JPH11340169A - Automatic blade exchange system - Google Patents
Automatic blade exchange systemInfo
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- JPH11340169A JPH11340169A JP14130698A JP14130698A JPH11340169A JP H11340169 A JPH11340169 A JP H11340169A JP 14130698 A JP14130698 A JP 14130698A JP 14130698 A JP14130698 A JP 14130698A JP H11340169 A JPH11340169 A JP H11340169A
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- attaching
- chuck
- blade assembly
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハなど
に薄溝を加工するダイシング装置のブレードを自動交換
するブレード自動交換システムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic blade changing system for automatically changing blades of a dicing machine for forming a thin groove on a semiconductor wafer or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ダイシング装置では、ダイヤモンドなど
の砥粒をニッケルなどで固めた薄い刃（ブレード）を高
速で回転させて溝加工を行う。図１はダイシング装置に
おけるブレードの取り付け構造の従来例を示す図であ
る。図示のように、スピンドル１１の先端には、台座１
３、はめ合い部１４と、ねじ１５と、固定のための６角
穴１６が設けられている。ブレード１７はハブ部材１８
に固定されており、ハブ部材１８にははめ合い部１４と
はめ合わされるはめ合い部１９が設けられている。はめ
合い部１４と１９をはめ合わせるようにしてブレード１
７が台座１３に接触するように押し込み、ナット２０の
ねじ２１をねじ１５にねじ合わせて固定する。ブレード
１７は超高速で回転するので、回転バランスが良好であ
ることが必要である。そのため、ブレード１７はあらか
じめはめ合い部１９がはめ合わされる回転軸に対して回
転バランスが調整されており、はめ合い部１４と１９を
はめ合わせるだけで良好な回転バランスになる。2. Description of the Related Art In a dicing apparatus, a groove is formed by rotating a thin blade (a blade) obtained by solidifying abrasive grains such as diamond with nickel or the like at a high speed. FIG. 1 is a view showing a conventional example of a blade mounting structure in a dicing apparatus. As shown in FIG.
3. A fitting portion 14, a screw 15, and a hexagonal hole 16 for fixing are provided. The blade 17 is a hub member 18
The hub member 18 is provided with a fitting portion 19 to be fitted to the fitting portion 14. The blade 1 is inserted so that the fitting portions 14 and 19 are fitted.
7 is pushed into contact with the pedestal 13, and the screw 21 of the nut 20 is screwed and fixed to the screw 15. Since the blade 17 rotates at an extremely high speed, it is necessary that the rotation balance be good. Therefore, the rotation balance of the blade 17 with respect to the rotation axis on which the fitting portion 19 is fitted is adjusted in advance, and a good rotational balance can be obtained only by fitting the fitting portions 14 and 19 together.
【０００３】ブレードは加工に従って磨耗するので、所
定量磨耗した時には交換する必要がある。また、加工す
る溝の形状を変更する場合にも、溝の形状に対応したブ
レードに交換する必要がある。このように、ダイシング
装置ではブレードを頻繁に交換する必要がある。ブレー
ドを交換する時には、６角穴１６に６角レンチを差し込
んでスピンドルが回転しないように固定した上で、ナッ
ト２０を回転させて取り外す。一旦６角レンチを取り外
した上で、ナット２０とブレードを取り外し、交換する
ブレードを取り付け、更にナット２０を取り付ける。再
び６角穴１６に６角レンチを差し込んでスピンドルが回
転しないように固定した上で、ナット２０を回転させて
ねじ込み、固定する。このような交換作業は、自動化す
るのが難しく、従来は手作業で行われていた。[0003] Since the blades wear as they are machined, they need to be replaced when the blades are worn by a predetermined amount. Also, when changing the shape of the groove to be processed, it is necessary to replace the blade with a blade corresponding to the shape of the groove. As described above, the blade needs to be frequently replaced in the dicing apparatus. When replacing the blade, insert a hexagonal wrench into the hexagonal hole 16 to fix the spindle so that it does not rotate, and then remove the nut 20 by rotating it. Once the hexagon wrench is removed, the nut 20 and the blade are removed, a replacement blade is attached, and the nut 20 is attached. The hexagonal wrench is inserted again into the hexagonal hole 16 and fixed so that the spindle does not rotate, and then the nut 20 is rotated and screwed in and fixed. Such replacement work is difficult to automate, and has conventionally been performed manually.
【０００４】ダイシング装置では省力化が望まれてお
り、ワークの供給や回収、及び切削する部分の認識など
を自動化することが行われている。特に、半導体装置の
製造工程で使用される場合には、一人のオペレータが多
数のダイシング装置を管理しており、自動化が特に重要
である。しかし、上記のように、ブレードの交換作業は
自動化が難しいため手作業で行われており、ダイシング
作業全体を自動化する上で問題になっていた。[0004] In the dicing apparatus, labor saving is demanded, and the supply and recovery of a work, the recognition of a portion to be cut, and the like are automated. In particular, when used in a semiconductor device manufacturing process, one operator manages many dicing apparatuses, and automation is particularly important. However, as described above, the blade replacement operation is performed manually because it is difficult to automate it, and this has been a problem in automating the entire dicing operation.
【０００５】このような問題を解決するため、実開平５
−５９８４６号公報及び特開平６−３２６１８６号公報
には、ブレード着脱手段とナット着脱手段とを有するブ
レードオートチェンジャーが開示されている。更に、こ
れらの公知例には、スピンドルに装着されている旧ブレ
ードを着脱する旧ブレード着脱手段と、新たに装着する
新ブレードを着脱する新ブレード着脱手段の２つを設け
る構成が開示されている。また、実開平７−１７４４３
号公報は、ブレードの着脱を容易にするためにブレード
を温める嵌合緩和手段を設けたブレードオートチェンジ
ャーを開示している。しかし、これらの公知例に開示さ
れたブレードオートチェンジャーは、ブレード着脱手段
とナット着脱手段を設ける必要があるため構造が非常に
複雑で高コストであるだけでなく、交換のための動作も
複雑になるという問題がある。実開平５−５９８４６号
公報及び特開平６−３２６１８６号公報は、ブレード着
脱手段とナット着脱手段とを一体にした構成も開示して
いるが、その場合でもブレード着脱手段とナット着脱手
段とが設けられるので、構造は非常に複雑である。In order to solve such a problem, Japanese Utility Model Application Laid-Open No.
JP-A-59846 and JP-A-6-326186 disclose a blade autochanger having blade attaching and detaching means and nut attaching and detaching means. Further, these known examples disclose a configuration in which an old blade attaching / detaching unit for attaching / detaching an old blade attached to a spindle and a new blade attaching / detaching unit for attaching / detaching a new blade newly attached are provided. . In addition, actual opening Hei 7-17443
Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. H11-11512 discloses a blade autochanger provided with a fitting relaxation means for warming the blade in order to facilitate attachment and detachment of the blade. However, the blade autochangers disclosed in these known examples require a blade attaching / detaching means and a nut attaching / detaching means, so that the structure is not only very complicated and expensive, but also the operation for replacement is complicated. There is a problem. JP-A-5-59846 and JP-A-6-326186 also disclose a configuration in which the blade attaching / detaching means and the nut attaching / detaching means are integrated, but even in this case, the blade attaching / detaching means and the nut attaching / detaching means are provided. Therefore, the structure is very complicated.
【０００６】このような問題を解決するため、本出願人
は、特開平６−２６２５１５号で、取り付け用のねじを
一体に形成したブレードを開示している。このような構
成のブレードを使用することにより、ナットを取り外し
て保持する必要がなくなるため、ブレード自動交換シス
テムの構造を非常に簡単にすることができる。In order to solve such a problem, the present applicant has disclosed a blade in which mounting screws are integrally formed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-262515. By using the blade having such a configuration, it is not necessary to remove and hold the nut, so that the structure of the automatic blade changing system can be greatly simplified.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかし、特開平６−２
６２５１５号に開示されたブレードは、専用のブレード
であり、現在広く使用されているブレードとは全く形状
が異なる。現在、ダイシング装置用のブレードは、標準
化された同一の形状のものが広く使用されている。その
ため、このような形状のブレードが交換できるブレード
自動交換システムを低コストで実現することが要望され
ている。However, Japanese Patent Laid-Open No. 6-2 / 1994
The blade disclosed in No. 62515 is a dedicated blade, and has a completely different shape from blades widely used at present. At present, blades for a dicing apparatus having the same standardized shape are widely used. Therefore, it is demanded to realize a low-cost automatic blade replacement system that can replace blades having such a shape.
【０００８】本発明はこのような要望を実現するための
もので、現在広く使用されている形状のブレードが交換
できるブレード自動交換システムを低コストで実現する
ことを目的とする。The present invention has been made in order to realize such a demand, and has as its object to realize, at low cost, an automatic blade changing system which can replace a blade having a shape widely used at present.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明のブレード自動交
換システムは、上記目的を実現するため、標準化されて
広く使用されている形状のブレードに、スピンドル軸に
設けられたねじとねじ合わされるねじが設けられている
補助止め部材を固定してブレードアセンブリとし、この
ブレードアセンブリの形で着脱を行うようにする。そし
て、ブレード着脱手段は、取り付けるブレードを保持す
るものと、取り外したブレードを保持するものの２個設
ける。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, an automatic blade changing system according to the present invention provides a blade of a standardized and widely used shape with a screw screwed with a screw provided on a spindle shaft. Is fixed to form a blade assembly, and the blade assembly is attached and detached. Two blade attaching / detaching means are provided, one for holding a blade to be attached and one for holding a removed blade.
【００１０】すなわち、請求項１記載のブレード自動交
換システムは、スピンドル軸に取り付けたブレードを高
速回転させて溝加工を行うダイシング装置のブレードを
自動交換するブレード自動交換システムであって、ブレ
ードにはスピンドル軸に設けられたねじとねじ合わされ
るねじを有する補助止め部材が固定され、補助止め部材
が固定されたブレードを保持し、このブレードをスピン
ドル軸に付勢した状態で、ブレードをスピンドル軸に対
して相対的に回転させるブレード着脱手段と、交換する
ブレードを収容するブレード収容手段と、ブレード着脱
手段をスピンドル軸の先端とブレード収容手段の間で移
動させる移動手段とを備え、ブレード着脱手段は２個設
けられており、一方は取り付けるブレードを保持し、他
方は取り外したブレードを保持することを特徴とする。That is, an automatic blade changing system according to a first aspect of the present invention is an automatic blade changing system for automatically changing a blade of a dicing apparatus for performing groove machining by rotating a blade attached to a spindle shaft at a high speed. An auxiliary stop member having a screw screwed with a screw provided on the spindle shaft is fixed, the auxiliary stop member holds the fixed blade, and in a state where this blade is urged to the spindle shaft, the blade is moved to the spindle shaft. Blade attaching / detaching means for rotating relatively to the blade, blade accommodating means for accommodating a blade to be exchanged, and moving means for moving the blade attaching / detaching means between the tip of the spindle shaft and the blade accommodating means, Two are provided, one to hold the blade to be installed and the other to Characterized by holding the over-de.
【００１１】本発明のブレード自動交換システムでは、
標準化されて広く使用されている形状のブレードが使用
できる。しかも、着脱はねじを有するブレードアセンブ
リの形で行うため、着脱時にねじを取り外して保持する
必要がなくなるので、ねじとブレードを着脱して保持す
る機構をそれぞれ別々に設ける必要がなくなり、簡単な
構造にできる。特に、交換時間を短くするには、スピン
ドルの先端とブレード収容手段との間の往復時間を半分
にするために、取り付けるブレードを保持する機構と、
取り外したブレードを保持する機構を設ける必要があ
り、これに更にねじを着脱して保持する機構を設けると
構造は非常に複雑になるが、本発明のように、ブレード
アセンブリの形で着脱が行えればねじを着脱して保持す
る機構は必要なく、効果が大きい。In the automatic blade exchange system of the present invention,
Standardized and widely used blades can be used. Moreover, since attachment and detachment are performed in the form of a blade assembly having screws, there is no need to remove and hold the screws when attaching and detaching, so there is no need to separately provide a mechanism for attaching and detaching the screws and the blade, and a simple structure. Can be. In particular, in order to shorten the exchange time, a mechanism for holding the blade to be mounted to halve the reciprocating time between the tip of the spindle and the blade accommodating means,
It is necessary to provide a mechanism for holding the removed blade, and if it is further provided with a mechanism for attaching and detaching the screw, the structure becomes very complicated, but as in the present invention, it can be attached and detached in the form of a blade assembly. If this is the case, there is no need for a mechanism for attaching and detaching the screw, and the effect is large.
【００１２】請求項２記載の発明は、ブレードに固定さ
れる補助止め部材を、位置決め部材とナット部材とから
構成し、そして、ブレードをスピンドル軸に固定する際
には、補助止め部材が固定されたブレードをブレード着
脱手段で保持し、そして、ブレードを位置決め部材を介
してスピンドル軸に係合し、そして、ナット部材をスピ
ンドル軸に対して回転させる。これによって、ブレード
又はスピンドル軸を回転させることなく、ブレードをス
ピンドル軸に締結することができる。According to a second aspect of the present invention, the auxiliary stop member fixed to the blade comprises a positioning member and a nut member, and when the blade is fixed to the spindle shaft, the auxiliary stop member is fixed. The blade is held by the blade attaching / detaching means, the blade is engaged with the spindle shaft via the positioning member, and the nut member is rotated with respect to the spindle shaft. Thereby, the blade can be fastened to the spindle shaft without rotating the blade or the spindle shaft.
【００１３】請求項３記載の発明は、ブレード着脱手段
に複数のチャック部材と、複数のチャック部材のうち少
なくとも１つのチャック部材を他のチャック部材に対し
て進退移動させる駆動手段とを備え、駆動手段でチャッ
ク部材を進出移動させることにより、複数のチャック部
材によってブレードを挟圧保持するようにしたので、ブ
レードを安定して保持することができる。ブレードの他
の保持方法として、ブレードを真空吸着して保持する方
法がある。しかしながら、真空吸着する保持方法は、真
空吸着部とブレードとの間に隙間があると、ブレードが
完全に吸着されず、ブレードを安定して保持することが
できない。これに対して、請求項２記載の発明は、複数
のチャック部材でブレードを挟圧保持したので、ブレー
ドを安定して保持することができる。According to a third aspect of the present invention, the blade attaching / detaching means includes a plurality of chuck members, and a driving means for moving at least one of the plurality of chuck members with respect to another chuck member. By causing the chuck member to advance and move by means, the blade is held by the plurality of chuck members so that the blade can be stably held. As another holding method of the blade, there is a method of holding the blade by vacuum suction. However, in the holding method using vacuum suction, if there is a gap between the vacuum suction unit and the blade, the blade is not completely sucked, and the blade cannot be stably held. On the other hand, according to the second aspect of the present invention, since the blade is held by the plurality of chuck members, the blade can be stably held.
【００１４】請求項４記載の発明は、ブレード吸着手段
に複数のチャック部材と駆動手段とを設け、この駆動手
段で複数のチャック部材を進出移動させてブレードを挟
圧保持するようにしたので、ブレードを安定して保持す
ることができる。請求項５記載の発明は、ブレードをブ
レード本体とハブとから構成し、このハブを前記複数の
チャック部材で挟圧保持するようにしたので、チャック
部材でブレード本体の刃を傷付けることなくブレードを
保持することができる。According to the fourth aspect of the present invention, a plurality of chuck members and a driving means are provided on the blade suction means, and the plurality of chuck members are advanced and moved by the driving means to hold the blade by clamping. The blade can be stably held. In the invention according to claim 5, the blade is composed of a blade body and a hub, and the hub is held by the plurality of chuck members so that the blade can be held without damaging the blade of the blade body with the chuck member. Can be held.
【００１５】請求項６記載の発明は、カム部材のカム溝
にカム従動子を介して複数のチャック部材を取り付け、
このカム部材をカム駆動部で駆動して、複数のチャック
部材をカム溝とガイド部材とに案内させて進退移動させ
るようにしたので、複数のチャック部材を円滑に連動さ
せることができる。請求項７記載の発明は、ブレード着
脱手段を支持本体部にフローティング支持手段を介して
フローティング支持したので、スピンドル軸に対してブ
レードの位置がずれていても、その位置ずれをフローテ
ィング支持手段によって吸収してブレードをスピンドル
軸に取り付けることができる。According to a sixth aspect of the present invention, a plurality of chuck members are attached to a cam groove of a cam member via a cam follower.
Since the cam member is driven by the cam drive unit to move the plurality of chuck members forward and backward while being guided by the cam grooves and the guide members, the plurality of chuck members can be smoothly interlocked. According to the seventh aspect of the present invention, since the blade attaching / detaching means is floatingly supported on the support body via the floating supporting means, even if the position of the blade is shifted with respect to the spindle shaft, the positional shift is absorbed by the floating supporting means. Thus, the blade can be attached to the spindle shaft.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】図２は、本発明のブレード自動交
換システムの全体構成を示す図である。図２において、
参照番号１１はスピンドルであり、１３はスピンドル軸
に設けられた台座であり、１７はブレードであり、１８
はハブであり、８１はスピンドルの外筒に設けられた振
動計である。参照番号４１から５６は、ブレードを着脱
する機構とブレードを移動させる機構を構成する要素を
示し、７０はブレード収容機構を示す。以下、各部につ
いて順次説明する。FIG. 2 is a diagram showing the overall configuration of an automatic blade replacement system according to the present invention. In FIG.
Reference numeral 11 denotes a spindle, 13 denotes a pedestal provided on the spindle shaft, 17 denotes a blade, and 18 denotes a blade.
Is a hub, and 81 is a vibrometer provided on the outer cylinder of the spindle. Reference numerals 41 to 56 denote elements constituting a blade attaching / detaching mechanism and a blade moving mechanism, and 70 denotes a blade accommodating mechanism. Hereinafter, each part will be sequentially described.
【００１７】図３は、ブレードと補助止め部材、及びそ
れらを組み立てたブレードアセンブリを示す図である。
図３の（１）に示すように、ブレードとしては、取り付
けのためのハブ１８がブレード１７に設けられ、ハブ１
８にははめ合い部１９が設けられている標準的に使用さ
れている形状のものが使用される。補助止め部材３１に
は、はめ合い部１９に圧入するはめ合い部３２と、スピ
ンドル軸のはめ合い部にはめ合わされるはめ合い部３３
と、スピンドル軸のねじにねじ合わされるねじ３４と、
着脱のための保持部分３５が設けられている。補助止め
部材３１は、はめ合い部１９にはめ合い部３２を圧入す
ることによりブレードに固定され、ブレードアセンブリ
が作られる。この場合、圧入でなく他のねじ止めなどの
方法で固定してもよい。このようにしてあらかじめブレ
ードアセンブリが作られ、ブレードはこの形で管理され
る。FIG. 3 is a view showing a blade and an auxiliary stopper member, and a blade assembly obtained by assembling them.
As shown in FIG. 3A, a hub 18 for mounting is provided on the blade 17 as a blade.
8 has a standard shape with a fitting portion 19 provided. The auxiliary stopper member 31 includes a fitting portion 32 that is press-fitted into the fitting portion 19 and a fitting portion 33 that is fitted to the fitting portion of the spindle shaft.
And a screw 34 screwed to the screw of the spindle shaft;
A holding portion 35 for attachment and detachment is provided. The auxiliary stop member 31 is fixed to the blade by press-fitting the fitting portion 32 into the fitting portion 19, and a blade assembly is made. In this case, it may be fixed by other methods such as screwing instead of press fitting. In this way, a blade assembly is prepared in advance, and the blade is managed in this manner.
【００１８】ブレードアセンブリは、図３の（２）に示
すように、スピンドル軸に取り付けられる。はめ合い部
３３をスピンドル軸のはめ合い部にはめ合わせ、ブレー
ドアセンブリをスピンドル軸に対して相対的に回転させ
て、ねじ３４をスピンドル軸のねじにねじ込む。実際に
は、６角レンチをスピンドル軸の６角穴に差し込んでス
ピンドル軸を固定した上でブレードアセンブリを回転さ
せるか、逆にブレードアセンブリを回転しないように保
持した上で、６角レンチを回転させてスピンドル軸を回
転させてねじ込む。本実施例では、後者のブレードアセ
ンブリを回転しないように保持した上で、６角レンチを
回転させてスピンドル軸を回転させる方式を使用する。
はめ合い部３３とスピンドル軸のはめ合い部はテーパ状
になっており、ブレードアセンブリがある程度自由に移
動できる状態で押し入れると、容易にはめ合わせられる
ようになっている。The blade assembly is mounted on a spindle shaft as shown in FIG. The mating portion 33 is fitted to the mating portion of the spindle shaft, and the screw 34 is screwed into the screw of the spindle shaft by rotating the blade assembly relative to the spindle shaft. Actually, insert a hexagon wrench into the hexagonal hole of the spindle shaft to fix the spindle shaft and rotate the blade assembly, or hold the blade assembly so that it does not rotate, then rotate the hexagon wrench Then, rotate the spindle and screw it in. In this embodiment, the latter blade assembly is held so as not to rotate, and then a method of rotating a spindle shaft by rotating a hexagon wrench is used.
The mating portion 33 and the mating portion of the spindle shaft are tapered so that the blade assembly can be easily mated when pushed in with some freedom of movement.
【００１９】図４は、ブレードの着脱装置を示す斜視図
である。参照番号４１、４１’、４２、４２’で示す部
分がブレードアセンブリの着脱のための保持部分３５に
はまる着脱保持部材で、保持部分３５がこの部材４１と
４１’、４２と４２’で構成される枠内にはまると回転
できなくなる。着脱保持部材４１、４１’、４２、４
２’は、それぞれギアボックス（支持本体部）４３から
スプリング保持アーム（フローティング支持手段）６４
を介して保持されており、ある程度位置や向きが変わる
ようになっている。ギアボックス４３からは両側に６角
レンチ６３が延びている。この６角レンチ６３は、ギア
ボックス４３が取り付けられるボックス４４に設けられ
たトルク制御型モータ６１により正逆両方向に回転でき
るようになっている。ギアボックス４３は両軸型で、両
方の６角レンチ６３が同時に回転する。また、６６は、
補助止め部材３１の上面に接触する部分で、真空圧によ
る吸着保持機構（バキュームチャック）の穴が設けられ
ている。このような穴は、他方の着脱保持部材４２と４
２’で構成される部分にも設けられている。図２に示し
たように、このバキュームチャックの穴は、それぞれブ
レード着脱移動機構内に設けられた空圧経路５５と５
６、及びホース５３と５４を介して真空ポンプ５１と５
２につながっており、真空ポンプ５１と５２を独立して
制御することにより、それぞれの穴の部分を減圧してブ
レードアセンブリを吸着して保持できるようになってい
る。FIG. 4 is a perspective view showing a blade attaching / detaching device. The portions indicated by reference numerals 41, 41 ', 42 and 42' are detachable holding members which fit into the holding portion 35 for attaching and detaching the blade assembly, and the holding portion 35 is constituted by these members 41 and 41 ', 42 and 42'. If it fits inside the frame, it cannot rotate. Detachable holding members 41, 41 ', 42, 4
2 ′ is a gear box (support body) 43 to a spring holding arm (floating support means) 64
, And the position and the direction are changed to some extent. A hex wrench 63 extends from both sides of the gear box 43. The hexagon wrench 63 can be rotated in both forward and reverse directions by a torque control type motor 61 provided in a box 44 to which the gear box 43 is attached. The gear box 43 is of a double-shaft type, and both hex wrenches 63 rotate simultaneously. 66 is
A hole of a suction holding mechanism (vacuum chuck) using vacuum pressure is provided at a portion that contacts the upper surface of the auxiliary stopper member 31. Such a hole is provided in the other detachable holding members 42 and 4.
It is also provided in the portion composed of 2 '. As shown in FIG. 2, the holes of the vacuum chuck are respectively provided with pneumatic paths 55 and 5 provided in the blade attaching / detaching moving mechanism.
6 and vacuum pumps 51 and 5 via hoses 53 and 54
2 and independently controlling the vacuum pumps 51 and 52 so that the pressure in each hole can be reduced and the blade assembly can be sucked and held.
【００２０】ボックス４４はアーム４７に設けられた回
転機構４５に取り付けられており、ボックス４４はモー
タ４６により回転できるようになっている。従って、モ
ータ４６を駆動することにより、ボックス４４が回転
し、着脱保持部材４１と４１’、４２と４２’で構成さ
れる２つの枠も回転し、逆の位置に移動できるようにな
っている。図２に示すように、アーム４７は回転機構４
８に取り付けられており、モータ４９を駆動することに
より回転できるようになっている。従って、モータ４９
を回転すると、ボックス４４やギアボックス４３が回転
し、図２で破線で示した位置に移動できる。また、回転
機構４８は直動軸５０に取り付けられており、図２で矢
印で示した方向に移動できるようになっている。The box 44 is attached to a rotating mechanism 45 provided on an arm 47, and the box 44 can be rotated by a motor 46. Therefore, by driving the motor 46, the box 44 is rotated, and the two frames formed by the detachable holding members 41 and 41 'and 42 and 42' are also rotated and can be moved to the opposite positions. . As shown in FIG. 2, the arm 47 is
8, and can be rotated by driving a motor 49. Therefore, the motor 49
When the is rotated, the box 44 and the gear box 43 rotate, and can be moved to the position indicated by the broken line in FIG. The rotation mechanism 48 is attached to the linear motion shaft 50, and can move in the direction indicated by the arrow in FIG.
【００２１】図５は、ブレード収容機構の一方の収容板
７１の側のみを示す図である。実施例ではこの収容板７
１に向かい合うように別の収容板７２が設けられている
が、図５では示していない。収容板７１には４個の軸７
３が設けられており、ブレードアセンブリが４個保持で
きるようになっている。軸７３の周囲にはバキュームチ
ャックの穴７５が設けられており、ブレードアセンブリ
が脱落しないように保持できる。これらのバキュームチ
ャックの穴７５の部分を減圧する真空ポンプは別に設け
る。また、収容板７１はモータ７４により回転できるよ
うになっている。FIG. 5 is a diagram showing only the side of the one accommodation plate 71 of the blade accommodation mechanism. In the embodiment, the storage plate 7 is used.
Another housing plate 72 is provided to face 1 but is not shown in FIG. The housing plate 71 has four shafts 7
3 are provided to hold four blade assemblies. A hole 75 for the vacuum chuck is provided around the shaft 73 to hold the blade assembly from falling off. A vacuum pump for reducing the pressure in the hole 75 of the vacuum chuck is provided separately. The accommodation plate 71 can be rotated by a motor 74.
【００２２】次に、本実施例のブレード自動交換システ
ムで、ブレードを交換する時の動作について説明する。
スピンドル軸にはブレードアセンブリが取り付けられて
おり、その代わりにブレード収容機構に保持されている
別の新ブレードアセンブリを取り付け、取り外した旧ブ
レードアセンブリをブレード収容機構に戻すまでの動作
を行う。ボックス４４やギアボックス４３は図２の破線
の位置にいるものとする。まず、ブレード収容機構に収
容されている交換する新ブレードアセンブリがアクセス
可能な位置にくるように、収容板を回転させる。新ブレ
ードアセンブリはいずれの収容板にあってもよい。新ブ
レードアセンブリがアクセス可能な位置に移動した時点
で、直動機構５０を動作させて、着脱保持部材４１と４
１’、４２と４２’で構成されるいずれかの枠が、新ブ
レードアセンブリの保持部分にはまるように移動させ
る。所定位置まで移動した時点で、収容板の新ブレード
アセンブリが保持されている部分の真空ポンプを切り、
着脱保持部材４１と４１’又は４２と４２’で構成され
る枠の穴の部分が減圧するように、真空ポンプ５１又は
５２を動作させる。これにより、新ブレードアセンブリ
は着脱保持部材４１と４１’又は４２と４２’で構成さ
れる枠の側に吸着されて保持される。Next, the operation when the blade is replaced in the automatic blade replacement system of this embodiment will be described.
A blade assembly is attached to the spindle shaft. Instead, another new blade assembly held by the blade accommodating mechanism is attached, and operations are performed until the removed old blade assembly is returned to the blade accommodating mechanism. It is assumed that the box 44 and the gear box 43 are at the positions indicated by the broken lines in FIG. First, the accommodating plate is rotated so that the replacement new blade assembly accommodated in the blade accommodating mechanism is at an accessible position. The new blade assembly may be on any receiving plate. When the new blade assembly is moved to an accessible position, the linear motion mechanism 50 is operated, and the detachable holding members 41 and 4 are operated.
Any frame consisting of 1 ', 42 and 42' is moved to fit into the holding part of the new blade assembly. At the time of moving to the predetermined position, turn off the vacuum pump of the part where the new blade assembly of the storage plate is held,
The vacuum pump 51 or 52 is operated so as to reduce the pressure in the hole of the frame formed by the detachable holding members 41 and 41 'or 42 and 42'. As a result, the new blade assembly is sucked and held on the side of the frame constituted by the detachable holding members 41 and 41 'or 42 and 42'.
【００２３】次に直動機構を動作させ、新ブレードアセ
ンブリを保持した枠を収容板から離し、モータ４９を回
転させてボックス４４やギアボックス４３を図２の実線
で示した位置に移動する。この時、新ブレードアセンブ
リを保持した枠がスピンドル軸の側にある場合には、モ
ータ４６を回転させて、新ブレードアセンブリを保持し
た枠がスピンドル軸の反対側にくるように回転移動させ
る。従って、スピンドル軸の側には、ブレードアセンブ
リを保持していない枠が位置していることになる。この
状態で直動機溝を動作させ、ブレードアセンブリを保持
していない枠が、スピンドル軸に取り付けられた旧ブレ
ードアセンブリの保持部分にはまるように移動させる。
所定位置まで移動した時点で、モータ６１を回転させて
６角レンチ６３をねじが外れる方向に回転させる。これ
により、スピンドル軸は回転するが、旧ブレードアセン
ブリは保持部分が枠にはまっているので回転せず、ねじ
が外れる。この時、ねじが外れるに従って旧ブレードア
センブリが移動する。そのため、直動機機を動作させて
旧ブレードアセンブリのねじが外れるのに対応して枠を
移動するようにしても、ねじが外れるのに対応して旧ブ
レードアセンブリが枠内を徐々に移動するようにしても
よい。ねじが外れた時点で真空ポンプ５１と５２の他方
についても動作させ、旧ブレードアセンブリを枠に吸着
し、枠から脱落しないように保持する。Next, the linear motion mechanism is operated, the frame holding the new blade assembly is separated from the housing plate, and the motor 49 is rotated to move the box 44 or the gear box 43 to the position shown by the solid line in FIG. At this time, if the frame holding the new blade assembly is on the side of the spindle shaft, the motor 46 is rotated to move the frame holding the new blade assembly to the opposite side of the spindle axis. Therefore, a frame that does not hold the blade assembly is located on the side of the spindle shaft. In this state, the linear motion groove is operated to move the frame that does not hold the blade assembly so as to fit into the holding portion of the old blade assembly attached to the spindle shaft.
When the motor 61 is moved to a predetermined position, the motor 61 is rotated to rotate the hexagon wrench 63 in a direction in which the screw is removed. As a result, the spindle shaft rotates, but the old blade assembly does not rotate because the holding portion is in the frame, and the screw is released. At this time, the old blade assembly moves as the screws are removed. Therefore, even when the linear motion machine is operated to move the frame in response to the removal of the screw of the old blade assembly, the old blade assembly gradually moves in the frame in response to the removal of the screw. It may be. When the screw is removed, the other of the vacuum pumps 51 and 52 is operated, so that the old blade assembly is attracted to the frame and held so as not to fall off the frame.
【００２４】次に、一旦直動機構を動作させて枠をスピ
ンドル軸から離した後、モータ４６を回転して新ブレー
ドアセンブリを保持した枠がスピンドル軸と向き合う方
向に回転移動させる。従って、旧ブレードアセンブリを
保持した枠はスピンドル軸の反対側に移動する。この状
態で直動機構を移動させて新ブレードアセンブリのはめ
合い部３３がスピンドル軸のはめ合い部にはまるように
移動し、ブレードの端面が台座１３の面に付き当たるま
で移動する。前述のように、スピンドル軸のはめ合い部
とブレードアセンブリのはめ合い部３３はテーパ状にな
っており、枠を構成する着脱保持部材４１と４１’、４
２と４２’はスプリング保持アーム６４を介して保持さ
れているので、容易に押し込めるようになっている。ス
プリング保持アーム６４は軸方向にも移動可能な機構な
ので、所定位置まで押し込むとねじの端が接触した状態
になる。この時、６角レンチ６３がスピンドル軸の６角
穴にはまるので、モータ６１を回転させて６角レンチ６
３をねじが締まる方向に回転させると、スピンドル軸が
回転する。新ブレードアセンブリは枠に保持されている
ので回転せず、ねじが締まる。ねじが締まり始めたら新
ブレードアセンブリを保持するための真空ポンプを切
る。この時も、旧ブレードを外す時と同様に、直動機溝
を動作させて新ブレードアセンブリのねじが締まるのに
対応して枠を移動するようにしても、ねじが締まるのに
対応して新ブレードアセンブリが枠内を徐々に移動する
ようにしてもよい。モータ６１はトルク制御型モータで
あり、ねじが締まってある程度以上のトルクになるとモ
ータ６１は回転しなくなるので、これを検出してモータ
６１の回転を停止する。これにより新ブレードアセンブ
リがスピンドル軸に取り付けられたことになる。Next, once the frame is separated from the spindle shaft by operating the linear motion mechanism, the motor 46 is rotated to move the frame holding the new blade assembly in a direction facing the spindle shaft. Therefore, the frame holding the old blade assembly moves to the opposite side of the spindle axis. In this state, the linear motion mechanism is moved to move the fitting portion 33 of the new blade assembly so as to fit into the fitting portion of the spindle shaft, and move until the end surface of the blade comes into contact with the surface of the pedestal 13. As described above, the fitting portion of the spindle shaft and the fitting portion 33 of the blade assembly are tapered, and the attachment / detachment holding members 41 and 41 ′,
Since 2 and 42 'are held via spring holding arms 64, they can be easily pushed in. Since the spring holding arm 64 is a mechanism that can move in the axial direction, when the spring holding arm 64 is pushed to a predetermined position, the end of the screw comes into contact. At this time, the hexagon wrench 63 fits into the hexagonal hole of the spindle shaft.
When 3 is rotated in the direction in which the screw is tightened, the spindle shaft rotates. The new blade assembly is held in the frame so it does not rotate and the screws tighten. When the screws start to tighten, turn off the vacuum pump to hold the new blade assembly. At this time, as in the case of removing the old blade, even if the linear motion machine groove is operated to move the frame in response to the screw of the new blade assembly being tightened, the new The blade assembly may move gradually within the frame. The motor 61 is a torque control type motor. When the screw is tightened and the torque exceeds a certain level, the motor 61 stops rotating. Therefore, this is detected and the rotation of the motor 61 is stopped. This means that the new blade assembly has been attached to the spindle shaft.
【００２５】直動機構５０を動作させて枠を新ブレード
アセンブリから離す。この時、旧ブレードアセンブリを
収容する収容板が７２の場合にはそのままであるが、７
１の場合には、モータ４６を動作させて枠の位置を逆転
する。次に、モータ４９を動作させて枠を図２の破線の
位置に回転移動させる。同時に、旧ブレードアセンブリ
を収容する位置がアクセス位置になるように収容板を回
転し、直動機溝５０を動作させて旧ブレードアセンブリ
を収容板の軸に押し込む。そして、枠に旧ブレードアセ
ンブリを保持するための真空ポンプを切り、収容板の旧
ブレードアセンブリを収容する部分の真空ポンプを起動
させて旧ブレードアセンブリを収容板に保持する。そし
て、直動機構５０を動作させて枠を旧ブレードアセンブ
リから離して交換動作が終了する。The linear motion mechanism 50 is operated to move the frame away from the new blade assembly. At this time, when the storage plate for storing the old blade assembly is 72, it remains as it is.
In the case of 1, the motor 46 is operated to reverse the position of the frame. Next, the motor 49 is operated to rotate the frame to the position indicated by the broken line in FIG. At the same time, the accommodating plate is rotated so that the position for accommodating the old blade assembly becomes the access position, and the linear motion groove 50 is operated to push the old blade assembly into the shaft of the accommodating plate. Then, the vacuum pump for holding the old blade assembly in the frame is turned off, and the vacuum pump in the portion of the housing plate that houses the old blade assembly is activated to hold the old blade assembly on the housing plate. Then, the linear motion mechanism 50 is operated to separate the frame from the old blade assembly, thereby completing the replacement operation.
【００２６】以上のようにしてブレードアセンブリの交
換が行われるが、既に説明したように、ダイシング装置
のブレードは非常な高速で回転するため、回転バランス
が重要であり、はめ合い部の精度が非常に高精度になっ
ている。そのため、はめ合い部を上記のようにテーパ状
としても正しく挿入されていない場合があり得る。その
ような状態で回転すると、大きな振動が生じてスピンド
ルを損傷することがある。そこで、本実施例では、図２
に示すように、スピンドルの外筒に振動計８１を設け、
ブレードアセンブリを交換した後にはスピンドルを回転
させて振動計８１で振動状態を検出し、所定以上の振動
になる場合には、警報を出すようにしている。この警報
に応じて、一旦ブレードを取り外した後、再度取り付け
る動作を行う。これにより、スピンドルが損傷するのを
防止している。また、警報が出た場合には、オペレータ
が確認するようにしてもよい。As described above, the blade assembly is replaced. As described above, since the blade of the dicing apparatus rotates at a very high speed, the rotation balance is important, and the precision of the fitting portion is extremely low. High precision. Therefore, even if the fitting portion is tapered as described above, it may not be correctly inserted. If rotated in such a state, large vibrations may occur and damage the spindle. Therefore, in this embodiment, FIG.
As shown in the figure, a vibration meter 81 is provided on the outer cylinder of the spindle,
After replacing the blade assembly, the spindle is rotated and the vibration state is detected by the vibrometer 81, and if the vibration exceeds a predetermined level, an alarm is issued. In response to this alarm, the operation of once removing the blade and then attaching it again is performed. This prevents the spindle from being damaged. Further, when an alarm is issued, the operator may confirm.
【００２７】一般に、ブレードのハブはアルミニウム製
であり、補助止め部材３１もアルミニウム製にすること
が望ましい。このような場合には、上記の実施例のよう
に、ブレードアセンブリの保持にはバキュームチャック
などの方法を使用する必要がある。バキュームチャック
を行うためには、真空ポンプと空圧経路が必要である。
真空ポンプはかなりの大きさを有するので、回転や移動
する部分に設けるのは難しく、図２に示すように、ホー
ス５３と５４及び空圧経路を介して真空ポンプから枠の
穴までを接続する必要がある。交換時間を低減するため
には枠を２個設ける必要があり、実施例では、２個の真
空ポンプと２個の空圧経路を別々に設けている。これで
もかなり複雑な経路である。ここで、本発明のブレード
アセンブリの形でなく、ブレードとねじが別々で、それ
ぞれを保持する必要がある場合には、更にねじを保持す
る機構が必要であり、そのために更に別の真空ポンプと
真空経路が必要となる、空圧経路は非常に複雑になる。
そのため、本発明を適用すると効果が大きい。In general, the hub of the blade is made of aluminum, and the auxiliary stopper member 31 is preferably made of aluminum. In such a case, it is necessary to use a method such as a vacuum chuck to hold the blade assembly as in the above-described embodiment. In order to perform a vacuum chuck, a vacuum pump and a pneumatic path are required.
Since the vacuum pump has a considerable size, it is difficult to provide it in a rotating or moving part. As shown in FIG. 2, the vacuum pump is connected from the vacuum pump to the holes of the frame through hoses 53 and 54 and a pneumatic path. There is a need. In order to reduce the replacement time, it is necessary to provide two frames. In the embodiment, two vacuum pumps and two air pressure paths are separately provided. This is still a rather complicated path. Here, when the blade and the screw are separate from each other and need to be held instead of the blade assembly of the present invention, a mechanism for holding the screw is further required. A pneumatic path becomes very complicated, requiring a vacuum path.
Therefore, when the present invention is applied, the effect is large.
【００２８】また、補助止め部材３１を鉄などの磁石に
吸着する材料で作るか、又は補助止め部材３１の上面側
のみを磁石に吸着する材料で作れば、電磁石で吸着を制
御できる。このような場合には、真空ポンプと空圧経路
の代わりに、着脱保持部材４１と４１’、４２と４２’
で構成される枠の奥、及びブレード収容機構の収容番の
部分に電磁石を設ける。If the auxiliary stopper member 31 is made of a material such as iron which is attracted to a magnet, or if only the upper surface side of the auxiliary stopper member 31 is made of a material which is attracted to a magnet, the attraction can be controlled by an electromagnet. In such a case, the attachment / detachment holding members 41 and 41 'and 42 and 42' are used instead of the vacuum pump and the pneumatic path.
An electromagnet is provided at the back of the frame composed of the above and at the accommodation number of the blade accommodation mechanism.
【００２９】図６は、本発明の第２の実施の形態のブレ
ードアセンブリ着脱装置１００を示す斜視図、図７はそ
のブレードアセンブリ着脱装置１００で着脱されるブレ
ードアセンブリ１０２の組立斜視図であり、図１〜図５
に示した形態と同一若しくは類似の部材については同一
の符号を付してその説明は省略する。図７に示すブレー
ドアセンブリ１０２はブレード本体１７、ハブ１８、及
び補助止め部材１０４から構成される。前記ブレード本
体１７はハブ１８に固定されており、ハブ１８のはめ合
い部１９を、スピンドル１１の先端に設けられたはめ合
い部１４に嵌合させることにより、ブレード本体１７が
スピンドル１１に装着される。FIG. 6 is a perspective view showing a blade assembly attaching / detaching apparatus 100 according to a second embodiment of the present invention. FIG. 7 is an assembly perspective view of a blade assembly 102 attached / detached by the blade assembly attaching / detaching apparatus 100. 1 to 5
The same reference numerals are given to the same or similar members as in the embodiment shown in FIG. The blade assembly 102 shown in FIG. 7 includes the blade body 17, the hub 18, and the auxiliary stopper member 104. The blade main body 17 is fixed to the hub 18, and the fitting part 19 of the hub 18 is fitted to the fitting part 14 provided at the tip of the spindle 11, so that the blade main body 17 is mounted on the spindle 11. You.
【００３０】前記補助止め部材１０４は、ブレード本体
１７をハブ１８を介してスピンドル１１に固定するもの
であり、フランジ（位置決め部材）１０６とナット（ナ
ット部材）１０８から構成されている。前記フランジ１
０６は環状に形成され、フランジ１０６の裏面には４本
の爪１１０、１１０…が同心円周上に９０度間隔で形成
されている。前記４本の爪１１０、１１０…は、フラン
ジ１０６の面に対して直交方向に突出形成され、これら
の爪１１０、１１０…は、ハブ１８のはめ合い部１９に
嵌合されると共に前記はめ合い部１４の外周に形成され
た４本の溝１４Ａ、１４Ａ…（図７では２本の溝１４
Ａ、溝１４Ａが図示されている）に嵌合される。したが
って、本実施の形態のブレードアセンブリ１０２は、ス
ピンドル１１に対する固定位置を９０度分割で４通り選
択することができるので、その４通りの固定位置のうち
回転バランスが最もとれた位置で固定される。The auxiliary stop member 104 fixes the blade body 17 to the spindle 11 via the hub 18 and includes a flange (positioning member) 106 and a nut (nut member) 108. The flange 1
Reference numeral 06 is formed in an annular shape, and four claws 110 are formed on the back surface of the flange 106 at 90 ° intervals on a concentric circle. The four claws 110, 110,... Are formed to project in a direction perpendicular to the surface of the flange 106. These claws 110, 110,. Four grooves 14A, 14A... Formed in the outer periphery of the portion 14 (in FIG.
A, groove 14A is shown). Therefore, the blade assembly 102 of the present embodiment can select four fixed positions with respect to the spindle 11 at 90-degree divisions, and is fixed at a position where the rotational balance is the best among the four fixed positions. .
【００３１】また、前記フランジ１０６の表面には、円
形の穴１１２、１１２…が同心円周上に９０度間隔で形
成されている。これらの穴１１２、１１２…には、図６
に示したブレードアセンブリ着脱装置１００の回り止め
用ピン１１４、１１４が挿入される。この回り止め用ピ
ン１１４については後述する。図７に示すように前記ナ
ット１０８は、スピンドル軸１１の先端に設けられたね
じ１５に螺合して、前記ハブ１８を前記フランジ１０６
を介してスピンドル軸１１に締結するものである。ま
た、前記ナット１０８の表面には、円形の穴１１６、１
１６…が同心円周上に９０度間隔で形成されている。こ
れらの穴１１６、１１６…には、図６に示したブレード
アセンブリ着脱装置１００のピン１１８、１１８が挿入
される。この回転ピン１１８については後述する。Are formed on the surface of the flange 106 at 90-degree intervals on a concentric circumference. The holes 112, 112...
Are inserted into the rotation preventing pins 114 of the blade assembly attaching / detaching device 100 shown in FIG. This detent pin 114 will be described later. As shown in FIG. 7, the nut 108 is screwed into a screw 15 provided at the tip of the spindle shaft 11 to connect the hub 18 to the flange 106.
And is fastened to the spindle shaft 11 through the. In the surface of the nut 108, circular holes 116, 1
16 are formed on the concentric circumference at 90 ° intervals. The pins 118, 118 of the blade assembly attaching / detaching apparatus 100 shown in FIG. 6 are inserted into these holes 116, 116,. The rotation pin 118 will be described later.
【００３２】ところで、前記ブレードアセンブリ着脱装
置１００と、図４に示したブレードアセンブリ着脱装置
とは、ブレードアセンブリの保持方法が相違している。
即ち、図４に示した装置のブレードアセンブリ保持方法
は、真空ポンプ５１、５２を用いた真空保持方法であ
る。これに対して、図７の装置１００のブレードアセン
ブリ保持方法は、チャック部材１２０、１２０、１２０
でブレードアセンブリを挟圧保持する保持方法である。
ここで、真空保持方法とチャック部材１２０、１２０、
１２０による挟圧保持方法を比較すると、前者の保持方
法の場合には、真空吸着部とブレードアセンブリとの間
に隙間があると、ブレードアセンブリが完全に吸着され
ず、ブレードアセンブリを安定して保持することができ
ない不具合が生じる。これに対して後者の保持方法は、
ブレードアセンブリをチャック部材１２０、１２０…で
直接挟圧保持するので、ブレードアセンブリを安定して
保持することができるという利点がある。By the way, the blade assembly attaching / detaching apparatus 100 and the blade assembly attaching / detaching apparatus shown in FIG.
That is, the blade assembly holding method of the apparatus shown in FIG. 4 is a vacuum holding method using the vacuum pumps 51 and 52. On the other hand, the blade assembly holding method of the apparatus 100 of FIG.
Is a holding method for holding the blade assembly by pressure.
Here, the vacuum holding method and the chuck members 120, 120,
Comparing the clamping pressure holding method by 120, in the case of the former holding method, if there is a gap between the vacuum suction part and the blade assembly, the blade assembly is not completely sucked, and the blade assembly is stably held. Inability to do so occurs. In contrast, the latter method is
Since the blade assembly is directly clamped and held by the chuck members 120, 120, there is an advantage that the blade assembly can be stably held.
【００３３】以下、前記ブレードアセンブリ着脱装置１
００の構造について説明する。図６、図８、図９に示す
ように前記ブレードアセンブリ着脱装置１００は、チャ
ック装置１２２、１２４を有し、これらのチャック装置
１２２、１２４はギアボックス４３を挟んで両側に取り
付けられている。なお、前記チャック装置１２２、１２
４は同一構造なので、ここではチャック装置１２２のみ
説明し、チャック装置１２４については、チャック装置
１２２と同一の符号を付すことでその説明を省略する。Hereinafter, the blade assembly attaching / detaching device 1 will be described.
The structure of 00 will be described. As shown in FIGS. 6, 8 and 9, the blade assembly attaching / detaching device 100 has chuck devices 122 and 124, and these chuck devices 122 and 124 are attached to both sides of the gear box 43. The chuck devices 122 and 12
4 has the same structure, only the chuck device 122 will be described here, and the description of the chuck device 124 will be omitted by attaching the same reference numerals to the chuck device 122.
【００３４】前記チャック装置１２２は図６に示すよう
に、３本のチャック部材１２０、１２０、１２０を有し
ている。これらのチャック部材１２０、１２０、１２０
は、環状のガイド板１２６に同心円周上に配置されると
共に、ガイド板１２６に形成された３本の直進溝１２８
（図６、図９参照）に摺動自在に取り付けられている。
これらの直進溝１２８は、ガイド板１２６の中心から見
て放射状に形成されている。これにより、前記チャック
部材１２０、１２０、１２０は、ガイド板１２６の中心
に対して進退移動することができる。なお、前記ガイド
板１２６は、チャック装置１２２の本体ケーシング１２
３の側面に固定され、ガイド板１２６の表面に前記回り
止め用ピン１１４、１１４が突設されている。The chuck device 122 has three chuck members 120, 120, 120 as shown in FIG. These chuck members 120, 120, 120
Are arranged concentrically on an annular guide plate 126 and have three rectilinear grooves 128 formed on the guide plate 126.
(See FIGS. 6 and 9).
These rectilinear grooves 128 are formed radially when viewed from the center of the guide plate 126. Accordingly, the chuck members 120, 120, 120 can move forward and backward with respect to the center of the guide plate 126. The guide plate 126 is provided on the main casing 12 of the chuck device 122.
The rotation preventing pins 114, 114 are fixed to the side surfaces of the guide plate 3 and project from the surface of the guide plate 126.
【００３５】前記各チャック部材１２０には、チャック
部材１２０の裏面に図１０に示すカム従動子１３０が取
り付けられている。これらのカム従動子１３０は、カム
リング（カム部材）１３２に形成されたカム溝１３４に
夫々係合されている。また、前記カム溝１３４、１３
４、１３４は、カムリング１３２の回動方向に対し、夫
々同方向に傾斜して形成されている。Each of the chuck members 120 has a cam follower 130 shown in FIG. These cam followers 130 are engaged with cam grooves 134 formed in a cam ring (cam member) 132, respectively. Further, the cam grooves 134, 13
Reference numerals 4 and 134 are formed to be inclined in the same direction with respect to the rotation direction of the cam ring 132.
【００３６】前記構成によって、カムリング１３２を、
カムリング１３２の中心１３３を回転中心として図１０
上反時計回り方向に回動させると、カム従動子１３０を
介してチャック部材１２０がカム溝１３４に押されて移
動する。この時、各チャック部材１２０は、ガイド板１
２８の直進溝１２８に配置されているので、直進溝１２
８に沿って互いに近づく方向（進出方向）に移動する。
このチャック部材１２０、１２０、１２０の進出動作に
よって、ブレードアセンブリ１０２のハブ１８が図９上
二点鎖線で示すようにチャック部材１２０、１２０、１
２０によって挟圧保持される。この時、ハブ１８が挟圧
保持されるので、ブレード本体１７の刃がチャック部材
１２０で傷付けられることはない。なお、前記カムリン
グ１３２を図１０上時計回り方向に回動すると、各チャ
ック部材１２０は互いに離れる方向（退避方向）に移動
するので、チャック部材１２０によるブレードアセンブ
リ１０２の挟圧保持が解除される。With the above configuration, the cam ring 132 is
10 with the center 133 of the cam ring 132 as the center of rotation.
When rotated counterclockwise, the chuck member 120 is pushed by the cam groove 134 via the cam follower 130 and moves. At this time, each chuck member 120 is connected to the guide plate 1.
28, so that the straight grooves 12
8 moves in a direction approaching each other (advancing direction).
As a result of the advancing operation of the chuck members 120, 120, 120, the hub 18 of the blade assembly 102 is brought into contact with the chuck members 120, 120, 1 as shown by a two-dot chain line in FIG.
The holding pressure is maintained by 20. At this time, the blade of the blade body 17 is not damaged by the chuck member 120 because the hub 18 is held by the clamping pressure. When the cam ring 132 is rotated clockwise in FIG. 10, the chuck members 120 move in a direction away from each other (retreat direction), so that the holding of the blade assembly 102 by the chuck members 120 is released.
【００３７】ところで、前記カムリング１３２は、チャ
ック装置１２２の本体ケーシング１２３内に回動自在に
収容されている。また、前記カムリング１３２には図
８、図９に示すように、カム従動子１３６が突設されて
いる。カム従動子１３６の近傍には、図示しないエアシ
リンダが設けられており、このエアシリンダのロッド１
３８と、このロッド１３８に連結バー１４０を介して連
結されたストッパ１４２との間に、前記カム従動子１３
６がベアリング１４４を介して嵌合されている。したが
って、前記エアシリンダのロッド１３８を伸長させる
と、カムリング１３２がカム従動子１３６に押されて図
１０上反時計回り方向に回動するので、ブレードアセン
ブリ１０２がチャック部材１２０で挟圧保持される。こ
れとは逆にエアシリンダのロッド１３８を収縮させる
と、カムリング１３２がカム従動子１３６に引かれて図
１０上時計回り方向に回動するので、チャック部材１２
０によるブレードアセンブリ１０２の挟圧保持が解除さ
れる。なお、本実施の形態では、カムリング１３２の駆
動手段としてエアシリンダを適用したが、これに限られ
るものではなく、油圧シリンダ、送りねじ装置等の他の
駆動手段を適用しても良い。The cam ring 132 is rotatably accommodated in the main body casing 123 of the chuck device 122. 8 and 9, a cam follower 136 is protruded from the cam ring 132. An air cylinder (not shown) is provided near the cam follower 136.
Between the cam follower 13 and a stopper 142 connected to the rod 138 via a connecting bar 140.
6 are fitted via bearings 144. Therefore, when the rod 138 of the air cylinder is extended, the cam ring 132 is pushed by the cam follower 136 and rotates counterclockwise in FIG. . Conversely, when the rod 138 of the air cylinder is contracted, the cam ring 132 is pulled by the cam follower 136 and rotates clockwise in FIG.
0, the holding of the blade assembly 102 by the pressure is released. In the present embodiment, an air cylinder is applied as a driving unit of the cam ring 132. However, the present invention is not limited to this, and another driving unit such as a hydraulic cylinder and a feed screw device may be applied.
【００３８】一方、図８、図９に示すように前記ガイド
板１２６の内側には、ロータリヘッド１４６が設けられ
ている。このロータリヘッド１４６に前記ピン１１８、
１１８が突設されている。前記ロータリヘッド１４６に
は、回転軸１４８がロータリヘッド１４６と同軸上に固
定されており、この回転軸１４８は、ウォームホイール
１５０が外周に形成された回転筒１５２内に収納されて
いる。また、前記回転軸１４８は、前記回転筒１５２に
リニアブッシュ１５４を介して挿入され、回転筒１５２
に対し図９上で左右方向に摺動自在に支持されている。
更に、回転筒１５２内にはスプリング１５６が挿入され
ている。このスプリング１５６の一端は、リニアブッシ
ュ１５４の抜け止め用リング１５８に取り付けられ、一
方、スプリング１５６の他端は回転軸１４８の矩形状部
１４９に取り付けられている。このスプリング１５６の
付勢力によって、前記ロータリヘッド１４６は図９上で
右方向に付勢された状態で配置されている。なお、回転
軸１４８の前記矩形状部１４９は、回転筒１５２に形成
された矩形溝１５３に係合されている。これにより、回
転筒１５２が回転すると、その回転は矩形溝１５３、矩
形状部１４９を介して回転軸１４８に伝達するので、ロ
ータリヘッド１４６が回転する。On the other hand, a rotary head 146 is provided inside the guide plate 126 as shown in FIGS. The pin 118 is attached to the rotary head 146.
118 are protrudingly provided. A rotary shaft 148 is fixed to the rotary head 146 coaxially with the rotary head 146. The rotary shaft 148 is housed in a rotary cylinder 152 having a worm wheel 150 formed on the outer periphery. The rotary shaft 148 is inserted into the rotary cylinder 152 via a linear bush 154, and the rotary cylinder 152
9 is slidably supported in the left-right direction in FIG.
Further, a spring 156 is inserted into the rotary cylinder 152. One end of the spring 156 is attached to a retaining ring 158 of the linear bush 154, while the other end of the spring 156 is attached to a rectangular portion 149 of the rotating shaft 148. The rotary head 146 is arranged to be urged rightward in FIG. 9 by the urging force of the spring 156. The rectangular portion 149 of the rotating shaft 148 is engaged with a rectangular groove 153 formed in the rotating cylinder 152. As a result, when the rotary cylinder 152 rotates, the rotation is transmitted to the rotary shaft 148 via the rectangular groove 153 and the rectangular portion 149, so that the rotary head 146 rotates.
【００３９】前記回転筒１５２は、ベアリング１６０、
１６０を介してギアボックス４３に支持されている。前
記ウォームホイール１５０には、図８に示すウォームギ
ア１６２が噛合されている。このウォームギア１６２は
ウォーム軸１６４に固定され、このウォーム軸１６４
は、図６上で破線で示すモータ１６６の出力軸に連結さ
れている。したがって、モータ１６６を駆動すると、ウ
ォームギア１６２とウォームホイール１５０とによって
前記回転筒１５２が減速されて回転するので、ロータリ
ヘッド１４６が回転する。The rotary cylinder 152 includes a bearing 160,
It is supported by the gearbox 43 via 160. The worm wheel 150 is engaged with a worm gear 162 shown in FIG. The worm gear 162 is fixed to the worm shaft 164.
Is connected to an output shaft of a motor 166 indicated by a broken line in FIG. Therefore, when the motor 166 is driven, the rotary cylinder 152 is rotated at a reduced speed by the worm gear 162 and the worm wheel 150, so that the rotary head 146 rotates.
【００４０】前記チャック装置１２２は、片側３個の鋼
球１６８（図８、図９では１個の鋼球１６８のみ図示）
によってギアボックス４３に３点支持されると共に、無
潤滑スラスト軸受１７０と皿ばね１７２を介してショル
ダーボルト１７４によりギアボックス４３に取り付けら
れている。また、前記チャック装置１２２は、ショルダ
ーボルト１７４にＯリング１７６を介してフローティン
グ支持されている。これにより、チャック装置１２２
は、回転軸１４８と直交する面内で若干量移動すること
ができるので、ブレードアセンブリ１０２やスピンドル
軸１１に対する回転軸１４８の位置ずれを吸収すること
ができる。The chuck device 122 has three steel balls 168 on one side (only one steel ball 168 is shown in FIGS. 8 and 9).
And is attached to the gearbox 43 by a shoulder bolt 174 via a lubrication-free thrust bearing 170 and a disc spring 172. Further, the chuck device 122 is floatingly supported by a shoulder bolt 174 via an O-ring 176. Thereby, the chuck device 122
Can move a small amount in a plane orthogonal to the rotation axis 148, so that the displacement of the rotation axis 148 with respect to the blade assembly 102 and the spindle shaft 11 can be absorbed.
【００４１】次に、前記の如く構成されたブレードアセ
ンブリ着脱装置１００の作用について説明する。まず、
スピンドル１１に取り付けられている旧ブレードアセン
ブリ１０２を新ブレードアセンブリ１０２に交換する作
業について説明する。まず、チャック装置１２２（チャ
ック装置１２４でも良い）をスピンドル１１に向けて移
動させて、チャック装置１２２側の回り止め用ピン１１
４、１１４を、ブレードアセンブリ１０２のフランジ１
０６に形成された穴１１２、１１２…に挿入してブレー
ドアセンブリ１０２を回り止めする。そして、チャック
装置１２２のロータリヘッド１４６に突設されたピン１
１８、１１８を、ブレードアセンブリ１０２のナット１
０８の穴１１６、１１６…に挿入する。そして、チャッ
ク部材１２０、１２０、１２０を互いに近づく方向に移
動させ、これらのチャック部材１２０、１２０、１２０
によってブレードアセンブリ１０２のハブ１８を挟圧保
持する。この後、前記ロータリヘッド１４６を回転させ
てナット１０８を緩める。Next, the operation of the blade assembly attaching / detaching apparatus 100 configured as described above will be described. First,
The operation of replacing the old blade assembly 102 attached to the spindle 11 with the new blade assembly 102 will be described. First, the chuck device 122 (or the chuck device 124) is moved toward the spindle 11, and the detent pin 11 on the chuck device 122 side is moved.
4, 114 to the flange 1 of the blade assembly 102.
Are inserted into the holes 112, 112,... The pin 1 protruding from the rotary head 146 of the chuck device 122
18, 118 to the nut 1 of the blade assembly 102.
08 into the holes 116, 116... Then, the chuck members 120, 120, 120 are moved in a direction approaching each other, and these chuck members 120, 120, 120 are moved.
This holds the hub 18 of the blade assembly 102 under pressure. Thereafter, the nut 108 is loosened by rotating the rotary head 146.
【００４２】この時、ロータリヘッド１４６は、ナット
１０８を緩めることでナット１０８に押され、スプリン
グ１５６の付勢力に抗してブレード１７から退避する方
向に移動する。これにより、ナット１０８がねじ１５か
ら取り外される。そして、ナット１０８がねじ１５から
完全に取り外されたところで、前記チャック装置１２２
をスピンドル１１から退避移動させる。これにより、旧
ブレードアセンブリ１０２がチャック部材１２０、１２
０、１２０に保持された状態で、前記スピンドル１１か
ら取り外される。そして、チャック装置１２２を図５に
示した収容板７１に向けて移動させ、収容板７１の軸７
３に前記取り外した旧ブレードアセンブリ１０２を戻
す。以上で、旧ブレードアセンブリ１０２の取り外し作
業が終了する。At this time, the rotary head 146 is pushed by the nut 108 by loosening the nut 108, and moves in a direction to withdraw from the blade 17 against the urging force of the spring 156. Thereby, the nut 108 is removed from the screw 15. When the nut 108 is completely removed from the screw 15, the chuck device 122
Is retracted from the spindle 11. As a result, the old blade assembly 102 is
While being held at 0 and 120, it is removed from the spindle 11. Then, the chuck device 122 is moved toward the storage plate 71 shown in FIG.
3 returns the old blade assembly 102 removed. Thus, the work of removing the old blade assembly 102 is completed.
【００４３】次に、スピンドル１１に新ブレードアセン
ブリ１０２を取り付ける作業について説明する。まず、
収容板７１に保持されている新ブレードアセンブリ１０
２をチャック装置１２４（チャック装置１２２でも良
い）で保持する。この場合、チャック装置１２４側の回
り止め用ピン１１４、１１４を、ブレードアセンブリ１
０２のフランジ１０６に形成された穴１１２、１１２…
に挿入する。そして、ロータリヘッド１４６に突設され
たピン１１８、１１８をブレードアセンブリ１０２のナ
ット１０８の穴１１６、１１６…に挿入した後、チャッ
ク部材１２０、１２０、１２０を互いに近づく方向に移
動させて、これらのチャック部材１２０、１２０、１２
０によってブレードアセンブリ１０２のハブ１８を挟圧
保持する。これにより、新ブレードアセンブリ１０２が
チャック装置１２４に保持される。Next, the operation of attaching the new blade assembly 102 to the spindle 11 will be described. First,
New blade assembly 10 held by receiving plate 71
2 is held by the chuck device 124 (or the chuck device 122). In this case, the anti-rotation pins 114 on the chuck device 124 side are connected to the blade assembly 1.
02, 112, 112,...
Insert After the pins 118, 118 protruding from the rotary head 146 are inserted into the holes 116, 116,... Of the nut 108 of the blade assembly 102, the chuck members 120, 120, 120 are moved in a direction approaching each other, and Chuck members 120, 120, 12
0 holds the hub 18 of the blade assembly 102 under pressure. As a result, the new blade assembly 102 is held by the chuck device 124.
【００４４】次に、チャック装置１２４をスピンドル軸
１１に向けて移動させて、ブレードアセンブリ１０２の
フランジ１０６に形成された各爪１１０をスピンドル１
１側の各溝１４Ａに嵌合させる。そして、ロータリヘッ
ド１４６に突設されたピン１１８、１１８をブレードア
センブリ１０２のナット１０８の穴１１６、１１６…に
挿入した後、チャック部材１２０、１２０、１２０を互
いに離れる方向に退避移動させてブレードアセンブリ１
０２の挟圧保持を解除する。そして、ロータリヘッド１
４６を回転させてナット１０８をねじ１５に締結する。
この時、ブレードアセンブリ１０２は、チャック装置１
２４の回り止め用ピン１１４、１１４によって回り止め
されているので、スピンドル１１に確実に締結される。
ブレードアセンブリ１０２の締結後、チャック装置１２
４をスピンドル１１から退避移動させる。以上で、新ブ
レードアセンブリ１０２の取り付け作業が終了する。Next, the chuck device 124 is moved toward the spindle shaft 11 so that each of the claws 110 formed on the flange 106 of the blade assembly 102 is
Fit into each groove 14A on one side. After the pins 118, 118 protruding from the rotary head 146 are inserted into the holes 116, 116,... Of the nut 108 of the blade assembly 102, the chuck members 120, 120, 120 are retracted and moved away from each other. 1
02 is released. And the rotary head 1
The nut 108 is fastened to the screw 15 by rotating 46.
At this time, the blade assembly 102 is
Since the rotation is prevented by the 24 rotation preventing pins 114, 114, it is securely fastened to the spindle 11.
After fastening the blade assembly 102, the chuck device 12
4 is retracted from the spindle 11. With the above, the mounting operation of the new blade assembly 102 is completed.
【００４５】なお、新ブレードアセンブリ１０２を取り
付けた後には、新ブレードアセンブリ１０２をスピンド
ル１１で回転させて、ブレードアセンブリ１０２の振動
状態を振動計８１で検出する。この時、振動計８１で検
出した振動が所定以上の場合には、前記新ブレードアセ
ンブリ１０２をスピンドル１１から取り外し、スピンド
ル１１に対する取り付け位置を変更して再度取り付け
る。前記ブレードアセンブリ１０２では、４通りの取り
付け位置を選択することができる。After attaching the new blade assembly 102, the new blade assembly 102 is rotated by the spindle 11, and the vibration state of the blade assembly 102 is detected by the vibrometer 81. At this time, when the vibration detected by the vibrometer 81 is equal to or more than a predetermined value, the new blade assembly 102 is detached from the spindle 11, and the new blade assembly 102 is attached to the spindle 11 after being changed in position. In the blade assembly 102, four mounting positions can be selected.
【００４６】以上説明したように、前記ブレードアセン
ブリ着脱装置１００によれば、チャック部材１２０によ
ってブレードアセンブリ１０２を挟圧保持したので、ブ
レードアセンブリ１０２を安定して保持することができ
る。また、前記ブレードアセンブリ着脱装置１００によ
れば、ブレードアセンブリ１０２のハブ１８を前記チャ
ック部材１２０で挟圧保持したので、チャック部材１２
０でブレード本体１７の刃を傷付けることなくブレード
アセンブリ１０２を保持することができる。As described above, according to the blade assembly attaching / detaching apparatus 100, the blade assembly 102 is held by the chuck member 120 so that the blade assembly 102 can be stably held. Further, according to the blade assembly attaching / detaching apparatus 100, since the hub 18 of the blade assembly 102 is held by the chuck member 120 under pressure, the chuck member 12
At 0, the blade assembly 102 can be held without damaging the blade of the blade body 17.
【００４７】更に、前記ブレードアセンブリ着脱装置１
００によれば、カムリング１３２のカム溝１３４にカム
従動子１３０を介してチャック部材１２０を取り付け、
このカムリング１３２をエアシリンダで駆動して、チャ
ック部材１２０をカム溝１３４とガイド板の直進溝１２
８とに案内させて進退移動させるようにしたので、３個
のチャック部材１２０、１２０、１２０を円滑に連動さ
せることができる。なお、チャック部材１２０の個数
は、３個に限定されるものではないが、ブレードアセン
ブリ１０２を確実に、且つ安全に保持する観点から３つ
以上設けることが好ましい。Further, the blade assembly attaching / detaching device 1
According to 00, the chuck member 120 is attached to the cam groove 134 of the cam ring 132 via the cam follower 130,
The cam ring 132 is driven by an air cylinder to move the chuck member 120 to the cam groove 134 and the straight groove 12 of the guide plate.
8, the three chuck members 120, 120, 120 can be smoothly interlocked. The number of the chuck members 120 is not limited to three, but it is preferable to provide three or more from the viewpoint of securely and safely holding the blade assembly 102.
【００４８】また、本実施の形態では、３本のチャック
部材１２０を連動させてブレードアセンブリ１０２を挟
圧保持するようにしたが、これに限られるものではな
く、３本のチャック部材１２０のうち少なくとも１つの
チャック部材１２０を他のチャック部材１２０、１２０
に対して進退移動させて、結果的に３本のチャック部材
１２０、１２０、１２０によってブレードを挟圧保持し
ても良い。Further, in the present embodiment, the three chuck members 120 are interlocked to hold the blade assembly 102 under pressure. However, the present invention is not limited to this. At least one chuck member 120 is connected to another chuck member 120, 120.
, And as a result, the blade may be clamped and held by the three chuck members 120, 120, 120.
【００４９】また、図４に示したブレードアセンブリ着
脱装置において、バキュームチャックの代わりに、図６
に示したブレードアセンブリ着脱装置１００のチャック
部材１２０を適用しても良い。Further, in the blade assembly attaching / detaching apparatus shown in FIG. 4, instead of the vacuum chuck, FIG.
The chuck member 120 of the blade assembly attaching / detaching apparatus 100 shown in FIG.
【００５０】[0050]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
現在広く使用されているブレードをそのまま使用できる
ブレードの自動交換システムが、簡単な構成で実現でき
る。従って、低コストでブレードの自動交換システムが
実現できる。また、本発明によれば、ブレード吸着手段
に複数のチャック部材を設け、これらのチャック部材で
ブレードを挟圧保持したので、ブレードを安定して保持
することができる。As described above, according to the present invention,
An automatic blade replacement system that can use blades that are currently widely used can be realized with a simple configuration. Therefore, an automatic blade replacement system can be realized at low cost. Further, according to the present invention, a plurality of chuck members are provided on the blade suction means, and the blade is held by the chuck members, so that the blade can be stably held.
【図１】ダイシング装置の従来のブレード取り付け機構
を示す図FIG. 1 is a diagram showing a conventional blade mounting mechanism of a dicing apparatus.
【図２】本発明の実施の形態のブレード自動交換システ
ムの全体構成図FIG. 2 is an overall configuration diagram of an automatic blade replacement system according to an embodiment of the present invention.
【図３】第１の実施の形態のブレードアセンブリの構成
を示す図FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of a blade assembly according to the first embodiment;
【図４】本発明の第１の実施の形態のブレードアセンブ
リ着脱装置を示す図FIG. 4 is a view showing a blade assembly attaching / detaching apparatus according to the first embodiment of the present invention;
【図５】本発明の実施の形態のブレード収容機構を示す
図FIG. 5 is a diagram showing a blade accommodating mechanism according to the embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第２の実施の形態のブレードアセンブ
リ着脱装置を示す斜視図FIG. 6 is a perspective view showing a blade assembly attaching / detaching apparatus according to a second embodiment of the present invention.
【図７】第２の実施の形態のブレードアセンブリの構成
を示す図FIG. 7 is a diagram illustrating a configuration of a blade assembly according to a second embodiment;
【図８】図６に示したブレードアセンブリ着脱装置の要
部断面図FIG. 8 is a sectional view of a main part of the blade assembly attaching / detaching apparatus shown in FIG. 6;
【図９】図６に示したブレードアセンブリ着脱装置の９
−９線に沿う断面図FIG. 9 shows the blade assembly attaching / detaching device 9 shown in FIG. 6;
Sectional view along line -9
【図１０】チャック部材の移動機構の構造を示す説明図FIG. 10 is an explanatory view showing the structure of a chuck member moving mechanism.
１１…スピンドル １３…台座 １４…はめ合い部 １５…ねじ １７…ブレード １８…ハブ ３１…補助止め部材 ３４…ねじ ４１、４２…着脱保持部材 １００…ブレードアセンブリ着脱装置 １０２…ブレードアセンブリ １２０…チャック部材 １２２、１２４…チャック装置 １３０…カム従動子 １３２…カムリング １３４…カム溝 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Spindle 13 ... Pedestal 14 ... Fitting part 15 ... Screw 17 ... Blade 18 ... Hub 31 ... Auxiliary stop member 34 ... Screw 41, 42 ... Detachable holding member 100 ... Blade assembly attaching / detaching device 102 ... Blade assembly 120 ... Chuck member 122 , 124: chuck device 130: cam follower 132: cam ring 134: cam groove
Claims (7)
回転させて溝加工を行うダイシング装置の前記ブレード
を自動交換するブレード自動交換システムであって、 前記ブレードには、前記スピンドル軸に設けられたねじ
とねじ合わされるねじを有する補助止め部材が固定さ
れ、該補助止め部材が固定された前記ブレードを保持
し、該ブレードを前記スピンドル軸に付勢した状態で、
前記ブレードを前記スピンドル軸に対して相対的に回転
させるブレード着脱手段と、 交換する前記ブレードを収容するブレード収容手段と、 前記ブレード着脱手段を前記スピンドル軸の先端と前記
ブレード収容手段の間で移動させる移動手段とを備え、 前記ブレード着脱手段は２個設けられており、一方は取
り付けるブレードを保持し、他方は取り外したブレード
を保持することを特徴とするブレード自動交換システ
ム。1. A blade automatic exchange system for automatically exchanging said blades of a dicing apparatus for performing groove processing by rotating a blade attached to a spindle axis at a high speed, wherein said blade has a screw provided on said spindle axis. An auxiliary stop member having a screw that is screwed into is fixed, the auxiliary stop member holds the fixed blade, and in a state where the blade is urged to the spindle shaft,
Blade attaching / detaching means for rotating the blade relative to the spindle shaft; blade accommodating means for accommodating the blade to be replaced; moving the blade attaching / detaching means between the tip of the spindle shaft and the blade accommodating means A moving means for moving the blade, wherein two blade attaching / detaching means are provided, one holding a blade to be attached, and the other holding a removed blade.
回転させて溝加工を行うダイシング装置の前記ブレード
を自動交換するブレード自動交換システムであって、 前記ブレードには、前記スピンドル軸に係合して該スピ
ンドル軸にブレードを位置決めする位置決め部材と、該
位置決め部材を介して前記ブレードをスピンドル軸に締
結するナット部材とから成る補助止め部材が固定され、
該補助止め部材が固定された前記ブレードを保持し、該
ブレードを前記位置決め部材を介してスピンドル軸に係
合した状態で、前記ナット部材を前記スピンドル軸に対
して回転させるブレード着脱手段と、 交換する前記ブレードを収容するブレード収容手段と、 前記ブレード着脱手段を前記スピンドル軸の先端と前記
ブレード収容手段の間で移動させる移動手段とを備え、 前記ブレード着脱手段は２個設けられており、一方は取
り付けるブレードを保持し、他方は取り外したブレード
を保持することを特徴とするブレード自動交換システ
ム。2. A blade automatic exchange system for automatically exchanging said blades of a dicing apparatus for performing groove processing by rotating a blade attached to a spindle shaft at a high speed, said blade being engaged with said spindle shaft. A positioning member for positioning the blade on the spindle shaft, and an auxiliary stopper member including a nut member for fastening the blade to the spindle shaft via the positioning member are fixed,
Blade attaching / detaching means for holding the blade to which the auxiliary stopper member is fixed and rotating the nut member with respect to the spindle shaft while the blade is engaged with the spindle shaft via the positioning member; A blade accommodating means for accommodating the blade to be moved, and a moving means for moving the blade attaching / detaching means between the tip of the spindle shaft and the blade accommodating means, wherein two blade attaching / detaching means are provided. An automatic blade replacement system, wherein a blade holds a blade to be installed and the other holds a blade removed.
部材と、該複数のチャック部材のうち少なくとも１つの
チャック部材を他のチャック部材に対して進退移動させ
る駆動手段とを有し、 前記駆動手段で前記チャック部材を進出移動させること
により、複数のチャック部材によって前記ブレードを挟
圧保持すると共に、前記駆動手段で前記チャック部材を
退避移動させることにより、前記ブレードの挟圧保持を
解除することを特徴とする請求項１、又は２記載のブレ
ード自動交換システム。3. The blade attaching / detaching means includes: a plurality of chuck members; and a driving means for moving at least one of the plurality of chuck members with respect to another chuck member. By moving the chuck member in and out, the blade is squeezed and held by a plurality of chuck members, and the chucking and holding of the blade is released by retracting the chuck member by the driving means. The automatic blade replacement system according to claim 1 or 2, wherein
に同心円周上に配置された複数のチャック部材と、該複
数のチャック部材を前記円周の中心に対して進退移動さ
せる駆動手段とを有し、 前記駆動手段で前記複数のチャック部材を進出移動させ
ることにより、複数のチャック部材によって前記ブレー
ドを挟圧保持すると共に、前記駆動手段で前記複数のチ
ャック部材を退避移動させることにより、前記ブレード
の挟圧保持を解除することを特徴とする請求項１、又は
２記載のブレード自動交換システム。4. The blade attaching / detaching means includes: a main body; a plurality of chuck members disposed concentrically on the main body; and a driving means for moving the plurality of chuck members forward and backward with respect to the center of the circumference. By moving the plurality of chuck members advancing and moving by the driving means, the blade is held and held by a plurality of chuck members, and the plurality of chuck members are retracted and moved by the driving means, The blade automatic exchange system according to claim 1 or 2, wherein the holding of the blade is released.
ド本体と、該ブレード本体が固定されると共に環状に形
成されたハブとから構成され、該ハブが前記ブレード着
脱手段の前記複数のチャック部材で挟圧保持されること
を特徴とする請求項３、又は４記載のブレード自動交換
システム。5. The blade comprises an annular blade body and an annular hub to which the blade body is fixed and wherein the hub is a plurality of chuck members of the blade attaching / detaching means. The blade automatic exchange system according to claim 3, wherein the blade is held by a pressure.
複数のチャック部材に各々設けられたカム従動子と、 該複数のチャック部材を前記円周の中心に対して進退移
動可能に案内するガイド部材と、 前記カム部材を移動させて前記複数のチャック部材を前
記カム溝と前記ガイド部材とで案内させて進退移動させ
るカム駆動部と、 から成ることを特徴とする請求項４記載のブレード自動
交換システム。6. The driving means of the blade attachment / detachment means includes: a cam member having a plurality of cam grooves formed therein; and a plurality of cam members engaged with the plurality of cam grooves and provided on the plurality of chuck members, respectively. A cam follower, a guide member for guiding the plurality of chuck members so as to be able to advance and retreat with respect to the center of the circumference, and moving the cam member to move the plurality of chuck members to the cam groove and the guide. The blade automatic exchange system according to claim 4, further comprising: a cam drive unit configured to be guided by a member to move forward and backward.
手段を支持する支持本体部にフローティング支持手段を
介してフローティング支持されていることを特徴とする
請求項１、又は２記載のブレード自動交換システム。7. The automatic blade replacement system according to claim 1, wherein said blade attaching / detaching means is floatingly supported via a floating supporting means on a supporting body portion supporting said blade attaching / detaching means. .
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