JPH1143308A

JPH1143308A - オゾン製造装置

Info

Publication number: JPH1143308A
Application number: JP19843697A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Tanimura; 泰宏谷村; Junji Hirotsuji; 淳二広辻; Shigeki Nakayama; 繁樹中山; Hisao Amitani; 久夫網谷; Yutaka Yuge; 裕弓削; Kenju Ozawa; 建樹小沢
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1997-07-24
Filing date: 1997-07-24
Publication date: 1999-02-16
Also published as: EP1253109A2; DE69834526T2; US6214298B1; CA2242827A1; EP0893401B1; CA2242827C; EP1253109A3; DE69834526D1; EP0893401A1

Abstract

(57)【要約】【課題】停電や吸脱着塔内が高圧力および／または高
温などの運転異常状態になったときにも、吸着貯留して
いるオゾンが急速に分解するのを防ぎ、かつ、吸着して
いるオゾンを安全に処理できるオゾン製造装置を提供す
る。【解決手段】オゾン化酸素を生成するオゾン発生器１
と、該オゾン発生器１で生成したオゾン化酸素からオゾ
ンを吸着貯留する吸脱着塔４と、吸着貯留したオゾンを
脱着して供給するオゾン脱着手段であるエジェンタ７を
備えてなるオゾン製造装置であって、還元剤を貯留する
還元剤貯留器１０が前記吸脱着塔４に切換バルブ９を介
して接続されており、オゾン製造装置が運転異常状態に
なったときに前記切換バルブ９を開くようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はオゾン製造装置に関
する。さらに詳しくは、オゾンを連続的に製造して吸着
貯留し、必要なときにこれを脱着（分離）させて供給す
るオゾン製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】発電所や化学工業などには多量の冷却水
が使用されているが、用水中の微生物や藻類によってス
ライム障害が発生して管路の閉塞や熱交換率の低下が起
こる。この種の防止対策として高濃度のオゾン水の適用
が考えられる。高濃度のオゾン水を生成するためには、
大容量のオゾン発生器を用いて生成するよりも、小型で
小容量のオゾン発生器を用いて、生成したオゾンを吸着
剤に長期間にわたって蓄積し、この蓄積したオゾンを必
要に応じて吸着剤から取り出し、高濃度のオゾン水を生
成する、いわゆる間歇オゾン製造方式が設備費および運
転費の点から有利である。

【０００３】かかるオゾン製造方式を用いたオゾン製造
装置として、たとえば図２５に示すように、オゾン発生
器５０と、酸素供給源５１と、循環ブロア５２と、吸脱
着塔５３と、冷熱源５４と、加熱源５５と、水流エジェ
クタ５６と、切換弁５７ａ〜５７ｇとからなるものがあ
る。吸脱着塔５３は二重筒になっており、その内筒はオ
ゾン吸着剤が充填されており、外筒は熱媒体が充填され
ている。なお、オゾン吸着剤には、たとえばシリカゲル
が用いられ、熱媒体にはエチレングリコールやアルコー
ル類が使用される。また、前記循環ブロア５２、オゾン
発生器５０および吸脱着塔５３は、この順に１つの循環
系を構成している。

【０００４】つぎに動作について説明する。この動作に
はオゾンの吸着貯留工程と脱着工程の２工程がある。

【０００５】初めにオゾンの吸着貯留工程について説明
する。酸素供給源５１より循環系内に常時一定圧力にな
るように酸素を供給する。このときの圧力は通常１．５
ｋｇ／ｃｍ²に維持されている。切換弁５７ｃおよび５
７ｄを開き、循環ブロア５２より循環系内に酸素を流通
し、循環させると、オゾン発生器５０の放電空間を通過
するあいだに、酸素の一部がオゾンに変換されてオゾン
化酸素となる。このオゾン化酸素は吸脱着塔５３へ送ら
れる。吸脱着塔５３内のオゾン吸着剤はオゾンを選択的
に吸着し、残りの酸素は切換弁５７ｃを介して循環ブロ
ア５２に戻される。オゾンに変換され、吸着された酸素
量は酸素供給源５１より補充される。このとき、オゾン
吸着剤の温度は、オゾン吸着量が温度により大きく変化
するため、冷熱源５４により−３０℃以下に冷却されて
いる。すなわち、温度が低下するとオゾン吸着量は増加
し、逆に上昇するとオゾンの吸着量は減少する。したが
って、オゾンを脱着するときは加熱源５５により吸着剤
の温度を上昇させる。

【０００６】前記吸脱着塔５３の吸着剤がオゾンを飽和
吸着量近くまで吸着すると脱着工程に移行する。脱着工
程では、オゾン発生器５０、循環ブロア５２および冷熱
源５４が稼働を停止し、切換弁５７ａ〜５７ｄが閉じ
る。そののち、加熱源５５および水流エジェクタ５６が
稼働を始めて切換弁５７ｅ〜５７ｇが開く。このとき、
吸着剤に吸着貯留されていたオゾンが脱着し易いように
加熱源５５より熱が加えられ吸着剤の温度を上昇させ
る。そして水流エジェクタ５６で吸脱着塔５３内のオゾ
ンを減圧吸引し、水流エジェクタ５６内で水中に分散
し、溶解してオゾン水として使用箇所に送られる。この
ように脱着工程が終了すると再び初期の吸着工程に移行
して連続的に運転が繰り返される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】前記従来の装置では、
たとえば、吸着工程の運転途中で停電すると冷熱源５４
が停止し、吸脱着塔５３内のオゾン吸着剤の温度が上昇
してオゾン吸着量は減少する。その結果、吸着していた
オゾンが吸着剤から離れ、吸脱着塔５３内に高濃度およ
び高圧力で充満しているオゾンが急速に分解を開始し、
貯留したオゾンが無駄に消費されてしまうという問題が
あった。また、脱着工程で停電になったばあいも、吸脱
着塔５３内に高濃度および高圧力で充満しているオゾン
を取り出すことができなくなる。

【０００８】さらに、吸脱着塔５３に安全弁を備えてい
るばあいも、高濃度のオゾンを装置周辺の環境に放出す
ることはできず、また、オゾン分解装置に接続している
ばあいも一度に多量の高濃度オゾンが放出されるため、
非常に大容量のオゾン分解装置を設置せねばならず、万
が一のばあいに備える安全装置としては、経済的な対策
ではない。

【０００９】本発明は、叙上の事情に鑑み、停電や吸脱
着塔内が高圧力および／または高温などの運転異常状態
になったときにも、装置の破壊または爆発や火災を未然
に防ぎ、かつ、吸着しているオゾンを安全に処理できる
オゾン製造装置を提供することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】第１の発明にかかわるオ
ゾン製造装置は、オゾン化酸素を生成するオゾン発生器
と、該オゾン発生器で生成したオゾン化酸素からオゾン
を吸着貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着
して供給するオゾン脱着手段を備えてなるオゾン製造装
置であって、還元剤を貯留する還元剤貯留器が前記吸脱
着塔に切換バルブを介して接続されており、オゾン製造
装置が運転異常状態になったときに前記切換バルブを開
くようにしたことを特徴としている。

【００１１】また第２の発明にかかわるオゾン製造装置
は、オゾン化酸素を生成するオゾン発生器と、該オゾン
発生器で生成したオゾン化酸素からオゾンを吸着貯留す
る吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着して供給する
オゾン脱着手段を備えてなるオゾン製造装置であって、
シリカゲルを充填したシリカゲル充填器とオゾン分解器
が前記吸脱着塔に切換バルブを介して順次接続されてお
り、オゾン製造装置が運転異常状態になったときに前記
切換バルブを開くようにしたことを特徴としている。

【００１２】また第３の発明にかかわるオゾン製造装置
は、オゾン化酸素を生成するオゾン発生器と、該オゾン
発生器で生成したオゾン化酸素からオゾンを吸着貯留す
る吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着して供給する
オゾン脱着手段を備えてなるオゾン製造装置であって、
前記吸脱着塔と前記オゾン脱着手段より下流側位置の水
配管とが切換バルブを介して接続されており、オゾン製
造装置が運転異常状態になったときに前記切換バルブを
開くようにしたことを特徴としている。

【００１３】また第４の発明にかかわるオゾン製造装置
は、オゾン化酸素を生成するオゾン発生器と、該オゾン
発生器で生成したオゾン化酸素からオゾンを吸着貯留す
る吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着して供給する
オゾン脱着手段を備えてなるオゾン製造装置であって、
ガス貯留器が前記吸脱着塔に切換バルブを介して接続さ
れており、オゾン製造装置が運転異常状態になったとき
に前記切換バルブを開くようにしたことを特徴としてい
る。

【００１４】また第５の発明にかかわるオゾン製造装置
は、停電状態になったことを検知する電力供給モニター
手段を備えており、停電を検知した場合に運転異常状態
になったと判断するようにしたものである。

【００１５】また第６の発明にかかわるオゾン製造装置
は、吸脱着塔内の圧力を計測する圧力検知手段を備えて
おり、吸脱着塔内の圧力が予め定めた範囲を逸脱したば
あいに運転異常状態になったと判断するようにしたもの
である。

【００１６】また第７の発明にかかわるオゾン製造装置
は、吸脱着塔内の温度を計測する温度検知手段を備えて
おり、吸脱着塔内の温度が予め定めた範囲を逸脱したば
あいに運転異常状態になったと判断するようにしたもの
である。

【００１７】さらに第８の発明にかかわるオゾン製造装
置は、運転異常状態から正常な状態に回復したときに自
動的に元の運転状態に復帰するようにしたものである。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明におけるオゾン製造装置
は、停電状態を検知したり、および／または吸脱着塔内
の圧力、温度が予め定めた範囲を逸脱して運転異常状態
になったばあいに、還元剤貯留器に脱着した高濃度オゾ
ンを導き、還元剤とオゾンとを反応させて、また、シリ
カゲル充填器に脱着した高濃度オゾンを導き、オゾン濃
度を平滑化してオゾン分解器で分解するようにし、ま
た、直接オゾンをオゾンの使用先に供給する配管を設
け、脱着した高濃度オゾンを導くようにして、また、ガ
ス貯留器に脱着した高濃度オゾンを導き、オゾン濃度を
平滑化してオゾン分解器で分解するようにして、さら
に、運転異常状態から正常な状態に回復したときに自動
的に元の運転状態に復帰するようにしたので、停電や吸
脱着塔内が高圧力、高温などの運転異常状態になったと
きにも、吸着貯留しているオゾンが急速に分解するのを
防ぎ、かつ、吸着しているオゾンを安全に処理できると
ともに、運転異常状態から正常な状態に回復したときも
自動的に元の運転状態に復帰し、安全にオゾンを製造す
ることができる。

【００１９】実施の形態１．図１は本発明の実施の形態
１におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図１に
示すように、オゾン発生器１と、酸素供給源２と、循環
ブロア３と、吸脱着塔４と、冷熱源５と、加熱源６と、
オゾン脱着手段である水流エジェクタ７と、切換弁８ａ
〜８ｇ、９と、還元剤貯留器１０からなる。切換弁９と
還元剤貯留器１０は配管Ｌａで吸脱着塔４に接続してい
る。前記還元剤貯留器１０の内部には、たとえばチオ硫
酸ナトリウム溶液またはヨウ化カリウム溶液などの還元
剤が貯留されている。なお、前記切換弁９は非常電源に
より作動するようにされている。

【００２０】つぎに図１の装置の動作について説明す
る。この装置では、運転中に停電や吸脱着塔４内が高圧
力または高温などの運転異常状態になったとき、切換弁
９が開いて、吸脱着塔４内に吸着貯留しているオゾンを
配管Ｌａを介して還元剤貯留器１０内に導き、還元剤に
より分解処理する。

【００２１】このように、運転異常状態になったとき、
吸脱着塔４内に貯留しているオゾンを還元剤貯留器に導
き、分解処理するので、吸着貯留しているオゾンが急速
に分解するのを防ぎ、かつ、吸着しているオゾンを安全
に処理することができる。また、還元剤を用いるばあ
い、高濃度のオゾンに対しても安全に処理することがで
きるとともに、小容量でよいので装置をコンパクトにす
ることができる。

【００２２】実施の形態２．図２は本発明の実施の形態
２におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図２に
おいて、１１は充填器、１２はオゾン分解器であり、前
記充填器１１の内部には、シリカゲル、活性アルミナま
たはフルオロカーボンなどを含浸させた多孔質材料など
を充填している。該充填器１１および切換弁９は第１の
配管Ｌａで吸脱着塔４に接続されている。また、充填器
１１およびオゾン分解器１２は第２の配管Ｌｂで接続さ
れている。オゾン分解器１２には、たとえば活性炭また
はマンガン系のオゾン分解触媒が充填されているが、本
発明においては、とくにこれに限定されるものではな
く、たとえばオゾン分解器を熱分解方式のオゾン分解器
とすることができる。その他は図１と同様である。

【００２３】つぎに図２の装置の動作について説明す
る。この装置では、運転中に停電や吸脱着塔４内が高圧
力または高温などの運転異常状態になったとき、切換弁
９が開いて、吸脱着塔４内に吸着貯留しているオゾン含
有ガスを配管Ｌａを介して充填器１１に導く。切換弁９
を開けた直後は非常に高濃度、ばあいによっては高圧お
よび高濃度のオゾン含有ガスが配管Ｌａを介して排出さ
れる。このとき、次第に濃度、圧力とも低下する。そし
て濃度および圧力の低下したオゾン含有ガスが充填器１
１に供給されると、たとえばシリカゲルにはオゾンを選
択的に吸着する性質があるので、高濃度のオゾンはシリ
カゲル充填層を通過するときに一部が吸着される。これ
により、オゾン濃度が低下したオゾン含有ガスが配管Ｌ
ｂを介してオゾン分解器１２に送られたのち、オゾンは
分解処理される。

【００２４】このように、運転異常状態になったとき、
吸脱着塔４内に貯留しているオゾンを充填器１１を通
し、オゾン濃度を平滑化してオゾン分解器１２に導き、
分解処理するので、オゾン分解器を排出初期の高圧およ
び高濃度のオゾンに合わせて製作する必要がなく、オゾ
ン分解器１２を小型にすることができる。また、運転異
常状態になったとき、切換弁９を開いて、吸脱着塔４内
に貯留しているオゾンを排出して分解処理するので、吸
着貯留しているオゾンが急速に分解するのを防ぎ、か
つ、吸着しているオゾンを安全に処理することができ
る。

【００２５】実施の形態３．図３は本発明の実施の形態
３におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図３に
おいて、配管Ｌａは切換弁９と水流エジェクタ７より下
流側位置の水配管Ｌｃに接続している。なお、該水流エ
ジャクタ７は水配管Ｌｃの分岐配管Ｌｄに接続され、非
常電源により作動するポンプＰから送られる水中に注入
するようにされている。その他は図１と同様である。

【００２６】つぎに図３の装置の動作について説明す
る。この装置では、運転中に停電や吸脱着塔４内が高圧
力または高温などの運転異常状態になったとき、切換弁
９が開いて、吸脱着塔４内に吸着貯留しているオゾン含
有ガスを配管Ｌａを介して、水流エジェクタ７の水配管
Ｌｃに放出する。水配管Ｌｃに注入されたオゾンは、水
中の有機物などの物質と反応して消費される。

【００２７】このように、運転異常状態になったとき、
吸脱着塔４内に貯留しているオゾンを水流エジェクタ７
の水配管Ｌｃに導き注入して、水中の有機物などのオゾ
ンと反応性の物質と反応させて処理するので、運転異常
状態になっても吸着貯留しているオゾンが急速に分解す
るのを防ぎ、かつ、吸着しているオゾンを安全に処理す
ることができる。また、この方式では切換弁と配管を具
備するだけでよく、装置を簡素にできる。

【００２８】実施の形態４．図４は本発明の実施の形態
４におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図４に
おいて、１３はガス貯留器であり、配管Ｌａにより切換
弁９と接続している。その他は図１と同様である。

【００２９】つぎに図４の装置の動作について説明す
る。この装置では、運転中に停電や吸脱着塔４内が高圧
力または高温などの運転異常状態になったとき、切換弁
９が開いて、吸脱着塔４内に吸着貯留しているオゾン含
有ガスを配管Ｌａを介して、ガス貯留器１３に貯留す
る。当該ガス貯留槽１３に貯留されたオゾン含有ガス
は、装置が正常状態に復帰したのち、水流エジェクタ７
で吸脱着塔４内のオゾンを減圧吸引する際に、再び配管
Ｌａ、吸脱着塔４および配管Ｌｄを通って水流エジェク
タ７に供給され、水流エジェクタ７内で水中に分散さ
れ、溶解される。

【００３０】このように、運転異常状態になったとき、
吸脱着塔４内に貯留しているオゾンをガス貯留器１３に
一時的に貯留するので、運転異常状態になっても吸着貯
留しているオゾンが急速に分解するのを防ぎ、かつ、吸
着しているオゾンを無駄にすることなく使用することが
できる。また、本実施の形態では切換弁、配管およびガ
ス貯留器を具備するだけでよく、装置を簡素にできる。

【００３１】実施の形態５．図５は本発明の実施の形態
５におけるオゾン製造装置を示す構成図である。図５に
おいて、電力供給モニター手段である、装置への電力供
給状態のモニター１４と、制御回路１５と、信号線Ｓ
１、Ｓ２を備えている。その他は図１と同様である。電
力供給状態モニター１４の出力信号は、信号線Ｓ１によ
り制御回路１５の入力に接続され、また、制御回路１５
の出力は切換弁９の開閉信号として、信号線Ｓ２によっ
て切換弁９に接続している。

【００３２】つぎに図５の装置の動作について説明す
る。この装置では、運転中の装置への電力供給状態を電
力供給状態モニター１４で常時監視しており、停電を検
知すると、その信号は信号線Ｓ１を介して制御回路１５
に伝えられる。制御回路１５では直ちに、または運転状
態に応じて切換弁９の開閉、または開度調整信号を、信
号線Ｓ２で切換弁９に送り、切換弁９ではこの信号に基
づいて開閉状態または開度を制御する。なお、運転状態
に応じて信号を送るということの意味するところは、た
とえばつぎのようなことである。この装置はオゾン吸着
貯留工程と脱着工程とを繰り返してオゾンを製造する装
置であるが、吸着貯留工程と脱着工程では切換弁９の開
閉または開度制御信号を出すタイミングを変えることも
できるということである。すなわち、脱着工程中の加熱
源６より熱が加えられ吸脱着塔４内の吸着剤の温度を上
昇させているときは、吸脱着塔４内に高濃度のオゾンが
高圧に存在しているので直ちに切換弁９を操作する方が
よい。また、同じ脱着工程中であっても、水流エジェク
タ７に吸脱着塔４から脱着させたオゾンを供給している
ときは吸脱着塔４内は負圧になっているので、まず直ち
に切換弁８ｆを閉じたのち、一定時間経過してから、吸
脱着塔４内のオゾン圧力、濃度が高くなった頃に切換弁
９を操作すればよい。一方、装置が吸着貯留工程にある
ときに、停電したばあいは、吸脱着塔４内は冷熱源５に
より低温に保持されており、また、吸着剤の温度は停電
後すぐには上昇しないので、一定時間経過してから、吸
脱着塔４内の温度が上昇し始める頃に切換弁９を操作す
ればよい。

【００３３】なお、装置への電力供給状態の監視は、た
とえば電源供給ラインにリレーを設け、該リレーの接点
信号などを使うことにより、また、停電後の時間経過に
ついては、たとえば制御回路１５にタイマーを設けるこ
とにより、さらに、停電時の電源については、たとえば
蓄電池など使うことにより、安価に、かつ簡単に実施す
ることができる。

【００３４】このように、停電が発生し、装置が運転異
常状態になったとき、たとえば停電になったことを自動
的に検知し、この信号に基づいて切換弁９の開閉状態ま
たは開度を制御して、吸脱着塔４内に貯留しているオゾ
ンを引き抜き処理するので、運転異常状態になっても吸
着貯留しているオゾンが急速に分解するのを防ぎ、安全
に運転することができる。

【００３５】実施の形態６．図６は本発明の実施の形態
６におけるオゾン製造装置を示す構成図である。装置の
構成は、前記実施の形態５における還元剤貯留器１０に
代えて、実施の形態２における充填器１１とオゾン分解
器１２を接続したものである。

【００３６】図６の装置の動作は、図５の装置とほぼ同
様である。すなわち、この装置では、運転中の装置への
電力供給状態を電力供給状態モニター１４で常時監視し
ており、停電を検知するとその信号は信号線Ｓ１を介し
て制御回路１５に伝えられる。制御回路１５では直ち
に、または運転状態に応じて切換弁９の開閉、または開
度調整信号を、信号線Ｓ２で切換弁９に送り、切換弁９
ではこの信号に基づいて開閉状態または開度を制御す
る。

【００３７】なお、装置への電力供給状態の監視、停電
後の時間経過、ならびに停電時の電源対策についても、
図５の装置と同様に、安価に、かつ簡単に実施すること
ができる。

【００３８】このように、停電が発生し、装置が運転異
常状態になったとき、たとえば停電になったことを自動
的に検知し、この信号に基づいて切換弁９の開閉状態ま
たは開度を制御して、吸脱着塔４内に貯留しているオゾ
ンを引き抜き処理するので、運転異常状態になっても吸
着貯留しているオゾンが急速に分解するのを防ぎ、安全
に運転することができる。

【００３９】実施の形態７．図７は本発明の実施の形態
７におけるオゾン製造装置を示す構成図である。装置の
構成は、前記実施の形態３における配管Ｌａに実施の形
態５、６におけるモニター手段を接続したものである。

【００４０】図７の装置の動作は、図６の装置と同様、
また図５の装置とほぼ同様であり、運転中の装置への電
力供給状態を電力供給状態モニター１４で常時監視し、
停電を検知すると、その信号は信号線Ｓ１を介して制御
回路１５に伝えられる。制御回路１５では直ちに、また
は運転状態に応じて切換弁９の開閉、または開度調整信
号を、信号線Ｓ２で切換弁９に送り、切換弁９ではこの
信号に基づいて開閉状態または開度を制御する。

【００４１】なお、装置への電力供給状態の監視、停電
後の時間経過、ならびに停電時の電源対策についても、
図５、図６の装置と同様に、安価に、かつ簡単に実施す
ることができる。

【００４２】このように、停電が発生し、装置が運転異
常状態になったとき、たとえば停電になったことを自動
的に検知し、この信号に基づいて切換弁９の開閉状態ま
たは開度を制御して、吸脱着塔４内に貯留しているオゾ
ンを引き抜き処理するので、運転異常状態になっても吸
着貯留しているオゾンが急速に分解するのを防ぎ、安全
に運転することができる。

【００４３】実施の形態８．図８は本発明の実施の形態
８におけるオゾン製造装置を示す構成図である。装置の
構成は、前記実施の形態４における配管Ｌａに実施の形
態５〜７におけるモニター手段を接続したものである。

【００４４】図８の装置の動作は、図５〜７の装置とほ
ぼ同様であり、運転中の装置への電力供給状態を電力供
給状態モニター１４で常時監視し、停電を検知するとそ
の信号は信号線Ｓ１を介して制御回路１５に伝えられ
る。制御回路１５では直ちに、または運転状態に応じて
切換弁９の開閉、または開度調整信号を、信号線Ｓ２で
切換弁９に送り、切換弁９ではこの信号に基づいて開閉
状態または開度を制御する。

【００４５】なお、装置への電力供給状態の監視、停電
後の時間経過、ならびに停電時の電源対策についても、
図５〜７の装置と同様に、安価に、かつ簡単に実施する
ことができる。

【００４６】このように、停電が発生し、装置が運転異
常状態になったとき、たとえば停電になったことを自動
的に検知し、この信号に基づいて切換弁９を開閉制御し
て、吸脱着塔４内に貯留しているオゾンを引き抜きガス
貯留器１３に貯留するので、停電になっても吸着貯留し
ているオゾンが急速に分解するのを防ぎ、かつ、吸着し
ているオゾンを無駄にすることなく使用することができ
る。また、本実施の形態では、切換弁、配管およびガス
タンクを具備するだけでよく、装置を簡素にできる。

【００４７】実施の形態９．図９は本発明の形態９にお
けるオゾン製造装置を示す構成図である。図９において
圧力検知手段を備えており、１６は吸脱着塔４の内部の
圧力を計測する圧力計であり、Ｓ３は信号線である。圧
力計１６の出力信号は信号線Ｓ３により制御回路１５の
入力に接続し、また、制御回路１５の出力は切換弁９の
開閉信号として、信号線Ｓ２によって切換弁９に接続し
ている。その他は図１、図５と同様である。

【００４８】つぎに図９の装置の動作について説明す
る。この装置では、吸脱着塔４の内部の圧力を圧力計１
６で常時監視しており、その信号は信号線Ｓ３を介して
制御回路１５に伝えられる。制御回路１５では、圧力計
１６の計測値とそのときの運転工程ごとに、予め定めら
れている適正な圧力範囲を逸脱すると、切換弁９の開
閉、また開度調整信号を、信号線Ｓ２で切換弁９に送
る。そして、切換弁９ではこの信号に基づいて開閉状態
または開度を制御する。なお、運転工程ごとに予め設定
されている適正な圧力範囲の意味するところはたとえば
次のようなことである。この装置はオゾン吸着工程と脱
着工程を繰り返してオゾンを製造する装置であるが、吸
着工程と脱着工程とでは、運転圧力条件が異なる。すな
わち、吸着工程では通常加圧下で、また脱着工程では通
常負圧下で運転される。このため、吸着工程と脱着工程
で異なる圧力範囲を設定することにより、よりきめ細か
な運転異常対策が可能となる。

【００４９】なお、運転工程ごとの適切な圧力範囲は、
実験や吸脱着塔４の耐圧性、オゾン発生器の運転圧力
（吸着貯蔵工程時の配管Ｌ１の設定圧力）、エジェクタ
７の真空到達圧力などから予め設定することができる。
吸着工程ではオゾン発生装置の運転圧力、図示はしてい
ないが、昇圧ブロアを循環系に設けている場合はこの運
転吐出力が適正な運転条件であり、一方、脱着工程では
エジェクタの真空到達圧力、あるいは、図示していない
が、ガスパージする場合はこの供給ガス圧力が適正な運
転条件となる。適正な運転条件範囲は、これらの運転条
件の上下に幅を持たせて設定ればよいが、現在の各機器
の性能や実用性、コストなどから判断すると、吸着工程
では０〜２０ｋｇ／ｃｍ²Ｇ、好ましくは０〜１２ｋｇ
／ｃｍ²Ｇの範囲内、一方脱着工程では０〜１ｋｇ／ｃ
ｍ²ＡＢＳ、好ましくは０．０１〜０．５ｋｇ／ｃｍ²Ａ
ＢＳの範囲内に定めることができる。

【００５０】このように、吸脱着塔４の圧力が運転時の
適正範囲から逸脱し運転異常状態になったときでも、吸
脱着塔４内の圧力を自動計測し、この圧力計測信号と予
め定めたその運転工程時の適切な圧力範囲に基づいて切
換弁９の開閉状態または開度を制御して、吸脱着塔４内
に貯留しているオゾンを引き抜き処理するので、運転異
常状態になっても吸着貯留しているオゾンが急速に分解
するのを防ぎ、安全に運転することができる。

【００５１】実施の形態１０．図１０は本発明の実施の
形態１０におけるオゾン製造装置を示す構成図である。
装置の構成は、前記実施の形態９における還元剤貯留器
１０に代えて、前記実施の形態２におけるシリカゲル充
填器１１とオゾン分解器１２を接続したものである。ま
た、図１０の装置の動作は、図９の装置とほぼ同様であ
る。すなわち、この装置では、吸脱着塔４の内部の圧力
を圧力計１６で常時監視しており、その計測値を信号線
Ｓ３を介して制御回路１５に供給する。制御回路１５で
は圧力計１６の計測値としてえられる吸脱着塔４の内部
の圧力と、オゾン吸着とオゾン脱着の運転工程ごとに予
め設定してある適切な圧力範囲とを比較して、圧力計１
６の計測値が、この範囲から逸脱しているばあいは、切
換弁９の開閉、または開度調整信号を、信号線Ｓ２で切
換弁９に送る。そして、切換弁９ではこの信号に基づい
て開閉状態または開度を制御する。

【００５２】なお、運転工程ごとの適切な圧力範囲は、
図９の装置と同様、実験や吸脱着塔４の耐圧性、オゾン
発生器の運転圧力（吸着貯蔵工程時の配管Ｌ１の設定圧
力）、エジェクタ７の真空到達圧力などから予め設定す
ることができる。

【００５３】このように、吸脱着塔４の圧力が運転時の
適正範囲から逸脱し、運転異常状態になったときでも、
吸脱着塔４内の圧力を自動計測し、この圧力計測信号と
予め定めたその運転工程時の適切な圧力範囲に基づいて
切換弁９の開閉状態または開度を制御して、吸脱着塔４
内に貯留しているオゾンを引き抜き処理するので、運転
異常状態になっても吸着貯留しているオゾンが急速に分
解するのを防ぎ、安全に運転することができる。

【００５４】実施の形態１１．図１１は本発明の実施の
形態１１におけるオゾン製造装置を示す構成図である。
装置の構成は、前記実施の形態３における配管Ｌａに実
施の形態９〜１０における圧力検知手段を接続したもの
である。図１１の装置の動作は、図１０の装置と同様、
また図９の装置とほぼ同様であり、運転中の吸脱着塔４
の内部の圧力を圧力計１６で常時監視し、その計測値を
信号線Ｓ３を介して制御回路１５に供給する。制御回路
１５では圧力計１６の計測値と各運転工程ごとに予め定
められている適切な圧力範囲とを比較して、圧力計１６
の計測値が適正範囲から逸脱しているばあいは、信号線
Ｓ２で切換弁９に信号を送り、そして切換弁９ではこの
信号に基づいて開閉状態または開度を制御する。

【００５５】なお、運転工程ごとの適切な圧力範囲は、
図９〜１０の装置と同様、実験や吸脱着塔４の耐圧性、
オゾン発生器の運転圧力（吸着貯蔵工程時の配管Ｌ１の
設定圧力）、水流エジェクタ７の真空到達圧力などから
予め設定することができる。

【００５６】このように、吸脱着塔４の圧力が運転時の
適正範囲から逸脱し、運転異常状態になったときでも、
吸脱着塔４内の圧力を自動計測し、この圧力計測信号と
予め定めたその運転工程時の適切な圧力範囲に基づいて
切換弁９の開閉状態または開度を制御して、吸脱着塔４
内に貯留しているオゾンを引き抜き処理するので、運転
異常状態になっても吸着貯留しているオゾンが急速に分
解するのを防ぎ、安全に運転することができる。

【００５７】実施の形態１２．図１２は本発明の実施の
形態１２におけるオゾン製造装置を示す構成図である。
装置の構成は、前記実施の形態４における配管Ｌａに実
施の形態９〜１１における圧力検知手段を接続したもの
である。図１２の装置の動作は、図９〜１１の装置とほ
ぼ同様であり、運転中の吸脱着塔４の内部の圧力を圧力
計１６で常時監視し、その計測値を信号線Ｓ３を介して
制御回路１５に供給する。制御回路１５では圧力計１６
の計測値と各運転工程ごとに予め定められている適切な
圧力範囲とを比較して、圧力計１６の計測値が適正範囲
から逸脱しているばあいは、信号線Ｓ２で切換弁９に信
号を送り、そして切換弁９ではこの信号に基づいて開閉
状態または開度を制御する。

【００５８】なお、運転工程ごとの適切な圧力範囲は、
図９〜１０の装置と同様、実験や吸脱着塔４の耐圧性、
オゾン発生器の運転圧力（吸着貯蔵工程時の配管Ｌ１の
設定圧力）、水流エジェクタ７の真空到達圧力などから
予め設定することができる。

【００５９】このように、吸脱着塔４の圧力が運転時の
適正範囲から逸脱し、運転異常状態になったときでも、
吸脱着塔４内の圧力を自動計測し、この圧力計測信号と
予め定めたその運転工程時の適切な圧力範囲に基づいて
切換弁９の開閉状態または開度を制御して、吸脱着塔４
内に貯留しているオゾンを引き抜きガス貯留器１３に貯
留するので、圧力が適切な範囲から逸脱しても爆発や火
災または装置の破壊などを未然に防ぎ、かつ、吸着して
いるオゾンを無駄にすることなく使用することができ
る。

【００６０】実施の形態１３．図１３は本発明の実施の
形態１４におけるオゾン製造装置を示す構成図である。
図１３において、温度検知手段を備えており、１７は吸
脱着塔４の内部の温度を計測する温度計であり、Ｓ４は
信号線である。温度計１７の出力信号は信号線Ｓ４によ
り制御回路１５の入力に接続され、また、制御回路１５
の出力は切換弁９の開閉信号として、信号線Ｓ２によっ
て切換弁９に接続している。その他は図１、図５および
図９の装置と同様である。

【００６１】つぎに図１３の装置の動作について説明す
る。この装置では、吸脱着塔４の内部の温度を温度計１
７で常時監視しており、その信号は信号線Ｓ４を介して
制御回路１５に伝えられる。制御回路１５では、温度計
１７の計測値とそのときの運転工程とから、予め定めら
れた適正な温度範囲を逸脱すると、切換弁９の開閉、ま
たは開度調整信号を、信号線Ｓ２で切換弁９に送り、そ
して切換弁９ではこの信号に基づいて開閉状態または開
度を制御する。

【００６２】なお、運転工程ごとの適切な温度範囲は、
実験や冷熱源５の設定温度、加熱源６の設定温度、オゾ
ンのシリカゲルなどに対する吸脱着熱量などから予め設
定することができる。なお、運転工程ごとの適切な温度
範囲の意味するところは、たとえば次のようなことであ
る。この装置はオゾン吸着工程と脱着工程とを繰り返し
てオゾンを製造する装置であるが、吸着工程と脱着工程
とでは運転温度が異なる。本実施の形態のばあい、吸着
工程は通常低温で、脱着工程は通常常温で運転される。
適正な運転範囲は、設定条件、各機器の設定温度に上下
の幅を持たせて定めればよいが、冷熱源の効率、シリカ
ゲルへのオゾン吸着容量、各機器のコスト、運転コスト
から総合的に判断して、実用的な温度範囲として吸着工
程は３０℃〜−１００℃の範囲内、脱着工程は８０℃〜
−１００℃の範囲内に定めることができる。

【００６３】このように、吸脱着塔４の温度が運転時の
適正範囲から逸脱し運転異常状態になったときでも、吸
脱着塔４内の温度を自動計測し、この温度計測信号と予
め定めたその運転工程時の適切な温度範囲に基づいて切
換弁９の開閉状態または開度を制御して、吸脱着塔４内
に貯留しているオゾンを引き抜き処理するので、運転異
常状態になっても吸着貯留しているオゾンが急速に分解
するのを防ぎ、安全に運転することができる。

【００６４】実施の形態１４．図１４は本発明の実施の
形態１４におけるオゾン製造装置を示す構成図である。
装置の構成は、前記実施の形態１３における還元剤貯留
器１０に代えて、実施の形態２におけるシリカゲル充填
器１１とオゾン分解器１２を接続したものである。図１
４の装置の動作は、図１３の装置とほぼ同様である。す
なわち、この装置では、吸脱着塔４の内部の温度を温度
計１７で常時監視しており、その計測値を信号線Ｓ４を
介して制御回路１５に供給する。制御回路１５では温度
計１７の計測値として得られる吸脱着塔４の内部の温度
と、各運転工程ごとに予め設定してある適切な温度範囲
とを比較して、温度計１７の計測値が、この範囲から逸
脱しているばあいは、切換弁９の開閉、または開度調整
信号を、信号線Ｓ２で切換弁９に送る。そして切換弁９
ではこの信号に基づいて開閉状態または開度を制御す
る。

【００６５】なお、運転工程ごとの適切な圧力範囲は、
図１３の装置と同様、実験や冷熱源５の設定温度、加熱
源６の設定温度、オゾンのシリカゲルなどに対する吸脱
着熱量などから予め設定することができる。

【００６６】このように、吸脱着塔４の温度が予め定め
られた運転時の適正範囲から逸脱し運転異常状態になっ
たときでも、吸脱着塔４内の温度を自動的に検知し、こ
の温度計測信号と予め定めているその運転工程時の適切
な温度範囲に基づいて切換弁９の開閉状態または開度を
制御して、吸脱着塔４内に貯留しているオゾンを引き抜
き処理するので、運転異常状態になっても吸着貯留して
いるオゾンが急速に分解するのを防ぎ、安全に運転する
ことができる。

【００６７】実施の形態１５．図１５は本発明の実施の
形態１５におけるオゾン製造装置を示す構成図である。
装置の構成は、前記実施の形態３における配管Ｌａに実
施の形態１３〜１４における温度検知手段を接続したも
のである。図１５の装置の動作は、図１４の装置と同
様、また図１３の装置とほぼ同様であり、運転中の吸脱
着塔４の内部の温度を温度計１７で常時監視し、その計
測値を信号線Ｓ４を介して制御回路１５に供給する。制
御回路１５では温度計１７の計測値と予め定められてい
る各運転工程ごとの適切な温度範囲とを比較して、温度
計１７の計測値が適正範囲から逸脱しているばあいは、
切換弁９に信号を送り、そして切換弁９ではこの信号に
基づいて開閉状態または開度を制御する。

【００６８】なお、運転工程ごとの適切な圧力範囲は、
図１３〜１４と同様、実験や冷熱源５の設定温度、加熱
源６の設定温度、オゾンのシリカゲルなどに対する吸脱
着熱量などから予め設定することができる。

【００６９】このように、吸脱着塔４の温度が予め定め
られている運転時の適正範囲から逸脱し、運転異常状態
になったときでも、吸脱着塔４内の温度を自動的に検知
し、この温度計測信号と予め定められているその運転工
程時の適切な温度範囲に基づいて切換弁９の開閉状態ま
たは開度を制御して、吸脱着塔４内に貯留しているオゾ
ンを引き抜き処理するので、運転異常状態になっても吸
着貯留しているオゾンが急速に分解するのを防ぎ、安全
に運転することができる。

【００７０】実施の形態１６．図１６は本発明の実施の
形態１６におけるオゾン製造装置を示す構成図である。
装置の構成は、前記実施の形態４における配管Ｌａに実
施の形態１３〜１５における温度検知手段を接続したも
のである。図１６の装置の動作は、図１３〜１５の装置
とほぼ同様であり、運転中の吸脱着塔４の内部の温度を
温度計１７で常時監視し、その計測値を信号線Ｓ４を介
して制御回路１５に供給する。制御回路１５では温度計
１７の計測値と各運転工程ごとの適切な温度範囲とを比
較して、温度計１７の計測値が適正範囲から逸脱してい
るばあいは、切換弁９に信号を送り切換弁９ではこの信
号に基づいて開閉状態または開度を制御する。

【００７１】なお、運転工程ごとの適切な温度範囲は、
図１３〜１４と同様、実験や冷熱源５の設定温度、加熱
源６の設定温度、オゾンのシリカゲルなどに対する吸脱
着熱量などから予め設定することができる。

【００７２】このように、吸脱着塔４の温度が予め定め
られている運転時の適正範囲から逸脱し運転異常状態に
なったときでも、吸脱着塔４内の温度を自動的に検知
し、この温度計測信号と予め定められているその運転工
程時の適切な温度範囲に基づいて切換弁９の開閉状態ま
たは開度を制御して、吸脱着塔４内に貯留しているオゾ
ンを引き抜きガス貯留器１３に貯留するので、運転異常
状態になっても吸着貯留しているオゾンが急速に分解す
るのを防ぎながら、安全に運転することができ、かつ、
吸着しているオゾンを無駄にすることなく使用すること
ができる。

【００７３】実施の形態１７．図１７は本発明の実施の
形態１７におけるオゾン製造装置を示す構成図である。
装置の構成は、前記実施の形態５におけるモニター手段
に前記実施の形態９における圧力検知手段および実施の
形態１３における温度検知手段を接続したものである。
その他は、図１、図５、図９、図１３と同様である。図
１７において、電力供給状態モニター１４の出力信号、
圧力計１６の計測信号および温度計１７の信号は、それ
ぞれ信号線Ｓ１、Ｓ３およびＳ４を介して同時に制御回
路１５に出力されている。

【００７４】つぎに図１７の装置の動作について説明す
る。この装置では、装置への電力供給状態は電力供給状
態モニター１４で、吸脱着塔４の内部の圧力を圧力計１
６で、さらに、吸脱着塔４の内部の温度を温度計１７で
常時監視しており、これらの出力信号はそれぞれ信号線
Ｓ１、Ｓ３およびＳ４を介して制御回路１５に伝えられ
る。制御回路１５では、電力供給状態、圧力計１６の計
測値、温度計１７の計測値とその時の運転工程とから、
これらが予め定められた適正な運転条件範囲から逸脱す
ると、切換弁９の開閉、または開度調整信号を、信号線
Ｓ２で切換弁９に送り、そして切換弁９ではこの信号に
基づいて開閉状態または開度を制御する。

【００７５】なお、装置への電力供給状態の監視は、た
とえば電源供給ラインにリレーを設け、これの接点信号
などを使うことにより、また、停電後の時間経過につい
ては、たとえば制御回路１５にタイマーを設けることに
より、さらに、停電時の電源については、たとえば蓄電
池など使うことにより、安価に、かつ簡単に実施するこ
とができる。また、圧力、温度についての運転工程ごと
の適切な運転条件範囲は、実験や吸脱着塔４の耐圧性、
オゾン発生器の運転圧力（吸着貯蔵工程時の配管Ｌ１の
設定圧力）、水流エジェクタ７の真空到達圧力、冷熱源
５の設定温度、加熱源６の設定温度、オゾンのシリカゲ
ルなどに対する吸脱着熱量などから予め設定することが
できる。

【００７６】このように、装置への電力供給が止まった
り、吸脱着塔４の圧力や温度が運転時の適正範囲から逸
脱し運転異常状態になったときでも、装置への電力供給
状態、吸脱着塔４内の圧力、温度を自動計測し、これら
の計測信号と予め定めたその運転工程時の適切な運転状
態範囲とに基づいて切換弁９の開閉状態または開度を制
御して、吸脱着塔４内に貯留しているオゾンを引き抜き
処理するので、運転異常状態になっても吸着貯留してい
るオゾンが急速に分解するのを防ぎ、安全に運転するこ
とができる。なお、図１７のように、装置への電力供給
状態、吸脱着塔４内の圧力、温度を同時に監視すること
により、前記実施の形態１〜１６の装置に比べて運転状
態の異常をより的確に判断することができる。

【００７７】実施の形態１８．図１８は本発明の実施の
形態１８におけるオゾン製造装置を示す構成図である。
装置の構成は、前記実施の形態１７における還元剤貯留
器１０に代えて、前記実施の形態２における充填器１１
とオゾン分解器１２を接続したものである。

【００７８】また、図１８の装置の動作は図１７の装置
とほぼ同様である。すなわち、この装置では、装置への
電力供給状態、吸脱着塔４の内部の圧力、温度を、それ
ぞれ電力供給状態モニター１４、圧力計１６および温度
計１７で常時監視し、これらの出力信号をそれぞれ信号
線Ｓ１、Ｓ３およびＳ４を介して制御回路１５に伝え
る。制御回路１５では、電力供給状態、圧力計１６の計
測値、温度計１７の計測値とその時の運転工程とから、
これらが予め定められた適正な運転条件範囲から逸脱す
ると、切換弁９の開閉、または開度調整信号を、信号線
Ｓ２で切換弁９に送り、そして切換弁９ではこの信号に
基づいて開閉状態または開度を制御する。

【００７９】なお、装置への電力供給状態の監視は、図
１７の装置と同様、たとえば電源供給ラインにリレーを
設け、これの接点信号などを使うことにより、また、停
電後の時間経過については、たとえば制御回路１５にタ
イマーを設けることにより、さらに、停電時の電源につ
いては、たとえば蓄電池など使うことにより、安価に、
かつ簡単に実施することができる。また、圧力、温度に
ついての運転工程ごとの適切な運転条件範囲は、実験や
吸脱着塔４の耐圧性、オゾン発生器の運転圧力（吸着貯
蔵工程時の配管Ｌ１の設定圧力）、水流エジェクタ７の
真空到達圧力、冷熱源５の設定温度、加熱源６の設定温
度、オゾンのシリカゲルなどに対する吸脱着熱量などか
ら予め設定することができる。

【００８０】このように、装置への電力供給が止まった
り、吸脱着塔４の圧力や温度が運転時の適正範囲から逸
脱し運転異常状態になったときでも、装置への電力供給
状態、吸脱着塔４内の圧力、温度を自動計測し、これら
の計測信号と予め定めたその運転工程時の適切な運転状
態範囲とに基づいて切換弁９の開閉状態または開度を制
御して、吸脱着塔４内に貯留しているオゾンを引き抜き
処理するので、運転異常状態になっても吸着貯留してい
るオゾンが急速に分解するのを防ぎ、安全に運転するこ
とができる。また、図１７の装置と同様、図１８のよう
に装置への電力供給状態、吸脱着塔４内の圧力および温
度を同時に監視することにより、前記実施の形態１〜１
６の装置に比べて運転状態の異常をより的確に判断する
ことができる。

【００８１】実施の形態１９．図１９の本発明の実施の
形態１９におけるオゾン製造装置を示す構成図である。
装置の構成は、前記実施の形態７におけるモニター手段
に前記実施の形態９における圧力検知手段および実施の
形態１３における温度検知手段を接続したものである。

【００８２】また、図１９の装置の動作は図１７〜１８
の装置とほぼ同様であり、装置への電力供給状態、吸脱
着塔４の内部の圧力、温度を、それぞれ電力供給状態モ
ニター１４、圧力計１６および温度計１７で常時監視
し、これらの出力信号をそれぞれ信号線Ｓ１、Ｓ３およ
びＳ４を介して制御回路１５に伝える。制御回路１５で
は、電力供給状態、圧力計１６の計測値、温度計１７の
計測値とそのときの運転工程とから、これらが予め定め
られた適正な運転条件範囲から逸脱すると、切換弁９の
開閉、または開度調整信号を、信号線Ｓ２で切換弁９に
送り、そして切換弁９ではこの信号に基づいて開閉状態
または開度を制御する。

【００８３】なお、装置への電力供給状態の監視は、図
１７〜１８の装置と同様、たとえば電源供給ラインにリ
レーを設け、これの接点信号などを使うことにより、ま
た、停電後の時間経過については、たとえば制御回路１
５にタイマーを設けることにより、さらに、停電時の電
源については、たとえば蓄電池など使うことにより、安
価に、かつ簡単に実施することができる。また、圧力、
温度についての運転工程ごとの適切な運転条件範囲は、
実験や吸脱着塔４の耐圧性、オゾン発生器の運転圧力
（吸着貯蔵工程時の配管Ｌ１の設定圧力）、水流エジェ
クタ７の真空到達圧力、冷熱源５の設定温度、加熱源６
の設定温度、オゾンのシリカゲルなどに対する吸脱着熱
量などから予め設定することができる。

【００８４】このように、装置への電力供給が止まった
り、吸脱着塔４の圧力や温度が運転時の適正範囲から逸
脱し運転異常状態になったときでも、装置への電力供給
状態、吸脱着塔４内の圧力、温度を自動計測し、これら
の計測信号と予め定めたその運転工程時の適切な運転状
態範囲とに基づいて切換弁９の開閉状態または開度を制
御して、吸脱着塔４内に貯留しているオゾンを引き抜き
処理するので、運転異常状態になっても吸着貯留してい
るオゾンが急速に分解するのを防ぎ、安全に運転するこ
とができる。また、図１７〜１８の装置と同様、図１９
のように装置への電力供給状態、吸脱着塔４内の圧力、
温度を同時に監視することにより、前記実施の形態１〜
１６の装置に比べて運転状態の異常をより的確に判断す
ることができる。

【００８５】実施の形態２０．図２０は本発明の実施の
形態２０におけるオゾン製造装置を示す構成図である。
装置の構成は、前記実施の形態８におけるモニター手段
に前記実施の形態９における圧力検知手段および実施の
形態１３における温度検知手段を接続したものである。

【００８６】また、図２０の装置の動作は図１７〜１９
の装置とほぼ同様であり、装置への電力供給状態、吸脱
着塔４の内部の圧力、温度を、それぞれ電力供給状態モ
ニター１４、圧力計１６および温度計１７で常時監視
し、これらの出力信号をそれぞれ信号線Ｓ１、Ｓ３およ
びＳ４を介して制御回路１５に伝える。制御回路１５で
は、電力供給状態、圧力計１６の計測値、温度計１７の
計測値とそのときの運転工程とから、これらが予め定め
られた適正な運転条件範囲から逸脱すると、切換弁９の
開閉、または開度調整信号を、信号線Ｓ２で切換弁９に
送り、そして切換弁９ではこの信号に基づいて開閉状態
または開度を制御する。

【００８７】なお、装置への電力供給状態の監視は、図
１７〜１９の装置と同様、たとえば電源供給ラインにリ
レーを設け、これの接点信号などを使うことにより、ま
た、停電後の時間経過については、たとえば制御回路１
５にタイマーを設けることにより、さらに、停電時の電
源については、たとえば蓄電池など使うことにより、安
価に、かつ、簡単に実施することができる。また、圧
力、温度についての運転工程ごとの適切な運転条件範囲
は、実験や吸脱着塔４の耐圧性、オゾン発生器の運転圧
力（吸着貯蔵工程時の配管Ｌ１の設定圧力）、水流エジ
ェクタ７の真空到達圧力、冷熱源５の設定温度、加熱源
６の設定温度、オゾンのシリカゲルなどに対する吸脱着
熱量などから予め設定することができる。

【００８８】このように、装置への電力供給が止まった
り、吸脱着塔４の圧力や温度が運転時の適正範囲から逸
脱し運転異常状態になったときでも、装置への電力供給
状態、吸脱着塔４内の圧力、温度を自動計測し、これら
の計測信号と予め定めたその運転工程時の適切な運転状
態範囲とに基づいて切換弁９の開閉状態または開度を制
御して、吸脱着塔４内に貯留しているオゾンを引き抜き
処理するので、運転異常状態になっても吸着貯留してい
るオゾンが急速に分解するのを防ぎ、安全に運転するこ
とができる。また、図１７〜１９の装置と同様、図２０
のように装置への電力供給状態、吸脱着塔４内の圧力、
温度を同時に監視することにより、前記実施の形態１〜
１６の装置に比べて運転状態の異常をより的確に判断す
ることができる。

【００８９】なお、実施の形態１７〜２０においては、
装置への電力供給状態、吸脱着塔４内の圧力、温度の全
てを自動計測するばあいについて示したが、これらの計
測項目の全てが必ずしも必要であることはなく、これら
の内の１〜２項目でも運転状態の監視は可能である。

【００９０】実施の形態２１．図２１は本発明の実施の
形態２１におけるオゾン製造装置を示す構成図である。
図２１において、Ｓ５〜１１は信号線であり、制御回路
１５とオゾン発生器１、循環ブロア３、冷熱源５、切換
弁８ａ〜８ｄをそれぞれ接続している。Ｓ１２〜Ｓ１５
も信号線であり、制御回路１５と加熱源６、切換弁８ｅ
〜８ｇをそれぞれ接続している。その他は、図１、図
５、図９、図１３、図１７と同様である。

【００９１】つぎに図２１の装置の動作について説明す
る。この装置では、図１７の装置と同様、装置への電力
供給状態を電力供給状態モニター１４で、吸脱着塔４の
内部の圧力を圧力計１６で、さらに、吸脱着塔４の内部
の温度を温度計１７で常時監視し、信号線Ｓ１、Ｓ３お
よびＳ４を介してえられる計測信号に基づいて、制御回
路１５で運転異常状態にあるかどうかを判断し、これら
の計測値が予め定められた適正な運転条件範囲から逸脱
すると、信号線２を介して切換弁９に信号を送り、切換
弁９の開閉状態または開度を制御する。そして、そのの
ちも電力供給状態モニター１４、吸脱着塔４の圧力計１
６および吸脱着塔４の温度計１７で装置の状況を監視
し、これらの計測値が再び予め定められた適正な運転条
件範囲に戻ると、信号線２により切換弁９を閉じ、ま
た、信号線Ｓ５〜１５によりオゾン発生器１、循環ブロ
ア３、冷熱源５、加熱源６、切換弁８ａ〜８ｇを操作し
て、元の運転状態に復帰する。

【００９２】このように、装置への電力供給が止まった
り、吸脱着塔４の圧力や温度が運転時の適正範囲から逸
脱し運転異常状態になり、切換弁９を操作して適切かつ
安全に対処した後も、装置への電力供給状態、吸脱着塔
４の圧力、温度を監視し、これらの計測値が予め定めた
正常範囲に戻ると、自動的に元の運転状態に復帰するの
で、短期間の停電や短期的、かつ、一時的な圧力や温度
の異常時に対し、運転を完全に停止することなく安全に
装置を運転することができる。

【００９３】実施の形態２２．図２２は本発明の実施の
形態２２におけるオゾン製造装置を示す構成図である。
装置の構成は、実施の形態２１における還元剤貯留器１
０に代えて、前記実施の形態２における充填器１１とオ
ゾン分解器１２を接続したものである。

【００９４】また、図２２の装置の動作は図２１の装置
とほぼ同様である。すなわち、装置への電力供給状態を
電力供給状態モニター１４で、吸脱着塔４の内部の圧
力、温度を圧力計１６および温度計１７で常時監視し、
信号線Ｓ１、Ｓ３およびＳ４からの計測信号に基づい
て、制御回路１５で運転異常状態にあるかどうかを判断
し、これらの計測値が予め定められた適正な運転条件範
囲から逸脱すると、信号線２を介して切換弁９に信号を
送り、切換弁９の開閉状態または開度を制御する。そし
て、そののちも電力供給状態モニター１４、吸脱着塔４
の圧力計１６、吸脱着塔４の温度計１７で装置の状況を
監視し、これらの計測値が再び予め定められた適正な運
転条件範囲に戻ると、信号線２により切換弁９を閉じ、
また、信号線Ｓ５〜１５によりオゾン発生器１、循環ブ
ロア３、冷熱源５、加熱源６、切換弁８ａ〜８ｇを操作
して、元の運転状態に復帰する。

【００９５】このように、装置への電力供給が止まった
り、吸脱着塔４の圧力や温度が運転時の適正範囲から逸
脱し運転異常状態になり、切換弁９を操作して適切かつ
安全に対処した後も、装置への電力供給状態、吸脱着塔
４の圧力、温度を監視し、これらの計測値が予め定めた
正常範囲に戻ると、自動的に元の運転状態に復帰するの
で、短期間の停電や短期的、かつ、一時的な圧力や温度
の異常時に対し、運転を完全に停止することなく安全に
装置を運転することができる。

【００９６】実施の形態２３．図２３は本発明の実施の
形態２３におけるオゾン製造装置を示す構成図である。
装置の構成は、前記実施の形態１９における制御回路１
５が前記実施の形態２１〜２２と同様にオゾン発生器
１、循環ブロア３、冷熱源５、加熱源６および切換弁８
ａ〜８ｇに接続されている。

【００９７】また、図２３の装置の動作は図２１〜２２
の装置とほぼ同様であり、装置への電力供給状態、吸脱
着塔４内の圧力、温度を電力供給状態モニター１４、圧
力計１６および温度計１７で常時監視し、制御回路１５
においてこれらの計測信号により運転異常状態にあるか
どうかを判断し、これらの計測値が予め定められた適正
な運転条件範囲から逸脱すると、信号線Ｓ２を介して切
換弁９に信号を送り、切換弁９の開閉状態または開度を
制御する。そして、そののちも電力供給状態モニター１
４、吸脱着塔４の圧力計１６、吸脱着塔４の温度計１７
で装置の状況を監視し、これらの計測値が再び予め定め
られた適正な運転条件範囲に戻ると、信号線２により切
換弁９を閉じ、また、信号線Ｓ５〜１５によりオゾン発
生器１、循環ブロア３、冷熱源５、加熱源６、切換弁８
ａ〜８ｇを操作して、元の運転状態に復帰する。

【００９８】このように、装置への電力供給が止まった
り、吸脱着塔４の圧力や温度が運転時の適正範囲から逸
脱し運転異常状態になり、切換弁９を操作して適切かつ
安全に対処した後も、装置への電力供給状態、吸脱着塔
４の圧力、温度を監視し、これらの計測値が予め定めた
正常範囲に戻ると、自動的に元の運転状態に復帰するの
で、短期間の停電や短期的、かつ、一時的な圧力や温度
の異常時に対し、運転を完全に停止することなく安全に
装置を運転することができる。

【００９９】実施の形態２４．図２４は本発明の実施の
形態２４におけるオゾン製造装置を示す構成図である。
装置の構成は、前記実施の形態２０における制御回路１
５が前記実施の形態２１〜２２と同様にオゾン発生器
１、循環ブロア３、冷熱源５、加熱源６および切換弁８
ａ〜８ｇに接続されている。

【０１００】また、図２４の装置の動作は図２１〜２３
の装置とほぼ同様であり、装置への電力供給状態、吸脱
着塔４内の圧力、温度を電力供給状態モニター１４、圧
力計１６および温度計１７で常時監視し、制御回路１５
においてこれらの計測信号により運転異常状態にあるか
どうかを判断し、これらの計測値が予め定められた適正
な運転条件範囲から逸脱すると、信号線２を介して切換
弁９に信号を送り、切換弁９の開閉状態または開度を制
御する。そして、そののちも電力供給状態モニター１
４、吸脱着塔４の圧力計１６、吸脱着塔４の温度計１７
で装置の状況を監視し、これらの計測値が再び予め定め
られた適正な運転条件範囲に戻ると、信号線２により切
換弁９を閉じ、また、信号線Ｓ５〜１５によりオゾン発
生器１、循環ブロア３、冷熱源５、加熱源６、切換弁８
ａ〜８ｇを操作して、元の運転状態に復帰する。

【０１０１】このように、装置への電力供給が止まった
り、吸脱着塔４の圧力や温度が運転時の適正範囲から逸
脱し運転異常状態になり、切換弁９を操作して適切かつ
安全に対処した後も、装置への電力供給状態、吸脱着塔
４の圧力、温度を監視し、これらの計測値が予め定めた
正常範囲に戻ると、自動的に元の運転状態に復帰するの
で、短期間の停電や短期的、かつ、一時的な圧力や温度
の異常時に対し、運転を完全に停止することなく安全に
装置を運転することができる。

【０１０２】

【発明の効果】以上のように、本発明の請求項１にかか
わるオゾン製造装置によれば、還元剤貯留器に脱着した
高濃度オゾンを導き、還元剤とオゾンとを反応させて、
また、請求項２にかかわるオゾン製造装置では、充填器
に脱着した高濃度オゾンを導き、オゾン濃度を平滑化し
てオゾン分解器で分解するようにし、さらに、請求項３
にかかわるオゾン製造装置では、直接オゾンをオゾンの
使用先に供給する配管を設け、脱着した高濃度オゾンを
導くようにして、また、請求項４にかかわるオゾン製造
装置では、ガス貯留器に脱着した高濃度オゾンを導き、
オゾン濃度を平滑化してオゾン分解器で分解するように
するので、停電や吸脱着塔内が高圧力、高温などの運転
異常状態になったときにも、吸着しているオゾンを安全
に処理できる。

【０１０３】また、請求項５にかかわるオゾン製造装置
によれば、停電になったことを自動的に検知する手段を
備え、停電が発生し、装置が運転異常状態になったと
き、また、請求項６にかかわるオゾン製造装置によれ
ば、吸脱着塔内の圧力を自動計測する手段を備え、吸脱
着塔の圧力が運転時の適正範囲から逸脱し運転異常状態
になったとき、また、請求項７にかかわるオゾン製造装
置によれば、吸脱着塔内の温度を自動計測する手段を備
え、吸脱着塔の温度が運転時の適正範囲から逸脱し運転
異常状態になったとき、これらの検知信号、または計測
信号に基づいて、吸脱着塔内に貯留しているオゾンを引
き抜き処理するので、運転異常状態になっても安全に運
転することができる。

【０１０４】さらに、請求項８にかかわるオゾン製造装
置によれば、吸脱着塔内に貯留しているオゾンを引き抜
き処理し、運転異常状態になっても適切かつ安全に対処
し、または同時に、装置への電力供給状態、吸脱着塔の
圧力、温度を監視し、これらの計測値が予め定めた正常
範囲に戻ると、自動的に元の運転状態に復帰するので、
短期間の停電や短期的、かつ、一時的な圧力や温度の異
常時に対し、運転を完全に停止することなく安全に装置
を運転することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１にかかわるオゾン製造
装置の構成図である。

【図２】本発明の実施の形態２にかかわるオゾン製造
装置の構成図である。

【図３】本発明の実施の形態３にかかわるオゾン製造
装置の構成図である。

【図４】本発明の実施の形態４にかかわるオゾン製造
装置の構成図である。

【図５】本発明の実施の形態５にかかわるオゾン製造
装置の構成図である。

【図６】本発明の実施の形態６にかかわるオゾン製造
装置の構成図である。

【図７】本発明の実施の形態７にかかわるオゾン製造
装置の構成図である。

【図８】本発明の実施の形態８にかかわるオゾン製造
装置の構成図である。

【図９】本発明の実施の形態９にかかわるオゾン製造
装置の構成図である。

【図１０】本発明の実施の形態１０にかかわるオゾン
製造装置の構成図である。

【図１１】本発明の実施の形態１１にかかわるオゾン
製造装置の構成図である。

【図１２】本発明の実施の形態１２にかかわるオゾン
製造装置の構成図である。

【図１３】本発明の実施の形態１３にかかわるオゾン
製造装置の構成図である。

【図１４】本発明の実施の形態１４にかかわるオゾン
製造装置の構成図である。

【図１５】本発明の実施の形態１５にかかわるオゾン
製造装置の構成図である。

【図１６】本発明の実施の形態１６にかかわるオゾン
製造装置の構成図である。

【図１７】本発明の実施の形態１７にかかわるオゾン
製造装置の構成図である。

【図１８】本発明の実施の形態１８にかかわるオゾン
製造装置の構成図である。

【図１９】本発明の実施の形態１９にかかわるオゾン
製造装置の構成図である。

【図２０】本発明の実施の形態２０にかかわるオゾン
製造装置の構成図である。

【図２１】本発明の実施の形態２１にかかわるオゾン
製造装置の構成図である。

【図２２】本発明の実施の形態２２にかかわるオゾン
製造装置の構成図である。

【図２３】本発明の実施の形態２３にかかわるオゾン
製造装置の構成図である。

【図２４】本発明の実施の形態２４にかかわるオゾン
製造装置の構成図である。

【図２５】従来のオゾン製造装置の構成図である。

【符号の説明】

１オゾン発生器、２酸素供給源、３循環ブロア、
４吸脱着塔、５冷熱源、６加熱源、７水流エジ
ェクタ、８ａ〜８ｇ切換弁、９切換弁、１０還元
剤貯留器、１１充填器、１２オゾン分解器、１３
ガス貯留器、１４電力供給状態のモニター、１５制
御回路、１６圧力計、１７温度計、Ｌａ〜Ｌｄ、Ｌ
１配管、Ｓ１〜Ｓ１５信号線。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者網谷久夫東京都千代田区丸の内二丁目２番３号三菱電機株式会社内 (72)発明者弓削裕東京都千代田区丸の内二丁目２番３号三菱電機株式会社内 (72)発明者小沢建樹東京都千代田区丸の内二丁目２番３号三菱電機株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】オゾン化酸素を生成するオゾン発生器
と、該オゾン発生器で生成したオゾン化酸素からオゾン
を吸着貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着
して供給するオゾン脱着手段を備えてなるオゾン製造装
置であって、還元剤を貯留する還元剤貯留器が前記吸脱
着塔に切換バルブを介して接続されており、オゾン製造
装置が運転異常状態になったときに前記切換バルブを開
くようにしたことを特徴とするオゾン製造装置。
【請求項２】オゾン化酸素を生成するオゾン発生器
と、該オゾン発生器で生成したオゾン化酸素からオゾン
を吸着貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着
して供給するオゾン脱着手段を備えてなるオゾン製造装
置であって、オゾン吸着剤を充填した充填器とオゾン分
解器が前記吸脱着塔に切換バルブを介して順次接続され
ており、オゾン製造装置が運転異常状態になったときに
前記切換バルブを開くようにしたことを特徴とするオゾ
ン製造装置。
【請求項３】オゾン化酸素を生成するオゾン発生器
と、該オゾン発生器で生成したオゾン化酸素からオゾン
を吸着貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着
して供給するオゾン脱着手段を備えてなるオゾン製造装
置であって、前記吸脱着塔と前記オゾン脱着手段より下
流側位置の水配管とが切換バルブを介して接続されてお
り、オゾン製造装置が運転異常状態になったときに前記
切換バルブを開くようにしたことを特徴とするオゾン製
造装置。
【請求項４】オゾン化酸素を生成するオゾン発生器
と、該オゾン発生器で生成したオゾン化酸素からオゾン
を吸着貯留する吸脱着塔と、吸着貯留したオゾンを脱着
して供給するオゾン脱着手段を備えてなるオゾン製造装
置であって、ガス貯留器が前記吸脱着塔に切換バルブを
介して接続されており、オゾン製造装置が運転異常状態
になったときに前記切換バルブを開くようにしたことを
特徴とするオゾン製造装置。
【請求項５】停電状態になったことを検知する電力供
給モニター手段を備えており、停電を検知したばあいに
運転異常状態になったと判断する請求項１、２、３また
は４記載のオゾン製造装置。
【請求項６】前記吸脱着塔内の圧力を計測する圧力検
知手段を備えており、吸脱着塔内の圧力が予め定めた範
囲を逸脱したばあいに運転異常状態になったと判断する
請求項１、２、３、４または５記載のオゾン製造装置。
【請求項７】前記吸脱着塔内の温度を計測する温度検
知手段を備えており、吸脱着塔内の温度が予め定めた範
囲を逸脱したばあいに運転異常状態になったと判断する
請求項１、２、３、４、５または６記載のオゾン製造装
置。
【請求項８】運転異常状態から正常な状態に回復した
ときに自動的に元の運転状態に復帰する請求項１、２、
３、４、５、６または７記載のオゾン製造装置。