JPH1144616A - 試料の採取方法及びその光学的分析方法、並びにこれらの方法に用いる試料採取具 - Google Patents
試料の採取方法及びその光学的分析方法、並びにこれらの方法に用いる試料採取具Info
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- JPH1144616A JPH1144616A JP20001397A JP20001397A JPH1144616A JP H1144616 A JPH1144616 A JP H1144616A JP 20001397 A JP20001397 A JP 20001397A JP 20001397 A JP20001397 A JP 20001397A JP H1144616 A JPH1144616 A JP H1144616A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板あるいは基材表面に付着した僅かな物質
の効率的な採取及び分析のための試料の採取方法及びそ
の光学的分析法、並びにこれらの方法に用いる試料採取
具を提供すること。 【解決手段】 安全剃刀状の薄い刃体１に鋭利な刃先１
ａを形成し、刃の形成面に高反射性の金属膜２を設けて
採取具としての削ぎ刃３を形成する。そして、この刃先
１ａで基板７の表面から付着物８を、採取面に付着させ
たままの状態で赤外分光分析し、その付着物の同定解析
をする。
の効率的な採取及び分析のための試料の採取方法及びそ
の光学的分析法、並びにこれらの方法に用いる試料採取
具を提供すること。 【解決手段】 安全剃刀状の薄い刃体１に鋭利な刃先１
ａを形成し、刃の形成面に高反射性の金属膜２を設けて
採取具としての削ぎ刃３を形成する。そして、この刃先
１ａで基板７の表面から付着物８を、採取面に付着させ
たままの状態で赤外分光分析し、その付着物の同定解析
をする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学的分析法（例
えば赤外分光分析法）において、良好な赤外分光スペク
トルを得るための試料の採取方法及びその光学的分析方
法、並びにこれらの方法に用いる試料採取具に関するも
のである。
えば赤外分光分析法）において、良好な赤外分光スペク
トルを得るための試料の採取方法及びその光学的分析方
法、並びにこれらの方法に用いる試料採取具に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】電子部品等の製造過程においては様々な
原料、溶剤、接着剤等が使用されるため、これらが製造
される製品の表面等に不純物として付着することが多
い。
原料、溶剤、接着剤等が使用されるため、これらが製造
される製品の表面等に不純物として付着することが多
い。
【０００３】例えば、ガラス基板上の付着物は基板の透
過率を低下させ、またウエハ上のフォトレジストの除去
残り等の不純物はその製品の主要部材を変質させること
もある。そして、これらが付着したまま製品化されれ
ば、その製品の品質を低下させる原因ともなることがあ
り、殊に精度を要求される電子部品等においてはこれを
除去すると共に発生原因を掌握し、再発を防止すること
が重要である。
過率を低下させ、またウエハ上のフォトレジストの除去
残り等の不純物はその製品の主要部材を変質させること
もある。そして、これらが付着したまま製品化されれ
ば、その製品の品質を低下させる原因ともなることがあ
り、殊に精度を要求される電子部品等においてはこれを
除去すると共に発生原因を掌握し、再発を防止すること
が重要である。
【０００４】そのためには、このような付着物等が製造
過程におけるどの工程において発生したかを確かめ、所
要の再発防止対策を講じることが必要である。従って、
基板あるいは基材上の様々な付着物や有機物の表面の変
質層等を赤外分光分析法を用いて分析を行い、その有機
物等の同定解析をすることが一般に行われている。
過程におけるどの工程において発生したかを確かめ、所
要の再発防止対策を講じることが必要である。従って、
基板あるいは基材上の様々な付着物や有機物の表面の変
質層等を赤外分光分析法を用いて分析を行い、その有機
物等の同定解析をすることが一般に行われている。
【０００５】図１６は、基板７上に付着物８が付着して
いる状態を示した断面図である。
いる状態を示した断面図である。
【０００６】しかし、このような基板７が十分に赤外光
を反射するものではない場合、赤外分光分析を行うため
には、基板７からこの付着物８のみを取り出し、付着物
８を高反射性のステージ上に移し替えて分析が行われ
る。
を反射するものではない場合、赤外分光分析を行うため
には、基板７からこの付着物８のみを取り出し、付着物
８を高反射性のステージ上に移し替えて分析が行われ
る。
【０００７】従来、このように基板７から付着物８を取
り出す方法としては、図１７に示すように、ピンセット
１３あるいはへら１２を用いて付着物８を取り出し、そ
して図１８に示すように取り出した付着物８を赤外分光
分析用の試料ステージ１４へ移載させる方法が採られて
きた。
り出す方法としては、図１７に示すように、ピンセット
１３あるいはへら１２を用いて付着物８を取り出し、そ
して図１８に示すように取り出した付着物８を赤外分光
分析用の試料ステージ１４へ移載させる方法が採られて
きた。
【０００８】また、図１９は、有機物からなる基材９の
表面に変質部１０が生じた状態の断面図を示すものであ
るが、基材９表面の変質部分１０についても、上記と同
様に赤外分光分析法を用いて分析し、その有機物の同定
解析が行われる。
表面に変質部１０が生じた状態の断面図を示すものであ
るが、基材９表面の変質部分１０についても、上記と同
様に赤外分光分析法を用いて分析し、その有機物の同定
解析が行われる。
【０００９】この場合のサンプリング方法としては、図
２０に示すように、ジョンソン法（８ＫＢｒの粉末など
を目的とする部位にこすり付けて有機物成分を８ＫＢｒ
に移着させる方法）により試料を採取し、これを赤外分
光分析し、その有機物の同定解析を行う方法等が採られ
てきた。
２０に示すように、ジョンソン法（８ＫＢｒの粉末など
を目的とする部位にこすり付けて有機物成分を８ＫＢｒ
に移着させる方法）により試料を採取し、これを赤外分
光分析し、その有機物の同定解析を行う方法等が採られ
てきた。
【００１０】そして、例えばこの基材９がポリブチレン
テレフタレート（ＰＢＴ）を材料としている場合は、ジ
ョンソン法により採取した試料を赤外分光分析し、この
分析の結果、得られたスペクトルをＰＢＴの原料物質で
あるテレフタル酸の標準ＩＲスペクトル、及びＰＢＴの
標準ＩＲスペクトルと照合し、分析データ中におけるこ
れらの物質の有無を確認する。
テレフタレート（ＰＢＴ）を材料としている場合は、ジ
ョンソン法により採取した試料を赤外分光分析し、この
分析の結果、得られたスペクトルをＰＢＴの原料物質で
あるテレフタル酸の標準ＩＲスペクトル、及びＰＢＴの
標準ＩＲスペクトルと照合し、分析データ中におけるこ
れらの物質の有無を確認する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た図１６の如き付着物の採取方法は、付着物８が微量で
ある場合や付着物８の粘着性の度合いによっては、試料
ステージ１４への移載が困難であり、解析に十分な赤外
分光スペクトルを得られないことがある。
た図１６の如き付着物の採取方法は、付着物８が微量で
ある場合や付着物８の粘着性の度合いによっては、試料
ステージ１４への移載が困難であり、解析に十分な赤外
分光スペクトルを得られないことがある。
【００１２】また、図２０に示したジョンソン法におい
ては、試料として十分な量を採取し難いことがある。
ては、試料として十分な量を採取し難いことがある。
【００１３】このように従来は、分析用の試料として、
基材上の赤外光を反射しない僅かな付着物や、有機物か
らなる基材表面の僅かな変質部分を効率良く採取する方
法や用具が存在しなかった。
基材上の赤外光を反射しない僅かな付着物や、有機物か
らなる基材表面の僅かな変質部分を効率良く採取する方
法や用具が存在しなかった。
【００１４】本発明は、上記の如き事情に鑑みてなされ
たものであって、赤外分光分析の如き光学的分析のため
に、基板上あるいは基材表面に付着した僅かな物質を効
率良く採取する試料の採取方法及びその光学的分析方
法、並びにこれらの方法に用いる試料の採取具を提供す
ることを目的とするものである。
たものであって、赤外分光分析の如き光学的分析のため
に、基板上あるいは基材表面に付着した僅かな物質を効
率良く採取する試料の採取方法及びその光学的分析方
法、並びにこれらの方法に用いる試料の採取具を提供す
ることを目的とするものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の目的
を達成すために鋭意検討を重ねた結果、その効果的な対
策を見出し、本発明に到達したものである。
を達成すために鋭意検討を重ねた結果、その効果的な対
策を見出し、本発明に到達したものである。
【００１６】即ち、本発明は、少なくとも採取面が分析
用測定光に対して高反射性の材料からなる試料採取具を
使用し、試料を前記採取面に付着させ、このままの状態
で光学的分析に供し得るようにした試料の採取方法に係
るものである。
用測定光に対して高反射性の材料からなる試料採取具を
使用し、試料を前記採取面に付着させ、このままの状態
で光学的分析に供し得るようにした試料の採取方法に係
るものである。
【００１７】また、本発明は、少なくとも採取面が分析
用測定光に対して高反射性の材料からなる試料採取具を
使用し、試料を前記採取面に付着させ、このままの状態
で光学的分析に供する試料の光学的分析方法に係るもの
である。
用測定光に対して高反射性の材料からなる試料採取具を
使用し、試料を前記採取面に付着させ、このままの状態
で光学的分析に供する試料の光学的分析方法に係るもの
である。
【００１８】また、本発明は、少なくとも採取面が分析
用測定光に対して高反射性の材料で形成され、これによ
り採取した試料を前記採取面に付着させ、このままの状
態で光学的分析に供せられる試料採取具に係るものであ
る。
用測定光に対して高反射性の材料で形成され、これによ
り採取した試料を前記採取面に付着させ、このままの状
態で光学的分析に供せられる試料採取具に係るものであ
る。
【００１９】なお、ここにおいて「高反射性」とは、被
分析物を分析するための測定光に対して十分な反射性を
有することを意味する。
分析物を分析するための測定光に対して十分な反射性を
有することを意味する。
【００２０】本発明の試料採取方法及びその光学的分析
法、並びにこれらの方法に用いる試料採取具によれば、
高反射性の採取具で採取した状態のまま、採取した試料
を分析できるので、試料の効率的な採取及び分析が可能
になり、この結果、付着物等の赤外分光分析等の光学的
分析による有機物の構造解析をより有利に行うことがで
きる。またこれを赤外分光分析に応用すれば効率良く分
析して良好な分光スペクトルを得ることができる。
法、並びにこれらの方法に用いる試料採取具によれば、
高反射性の採取具で採取した状態のまま、採取した試料
を分析できるので、試料の効率的な採取及び分析が可能
になり、この結果、付着物等の赤外分光分析等の光学的
分析による有機物の構造解析をより有利に行うことがで
きる。またこれを赤外分光分析に応用すれば効率良く分
析して良好な分光スペクトルを得ることができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】本発明の試料採取方法及びその光
学的分析方法、並びにこれらの方法に用いる試料採取具
によれば、前記試料採取具の少なくともその採取部が鋭
角状の板状体に形成され、この板状体の一方の面に高反
射性の金属膜が設けられて前記試料採取面を形成してよ
い。
学的分析方法、並びにこれらの方法に用いる試料採取具
によれば、前記試料採取具の少なくともその採取部が鋭
角状の板状体に形成され、この板状体の一方の面に高反
射性の金属膜が設けられて前記試料採取面を形成してよ
い。
【００２２】この場合、前記高反射性の金属膜が、金、
銀、アルミニウム及び銅からなる群より選ばれた少なく
とも一種の金属で形成させていることが望ましい。
銀、アルミニウム及び銅からなる群より選ばれた少なく
とも一種の金属で形成させていることが望ましい。
【００２３】これにより、基体の表面に付着した付着物
又は前記基体の変質部を採取して赤外分光スペクトル分
析用のサンプリングを行うことができる。
又は前記基体の変質部を採取して赤外分光スペクトル分
析用のサンプリングを行うことができる。
【００２４】また、採取具の構造、形状は種々変更して
よく、採取具の金属膜の形成は、スパッタ法以外に例え
ば蒸着又は電気メッキにより形成してもよい。
よく、採取具の金属膜の形成は、スパッタ法以外に例え
ば蒸着又は電気メッキにより形成してもよい。
【００２５】また、高反射性の金属膜の材料としては、
上記の材料以外に例えばＲｈ（ロジウム）等の金属でも
よく、赤外線の波長領域において高反射性を有する金属
であれば、波長領域の選び方に応じた金属を使用しても
よい。
上記の材料以外に例えばＲｈ（ロジウム）等の金属でも
よく、赤外線の波長領域において高反射性を有する金属
であれば、波長領域の選び方に応じた金属を使用しても
よい。
【００２６】また、本発明は、赤外分光分析以外の光学
的分析に応用してもよい。
的分析に応用してもよい。
【００２７】次に、本実施の形態を更に具体的に説明す
るが、本発明が以下の例に限定されるものでないことは
勿論である。なお、従来と共通の部材については共通の
符号を用いる。
るが、本発明が以下の例に限定されるものでないことは
勿論である。なお、従来と共通の部材については共通の
符号を用いる。
【００２８】図１は、本発明に基づく試料採取具として
の削ぎ刃を示す要部の断面図である。
の削ぎ刃を示す要部の断面図である。
【００２９】本例の削ぎ刃３は、図示の如く、刃体１の
端部において片方の面が斜めに研削されて刃先１ａが形
成され、この刃先１ａを形成している側の面に高反射性
の金属膜２が設けられている。そして、刃体１はステン
レス鋼等により例えば剃刃のように薄く形成されてい
る。
端部において片方の面が斜めに研削されて刃先１ａが形
成され、この刃先１ａを形成している側の面に高反射性
の金属膜２が設けられている。そして、刃体１はステン
レス鋼等により例えば剃刃のように薄く形成されてい
る。
【００３０】そしてこの削ぎ刃３は、基板上に薄く付着
した付着物等を採取したり、有機物の表面の変質層を掻
き採るための道具であって、採取した試料を削ぎ刃３に
付着させたまま赤外分光分析法を用いて分析するための
ものである。
した付着物等を採取したり、有機物の表面の変質層を掻
き採るための道具であって、採取した試料を削ぎ刃３に
付着させたまま赤外分光分析法を用いて分析するための
ものである。
【００３１】これにより、従来のように掻き採った試料
を測定用ステージに移載する必要がないために、測定作
業が能率化されると共に採取した試料のロスを抑えるこ
とができる。また、付着物を掻き集める行為そのものに
よって削ぎ刃３の上に試料が付着してくるため、効率良
くサンプリングを行うことができる。
を測定用ステージに移載する必要がないために、測定作
業が能率化されると共に採取した試料のロスを抑えるこ
とができる。また、付着物を掻き集める行為そのものに
よって削ぎ刃３の上に試料が付着してくるため、効率良
くサンプリングを行うことができる。
【００３２】本例は、上記の如く、基板等に付着した付
着物の赤外分光分析を容易化し、能率化するために、赤
外光に対して反射性の良い金属による金属膜（反射膜）
を一方の面に形成した削ぎ刃をサンプリングの道具とし
て用い、これにより採取した試料を付着させたままで赤
外分光分析できることが特筆すべき特徴である。
着物の赤外分光分析を容易化し、能率化するために、赤
外光に対して反射性の良い金属による金属膜（反射膜）
を一方の面に形成した削ぎ刃をサンプリングの道具とし
て用い、これにより採取した試料を付着させたままで赤
外分光分析できることが特筆すべき特徴である。
【００３３】そして、この方法により、採取した目的の
試料が微量であっても、掻き集めながら削ぎ刃３の上に
乗せることができ、また、薄く鋭い刃先１ａによって有
機物の表面の変質層についても、薄く掻き採ってそのま
ま測定を行うことができる。
試料が微量であっても、掻き集めながら削ぎ刃３の上に
乗せることができ、また、薄く鋭い刃先１ａによって有
機物の表面の変質層についても、薄く掻き採ってそのま
ま測定を行うことができる。
【００３４】図２、図３は、刃体１に金属膜２を形成す
る過程を示すものであるが、まず図２に示す如く、容器
４の中に入れた有機溶剤５に刃体１を浸漬させて油分を
除去する。有機溶剤５はアセトン等のように、油分を除
けるものであればよい。
る過程を示すものであるが、まず図２に示す如く、容器
４の中に入れた有機溶剤５に刃体１を浸漬させて油分を
除去する。有機溶剤５はアセトン等のように、油分を除
けるものであればよい。
【００３５】次は、図３に示す如く、油分を除去した刃
体１の刃先１ａの研削面側に、スパッタ法により金属膜
２を５０〜２００ｎｍの厚さに形成している。図３は、
このスパッタの状況を概略的に示した図であり、金属膜
２として使用する材料からなるターゲット６から矢印の
如く叩き出されたその金属の粒子が、刃体１の面に付着
してその金属膜２が形成される状況を示している。
体１の刃先１ａの研削面側に、スパッタ法により金属膜
２を５０〜２００ｎｍの厚さに形成している。図３は、
このスパッタの状況を概略的に示した図であり、金属膜
２として使用する材料からなるターゲット６から矢印の
如く叩き出されたその金属の粒子が、刃体１の面に付着
してその金属膜２が形成される状況を示している。
【００３６】この金属膜２は赤外光に対する反射率の高
さと、広い波長領域において高反射率を有する金が好適
であるが、銀、アルミニウム、銅等でもよい。またその
成膜方法は、強度の高い膜形成が可能なスパッタ法が好
適であるが、蒸着などでもよい。さらに、膜厚について
は、赤外光を十分反射させることを目的としているた
め、いずれの材料であっても３０ｎｍ以上あれば目的を
達成することができる。
さと、広い波長領域において高反射率を有する金が好適
であるが、銀、アルミニウム、銅等でもよい。またその
成膜方法は、強度の高い膜形成が可能なスパッタ法が好
適であるが、蒸着などでもよい。さらに、膜厚について
は、赤外光を十分反射させることを目的としているた
め、いずれの材料であっても３０ｎｍ以上あれば目的を
達成することができる。
【００３７】図４は、上記の如く作製した削ぎ刃３を用
いて、赤外分光分析用試料の具体的なサンプリングの状
況を示すものである。
いて、赤外分光分析用試料の具体的なサンプリングの状
況を示すものである。
【００３８】即ち、ガラス基板７の表面に非常に薄く付
着した付着物のサンプリング方法を示しているが、図示
の如く、基板７の付着物８を削ぎ刃３で削ぐようにして
付着物８を掻き集め、削ぎ刃３の表面に付着物８を移着
させる。
着した付着物のサンプリング方法を示しているが、図示
の如く、基板７の付着物８を削ぎ刃３で削ぐようにして
付着物８を掻き集め、削ぎ刃３の表面に付着物８を移着
させる。
【００３９】このようにして削ぎ刃３上に採取した試料
としての付着物８は赤外光を高反射率で反射する金属膜
２の上に載っているため、図５に示すように、そのまま
赤外分光分析を行うことが可能である。
としての付着物８は赤外光を高反射率で反射する金属膜
２の上に載っているため、図５に示すように、そのまま
赤外分光分析を行うことが可能である。
【００４０】図５は、採取した試料８の分析状況を示す
赤外分光分析装置（いわゆる顕微ＩＲ）の概略図であ
る。即ち、削ぎ刃３上の試料８に対して、光源１９から
出射した赤外光Ｌ1 が顕微鏡１７内の反射板（図示省
略）で反射して試料８を照射する。そして、試料８から
の赤外光Ｌ1 の反射光Ｌ2 （試料８を構成している分子
特有な吸収スペクトルによる吸収分を差し引いたもの）
が、顕微鏡１７を通って検出部１８に検出される。
赤外分光分析装置（いわゆる顕微ＩＲ）の概略図であ
る。即ち、削ぎ刃３上の試料８に対して、光源１９から
出射した赤外光Ｌ1 が顕微鏡１７内の反射板（図示省
略）で反射して試料８を照射する。そして、試料８から
の赤外光Ｌ1 の反射光Ｌ2 （試料８を構成している分子
特有な吸収スペクトルによる吸収分を差し引いたもの）
が、顕微鏡１７を通って検出部１８に検出される。
【００４１】また、図６は、上記と同様に削ぎ刃３を用
いて、有機物からなる基材９の表面の変質した部分のサ
ンプリングの状況を示すものである。
いて、有機物からなる基材９の表面の変質した部分のサ
ンプリングの状況を示すものである。
【００４２】図示の如く、この場合も削ぎ刃３の刃先１
ａを基材９に当て、基材９表面の変質部分１０を軽くこ
すれば、変質部分１０のみを削ぎ刃３の表面に移着させ
ることができる。従って、図５と同様にそのまま赤外分
光分析を行うことが可能である。
ａを基材９に当て、基材９表面の変質部分１０を軽くこ
すれば、変質部分１０のみを削ぎ刃３の表面に移着させ
ることができる。従って、図５と同様にそのまま赤外分
光分析を行うことが可能である。
【００４３】図７は、上記した採取具を用いて図４に示
す如く、ガラス基板７から採取した試料について、実際
に測定を行った結果得られたＩＲスペクトル２１を示す
ものである。これは製造過程において基板７に付着した
物質のスペクトルであるが、解析に十分な強度を持つ、
良好なスペクトルが容易に得られた。そしてこれを既知
の標準的なＩＲスペクトルと照合した結果、図８に示す
カルボキシメチルセルロースのＩＲスペクトル２２、又
は図９に示すポリアクリルアミドのＩＲスペクトル２３
に近似しており、このいずれかの物質であると思われ
る。
す如く、ガラス基板７から採取した試料について、実際
に測定を行った結果得られたＩＲスペクトル２１を示す
ものである。これは製造過程において基板７に付着した
物質のスペクトルであるが、解析に十分な強度を持つ、
良好なスペクトルが容易に得られた。そしてこれを既知
の標準的なＩＲスペクトルと照合した結果、図８に示す
カルボキシメチルセルロースのＩＲスペクトル２２、又
は図９に示すポリアクリルアミドのＩＲスペクトル２３
に近似しており、このいずれかの物質であると思われ
る。
【００４４】また、図１０は、上記と同様の採取具を用
いて図６に示す如く、基材９から採取した試料を実際に
測定した結果得られたＩＲスペクトル２４を示し、ポリ
ブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）の成型品表面に析出
したわずかな物質を同定解析した結果を示すものであ
る。
いて図６に示す如く、基材９から採取した試料を実際に
測定した結果得られたＩＲスペクトル２４を示し、ポリ
ブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）の成型品表面に析出
したわずかな物質を同定解析した結果を示すものであ
る。
【００４５】この結果、図１０のスペクトルは図１１に
示すＰＢＴの原料物質であるテレフタル酸のスペクトル
２５とほぼ一致し、この基材９の下地として用いられて
いるところの図１２に示すＰＢＴのスペクトル２６の吸
収が全く現れていないことが分かる。
示すＰＢＴの原料物質であるテレフタル酸のスペクトル
２５とほぼ一致し、この基材９の下地として用いられて
いるところの図１２に示すＰＢＴのスペクトル２６の吸
収が全く現れていないことが分かる。
【００４６】なお、図１３は、テレフタル酸の構造図で
あり、図１４はポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）
の構造図である。
あり、図１４はポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）
の構造図である。
【００４７】このように、本例の採取具を使用すること
により、一般的には測定が困難であった有機物上の変質
部について、下地の影響を受けずに効率よく測定を行う
ことが可能となった。
により、一般的には測定が困難であった有機物上の変質
部について、下地の影響を受けずに効率よく測定を行う
ことが可能となった。
【００４８】本例によれば、図１５に示す如く、刃体１
１の両面を切削して刃先１ａを形成し、両面に高反射性
の金属膜２を形成すれば、両面が試料の採取面として使
用することができるので、採取面がどちらであるかを気
にせずに使用することができる。また、このように両面
への金属膜２の形成は、図１に示したような片面を研削
して刃先を形成したものにも実施することが可能であ
る。
１の両面を切削して刃先１ａを形成し、両面に高反射性
の金属膜２を形成すれば、両面が試料の採取面として使
用することができるので、採取面がどちらであるかを気
にせずに使用することができる。また、このように両面
への金属膜２の形成は、図１に示したような片面を研削
して刃先を形成したものにも実施することが可能であ
る。
【００４９】また、刃体としては市販の剃刀の刃等を利
用すれば、刃体を作製するための専用の設備を設ける必
要もなく、採取具の製作費を節減することができる。
用すれば、刃体を作製するための専用の設備を設ける必
要もなく、採取具の製作費を節減することができる。
【００５０】また、刃体への金属膜の形成は、上記した
スパッタ法以外にも例えば電気めっきによって成膜する
ことができる。この金属膜の材質は、使用する測定光の
波長などによって高反射性のものを適切に選択すること
ができる。
スパッタ法以外にも例えば電気めっきによって成膜する
ことができる。この金属膜の材質は、使用する測定光の
波長などによって高反射性のものを適切に選択すること
ができる。
【００５１】そして、この分析結果に基づいて、これら
の発生原因等を掌握し、更にこの製造工程にフィードバ
ックすれば、再発を予防して歩留りを改善し、生産性を
高めることが可能になる。
の発生原因等を掌握し、更にこの製造工程にフィードバ
ックすれば、再発を予防して歩留りを改善し、生産性を
高めることが可能になる。
【００５２】
【発明の作用効果】上述した如く、本発明は、少なくと
も採取面が分析用測定光に対して高反射性の材料からな
る試料採取具を使用し、試料を前記採取面に付着させ、
このままの状態で光学的分析に供することができるの
で、効率的な試料の採取及び採取した試料を効率良く分
析に供することができる。その結果、付着物の赤外分光
分析等の光学的分析による有機物の構造解析が一層有利
に行えるようになり、これを赤外分光分析に適用すれ
ば、効率的に良好な分光スペクトルを得ることができ
る。
も採取面が分析用測定光に対して高反射性の材料からな
る試料採取具を使用し、試料を前記採取面に付着させ、
このままの状態で光学的分析に供することができるの
で、効率的な試料の採取及び採取した試料を効率良く分
析に供することができる。その結果、付着物の赤外分光
分析等の光学的分析による有機物の構造解析が一層有利
に行えるようになり、これを赤外分光分析に適用すれ
ば、効率的に良好な分光スペクトルを得ることができ
る。
【図１】本発明の実施の形態による削ぎ刃の一例の要部
を示す概略断面図である。
を示す概略断面図である。
【図２】同、刃体の油分除去状況を示す断面図である。
【図３】同、刃体への金属膜の成膜状況を示す概略断面
図である。
図である。
【図４】同、削ぎ刃を用いた付着物のサンプリングを示
す概略断面図である。
す概略断面図である。
【図５】同、採取試料の分析を示す赤外分光分析装置の
概略図である。
概略図である。
【図６】同、削ぎ刃を用いた基体変質部のサンプリング
を示す概略断面図である。
を示す概略断面図である。
【図７】同、採取した試料のＩＲスペクトルを示す図で
ある。
ある。
【図８】カルボキシメチルセルロースのＩＲスペクトル
を示す図である。
を示す図である。
【図９】ポリアクリルアミドのＩＲスペクトルを示す図
である。
である。
【図１０】同、採取した他の試料のＩＲスペクトルを示
す図である。
す図である。
【図１１】テレフタル酸の標準ＩＲスペクトルを示す図
である。
である。
【図１２】ポリブチレンテレフタレートの標準ＩＲスペ
クトルを示す図である。
クトルを示す図である。
【図１３】テレフタル酸の構造図である。
【図１４】ポリブチレンテレフタレートの構造図であ
る。
る。
【図１５】同、削ぎ刃の変形例を示す要部の概略断面図
である。
である。
【図１６】基板上に付着した付着物を示す断面図であ
る。
る。
【図１７】従来例による基板上の付着物の採取状況を示
す概略図である。
す概略図である。
【図１８】同、採取した付着物の試料ステージへの移載
状況を示す概略図である。
状況を示す概略図である。
【図１９】基板表面に生じた変質部を示す断面図であ
る。
る。
【図２０】同、変質部のジョンソン法による採取方法を
しめす概略断面図である。
しめす概略断面図である。
１、１１…刃体、２…金属膜、３…削ぎ刃、６…ターゲ
ット、７…基板、８…試料（付着物）、９…基材、１０
…変質部、１７…顕微鏡、１８…検出部、１９…光源、
Ｌ1 …赤外光、Ｌ2 …反射光
ット、７…基板、８…試料（付着物）、９…基材、１０
…変質部、１７…顕微鏡、１８…検出部、１９…光源、
Ｌ1 …赤外光、Ｌ2 …反射光
Claims (12)
- 【請求項１】 少なくとも採取面が分析用測定光に対し
て高反射性の材料からなる試料採取具を使用し、試料を
前記採取面に付着させ、このままの状態で光学的分析に
供し得るようにした試料の採取方法。 - 【請求項２】 前記試料採取具の少なくともその採取部
が鋭角状の板状体に形成され、この板状体の一方の面に
高反射性の金属膜が設けられて前記試料採取面を形成し
ている、請求項１に記載した試料の採取方法。 - 【請求項３】 前記高反射性の金属膜が、金、銀、アル
ミニウム及び銅からなる群より選ばれた少なくとも一種
の金属で形成されている、請求項１に記載した試料の採
取方法。 - 【請求項４】 基体の表面に付着した付着物又は前記基
体の変質部を採取して赤外分光スペクトル分析用のサン
プリングを行う、請求項１に記載した試料の採取方法。 - 【請求項５】 少なくとも採取面が分析用測定光に対し
て高反射性の材料からなる試料採取具を使用し、試料を
前記採取面に付着させ、このままの状態で光学的分析に
供する試料の光学的分析方法。 - 【請求項６】 前記試料採取具の少なくともその採取部
が鋭角状の板状体に形成され、この板状体の一方の面に
高反射性の金属膜が設けられて前記試料採取面を形成し
ている、請求項５に記載した試料の光学的分析方法。 - 【請求項７】 前記高反射性の金属膜を、金、銀、アル
ミニウム及び銅からなる群より選ばれた少なくとも一種
の金属で形成させている、請求項５に記載した光学的分
析方法。 - 【請求項８】 基体の表面に付着した付着物又は前記基
体の変質部を採取して赤外分光スペクトル分析用のサン
プリングを行う、請求項５に記載した光学的分析方法。 - 【請求項９】 少なくとも採取面が分析用測定光に対し
て高反射性の材料で形成され、これにより採取した試料
を前記採取面に付着させ、このままの状態で光学的分析
に供せられる試料採取具。 - 【請求項１０】 前記試料採取具の少なくともその採取
部が鋭角状の板状体に形成され、この板状体の一方の面
に高反射性の金属膜が設けられて前記試料採取面が形成
されている、請求項９に記載した試料採取具。 - 【請求項１１】 前記高反射性の金属膜が、金、銀、ア
ルミニウム及び銅からなる群より選ばれた少なくとも一
種の金属で形成されている、請求項９に記載した試料採
取具。 - 【請求項１２】 基体の表面に付着した付着物又は前記
基体の変質部を採取して赤外分光スペクトル分析用のサ
ンプリングを行うように構成された、請求項９に記載し
た試料採取具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20001397A JPH1144616A (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | 試料の採取方法及びその光学的分析方法、並びにこれらの方法に用いる試料採取具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20001397A JPH1144616A (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | 試料の採取方法及びその光学的分析方法、並びにこれらの方法に用いる試料採取具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1144616A true JPH1144616A (ja) | 1999-02-16 |
Family
ID=16417355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20001397A Pending JPH1144616A (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | 試料の採取方法及びその光学的分析方法、並びにこれらの方法に用いる試料採取具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1144616A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007114159A (ja) * | 2005-10-24 | 2007-05-10 | Victor Co Of Japan Ltd | 赤外線分光分析用試料採取器具 |
| JP2007248093A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Casio Comput Co Ltd | 膜評価方法 |
| JP2007271612A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-10-18 | Canon Inc | 高感度質量分析装置および分析方法 |
| JP2011017696A (ja) * | 2009-06-09 | 2011-01-27 | Techno Arc:Kk | 表面分析方法及び装置 |
| JP2013088333A (ja) * | 2011-10-20 | 2013-05-13 | Daipura Uintesu Kk | 試料分析方法、試料切片採取装置および試料切片採取用切刃 |
| CN105758817A (zh) * | 2016-03-07 | 2016-07-13 | 河南城建学院 | 基于表面张力原理的沥青基材料红外光谱分析制样方法 |
| JP2023027924A (ja) * | 2021-08-18 | 2023-03-03 | 株式会社ユニケミー | 微小試料用保持具 |
-
1997
- 1997-07-25 JP JP20001397A patent/JPH1144616A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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