JPH11352504A - 液晶デバイス - Google Patents
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- JPH11352504A JPH11352504A JP11150773A JP15077399A JPH11352504A JP H11352504 A JPH11352504 A JP H11352504A JP 11150773 A JP11150773 A JP 11150773A JP 15077399 A JP15077399 A JP 15077399A JP H11352504 A JPH11352504 A JP H11352504A
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Abstract
する液晶デバイスを提供する。 【解決手段】 液晶デバイスが、液晶7を含むセルを規
定する第1の基板1および第2の基板2を含む。複数の
第1の電極3が第1の基板1上に形成される。電極3が
絶縁層4によって覆われ、ストライプ状の電極等の、横
方向に空間を空けられた電極5が絶縁層4上に形成され
る。第2の基板2は第3の電極8を有する。第1および
第3の電極が画素AおよびBを規定し、ストライプ状電
極5に対して横方向の画素のピッチは電極5のピッチよ
りも実質的に大きく、例えば、3倍以上である。
Description
る。例えば、ネマティック液晶(NLC)、強誘電性液
晶(FLC)、および反強誘電性液晶(AFLC)を用
いた回折に基づく液晶ディスプレイにおいて、このよう
なデバイスが使用され得る。
イスが公知である。例えば、US 5126 865、
US 5 321 535、US 5 576 863
およびUS 5 610 739が、グレースケール能
力を提供するために各画素(pixel)がサブ画素
(subpixel)に分割された液晶ディスプレイを
開示している。これらの公知のデバイスにおけるアドレ
シング配列は多層電極構成を用いて、グレーレベルを達
成するようにサブ画素のアドレシングを制御する。
角を提供することを目的とした液晶ディスプレイを開示
している。1つの基板上の多層電極構成は、通常、放射
状電場成分を垂直電場に提供し、液晶分子のスイッチさ
れた配向を画素に亘って変化させる。
基板に対して平行である液晶ディスプレイを開示してい
る。両方ともデバイスの下部基板上に配置された共通の
電極と画素電極との間に電場が生成される。
y grating technique)を用いる回
折型デバイスがGB 2 313 920およびEP
0811 872に開示されている。このようなデバイ
スについてのアドレシング構成は、英国特許出願番号9
702076.2、9709467.6、971213
4.7および9716112.9に開示されている。こ
のようなデバイスは高解像度の電極の使用を必要とし、
高い輝度および優れたコントラスト比を提供する投影デ
ィスプレイでの使用に適している。
相互指電極(inter−digitated ele
ctrode)からなる電極層を含む液晶デバイスを開
示している。逆符号の電圧を2つの相互指電極に印加す
ることによって、液晶層における回折格子を規定するこ
とが可能である。US−A−5 182 665の別の
実施形態において、電極層は、連続する下部電極層上に
配置された櫛形状の上部電極層からなり、2つの電極層
に逆符号の電圧を印加することによって、液晶層内の回
折格子を規定することができる。
たは光学的特性に悪影響を与えずに導電膜の物理的強度
を向上させることを目的としている。これは、透明絶縁
層および透明導電層を含む透明導電コーティングを開示
している。ここで、これらの2層は実質的に同じ屈折率
を有する。透明導電コーティングは任意の所望の厚さお
よび任意の所望の導電率を有するように設定され得る。
コーティングの光学的特性は、2つの層を結合した厚さ
によって決定され、2つの層の屈折率が等しくなるよう
に提供される。
晶デバイスを開示している。このデバイスにおいて、下
部基板上の走査電極は金属であり、反射性で拡散性の上
部表面を備えている。
素間のクロストークを防ぐために、液晶ディスプレイデ
バイスの光基板の散乱を低減することを目的としてい
る。これは、ITO層上に配置された誘電膜からなる
「反射防止対向電極」を開示している。ITO層は電極
として機能し、誘電膜は基板と電極との界面に発生する
反射を低減する。これはまた、誘電膜、ITO層、およ
び第2の誘電膜からなる反射防止対向電極も開示してい
る。各誘電膜は、それぞれ低い屈折率、高い屈折率、お
よび低い屈折率を有する3つの誘電層からなる。
十分の高解像度でスイッチング可能な電極構造を有する
液晶デバイスを提供することができなかった。
スは、第1の基板および第2の基板と、該第1の基板と
該第2の基板との間に配置された液晶層と、複数の画素
と、を含む液晶デバイスであって、該複数の画素の各々
が、該第1の基板上に配置された第1の電極と、該第1
の基板に対応する該第1の電極から電気的に絶縁され、
且つ、該第1の電極上に配置された第2の電極と、該第
2の基板上に配置された第3の電極と、を含み、このこ
とにより、上記の目的が達成される。
の電極が複数の横方向に間隔を空けた第2の電極を含
み、該第2の電極の少なくとも1つが前記第3の電極に
電気的に接続されてもよい。
続されてもよい。
の電極が、接地電位に電気的に接続された複数の横方向
に間隔を空けた第2の電極を含んでもよい。
され、該複数の画素の各々において、前記第2の電極が
複数の横方向に間隔を空けた第2の電極を含み、該デバ
イスが、他の行または列の画素から独立して、画素のレ
ギュラーアレイの行または列に対応する第2の電極にア
ドレスするためのアドレシング手段を更に含んでもよ
い。
配列されてもよい。
の電極がストライプ状の実質的に平行な電極を含んでも
よい。
的に平行な電極が、実質的に均一に間隔を空けて離され
てもよい。
び、且つ、一列の画素に共通であり、第1の電極の各々
が一行の画素に沿って延び、且つ、一行の画素に共通で
あり、それにより、パッシブマトリクスアドレシング配
列を形成してもよい。
の電極が、それぞれが前記第1または第3の電極に対し
て実質的に平行に延びる複数の横方向に間隔を空けた第
2の電極含んでもよい。
の電極が、それぞれが前記第1の電極に対して実質的に
45°の角度で延びる複数の横方向に間隔を空けた第2
の電極含てもよい。
り、前記第1の電極の各々がアクティブ非線形デバイス
に接続された画素電極を含み、それにより、アクティブ
マトリクスアドレシング配列を形成してもよい。
前記複数の画素の各々において、前記第2の電極が、そ
れぞれが実質的に行または列の方向に延びる複数の横方
向に間隔を空けた第2の電極を含んでもよい。
前記複数の画素の各々において、前記第2の電極が、そ
れぞれが行の方向に対して実質的に45°の角度で延び
る複数の横方向に間隔を空けた第2の電極含んでもよ
い。
上を延び、複数の開口部が該第2の電極に提供されても
よい。
に接続されてもよい。
されてもよい。
の画素の第2の電極にアドレスするためのアドレシング
手段を更に含んでもよい。
されてもよい。
され、該デバイスが、他の行または列の画素から独立し
て、画素のレギュラーアレイの行または列に対応する第
2の電極にアドレスするためのアドレシング手段を更に
含んでもよい。
全領域上を延びてもよい。
て延び、且つ、一列の画素に共通であり、前記第1の電
極の各々が一行の画素に沿って延び、且つ、一行の画素
に共通であり、それにより、パッシブマトリクスアドレ
シング配列を形成してもよい。
り、前記第1の電極の各々がアクティブ非線形デバイス
に接続された画素電極を含み、それにより、アクティブ
マトリクスアドレシング配列を形成してもよい。
的絶縁層を更に含んでもよい。
電気的絶縁層の屈折率が該第2の電極の屈折率に実質的
に等しくてもよい。
配置された第2の電気的絶縁層を更に含んでもよい。
極の屈折率に実質的に等しい屈折率を有してもよい。
の電極が複数の横方向に間隔を空けた第2の電極を含
み、前記デバイスが該第2の電極上に配置された第1の
電気的絶縁層を更に含み、該第1の電気的絶縁層の屈折
率が該第2の電極の屈折率に実質的に等しくてもよい。
上を延び、複数の開口部が該第2の電極に提供され、前
記デバイスが該第2の電極上に配置された第1の電気的
絶縁層を更に含み、該第1の電気的絶縁層の屈折率が該
第2の電極の屈折率に実質的に等しくてもよい。
全領域上を延びてもよい。
電気的絶縁層が平坦化されてもよい。
電気的絶縁層が平坦化されてもよい。
電気的絶縁層が平坦化されてもよい。
に含んでもよい。
電極との間に配置された第2の電気的絶縁層を含んでも
よい。
れた第1の電気的絶縁層を含んでもよい。
んでもよい。
い。
い。
い。
に含み、該反射体が前記第2の電極を含み、前記第2の
電気的絶縁層の厚さが(2m+1)λ/2nに実質的に
等しく、mがゼロより大きいまたはゼロに等しい整数で
あり、λが光放射の波長であり、nが該第2の電気的絶
縁層の屈折率であってもよい。
屈折率n2を有し、該第1の電極が屈折率n1を有する第
3の電気的絶縁材料によって覆われ、基板に対応する上
部表面が少なくとも該第1の電気的絶縁層の上部表面と
同じ高さであり、該第1の電気的絶縁層の上部表面から
該第1の電極までの深さd1がn1d1=n2d2を満た
し、該第1の電極および該第2の電極が反射電極であっ
てもよい。
屈折率n2を有し、該第1の電極が屈折率n1を有する第
3の電気的絶縁材料によって覆われ、基板に対応する上
部表面が少なくとも該第1の電気的絶縁層の上部表面と
同じ高さであり、該第1の電気的絶縁層の上部表面から
該第1の電極までの深さd1がn1d1=n2d2を満た
し、該第1の電極および該第2の電極が反射電極であっ
てもよい。
屈折率n2を有し、該第1の電極が屈折率n1を有する第
3の電気的絶縁材料によって覆われ、基板に対応する上
部表面が少なくとも該第1の電気的絶縁層の上部表面と
同じ高さであり、該第1の電気的絶縁層の上部表面から
該第1の電極までの深さd1がn1d1=n2d2を満た
し、該第1の電極および該第2の電極が反射電極であっ
てもよい。
気的絶縁層上に配置されてもよい。
気的絶縁層上に配置されてもよい。
気的絶縁層上に配置されてもよい。
の間のギャップの下に配置された反射電極を更に含み、
第1の電極および反射電極が屈折率nを有する電気的絶
縁材料内に配置され、該反射電極が該第1の電極の下の
(2m+1)λ/2nに実質的に等しい深さに配置さ
れ、mがゼロより大きいまたはゼロに等しい整数であ
り、λが光放射の波長であってもよい。
れた前記第2の電極が反射型であり、該第1の電極の間
のギャップ上に配置されない前記第2の電極が透明であ
り、前記第2の電気的絶縁層が(m+1)λ/2nに実
質的に等しい厚さを有し、mがゼロより大きいまたはゼ
ロに等しい整数であり、λが光放射の波長、nが該第2
の電気的絶縁層の屈折率であってもよい。
に等しくてもよい。
に等しくてもよい。
に等しくてもよい。
数の透明な第2の電極を含み、前記第1の電極が反射型
であり、複数の位相補償部材が、第2の電極間のギャッ
プに対する位置決めを行って該第1の電極上に配置さ
れ、該位相補償部材によって誘引される光学位相差が、
該第2の電極によって誘引される光学位相差に実質的に
等しくてもよい。
置されてもよい。
らに有し、該反射体は前記第2の電極を有し、前記第2
の電気的絶縁層の厚さが(2m+1)λ/2nに実質的
に等しく、mがゼロより大きいかまたはゼロに等しい整
数であり、λが光放射波長であり、nが該第2の電気的
絶縁層の屈折率であり、前記第1の電極および該第2の
電極は反射電極であってもよい。
デバイス」という言葉は、例えば、薄膜トランジスタ
(TFT)等の3端子スイッチ、ならびに、薄膜ダイオ
ード(TFD)または金属−絶縁体−金属(MIM)デ
バイス等の2端子非線形デバイスのことである。
々が、第1の基板上に配置された第1の電極と、第1の
基板に対応する第1の電極から電気的に絶縁され、且
つ、第1の電極上に配置された第2の電極と、第2の基
板上に配置された第3の電極と、を含むので、液晶材料
を非常に高い解像度でスイッチングできる電極構造を提
供することができる。
質的に垂直で且つ実質的に「正方形」のプロフィールか
らなる電場プロフィールを良好な電極ピッチ(例えば1
0マイクロメートル未満)で生成することができる。所
定のNLC、FLCおよびAFLC液晶モードのスイッ
チングが高い解像度で達成され得る。所定のリソグラフ
ィー形状サイズについて、および、単層電極構造を有す
る公知のデバイス(例えばGB 2 313 920お
よびEP 0 811 872に開示されているデバイ
ス)と比較した場合、二層電極構造によって高い解像度
での液晶スイッチングが達成され得る。
単一マーク−スペース比として規定された最も高い解像
度の単層電極構造と比較した場合、二層電極構造はより
高い解像度の液晶レスポンスについて改良された電場の
形状を提供する。例えば、2マイクロメートル程度のピ
ッチはNLCおよびFLCで達成され得る。公知のタイ
プの単層電極構成は、同じピッチを達成するために相互
指電極を備える必要があり、電場の形状は、非常に高い
解像度のリソグラフィー法を用いない限り、二層構造に
よって生成される電場の形状と等しくならない。
(TFT)の背面および大規模集積回路(LSI)の背
面等のアクティブマトリクスアドレシング構成ならびに
パッシブマトリクスアドレシング構成と物理的且つ電気
的に互換性を有する。例えば、この電極構造は、反射型
TFTの背面で、高い効率の開口率が得られる。また、
NLC、FLCおよびAFLCで、大きな角度の回折液
晶デバイスを形成することができる。更に、画素間ギャ
ップスイッチングの改良された制御が、高い解像度の液
晶ディスプレイにおいて達成され得る。また、よりコン
パクトな画素レイアウトが得られる画素記憶容量を提供
するために、本発明の電極構造が使用され得る。このよ
うにして、回折型液晶空間光モジュレータが投影ディス
プレイに提供され得る。
透過性液晶デバイスの2つの隣接する画素AおよびBを
示す。デバイスは例えば行および列として構成されたこ
のような画素のレギュラーアレイを含む。デバイスは、
例えば、単位相回折モードと非回折モードとの間の画素
のスイッチングに基づく投影ディスプレイにおいて、空
間光モジュレータまたはディスプレイとして使用され得
る。デバイスは、例えばガラス板から形成された第1の
基板1および第2の基板2を含む。基板1は、例えばイ
ンジウム−錫酸化物(ITO)から形成された透明電極
3を含む電極構成を担持する。電極3は平行ストライプ
状列電極として構成され、平行ストライプ状列電極のそ
れぞれがその列内の画素に共通である。画素Aは列デー
タドライバ(図示せず)からのデータnを受け取り、そ
れに対して、画素Bはドライバからのデータn+1を受
け取ることが図示されている。
極3上に形成されたポリイミド等の絶縁材料の層を含む
絶縁体4に埋め込まれる。しかし、他の材料、ならびに
シリコン二酸化物でのスピンコーティング、シリコン二
酸化物の化学気相成長(CVD)、およびシリコン窒化
物のCVD等の形成技術が使用され得る。電極3は、要
求される抵抗率および透過率によって決定される厚さを
有し、通常20ナノメートルの厚さである。絶縁体4
は、電気絶縁を提供するのに十分な厚さからなり、通常
100ナノメートルと200ナノメートルとの間の厚さ
である。
上に形成される。電極5は透明であり、20ナノメート
ルのオーダーの厚さのITOからも形成され得る。第2
の電極5は、デバイスの横方向の範囲に延びるストライ
プ平行均一間隔電極として形成され得る。第2の電極5
のピッチは画素AおよびBの横方向のピッチよりもかな
り狭い。通常、横方向の画素ピッチは第2の電極5の横
方向の画素ピッチの少なくとも3倍である。例えば、横
方向の画素ピッチは28マイクロメートルであり得、第
2の電極の横方向のピッチは7マイクロメートルであり
得る。しかし、好適なピッチの範囲はリソグラフィーの
制限および所望のデバイスサイズによってのみ制限され
る。(「横方向(transverse)」「横方向
(lateral)」は図2に示すように配向された画
素を指す。)電極5および絶縁体4は、基板1と2との
間の層の形態の液晶7を配向させるための配向層6によ
って覆われる。配向層または配向膜6は、約100ナノ
メートルの厚さを有する層を形成するための、スピンコ
ート処理され、且つ、約250℃でイミド化されたポリ
イミドを含み得る。液晶7は、例えば、NLC、FLC
またはAFLCであり得る。
これは、スーパーツイステッドネマチックパッシブアド
レスモードまたは双安定ツイステッドネマチックパッシ
ブアドレスモードで使用され得る。パッシブマトリクス
アドレシングに適したFLCの一例はHoechstの
SCE8であり、パッシブマトリクスアドレシングに適
したAFLCはChisso Corporation
のCS4000である。
る、本発明の更なる実施形態を以下に説明する。アクテ
ィブマトリクスアドレシングに適したNLCはMerc
kのZLI−4792である。上述のFLCであるHo
echstのSCE8は、アクティブマトリクスデバイ
スでの使用にも適している。アクティブマトリクスアド
レシングにおそらく適しているAFLCは、S.S.S
eomunらの”Electrooptics Pro
perties of a Binary Mixtu
re of Ferroelectric and A
nti−Ferroelectric Chiral
Components showing Thresh
oldless S−shaped Switchin
g”, Third International D
isplay Workshop, Lcp 1−4
(1999) P61−64によって説明される無限
(thresholdless)AFLC MLC00
76である。
FLCがバイナリモードを提供し、それに対して、他の
ものはアナログモードを提供する。しかし、同時継続出
願の英国特許出願番号第9712134.7に説明され
ているように、アナログモードでBTNおよびFLCを
使用することも可能である。
通常100ナノメートルの厚さを有する第3の透明電極
8をその上に形成して有する。電極8は電極3と同じで
あるが、デバイスの横方向に延び、行電極を形成する。
行電極の各々はその行内の画素に共通である。電極8
は、ストローブ信号を電極8に供給するストローブ信号
生成器(図示せず)に接続され、その行についての最新
の映像データで各行の画素をリフレッシュする。このタ
イプのパッシブマトリクスアドレシング構成は周知であ
り、従って詳細には説明しない。
は配向膜9によって覆われる。配向層9は配向膜6と同
じ方法で形成され得、続いて、ラビングプロセスで処理
され、要求される方向の液晶配向を提供する。
と第3の「ストローブ」電極8との交差部またはオーバ
ーラップ部によって規定される。第1の電極3の各々は
画素の範囲に亘って横方向に連続する。同様に、電極8
の各々は画素の横方向の範囲に亘って連続する。(「横
方向(transverse)」「横方向(later
al)」という語句は、図2に示すように配向された画
素を指す)。図1は、オフ状態の画素Aおよびオン状態
の画素Bを模式的に示す。
びBはパッシブマトリクス技術を用いてアドレスされ
る。第2電極または指電極5は一緒に接続され、接地さ
れる。第1の電極3はデータ信号を受け取り、第3の電
極8はストローブ信号を受け取る。電極1および8に供
給されるデータおよびストローブ信号のタイプは、デバ
イスで使用される特定的な液晶モードに依存する。スト
ローブ信号およびデータ信号は、電極3がストローブ信
号を受け取り、電極8がデータ信号を受け取るように交
換され得る。図2において、指電極5はデータ電極(第
3の電極)に対して平行になるように図示されている
が、第1の電極および第3の電極に対していかなる方向
も取り得る。
状態で得られる等電位を示す。図3に示す電極構造は、
下部電極の構成がマーク−スペース比(電極:電極ギャ
ップ)が1である均一間隔平行ストライプ電極10およ
び11を含む従来の単層タイプである。別のストライプ
電極10は、同じ電圧(図3に示す接地電位)になるよ
うに上部電極8に接続される。残りのストライプ電極1
1は、一体に接続され、且つ、電極8および10に対し
て適切なバイアス電圧に維持される。
に示す。この構成は横方向に広がる電場を生成し、所望
の垂直方向の電場成分のみならず、比較的幅広い領域に
亘る面内電場成分を生成する。従って、電極マーク−ス
ペース比は1に等しいが、電場パターンのマーク−スペ
ース比、要するに、得られた液晶スイッチングプロフィ
ールのマーク−スペース比は1からは程遠い。電極10
と11との間のギャップで電場が適切に制御されないた
めに、このような結果となる。
電極10および11のマーク−スペース比を修正するこ
とによって向上され得、電極10と11との間のギャッ
プの幅が狭くなる。図4は、電極10および11がギャ
ップの3倍の幅を有し、つまりマーク−スペース比が3
である場合を示す。この場合、電場プロフィールのマー
ク−スペース比は1にずっと近付き、等電位13のプロ
フィールは、面内電場がより小さな領域に制限されるよ
うになっている。しかし、ピーク電場はかなり大きい。
面内電場領域の幅と面内電場の強度との間、および液晶
材料の電気特性と粘弾特性との間にはトレードオフがあ
る。図3および図4は電極の幅が要求される電場プロフ
ィールのマーク−スペース比について最適化され得る
が、所定のリソグラフィーラインの幅について、得られ
る格子ピッチをより広く取る必要がある。
ついての等電位14を示す。電極3および指電極5を含
む二層電極構造は、電極10と11との間のギャップが
ゼロになり電極のマーク−スペース比が無限小である場
合を限界として、図4の単層電極構造から得られる電場
プロフィールを提供する。指電極を交互にバイアスする
必要が除去され、二層電極構造について、最小のリソグ
ラフィー形状サイズが2の因数ごとに増加する。従っ
て、電極のリソグラフィー法の解像度が同じ物につい
て、より高い解像度の液晶スイッチングが達成され得
る。従って、図1および図2に示す二層電極構造で、電
場パターンおよび得られた液晶スイッチプロフィールの
マーク−スペース比が1により近づき、より「正方形」
に近い電場プロフィールが達成される。
たはスイッチング速度が低下し得る望ましくない構成に
スイッチさせ得る。図6は、この効果が実質的に低減さ
れるデバイスを示す。図6のデバイスは、絶縁体15が
配向層6と絶縁体4および電極5との間に層として形成
される点で図1のデバイスとは異なる。例えば、絶縁体
15はポリイミド等の適切な材料でスピンコート法によ
って形成され得る。
場ベクトル16を示す。最も高い密度の等電位を有し、
最も高い面内電場を有する17等の領域は、液晶7の面
内スイッチングについての性向を実質的に低減するよう
に絶縁体15に制限される。結果的に、液晶7の異なる
ようにスイッチされた状態の領域の間に通常発生するド
メインエッジ欠陥またはツイスト境界線が減少する。
はデバイスの性能を低下させ得る。デバイスがディスプ
レイとして使用される場合、このことが輝度および/ま
たはコントラスト比を低下し得る。この影響を低減する
ために、電極5は、電極5の材料に屈折率が適合するI
TO等の材料を絶縁体15に用いることにより「光学的
に埋め込まれる」。また、絶縁体15の表面を平坦化す
ることにより、光学的回折の影響を更に低減する。層1
5は、研磨、リフロー平坦化ポリマー材料の使用、リフ
ロー平坦化材料の使用に続くエッチバック、スパッタ成
長、およびスパッタエッチ技術によって平坦化され得
る。
態は透過型であるが、以下に説明する実施形態は反射型
である。従って、図8には第1の電極3が反射型である
点で図1に示すデバイスとは異なるパッシブアドレス型
の液晶デバイスを示す。例えば、電極3は銀または反射
性の高い別の金属から形成され得る。あるいは、また
は、更に、絶縁体4は絶縁性反射型誘電性多層スタック
から形成され得る。誘電性スタック内の反射電極3と比
較的少ない数の層とを組み合わせることが、全体の厚さ
を制限するのに有利である。
向層6および指電極5との間に形成される点で図8に示
すデバイスとは異なる。このような波長板は、所定の液
晶モードに有利であり得る。
成され得る。波長板15’を形成するために、絶縁体4
および指電極5は、例えば配向層6と同じタイプの配向
層または配向膜18で覆われる。配向層18は、反応性
メソゲンでスピンコーティングされ、次に反応性メソゲ
ンは配向層6を形成する前に硬化される。
り、図6の絶縁体15を参照して上で説明した最も高い
面内電場を含む「バッファ」層としても機能する。
のような波長板は透過型デバイスにも提供され得る。
い誘電率を有し、通常、例えば800ナノメートルの厚
い層を含む。従って、波長板15’は、液晶層7と連続
してキャパシタンスとして機能する。従って、液晶7に
亘って要求される電場を達成するためにより高い画素駆
動電圧を提供する必要が生じ得る。
5が平坦化された絶縁層を含む点で、図9のデバイスと
異なるデバイスを示す。波長板4’は、図9の波長板1
5’についてこれまでに説明したように形成され得、適
切な配向層または配向膜19を図10に示す。従って、
絶縁層15はより薄く形成され得るので、要求される駆
動電圧は図9に示すデバイスと比較して低減され得る。
配向層18との間で指電極5上に形成される点で、図9
のデバイスと異なるデバイスを示す。絶縁体20の材料
は、指電極5と屈折率が適合し、且つ、その上部表面が
平坦化されるので、これまでに説明した回折の影響は低
減される。
を有するがアクティブマトリクス型である液晶デバイス
を示す。従って、平坦化されたアクティブマトリクス回
路21は、デバイスの他のエレメントが形成される前に
基板1上に形成される。第1の電極3は、図13に示す
ように画素の形状を規定する電極3の形状を有する反射
型画素電極を含む。電極8は、全ての画素に共通であり
且つ指電極5と共に接地された平面連続電極を含む。電
極3の各々は、ビアホールによって、回路21の下に横
たわる駆動回路に接続される。
素回路を示す。各画素電極3は薄膜トランジスタ22の
ソースに接続される。各行の画素のTFT22のゲート
は一緒に共通のストローブラインまたは走査線に接続さ
れる。同様に、各列の画素のTFTのドレインは一緒に
共通のデータラインに接続される。
いてキャパシタを形成する。特に、図14においてキャ
パシタ23によって模式的に示されるように、各画素の
電極3は一平面のキャパシタを形成し、それに対して、
画素の指電極5が他の平面を形成する。TFTディスプ
レイにおいて、ディスプレイ更新期間中に液晶7に亘っ
て所定の電圧を維持するために、通常、画素キャパシタ
が電荷蓄積に使用される。電極3および5によって形成
されたキャパシタ23はこの機能を自動的に提供するの
で、分離したキャパシタは必要としなくてもよく、空間
を節約し且つ最大の画素サイズがより小さくなる。電極
3および5によって形成されたキャパシタ23では、補
完的なストレージキャパシタを提供する必要を完全に除
去するのに十分でないとしても、電極3および5によっ
て形成されたキャパシタ23が存在するために、必要と
される補完的なストレージキャパシタは従来よりも小さ
くなる。キャパシタ23の容量は、画素の液晶容量の容
量の約10倍となるのが好ましく、このことは、絶縁層
4の厚さを適切に選択することにより達成され得る。
スプレイにおいて単位相回折空間光モジュレータとして
使用する場合、屈折率の適合した絶縁層15および1
5’を用いた指電極5の平坦化は、最も深刻な望ましく
ない回折、つまり、意図的に回折された光と同じ角度で
発生する回折を排除するかまたは実質的に低減する。し
かし画素を規定する電極の境界線は、望ましくない回折
のために、入射光の割合についての制御不良を引き起こ
し得る。パッシブマトリクスデバイスの場合、例えばこ
れまでに説明したように、通常このような望ましくない
回折は、反射電極がストライプ状の形状を有し、且つ、
デバイスに関連する投影光学系が望ましくない回折成分
を区別するという理由のためだけに、1つの方向に発生
する。アクティブマトリクスデバイスにおいて、一般に
反射画素電極3は正方形または矩形であるので、画素境
界線における回折は2つの方向に発生する。従って、関
連する光学系内で望ましくない回折を区別するのは困難
である。
極3を有する典型的なアクティブマトリクスデバイスの
画素構造内の光路を示す。(図15はデバイスの下部基
板のみを示し、液晶層および上部基板は図示しない。)
指電極5からの回折を更に低減するために、電極3と5
との間の距離d1はλ/2n1とほぼ等しくなるのが最適
である。ここで、n1は絶縁層4の屈折率、λは通常5
50ナノメートルのオーダーであるディスプレイの設計
波長である。
れたアクティブマトリクス基板1および21との間での
絶縁層24の使用を示す。反射型画素間電極25は、画
素電極3の間のギャップ、つまりデバイスの画素間のギ
ャップの下の絶縁層24に埋め込まれる。このような埋
め込み反射電極25において効果的に望ましくない回折
を低減するために、電極23の下の電極25の深さd2
は、(2m+1)λ/2n1にほぼ等しい。ここで、m
は負の整数ではなく、光路内の絶縁層4および24の屈
折率は等しいものとみなす。
り、それに対して、d2の値は屈折率の適合した膜に埋
め込まれた高透過性電極に適する値である。各界面にお
いて部分的に反射を行なう透過性指電極について、厚さ
の最適化は光波伝播解析(wave propagat
ion analysis)を用いて計算され得る。
よって反射される入射光の光路を、それぞれ26および
27で示す。
極25が除去されている点で、図15に示した構成と異
なる構成を示す。(図16はデバイスの下部基板のみを
示し、液晶層および上部基板は図示しない。)例えば、
指電極5は銀またはアルミニウムから形成され得る。指
電極5は画素電極3の間のギャップを覆うように構成さ
れる。光路26および28の長さを適合させることによ
り回折の影響が低減され、2光路の長さの適合は、パッ
チ28と比べた光路26の追加の総光路長を波長の倍数
となるように設定することで達成される。このことは、
これまでに規定したように、指電極5の下の画素電極3
の深さdを(2m+1)λ/2n1と等しくすることに
より達成され得る。
ましくない回折が制限された光学的帯域幅においてのみ
抑制される構成を示す。
幅の広い光学的帯域幅で効果的な、電極5からの望まし
くない回折を抑制する構成を示す。(図17はデバイス
の下部基板のみを示し、液晶層および上部基板は図示し
ない。)図17の構成は、反射指電極5が屈折率の高い
コーティング29で覆われるという点で、図16の構成
とは異なる。層4および15の屈折率n1とコーティン
グ29の屈折率n2との間の十分に大きな差によって、
コーティング29は光路26と光路28との間の光路の
違いを排除するのに適した厚さを有し得る。回折の影響
の抑制はn1d1=n2d2の場合に達成される(ここで、
d1はコーティング29の上部表面から画素電極3まで
の距離、d2はコーティング29の厚さである。)。例
えば、層4および15は屈折率がn1=1.5であるポ
リマーから形成され、コーティング29は屈折率がn2
=2であるシリコン窒化物から形成され、(d1−d2)
=200ナノメートルである場合、d2は約600ナノ
メートルである。
アドレシング手段30を更に含むデバイスの模式図であ
る。アドレシング手段30は、他の列の画素内の指電極
から独立して、ある列の画素内の指電極にアドレスし得
る。この実施形態は、特にデバイス内の液晶層がFLC
である場合に、スイッチング制御を向上するという利点
を有する。周知のように、FLCをスイッチングする1
つの方法は、画素を公知の状態に「ブランキング」し、
画素を実質的に所望の新たなディスプレイ状態にするこ
とを含む。図18の実施形態は画素のブランキングを行
毎に行うことを可能にし、このことにより、その後に行
うグレーレベルの状態の選択の精度を向上し得る。
電極が他の列に対応する第2の電極から独立してアドレ
スされる様子を示すが、ある行の画素に対応する第2の
電極が、他の行の画素に対応する第2の電極から独立し
てアドレスされるように、同じく適切に構成され得る。
この図は、画素が行および列に構成されるアクティブマ
トリクスデバイスを示す。しかし、指電極5は行または
列の方向に配向されず、行および列の方向に対して実質
的に45°の角度に配置される。
ッチされた場合に液晶内に規定された格子から偏向され
た光は、下にある画素電極からの偏向によって起こる偏
向されたオーダーの両方のセットに対して45°の角度
の平面内にある。行の方向に対する角度が鋭角となるよ
うに指電極を配置することによって、望ましくない偏向
された光の収集を回避することができる。
て45°となるように示すが、この実施形態は45°の
角度に限定されない。指電極と行の方向との間の好適な
角度は、使用する光学系に依存する。環状の光源の像の
場合、45°の角度が好適である。しかし、アーク源を
使用する場合、アーク源は幾分一次元的であるので、4
5°の角度は最高の結果をもたらさない。
アースに接続される。しかし、図19のデバイスに、例
えば図18について説明したアドレシング方法等の他の
アドレシング方法を用い得る。
角度を設定して指電極を配置することにより、図19の
教示をパッシブアドレスされた液晶ディスプレイに応用
することもまた可能である。
8および図19のデバイスを説明したが、図18および
図19の特徴は本明細書中で上述した他のいかなるデバ
イスにも応用し得る。
晶ディスプレイデバイスについての、下部基板の断面図
である。この実施形態は、隣接する画素電極3の間のギ
ャップ上に配置された指電極5’が反射型であり、一方
残りの指電極5が透明である点で図15の実施形態とは
異なる。反射指電極5’および透明指電極5の両方が画
素電極3上方に約(m+1)λ/2n1の距離で配置さ
れる(ここで、mは0、1、2...、n1は絶縁層4
および15の屈折率である。)。
点は、反射指電極5’と画素電極3との間の距離をより
正確に制御し得る点にある。それは下部絶縁層4の堆積
の均一性にのみ依存し、全体的な平坦性に依存しない。
しかし、1つの考え得る欠点は、指電極が2つの別個の
ステップ(透明指電極5を形成するステップおよび反射
指電極5’を形成するステップ)で形成される点にあ
り、その結果配向およびレジストレーションが困難にな
り得る。結果として、反射電極5’の考えられ得るミス
アライメントを許容するために、反射指電極5’を隣接
する画素電極3の間のギャップよりも幅広く形成しなけ
ればならない。
均一な幅を有し、且つ、実質的に規則正しく間隔を空け
られている。しかし本発明はこれに限定されない。図2
1は、本発明の別の実施形態による、画素内の指電極の
模式的な平面図である。この実施形態はまた、互いに横
方向に間隔を開けられた複数の指電極を有する。しか
し、この実施形態における指電極5は不規則な幅を有
し、隣接する電極間の空間は画素上で変化する。
は、疑似ランダム形状を有し、その結果、電極の形状お
よびスペーシングは、1画素内でおよび1画素ずつの両
方で不規則に変化する。指電極によって覆われた画素の
面積は、正確に50パーセントである必要はなく、好適
には約40%から約60%の範囲である。隣接する指電
極は横方向に空間を空けられるが、電極の幅は変化する
ので、この実施形態において、1画素内のまたは隣接す
る画素内の隣接する指電極がある一点で互いに接触し得
る。
ク機能によって規定される。不規則におよび/または疑
似ランダムに成形された指電極の使用により、1方向へ
の回折よりむしろ散乱を生成する。指電極の端部を規定
するランダム機能が重要な要因を有する場合、指示され
た散乱を得ることができる。
得、本明細書中で上述した実施形態のいずれかに応用し
得る。
の模式的な平面図である。この実施形態において、1つ
の第2の電極5’’が画素内に提供される。第2の電極
5’’の周囲31は画素の中央領域を含み、好適には、
実質的に画素の全領域を含み、画素の全領域を含み得
る。
成される。これらの開口部は好適には異なるサイズであ
り、好適にはランダムな、または疑似ランダムな位置に
配置される。開口部のサイズおよび位置は、例えば、乱
数発生装置を用いて規定され得る。図22には円状の開
口部を示したが、他の形状を有する開口部も用いられ得
る。開口部30のサイズ、数および位置は、好適には、
画素毎に不規則に変化する。電極5’’の「活性領
域」、つまり電極の周囲31内の領域から開口部の領域
の合計を引いた領域は、約40%から約60%の間の画
素領域が好適である。開口部が円形である場合、電極に
おける開口部の直径は好適には10μm未満であり、よ
り好適には5μm未満である。
施形態の指電極と同様に動作する。第1の電極に電圧が
印加される場合、第1の電極および第2の電極5’’の
二層構造が、図5を参照して上述した様態で実質的に正
方形の電場を生成する。図22の第2の電極は、面内電
場を生成することに向けられたUS 5 608 55
6の配向制御電極とは全く異なる。US 5 608
556の配向制御電極の活性領域は画素の周部分のみを
覆い、実質的に画素領域上を覆わない。
ることが可能である。例えば、行または列内の画素の第
2の電極は互いに連続し得、互いに独立してアドレス可
能である第2の電極は各行または各列の画素に対応す
る。あるいは、第2の電極がディスプレイデバイスの全
領域上で連続し得る。あるいは、各画素は独立してアド
レス可能な第2の電極を有する。
りもむしろ散乱を発生する。
透明であり得、図19から図21の実施形態を除いた上
述の本発明の実施形態のいずれかに応用し得る。特に、
第2の電極は、画素の第2の電極が接地電位に接続され
る実施形態、または、画素の第2の電極が画素の第3の
電極に電気的に接続される実施形態において使用され得
る。
従来の方法によって形成される。
す。デバイスは、例えばガラス板から形成された第1の
基板1および第2の基板2を含む。基板1は、例えば金
属性電極等の、反射型の第1の電極3(画素電極)を含
む電極構造を担持する。(図23に第1の電極3を1つ
だけ図示する。)第1の電極3は、SiO2等の絶縁材
料の層を含む絶縁体4内に埋め込まれる。絶縁体4は、
電気的絶縁を提供するのに十分な深さを有し、通常、1
00〜200ナノメートルの厚さである。
成される。電極5は透明であり、20ナノメートルのオ
ーダーの厚さを有するITOから形成され得る。第2の
電極5は、デバイスの横方向の範囲全体を延びるストラ
イプ平行均一間隔電極として形成される。第2の電極5
のピッチは、デバイスの画素のピッチよりもかなり狭
い。(図23に1つの画素のみを図示する。)スタティ
ック4分の1波長板32は第2の電極5上に配置され
る。この波長板32の組成および製造は図9の波長板1
5’の組成および製造と同じである。クォーター波長板
32は、基板1と基板2との間の層の形態の液晶7を配
向する配向層6によって覆われる。配向層または配向膜
6は、任意の従来の配向層を含み得る。液晶7は、例え
ばNLC、FLCまたはAFLCであり得る。
電極8(共通電極)が、上部基板2に配置される。液晶
7を配向させる配向層9が、第3の電極8に配置され
る。
提供される点で図9の実施形態とは異なる。これらの部
材は、隣接する第2の電極5の間のギャップとのレジス
トレーションを行った透明のストリップ33であり、第
2の電極に対して実質的に平行に延びる。透明のストリ
ップは、隣接する第1の電極3の間のギャップを通る光
の光路内に配置される。この実施形態において、第1の
電極3によって反射される全ての光が、透明な第2の電
極5または透明なストリップ33の1つのいずれかを通
る。透明なストリップによって引き起こされる光学的な
位相差が透明な第2の電極によって引き起こされる光学
的位相差に等しい場合、透明なストリップは、透明な第
2の電極5によって引き起こされる光路の差を補償す
る。
電極と同じ材料から形成され、第2の電極と実質的に同
じ厚さを有する。これは、透明なストリップによって引
き起こされる光学的位相差を透明な第2の電極によって
引き起こされる光学的位相差に実質的に等しくなること
を確実にする簡単な方法である。
極3の上部表面上に配置される。しかしこの位置に限ら
れず、隣接する第1の電極の間のギャップを通る光の光
路内に提供されるような別の場所に配置され得る。例え
ば、位相補償部材は第1の電極3の絶縁層4内に配置さ
れ得る(但しこの場合、更なる製造ステップが必要であ
る。)。
2の電極が透明である実施形態のいずれかに応用し得
る。図23はアクティブマトリクスデバイスを示すが、
位相補償部材をパッシブマトリクスデバイスに応用し得
る。
高解像度でスイッチング可能な電極構造を有する液晶デ
バイスを提供することができる。
アドレスされた液晶デバイスの2つの画素の断面図であ
る。
電位プロフィールである。
電位プロフィールである。
電極構成の概略断面図を示す。
アドレスされた液晶デバイスの2つの画素の断面図であ
る。
イスの概略断面図である。
アドレスされた反射型液晶デバイスの2つの画素の断面
図である。
アドレスされた反射型液晶デバイスの2つの画素の断面
図である。
ブアドレスされた反射型液晶デバイスの2つの画素の断
面図である。
ブアドレスされた反射型液晶デバイスの2つの画素の断
面図である。
ィブマトリクスアドレスされた反射型液晶デバイスの2
つの画素の断面図である。
路図である。
電極の下に埋込反射体を更に有する反射型アクティブマ
トリクスにおける光路を示す部分的な断面図である。
リクスにおける光路を示す部分的な断面図である。
する反射型アクティブマトリクスデバイスにおける光路
を示す部分的な断面図である。
グ手段を示す断面図である。
Claims (55)
- 【請求項1】 第1の基板および第2の基板と、 該第1の基板と該第2の基板との間に配置された液晶層
と、 複数の画素と、を含む液晶デバイスであって、 該複数の画素の各々が、 該第1の基板上に配置された第1の電極と、 該第1の基板に対応する該第1の電極から電気的に絶縁
され、且つ、該第1の電極上に配置された第2の電極
と、 該第2の基板上に配置された第3の電極と、を含む液晶
デバイス。 - 【請求項2】 前記複数の画素の各々において、前記第
2の電極が複数の横方向に間隔を空けた第2の電極を含
み、該第2の電極の少なくとも1つが前記第3の電極に
電気的に接続される、請求項1に記載の液晶デバイス。 - 【請求項3】 前記複数の第2の電極が電気的に一体に
接続される、請求項2に記載の液晶デバイス。 - 【請求項4】 前記複数の画素の各々において、前記第
2の電極が、接地電位に電気的に接続された複数の横方
向に間隔を空けた第2の電極を含む、請求項1に記載の
液晶デバイス。 - 【請求項5】 前記複数の画素がレギュラーアレイに配
列され、該複数の画素の各々において、前記第2の電極
が複数の横方向に間隔を空けた第2の電極を含み、該デ
バイスが、他の行または列の画素から独立して、画素の
レギュラーアレイの行または列に対応する第2の電極に
アドレスするためのアドレシング手段を更に含む、請求
項1に記載の液晶デバイス。 - 【請求項6】 前記複数の画素がレギュラーアレイとし
て配列される、請求項1に記載の液晶デバイス。 - 【請求項7】 前記複数の画素の各々において、前記第
2の電極がストライプ状の実質的に平行な電極を含む、
請求項1に記載の液晶デバイス。 - 【請求項8】 前記第2の電極の前記ストライプ状の実
質的に平行な電極が、実質的に均一に間隔を空けて離さ
れる、請求項7に記載の液晶デバイス。 - 【請求項9】 第3の電極の各々が一列の画素に沿って
延び、且つ、一列の画素に共通であり、第1の電極の各
々が一行の画素に沿って延び、且つ、一行の画素に共通
であり、それにより、パッシブマトリクスアドレシング
配列を形成する、請求項1に記載の液晶デバイス。 - 【請求項10】 前記複数の画素の各々において、前記
第2の電極が、それぞれが前記第1または第3の電極に
対して実質的に平行に延びる複数の横方向に間隔を空け
た第2の電極含む、請求項9に記載の液晶デバイス。 - 【請求項11】 前記複数の画素の各々において、前記
第2の電極が、それぞれが前記第1の電極に対して実質
的に45°の角度で延びる複数の横方向に間隔を空けた
第2の電極含む、請求項9に記載の液晶デバイス。 - 【請求項12】 前記第3の電極が全ての画素に共通で
あり、前記第1の電極の各々がアクティブ非線形デバイ
スに接続された画素電極を含み、それにより、アクティ
ブマトリクスアドレシング配列を形成する、請求項1に
記載の液晶デバイス。 - 【請求項13】 前記複数の画素が行および列に配列さ
れ、前記複数の画素の各々において、前記第2の電極
が、それぞれが実質的に行または列の方向に延びる複数
の横方向に間隔を空けた第2の電極を含む、請求項12
に記載の液晶デバイス。 - 【請求項14】 前記複数の画素が行および列に配列さ
れ、前記複数の画素の各々において、前記第2の電極
が、それぞれが行の方向に対して実質的に45°の角度
で延びる複数の横方向に間隔を空けた第2の電極含む、
請求項12に記載の液晶デバイス。 - 【請求項15】 前記第2の電極が対応する画素の中央
領域上を延び、複数の開口部が該第2の電極に提供され
る、請求項1に記載の液晶デバイス。 - 【請求項16】 前記第2の電極が前記第3の電極に電
気的に接続される、請求項15に記載の液晶デバイス。 - 【請求項17】 前記第2の電極が接地電位に電気的に
接続される、請求項15に記載の液晶デバイス。 - 【請求項18】 他の画素の第2の電極から独立して、
1つの画素の第2の電極にアドレスするためのアドレシ
ング手段を更に含む、請求項15に記載の液晶デバイ
ス。 - 【請求項19】 前記複数の画素がレギュラーアレイに
配列される、請求項15に記載の液晶デバイス。 - 【請求項20】 前記複数の画素がレギュラーアレイに
配列され、該デバイスが、他の行または列の画素から独
立して、画素のレギュラーアレイの行または列に対応す
る第2の電極にアドレスするためのアドレシング手段を
更に含む、請求項15に記載の液晶デバイス。 - 【請求項21】 前記第2の電極が対応する画素の実質
的に全領域上を延びる、請求項15に記載の液晶デバイ
ス。 - 【請求項22】 前記第3の電極の各々が一列の画素に
沿って延び、且つ、一列の画素に共通であり、前記第1
の電極の各々が一行の画素に沿って延び、且つ、一行の
画素に共通であり、それにより、パッシブマトリクスア
ドレシング配列を形成する、請求項15に記載の液晶デ
バイス。 - 【請求項23】 前記第3の電極が全ての画素に共通で
あり、前記第1の電極の各々がアクティブ非線形デバイ
スに接続された画素電極を含み、それにより、アクティ
ブマトリクスアドレシング配列を形成する、請求項15
に記載の液晶デバイス。 - 【請求項24】 前記第2の電極上に配置された第1の
電気的絶縁層を更に含む、請求項1に記載の液晶デバイ
ス。 - 【請求項25】 前記第2の電極が透明であり、前記第
1の電気的絶縁層の屈折率が該第2の電極の屈折率に実
質的に等しい、請求項24に記載の液晶デバイス。 - 【請求項26】 前記第1の電極と前記第2の電極との
間に配置された第2の電気的絶縁層を更に含む、請求項
1に記載の液晶デバイス。 - 【請求項27】 前記第2の電気的絶縁層が、前記第2
の電極の屈折率に実質的に等しい屈折率を有する、請求
項26に記載の液晶デバイス。 - 【請求項28】 前記複数の画素の各々において、前記
第2の電極が複数の横方向に間隔を空けた第2の電極を
含み、前記デバイスが該第2の電極上に配置された第1
の電気的絶縁層を更に含み、該第1の電気的絶縁層の屈
折率が該第2の電極の屈折率に実質的に等しい、請求項
1に記載の液晶デバイス。 - 【請求項29】 前記第2の電極が対応する画素の中央
領域上を延び、複数の開口部が該第2の電極に提供さ
れ、前記デバイスが該第2の電極上に配置された第1の
電気的絶縁層を更に含み、該第1の電気的絶縁層の屈折
率が該第2の電極の屈折率に実質的に等しい、請求項1
に記載の液晶デバイス。 - 【請求項30】 前記第2の電極が対応する画素の実質
的に全領域上を延びる、請求項29に記載の液晶デバイ
ス。 - 【請求項31】 前記第2の電極が透明であり、前記第
1の電気的絶縁層が平坦化される、請求項24に記載の
液晶デバイス。 - 【請求項32】 前記第2の電極が透明であり、前記第
1の電気的絶縁層が平坦化される、請求項28に記載の
液晶デバイス。 - 【請求項33】 前記第2の電極が透明であり、前記第
1の電気的絶縁層が平坦化される、請求項29に記載の
液晶デバイス。 - 【請求項34】 前記第1の基板上に配置された波長板
を更に含む、請求項1に記載の液晶デバイス。 - 【請求項35】 前記波長板が前記第1の電極と前記第
2の電極との間に配置された第2の電気的絶縁層を含
む、請求項34に記載の液晶デバイス。 - 【請求項36】 前記波長板が、前記第2の電極上に配
置された第1の電気的絶縁層を含む、請求項34に記載
の液晶デバイス。 - 【請求項37】 前記第1の基板上に配置された反射体
を含む、請求項1に記載の液晶デバイス。 - 【請求項38】 前記反射体が誘電性の反射体を含む、
請求項37に記載の液晶デバイス。 - 【請求項39】 前記反射体が前記第1の電極を含む、
請求項37に記載の液晶デバイス。 - 【請求項40】 前記反射体が前記第2の電極を含む、
請求項37に記載の液晶デバイス。 - 【請求項41】 前記第1の基板上に配置された反射体
を更に含み、該反射体が前記第2の電極を含み、前記第
2の電気的絶縁層の厚さが(2m+1)λ/2nに実質
的に等しく、mがゼロより大きいまたはゼロに等しい整
数であり、λが光放射の波長であり、nが該第2の電気
的絶縁層の屈折率である、請求項26に記載の液晶デバ
イス。 - 【請求項42】 前記第1の電気的絶縁層が厚さd2お
よび屈折率n2を有し、 該第1の電極が屈折率n1を有する第3の電気的絶縁材
料によって覆われ、基板に対応する上部表面が少なくと
も該第1の電気的絶縁層の上部表面と同じ高さであり、 該第1の電気的絶縁層の上部表面から該第1の電極まで
の深さd1がn1d1=n2d2を満たし、 該第1の電極および該第2の電極が反射電極である、請
求項24に記載の液晶デバイス。 - 【請求項43】 前記第1の電気的絶縁層が厚さd2お
よび屈折率n2を有し、 該第1の電極が屈折率n1を有する第3の電気的絶縁材
料によって覆われ、基板に対応する上部表面が少なくと
も該第1の電気的絶縁層の上部表面と同じ高さであり、 該第1の電気的絶縁層の上部表面から該第1の電極まで
の深さd1がn1d1=n2d2を満たし、 該第1の電極および該第2の電極が反射電極である、請
求項28に記載の液晶デバイス。 - 【請求項44】 前記第1の電気的絶縁層が厚さd2お
よび屈折率n2を有し、 該第1の電極が屈折率n1を有する第3の電気的絶縁材
料によって覆われ、基板に対応する上部表面が少なくと
も該第1の電気的絶縁層の上部表面と同じ高さであり、 該第1の電気的絶縁層の上部表面から該第1の電極まで
の深さd1がn1d1=n2d2を満たし、 該第1の電極および該第2の電極が反射電極である、請
求項29に記載の液晶デバイス。 - 【請求項45】 前記第3の電気的絶縁材料が前記第1
の電気的絶縁層上に配置される、請求項42に記載の液
晶デバイス。 - 【請求項46】 前記第3の電気的絶縁材料が前記第1
の電気的絶縁層上に配置される、請求項43に記載の液
晶デバイス。 - 【請求項47】 前記第3の電気的絶縁材料が前記第1
の電気的絶縁層上に配置される、請求項44に記載の液
晶デバイス。 - 【請求項48】 前記第1の基板に対応する前記第1の
電極の間のギャップの下に配置された反射電極を更に含
み、 第1の電極および反射電極が屈折率nを有する電気的絶
縁材料内に配置され、 該反射電極が該第1の電極の下の(2m+1)λ/2n
に実質的に等しい深さに配置され、 mがゼロより大きいまたはゼロに等しい整数であり、λ
が光放射の波長である、請求項39に記載の液晶デバイ
ス。 - 【請求項49】 前記第1の電極の間のギャップ上に配
置された前記第2の電極が反射型であり、該第1の電極
の間のギャップ上に配置されない前記第2の電極が透明
であり、 前記第2の電気的絶縁層が(m+1)λ/2nに実質的
に等しい厚さを有し、mがゼロより大きいまたはゼロに
等しい整数であり、λが光放射の波長、nが該第2の電
気的絶縁層の屈折率である、請求項39に記載の液晶デ
バイス。 - 【請求項50】 前記波長λが550ナノメートルに実
質的に等しい、請求項41に記載の液晶デバイス。 - 【請求項51】 前記波長λが550ナノメートルに実
質的に等しい、請求項48に記載の液晶デバイス。 - 【請求項52】 前記波長λが550ナノメートルに実
質的に等しい、請求項49に記載の液晶デバイス。 - 【請求項53】 第2の電極が、画素の各々に提供され
た複数の透明な第2の電極を含み、 前記第1の電極が反射型であり、 複数の位相補償部材が、第2の電極間のギャップに対す
る位置決めを行って該第1の電極上に配置され、該位相
補償部材によって誘引される光学位相差が、該第2の電
極によって誘引される光学位相差に実質的に等しい、請
求項1に記載の液晶デバイス。 - 【請求項54】 前記位相補償部材が前記第1の電極上
に配置される、請求項53に記載の液晶デバイス。 - 【請求項55】 前記第1の基板上に配置された反射体
をさらに有し、該反射体は前記第2の電極を有し、前記
第2の電気的絶縁層の厚さが(2m+1)λ/2nに実
質的に等しく、mがゼロより大きいかまたはゼロに等し
い整数であり、λが光放射波長であり、nが該第2の電
気的絶縁層の屈折率であり、前記第1の電極および該第
2の電極は反射電極である、請求項26に記載の液晶デ
バイス。
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