JPH11340546A - Gas laser tube - Google Patents
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- JPH11340546A JPH11340546A JP14920498A JP14920498A JPH11340546A JP H11340546 A JPH11340546 A JP H11340546A JP 14920498 A JP14920498 A JP 14920498A JP 14920498 A JP14920498 A JP 14920498A JP H11340546 A JPH11340546 A JP H11340546A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、ガスレーザ管に
係わり、特にその放電細管の構造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas laser tube, and more particularly, to a structure of a discharge capillary.
【0002】[0002]
【従来の技術】ガスレーザ管は、図5に示されるよう
に、陰極101、放電細管102および陽極103が同
一軸上に所定間隔で縦列配置され、それを挟み込むよう
に、出力ミラー104と高反射ミラー105が光共振器
として配置された構成を有する。なお、陰極101は、
陰極外囲器106および金属リング107により外気か
ら分離されるとともに金属リング107で放電細管10
2と接続されている。また、放電細管102は、放熱フ
ィン108が外周に設けられた外囲器109内に密閉さ
れている。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 5, a gas laser tube has a cathode 101, a discharge thin tube 102 and an anode 103 arranged in tandem at a predetermined interval on the same axis and a high reflection mirror with an output mirror 104 so as to sandwich the same. It has a configuration in which the mirror 105 is arranged as an optical resonator. The cathode 101 is
It is separated from the outside air by the cathode envelope 106 and the metal ring 107, and the discharge tube 10 is separated by the metal ring 107.
2 is connected. Further, the discharge thin tube 102 is hermetically sealed in an envelope 109 provided with a radiation fin 108 on the outer periphery.
【0003】一般に、放電細管102は、例えばべリリ
アセラミックからなる円柱状であり、図5に示されるよ
うに、中央部に設けられた細い円柱形をした穴すなわち
放電路110と、それを囲むように配列された細い円柱
形をした穴すなわちガス帰還路111で構成されてい
る。In general, the discharge capillary 102 has a columnar shape made of, for example, Berria ceramic, and as shown in FIG. 5, a thin cylindrical hole or discharge path 110 provided at the center portion and surrounding the same. The gas return path 111 is constituted by thin cylindrical holes arranged as described above.
【0004】上述したガスレーザ管においては、陰極1
01と陽極103の間にトリガ電圧を印加することで、
電極間の放電路110で放電が生じる。この放電によっ
て、放電細管102内にプラズマが発生し、このプラズ
マにより管内のレーザ媒体が励起されて、可視光あるい
は任意波長の光が発生され、この光が光共振器としての
高反射ミラー105と出力ミラー104との間で繰り返
し反射されることで増幅されて、レーザ出力として出力
される。In the above-described gas laser tube, the cathode 1
By applying a trigger voltage between 01 and the anode 103,
Discharge occurs in the discharge path 110 between the electrodes. Due to this discharge, plasma is generated in the discharge tube 102, and the laser medium in the tube is excited by the plasma to generate visible light or light of an arbitrary wavelength. This light is transmitted to the high reflection mirror 105 as an optical resonator. It is amplified by being repeatedly reflected between the output mirror 104 and output as a laser output.
【0005】このため、放電路110の長さおよび大き
さは、レーザ出力を決定する重要な特性である。また、
光の特性を決定するパラメータでもある。ガス帰還路1
11は、レーザ管内のガスを循環させるもので、放電に
より管内のガスが陰極側から陽極側へと押し流されて陰
極側のガスが希薄となり、放電路110での放電が持続
できなくなることを防止するために、ガスを陰極側に帰
還させるものである。Therefore, the length and size of the discharge path 110 are important characteristics that determine the laser output. Also,
It is also a parameter that determines the characteristics of light. Gas return path 1
Numeral 11 is for circulating the gas in the laser tube. The discharge prevents the gas in the tube from being flushed from the cathode side to the anode side, so that the gas on the cathode side becomes diluted and the discharge in the discharge path 110 cannot be continued. For this purpose, the gas is returned to the cathode side.
【0006】ところで、放電路110において、放電を
維持するためには、帰還路111におけるコンダクタン
スを放電路110と同等かそれよりも大きくすることが
必要である。Meanwhile, in order to maintain the discharge in the discharge path 110, it is necessary to make the conductance in the return path 111 equal to or larger than that in the discharge path 110.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図6に
示した構造の放電細管102を用いてコンダクタンスを
増大しようとする場合、 ガス帰還路111の径を放電路110の径と同等もし
くは放電路110の径より大きくする方法を用いると、
ガス帰還路111において放電が生じる可能性が高くな
り、ガス帰還路111において放電が生じた場合には、
レーザ発振出力が得られなくなる、 ガス帰還路111の本数を増大する方法を用いると、
伝熱面が減少して熱が伝わりにくくなり、レーザ管が破
壊する可能性が生じる、 ガス帰還路111の本数を増大する方法を用いると、
放電細管102の強度が低下し、外力によりレーザ管が
破損し易くなる というような、さまざまな問題が生じることが知られて
いる。However, when the conductance is to be increased by using the discharge thin tube 102 having the structure shown in FIG. 6, the diameter of the gas return path 111 is equal to the diameter of the discharge path 110 or the diameter of the discharge path 110 is increased. If you use a method to make it larger than the diameter of
The possibility that discharge occurs in the gas return path 111 increases, and when discharge occurs in the gas return path 111,
If a method of increasing the number of gas return paths 111 using a laser oscillation output cannot be obtained,
When the method of increasing the number of gas return paths 111 is used, the heat transfer surface decreases, heat is less likely to be transmitted, and the laser tube may be broken.
It is known that various problems occur such that the strength of the discharge capillary 102 is reduced and the laser tube is easily damaged by external force.
【0008】この発明の目的は、上述したような問題を
解決するものであり、ガスレーザ管の放電細管のガス帰
還路のコンダクタンスを、ガス帰還路において放電が生
じることを防止しながら放電路のコンダクタンスよりも
大きくすることを可能とし、安定なレーザ発振出力を得
ることのできるガスレーザ管を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problem. The object of the present invention is to reduce the conductance of a gas return path of a discharge capillary of a gas laser tube while preventing the discharge from occurring in the gas return path. It is an object of the present invention to provide a gas laser tube which can be made larger than the above and can obtain a stable laser oscillation output.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】この発明は、上述した問
題点に基づきなされたもので、陰極と、絶縁体製放電細
管と、陽極と、ガスを封入するための円筒状外囲器と、
それらを挟むように一対のミラーで構成された光共振器
とを備え、上記放電細管は円柱状で管軸の部分に放電用
の空間を有し、上記放電用の空間を囲むようにガス帰還
路を有するガスレーザ管において、上記放電細管は上記
円筒状外囲器内に、中央透孔のある多数の絶縁円盤が連
接して設けられ、上記各絶縁円盤の側面には上記管軸方
向に沿う少なくとも1個の溝を設けてあり、隣り合う上
記各絶縁円盤の溝が相互に一部重なり合って一直線でな
いガス帰還路を構成するように配置されていることを特
徴とするガスレーザ管である。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made based on the above-mentioned problems, and comprises a cathode, a discharge tube made of an insulator, an anode, a cylindrical envelope for filling gas, and
An optical resonator composed of a pair of mirrors so as to sandwich them, the discharge capillary has a columnar shape, has a space for discharge at the tube axis, and returns gas so as to surround the space for discharge. In the gas laser tube having a passage, the discharge thin tube is provided in the cylindrical envelope with a large number of insulating disks having a central through hole connected thereto, and the side surface of each of the insulating disks extends along the tube axis direction. A gas laser tube provided with at least one groove, wherein the grooves of the adjacent insulating disks partially overlap each other to form a non-linear gas return path.
【0010】すなわち、ガスレーザ管に用いられる放電
細管を厚さ5〜10mmの円盤状に分割し、それぞれの
円盤側面に、幅数mm、深さ数mmの溝を円周方向に数
箇所設け、溝部分が少なくとも一部重なり合うように、
円筒状の外囲器内に、軸方向に螺旋状に配置したので、
ガス帰還路において放電が生じることが低減される。That is, a discharge thin tube used for a gas laser tube is divided into a disk having a thickness of 5 to 10 mm, and grooves having a width of several mm and a depth of several mm are provided on the side surfaces of each disk at several locations in a circumferential direction. So that the grooves overlap at least partially
Because it is arranged spirally in the axial direction in the cylindrical envelope,
The occurrence of discharge in the gas return path is reduced.
【0011】[0011]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態を詳細に説明する。図1は、この発明のガ
スレーザ管を示す概略断面図である。図1に示されるよ
うに、ガスレーザ管は、陰極1、放電細管2および陽極
3が同一軸上に所定間隔で縦列配置され、それを挟み込
むように、出力ミラー4と高反射ミラー5が光共振器と
して配置された構成を有する。なお、陰極1は、陰極外
囲器6により外気と分離されるとともに金属リング7で
放電細管2とろうづけされている。また、放電細管2
は、放熱フィン8が外周にろうづけされた円筒状の外囲
器9内に密閉されている。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic sectional view showing a gas laser tube of the present invention. As shown in FIG. 1, in a gas laser tube, a cathode 1, a discharge capillary 2 and an anode 3 are arranged in tandem at a predetermined interval on the same axis, and an output mirror 4 and a high reflection mirror 5 are optically resonated so as to sandwich the same. It has a configuration arranged as a vessel. The cathode 1 is separated from the outside air by a cathode envelope 6 and brazed to the discharge capillary 2 by a metal ring 7. In addition, the discharge capillary 2
Are hermetically sealed in a cylindrical envelope 9 in which heat radiation fins 8 are brazed to the outer periphery.
【0012】放電細管2は、中央透孔すなわち中央部に
放電路10として利用される所定直径の開口すなわち直
径が数mmの穴を設けた、例えば数mmの厚さの絶縁体
製の円盤すなわち絶縁円盤11を複数重ね合わせた構造
となっており、外囲器9内に所定個数挿入されている。
なお、円盤11のうちの陽極3に最も近接して位置され
る円盤の陽極側の開口は、陽極3に向かって直径が大き
くなるテーパ状に形成される。また、同様に、円盤11
のうちの陰極1に最も近接して位置される円盤の陰極側
の開口は、陰極1に向かって直径が大きくなるテーパ状
に形成される。The discharge capillary 2 has a central through hole, ie, a central opening, which has an opening of a predetermined diameter used as a discharge path 10, ie, a hole having a diameter of several mm. It has a structure in which a plurality of insulating disks 11 are stacked, and a predetermined number are inserted into the envelope 9.
The opening of the disk 11 on the anode side of the disk closest to the anode 3 is formed in a tapered shape whose diameter increases toward the anode 3. Similarly, the disk 11
The opening on the cathode side of the disk located closest to the cathode 1 is formed in a tapered shape whose diameter increases toward the cathode 1.
【0013】円盤11の側面すなわち円筒面には、ガス
帰還路12として利用される複数の溝が、円周方向に均
等に配設されている。なお、溝12の周方向の幅は、数
mmに、径方向の長さすなわち側面からの深さは、数m
mに規定されている。また、円盤11が欠き取られてい
る部分を放電方向に垂直な面すなわち軸方向から見た状
態の大きさは、放電路10の径すなわち円盤11の中央
部の穴の断面積よりも大きくなるように、形成されてい
る。A plurality of grooves used as a gas return path 12 are equally arranged in the circumferential direction on the side surface, that is, the cylindrical surface of the disk 11. The circumferential width of the groove 12 is several mm, and the radial length, that is, the depth from the side surface is several m.
m. In addition, the size of the portion where the disk 11 is cut off when viewed from a plane perpendicular to the discharge direction, that is, the axial direction, is larger than the diameter of the discharge path 10, that is, the cross-sectional area of the hole at the center of the disk 11. So, it is formed.
【0014】より詳細には、円盤11は、図2に示すよ
うに、各円盤の円周に設けられた溝12の少なくとも一
部が重なり合い、それぞれの溝が軸方向から見た状態で
螺旋状となるように、配列される。なお、図2は、円盤
11の溝12の配列すなわち溝12の螺旋をわかりやす
く示したもので、円盤11は、外囲器9内で軸方向に連
接すなわち隙間なく配列されている。More specifically, as shown in FIG. 2, at least a part of the grooves 12 provided on the circumference of each disk overlap each other, and each disk 11 has a spiral shape when viewed from the axial direction. It is arranged so that FIG. 2 shows the arrangement of the grooves 12 of the disk 11, that is, the spirals of the grooves 12 in an easy-to-understand manner. The disks 11 are connected in the axial direction in the envelope 9, that is, are arranged without gaps.
【0015】また、外囲器9内に挿入される円盤11の
数は、必要とするレーザ出力、出力レーザ光に要求され
る光の特性により、設定される。なお、隣接する円盤1
1の溝12が重なり合う面積は、使用するガスの圧力や
発熱量に関連して規定されるコンダクタンスに基づいて
調整可能であり、円盤11が周方向に回転されること
で、設定される。また、レーザ出力は、放電細管2の放
電路10の長さすなわち外囲器9内に挿入される円盤1
1の個数を変更することで調整可能である。The number of disks 11 inserted into the envelope 9 is set according to the required laser output and the light characteristics required for the output laser light. The adjacent disk 1
The area where the one groove 12 overlaps can be adjusted based on the conductance defined in relation to the pressure and the calorific value of the gas used, and is set by rotating the disk 11 in the circumferential direction. The laser output is the length of the discharge path 10 of the discharge capillary 2, that is, the disk 1 inserted into the envelope 9.
It can be adjusted by changing the number of 1s.
【0016】上述したガスレーザ管においては、陰極1
と陽極3との間にトリガ電圧を印加することで、電極間
の放電路10で放電が生じる。この放電によって、放電
細管2内にプラズマが発生し、このプラズマにより管内
のレーザ媒体が励起されて、可視光あるいは任意波長の
光が発生され、この光が光共振器としての高反射ミラー
5と出力ミラー4との間で繰り返し反射されることで増
幅されて、レーザ出力として出力される。In the above-described gas laser tube, the cathode 1
By applying a trigger voltage between the electrode and the anode 3, a discharge occurs in the discharge path 10 between the electrodes. Due to this discharge, plasma is generated in the discharge tube 2, and the plasma excites a laser medium in the tube to generate visible light or light of an arbitrary wavelength. This light is transmitted to the high-reflection mirror 5 as an optical resonator. It is amplified by being repeatedly reflected between the output mirror 4 and output as a laser output.
【0017】ところで、放電細管2の放電路10におい
てレーザ媒体が励起されて光が発生することにより、電
子の体積力により、管内の放電ガスが陰極1から陽極3
の側へ押し流される。このことから、レーザ発振を維持
するためには、ガス帰還路に高いコンダクタンスが求め
られることは既に説明したとおりである。When the laser medium is excited in the discharge path 10 of the discharge tube 2 to generate light, the discharge gas in the tube is moved from the cathode 1 to the anode 3 by the body force of electrons.
Is washed away to the side of. From this, it has already been described that high conductance is required in the gas return path in order to maintain laser oscillation.
【0018】本願発明においては、放電路10を複数の
円盤11により構成し、円盤11の外周に等間隔に設け
た溝12を、溝の一部が重なり合うように、かつ溝12
を軸方向から見た状態で螺旋状となるように配列したこ
とにより、コンダクタンスが高く、しかも放電が生じる
ことのない帰還路を得ることができる。In the present invention, the discharge path 10 is constituted by a plurality of disks 11, and grooves 12 provided at equal intervals on the outer periphery of the disk 11 are formed so that a part of the grooves are overlapped with each other.
Are arranged so as to be spiral when viewed from the axial direction, it is possible to obtain a return path with high conductance and no discharge.
【0019】このガス帰還路すなわち螺旋状に設けられ
た溝12により、レーザ管内のガスを、陰極1側へ確実
に帰還させることができ、管内の陰極1側の放電ガスが
希薄となって、レーザ発振が停止されることが防止され
る。なお、放電細管2を上述の複数の円盤11により構
成し、その外周部に複数の溝12を設けたことにより、
放電細管2の熱伝導を高めることができ、放電により生
じる熱でレーザ管が損傷することが防止される。また、
放電細管2の強度を高めることができ、外力によりレー
ザ管が損傷することを防止できる。The gas return path, that is, the spiral groove 12 allows the gas in the laser tube to be reliably returned to the cathode 1 side, so that the discharge gas on the cathode 1 side in the tube is diluted. Stopping of laser oscillation is prevented. In addition, since the discharge thin tube 2 is constituted by the plurality of disks 11 described above and the plurality of grooves 12 are provided on the outer periphery thereof,
The heat conduction of the discharge tube 2 can be enhanced, and the laser tube is prevented from being damaged by the heat generated by the discharge. Also,
The strength of the discharge capillary 2 can be increased, and the laser tube can be prevented from being damaged by external force.
【0020】従って、長期に亘って、安定したレーザ出
力を出力可能なガスレーザ管を提供できる。図3は、放
電細管2に用いられる円盤11の溝12の変形例を示す
概略図で、図3(a)に示すように、各円盤11に設け
られる溝12の開放端すなわち円盤11の切断面に近接
する側である両端部が円盤11の長手方向の中心付近に
比較して広げられていることを特徴としている。Therefore, it is possible to provide a gas laser tube capable of outputting a stable laser output for a long time. FIG. 3 is a schematic view showing a modified example of the groove 12 of the disk 11 used for the discharge capillary 2. As shown in FIG. 3A, the open end of the groove 12 provided in each disk 11, that is, the cutting of the disk 11. It is characterized in that both end portions on the side close to the surface are wider than near the center in the longitudinal direction of the disk 11.
【0021】すなわち、図3(a)に示したような円盤
11を、図2を用いて既に説明したと同様に外囲器9内
に複数個挿入した場合、図3(b)に示すように、各溝
12が接続部において重なり合う領域が広げられる一方
で、各円盤11に設けられている溝12の位相がより大
きく変化された螺旋状のガス帰還路が提供される。That is, when a plurality of disks 11 as shown in FIG. 3A are inserted into the envelope 9 in the same manner as described above with reference to FIG. 2, as shown in FIG. In addition, a region where each groove 12 overlaps at the connection portion is widened, and a spiral gas return path is provided in which the phase of the groove 12 provided in each disk 11 is more greatly changed.
【0022】この構成によれば、図2に示した放電細管
の例と同等のコンダクタンスを確保しつつ、ガス帰還路
において放電が生じる可能性がさらに低減できる。図4
は、放電細管2に用いられる円盤11の溝12の別の実
施の形態を示す概略図であり、各円盤11の溝12の開
放端の少なくとも一方、好ましくは、陰極1側に向けら
れる開放端内に、溝12を軸方向から見た状態の断面積
を低減する放電防止金属片13を設けたことを特徴とす
るものである。According to this configuration, it is possible to further reduce the possibility of occurrence of discharge in the gas return path while securing the same conductance as that of the example of the discharge capillary shown in FIG. FIG.
FIG. 3 is a schematic view showing another embodiment of the groove 12 of the disk 11 used for the discharge thin tube 2, wherein at least one of the open ends of the groove 12 of each disk 11, preferably the open end directed to the cathode 1 side. A discharge prevention metal piece 13 for reducing the cross-sectional area of the groove 12 when viewed from the axial direction is provided therein.
【0023】すなわち、図4に示したような円盤11
を、図2を用いて既に説明したと同様に外囲器9内に複
数個挿入した場合であっても、図2に示した放電細管と
同等のコンダクタンスを確保しつつ、ガス帰還路におい
て放電が生じる可能性をさらに低減できる。That is, the disk 11 as shown in FIG.
2 is inserted into the envelope 9 in the same manner as described with reference to FIG. 2, while maintaining the same conductance as the discharge capillary shown in FIG. Can be further reduced.
【0024】[0024]
【発明の効果】以上説明したように、この発明のガスレ
ーザ管は、放電細管が数mmの円盤を重ね合わせ、円筒
状の外囲器に挿入する構造となっている。円盤の側面に
は、幅が数mmで深さが数mmの複数の溝が円周方向に
均等に設けられており、各円盤の溝の少なくとも一部が
重なり合うように、軸方向から見た状態で螺旋状に配置
されている。As described above, the gas laser tube according to the present invention has a structure in which a discharge thin tube is stacked with a disk of several mm and inserted into a cylindrical envelope. On the side surface of the disk, a plurality of grooves having a width of several mm and a depth of several mm are provided evenly in the circumferential direction, and viewed from the axial direction so that at least a part of the grooves of each disk overlap. It is spirally arranged in a state.
【0025】このような構成の放電細管において、円盤
の数を必要とするレーザ出力および要求される光の特性
に基づいて最適に設定することにより、ガス帰還路のコ
ンダクタンスを高めながら、ガス帰還路において放電が
生じることを防止できる。また、熱伝導を高めることが
でき、レーザ管が損傷することが防止される。さらに、
外力に対して強固なレーザ管構造を提供できる。従っ
て、長期に亘って、安定したレーザ出力を出力可能なガ
スレーザ管を提供できる。In the discharge capillary having such a configuration, the number of disks is optimally set based on the required laser output and required light characteristics, thereby increasing the conductance of the gas return path and increasing the gas return path. Can prevent the occurrence of discharge. In addition, heat conduction can be enhanced, and damage to the laser tube is prevented. further,
A laser tube structure that is strong against external force can be provided. Therefore, it is possible to provide a gas laser tube capable of outputting a stable laser output for a long time.
【図1】この発明の実施例に係わるガスレーザ管の断面
図。FIG. 1 is a sectional view of a gas laser tube according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1に示したガスレーザ管の放電細管の構成を
示す概略図。FIG. 2 is a schematic diagram showing a configuration of a discharge capillary of the gas laser tube shown in FIG.
【図3】図2に示した放電細管の変形例を示す概略図。FIG. 3 is a schematic view showing a modified example of the discharge capillary shown in FIG. 2;
【図4】この発明の他の実施例に係わる放電細管の円盤
の断面図。FIG. 4 is a sectional view of a disk of a discharge capillary according to another embodiment of the present invention.
【図5】従来のガスレーザ管の断面図。FIG. 5 is a sectional view of a conventional gas laser tube.
【図6】従来の放電細管の立体図。FIG. 6 is a three-dimensional view of a conventional discharge capillary.
1・・・陰極、 2・・・放電細管、 3・・・陽極、 4・・・出力ミラー、 5・・・高反射ミラー、 6・・・陰極外囲器、 7・・・金属リング、 8・・・放熱フィン、 9・・・外囲器、 10・・・放電路、 11・・・円盤、 12・・・ガス帰還路、 13・・・放電防止金属片。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Cathode, 2 ... Discharge capillary, 3 ... Anode, 4 ... Output mirror, 5 ... High reflection mirror, 6 ... Cathode envelope, 7 ... Metal ring, 8 ... radiation fin, 9 ... envelope, 10 ... discharge path, 11 ... disk, 12 ... gas return path, 13 ... discharge prevention metal piece.
Claims (4)
スを封入するための円筒状外囲器と、それらを挟むよう
に一対のミラーで構成された光共振器とを備え、上記放
電細管は円柱状で管軸の部分に放電用の空間を有し、上
記放電用の空間を囲むようにガス帰還路を有するガスレ
ーザ管において、 上記放電細管は上記円筒状外囲器内に、中央透孔のある
多数の絶縁円盤が連接して設けられ、上記各絶縁円盤の
側面には上記管軸方向に沿う少なくとも1個の溝を設け
てあり、隣り合う上記各絶縁円盤の溝が相互に一部重な
り合って一直線でないガス帰還路を構成するように配置
されていることを特徴とするガスレーザ管。A cathode, a discharge tube made of an insulator, an anode, a cylindrical envelope for enclosing gas, and an optical resonator constituted by a pair of mirrors sandwiching them; The gas discharge tube has a gas return path so as to surround the space for discharge, wherein the discharge tube has a cylindrical shape. A large number of insulating discs having a central through hole are provided in series, and at least one groove is provided on a side surface of each of the insulating discs along the tube axis direction. A gas laser tube which is arranged so as to partially overlap each other to form a non-linear gas return path.
た上記溝は、開放端において、軸方向の中央付近よりも
大きな開口面積を有することを特徴とする請求項1項に
記載のガスレーザ管。2. The gas laser tube according to claim 1, wherein said groove provided on the side surface of each of said insulating disks has an opening area at an open end larger than near an axial center. .
た上記溝は、少なくとも一方の開放端において、軸方向
の中央付近よりも開口面積が狭くなるよう構成されてい
ることを特徴とする請求項1項または2項のいづれかに
記載のガスレーザ管。3. The groove provided on a side surface of each of the insulating disks is configured such that an opening area is smaller at at least one open end than near the center in the axial direction. Item 3. A gas laser tube according to any one of Items 1 and 2.
中央付近よりも狭くすることのできる放電防止金属片が
設けられていることを特徴とする請求項3項に記載のガ
スレーザ管。4. The gas laser according to claim 3, wherein said groove is provided with a discharge preventing metal piece capable of making an opening area of said groove narrower than near an axial center. tube.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14920498A JPH11340546A (en) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | Gas laser tube |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14920498A JPH11340546A (en) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | Gas laser tube |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11340546A true JPH11340546A (en) | 1999-12-10 |
Family
ID=15470108
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14920498A Pending JPH11340546A (en) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | Gas laser tube |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11340546A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103972775A (en) * | 2014-05-13 | 2014-08-06 | 四川大学 | Device and method for realizing two-dimensional spiral and hollow laser beams |
-
1998
- 1998-05-29 JP JP14920498A patent/JPH11340546A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103972775A (en) * | 2014-05-13 | 2014-08-06 | 四川大学 | Device and method for realizing two-dimensional spiral and hollow laser beams |
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