JPH11328670A

JPH11328670A - 磁気ディスクの検査装置及び検査方法

Info

Publication number: JPH11328670A
Application number: JP13897398A
Authority: JP
Inventors: Shoji Tanaka; 彰二田中; Satoshi Tanaka; 聡田中
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1998-05-20
Filing date: 1998-05-20
Publication date: 1999-11-30

Abstract

(57)【要約】【課題】磁気ディスクの突起検査と欠陥検査とを並行
して行うことができる磁気ディスクの検査装置及び検査
方法を提供する。【解決手段】この磁気ディスクの検査装置は、磁気デ
ィスクに検査用の信号を記録するインダクティブ型磁気
ヘッドと、上記磁気ディスクに記録された検査用の信号
を再生する磁気抵抗効果型磁気ヘッドと、上記磁気抵抗
効果型磁気ヘッドで再生された信号を所定の周波数より
も高周波数域の信号成分と低周波数域の信号成分とに分
離するフィルタとを備え、上記フィルタで分離された信
号成分のうち、一方の信号成分によって上記磁気ディス
クの表面の突起を検出し、他方の信号成分によって上記
磁気ディスクからの再生信号に発生するエラーを検出す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスクの検
査装置及び検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスクは、ディスク状の非磁性基
板上に磁性層を形成することにより作製される。そし
て、作製された磁気ディスクに対して様々な検査を行
い、規格を満たしていないものや欠陥のあるものを不良
品として取り除くことにより、製品としての磁気ディス
クが完成する。

【０００３】磁気ディスクに対して行われる検査として
は、例えば、ディスク上の微細な傷等の欠陥によって再
生信号に発生するエラーの検査（サーティファイ）や、
磁気ディスクの表面に存在する突起の検査（グライドチ
ェック）等が挙げられる。

【０００４】サーティファイにおいては、検査用の信号
を実際に磁気ディスクに記録し、その信号を再生して、
エラーの発生から磁気ディスクの欠陥を見つける方法が
用いられている。

【０００５】また、グライドチェックでは、磁気ディス
クの表面に所定の大きさ以上の突起が存在するかどうか
を検査する。磁気ディスクを、浮上型磁気ヘッドを搭載
した磁気ディスク装置に用いる場合、磁気ディスクの表
面に大きな突起があると、磁気ヘッドが磁気ディスク上
で安定に浮上しないばかりか、磁気ヘッドと突起とが衝
突して磁気ディスク装置の耐久性を悪化させてしまう。
そのため、磁気ディスク表面の突起の高さがある所定の
値以下であることを保証する必要がある。

【０００６】従来は、圧電素子を搭載した浮上ヘッドを
磁気ディスク上で浮上させ、圧電素子と突起との衝突に
より生じる電気信号を検出することにより突起を検出し
ていた。

【０００７】しかし、圧電素子を浮上ヘッドに取り付け
る際の取り付け誤差により、浮上ヘッドの浮上量が不安
定となって測定精度が低下することがある。また、圧電
素子は、突起と衝突した際の感度のばらつきが大きく、
そのために信頼性の高い検査ができないという欠点があ
る。

【０００８】また、近年の高記録密度化により、磁気ヘ
ッドの浮上量は年々減少している。そして、磁気ディス
クにおいても高精度の表面加工が要求され、磁気ディス
クの表面に存在する突起は減少し、その大きさも小さく
なっている。そのため、圧電素子を用いた検出では、高
精度な検出は困難になってきている。

【０００９】これに対処するために、磁気抵抗効果素子
（以下、ＭＲ素子と称する。）を搭載した磁気抵抗効果
型磁気ヘッド（以下、ＭＲヘッドと称する。）のサーマ
ルアスペリティ（Thermal Asperity）と呼ばれる現象を
用いて突起を検出する手法の検討が進んでいる。これ
は、ＭＲヘッドと突起とが衝突する際に発生する熱がＭ
Ｒ素子の電気抵抗を変化させることにより、ＭＲヘッド
の出力が変化することを利用したものである。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかし、ＭＲヘッドの
サーマルアスペリティのような熱的な現象を使うために
は、熱的な変化が高感度にヘッド出力の変化となって現
れなければならない。通常、センサとなるヘッドの感度
を高めるためには、ヘッドの大きさ、すなわち、磁気デ
ィスクとの対向面の面積を小さくすることが必要とな
る。ヘッドの大きさが小さくなると、突起検査にかかる
時間はその分だけ長くなってしまう。

【００１１】また、磁気ディスクに対して行う検査は、
複数の検査項目についてそれぞれ専用の検査装置を用い
て別個に行っていたため、検査に要するコストや時間、
装置を設置するためのスペース等を大きくする要因とな
っていた。

【００１２】例えば、磁気ディスクに対してまず突起検
査を行い、突起検査を通過した磁気ディスクに対して欠
陥検査を行っていた。そのため、突起検査は通過して
も、欠陥検査で不良と判別される場合が生じ、検査が二
度手間となっていた。このような場合、突起検査にかけ
た時間や労力が無駄になってしまう。

【００１３】本発明は、上述したような従来の実情に鑑
みて提案されたものであり、磁気ディスクの突起検査と
欠陥検査とを並行して行うことができる磁気ディスクの
検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ディスクの
検査装置は、磁気ディスクに検査用の信号を記録するイ
ンダクティブ型磁気ヘッドと、上記磁気ディスクに記録
された検査用の信号を再生する磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドと、上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドで再生された信号
を所定の周波数よりも高周波数域の信号成分と低周波数
域の信号成分とに分離するフィルタとを備える。そし
て、この磁気ディスクの検査装置は、上記インダクティ
ブ型磁気ヘッドによって上記磁気ディスクに検査用の信
号を記録し、上記磁気ディスクに記録された検査用の信
号を、上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドで再生し、上記磁
気抵抗効果型磁気ヘッドで再生された信号を、上記フィ
ルタによって所定の周波数よりも低周波数の第１の信号
成分と上記所定の周波数よりも高周波数の第２の信号成
分とに分離し、上記フィルタで分離された信号成分のう
ち、一方の信号成分によって上記磁気ディスクの表面の
突起を検出し、他方の信号成分によって上記磁気ディス
クからの再生信号に発生するエラーを検出することを特
徴とする。

【００１５】上述したような本発明に係る磁気ディスク
の検査装置では、上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドで再生
された信号を、フィルタによって所定の周波数よりも低
周波数の第１の信号成分と上記所定の周波数よりも高周
波数の第２の信号成分とに分離しているので、それぞれ
の信号成分について別個に検出を行うことが可能とな
る。また、磁気ディスクの検査装置では、上記フィルタ
で分離された信号成分のうち、一方の信号成分によって
上記磁気ディスクの表面の突起を検出し、他方の信号成
分によって上記磁気ディスクの欠陥を検出するので、磁
気ディスクに対する突起の検出と信号エラーの検出とが
並行して行われ、検査時間が短縮される。

【００１６】本発明の磁気ディスクの検査方法は、イン
ダクティブ型磁気ヘッドによって磁気ディスクに検査用
の信号を記録する信号記録工程と、上記信号記録工程で
上記磁気ディスクに記録された検査用の信号を、磁気抵
抗効果型磁気ヘッドによって再生する信号再生工程と、
上記信号再生工程で再生された信号を、フィルタによっ
て所定の周波数よりも低周波数の第１の信号成分と上記
所定の周波数よりも高周波数の第２の信号成分とに分離
する信号分離工程と、上記信号分離工程で分離された信
号成分のうち、一方の信号成分から上記磁気ディスクの
表面の突起を検出し、他方の信号成分から上記磁気ディ
スクからの再生信号に発生するエラーを検出する検出工
程とを備えることを特徴とする。

【００１７】上述したような本発明に係る磁気ディスク
の検査方法では、上記信号分離工程で、信号を上記フィ
ルタによって所定の周波数よりも低周波数の第１の信号
成分と上記所定の周波数よりも高周波域の第２の信号成
分とに分離しているので、それぞれの信号成分について
別個に検出を行うことが可能となる。また、この磁気デ
ィスクの検査方法では、上記検査工程で、一方の信号成
分によって上記磁気ディスクの表面の突起を検出し、他
方の信号成分によって上記磁気ディスクからの再生信号
に発生するエラーを検出するので、磁気ディスクに対す
る突起の検出と信号エラーの検出とが並行して行われ、
検査時間が短縮される。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。

【００１９】図１は、本発明の磁気ディスクの検査装置
（以下、単に検査装置と称する。）の一構成例を概念的
に示した図である。この検査装置１は、磁気ディスク２
に対して検査を行うものであり、バニッシュヘッド３
と、検査用センサ４と、増幅器５と、フィルタ６と、突
起検出回路７と、欠陥検出回路８とを備える。

【００２０】磁気ディスク２は、ディスク状の非磁性基
板上に磁性層が形成されてなる。また、この磁気ディス
ク２は、表面に潤滑剤が塗布されていてもよい。また、
磁気ディスク２の表面はヘッドが浮上できる程度に平滑
にされている。

【００２１】バニッシュヘッド３は、磁気ディスク２の
表面に付着したごみ等を除去するためのヘッドである。
磁気ディスク２の表面にごみが付着したまま検査を行う
と、このごみが磁気ディスク２の欠陥として検出され、
検査が正確に行われないおそれがある。また、このごみ
により検査用センサ４が目詰まり等を起こし、検査装置
１の耐久性を悪化させてしまう。

【００２２】検査用センサ４は、図２に模式的に示され
るように、インダクティブ型磁気ヘッド９とＭＲヘッド
１０とが一体に形成されてなる。なお、図２では、検査
用センサ４を、磁気ディスク２との対向面から見た図を
示している。

【００２３】インダクティブ型磁気ヘッド９は、一対の
磁気コア１１が磁気ギャップ１２を介して対向するよう
に形成されてなる記録用の磁気ヘッドであり、検査用の
信号を磁気ディスク２に記録する。また、ＭＲヘッド１
０は、ＭＲ素子１３が非磁性体１４を介して一対の磁性
体１５に挟持されてなる再生用の磁気ヘッドであり、イ
ンダクティブ型磁気ヘッド９によって磁気ディスク２に
記録された検査用の信号を再生する。これらの磁気ヘッ
ドは、必要なトラックピッチに応じて決定すればよく、
例えば、ヘッドトラック幅を２．５μｍとする。

【００２４】この検査用センサ４は、図３に示すよう
に、スライダ１６に取り付けられて、磁気ディスク２上
を所定の浮上量ｔ₁で浮上して、検査用信号の記録又は
再生を行う。この検査用センサ４の浮上量ｔ₁は、磁気
ディスク２の表面に存在する突起１７の大きさｔ₂とし
て許容される値程度とする。具体的には、検査用センサ
４の浮上量ｔ₁を、例えば３８ｎｍ程度とする。

【００２５】ここで、ＭＲヘッド１０によって検査用の
信号を再生する際に、磁気ディスク２の表面に、ＭＲヘ
ッド１０の浮上量、すなわち、検査用センサ４の浮上量
ｔ₁よりも大きな突起１７が存在すると、この突起１７
とＭＲヘッド１０とが衝突することななる。ＭＲヘッド
１０と突起１７とが衝突すると、衝突により熱が発生す
る。そして、この衝突時の熱の影響により、ＭＲヘッド
１０の温度（以下、ヘッド温度と称する。）に変動が生
じる。一般に、ＭＲヘッド１０に搭載されているＭＲ素
子１３は温度依存性を有しており、ヘッド温度が変動す
ると、再生出力にノイズが現れる。そして、このような
ヘッド温度の変動に依存するノイズは、サーマルアスペ
リティと称されている。

【００２６】この検査装置１では、ＭＲヘッド１０で再
生された信号のエラーから磁気ディスク２の欠陥を検査
するとともに、当該信号からＭＲヘッド１０のサーマル
アスペリティを検出することにより、磁気ディスク２の
表面に所定の大きさ以上の突起が存在するかどうかを検
査する。

【００２７】増幅器５は、ＭＲヘッド１０によって再生
された信号１８を増幅して所定のレベルとする。

【００２８】フィルタ６は、ＭＲヘッド１０によって再
生され、増幅器５で増幅された信号１８を、ある所定の
周波数よりも高周波数の信号成分と、低周波数の信号成
分との２つの成分に分離する。

【００２９】ＭＲヘッド１０と突起との衝突によるサー
マルアスペリティに起因する信号の帯域は狭く低い。こ
れは、ヘッド温度の変動が低周波の変動であるからであ
る。一方、欠陥検出に使う信号には、線記録密度で１０
０Ｋｆｃｉ以上の信号が用いられる。このとき、ディス
ク回転数によっても変化するが、数十ＭＨｚ以上と極め
て高い信号周波数となる。

【００３０】従って、ＭＲヘッド１０からの再生信号１
８を、フィルタ６によって所定の周波数で分離すること
により、ＭＲヘッド１０からの再生信号を、周波数が比
較的低い突起検出用信号１８ａと、周波数が比較的高い
欠陥検出用信号１８ｂとに分離して別々の回路系に導き
処理させることができる。そのため、このフィルタ６の
カットオフ周波数は、サーマルアスペリティの上限周波
数程度であって、検査用の信号帯域の下限周波数以下と
することが必要となる。

【００３１】図４及び図５に、ＭＲヘッドと突起との衝
突による信号と、そのスペクトラムとを示す。ここで、
図４が、ＭＲヘッドと突起との衝突による信号であり、
図５が、図４に示すＭＲヘッドと突起との衝突による信
号のスペクトラムである。図５から、ＭＲヘッドと突起
との衝突によるサーマルアスペリティに起因する信号の
帯域は狭く低く、概ね１００ｋＨｚ〜３００ｋＨｚ程度
以下の周波数帯域に集中していることがわかる。

【００３２】一方、磁気ディスク２の欠陥の検出におい
て、例えば１００Ｋｆｃｉ程度の線密度の信号を用い
て、１００ｂｉｔ長（２５μｍ）程度のエラーまでを検
出する場合、線速度を１５ｍ／秒とすると、周波数は３
０ＭＨｚとなる。１００ｂｉｔ長は５０波長相当である
ので、周波数としては１／５０となり、６００ｋＨｚ程
度の信号周波数となる。

【００３３】従って、フィルタ６のカットオフ周波数
は、ＭＲヘッド１０と磁気ディスク２との相対速度等に
も依存するが、多くの場合、３００ｋＨｚ〜６００ｋＨ
ｚ程度することが好ましい。フィルタ６のカットオフ周
波数を３００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚ程度とすることで、
突起検出用信号１８ａと欠陥検出用信号１８ｂとを、そ
れらの波形を損なうことなく分離することができる。具
体的には、カットオフ周波数を、例えば５００ｋＨｚと
する。

【００３４】このようなフィルタ６としては、例えば、
所定の周波数以下の周波数の信号を通過させるローパス
フィルタや、所定の周波数以上の周波数の信号を通過さ
せるハイパスフィルタ等を組み合わせたものが挙げられ
る。

【００３５】突起検出回路７は、上記フィルタ６で分離
された突起検出用信号１８ａに対してレベル判定を行う
ことにより、磁気ディスク２の表面に所定の大きさ以上
の突起が存在するかどうかを検出する。

【００３６】磁気ディスク２面上が磁化されていなけれ
ば、ＭＲヘッド１０からは、図６に示すような、突起に
衝突した際に発生する熱に起因した出力電圧のみが得ら
れる。このような、熱的な変動に起因した出力電圧を検
出したときに突起が存在するとみなすことにより検査を
行うことができる。なお、磁気ディスク２に信号が記録
されている場合、このような図６で示した波形に信号波
形が重畳された形になる。

【００３７】欠陥検出回路８は、上記フィルタ６で分離
された欠陥検出用信号１８ｂに対して、エラーを計測す
るとともに、そのレベル判定を行うことにより、磁気デ
ィスク２の欠陥を検出する。このようなエラーとして
は、例えば、ビット単位で出力が低下するミッシングエ
ラー等が挙げられる。

【００３８】上述したような検査装置１を用いて磁気デ
ィスク２の検査を行うには、まず、図示しないハンドリ
ング装置等により、磁気ディスク２を検査装置１に供給
する。次に、バニッシュヘッド３を用いてバニッシュ動
作を行い、磁気ディスク２の表面に付着したごみ等を除
去する。

【００３９】次に、検査用センサ４を、磁気ディスク２
の所定の半径位置にロードして検査を開始する。磁気デ
ィスク２の検査を行うには、まず、インダクティブ型磁
気ヘッド９により、磁気ディスク２に検査用の信号を記
録する。この検査用の信号には、例えば、線記録密度で
１００Ｋｆｃｉ以上の信号を用いる。検査用の信号とし
て線記録密度で１００Ｋｆｃｉ以上の信号を用いた場
合、ディスク回転数によっても変化するが、数十ＭＨｚ
以上の信号周波数となる。

【００４０】次に、インダクティブ型磁気ヘッド９によ
って記録された検査用の信号を、ＭＲヘッド１０によっ
て再生する。このとき、図３に示すように、ＭＲヘッド
１０を有する検査用センサ４は、スライダ１６に搭載さ
れて、磁気ディスク２上を所定の浮上量ｔ₁をもって浮
上している。この検査用センサ４の浮上量ｔ₁を、許容
される突起１７の高さｔ₂程度に設定しておく。具体的
には、検査用センサ４の浮上量ｔ₁は、例えば３８ｎｍ
程度とする。ＭＲヘッド１０で再生された信号１８は、
増幅器５によって増幅されて所定の信号レベルにされた
後、フィルタ６に入力される。

【００４１】フィルタ６に入力された信号は、フィルタ
６によって所定の周波数よりも低周波域の突起検出用信
号１８ａと、上記所定の周波数よりも高周波域の欠陥検
出用信号１８ｂとに分離される。このとき、フィルタ６
のカットオフ周波数は３００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚ程度
とする。フィルタ６のカットオフ周波数を３００ｋＨｚ
〜６００ｋＨｚ程度とすることで、突起検出用信号１８
ａと欠陥検出用信号１８ｂとを、それらの波形を損なう
ことなく分離することができる。具体的には、フィルタ
６のカットオフ周波数を、例えば５００ｋＨｚ程度とす
る。

【００４２】ＭＲヘッド１０で再生された信号１８の一
例を図７に示す。この信号１８をフィルタ６で分離する
ことにより、図８に示されるような突起検出用信号１８
ａと、図９に示されるような欠陥検出用信号１８ｂとに
分離される。このように、周波数の弁別を行うことによ
り、突起検出用信号１８ａと欠陥検出用信号１８ｂ離し
て、別々の回路系に導き処理させることが可能である。

【００４３】フィルタ６によって弁別された突起検出用
信号１８ａは突起検出回路７に送られ、欠陥検出用信号
１８ｂは欠陥検出回路８にそれぞれ送られる。これらの
突起検出回路７と欠陥検出回路８とは各々独立した回路
を構成している。これにより、突起検出と欠陥検出との
２種類の検査を並行して行うことができる。

【００４４】突起検出回路７に送られた突起検出用信号
１８ａは、突起検出回路７によってレベル判定が行われ
る。突起検出用信号１８ａからは、図８示すように突起
に衝突した際に発生する熱的な変動に起因した出力電圧
が得られている。このような、熱的な変動に起因した出
力電圧を検出したときに突起が存在するとみなすことに
より検査を行うことができる。そして、この電圧をある
基準値と比較することにより突起の有無及び突起の大き
さを判断する。

【００４５】突起検出用信号１８ａのレベルを判定する
には、予め、高さが既知の突起を有するディスクについ
て突起検出用信号を測定しておき、得られた突起検出用
信号１８ａの信号電圧と、高さが既知の突起について行
った突起検出用信号の信号電圧とを比較することによ
り、突起の有無及び突起の大きさを知ることができる。
また、突起検出回路７は、入力された突起検出用信号１
８ａに対して、フィルタをかけたり、増幅器を通すなど
の処理を必要に応じて行ってもよい。

【００４６】欠陥検出回路８に送られた欠陥検出用信号
１８ｂは、欠陥検出回路８によってレベル判定及びエラ
ーの計測が行われる。エラーとしては、ビット単位で信
号振幅が低下する、いわゆるミッシングエラー等が計測
される。ミッシングエラーの検出には、例えば１００ｂ
ｉｔ長（１００Ｋｆｃｉの場合、２５μｍ）程度のエラ
ーまでを検出する。また、欠陥検出回路８は、入力され
た欠陥検出用信号１８ｂに対して、フィルタをかけた
り、増幅器を通すなどの処理を必要に応じて行ってもよ
い。

【００４７】磁気ディスク２に欠陥あるいは突起が検出
された場合、検査用の信号の周波数等を変えて同様に検
査を行う、いわゆるリトライを行う必要がある。

【００４８】このように、ＭＲヘッド１０とインダクテ
ィブ型磁気ヘッド９とを備えた検査装置１では、突起検
査と欠陥検査とを並行して行うことができる。そのた
め、検査時間を短縮することができる。

【００４９】従来は、突起検査と欠陥検査とを別個に行
っていた。例えば、磁気ディスクに対してまず突起検査
を行い、突起検査を通過した磁気ディスクに対して欠陥
検査を行っていた。そのため、突起検査は通過しても、
欠陥検査で不良と判別される場合が生じ、検査が二度手
間となっていた。

【００５０】この検査装置１では、突起検査と欠陥検査
とを並行して行うことで、どちらか一方の検査で不良と
判別された時点でその磁気ディスク２を取り除くこと
で、検査をより効率よく行うことができる。

【００５１】また、同時に検査を行う場合のもう一つの
利点としては、突起検査と欠陥検査におけるディスクの
回転時間を共有できることである。従来は、ある半径位
置でヘッドを固定し、そこで突起検査及び欠陥検査を行
い、検査が終了した後、隣接位置へセンサを動かして隣
接位置の検査を行っていた。この、隣接位置への移動に
要する時間を２つの検査で共有できるため、検査時間の
短縮を図ることができる。

【００５２】なお、上述した実施の形態では、検査用セ
ンサとして、インダクティブ型磁気ヘッドとＭＲヘッド
とが一体に形成されたヘッドを用いた場合を例に挙げて
説明したが、この検査装置１は、図１０に示すように、
インダクティブ型磁気ヘッド２０とＭＲヘッド２１とを
それぞれ別個に配してもよい。

【００５３】インダクティブ型磁気ヘッド２０とＭＲヘ
ッド２１とをそれぞれ別個に配した検査装置１を用いて
磁気ディスク２２の検査を行う場合にも同様に、まず、
バニッシュヘッド２３で磁気ディスク２２の表面のごみ
を除去した後、磁気ディスク２２に、インダクティブ型
磁気ヘッド２０で検査用の信号を記録する。そして、磁
気ディスク２２に記録された信号をＭＲヘッド２１で再
生し、その再生信号２４を増幅器２５で所定のレベルま
で増幅させた後、フィルタ２６で突起検査用信号２４ａ
と欠陥検査用信号２４ｂとに分離する。分離された突起
検査用信号２４ａと欠陥検査用信号２４ｂとを、突起検
査回路２７と欠陥検査回路２８とでそれぞれ処理するこ
とにより、磁気ディスク２２の突起及び欠陥を検査する
ことができる。

【００５４】

【発明の効果】本発明の磁気ディスクの検査装置では、
ＭＲヘッドで再生された信号を２つに分離して、一方の
信号で突起検査を行い、他方の信号で欠陥検査を行って
いるので、同一装置内で突起検査と欠陥検査とを並行し
て行うことができる。従って、本発明の磁気ディスクの
検査装置では、装置の占有スペースを低減することがで
きるとともに、検査時間を短縮することができる。

【００５５】本発明の磁気ディスクの検査方法では、Ｍ
Ｒヘッドで再生された信号を２つに分離して、一方の信
号で突起検査を行い、他方の信号で欠陥検査を行ってい
るので、突起検査と欠陥検査とを並行して行うことがで
きる。従って、本発明の磁気ディスクの検査方法では、
検査時間を短縮することができる。

【００５６】従って、本発明では、検査に要する時間や
コストを低減させることができ、磁気ディスクの生産効
率を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気ディスクの検査装置の一構成例を
概念的に示した図である。

【図２】図１の検査用センサの一構成例を磁気ディスク
との対向面側において模式的に示した図である。

【図３】検査用センサが磁気ディスク上を浮上している
様子を示した断面図である。

【図４】ＭＲヘッドと突起とが衝突した場合の信号の波
形を示した図である。

【図５】図４に示される信号のスペクトラムである。

【図６】ＭＲヘッドと突起とが衝突した場合の信号の波
形の一例を示した図である。

【図７】ＭＲヘッドからの再生信号の波形の一例を示し
た図である。

【図８】突起検出信号の波形の一例を示した図である。

【図９】欠陥検出信号の波形の一例を示した図である。

【図１０】本発明の磁気ディスクの検査装置の一構成例
を概念的に示した図である。

【符号の説明】

１検査装置、２磁気ディスク、３バニッシュ
ヘッド、４検査用センサ、５増幅器、６フ
ィルタ、７突起検出回路、８欠陥検出回路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気ディスクに検査用の信号を記録する
インダクティブ型磁気ヘッドと、上記磁気ディスクに記録された検査用の信号を再生する
磁気抵抗効果型磁気ヘッドと、上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドで再生された信号を所定
の周波数よりも低周波数の第１の信号成分と、上記所定
の周波数よりも高周波数の第２の信号成分とに分離する
フィルタとを備え、上記インダクティブ型磁気ヘッドによって上記磁気ディ
スクに検査用の信号を記録し、上記磁気ディスクに記録された検査用の信号を、上記磁
気抵抗効果型磁気ヘッドで再生し、上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドで再生された信号を、上
記フィルタによって所定の周波数よりも高周波域の信号
成分と低周波域の信号成分とに分離し、上記フィルタで
分離された信号成分のうち、一方の信号成分によって上
記磁気ディスクの表面の突起を検出し、他方の信号成分
によって上記磁気ディスクからの再生信号に発生するエ
ラーを検出することを特徴とする磁気ディスクの検査装
置。
【請求項２】上記インダクティブ型磁気ヘッドと上記
磁気抵抗効果型磁気ヘッドとが一体に形成されているこ
とを特徴とする請求項１記載の磁気ディスクの検査装
置。
【請求項３】上記所定の周波数は、３００ｋＨｚ〜６
００ｋＨｚの範囲内であることを特徴とする請求項１記
載の磁気ディスクの検査装置。
【請求項４】上記フィルタによって分離された信号成
分のうち、上記第１の信号成分によって上記磁気ディス
クの表面の突起を検出し、上記第２の信号成分によって
上記磁気ディスクからの再生信号に発生するエラーを検
出することを特徴とする請求項１記載の磁気ディスクの
検査装置。
【請求項５】インダクティブ型磁気ヘッドによって磁
気ディスクに検査用の信号を記録する信号記録工程と、上記信号記録工程で上記磁気ディスクに記録された検査
用の信号を、磁気抵抗効果型磁気ヘッドによって再生す
る信号再生工程と、上記信号再生工程で再生された信号を、フィルタによっ
て所定の周波数よりも低周波数の第１の信号成分と、上
記所定の周波数よりも高周波数の第２の信号成分とに分
離する信号分離工程と、上記信号分離工程で分離された信号成分のうち、一方の
信号成分によって上記磁気ディスクの表面の突起を検出
し、他方の信号成分によって上記磁気ディスクからの再
生信号に発生するエラーをを検出する検出工程とを備え
ることを特徴とする磁気ディスクの検査方法。
【請求項６】上記信号分離工程において、上記所定の
周波数は、３００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚの範囲内である
ことを特徴とする請求項５記載の磁気ディスクの検査方
法。
【請求項７】上記検出工程において、上記第１の信号
成分によって上記磁気ディスクの表面の突起を検出し、
上記第２の信号成分によって上記磁気ディスクからの再
生信号に発生するエラーを検出することを特徴とする請
求項５記載の磁気ディスクの検査方法。