JPH1148057A - Detecting device board thin - Google Patents
Detecting device board thinInfo
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- JPH1148057A JPH1148057A JP22425197A JP22425197A JPH1148057A JP H1148057 A JPH1148057 A JP H1148057A JP 22425197 A JP22425197 A JP 22425197A JP 22425197 A JP22425197 A JP 22425197A JP H1148057 A JPH1148057 A JP H1148057A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、液
晶用ガラス基板、コンパクトディスク、レーザーディス
ク等の薄板の基板(以下、基板という)を装填したカセ
ットの各スロットにおける基板の装填状態を検出する基
板の検出装置の改良に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention detects a substrate loaded state in each slot of a cassette loaded with a thin substrate (hereinafter, referred to as a substrate) such as a semiconductor wafer, a liquid crystal glass substrate, a compact disk, a laser disk, and the like. The present invention relates to an improvement in a substrate detection device.
【0002】[0002]
【従来の技術】一般に、半導体製造工程や液晶の製造工
程において各種プロセス装置間で基板を搬送するには、
図11に示すようなカセットに複数の基板を装填して搬
送する。同図において、カセット2には複数の基板1が
所定ピッチの各スロット3に水平に装填されている。各
種プロセス装置においては、カセット2から基板1が1
枚ずつ取り出され、基板処理室に搬送されて必要な処理
が行われた後に、基板1はカセット2に装填され次のプ
ロセス装置に搬送される。このように基板1をカセット
2から取り出したりカセット2に装填したりする作業
は、人の手で行われるのではなく自動搬送装置で行われ
るので、カセット2の各スロット3における基板1の有
無を確認する必要があり、そのため従来技術では図12
に示す基板の検出装置が提案されている。2. Description of the Related Art Generally, in a semiconductor manufacturing process or a liquid crystal manufacturing process, a substrate is transported between various processing apparatuses.
A plurality of substrates are loaded into a cassette as shown in FIG. 11 and transported. In the drawing, a plurality of substrates 1 are horizontally loaded in slots 2 having a predetermined pitch in a cassette 2. In various types of processing apparatuses, one substrate 1 is loaded from the cassette 2.
After being taken out one by one and transported to the substrate processing chamber to perform necessary processing, the substrate 1 is loaded into the cassette 2 and transported to the next processing device. In this manner, the work of taking out the substrate 1 from the cassette 2 or loading the same into the cassette 2 is not performed manually, but is performed by an automatic transfer device. Therefore, the presence or absence of the substrate 1 in each slot 3 of the cassette 2 is determined. It is necessary to confirm that the prior art uses FIG.
Has been proposed.
【0004】図12は、従来の基板の検出装置のブロッ
ク図を示す図である。同図において、1は基板、2はこ
れらの基板1を所定ピッチで装填するためのカセット
で、このカセット2の左右の内側面には、上下にわたっ
て所定のピッチで基板挿入用のスロット3が形成されて
いる。4はカセット2の左右に設けられた1組の投光器
4aと受光器4bとからなる非接触式基板検出センサ
(以下、光センサという)である。6は光センサ4の光
路を模式的に示したものである。8はカセット2を載せ
るカセット載置台、9は昇降軸、10はカセット載置台
8を昇降させるカセット載置台昇降駆動手段、11はカ
セット載置台8の基準位置からの移動量に応じたカセッ
ト位置信号S3を出力するカセット位置検出回路であ
る。12は、カセット載置台8の昇降中に基板1によっ
て光センサ4の光路6が遮断されている間中、出力信号
S1を出力する光センサ制御回路である。18は出力信
号S1とカセット位置信号S3とを入力として、各スロ
ット3に対して出力信号S1がONのとき基板1が有り
と判定する判定回路である。16はこれらの判定のデー
タを記憶する記憶回路であり、17は記憶回路16に記
憶された各スロット3における基板1の有無のデータを
読み出して、基板1が有りと判定されたスロット3につ
いて、基板1をカセット2から取り出して必要な処理を
行った後に基板1をカセット2に装填する自動搬送装置
である。FIG. 12 is a block diagram showing a conventional substrate detecting apparatus. In the figure, reference numeral 1 denotes a substrate, and 2 denotes a cassette for loading these substrates 1 at a predetermined pitch. Slots 3 for inserting substrates at a predetermined pitch are formed on the left and right inner side surfaces of the cassette 2 vertically. Have been. Reference numeral 4 denotes a non-contact type substrate detection sensor (hereinafter, referred to as an optical sensor) including a set of a light projector 4a and a light receiver 4b provided on the left and right sides of the cassette 2. Reference numeral 6 schematically shows the optical path of the optical sensor 4. Reference numeral 8 denotes a cassette mounting table on which the cassette 2 is mounted, 9 denotes an elevating shaft, 10 denotes a cassette mounting table raising / lowering driving means for raising and lowering the cassette mounting table 8, and 11 denotes a cassette position signal corresponding to the amount of movement of the cassette mounting table 8 from a reference position. This is a cassette position detection circuit that outputs S3. Reference numeral 12 denotes an optical sensor control circuit that outputs an output signal S1 while the optical path 6 of the optical sensor 4 is blocked by the substrate 1 while the cassette mounting table 8 is being moved up and down. Reference numeral 18 denotes a determination circuit which receives the output signal S1 and the cassette position signal S3 as inputs, and determines that the substrate 1 is present when the output signal S1 is ON for each slot 3. Reference numeral 16 denotes a storage circuit for storing data of these determinations. Reference numeral 17 reads data of the presence / absence of the board 1 in each slot 3 stored in the storage circuit 16 and, for the slots 3 determined to have the board 1, This is an automatic transfer device that takes out the substrate 1 from the cassette 2 and performs necessary processing, and then loads the substrate 1 into the cassette 2.
【0006】図12において、例えばカセット2の最下
段の第1スロットから最上段の第7スロットまで基板1
が適切に装填されているとする。この場合に、カセット
載置台8を最上部位置からカセット載置台昇降駆動手段
10によって下降させながら、第1スロットに装填され
ている基板1から順に光センサ4によって検出すると
き、カセット2の下降にしたがって基板1によって光セ
ンサ4の光路6が遮断されている間中、光センサ制御回
路12は信号S1を出力する。またカセット位置検出回
路11は、カセット載置台8の基準位置からの移動量に
応じたカセット位置信号S3を出力する。判定回路18
はこれらの出力信号S1とカセット位置信号S3とを入
力する。図13は、図12に示すように基板1が装填さ
れたときの各スロット3に対する光センサの出力信号S
1を示す図である。判定回路18は、図13に示すよう
に全てのスロット3に対して光センサ4の出力信号S1
がONであることから、全てのスロット3に基板1が装
填されていると判定する。図14はこのときの、判定回
路18が各スロット3に対して基板1の有無を判定した
データを示す図であり、基板1が有りのときHと示し、
無しのときLと示す。In FIG. 12, for example, the substrate 1 is moved from the lowermost first slot to the uppermost seventh slot of the cassette 2.
Is properly loaded. In this case, when the cassette mounting table 8 is detected by the optical sensor 4 in order from the substrate 1 loaded in the first slot while the cassette mounting table 8 is lowered from the uppermost position by the cassette mounting table raising / lowering driving means 10, the cassette 2 is lowered. Therefore, while the optical path 6 of the optical sensor 4 is blocked by the substrate 1, the optical sensor control circuit 12 outputs the signal S1. Further, the cassette position detection circuit 11 outputs a cassette position signal S3 according to the amount of movement of the cassette mounting table 8 from the reference position. Judgment circuit 18
Receives the output signal S1 and the cassette position signal S3. FIG. 13 shows the output signal S of the optical sensor for each slot 3 when the substrate 1 is loaded as shown in FIG.
FIG. The determination circuit 18 outputs the output signal S1 of the optical sensor 4 to all the slots 3 as shown in FIG.
Is ON, it is determined that the substrate 1 is loaded in all the slots 3. FIG. 14 is a diagram showing data at this time when the determination circuit 18 determines the presence or absence of the board 1 for each slot 3, and indicates H when the board 1 is present,
When there is no, it is shown as L.
【0008】図12において、図14に示す基板1の有
無の判定データは記憶回路16に記憶され、自動搬送装
置17は記憶回路16に記憶された各スロット3におけ
る基板1の有無の判定データを読み出して、基板1が有
りと判定されたスロット3について、基板1をカセット
2から取り出し、必要な処理が行われた後に、基板1を
カセット2に装填する。In FIG. 12, the determination data of the presence or absence of the substrate 1 shown in FIG. 14 is stored in the storage circuit 16, and the automatic transfer device 17 transmits the determination data of the presence or absence of the substrate 1 in each slot 3 stored in the storage circuit 16. The substrate 1 is taken out of the cassette 2 for the slot 3 that is read out and determined to have the substrate 1, and after the necessary processing is performed, the substrate 1 is loaded into the cassette 2.
【0010】図12において、例えばカセット2に基板
1が適切に装填されていて、光センサ4の光路6が基板
1の表面と全く平行な状態になるように光センサ4を設
けたとき、基板1の厚さでしか光路6を遮断しないた
め、出力信号S1のON時間幅が極く狭いものとなり、
判定回路18が誤って基板1が無しと判定するときがあ
る。そこで、光センサ4の検出の精度を高めるために、
光路6が2枚以上の基板1を横切らない程度の角度で少
し傾けて光センサ4を設け、光センサ4に対する基板1
の見掛け上の厚さを大きくして、出力信号S1のON時
間幅を大きくするようにしていた。In FIG. 12, for example, when the substrate 1 is appropriately loaded in the cassette 2 and the optical sensor 4 is provided so that the optical path 6 of the optical sensor 4 is completely parallel to the surface of the substrate 1, Since the optical path 6 is blocked only by the thickness of 1, the ON time width of the output signal S1 becomes extremely narrow.
There are cases where the determination circuit 18 erroneously determines that there is no substrate 1. Therefore, in order to improve the detection accuracy of the optical sensor 4,
The optical sensor 4 is provided at a slight angle such that the optical path 6 does not cross the two or more substrates 1, and the substrate 1 with respect to the optical sensor 4 is provided.
Is increased to increase the ON time width of the output signal S1.
【0012】[0012]
【発明が解決しようとする課題】例えば図15に示すよ
うに、第3スロットに異物19が入り込み基板1が傾い
たり、基板1が第6スロットと第7スロットとに段違い
に装填されて、基板1の傾きが光路6の傾きに近くなっ
たりするときがある。図16は、このときの各スロット
3に対する光センサの出力信号S1を示す図である。同
図に示すように、第3スロットでの出力信号S1のON
時間幅は少し狭くなり、第6スロットおよび第7スロッ
トでの出力信号S1のON時間幅は極めて狭くなり、こ
れらの場合、判定回路18が誤って基板1が無しと判定
するときがある。また、図17に示すように、カセット
2の下に異物19が入り込んで全ての基板1の傾きが光
路6の傾きに近くなると、判定回路18が誤って全ての
基板1が無しと判定するという不具合がある。For example, as shown in FIG. 15, a foreign substance 19 enters the third slot and the substrate 1 tilts, or the substrate 1 is loaded into the sixth slot and the seventh slot stepwise, and There is a case where the inclination of 1 is close to the inclination of the optical path 6. FIG. 16 is a diagram showing the output signal S1 of the optical sensor for each slot 3 at this time. As shown in the figure, ON of the output signal S1 in the third slot
The time width is slightly narrowed, and the ON time width of the output signal S1 in the sixth and seventh slots is extremely narrow. In these cases, the determination circuit 18 may erroneously determine that the substrate 1 is not present. Further, as shown in FIG. 17, when the foreign matter 19 enters under the cassette 2 and the inclination of all the substrates 1 becomes close to the inclination of the optical path 6, the determination circuit 18 erroneously determines that all the substrates 1 are absent. There is a defect.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】本発明は、複数の基板を
装填するためのカセット内の基板の装填状態を正確に検
出する装置であって、投光器および受光器からなる光セ
ンサを、基板がカセットに適切に装填されたときの表面
に対して斜交する光路を形成し、かつ基板表面に対して
対称の位置に2組設けて、カセットと光センサとを基板
の装填方向に対して相対移動させたときの基準位置から
の移動量に応じた相対位置信号と、カセットと2組の光
センサとの相対移動期間中に基板によって光路が遮断さ
れている間中出力される信号とから、各スロットにおけ
る2組の光センサに対応する信号を比較して、基板の有
無および装填状態が適切であるかを同時に判定し、この
判定データを記憶する基板の検出装置である。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is an apparatus for accurately detecting a loaded state of a substrate in a cassette for loading a plurality of substrates, wherein an optical sensor comprising a light emitter and a light receiver is provided. An optical path is formed obliquely to the surface when properly loaded in the cassette, and two sets are provided at symmetrical positions with respect to the substrate surface so that the cassette and the optical sensor are positioned relative to the substrate loading direction. From a relative position signal corresponding to the amount of movement from the reference position when moved and a signal output while the optical path is interrupted by the substrate during the relative movement period between the cassette and the two sets of optical sensors, This is a board detection device that compares signals corresponding to two sets of optical sensors in each slot, determines at the same time whether a board is present and whether the loaded state is appropriate, and stores the determination data.
【0020】[0020]
【発明の実施の形態】以下本発明をその実施例を示す図
面に基づいて具体的に説明する。図1は本発明の基板の
検出装置のブロック図を示す図である。同図において、
1は基板、2はこれらの基板1を所定ピッチで装填する
ためのカセットで、このカセット2の左右の内側面に
は、上下にわたって所定のピッチで基板挿入用のスロッ
ト3が形成されている。4および5は、基板1の正規の
装填時の表面に対して斜交する光路を形成し、かつ基板
表面に対して対称の位置に設けられた投光器4a,5a
と受光器4b,5bとからなる光センサである。6およ
び7は、光センサ4および5のそれぞれの光路を模式的
に示したものである。8はカセット2を載せるカセット
載置台、9は昇降軸、10はカセット載置台8を昇降さ
せるカセット載置台昇降駆動手段、11はカセット載置
台8の基準位置からの移動量に応じたカセット位置信号
S3を出力するカセット位置検出回路である。12はカ
セット載置台8の昇降中に基板1によって光センサ4の
光路6が遮断されている間中、信号S1を出力する光セ
ンサ制御回路であり、13はカセット載置台8の昇降中
に基板1によって光センサ5の光路7が遮断されている
間中、信号S2を出力する光センサ制御回路である。1
4は、光センサ4および5の各出力信号S1、S2とカ
セット位置信号S3とを入力して、各スロット3に対応
する各出力信号S1とS2とを比較して、基板1の有無
と装填状態の適否とを判定する比較判定回路である。1
5は比較判定回路14の判定データに裕度を設けるため
の裕度設定回路である。16は比較判定回路14の判定
データを記憶する記憶回路であり、17は本発明の対象
外であるが、記憶回路16に記憶された判定データを読
み出して、基板1が適切に装填されていると判定された
スロット3について、基板1をカセット2から取り出し
て必要な処理が行われた後に基板1をカセット2に装填
する自動搬送装置である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be specifically described below with reference to the drawings showing embodiments thereof. FIG. 1 is a block diagram showing a substrate detecting apparatus according to the present invention. In the figure,
1 is a substrate and 2 is a cassette for loading these substrates 1 at a predetermined pitch. Slots 3 for inserting substrates at a predetermined pitch are formed on the left and right inner side surfaces of the cassette 2 vertically. 4 and 5 are light projectors 4a and 5a which form an optical path oblique to the surface of the substrate 1 at the time of normal loading and are provided at symmetrical positions with respect to the substrate surface.
And an optical sensor including the light receivers 4b and 5b. Reference numerals 6 and 7 schematically show the optical paths of the optical sensors 4 and 5, respectively. Reference numeral 8 denotes a cassette mounting table on which the cassette 2 is mounted, 9 denotes an elevating shaft, 10 denotes a cassette mounting table raising / lowering driving means for raising and lowering the cassette mounting table 8, and 11 denotes a cassette position signal corresponding to the amount of movement of the cassette mounting table 8 from a reference position. This is a cassette position detection circuit that outputs S3. Reference numeral 12 denotes an optical sensor control circuit that outputs a signal S1 while the optical path 6 of the optical sensor 4 is blocked by the substrate 1 while the cassette mounting table 8 is moving up and down. 1 is an optical sensor control circuit that outputs a signal S2 while the optical path 7 of the optical sensor 5 is interrupted. 1
4 receives the output signals S1 and S2 of the optical sensors 4 and 5 and the cassette position signal S3, compares the output signals S1 and S2 corresponding to each slot 3, and determines whether or not the substrate 1 is present. This is a comparison determination circuit that determines whether the state is appropriate. 1
Reference numeral 5 denotes a margin setting circuit for providing a margin to the judgment data of the comparison judgment circuit 14. Reference numeral 16 denotes a storage circuit that stores the determination data of the comparison determination circuit 14. Reference numeral 17 is outside the scope of the present invention, but reads the determination data stored in the storage circuit 16 and the substrate 1 is properly loaded. This is an automatic transfer device that takes out the substrate 1 from the cassette 2 for the slot 3 determined to be and performs necessary processing to load the substrate 1 into the cassette 2.
【0021】裕度設定回路15は、基板1をカセット2
から取り出すのに支障のない程度に基板1が傾いている
ときを異常検出から除外するために、出力信号S1とS
2とのON時間幅の差に実験により予め一定の裕度を設
けておくためのものである。The tolerance setting circuit 15 converts the substrate 1 into the cassette 2
The output signals S1 and S1 are used to exclude from the abnormality detection when the substrate 1 is tilted to such an extent that there is no trouble in taking it out of the substrate 1.
This is to provide a certain margin in advance by experiment on the difference between the ON time width and the ON time width.
【0022】図1において、例えばカセット2の最下段
の第1スロットから最上段の第7スロットまで基板1が
適切に装填されているとする。この場合に、カセット載
置台8を最上部位置からカセット載置台昇降駆動手段1
0によって下降させながら、第1スロットに装填されて
いる基板1から順に光センサ4および5によって検出す
るとき、カセット2の下降にしたがって基板1によって
光センサ4の光路6が遮断されている間中、光センサ制
御回路12は信号S1を出力し、また基板1によって光
センサ5の光路7が遮断されている間中、光センサ制御
回路13は信号S2を出力する。カセット位置検出回路
11は、カセット載置台8の基準位置からの移動量に応
じたカセット位置信号S3を出力する。比較判定回路1
4は、出力信号S1、S2とカセット位置信号S3とを
入力する。図2は、図1に示すように基板1が装填され
たときの各スロット3に対する出力信号S1、S2を示
す図であり、同図(A)は出力信号S1を示し、同図
(B)は出力信号S2を示している。基板1が各スロッ
ト3の全てに水平に装填されているときは、投光器4
a、5aと受光器4b、5bとが、基板1の表面に対し
て斜交する光路6、7を形成し、かつ基板表面に対して
対称の位置に設けられているので、図2(A)、(B)
に示すように、出力信号S1とS2とは完全に一致す
る。この結果、信号S1とS2とを比較したとき、その
差が裕度設定回路15の設定範囲内となって、比較判定
回路14は、カセット2に装填されている全ての基板1
が適切に装填されていると判定する。図3はこのとき
の、比較判定回路14が各スロット3に対して基板1が
適切に装填されているかどうかを判定したデータを示す
図であり、基板1が適切に装填されているときHと示
し、適切に装填されていないときLと示す。In FIG. 1, for example, it is assumed that the substrate 1 is properly loaded from the lowermost first slot to the uppermost seventh slot of the cassette 2. In this case, the cassette mounting table 8 is moved from the uppermost position to the cassette mounting table raising / lowering driving means 1.
When the optical sensors 4 and 5 sequentially detect the substrate 1 loaded in the first slot while descending by 0, the optical path 6 of the optical sensor 4 is blocked by the substrate 1 as the cassette 2 descends. The optical sensor control circuit 12 outputs a signal S1, and the optical sensor control circuit 13 outputs a signal S2 while the optical path 7 of the optical sensor 5 is blocked by the substrate 1. The cassette position detection circuit 11 outputs a cassette position signal S3 according to the amount of movement of the cassette mounting table 8 from the reference position. Comparison judgment circuit 1
Reference numeral 4 inputs the output signals S1 and S2 and the cassette position signal S3. FIG. 2 is a diagram showing output signals S1 and S2 for each slot 3 when the substrate 1 is loaded as shown in FIG. 1, and FIG. 2A shows the output signal S1 and FIG. Indicates the output signal S2. When the substrate 1 is loaded horizontally in all the slots 3,
2 (A), the optical receivers 4b and 5b form optical paths 6 and 7 oblique to the surface of the substrate 1 and are provided at symmetric positions with respect to the substrate surface. ), (B)
As shown in the figure, the output signals S1 and S2 completely match. As a result, when the signals S1 and S2 are compared, the difference is within the setting range of the tolerance setting circuit 15, and the comparison determination circuit 14 determines that all the substrates 1 loaded in the cassette 2
Is determined to be properly loaded. FIG. 3 is a diagram showing data at this time when the comparison / determination circuit 14 determines whether or not the board 1 is properly loaded in each slot 3. And L when not properly loaded.
【0024】図1において、図3に示す判定データは記
憶回路16に記憶され、自動搬送装置17は、記憶回路
16に記憶された判定データを読み出して、基板1が適
切に装填されているスロット3について、基板1をカセ
ット2から取り出し、必要な処理が行われた後に、基板
1をカセット2に装填する。In FIG. 1, the judgment data shown in FIG. 3 is stored in the storage circuit 16, and the automatic transporting device 17 reads the judgment data stored in the storage circuit 16 and reads out the slot in which the substrate 1 is properly loaded. With respect to 3, the substrate 1 is taken out of the cassette 2, and after necessary processing is performed, the substrate 1 is loaded into the cassette 2.
【0026】次に、カセット2に基板1が適切に装填さ
れていない場合の基板1の検出について説明する。図4
は、カセット2の上下段違いのスロット3に基板1が装
填されている場合の基板1の検出の様子を示す図であ
る。また図5は、図4に示したように基板1を装填した
ときの各スロット3に対する光センサ4、5の各出力信
号S1、S2を示す図であり、同図(A)は光センサ4
の出力信号S1を示し、同図(B)は光センサ5の出力
信号S2を示す。図4に示すように、基板1が第5スロ
ットと第6スロットとに段違いに装填された場合、図5
(A)、(B)に示すように、第5スロットおよび第6
スロットにおいて出力信号S1とS2とは一致しないこ
とになる。比較判定回路14は、第5スロットおよび第
6スロットにおいて、信号S1とS2との差が裕度設定
回路15の設定値内か否かを判定し、裕度設定値を超え
るときは、基板1が適切に装填されていないと判定す
る。図6はこのときの比較判定回路14が各スロット3
に対して基板1が適切に装填されているかどうかを判定
したデータを示す図であり、基板1が適切に装填されて
いるときHと示し、適切に装填されていないときLと示
す。Next, detection of the substrate 1 when the substrate 1 is not properly loaded in the cassette 2 will be described. FIG.
FIG. 4 is a diagram showing a state of detection of the substrate 1 when the substrate 1 is loaded in the slot 3 of the cassette 2 at a different upper and lower step. FIG. 5 is a diagram showing output signals S1 and S2 of the optical sensors 4 and 5 for each slot 3 when the substrate 1 is loaded as shown in FIG. 4, and FIG.
FIG. 4B shows an output signal S2 of the optical sensor 5. FIG. As shown in FIG. 4, when the substrate 1 is loaded stepwise in the fifth slot and the sixth slot, FIG.
As shown in (A) and (B), the fifth slot and the sixth slot
The output signals S1 and S2 do not match in the slot. The comparison determination circuit 14 determines whether the difference between the signals S1 and S2 is within the set value of the tolerance setting circuit 15 in the fifth slot and the sixth slot. Is determined not to be properly loaded. FIG. 6 shows that the comparison judgment circuit 14 at this time
FIG. 6 is a diagram showing data for determining whether or not the substrate 1 is properly loaded, wherein H is shown when the substrate 1 is properly loaded, and L when it is not properly loaded.
【0028】また、図15に示したように、異物19が
スロット3に入り込んで基板1が傾いたり、図17に示
したように異物19がカセット2の下に入り込んで全て
の基板1が傾いた場合も、2組の光センサ4、5に対応
する出力信号S1とS2との差が裕度設定回路15の設
定値を超えたものについて、比較判定回路14は基板1
が適切に装填されていないと判定する。Further, as shown in FIG. 15, the foreign matter 19 enters the slot 3 and the substrate 1 tilts. As shown in FIG. 17, the foreign matter 19 enters under the cassette 2 and all the substrates 1 tilt. In the case where the difference between the output signals S1 and S2 corresponding to the two sets of optical sensors 4 and 5 exceeds the set value of the tolerance setting circuit 15, the comparison determination circuit 14
Is determined not to be properly loaded.
【0032】光センサ4、5の投光器4a、5aと受光
器4b、5bとは、基板1の正規の装填時の表面に対し
て斜交する光路6、7を形成するように設けられている
が、これらの光センサ4、5の配置の例を図7ないし図
10に示す。図7ないし図10において、(A)は平面
図であり、(B)は正面図である。これらのいずれの例
においても、投光器4a、5aと受光器4b、5bと
は、それぞれの光路6、7が基板1の表面に対して斜交
する位置に設けられている。The light projectors 4a and 5a and the light receivers 4b and 5b of the optical sensors 4 and 5 are provided so as to form optical paths 6 and 7 oblique to the surface of the substrate 1 at the time of normal loading. However, examples of the arrangement of the optical sensors 4 and 5 are shown in FIGS. 7A to 10, (A) is a plan view, and (B) is a front view. In any of these examples, the light projectors 4a, 5a and the light receivers 4b, 5b are provided at positions where the respective optical paths 6, 7 are oblique to the surface of the substrate 1.
【0034】なお、光センサ4、5の光路6、7がそれ
ぞれ2つ以上のスロット3を横切る程度に光センサ4、
5を設けると、複数の基板1を重ねて検出することにな
り、基板1の配列を正確に判定することができない。し
たがって、光路6、7が1つのスロット3のみを横切る
ように光センサ4、5の傾きを定める必要がある。It is to be noted that the optical paths 6 and 7 of the optical sensors 4 and 5 cross the two or more slots 3 respectively.
When 5 is provided, a plurality of substrates 1 are detected in an overlapping manner, and the arrangement of the substrates 1 cannot be accurately determined. Therefore, it is necessary to determine the inclination of the optical sensors 4 and 5 so that the optical paths 6 and 7 cross only one slot 3.
【0036】上記の実施例においては、基板1を順番に
検出するとき、カセット2を昇降させているが、その代
わりにカセット2を固定しておいて、光センサ4、5を
昇降させたり、またはカセット2と光センサ4、5を共
に昇降させても良い。In the above embodiment, when detecting the substrates 1 in order, the cassette 2 is moved up and down. Instead, the cassette 2 is fixed and the optical sensors 4 and 5 are moved up and down. Alternatively, both the cassette 2 and the optical sensors 4 and 5 may be moved up and down.
【0040】[0040]
【発明の効果】以上の如く本発明の基板の検出装置にお
いては、光センサの投光器および受光器を、基板の正規
の装填時の表面に対して斜交する光路を形成し、かつ基
板表面に対して対称の位置に2組設けて基板の配列を検
出することによって、カセットの上下段違いのスロット
に基板が装填されたり、スロットに異物が入り込んで基
板が傾いた場合でも、誤って基板が装填されていないと
判定することが無く、スロットに基板が装填されている
かどうか、および装填状態が許容範囲にあるかどうかを
同時に正確に判定することができ、基板の生産性を向上
させることができる。As described above, in the substrate detecting apparatus according to the present invention, the light emitter and the light receiver of the optical sensor are formed so as to form an optical path oblique to the surface of the substrate when it is properly loaded, and to be provided on the surface of the substrate. By arranging the two sets at symmetrical positions and detecting the arrangement of the substrates, even if the substrates are loaded into slots in the cassette at different heights or if the substrates are inclined due to foreign substances entering the slots, the substrates are loaded by mistake. It is possible to simultaneously and accurately determine whether a slot is loaded with a substrate and whether the loaded state is within an allowable range without determining that the slot is not loaded, thereby improving the productivity of the substrate. .
【図1】本発明の基板の検出装置のブロック図を示す
図。FIG. 1 is a diagram showing a block diagram of a substrate detection device of the present invention.
【図2】本発明のカセットの全てのスロットに基板が適
切に装填されているときの各スロットに対する光センサ
の出力信号を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an output signal of an optical sensor for each slot when a substrate is properly loaded in all slots of the cassette of the present invention.
【図3】本発明のカセットの全てのスロットに基板が適
切に装填されているときの比較判定回路の判定データを
示す図。FIG. 3 is a diagram showing determination data of a comparison determination circuit when substrates are properly loaded in all slots of the cassette of the present invention.
【図4】本発明のカセットの上下段違いのスロットに基
板が装填されているときの基板の検出の様子を示す図。FIG. 4 is a view showing a state of detection of a substrate when a substrate is loaded in a slot of a cassette of the present invention in which the upper and lower steps are different.
【図5】本発明のカセットの上下段違いのスロットに基
板が装填されているときの各スロットに対する光センサ
の出力信号を示す図。FIG. 5 is a diagram showing output signals of an optical sensor with respect to each slot when a substrate is loaded in slots at different heights of the cassette according to the present invention.
【図6】本発明のカセットの上下段違いのスロットに基
板が装填されているときの比較判定回路の判定データを
示す図。FIG. 6 is a diagram illustrating determination data of a comparison determination circuit when a substrate is loaded in a slot of a cassette of the present invention in which the upper and lower steps are different.
【図7】本発明の光センサの配置の例を示す図。FIG. 7 is a diagram showing an example of the arrangement of the optical sensor of the present invention.
【図8】本発明の光センサの配置の別の例を示す図。FIG. 8 is a diagram showing another example of the arrangement of the optical sensor of the present invention.
【図9】本発明の光センサの配置のさらに別の例を示す
図。FIG. 9 is a diagram showing still another example of the arrangement of the optical sensor of the present invention.
【図10】本発明の光センサの配置のさらに別の例を示
す図。FIG. 10 is a diagram showing still another example of the arrangement of the optical sensor of the present invention.
【図11】複数の基板を装填した一般的なカセットを示
す図。FIG. 11 is a diagram showing a general cassette loaded with a plurality of substrates.
【図12】従来の基板の検出装置のブロック図を示す
図。FIG. 12 is a block diagram showing a conventional substrate detection apparatus.
【図13】従来のカセットの全てのスロットに基板が適
切に装填されているときの各スロットに対する光センサ
の出力信号を示す図。FIG. 13 is a diagram showing output signals of an optical sensor for each slot when a substrate is properly loaded in all slots of a conventional cassette.
【図14】従来のカセットの全てのスロットに基板が適
切に装填されているときの判定回路の判定データを示す
図。FIG. 14 is a diagram showing determination data of a determination circuit when substrates are properly loaded in all slots of a conventional cassette.
【図15】従来のカセットのスロットに基板が適切に装
填されていないときの基板の検出の様子と示す図。FIG. 15 is a diagram showing a state of detection of a substrate when a substrate is not properly loaded in a slot of a conventional cassette.
【図16】従来のカセットのスロットに基板が適切に装
填されていないときの各スロットに対する光センサの出
力信号を示す図。FIG. 16 is a diagram showing output signals of an optical sensor for each slot when a substrate is not properly loaded in a slot of a conventional cassette.
【図17】従来のカセットの下に異物が入り込んだとき
の基板の検出の様子を示す図。FIG. 17 is a view showing a state of detection of a substrate when a foreign substance enters under a conventional cassette.
1 基板 2 カセット 3 スロット 4、5 非接触式基板検出センサ(光センサ) 4a、5a 投光器 4b、5b 受光器 6、7 光路 8 カセット載置台 9 昇降軸 10 カセット載置台昇降駆動手段 11 カセット位置検出回路 12、13 光センサ制御回路 14 比較判定回路 15 裕度設定回路 16 記憶回路 S1、S2 光センサの出力信号 S3 カセット位置信号 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Cassette 3 Slot 4, 5 Non-contact type substrate detection sensor (optical sensor) 4a, 5a Projector 4b, 5b Receiver 6, 7, Optical path 8 Cassette mounting table 9 Elevating axis 10 Cassette mounting table elevating drive means 11 Cassette position detection Circuits 12, 13 Optical sensor control circuit 14 Comparison / determination circuit 15 Tolerance setting circuit 16 Storage circuit S1, S2 Output signal of optical sensor S3 Cassette position signal
Claims (1)
ためのスロットが内側面に形成されてなるカセット内の
薄板基板の配列を検出する装置であって、(a)基板の
正規の装填時の表面に対して斜交する光路を形成する投
光器および受光器からなり、前記受光器への入射光が遮
断されている間中検出信号を出力し、かつ前記基板表面
に対して対称の位置に設けられた2組の非接触式基板検
出センサと、(b)前記カセットと前記2組の検出セン
サとを基板の装填方向に対して相対移動させる相対移動
手段と、(c)前記相対移動手段の基準位置からの移動
量に応じた相対位置信号を出力する相対位置検出回路
と、(d)前記検出センサの出力信号と前記相対位置信
号とを入力して、前記カセットの各スロットに対応する
前記2組の検出センサの各出力信号を比較して基板の有
無と装填状態の適否とを判定する比較判定回路と、
(e)前記判定回路の出力を各スロットに対するデータ
として記憶する記憶回路とを備えた薄板基板の検出装
置。1. An apparatus for detecting an array of thin substrates in a cassette having slots formed on an inner surface thereof for loading a plurality of thin substrates at a predetermined pitch, comprising: A light emitter and a light receiver that form an optical path oblique to the surface of the substrate, and output a detection signal while light incident on the light receiver is blocked, and at a position symmetric with respect to the substrate surface. (B) relative movement means for relatively moving the cassette and the two sets of detection sensors in the substrate loading direction, and (c) the relative movement means. A relative position detection circuit for outputting a relative position signal corresponding to the amount of movement from the reference position, and (d) inputting the output signal of the detection sensor and the relative position signal to correspond to each slot of the cassette. The two sets of detection sensors A comparison determination circuit that compares the output signals of the above to determine the presence or absence of a board and the suitability of the loaded state;
And (e) a storage circuit for storing the output of the determination circuit as data for each slot.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22425197A JPH1148057A (en) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | Detecting device board thin |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22425197A JPH1148057A (en) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | Detecting device board thin |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1148057A true JPH1148057A (en) | 1999-02-23 |
Family
ID=16810858
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22425197A Pending JPH1148057A (en) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | Detecting device board thin |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1148057A (en) |
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-
1997
- 1997-08-05 JP JP22425197A patent/JPH1148057A/en active Pending
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