解決手段】 長手状の矩形板状でなる基板に、長手方
向に所定の等ピッチで第１のホールＩＣを配設し、およ
び、この第１のホールＩＣと長手方向に９０度の位相差
でずれた位置から前記等ピッチで第２のホールＩＣを配
設し、テーブルに、これら第１のホールＩＣおよび第２
のホールＩＣと対向して前記等ピッチの２分の１の長さ
の単一で矩形板状の界磁マグネット２を配設して構成し
たものでなること。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば工作機械や
産業用ロボットなどの相対運動を行う機構部分に用いら
れて位置検出を行うリニアエンコーダ装置に関し、特に
長尺な位置測定が可能で、長尺で高速な案内装置に配設
するのに最適であり、しかも簡単な構成でなるリニアエ
ンコーダ装置に関する。
産業用ロボットなどの相対運動を行う機構部分に用いら
れて位置検出を行うリニアエンコーダ装置に関し、特に
長尺な位置測定が可能で、長尺で高速な案内装置に配設
するのに最適であり、しかも簡単な構成でなるリニアエ
ンコーダ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のリニアエンコーダ装置において、
特開平５−３４０４２６号に開示されたものがある。図
５は、この従来のリニアエンコーダ装置の要部を拡大し
た説明図である。
特開平５−３４０４２６号に開示されたものがある。図
５は、この従来のリニアエンコーダ装置の要部を拡大し
た説明図である。
【０００３】図５に示すように、このリニアエンコーダ
装置は、可動側の図示せぬテーブルに取り付けられ長手
方向Ａに移動する被検知素子である永久磁石１０１と、
固定側の検知素子である磁電変換素子１０２とで構成さ
れている。永久磁石１０１は、矢印Ａで示す移動方向
に、Ｓ極、Ｎ極が交互に配列され８極着磁でなってい
る。磁電変換素子１０２は、永久磁石１０１と対面し
て、固定側の基板１０３上に所定の間隔で一列に配設さ
れている。
装置は、可動側の図示せぬテーブルに取り付けられ長手
方向Ａに移動する被検知素子である永久磁石１０１と、
固定側の検知素子である磁電変換素子１０２とで構成さ
れている。永久磁石１０１は、矢印Ａで示す移動方向
に、Ｓ極、Ｎ極が交互に配列され８極着磁でなってい
る。磁電変換素子１０２は、永久磁石１０１と対面し
て、固定側の基板１０３上に所定の間隔で一列に配設さ
れている。
【０００４】このリニアエンコーダ装置による位置の検
出および方向の検出は、永久磁石１０１が矢印Ａ方向に
移動すると、永久磁石１０１に対応する磁電変換素子１
０２が磁界の変化に応じて抵抗値が変化し、順次、隣接
する磁電変換素子１０２に磁界変化が発生し同様の抵抗
変化が連続するので、この抵抗値の変化を検出すること
によっておこなわれる。なお、前記抵抗値の変化は、永
久磁石１０１が多極着磁され、この場合、８極着磁でな
っているので、各磁電変換素子１０２で永久磁石１０１
の極数に応じた、この場合４サイクルの出力信号となっ
ている。
出および方向の検出は、永久磁石１０１が矢印Ａ方向に
移動すると、永久磁石１０１に対応する磁電変換素子１
０２が磁界の変化に応じて抵抗値が変化し、順次、隣接
する磁電変換素子１０２に磁界変化が発生し同様の抵抗
変化が連続するので、この抵抗値の変化を検出すること
によっておこなわれる。なお、前記抵抗値の変化は、永
久磁石１０１が多極着磁され、この場合、８極着磁でな
っているので、各磁電変換素子１０２で永久磁石１０１
の極数に応じた、この場合４サイクルの出力信号となっ
ている。
【０００５】このリニアエンコーダ装置は、移動方向Ａ
における永久磁石１０１の全長をＭ、永久磁石１０１の
各磁極（Ｎ，Ｓ）の配列ピッチをｔ、各磁電変換素子１
０２の配列ピッチをＰとすると、Ｍ＝Ｐ−ｔとなってい
る。
における永久磁石１０１の全長をＭ、永久磁石１０１の
各磁極（Ｎ，Ｓ）の配列ピッチをｔ、各磁電変換素子１
０２の配列ピッチをＰとすると、Ｍ＝Ｐ−ｔとなってい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来のリニアエンコー
ダ装置は、磁電変換素子１０２が固定側である基板１０
３上に配設され検出信号も前記固定側から得られるの
で、可動側からの信号処理用の接続ケーブルが不要であ
り前記接続ケーブルを引きずることがない利点を有して
いる。しかし、多極着磁された永久磁石１０１に対応し
て磁電変換素子１０２の出力信号がアナログ正弦波信号
でなっているので、この正弦波信号を処理するために増
幅回路、演算処理回路等の信号処理回路が必要となって
制御装置が複雑化する問題がある。
ダ装置は、磁電変換素子１０２が固定側である基板１０
３上に配設され検出信号も前記固定側から得られるの
で、可動側からの信号処理用の接続ケーブルが不要であ
り前記接続ケーブルを引きずることがない利点を有して
いる。しかし、多極着磁された永久磁石１０１に対応し
て磁電変換素子１０２の出力信号がアナログ正弦波信号
でなっているので、この正弦波信号を処理するために増
幅回路、演算処理回路等の信号処理回路が必要となって
制御装置が複雑化する問題がある。
【０００７】また、図５に示すように、従来のリニアエ
ンコーダ装置は、永久磁石１０１と磁電変換素子１０２
とのギャップｇを小さくして、さらに、ギャップｇの変
動も小さく、約７０μｍ±１０μｍ程度の間隔に設定し
なければならない問題がある。その理由は、永久磁石１
０１の磁極ピッチｔが細かなピッチとなっているため、
磁電変換素子１０２の検出能力がギャップｇが大きいと
永久磁石１０１の隣接する磁極の判別が不明瞭となり高
精度に検出することができなくなってしまうためであ
る。
ンコーダ装置は、永久磁石１０１と磁電変換素子１０２
とのギャップｇを小さくして、さらに、ギャップｇの変
動も小さく、約７０μｍ±１０μｍ程度の間隔に設定し
なければならない問題がある。その理由は、永久磁石１
０１の磁極ピッチｔが細かなピッチとなっているため、
磁電変換素子１０２の検出能力がギャップｇが大きいと
永久磁石１０１の隣接する磁極の判別が不明瞭となり高
精度に検出することができなくなってしまうためであ
る。
【０００８】また、従来のリニアエンコーダ装置は、永
久磁石１０１の磁極ピッチｔが細かく分解能も高精度な
ものとなっているが、高速化を図ることが難しいという
問題がある。その理由は、前述の複雑化の問題にもなっ
ているが、磁電変換素子１０２からのアナログ正弦波信
号を信号処理回路で信号処理するための処理容量が大き
く短時間での信号処理が難しいためである。
久磁石１０１の磁極ピッチｔが細かく分解能も高精度な
ものとなっているが、高速化を図ることが難しいという
問題がある。その理由は、前述の複雑化の問題にもなっ
ているが、磁電変換素子１０２からのアナログ正弦波信
号を信号処理回路で信号処理するための処理容量が大き
く短時間での信号処理が難しいためである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、長尺な
位置測定が可能で、長尺で高速な案内装置に配設するの
に最適であり、しかも簡単な構成でなるリニアエンコー
ダ装置を提供することである。
位置測定が可能で、長尺で高速な案内装置に配設するの
に最適であり、しかも簡単な構成でなるリニアエンコー
ダ装置を提供することである。
【００１０】本発明は、長尺状でなる基台と前記基台の
長手方向に沿って摺動自在に案内されたテーブルとでな
る案内装置の前記テーブルに配設された被検知素子と前
記基台に配設された検知素子とでなるリニアエンコーダ
装置において、前記検知素子は、複数のホールＩＣでな
り、前記ホールＩＣが、前記長手方向に等ピッチで配設
された第１のホールＩＣと、前記長手方向に前記第１の
ホールＩＣと９０度の位相差となる前記ピッチの４分の
１ずれた位置から、前記第１のホールＩＣと同列あるい
は平行に前記等ピッチで配設された第２のホールＩＣと
からなり、前記被検知素子は、前記ホールＩＣに対向し
て、１８０度の位相となる前記ピッチの２分の１の長さ
で矩形板状の単一な磁極でなる界磁マグネットでなり、
前記界磁マグネットを前記ホールＩＣが検知してＡ相と
Ｂ相との出力信号を出力してしてなる。
長手方向に沿って摺動自在に案内されたテーブルとでな
る案内装置の前記テーブルに配設された被検知素子と前
記基台に配設された検知素子とでなるリニアエンコーダ
装置において、前記検知素子は、複数のホールＩＣでな
り、前記ホールＩＣが、前記長手方向に等ピッチで配設
された第１のホールＩＣと、前記長手方向に前記第１の
ホールＩＣと９０度の位相差となる前記ピッチの４分の
１ずれた位置から、前記第１のホールＩＣと同列あるい
は平行に前記等ピッチで配設された第２のホールＩＣと
からなり、前記被検知素子は、前記ホールＩＣに対向し
て、１８０度の位相となる前記ピッチの２分の１の長さ
で矩形板状の単一な磁極でなる界磁マグネットでなり、
前記界磁マグネットを前記ホールＩＣが検知してＡ相と
Ｂ相との出力信号を出力してしてなる。
【００１１】また、前記基台への前記ホールＩＣの配設
は、基板を介してなされる。
は、基板を介してなされる。
【００１２】また、前記ピッチは、使用目的に適合する
寸法でなり略８ｍｍから４０ｍｍの所定の寸法でなって
いる。
寸法でなり略８ｍｍから４０ｍｍの所定の寸法でなって
いる。
【００１３】また、前記案内装置は、長尺状の矩形板状
でなるベッドと、前記ベッドの長手方向に沿って直動転
がり案内ユニットで案内され摺動自在なテーブルと、前
記ベッドに対して前記テーブルを摺動および位置決め自
在に駆動する可動マグネット型のリニア電磁アクチュエ
ータとでなるリニアモータテーブルである。
でなるベッドと、前記ベッドの長手方向に沿って直動転
がり案内ユニットで案内され摺動自在なテーブルと、前
記ベッドに対して前記テーブルを摺動および位置決め自
在に駆動する可動マグネット型のリニア電磁アクチュエ
ータとでなるリニアモータテーブルである。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
によるリニアエンコーダ装置の実施例について説明す
る。
によるリニアエンコーダ装置の実施例について説明す
る。
【００１５】図１乃至図３は、第１実施例であるリニア
エンコーダ装置を示し、図１の（ａ）は、リニアエンコ
ーダ装置の正面図、（ｂ）は検知素子である第１のホー
ルＩＣおよび第２のホールＩＣが配設された状態を示す
底面図である。図２は、検知素子である第１のホールＩ
Ｃおよび第２のホールＩＣの配線図である。図３は第１
のホールＩＣおよび第２のホールＩＣの出力信号である
Ａ相およびＢ相の波形を示す図である。
エンコーダ装置を示し、図１の（ａ）は、リニアエンコ
ーダ装置の正面図、（ｂ）は検知素子である第１のホー
ルＩＣおよび第２のホールＩＣが配設された状態を示す
底面図である。図２は、検知素子である第１のホールＩ
Ｃおよび第２のホールＩＣの配線図である。図３は第１
のホールＩＣおよび第２のホールＩＣの出力信号である
Ａ相およびＢ相の波形を示す図である。
【００１６】図１に示すように、本発明のリニアエンコ
ーダ装置は、可動側であるテーブル１の下面に配設され
た被検知素子である矩形板状の界磁マグネット２と、固
定側である図示しない長尺状でなる基台に配設された長
尺状で矩形板状のコイル基板３と、基板３の下面に配設
された、出力用コネクタ４、界磁マグネット２に対向し
て検知素子である複数のＡ相ホールＩＣ５、６とで構成
されている。
ーダ装置は、可動側であるテーブル１の下面に配設され
た被検知素子である矩形板状の界磁マグネット２と、固
定側である図示しない長尺状でなる基台に配設された長
尺状で矩形板状のコイル基板３と、基板３の下面に配設
された、出力用コネクタ４、界磁マグネット２に対向し
て検知素子である複数のＡ相ホールＩＣ５、６とで構成
されている。
【００１７】図１の（ｂ）に示すように、長尺状で矩形
板状でなる基板３の下面に配設されたホールＩＣ５，６
は長手方向にピッチＰａごと、すなわち、等ピッチＰａ
で配設された第１のホールＩＣ５と、前記長手方向に第
１のホールＩＣ５と９０度の位相差となるピッチＰａの
４分の１ずれた位置ｔａから、第１のホールＩＣ５と平
行に前記等ピッチＰａで配設された第２のホールＩＣ６
とからなっている。なお、前記平行の間隔は、ホールＩ
Ｃ５，６が重ならなければよく、あるいは、平行でなく
同列でもよい。
板状でなる基板３の下面に配設されたホールＩＣ５，６
は長手方向にピッチＰａごと、すなわち、等ピッチＰａ
で配設された第１のホールＩＣ５と、前記長手方向に第
１のホールＩＣ５と９０度の位相差となるピッチＰａの
４分の１ずれた位置ｔａから、第１のホールＩＣ５と平
行に前記等ピッチＰａで配設された第２のホールＩＣ６
とからなっている。なお、前記平行の間隔は、ホールＩ
Ｃ５，６が重ならなければよく、あるいは、平行でなく
同列でもよい。
【００１８】ホールＩＣ５，６は磁気を検知してなり、
ホール素子と前記ホール素子の出力をデジタル信号に変
換して出力する回路とを内蔵したものでなり、図３に示
すように検知信号をデジタル信号で出力する。
ホール素子と前記ホール素子の出力をデジタル信号に変
換して出力する回路とを内蔵したものでなり、図３に示
すように検知信号をデジタル信号で出力する。
【００１９】図１に示すように、被検知素子である界磁
マグネット２は、長尺状でなる図示しない前記基台の長
手方向Ｂに沿って摺動自在に案内された可動側のテーブ
ル１の下面に配設してなり、前記基台に配設してなる基
板３に配設されたホールＩＣ５，６に接触することなく
対向してホールＩＣ５，６を包含する幅と１８０度の位
相となるピッチＰａの２分の１の長さＭａとでなる矩形
板状の単一の永久磁石でなっている。
マグネット２は、長尺状でなる図示しない前記基台の長
手方向Ｂに沿って摺動自在に案内された可動側のテーブ
ル１の下面に配設してなり、前記基台に配設してなる基
板３に配設されたホールＩＣ５，６に接触することなく
対向してホールＩＣ５，６を包含する幅と１８０度の位
相となるピッチＰａの２分の１の長さＭａとでなる矩形
板状の単一の永久磁石でなっている。
【００２０】上述の第１のホールＩＣ５、第２のホール
ＩＣ６および界磁マグネット２の関係は、第１のホール
ＩＣ５および第２のホールＩＣ６のピッチＰａを使用目
的である後述の位置決め精度により先ず設定することに
よって、第１のホールＩＣ５と第２のホールＩＣ６との
位相差ｔａおよび界磁マグネットの長さＭａが、ｔａ＝
Ｐａ／４、Ｍａ＝Ｐａ／２として設定される。
ＩＣ６および界磁マグネット２の関係は、第１のホール
ＩＣ５および第２のホールＩＣ６のピッチＰａを使用目
的である後述の位置決め精度により先ず設定することに
よって、第１のホールＩＣ５と第２のホールＩＣ６との
位相差ｔａおよび界磁マグネットの長さＭａが、ｔａ＝
Ｐａ／４、Ｍａ＝Ｐａ／２として設定される。
【００２１】図２は、第１のホールＩＣ５および第２の
ホールＩＣ６の配線図である。
ホールＩＣ６の配線図である。
【００２２】図２に示すように、第１のホールＩＣ５で
ある５１，５２，５３，５４，・・・はそれぞれのＶ端
子及びＧ端子とコネクタ４の電源端子ＶｃｃおよびＧＮ
Ｄとを結線してなり図示しない外部電源からコネクタ４
を介して電源が供給され、それぞれの出力端子Ｏとコネ
クタ４の出力端子（Ａ相）とを結線してなり図示しない
制御装置のカウンタ回路にコネクタ４を介して検知信号
であるＡ相の出力信号を出力する。
ある５１，５２，５３，５４，・・・はそれぞれのＶ端
子及びＧ端子とコネクタ４の電源端子ＶｃｃおよびＧＮ
Ｄとを結線してなり図示しない外部電源からコネクタ４
を介して電源が供給され、それぞれの出力端子Ｏとコネ
クタ４の出力端子（Ａ相）とを結線してなり図示しない
制御装置のカウンタ回路にコネクタ４を介して検知信号
であるＡ相の出力信号を出力する。
【００２３】また、第２のホールＩＣ６である６１，６
２，６３，６４，・・・は、同様に、それぞれのＶ端子
及びＧ端子とコネクタ４の電源端子ＶｃｃおよびＧＮＤ
とを結線してなり図示しない外部電源からコネクタ４を
介して電源が供給され、それぞれの出力端子Ｏとコネク
タ４の出力端子（Ｂ相）とを結線してなり図示しない制
御装置のカウンタ回路にコネクタ４を介して検知信号で
あるＢ相の出力信号を出力する。
２，６３，６４，・・・は、同様に、それぞれのＶ端子
及びＧ端子とコネクタ４の電源端子ＶｃｃおよびＧＮＤ
とを結線してなり図示しない外部電源からコネクタ４を
介して電源が供給され、それぞれの出力端子Ｏとコネク
タ４の出力端子（Ｂ相）とを結線してなり図示しない制
御装置のカウンタ回路にコネクタ４を介して検知信号で
あるＢ相の出力信号を出力する。
【００２４】なお、コネクタ４の電源端子Ｖｃｃと出力
端子（Ａ相）との間及び電源端子Ｖｃｃと出力端子（Ｂ
相）との間には、電圧で出力するために、プルアップ抵
抗Ｒ１及びプルアップ抵抗Ｒ２が接続されている。
端子（Ａ相）との間及び電源端子Ｖｃｃと出力端子（Ｂ
相）との間には、電圧で出力するために、プルアップ抵
抗Ｒ１及びプルアップ抵抗Ｒ２が接続されている。
【００２５】次に、本発明のリニアエンコーダ装置の動
作について説明する。
作について説明する。
【００２６】本発明のリニアエンコーダ装置は、長尺状
でなる基台と前記基台の長手方向に沿って摺動自在に案
内されたテーブルとでなる案内装置の前記テーブルに配
設された被検知素子と前記基台に配設された検知素子と
でなり、固定側である前記基台に対する可動側である前
記テーブルの位置を検出するものである。
でなる基台と前記基台の長手方向に沿って摺動自在に案
内されたテーブルとでなる案内装置の前記テーブルに配
設された被検知素子と前記基台に配設された検知素子と
でなり、固定側である前記基台に対する可動側である前
記テーブルの位置を検出するものである。
【００２７】その位置検出は、図１の（ａ）に示すよう
に、可動側のテーブル１が、例えば右方向（左方向でも
よい）に移動すると、テーブル１に配設された被検知素
子である界磁マグネット２も同一の方向に移動して、対
向してなる基板３に配設された検出素子であるホールＩ
Ｃ５，６上を、順次、通過し、すると、ホールＩＣ５，
６が界磁マグネット２と丁度向かい合った時に界磁マグ
ネット２の磁気を検知して検知信号を出力するので、界
磁マグネット２の移動によって、等ピッチＰａで配設さ
れたホールＩＣ５，６から連続した検知信号を出力し、
この出力が図示しない制御装置のカウンタ回路に入力さ
れ算定される。
に、可動側のテーブル１が、例えば右方向（左方向でも
よい）に移動すると、テーブル１に配設された被検知素
子である界磁マグネット２も同一の方向に移動して、対
向してなる基板３に配設された検出素子であるホールＩ
Ｃ５，６上を、順次、通過し、すると、ホールＩＣ５，
６が界磁マグネット２と丁度向かい合った時に界磁マグ
ネット２の磁気を検知して検知信号を出力するので、界
磁マグネット２の移動によって、等ピッチＰａで配設さ
れたホールＩＣ５，６から連続した検知信号を出力し、
この出力が図示しない制御装置のカウンタ回路に入力さ
れ算定される。
【００２８】具体的に、検知信号の出力は、界磁マグネ
ット２の長さＭａが１８０度の位相、すなわち、等ピッ
チＰａの２分の１となっているので界磁マグネット２が
移動することによって、図３に示すように、第１ホール
ＩＣ５から出力されるＡ相の出力波形と第１のホールＩ
Ｃ５と９０度の位相差ｔａを有する第２のホールＩＣ６
から出力されるＢ相の出力波形となっている。
ット２の長さＭａが１８０度の位相、すなわち、等ピッ
チＰａの２分の１となっているので界磁マグネット２が
移動することによって、図３に示すように、第１ホール
ＩＣ５から出力されるＡ相の出力波形と第１のホールＩ
Ｃ５と９０度の位相差ｔａを有する第２のホールＩＣ６
から出力されるＢ相の出力波形となっている。
【００２９】そして、前記カウンタ回路は、前記検知信
号がデジタルで得られるのでＡ／Ｄ変換することなく直
接にデジタル信号での処理をおこなうことができ、図３
に示すように、位相差ｔａごとにカウントし、位置を算
定する。
号がデジタルで得られるのでＡ／Ｄ変換することなく直
接にデジタル信号での処理をおこなうことができ、図３
に示すように、位相差ｔａごとにカウントし、位置を算
定する。
【００３０】その位置の算定は、例えば、ピッチＰａを
８ｍｍとすると、Ａ相とＢ相の位相差は２ｍｍであり、
カウンタ回路が２ｍｍごとのデジタル信号をカウントし
て左から０，２，４，６，８，１０・・・・と計数し
て、２ｍｍごとの位置信号及び移動距離を得ることがで
きる。また、例えば、ピッチＰａを４０ｍｍとすると、
Ａ相とＢ相の位相差は１０ｍｍであり、カウンタ回路が
１０ｍｍごとのデジタル信号をカウントして左から０，
１０，２０，３０，４０，５０・・・・・と計数して、
１０ｍｍごとの位置信号及び移動距離を得ることができ
る。
８ｍｍとすると、Ａ相とＢ相の位相差は２ｍｍであり、
カウンタ回路が２ｍｍごとのデジタル信号をカウントし
て左から０，２，４，６，８，１０・・・・と計数し
て、２ｍｍごとの位置信号及び移動距離を得ることがで
きる。また、例えば、ピッチＰａを４０ｍｍとすると、
Ａ相とＢ相の位相差は１０ｍｍであり、カウンタ回路が
１０ｍｍごとのデジタル信号をカウントして左から０，
１０，２０，３０，４０，５０・・・・・と計数して、
１０ｍｍごとの位置信号及び移動距離を得ることができ
る。
【００３１】なお、移動方向の判別は、図３に示すよう
に、左側から見るとＡ相のデジタル信号が位相差ｔａで
先行して検出され、反対に右側から見るとＢ相のデジタ
ル信号が位相差ｔａで先行して検出されるので、このＡ
相及びＢ相の立ち上がりを監視することによってテーブ
ル１の移動方向を判別することができる。
に、左側から見るとＡ相のデジタル信号が位相差ｔａで
先行して検出され、反対に右側から見るとＢ相のデジタ
ル信号が位相差ｔａで先行して検出されるので、このＡ
相及びＢ相の立ち上がりを監視することによってテーブ
ル１の移動方向を判別することができる。
【００３２】なおまた、前記カウンタ回路の出力信号と
制御装置内のクロック信号とによりテーブル１の移動速
度を求めることができる。
制御装置内のクロック信号とによりテーブル１の移動速
度を求めることができる。
【００３３】本発明のリニアエンコーダ装置の位置決め
精度は、ホールＩＣ５，６の等ピッチＰａの設定によっ
て決定され、位置検出が位相差ｔａごとになるので、位
相差ｔａの最小寸法として略２ｍｍおよび最大寸法とし
て略１０ｍｍとすれば日常的に使用でき効果的であり、
使用目的によりこの略２ｍｍから１０ｍｍの所定の寸法
でなっている。なお、この略２ｍｍから１０ｍｍの位置
決め精度において、ホールＩＣ５，６の等ピッチＰａ
は、前述のｔａ＝Ｐａ／４より略８ｍｍから４０ｍｍの
所定の寸法に設定することになる。
精度は、ホールＩＣ５，６の等ピッチＰａの設定によっ
て決定され、位置検出が位相差ｔａごとになるので、位
相差ｔａの最小寸法として略２ｍｍおよび最大寸法とし
て略１０ｍｍとすれば日常的に使用でき効果的であり、
使用目的によりこの略２ｍｍから１０ｍｍの所定の寸法
でなっている。なお、この略２ｍｍから１０ｍｍの位置
決め精度において、ホールＩＣ５，６の等ピッチＰａ
は、前述のｔａ＝Ｐａ／４より略８ｍｍから４０ｍｍの
所定の寸法に設定することになる。
【００３４】本発明のリニアエンコーダ装置は、界磁マ
グネット２が単一の磁極からなり、しかもホールＩＣ
５，６が矩形波出力のデジタル信号を出力することか
ら、少なくともホールＩＣ５，６が界磁マグネット２の
磁気を感知できればよいので、界磁マグネット２とホー
ルＩＣ５，６との間のギャップが約１ｍｍ〜１０ｍｍ程
度とラフになっている。
グネット２が単一の磁極からなり、しかもホールＩＣ
５，６が矩形波出力のデジタル信号を出力することか
ら、少なくともホールＩＣ５，６が界磁マグネット２の
磁気を感知できればよいので、界磁マグネット２とホー
ルＩＣ５，６との間のギャップが約１ｍｍ〜１０ｍｍ程
度とラフになっている。
【００３５】本発明のリニアエンコーダ装置は、デジタ
ル信号が直接に出力され従来のようなＡ／Ｄ変換を行う
必要がなくＡ／Ｄ変換器を備える必要がないので、前記
制御装置の負担が少なく、しかも演算処理も高速に行え
る。従って、テーブル１の速度が、例えば約５ｍ〜３０
ｍ／ｓｅｃの高速に対応することが可能である。
ル信号が直接に出力され従来のようなＡ／Ｄ変換を行う
必要がなくＡ／Ｄ変換器を備える必要がないので、前記
制御装置の負担が少なく、しかも演算処理も高速に行え
る。従って、テーブル１の速度が、例えば約５ｍ〜３０
ｍ／ｓｅｃの高速に対応することが可能である。
【００３６】また、本発明のリニアエンコーダ装置は、
ホールＩＣ５，６を等ピッチＰａに配設するだけでよ
く、ホールＩＣ５，６の前記配線も簡単なので、長尺な
位置測定に最適である。
ホールＩＣ５，６を等ピッチＰａに配設するだけでよ
く、ホールＩＣ５，６の前記配線も簡単なので、長尺な
位置測定に最適である。
【００３７】なお、あらかじめホールＩＣ５，６を基板
３に配設しておけば、長尺な前記装置内であっても簡単
に組立することができる。
３に配設しておけば、長尺な前記装置内であっても簡単
に組立することができる。
【００３８】
【実施例】次に、図４を参照して、本発明の第２実施例
を説明する。この実施例は、前記第１実施例のリニアエ
ンコーダ装置を前記案内装置であるリニアモータテーブ
ルに用いたものである。以下の説明において、図１に示
すリニアエンコーダ装置と同一の構成及び機能を有する
部分は説明が重複するため省略し要部のみの説明とす
る。図１に示したリニアエンコーダ装置と同一の構成及
び機能を有する部品には同一の符号を付している。
を説明する。この実施例は、前記第１実施例のリニアエ
ンコーダ装置を前記案内装置であるリニアモータテーブ
ルに用いたものである。以下の説明において、図１に示
すリニアエンコーダ装置と同一の構成及び機能を有する
部分は説明が重複するため省略し要部のみの説明とす
る。図１に示したリニアエンコーダ装置と同一の構成及
び機能を有する部品には同一の符号を付している。
【００３９】図４は、リニアエンコーダ装置をリニアモ
ータテーブルに適用した一部破断を含む斜視図である。
ータテーブルに適用した一部破断を含む斜視図である。
【００４０】図４に示すように、このリニアモータテー
ブルは、主として、固定側で長手状の矩形板状でなる前
記基台となすベッド３１と、このベッド３１の長手方向
に沿って直動転がり案内ユニットで案内され摺動自在な
可動側のテーブル３２と、ベッド３１に対してテーブル
３２の摺動及び位置決め自在に駆動するリニア電磁アク
チュエータ３３と、リニアエンコーダ装置とで構成され
ている。
ブルは、主として、固定側で長手状の矩形板状でなる前
記基台となすベッド３１と、このベッド３１の長手方向
に沿って直動転がり案内ユニットで案内され摺動自在な
可動側のテーブル３２と、ベッド３１に対してテーブル
３２の摺動及び位置決め自在に駆動するリニア電磁アク
チュエータ３３と、リニアエンコーダ装置とで構成され
ている。
【００４１】ベッド３１は、工作機械等の作業台上にベ
ッド３１の両側の長手方向に沿って形成された複数のボ
ルト挿通孔３１ａを用いてボルト（図示せず）により締
結されている。また、テーブル３２は、上面側に形成さ
れたねじ孔３２ａに被駆動体、例えば被工作物を固定し
て使用する。
ッド３１の両側の長手方向に沿って形成された複数のボ
ルト挿通孔３１ａを用いてボルト（図示せず）により締
結されている。また、テーブル３２は、上面側に形成さ
れたねじ孔３２ａに被駆動体、例えば被工作物を固定し
て使用する。
【００４２】ベッド３１に対するテーブル３２の案内手
段は、直動転がり案内ユニットでなり、ベッド３１の上
面に軌道溝を有してなる２本のトラックレール３５が両
側に平行に配設され、このトラックレール３５に前記軌
道溝に対向する軌道溝を有してなる２つずつのスライダ
（図示せず）が前記軌道溝間に無限循環する転動体を介
して跨架し、これらスライダがテーブル３２の下面側の
四隅凹部に配設されテーブル３２を担持してなってい
る。この案内手段により、テーブル３２はベッド３１の
長手方向に沿って摺動自在に円滑に案内される。
段は、直動転がり案内ユニットでなり、ベッド３１の上
面に軌道溝を有してなる２本のトラックレール３５が両
側に平行に配設され、このトラックレール３５に前記軌
道溝に対向する軌道溝を有してなる２つずつのスライダ
（図示せず）が前記軌道溝間に無限循環する転動体を介
して跨架し、これらスライダがテーブル３２の下面側の
四隅凹部に配設されテーブル３２を担持してなってい
る。この案内手段により、テーブル３２はベッド３１の
長手方向に沿って摺動自在に円滑に案内される。
【００４３】次に、ベッド３１に対してテーブル３２を
摺動および位置決め駆動するリニア電磁アクチュエータ
３３について説明する。
摺動および位置決め駆動するリニア電磁アクチュエータ
３３について説明する。
【００４４】本実施例ではこのリニア電磁アクチュエー
タが可動マグネット型のリニア直流モータでなってい
る。
タが可動マグネット型のリニア直流モータでなってい
る。
【００４５】前記可動マグネット型のリニア直流モータ
の給電側である一次側は、図４に示すコイル基板３４
と、このコイル基板３４の下面側にテーブル３２の移動
方向に沿って一列に並べて接着された電機子コイル（図
示せず）とを有してなっている。なお、コイル基板３４
及び電機子コイルは、ベッド３１の上面側に長手方向全
長にわたる凹部内に配設されている。
の給電側である一次側は、図４に示すコイル基板３４
と、このコイル基板３４の下面側にテーブル３２の移動
方向に沿って一列に並べて接着された電機子コイル（図
示せず）とを有してなっている。なお、コイル基板３４
及び電機子コイルは、ベッド３１の上面側に長手方向全
長にわたる凹部内に配設されている。
【００４６】一方、前記リニア直流モータの二次側は、
前記電機子コイルに対向して図示せぬ多極の界磁マグネ
ットがテーブル３２の下面側に取り付けられてなってい
る。
前記電機子コイルに対向して図示せぬ多極の界磁マグネ
ットがテーブル３２の下面側に取り付けられてなってい
る。
【００４７】この多極の界磁マグネットは、矩形板状で
なり、テーブル３２の摺動方向に沿ってＮ、Ｓの磁極が
交互に並んで複数で着磁されている。
なり、テーブル３２の摺動方向に沿ってＮ、Ｓの磁極が
交互に並んで複数で着磁されている。
【００４８】前記リニア直流モータは、前記一次側と前
記二次側との構成により、ベッド３１とテーブル３２と
の間にフレミングの左手の法則に基づく推力が生じ、ベ
ッド３１に対してテーブル３２を駆動する。
記二次側との構成により、ベッド３１とテーブル３２と
の間にフレミングの左手の法則に基づく推力が生じ、ベ
ッド３１に対してテーブル３２を駆動する。
【００４９】次に、図４に示すように、このリニアモー
タテーブルは、ベッド３１に対するテーブル３２の相対
位置の検知及び移動方向の判別をするための検知手段と
して、第１実施例であるリニアエンコーダ装置がベッド
３１とテーブル３２との対向する部分に配設されてい
る。
タテーブルは、ベッド３１に対するテーブル３２の相対
位置の検知及び移動方向の判別をするための検知手段と
して、第１実施例であるリニアエンコーダ装置がベッド
３１とテーブル３２との対向する部分に配設されてい
る。
【００５０】このリニアエンコーダ装置は、ホールＩＣ
５、６が配設されたコイル基板３がベッド３１の一方の
側部上面の長手方向に沿って配設され、ホールＩＣ５，
６と対向して界磁マグネット２がテーブル３２の側部下
面に配設されている。
５、６が配設されたコイル基板３がベッド３１の一方の
側部上面の長手方向に沿って配設され、ホールＩＣ５，
６と対向して界磁マグネット２がテーブル３２の側部下
面に配設されている。
【００５１】前記リニアモータテーブルは、検知手段で
ある前記リニアエンコーダ装置からの信号に基づきテー
ブル３２の現在位置が常に検出され、テーブル３２を任
意の位置に移動させて位置決めすることができる。
ある前記リニアエンコーダ装置からの信号に基づきテー
ブル３２の現在位置が常に検出され、テーブル３２を任
意の位置に移動させて位置決めすることができる。
【００５２】なお、前記リニアエンコーダ装置のホール
ＩＣ５，６からの信号の取り出し、前記リニアモータテ
ーブルの電機子コイルへの給電等は、外部の制御装置お
よび電源装置にベッド３１の端部に結線されたケーブル
３６を通じておこなわれる。
ＩＣ５，６からの信号の取り出し、前記リニアモータテ
ーブルの電機子コイルへの給電等は、外部の制御装置お
よび電源装置にベッド３１の端部に結線されたケーブル
３６を通じておこなわれる。
【００５３】このリニアモータテーブルの動作は、操作
者が操作スイッチ等を操作して制御装置から作動指令が
発せられると、任意の位置に停止しているテーブル３２
が作動ストロークの一端側、図４の右端側の基準位置に
向かって移動し、テーブル３２が基準位置に至ると、原
点信号用のセンサからの基準位置信号によりカウンタ回
路内のカウンタをリセットし、テーブル３２が所定のプ
ログラムに従って所定の位置に移動する。なお、テーブ
ル３２の移動位置及び方向の制御はホールＩＣ５，６か
らの信号に基づいて行われる。
者が操作スイッチ等を操作して制御装置から作動指令が
発せられると、任意の位置に停止しているテーブル３２
が作動ストロークの一端側、図４の右端側の基準位置に
向かって移動し、テーブル３２が基準位置に至ると、原
点信号用のセンサからの基準位置信号によりカウンタ回
路内のカウンタをリセットし、テーブル３２が所定のプ
ログラムに従って所定の位置に移動する。なお、テーブ
ル３２の移動位置及び方向の制御はホールＩＣ５，６か
らの信号に基づいて行われる。
【００５４】前記リニアエンコーダ装置を配設したこの
リニアモータテーブルは、テーブル３２に前記リニア電
磁アクチュエータの多極の界磁マグネットと界磁マグネ
ット２とを配設してなるので、可動側に電源用及び信号
用のケーブルもなく、従来になく高速に対応したものと
なっている。
リニアモータテーブルは、テーブル３２に前記リニア電
磁アクチュエータの多極の界磁マグネットと界磁マグネ
ット２とを配設してなるので、可動側に電源用及び信号
用のケーブルもなく、従来になく高速に対応したものと
なっている。
【００５５】
【発明の効果】本発明のリニアエンコーダ装置は、所定
の等ピッチＰａ、位相差ｔａでなる複数のホールＩＣと
所定の長さＭａでなる単一磁極の界磁マグネットとを配
設した簡単な構成なので、長尺で、高速でなる前記案内
装置に最適である。
の等ピッチＰａ、位相差ｔａでなる複数のホールＩＣと
所定の長さＭａでなる単一磁極の界磁マグネットとを配
設した簡単な構成なので、長尺で、高速でなる前記案内
装置に最適である。
【００５６】また、本発明のリニアエンコーダ装置は、
デジタル信号が直接に出力され、従来のようなＡ／Ｄ変
換を行う必要がなくＡ／Ｄ変換器を備える必要がないの
で前記制御装置の負担が少なく、しかも演算処理も高速
に行えるので、簡単で、高速でなる前記案内装置に最適
である。
デジタル信号が直接に出力され、従来のようなＡ／Ｄ変
換を行う必要がなくＡ／Ｄ変換器を備える必要がないの
で前記制御装置の負担が少なく、しかも演算処理も高速
に行えるので、簡単で、高速でなる前記案内装置に最適
である。
【００５７】また、本発明のリニアエンコーダ装置は、
ホールＩＣ５，６が界磁マグネット２の磁気を感知でき
ればよいので、界磁マグネット２とホールＩＣ５，６と
の間のギャップの精度がラフでよいので、種々の前記案
内装置に簡単に配設することができる。
ホールＩＣ５，６が界磁マグネット２の磁気を感知でき
ればよいので、界磁マグネット２とホールＩＣ５，６と
の間のギャップの精度がラフでよいので、種々の前記案
内装置に簡単に配設することができる。
【図１】（ａ）は、リニアエンコーダ装置の正面図、
（ｂ）は検知素子である第１のホールＩＣおよび第２の
ホールＩＣが配設された状態を示す底面図である。
（ｂ）は検知素子である第１のホールＩＣおよび第２の
ホールＩＣが配設された状態を示す底面図である。
【図２】検知素子である第１のホールＩＣ及び第２のホ
ールＩＣの配線図である。
ールＩＣの配線図である。
【図３】第１のホールＩＣおよび第２のホールＩＣの出
力信号であるＡ相およびＢ相の波形を示す図である。
力信号であるＡ相およびＢ相の波形を示す図である。
【図４】リニアエンコーダ装置をリニアモータテーブル
に適用した一部破断を含む斜視図である。
に適用した一部破断を含む斜視図である。
【図５】従来のリニアエンコーダ装置の要部を拡大した
説明図である。
説明図である。
１，３２ テーブル ２ 界磁マグネット ３ 基板 ４ 出力用コネクタ ５，６ ホールＩＣ
Claims (4)
- 【請求項１】 長尺状でなる基台と前記基台の長手方向
に沿って摺動自在に案内されたテーブルとでなる案内装
置の前記テーブルに配設された被検知素子と前記基台に
配設された検知素子とでなるリニアエンコーダ装置にお
いて、 前記検知素子は、複数のホールＩＣでなり、 前記ホールＩＣが、前記長手方向に等ピッチで配設され
た第１のホールＩＣと、 前記長手方向に前記第１のホールＩＣと９０度の位相差
となる前記ピッチの４分の１ずれた位置から、前記第１
のホールＩＣと同列あるいは平行に前記等ピッチで配設
された第２のホールＩＣとからなり、 前記被検知素子は、前記ホールＩＣに対向して、１８０
度の位相となる前記ピッチの２分の１の長さで矩形板状
の単一な磁極でなる界磁マグネットでなり、 前記界磁マグネットを前記ホールＩＣが検知してＡ相と
Ｂ相との出力信号を出力してなることを特徴とするリニ
アエンコーダ装置。 - 【請求項２】 前記基台への前記ホールＩＣの配設は、
基板を介してなされることを特徴とする請求項１記載の
リニアエンコーダ装置。 - 【請求項３】 前記ピッチは、使用目的に適合する寸法
でなり略８ｍｍから４０ｍｍの所定の寸法でなっている
ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のリニアエ
ンコーダ装置。 - 【請求項４】 前記案内装置は、長尺状の矩形板状でな
るベッドと、 前記ベッドの長手方向に沿って直動転がり案内ユニット
で案内され摺動自在なテーブルと、 前記ベッドに対して前記テーブルを摺動および位置決め
自在に駆動する可動マグネット型のリニア電磁アクチュ
エータとでなるリニアモータテーブルであることを特徴
とする請求項１乃至請求項３の少なくともいずれか１つ
に記載のリニアエンコーダ装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9224209A JPH1151693A (ja) | 1997-08-06 | 1997-08-06 | リニアエンコーダ装置 |
| US09/127,904 US6100681A (en) | 1997-08-06 | 1998-08-03 | Linear encoding device with staggered detectors |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9224209A JPH1151693A (ja) | 1997-08-06 | 1997-08-06 | リニアエンコーダ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1151693A true JPH1151693A (ja) | 1999-02-26 |
Family
ID=16810241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9224209A Pending JPH1151693A (ja) | 1997-08-06 | 1997-08-06 | リニアエンコーダ装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6100681A (ja) |
| JP (1) | JPH1151693A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011516023A (ja) * | 2008-03-25 | 2011-05-19 | ボーズ・コーポレーション | 磁場を用いた位置測定 |
| JP2011517766A (ja) * | 2007-06-27 | 2011-06-16 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 多次元位置センサ |
| WO2013065236A1 (ja) * | 2011-11-04 | 2013-05-10 | ヤマハ発動機株式会社 | リニアモータおよびリニア搬送装置 |
| WO2020179636A1 (ja) * | 2019-03-05 | 2020-09-10 | 株式会社村田製作所 | 位置検出装置および磁気センサ装置 |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6690159B2 (en) * | 2000-09-28 | 2004-02-10 | Eldec Corporation | Position indicating system |
| EP1243897B1 (de) * | 2001-03-23 | 2013-12-18 | Melexis Technologies NV | Magnetischer Weggeber |
| US6564694B2 (en) | 2001-06-29 | 2003-05-20 | Delphi Technologies, Inc. | Dual hall effect sensor for determining travel |
| US6586927B2 (en) * | 2001-08-16 | 2003-07-01 | Delphi Technologies, Inc. | Hall effect position sensing in a powered parking brake system |
| DE20116564U1 (de) * | 2001-10-09 | 2002-01-17 | Festo Ag & Co | Positionserfassungsvorrichtung |
| US7221151B2 (en) * | 2003-01-31 | 2007-05-22 | Delphi Technologies, Inc. | Magnetic array position sensor |
| DE20317595U1 (de) * | 2003-11-13 | 2004-02-12 | Oculus Optikgeräte GmbH | Gerät zur Durchführung von Untersuchungen am menschlichen Auge |
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