JPH1138341A - Multibeam scanning device and scanning image forming optical system therefor - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To effectively correct and reduce the bend of a scanning line, by determining the tilt in the sub-scanning cross section on a beam incident position of a correction refractive surface in accordance with the incident position so as to correct the bent of a scanning line of the beam. SOLUTION: The peripheral part of light beam is cut off by passing through the opening part of an aperture 20 and the beam is formed to have a proper cross sectional shape. The formed beam is converged in the corresponding direction of scanning by means of a cylindrical lens 25. A reflected beam by a deflection/reflection surface is deflected at a constant angular velocity accompanying the constant speed revolution of a polygon mirror 30, transmitted through lenses 41-43, converged on a surface 50 to be scanned by lens action as a light spot and optically scans the surface 50 to be scanned. In this case, any lens surface of the lenses 41-43 of the scanning image forming optical system is made to be a correction refractive surface, the tilt of the correction refractive surface in the sub-scanning cross section at the incident position of at least one beam from among plural incident beams is adjusted and the bend of scanning line of the beam is corrected.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明はマルチビーム走査
装置およびマルチビーム走査装置の走査結像光学系に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multi-beam scanning device and a scanning imaging optical system of the multi-beam scanning device.

【０００２】[0002]

【従来の技術】デジタルの複写機や光プリンタ等の画像
形成装置に関連して知られた光走査装置において、複数
のビーム（この明細書において光ビームを意味する）に
より被走査面を複数ライン同時に光走査する「マルチビ
ーム走査装置」が提案され、実用化が意図されている。
マルチビーム走査装置における重要な問題の１に「走査
線曲がり」の問題がある。光走査装置では一般に、光源
側からのビームを光偏向器により偏向させ、走査結像光
学系により被走査面上に光スポットとして集光させて被
走査面の光走査を行う。偏向されるビームが単一ビーム
の場合は、これを走査結像光学系の光軸を含む平面内で
偏向させるので、走査線曲がりは原理的に発生しない。
しかし、マルチビーム走査装置の場合には、複数ビーム
の一部は不可避的に走査結像光学系の光軸を外れた部分
で偏向されることになり、このようなビームは走査線曲
がりを発生させてしまう。2. Description of the Related Art In an optical scanning apparatus known in connection with an image forming apparatus such as a digital copying machine or an optical printer, a plurality of beams (light beams in this specification) scan a surface to be scanned with a plurality of lines. A “multi-beam scanning device” that performs optical scanning at the same time has been proposed and is intended for practical use.
One of the important problems in the multi-beam scanning device is a problem of “scanning line bending”. Generally, in an optical scanning device, a beam from a light source side is deflected by an optical deflector, and is condensed as a light spot on a surface to be scanned by a scanning image forming optical system to optically scan the surface to be scanned. If the beam to be deflected is a single beam, it is deflected in a plane including the optical axis of the scanning image forming optical system, so that scanning line bending does not occur in principle.
However, in the case of a multi-beam scanning device, a part of the plurality of beams is inevitably deflected at a portion off the optical axis of the scanning imaging optical system, and such a beam causes a scanning line bending. Let me do it.

【０００３】このように、ビームが「走査結像光学系の
光軸を外れた部分」で偏向されることに起因して発生す
る走査線曲がりは、マルチビーム走査装置の光学配置に
固有の特性として発生するものであるので、これをこの
明細書中に於いては「マルチビーム走査装置固有の走査
線曲がり」と呼ぶ。As described above, the scanning line bending caused by the beam being deflected at the "off-axis portion of the scanning image forming optical system" is a characteristic inherent to the optical arrangement of the multi-beam scanning apparatus. In this specification, this is referred to as "scanning line bending inherent to the multi-beam scanning device".

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】この発明は、マルチビ
ーム走査装置固有の走査線曲がりを有効に補正・軽減さ
せることを課題とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to effectively correct and reduce scanning line bending inherent in a multi-beam scanning device.

【０００５】[0005]

【課題を解決するための手段】この発明の走査結像光学
系は「少なくとも副走査対応方向において、光軸の片側
に偏倚した複数の発光部を持つ光源側からの複数ビーム
を光偏向器により偏向させ、走査結像光学系により被走
査面上に副走査対応方向に分離した複数の光スポットと
して集光させ、複数ラインを同時に光走査するマルチビ
ーム走査装置の走査結像光学系」であって、以下の特徴
を有する（請求項１）。即ち、走査結像光学系は「マル
チビーム走査装置固有の走査線曲がりを補正する補正屈
折面」を有する。この補正屈折面は「補正屈折面に入射
する複数ビームのうちの少なくとも１ビームの入射位置
における、副走査断面内の傾きが、該ビームの上記走査
線曲がり（マルチビーム走査装置固有の走査線曲がり）
を補正するように、上記入射位置に応じて定められてい
る」のである。「副走査対応方向」は、光源から被走査
面に至る光路上で副走査方向に対応する方向であり、上
記光路上で主走査方向に対応する方向を「主走査対応方
向」と呼ぶ。「光偏向器」としては、回転多面鏡を初
め、回転単面鏡や回転２面鏡を用いることができる。The scanning image forming optical system according to the present invention is composed of a light deflector that divides a plurality of beams from a light source having a plurality of light emitting portions deviated to one side of the optical axis at least in a direction corresponding to the sub-scanning direction. The scanning imaging optical system of a multi-beam scanning device that deflects and condenses as a plurality of light spots separated in the sub-scanning corresponding direction on the surface to be scanned by the scanning imaging optical system and optically scans a plurality of lines simultaneously. Therefore, it has the following features (claim 1). That is, the scanning image forming optical system has a “correcting refraction surface that corrects a scanning line curve inherent to the multi-beam scanning device”. The correction refraction surface is such that the inclination of the beam in the sub-scan section at the incident position of at least one beam among the plurality of beams incident on the correction refraction surface is the scanning line bending (scanning line bending unique to the multi-beam scanning device). )
Is determined in accordance with the incident position so as to correct the above. " The “sub-scanning corresponding direction” is a direction corresponding to the sub-scanning direction on the optical path from the light source to the surface to be scanned, and a direction corresponding to the main scanning direction on the optical path is referred to as a “main scanning corresponding direction”. As the “optical deflector”, a rotating polygon mirror, a rotating single mirror or a rotating two-face mirror can be used.

【０００６】「走査結像光学系が、光源側からの複数ビ
ームを被走査面上に複数の光スポットとして集光する」
とは、走査結像光学系の機能が、光偏向器への直前の複
数の入射ビームおよび複数の偏向ビームに対して作用す
る場合、および複数の偏向ビームにのみ作用する場合を
含む。特開平６−７５１６２号公報には、偏向反射面に
一体化され、偏向反射面への入射面と、反射ビームが射
出する射出面とを屈折面とした「回転レンズ鏡」が開示
されている。この回転レンズ鏡は、その機能が「光偏向
器への直前の入射ビームおよび偏向ビームに対して作用
する」ものである。この発明における「走査結像光学
系」は、このような回転レンズ鏡を含んで構成すること
もでき、そのような場合、上記「入射面および／または
射出面」を「補正屈折面」とすることもできる。"The scanning image forming optical system focuses a plurality of beams from the light source side as a plurality of light spots on the surface to be scanned."
This includes a case where the function of the scanning imaging optical system acts on a plurality of incident beams and a plurality of deflection beams immediately before the optical deflector, and a case where the function acts only on the plurality of deflection beams. Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-75162 discloses a "rotating lens mirror" which is integrated with a deflecting / reflecting surface and has a refracting surface having an incident surface to the deflecting / reflecting surface and an exit surface from which the reflected beam exits. . The function of this rotating lens mirror is to "act on the immediately preceding incident beam and the deflected beam to the optical deflector". The “scanning optical system” in the present invention may include such a rotating lens mirror. In such a case, the “incident surface and / or exit surface” is referred to as a “correction refractive surface”. You can also.

【０００７】補正屈折面は、走査結像光学系に含まれる
レンズの１つの面として形成しても良いし、２以上の面
として形成し、２以上の面のそれぞれによる補正効果を
合わせて所望の走査線曲がり補正を実現するようにして
も良い。The correction refraction surface may be formed as one surface of a lens included in the scanning image forming optical system, or may be formed as two or more surfaces, and a desired effect is obtained by combining the correction effects of the two or more surfaces. May be realized.

【０００８】「副走査断面」は、光偏向器よりも被走査
面側に位置する屈折面に関しては、「当該屈折面に近い
位置で主走査対応方向に直交する平断面」を意味する。
また、走査結像光学系が回転レンズ鏡を含む場合、回転
レンズ鏡の入射面に関しては「光源側からの入射ビーム
の主光線と副走査対応方向とに平行な平断面」を副走査
断面とし、射出側面に関しては「射出光束における主光
線と副走査対応方向とに平行な平断面」を副走査断面と
する。The “sub-scan section” means “a plane section orthogonal to the main scanning direction at a position close to the refraction surface” with respect to the refraction surface located closer to the surface to be scanned than the optical deflector.
When the scanning image forming optical system includes a rotating lens mirror, the plane of incidence of the rotating lens mirror is defined as a “plane section parallel to the principal ray of the incident beam from the light source side and the direction corresponding to the sub-scanning” as the sub-scanning section. Regarding the exit side surface, a “plane section parallel to the principal ray in the exit light beam and the direction corresponding to the sub-scanning” is defined as the sub-scanning section.

【０００９】「マルチビーム走査装置固有の走査線曲が
り」は前述の如く、ビームの偏向が走査結像光学系の光
軸を外れた部分で行われることに起因して発生する走査
線曲がりであり、別言すれば、走査結像光学系に「補正
屈折面による走査線曲がり補正機能」を持たせずにマル
チビーム走査装置を設計した場合に設計上で生じる走査
線曲がりを言う。即ち、マルチビーム走査装置固有の走
査線曲がりは、マルチビーム走査装置の設計により決定
されるものであり、それゆえに、このような走査線曲が
りを補正するような補正屈折面を設計的に決定できるの
である。As described above, "scanning line bending inherent in a multi-beam scanning apparatus" is a scanning line bending caused by beam deflection being performed at a portion off the optical axis of the scanning image forming optical system. In other words, the term "scanning line bending" occurs when a multi-beam scanning apparatus is designed without providing the "scanning line bending correction function by the correction refraction surface" in the scanning image forming optical system. That is, the scanning line curvature inherent to the multi-beam scanning device is determined by the design of the multi-beam scanning device, and therefore, a correction refraction surface that corrects such scanning line bending can be determined in design. It is.

【００１０】走査結像光学系は、補正屈折面を含む種々
の構成が可能であるが、「光偏向器と被走査面との間に
配備される２枚のレンズと、これら２枚のレンズよりも
被走査面側に設けられる１枚の長尺レンズとを構成要素
とし、偏向ビームを被走査面上に光スポットとして集光
する機能を持つ」ように構成することができる（請求項
２）。勿論、光偏向器と被走査面との間には、このよう
な走査結像光学系の他にマルチビーム走査装置の光学系
レイアウトに応じて「光路折り曲げ用の平面鏡」を適宜
に有することができる（請求項２）。The scanning image forming optical system can have various configurations including a correction refracting surface. The two components are "a lens provided between an optical deflector and a surface to be scanned, and these two lenses. And has a function of converging the deflected beam as a light spot on the surface to be scanned. " ). Of course, between the optical deflector and the surface to be scanned, in addition to such a scanning image forming optical system, a “plane mirror for bending the optical path” may be appropriately provided according to the optical system layout of the multi-beam scanning device. (Claim 2).

【００１１】この請求項２記載のマルチビーム走査装置
の走査結像光学系において「長尺レンズにおける一方の
面を補正屈折面とし、補正屈折面の副走査断面内におけ
る曲率中心を主走査対応方向に連ねた曲率中心線が３次
元的な曲線となる」ように構成できる（請求項３。「３
次元的な曲線」は、同一平面内にない曲線を言う）。In the scanning image forming optical system of the multi-beam scanning apparatus according to the second aspect, "one surface of the long lens is a correction refraction surface, and the center of curvature of the correction refraction surface in the sub-scan section is the main scanning direction. (The center line of curvature connected to the curve becomes a three-dimensional curve.)
A "dimensional curve" is a curve that is not in the same plane).

【００１２】上記請求項１〜３の任意の１に記載の走査
結像光学系は「光偏向器が等角速度的に偏向させる複数
ビームによる光走査を等速化する機能（走査結像光学系
がｆθレンズであるときは「ｆθ機能」）を持つことが
でき（請求項４）、さらに、請求項１〜４の任意の１に
記載の走査結像光学系は「光偏向器による偏向の起点近
傍と被走査面位置とを、副走査対応方向に関して幾何光
学的な共役関係とする機能」を持つことができる（請求
項４）。The scanning image forming optical system according to any one of the first to third aspects of the present invention is characterized in that a function of making the optical scanning by a plurality of beams deflected at an equal angular velocity by the optical deflector uniform (scanning image forming optical system). Is an fθ lens, it can have an “fθ function” (claim 4). Further, the scanning imaging optical system according to any one of claims 1 to 4 is capable of “deflection by an optical deflector. (A function to make the vicinity of the starting point and the position of the surface to be scanned a geometric conjugate relationship in the sub-scanning corresponding direction).

【００１３】請求項６記載のマルチビーム走査装置は
「少なくとも副走査対応方向において、光軸の片側に偏
倚した複数の発光部を持つ光源側からの複数ビームを光
偏向器により偏向させ、走査結像光学系により被走査面
上に副走査対応方向に分離した複数の光スポットとして
集光させ、複数ラインを同時に光走査するマルチビーム
走査装置」であって、走査結像光学系として、上記請求
項１〜５の任意の１に記載の走査結像光学系を用いるこ
とを特徴とする。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a multi-beam scanning apparatus comprising: a light beam deflector deflects a plurality of beams from a light source having a plurality of light-emitting portions deflected to one side of an optical axis in at least a sub-scanning direction; A multi-beam scanning device that converges as a plurality of light spots separated in a sub-scanning corresponding direction on a surface to be scanned by an image optical system and optically scans a plurality of lines at the same time. A scanning image forming optical system according to any one of Items 1 to 5, is used.

【００１４】請求項７記載のマルチビーム走査装置は
「少なくとも副走査対応方向において、光軸の片側に偏
倚した複数の発光部を持つ光源側からの複数ビームを光
偏向器により等角速度的に偏向させ、走査結像光学系に
より被走査面上に副走査対応方向に分離した複数の光ス
ポットとして集光させ、複数ラインを同時に光走査する
マルチビーム走査装置」であって、走査結像光学系とし
て、上記請求項４記載の走査結像光学系を用いることを
特徴とする。According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a multi-beam scanning apparatus, wherein at least in a direction corresponding to the sub-scanning direction, a plurality of beams from a light source having a plurality of light emitting portions deflected to one side of the optical axis are deflected at an equal angular velocity by an optical deflector. A multi-beam scanning device that converges as a plurality of light spots separated in a sub-scanning corresponding direction on the surface to be scanned by a scanning image forming optical system and optically scans a plurality of lines at the same time. A scanning image forming optical system according to claim 4 is used.

【００１５】請求項８記載のマルチビーム走査装置は
「少なくとも副走査対応方向において、光軸の片側に偏
倚した複数の発光部を持つ光源側からの複数ビームを、
光偏向器の偏向反射面近傍に主走査対応方向に長い複数
の線像として結像させ、上記光偏向器により等角速度的
に偏向させ、走査結像光学系により被走査面上に副走査
対応方向に分離した複数の光スポットとして集光させ、
複数ラインを同時に光走査するマルチビーム走査装置」
であって、走査結像光学系として、上記請求項５記載の
走査結像光学系で、光偏向器が等角速度的に偏向させる
複数ビームによる光走査を等速化する機能を持つものを
用いることを特徴とする。The multi-beam scanning device according to claim 8, wherein "a plurality of beams from a light source side having a plurality of light emitting portions deviated to one side of the optical axis at least in the sub-scanning corresponding direction,
A plurality of linear images are formed in the vicinity of the deflecting / reflecting surface of the optical deflector in the main scanning direction, and are deflected at the same angular velocity by the optical deflector. Focused as multiple light spots separated in the direction,
Multi-beam scanning device that scans multiple lines simultaneously. "
A scanning image forming optical system according to claim 5, wherein the scanning image forming optical system has a function of equalizing light scanning by a plurality of beams deflected by an optical deflector at an equal angular velocity. It is characterized by the following.

【００１６】これら請求項６または７または８記載のマ
ルチビーム走査装置において「光源における発光部の数
を２個」とすることができる（請求項９）。In the multi-beam scanning device according to the sixth, seventh or eighth aspect, "the number of light-emitting portions in the light source is two" (claim 9).

【００１７】[0017]

【発明の実施の形態】図１は、この発明のマルチビーム
走査装置の実施の１形態を説明するための図である。 （ａ）はマルチビーム走査装置の光学配置を副走査対応
方向から見た状態を示している。（ａ）において、光源
１０から放射されるビームは、カップリングレンズ１５
により以後の光学系にカップリングされる。カップリン
グレンズ１５のカップリング作用は、カップリングレン
ズ１５を透過したビームが「平行光束」になるようにす
ることもできるし「弱い発散性もしくは弱い集束性の光
束」となるようにすることもできる。FIG. 1 is a diagram for explaining an embodiment of a multi-beam scanning apparatus according to the present invention. (A) shows a state where the optical arrangement of the multi-beam scanning device is viewed from the direction corresponding to the sub-scanning. 1A, a beam emitted from a light source 10 is coupled to a coupling lens 15.
Is coupled to the subsequent optical system. The coupling action of the coupling lens 15 may be such that the beam transmitted through the coupling lens 15 becomes a “parallel light beam” or “a weakly divergent or weakly converging light beam”. it can.

【００１８】カップリングされたビームは、アパーチュ
ア２０の開口部を通過することにより光束周辺部を遮断
され、適当なビーム断面形状に「ビーム整形」される。
ビーム整形されたビームはシリンドリカルレンズ２５に
より、副走査対応方向（図１（ａ）において図面に直交
する方向）に集光され、光路折り曲げミラー２７により
光路を折り曲げられて「光偏向器」であるポリゴンミラ
ー３０の偏向反射面位置近傍に主走査対応方向に長い線
像として結像する。偏向反射面による反射ビームは、ポ
リゴンミラー３０の等速回転に伴い、等角速度的に偏向
し、レンズ４１，４２，４３を透過し、これらレンズの
作用により被走査面（実体的には光導電性感光体の感光
面）５０上に光スポットとして集光し、被走査面５０を
光走査する。図１の実施の形態においてはレンズ４１，
４２，４３が「走査結像光学系」を構成する。レンズ４
３は「長尺トロイダルレンズ」である。The coupled beam passes through the aperture of the aperture 20 to block the periphery of the light beam, and is "beam-shaped" into an appropriate beam cross-sectional shape.
The beam-shaped beam is condensed by the cylindrical lens 25 in the direction corresponding to the sub-scanning (the direction orthogonal to the drawing in FIG. 1A), and the optical path is bent by the optical path bending mirror 27 to form an “optical deflector”. An image is formed as a long line image in the main scanning corresponding direction near the position of the deflection reflection surface of the polygon mirror 30. The beam reflected by the deflecting / reflecting surface is deflected at a constant angular velocity with the rotation of the polygon mirror 30 at a constant speed, passes through the lenses 41, 42, and 43, and the surface to be scanned (substantially, photoconductive The light is condensed as a light spot on the photosensitive surface (photosensitive surface of the photosensitive member) 50, and the scanned surface 50 is optically scanned. In the embodiment of FIG.
42 and 43 constitute a “scanning optical system”. Lens 4
3 is a "long toroidal lens".

【００１９】図１（ｂ）は、（ａ）における光源１０と
カップリングレンズ１５との関係を示している。光源１
０は、モノリシックな構造の半導体レーザアレイであ
り、発光部を２個有し、これら２個の発光部１０１，１
０２は、カップリングレンズ１５の「光軸」に対し、副
走査対応方向（図１（ｂ）における上下方向）において
光軸の片側に偏倚して位置するように配備されている。
図示の都合上、発光部１０１，１０２の配置は、副走査
対応方向において拡大した状態で示している。このよう
に光源１０からは２ビームが放射されるので、被走査面
５０上には２つの光スポットが集光形成されるが、発光
部１０１，１０２は副走査対応方向に互いにずれている
ので、光スポットも副走査方向に分離して形成される。FIG. 1B shows the relationship between the light source 10 and the coupling lens 15 in FIG. Light source 1
Reference numeral 0 denotes a semiconductor laser array having a monolithic structure, which has two light-emitting portions, and these two light-emitting portions 101 and 1 are provided.
Numeral 02 is disposed so as to be deviated to one side of the optical axis with respect to the “optical axis” of the coupling lens 15 in the sub-scanning corresponding direction (the vertical direction in FIG. 1B).
For convenience of illustration, the arrangement of the light emitting units 101 and 102 is shown in an enlarged state in the sub-scanning corresponding direction. Since two beams are emitted from the light source 10 in this manner, two light spots are condensed and formed on the surface 50 to be scanned. However, since the light emitting units 101 and 102 are shifted from each other in the sub-scanning corresponding direction, And light spots are also formed separately in the sub-scanning direction.

【００２０】カップリングレンズ１５からレンズ４３に
至る光路において、カップリングレンズ１５、シリンド
リカルレンズ２５、レンズ４１は互いに「光軸合わせ」
されているが、レンズ４２，４３は、後述するように副
走査対応方向へ「シフト」されている。図１（ｂ）に示
したように、光源１０における発光部１０１，１０２は
カップリングレンズ１５の光軸に対し、副走査対応方向
へ偏倚しているので、発光部１０１，１０２から放射さ
れる各ビームとも、ポリゴンミラー３０により偏向され
ると、レンズ４１，４２，４３により構成される走査結
像光学系の「光軸を含み主走査対応方向に平行な断面」
と離れた部分を透過することになるから「走査結像光学
系に補正屈折面が含まれていない」とすれば、どちらの
ビームに対してもマルチビーム走査装置固有の走査線曲
がり（以下、「固有の走査線曲がり」と略記する）が発
生することになる。そこで、走査結像光学系をレンズ４
１，４２，４３のレンズ面の何れかを補正屈折面とし、
該補正屈折面に入射する複数ビームのうちの少なくとも
１ビームの入射位置における、該補正屈折面の「副走査
断面内の傾き」を調整し、該ビームの走査線曲がりを補
正するのである（請求項１）。図１に示す実施の形態に
おいては、長尺トロイダルレンズであるレンズ４３の入
射側面が「補正屈折面」である（請求項３）。上記副走
査断面内における「補正屈折面の形状を非円弧形状とす
れば」、２つのビームのそれぞれに対して走査線曲がり
を補正するようにすることもできる。In the optical path from the coupling lens 15 to the lens 43, the coupling lens 15, the cylindrical lens 25, and the lens 41 are "optical axis aligned" with each other.
However, the lenses 42 and 43 are "shifted" in the sub-scanning corresponding direction as described later. As shown in FIG. 1B, the light emitting units 101 and 102 of the light source 10 are deviated from the optical axis of the coupling lens 15 in the sub-scanning corresponding direction, so that the light is emitted from the light emitting units 101 and 102. When each beam is deflected by the polygon mirror 30, “the cross section including the optical axis and parallel to the main scanning direction” of the scanning imaging optical system constituted by the lenses 41, 42, and 43.
Since the transmitted light passes through a portion separated from the scanning beam, it is assumed that “the scanning imaging optical system does not include the correction refraction surface”. "Abbreviated as" inherent scan line bending "). Therefore, the scanning image forming optical system is changed to the lens 4.
Either of the lens surfaces 1, 42 and 43 is used as a correction refracting surface,
The “inclination in the sub-scan section” of the correction refraction surface at the incident position of at least one of the plurality of beams incident on the correction refraction surface is adjusted to correct the scan line bending of the beam. Item 1). In the embodiment shown in FIG. 1, the incident side surface of the lens 43, which is a long toroidal lens, is a "correcting refractive surface" (claim 3). "If the shape of the correction refraction surface is a non-circular shape" in the sub-scan section, it is also possible to correct the scanning line bending for each of the two beams.

【００２１】レンズ４１，４２，４３で構成される「走
査結像光学系」は、光偏向器３０と被走査面５０との間
に配備される２枚のレンズ４１，４２と、これら２枚の
レンズよりも被走査面５０側に設けられる１枚の長尺レ
ンズ４３とにより構成され、偏向ビームを被走査面上に
光スポットとして集光する機能を持つ（請求項２）。走
査結像光学系は、光偏向器３０が等角速度的に偏向させ
る複数ビームによる光走査を等速化する機能を持ち（請
求項４）、なお且つ、光偏向器３０による偏向の起点
（偏向ビームの主光線がレンズ４１の光軸と副走査対応
方向において合致するときの反射点位置）近傍と被走査
面５０位置とを、副走査対応方向に関して幾何光学的な
共役関係とする機能を持つ（請求項５）。The "scanning image forming optical system" composed of the lenses 41, 42 and 43 includes two lenses 41 and 42 provided between the optical deflector 30 and the surface 50 to be scanned. And one long lens 43 provided closer to the scanned surface 50 than the above lens, and has a function of condensing the deflected beam as a light spot on the scanned surface (claim 2). The scanning image forming optical system has a function of equalizing the speed of optical scanning by a plurality of beams deflected by the optical deflector 30 at a constant angular velocity (claim 4). There is a function of making the vicinity of the position of the reflection point when the principal ray of the beam coincides with the optical axis of the lens 41 in the sub-scanning corresponding direction) and the position of the surface to be scanned 50 a geometric optical conjugate relationship in the sub-scanning corresponding direction. (Claim 5).

【００２２】また、図１のマルチビーム走査装置は「少
なくとも副走査対応方向において、光軸の片側に偏倚し
た複数の発光部１０１，１０２を持つ光源１０側からの
複数ビームを光偏向器３０により偏向させ、走査結像光
学系４１，４２，４３により被走査面５０上に、副走査
対応方向に分離した複数の光スポットとして集光させ、
複数ラインを同時に光走査するマルチビーム走査装置で
あり、請求項１〜５の任意の１に記載の「走査結像光学
系」を有するもの（請求項６）であり、光偏向器３０が
等角速度的に偏向させる各ビームを、走査結像光学系４
１，４２，４３により被走査面５０上に副走査対応方向
に分離した複数の光スポットとして集光させ、複数ライ
ンを同時かつ等速的に光走査するマルチビーム走査装置
であり（請求項７）、光源側からの複数ビームを、光偏
向器３０の偏向反射面近傍に主走査対応方向に長い複数
の線像として結像させ、光偏向器３０により等角速度的
に偏向させ、走査結像光学系４１，４２，４３により被
走査面５０上に副走査対応方向に分離した複数の光スポ
ットとして集光させ、複数ラインを同時かつ等速的にに
光走査するマルチビーム走査装置であり（請求項８）、
光源１０は２個の発光部１０１，１０２を有する（請求
項９）。The multi-beam scanning apparatus shown in FIG. 1 uses the optical deflector 30 to “divide a plurality of beams from the light source 10 having a plurality of light emitting portions 101 and 102 deviated to one side of the optical axis at least in the sub-scanning corresponding direction. The light is deflected and condensed as a plurality of light spots separated in the sub-scanning corresponding direction on the surface to be scanned 50 by the scanning image forming optical systems 41, 42, and 43.
A multi-beam scanning apparatus for simultaneously scanning a plurality of lines with light, having the “scanning image forming optical system” according to any one of claims 1 to 5 (claim 6), wherein the optical deflector 30 is Each beam to be deflected at an angular velocity is scanned by the scanning and imaging optical system 4.
A multi-beam scanning device that converges a plurality of light spots separated in a sub-scanning corresponding direction on a surface to be scanned 50 by a light source 1, 42, and 43, and simultaneously and uniformly scans a plurality of lines with light. ), A plurality of beams from the light source side are formed as a plurality of linear images long in the main scanning corresponding direction in the vicinity of the deflecting reflection surface of the optical deflector 30 and are deflected at an equal angular velocity by the optical deflector 30 to form a scanning image. This is a multi-beam scanning device that converges a plurality of light spots on the scanned surface 50 in the sub-scanning corresponding direction by the optical systems 41, 42, and 43, and simultaneously and uniformly scans a plurality of lines with light ( Claim 8),
The light source 10 has two light emitting units 101 and 102 (claim 9).

【００２３】[0023]

【実施例】図１に示した実施の形態を、以下のように具
体的な実施例として構成した。光源１０として、発光部
１０１，１０２の間隔：２．５μｍ、発光波長：７８０
ｎｍの「モノリシックな半導体レーザアレイ」を用い、
発光部１０１，１０２の配列方向を副走査対応方向と
し、発光部１０１（カップリングレンズ１５の光軸に近
い側の発光部）を、カップリングレンズ１５の光軸から
−２．５μｍ（−０．００２５ｍｍ）だけ副走査対応方
向（負号は、図１（ｂ）において光軸の下方への偏倚を
意味する）に偏倚するようにした。従って、発光部１０
２は、上記光軸から副走査対応方向へ−５．０μｍ偏倚
していることになる。光偏向器であるポリゴンミラー３
０は、偏向反射面数：６、偏向反射面の内接円半径：１
８ｍｍのものであり、光路折り曲げミラー２７の側から
ポリゴンミラー２７に入射するビームの入射方向と走査
結像光学系のレンズ４１の光軸とが成す角は６０度であ
る。EXAMPLE The embodiment shown in FIG. 1 was constructed as a specific example as follows. As the light source 10, an interval between the light emitting units 101 and 102: 2.5 μm, an emission wavelength: 780
nm using a “monolithic semiconductor laser array”
The arrangement direction of the light emitting units 101 and 102 is set as the direction corresponding to the sub-scanning direction, and the light emitting unit 101 (the light emitting unit on the side closer to the optical axis of the coupling lens 15) is positioned at −2.5 μm (−0) from the optical axis of the coupling lens 15. .0025 mm) in the sub-scanning corresponding direction (a negative sign means a downward displacement of the optical axis in FIG. 1B). Therefore, the light emitting unit 10
No. 2 deviates from the optical axis in the sub-scanning corresponding direction by −5.0 μm. Polygon mirror 3 as an optical deflector
0 is the number of deflecting / reflecting surfaces: 6, the radius of the inscribed circle of the deflecting / reflecting surface: 1
The angle between the incident direction of the beam incident on the polygon mirror 27 from the side of the optical path bending mirror 27 and the optical axis of the lens 41 of the scanning image forming optical system is 60 degrees.

【００２４】光源１０からポリゴンミラー３０に至る光
路上の光学系を「第１群」、ポリゴンミラー３０から被
走査面５０に至る光路上の光学系を「第２群」とする。
光源１０である「半導体レーザアレイユニット」のカバ
ーガラス、偏向反射面、各レンズのレンズ面の曲率半径
(円弧形状でないものについては近軸曲率半径)を主走査
対応方向に関してＲm、副走査対応法方向に関してＲｓ
とし、光軸上の間隔をＤ、材質の屈折率をＮとする。
「長さの次元」を有する量は「ｍｍ」単位とする。The optical system on the optical path from the light source 10 to the polygon mirror 30 is referred to as a "first group", and the optical system on the optical path from the polygon mirror 30 to the surface 50 to be scanned is referred to as a "second group".
The cover glass of the “semiconductor laser array unit” that is the light source 10, the deflecting and reflecting surface, and the radius of curvature of the lens surface of each lens
(Paraxial radius of curvature for those not having an arc shape) is Rm for the main scanning corresponding direction and Rs for the sub-scanning corresponding method direction.
Where D is the distance on the optical axis and N is the refractive index of the material.
An amount having a "length dimension" is in "mm" units.

【００２５】 第１群データ： 面番号 Ｒm Ｒｓ Ｄ Ｎ ０ 4.29 発光部 １ ∞ ∞ 0.30 1.511 カバーガラス ２ ∞ ∞ 2.00 ３ ∞ ∞ 2.50 1.675 カップリングレンズ ４ -5.3856 -5.3856 26.55 ５ ∞ 61.86 3.00 1.511 シリンドリカルレンズ ６ ∞ ∞ 123.66 。First group data: Surface number Rm Rs DN 0 4.29 Light-emitting part 1 ∞ ∞ 0.30 1.511 Cover glass 2 ∞ 2.00 3 ∞ ∞ 2.50 1.675 Coupling lens 4 -5.3856 -5.3856 26.55 5 ∞ 61.86 3.00 1.511 Cylindrical lens 6 ∞ ∞ 123.66.

【００２６】カップリングレンズの射出側面（上記面番
号：４）は「共軸非球面」であり、カップリングされた
光束は「実質的な平行光束」となる。即ち、上記共軸非
球面は、光軸方向をＸ軸、光軸直交方向をＹ軸とする周
知の非球面の式において、近軸曲率半径：Ｒ、円錐定
数：Ｋ、Ｙに関する４次、６次、８次、１０次の非球面
係数をＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄとするとき、これらは以下の値を
持つ。 Ｒ＝−５．３８５６，Ｋ＝−０．００７４，Ａ＝４．７Ｅ−４， Ｂ＝ １．２７Ｅ−５，Ｃ＝ ２．９４Ｅ−７，Ｄ＝ ９．３５Ｅ−９ 。 なお、「Ｅ−４」等は「べき乗」を示す。例えば上記
「Ｅ−４」は「１０~⁴」を意味し、この値がその直前の
数値に掛かる。The exit side surface (surface number: 4) of the coupling lens is a "coaxial aspheric surface", and the coupled light beam is a "substantial parallel light beam". That is, the above-mentioned coaxial aspherical surface is a well-known aspherical surface expression in which the optical axis direction is the X axis and the optical axis orthogonal direction is the Y axis. When the sixth, eighth, and tenth aspheric coefficients are A, B, C, and D, they have the following values. R = -5.3856, K = -0.0074, A = 4.7E-4, B = 1.27E-5, C = 2.94E-7, D = 9.35E-9. “E-4” and the like indicate “power”. For example, the above “E-4” means “10 to ⁴ ”, and this value is multiplied by the numerical value immediately before it.

【００２７】第２群において、Ｚは、光軸の副走査対応
方向へのシフト量（図１（ｂ）における光軸の上方への
シフトを「正」とする）を表す。 第２群データ： 面番号 Ｒm Ｒs Ｄ Ｎ Ｚ ０ ∞ ∞ 32.81 − ポリゴンミラー １ -137.015 -137.015 18.00 1.5721 − レンズ４１ ２ -112.155 -112.155 17.00 ３ ∞ ∞ 23.50 1.5721 ＋0.6 レンズ４２ ４ -148.565 -148.565 110.50 5 -700 -44.3 3.00 1.5721 ＋0.6 レンズ４３ ６ -700 -20.32 86.77 レンズ４１の両面は「共軸球面」、レンズ４２の射出側
面（上記面番号：４）も「共軸球面」である。レンズ４
２とレンズ４３とは、その光軸を、レンズ４１の光軸位
置に対し副走査対応方向へ「＋０．６ｍｍ」シフトさせ
ている。＋は図１（ｂ）における上方へのシフトを意味
する。In the second group, Z represents the shift amount of the optical axis in the direction corresponding to the sub-scanning (the upward shift of the optical axis in FIG. 1B is defined as “positive”). Second group data: Surface number Rm Rs DNZ 0 ∞ 32.81-Polygon mirror 1 -137.015 -137.015 18.00 1.5721-Lens 41 2 -112.155 -112.155 17.00 3 ∞ ∞ 23.50 1.5721 +0.6 Lens 42 4 -148.565 -148.565 110.50 5 -700 -44.3 3.00 1.5721 +0.6 Lens 43 6 -700 -20.32 86.77 Both sides of the lens 41 are "coaxial spherical", and the exit side of the lens 42 (the above surface number: 4) is also "coaxial spherical". . Lens 4
The optical axis of the lens 2 and the lens 43 are shifted by “+0.6 mm” in the sub-scanning corresponding direction with respect to the optical axis position of the lens 41. + Means an upward shift in FIG. 1 (b).

【００２８】上記第２群における面番号：５の面、即ち
「長尺トロイダルレンズ」であるレンズ４３の光偏向器
側の面の副走査断面内における曲率：Ｃｓ(５)は、主走
査対応方向の座標をＹ（レンズ４１の光軸位置を原点と
する）として Ｃｓ(５)＝（１／Ｒs(５)）＋Σｂ_j・Ｙ＊＊ｊ（ｊ＝１，２，３．．．） で表される式において、Ｒs(５)（光軸を含む副走査断
面内の近軸曲率半径）と係数：ｂ_jを与えて特定され
る。「Ｙ＊＊ｊ」はＹのｊ乗を表す。 Ｒs(５)＝−４４．３，ｂ₂＝−３．６５Ｅ−７，ｂ₄＝−５．３３Ｅ−１２， ｂ₆＝−４．５９Ｅ−１６，ｂ₈＝ ６．６９Ｅ−２０， ｂ₁₀＝−５．４２Ｅ−２４，ｂ₁₂＝ １．４７Ｅ−２８ Ｙの奇数次の項の係数：ｂ_j（ｊ＝１，３，５，
７，．．）は全て０であり、従って、副走査断面内の曲
率の、主走査対応方向における変化は座標：Ｙに関して
原点対称である。なお、レンズ４３の射出側面は通常の
トロイダル面である。The curvature Cs (5) in the sub-scan section of the surface of surface number 5 in the second group, that is, the surface on the optical deflector side of the lens 43 which is a "long toroidal lens" corresponds to the main scanning. Cs (5) = (1 / Rs (5)) + {b _j Y ** j (j = 1, 2, 3,...) Where Y is the coordinate of the direction (the origin is the optical axis position of the lens 41). In the equation represented by the following expression, Rs (5) (the paraxial radius of curvature in the sub-scan section including the optical axis) and a coefficient: b _j are given. “Y ** j” represents Y raised to the j-th power. Rs (5) = - 44.3, b 2 = -3.65E-7, b 4 = -5.33E-12, b 6 = -4.59E-16, b 8 = 6.69E-20, b ₁₀ = −5.42E-24, b ₁₂ = 1.47E−28 Coefficient of the odd-order term of Y: b _j (j = 1, 3, 5,
7,. . ) Are all 0, and therefore, the change of the curvature in the sub-scanning cross section in the main scanning corresponding direction is symmetric with respect to the coordinate: Y at the origin. The exit side surface of the lens 43 is a normal toroidal surface.

【００２９】以上のデータにより特定される光学配置を
「設計基準」と称する。この設計基準は「補正屈折面が
走査線曲がり補正機能を持たない光学系」であり、この
時に発生する走査線曲がりが「マルチビーム走査装置固
有の走査線曲がり」であり、このとき、発光部１０１か
らのビームに対する「固有の走査線曲がり」を、図２
（ａ）に符号２−１’により示し、発光部１０２からの
ビームに対する「固有の走査線曲がり」を、図２（ｂ）
に符号２−２’で示す。The optical arrangement specified by the above data is called a "design standard". This design criterion is “an optical system in which the correction refraction surface does not have a scanning line bending correction function”, and the scanning line bending generated at this time is “scanning line bending unique to the multi-beam scanning device”. The “inherent scan line bend” for the beam from 101 is shown in FIG.
In FIG. 2B, “unique scanning line bending” for the beam from the light emitting unit 102 is indicated by reference numeral 2-1 ′.
2-2 '.

【００３０】この実施例においては、レンズ４３の光偏
向器側の面（第２群の上記第５面）を補正屈折面とし、
発光部１０１からのビームの各入射位置において、副走
査断面内の傾きを、主走査対応方向の座標：Ｙに応じて
以下のように設定した。In this embodiment, the surface of the lens 43 on the optical deflector side (the fifth surface of the second group) is a correction refracting surface,
At each incident position of the beam from the light emitting unit 101, the inclination in the sub-scanning cross section was set as follows according to the coordinate Y in the main scanning corresponding direction.

【００３１】 [0031]

【００３２】勿論、主走査対応方向全体での上記傾き角
の変化は、上記変化を滑らかにつなげて得られ、必要と
あれば、これを多項式等で解析的に表現することもでき
る。このような副走査断面内の傾きのため、補正屈折面
における副走査断面内の曲率中心を連ねた「曲率中心
線」は３次元的な曲線になる（請求項３）。Of course, the change in the tilt angle in the entire main scanning direction can be obtained by smoothly connecting the changes, and if necessary, it can be analytically expressed by a polynomial or the like. Due to such an inclination in the sub-scan section, the “curvature center line” connecting the centers of curvature in the sub-scan section on the correction refraction surface becomes a three-dimensional curve (claim 3).

【００３３】「補正屈折面による補正後の走査線曲が
り」は、発光部１０１からのビームにあっては、図２
（ａ）に「符号２−１で示すごときもの」となり、発光
部１０２からのビームにあっては、図２（ｂ）に「符号
２−２で示す如きもの」となる。発光部１０１からのビ
ームに対し、走査線曲がりは実質的に完全に補正され、
発光部１０２からのビームに対しても「走査線曲がり量
は最大で０．００５ｍｍである」から極めて有効に補正
・軽減されている。従って、走査線曲がりを極めて良好
に補正された２つの光スポットによるマルチビーム走査
を実現できる。なお、実施例における等速特性（ｆθ特
性）は、図３に示す如く良好である。The “scanning line bend after correction by the correction refraction surface” indicates that the beam from the light emitting unit 101 is the same as that in FIG.
FIG. 2A shows “as shown by reference numeral 2-1”, and the beam from the light emitting unit 102 becomes “as shown by reference numeral 2-2” in FIG. 2B. With respect to the beam from the light emitting unit 101, the scan line bending is substantially completely corrected,
The beam from the light emitting unit 102 is corrected and reduced very effectively because the scanning line bending amount is 0.005 mm at the maximum. Therefore, it is possible to realize multi-beam scanning using two light spots whose scanning line curvature is corrected extremely well. Note that the constant velocity characteristics (fθ characteristics) in the embodiment are good as shown in FIG.

【００３４】[0034]

【発明の効果】以上に説明したように、この発明によれ
ば新規なマルチビーム走査装置およびマルチビーム走査
装置用の走査結像光学系を実現できる。この発明の走査
結像光学系は、マルチビーム走査装置固有の走査線曲が
りを補正する補正屈折面を有するので、マルチビーム走
査装置の設計上不可避的に発生する走査線曲がりを有効
に補正・軽減させることができる（請求項１〜５）。ま
た請求項４記載の走査結像光学系は等角速度的に偏向す
る複数ビームによる光走査を等速化する機能を持ち、請
求項５記載の走査結像光学系は「光偏向器における面倒
れを補正する機能」を有する。また、この発明のマルチ
ビーム走査装置は、上記走査結像光学系を用いるので、
マルチビーム走査装置固有の走査線曲がりを極めて良好
に補正・軽減して、良好なマルチビーム走査を実現でき
る。As described above, according to the present invention, a novel multi-beam scanning device and a scanning image forming optical system for the multi-beam scanning device can be realized. Since the scanning image forming optical system of the present invention has a correcting refraction surface for correcting the scanning line bending inherent to the multi-beam scanning device, the scanning line bending which inevitably occurs in the design of the multi-beam scanning device can be effectively corrected and reduced. (Claims 1 to 5). Further, the scanning image forming optical system according to the fourth aspect has a function of equalizing the optical scanning by a plurality of beams deflected at a constant angular velocity. Correction function ". Further, since the multi-beam scanning device of the present invention uses the above-described scanning and imaging optical system,
Scanning line bending inherent in the multi-beam scanning device can be corrected and reduced extremely favorably, and good multi-beam scanning can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】この発明のマルチビーム走査装置の実施の１形
態を説明するための図である。FIG. 1 is a diagram for explaining an embodiment of a multi-beam scanning device according to the present invention.

【図２】実施例における２つのビームの固有の走査線曲
がりと、走査線曲がり補正効果を説明するための図であ
る。FIG. 2 is a diagram for explaining a scan line curve inherent to two beams and an effect of correcting the scan line curve in the embodiment.

【図３】実施例の等速特性であるｆθ特性を示す図であ
る。FIG. 3 is a diagram illustrating fθ characteristics, which are constant velocity characteristics of the example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０ 光源（半導体レーザアレイ） １０１，１０２ 発光部 １５ コリメートレンズ ２５ シリンドリカルレンズ ３０ 光偏向器（ポリゴンミラー） ４１，４２，４３ 走査結像光学系を構成するレン
ズ ５０ 被走査面DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Light source (semiconductor laser array) 101,102 Light-emitting part 15 Collimating lens 25 Cylindrical lens 30 Optical deflector (polygon mirror) 41,42,43 Lens which comprises a scanning imaging optical system 50 Scanning surface

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】少なくとも副走査対応方向において、光軸
の片側に偏倚した複数の発光部を持つ光源側からの複数
ビームを光偏向器により偏向させ、走査結像光学系によ
り被走査面上に副走査対応方向に分離した複数の光スポ
ットとして集光させ、複数ラインを同時に光走査するマ
ルチビーム走査装置の走査結像光学系であって、 マルチビーム走査装置固有の走査線曲がりを補正する補
正屈折面を有し、 該補正屈折面に入射する複数ビームのうちの少なくとも
１ビームの入射位置における、該補正屈折面の、副走査
断面内の傾きが、該ビームの上記走査線曲がりを補正す
るように、上記入射位置に応じて定められていることを
特徴とするマルチビーム走査装置の走査結像光学系。An optical deflector deflects a plurality of beams from a light source having a plurality of light emitting portions deflected to one side of an optical axis in at least a direction corresponding to a sub-scanning direction, and scans the plurality of beams on a surface to be scanned by a scanning image forming optical system. A scanning image forming optical system of a multi-beam scanning device that collects light as a plurality of light spots separated in the sub-scanning corresponding direction and optically scans a plurality of lines at the same time, and corrects a scan line bending inherent to the multi-beam scanning device. A correction surface having a refraction surface, and an inclination of the correction refraction surface in a sub-scan section at an incident position of at least one beam among the plurality of beams incident on the correction refraction surface corrects the scan line bending of the beam. As described above, the scanning image forming optical system of the multi-beam scanning device is determined according to the incident position. 【請求項２】請求項１記載のマルチビーム走査装置の走
査結像光学系において、 走査結像光学系は、光偏向器と被走査面との間に配備さ
れる２枚のレンズと、これら２枚のレンズよりも被走査
面側に設けられる１枚の長尺レンズとにより構成され、
偏向ビームを被走査面上に光スポットとして集光する機
能を持つことを特徴とするマルチビーム走査装置の走査
結像光学系。2. The scanning image forming optical system according to claim 1, wherein the scanning image forming optical system includes two lenses provided between the optical deflector and the surface to be scanned. A single long lens provided closer to the surface to be scanned than the two lenses,
A scanning image forming optical system of a multi-beam scanning device having a function of converging a deflected beam as a light spot on a surface to be scanned. 【請求項３】請求項２記載のマルチビーム走査装置の走
査結像光学系において、 長尺レンズにおける一方の面が補正屈折面であり、補正
屈折面の副走査断面内における曲率中心を主走査対応方
向に連ねた曲率中心線が３次元的な曲線となることを特
徴とするマルチビーム走査装置の走査結像光学系。3. A scanning image forming optical system of a multi-beam scanning apparatus according to claim 2, wherein one surface of the long lens is a correction refractive surface, and a center of curvature in a sub-scan section of the correction refractive surface is main-scanned. A scanning imaging optical system of a multi-beam scanning device, wherein a center line of curvature connected to a corresponding direction is a three-dimensional curve. 【請求項４】請求項１〜３の任意の１に記載のマルチビ
ーム走査装置の走査結像光学系において、 光偏向器が等角速度的に偏向させる複数ビームによる光
走査を等速化する機能を持つことを特徴とするマルチビ
ーム走査装置の走査結像光学系。4. A scanning image forming optical system of a multi-beam scanning apparatus according to claim 1, wherein the light deflector deflects at a constant angular velocity so as to make optical scanning at a constant speed. A scanning image forming optical system for a multi-beam scanning device, comprising: 【請求項５】請求項１〜４の任意の１に記載のマルチビ
ーム走査装置の走査結像光学系において、光偏向器によ
る偏向の起点近傍と被走査面位置とを、副走査対応方向
に関して幾何光学的な共役関係とする機能を持つことを
特徴とするマルチビーム走査装置の走査結像光学系。5. A scanning image forming optical system for a multi-beam scanning apparatus according to claim 1, wherein the vicinity of the starting point of deflection by the optical deflector and the position of the surface to be scanned are defined with respect to the sub-scanning corresponding direction. A scanning imaging optical system of a multi-beam scanning device, which has a function of establishing a geometric conjugate relationship. 【請求項６】少なくとも副走査対応方向において、光軸
の片側に偏倚した複数の発光部を持つ光源側からの複数
ビームを光偏向器により偏向させ、走査結像光学系によ
り被走査面上に副走査対応方向に分離した複数の光スポ
ットとして集光させ、複数ラインを同時に光走査するマ
ルチビーム走査装置であって、 走査結像光学系として、請求項１〜５の任意の１に記載
の走査結像光学系を用いることを特徴とするマルチビー
ム走査装置。6. A beam deflector deflects a plurality of beams from a light source having a plurality of light emitting portions deflected to one side of an optical axis in at least a direction corresponding to the sub-scanning direction, and scans the plurality of beams onto a surface to be scanned by a scanning image forming optical system. A multi-beam scanning device that converges as a plurality of light spots separated in a sub-scanning corresponding direction and optically scans a plurality of lines at the same time, wherein the scanning image forming optical system is any one of claims 1 to 5. A multi-beam scanning device using a scanning imaging optical system. 【請求項７】少なくとも副走査対応方向において、光軸
の片側に偏倚した複数の発光部を持つ光源側からの複数
ビームを光偏向器により等角速度的に偏向させ、走査結
像光学系により被走査面上に副走査対応方向に分離した
複数の光スポットとして集光させ、複数ラインを同時に
光走査するマルチビーム走査装置であって、 走査結像光学系として、請求項４記載の走査結像光学系
を用いることを特徴とするマルチビーム走査装置。7. A plurality of beams from a light source having a plurality of light-emitting portions deflected to one side of the optical axis at least in a direction corresponding to the sub-scanning direction are deflected at an equal angular velocity by an optical deflector, and are scanned by a scanning image forming optical system. 5. A multi-beam scanning device for converging a plurality of light spots on a scanning surface in a direction corresponding to sub-scanning and simultaneously optically scanning a plurality of lines, wherein the scanning image forming optical system is used as a scanning image forming optical system. A multi-beam scanning device using an optical system. 【請求項８】少なくとも副走査対応方向において、光軸
の片側に偏倚した複数の発光部を持つ光源側からの複数
ビームを、光偏向器の偏向反射面近傍に主走査対応方向
に長い複数の線像として結像させ、上記光偏向器により
等角速度的に偏向させ、走査結像光学系により被走査面
上に副走査対応方向に分離した複数の光スポットとして
集光させ、複数ラインを同時に光走査するマルチビーム
走査装置であって、 走査結像光学系として、請求項５記載の走査結像光学系
で、光偏向器が等角速度的に偏向させる複数ビームによ
る光走査を等速化する機能を持つものを用いることを特
徴とするマルチビーム走査装置。8. A plurality of beams from a light source having a plurality of light emitting portions deflected to one side of the optical axis in at least a direction corresponding to the sub-scanning direction, and a plurality of beams long in the main scanning corresponding direction near the deflecting reflection surface of the optical deflector. It is formed as a linear image, deflected at the same angular velocity by the optical deflector, and condensed as a plurality of light spots separated in the sub-scanning corresponding direction on the surface to be scanned by the scanning image forming optical system, and a plurality of lines are simultaneously formed. A multi-beam scanning apparatus for performing optical scanning, wherein the scanning image forming optical system according to claim 5, wherein the optical deflector deflects at a constant angular velocity the light scanning by a plurality of beams. A multi-beam scanning device characterized by using a device having a function. 【請求項９】請求項６または７または８記載のマルチビ
ーム走査装置において、 光源における発光部が２個であることを特徴とするマル
チビーム走査装置。9. The multi-beam scanning device according to claim 6, wherein the light source has two light-emitting portions.