JPH11320745A - 透明導電性フィルムおよびタッチパネル - Google Patents
透明導電性フィルムおよびタッチパネルInfo
- Publication number
- JPH11320745A JPH11320745A JP13303398A JP13303398A JPH11320745A JP H11320745 A JPH11320745 A JP H11320745A JP 13303398 A JP13303398 A JP 13303398A JP 13303398 A JP13303398 A JP 13303398A JP H11320745 A JPH11320745 A JP H11320745A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent conductive
- film
- thin film
- conductive thin
- transparent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Position Input By Displaying (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
Abstract
よびこのフィルムを用いたタッチパネル。 【解決手段】透明なプラスチックフィルム(11)の一
方の表面において、シリコンおよび/またはフッ素が原
子比で0.3%以下であり、この表面上に透明導電性薄膜
(12)を積層した透明導電性フィルム(1)であっ
て、かつ透明なプラスチックフィルム(11)と透明導
電性薄膜(12)との付着力が10g/15mm以上であること
を特徴とする透明導電性フィルム。
Description
ムを用いた透明導電性フィルムおよびこれを用いたタッ
チパネルに関するものであり、殊にタッチパネルに用い
た際の耐ペン入力性に優れたものである。
抗な化合物薄膜を形成した透明導電性フィルムは、その
導電性を利用した用途、例えば、液晶ディスプレイ、EL
ディスプレイといったフラットパネルディスプレイや、
タッチパネルの透明電極など電気、電子分野の用途に広
く使用される。
化すず、酸化インジウム、酸化インジウム・すず、酸化
亜鉛などが代表的なものであり、基板としては、ポリエ
チレンテレフタレートをはじめとする各種のプラスチッ
クフィルムをもちいる。
よる文字入力の機能を有するタッチパネルが要求される
ようになった。このため、ペン入力用タッチパネルに透
明導電性フィルムを用いた場合に、ペン入力により導電
性が劣化しないなどの耐久特性がもとめらている。
導電性フィルムは次のような課題を有していた。
ルムを用いた場合、スペーサーを介して対向させた一対
の導電性薄膜同士が、ペン入力による押圧で強く接触す
るため、薄膜にクラックや剥離が生じてしまい、電気抵
抗が増大したり、断線を生じたりするという問題点があ
った。
スチック上に透明導電性薄膜を形成し、粘着剤層で他の
透明基体と貼りあわせた透明導電性フィルム(特開平2
−66809公報)が提案されているが、ペン入力に対
する耐久性は十分ではない。また、粘着剤をもちいて貼
りあわせるため、貼りあわせ時にゴミなどの異物が混入
し、光学欠点の多い透明導電性フィルムとなってしま
う。
機ケイ素化合物の加水分解により生成された層を設け、
さらに透明導電性薄膜を積層した透明導電性フィルム
(特開昭60−131711)が提案されている。しか
しながら、この透明導電性フィルムは透明導電性薄膜を
製膜したのちに 150℃程度の熱処理が必要であるため、
結晶質の透明導電性薄膜となる。このため、タッチパネ
ル作製時の透明導電性薄膜のエッチング特性が極めて悪
く、タッチパネルの製造コストが高いものになる。
明なプラスチックフィルム上に透明導電性薄膜を形成し
た透明導電性フィルムにおいて、タッチパネルに用いた
際のペン入力耐久性を改良することを目的としている。
に鋭意検討した結果、透明なプラスチックフィルム(1
1)の一方の表面において、シリコンおよび/またはフ
ッ素が原子比で0.3%以下であり、この表面上に透明導電
性薄膜(12)を積層した透明導電性フィルム(1)で
あって、かつ透明なプラスチックフィルム(11)と透
明導電性薄膜(12)との付着力が10g/15mm以上である
ことを特徴とする透明導電性フィルムの発明に至った。
1)の一方の面にプライマー層として高分子樹脂層(1
4)を形成し、該高分子樹脂層(14)表面においてお
いてシリコンおよびフッ素が原子比で0.3%以下であり、
該高分子樹脂層(14)表面上に透明導電性薄膜(1
2)を積層した透明導電性フィルム(1)であって、か
つ高分子樹脂層(14)と透明導電性薄膜(12)との
付着力が10g/15mm以上であることを特徴とする透明導電
性フィルムに係るものである。また、透明なプラスチッ
クフィルム(11)の透明導電性薄膜(12)を形成し
た面とは反対の面にハードコート層(13)を形成した
ことを特徴とする透明導電性フィルムに係るものであ
る。さらに、ハードコート層(13)が防眩効果もしく
は低反射処理を施したことを特徴とした透明導電性フィ
ルムに係るものである。また、透明導電性フィルム
(1)の透明導電性薄膜(12)が非晶質であることを
特徴とした透明導電性フィルムに係るものである。
ル板を、透明導電性薄膜が対向するようにスペーサーを
介して配置してなるタッチパネルにおいて、少なくとも
一方のパネル板が上記に記載の透明導電性フィルムから
なることを特徴とするタッチパネルに係るものである。
クフィルム(11)とは、有機高分子を溶融押出し又は
溶液押出しをして、必要に応じ、長手方向、および、ま
たは、幅方向に延伸、冷却、熱固定を施したフィルムで
あり、有機高分子としては、ポリエチレン、ポリプロピ
レン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−
2、6−ナフタレート、ポリプロピレンテレフタレー
ト、ナイロン6、ナイロン4、ナイロン66、ナイロン
12、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルサ
ルファン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネ
ート、ポリアリレート、ポリアクリル、セルロースプロ
ピオネート、ポリ塩化ビニール、ポリ塩化ビニリデン、
ポリビニルアルコール、ポリエーテルイミド、ポリフェ
ニレンスルフィド、ポリフェニレンオキサイド、ポリス
チレン、シンジオタクチクポリスチレン、ノルボルネン
系ポリマーなどがあげられる。また、これらの(有機重
合体)有機高分子は他の有機重合体を少量共重合した
り、ブレンドしたりしてもよい。これらのうち、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリプロピレンテレフタレー
ト、ポリエチレン−2、6−ナフタレート、シンジオタ
クチクポリスチレン、ノルボルネン系ポリマーなどが、
最も好ましく用いられる。
ム(11)の厚みは、10μmを越え、300μmの範
囲にあることが好ましく、とくに好適には70〜260
μmの範囲にあるのがよい。10μm以下では機械的強
度が不足し、特にタッチパネルに用いた際のペン入力に
対する変形が大きくなり過ぎ、耐久性が十分でなくな
る。一方、300 μmを越えると、タッチパネルに用いた
際のペン入力時の荷重を大きくする必要があり、好まし
くない。
1)は、本発明の目的を損なわないかぎりにおいて、該
フィルムをコロナ放電処理、グロー放電処理などの表面
処理を施してもよい。
しては、透明性、及び、導電性をあわせもつ材料であれ
ば特に制限はないが、代表的なものとしては、酸化イン
ジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、インジウム−スズ複合酸
化物、スズ−アンチモン複合酸化物、亜鉛−アルミニウ
ム複合酸化物、インジウム−亜鉛複合酸化物等の薄膜が
ある。これらの化合物薄膜は、適当な作成条件とするこ
とで、透明性と導電性をあわせもつ透明導電性薄膜とな
ることが知られている。
40〜8000Åの範囲が望ましく、さらに望ましくは
50〜5000Åである。透明導電性薄膜(12)の膜
厚が40Åよりも薄い場合、連続した薄膜になりにくく
良好な導電性を示さない。また、8000Åよりも厚い
場合、透明性の低下をきたす。
作成方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、CV
D法、イオンプレーティング法、スプレー法などが知ら
れており、上記材料の種類および必要膜厚に応じて適宜
の方法を用いることが出来る。
用いた通常のスパッタリング法、あるいは、金属ターゲ
ットを用いた反応性スパッタリング法等が用いられる。
この時、反応性ガスとして、酸素、窒素、水蒸気等を導
入したり、オゾン添加、イオンアシスト等の手段を併用
してもよい。また、本発明の目的を損なわないかぎりに
おいて、基板に直流、交流、高周波などのバイアスを印
加してもよい。
ためには、基板であるプラスチックフィルムの製膜時の
温度を100℃以下にする必要がある。蒸着法、CVD 法
などの他の作成方法においても同様である。
において、ペン入力耐久性の向上には、透明なプラスチ
ックフィルム(11)と透明導電性薄膜(12)との付
着力を10g/15mm以上にする必要がある。このため
には、透明なプラスチックフィルム(11)の表面が、
シリコンおよびフッ素が原子比で0.3%以下であるような
清浄面に透明導電性薄膜(12)を製膜する必要があ
る。透明なプラスチックフィルム(1)は前述のような
有機高分子からなるなるので、表面にシリコンやフッ素
を含む物質が存在しないはずである。しかしながら、プ
ラスチックフィルムの製造工程におけるシリコンやフッ
素を含む物質との接触(金属ロール表面の汚染物質との
接触、ゴムロールとの接触など)や、後述するハードコ
ート層形成時のロール接触などによる汚染、さらに、ハ
ードコート層中に存在するシリコンやフッ素を含む物質
の転写により、透明プラスチックフィルム(11)表面
はシリコンやフッ素を含む物質で汚染させる。この汚染
された表面に透明導電性薄膜(12)を積層しても、十
分な付着力が得られず、ペン入力時に透明導電性薄膜
(12)にクラックや剥離が生じ、電気抵抗が増大した
り、断線を生じ、ペン入力耐久性が十分でない透明導電
性フィルム(1)となる。
1)と透明導電性薄膜(12)の付着力を10g/15
mm以上にするためには、透明なプラスチックフィルム
(11)の表面を洗浄し、シリコンおよびフッ素が原子
比で0.3%以下である表面にする必要がある。洗浄方法と
しては、洗剤や有機溶剤、酸・アルカリ性水溶液への浸
漬によるウエット工程による方法と、紫外線照射、プラ
ズマ処理、イオン照射等のドライ工程による方法があ
る。
は陰イオン系、陽イオン系、中性のものを用い、必要に
応じて、イオン系もしくは非イオン系の界面活性剤を添
加してもよい。さらに透明なプラスチックフィルム(1
1)を単に洗剤中に浸漬するだけでなく、超音波を印加
するなどの機械的手法を併用することでさらに洗浄度を
高めることが可能となる。また、アセトン、トリクロロ
エチレン、メチルアルコール、エチルアルコール、イソ
プロピルアルコールなどの有機溶剤を用いた洗浄方法に
おいても、単に浸漬するだけでも良いし、超音波を印加
するなどの機械的手法を併用する方法、有機溶剤の蒸気
を用いる方法などでもよい。
塩酸、硫酸、フッ酸、硝酸などの単独酸もしくは混酸で
ある。また、アルカリ性水溶液による洗浄に用いられる
アルカリは、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸
ナトリウム、水酸化カルシウムなどを単独もしくは混合
したものを用いる。また、酸・アルカリ性水溶液を洗剤
中に混合したものを用いることで、洗浄の効果をさらに
向上することが可能である。
った後に、汚れを落とすために用いた媒質を除去、乾燥
する。たとえば、純水を用いたリンスを十分に行い、透
明なプラスチックフィルムの引き上げに注意を払い、窒
素ブローなどで素早く乾燥させ、表面に純水の斑紋が残
らないようにする。
ちいて紫外線を照射し、透明なプラスチックフィルム
(11)上の汚染物を分解、除去してもよい。さらに、
真空中でイオンやプラズマを照射し、汚染物を分解、除
去する方法を用いても良い。
のための好ましいプライマー層として用いる高分子樹脂
層(14)は、透明なプラスチックフィルム(11)お
よび透明導電性薄膜(12)の双方に卓越した接着性質
を提供する。高分子樹脂層(14)としては、ポリエス
テル樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、ウレタンア
クリル樹脂、メラミン樹脂などが好ましい。
0.005 〜2μmの範囲が好ましく、さらに好ましくは0.
01〜1μmの範囲である。0.005 μmより薄い場合は連
続した膜になりにくいため透明導電性薄膜(12)の付
着力が不足し、2μmよりも厚い場合は、高分子樹脂層
(14)の凝集破壊が起りやすくなるため、やはり透明
導電性薄膜(12)の付着力が不足する。
ラスチックフィルム(11)上に積層するには、コーテ
ィング法を用いて積層する。コーティング法としては、
エアドクタコート法、ナイフコート法、ロッドコート
法、正回転ロールコート法、リバースロールコート法、
グラビアコート法、キスコート法、ビードコート法、ス
リットオリフェスコート法、キャストコート法などが用
いられる。架橋構造を付与する場合には、コーティング
後に加熱もしくは紫外線、電子線照射によりエネルギー
印加する。
1)として長手方向および幅方向に延伸、冷却、熱固定
を行ったフィルムを用いる場合には、高分子樹脂層(1
4)を二つの延伸段階の間、すなわち二軸延伸操作の長
手方向および幅方向への延伸の間で、コーティングする
方法を適用してもよい。このような延伸およびコーティ
ングの順序は特に、高分子樹脂層(14)を積層したポ
リエステルフィルムの製造に好ましい。好ましくは、ま
ず長手方向に、一連の回転ローラー上で延伸され、次に
硬化性高分子をコーティングし、そして最後に、テンタ
ーオーブン中で横方向に延伸され冷却、熱固定をおこな
う。さらに好ましくは、このあとにフィルムに加熱もし
くは紫外線、電子線照射によりエネルギー印加し硬化さ
せる。
に先立ち、本発明の目的を損なわないかぎりにおいて、
透明なプラスチックフィルム(11)をコロナ放電処
理、グロー放電処理などの表面処理を施してもよい。
ためには、先程と同様、高分子樹脂層(14)の表面を
洗浄し、シリコンおよび/またはフッ素が原子比で0.3%
以下である表面にする必要がある。洗浄方法としては、
洗剤や有機溶剤、酸・アルカリ性水溶液への浸漬による
ウエット工程による方法と、紫外線照射、プラズマ処
理、イオン照射等のドライ工程による方法がある。
子比で0.3%以下である透明なプラスチックフィルム(1
1)上もしくは高分子樹脂層(14)上に透明導電性薄
膜(12)を積層したものの付着力は極めて強くなり、
本発明の透明導電性フィルム(1)は極めてペン入力耐
久性に優れたものである。
電性薄膜(12)を設けた面の反対側の面に、タッチパ
ネルの用いた際のペンなどからの傷つき防止のために、
ハードコート処理層(13)を設けてもよい。このハー
ドコート処理層(13)としては、ポリエステル系樹
脂、ウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、メラミン系樹
脂、エポキシ系樹脂、シリコン系樹脂、ポリイミド系樹
脂などの硬化性樹脂を単体もしくは混合した架橋性樹脂
硬化物層が好ましい。
は、 0.1〜50μmの範囲が好ましく、さらに好ましく
は、 0.5〜30μmの範囲である。 0.1μmより薄い場合
は、ハードコート処理の機能が十分発現せず、50μmを
こえる厚さでは、樹脂コーティングの速度が著しく遅く
なり、生産性の面で好結果を得にくい。
法としては、透明導電性フィルム(1)の透明導電性薄
膜(15)を設けた面の反対側の面に、上記の樹脂をグ
ラビア方式、リバース方式、ダイ方式などでコーティン
グした後、熱、紫外線、電子線等のエネルギーを印加す
ることで、硬化させる。
に、ハードコート層(13)に、防眩効果を付与しても
良い。防眩効果を付与するには、硬化性樹脂をコーティ
ング、乾燥後にエンボスロールで表面に凹凸を形成し、
この後熱、紫外線、電子線等のエネルギーを印加するこ
とで、硬化させる。硬化性樹脂としては、ポリエステル
系樹脂、ウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、メラミン系
樹脂、エポキシ系樹脂、シリコン系樹脂、ポリイミド系
樹脂などの単体もしくは混合したものが好ましい。
の透過率をさらに向上させるためにハードコート層(1
3)上に、反射防止処理を施してもよい。この反射防止
処理は、ハードコート層(13)の屈折率とは異なる屈
折率を有する材料を単層もしくは2層以上の積層するの
が好ましい。単層構造の場合、ハードコート層(13)
よりも小さな屈折率を有する材料を用いるのがよい。ま
た、2層以上の多層構造とする場合は、ハードコート層
(13)と隣接する層は、ハードコート層(13)より
も大きな屈折率を有する材料を用い、この上の層にはこ
れよりも小さな屈折率を有する材料を選ぶのがよい。こ
のような反射防止処理を構成する材料としては、有機材
料でも無機材料でも上記の屈折率の関係を満足すれば特
に限定されないが、例えば、CaF2, MgF2, NaAiF4, Si
O2, SiO2, ThF4, ZrO2, Nd2O3, SnO 2, TiO2, CeO2, Zn
S, In2O3 などの誘電体を用いるのが好ましい。
タリング法、CVD 法、イオンプレーティング法などのド
ライコーティングプロセスでも、グラビア方式、リバー
ス方式、ダイ方式などのウェットコーティングプロセス
でもよい。
の積層に先立って、前処理として、コロナ放電処理、プ
ラズマ処理、スパッタエッチング処理、電子線照射処
理、紫外線照射処理、プライマ処理、易接着処理などの
公知の処理を施してもよい。
(1)を用いた、タッチパネルの例を示す。透明導電性
薄膜を有する一対のパネル板を、透明導電性薄膜が対向
するようにスペーサーを介して配置してなるタッチパネ
ルにおいて、一方のパネル板に本発明の透明導電性フィ
ルム(1)を用いたものである。このタッチパネルは、
透明導電性フィルム(1)側より、ペンにより文字入力
したときに、ペンからの押圧により、対向した透明導電
性薄膜同士が接触し、電気的にONになり、ペンのタッチ
パネル上での位置を検出できる。このペン位置を連続的
かつ正確に検出することで、ペンの軌跡から文字を入力
できる。この際、ペン接触側のパネル板が本発明の透明
導電性フィルム(1)であるため、ペン入力耐久性に優
れるため、長期にわたって安定なタッチパネルである。
は、プラスチックフィルムやガラス板の透明基板の上に
透明導電性薄膜を積層したものであるが、本発明の透明
導電性フィルム(1)を使用してもよい。
る。なお、以下において、部とある重量部である。
(東洋紡績(株)製:A4100 )を透明なプラスチックフ
ィルム(11)として用いた。この透明なプラスチック
フィルム(11)を40℃の1mol/Lの水酸化ナトリウム水
溶液中に1分間浸漬した。さらに、純水中に1分間浸漬
し水酸化ナトリウムを除去した。このようにして洗浄し
た透明なプラスチックフィルム(11)を純水中から引
き上げ、窒素ガスを吹きかけ、表面に斑紋が残らないよ
うに乾燥した。
(11)の易接着処理を施していない面(ポリエチレン
テレフタレート面)上に、インジウムスズ複合酸化物を
ターゲットに用いて、直流マグネトロンスパッタリング
法で、250Å厚、酸化すず含有率20重量%のインジ
ウムスズ複合酸化物薄膜を透明導電性薄膜(14)とし
て製膜した。この時、真空度は3×10-3Torrとし、ガ
スとしてAr 60sccm 、O2 2sccm流した。また、基板は製
膜中、加熱もしくは冷却せず、室温のままとした。
ネル板として用い、他方のパネル板として、ガラス基板
上に上記と同等の方法で400Å厚の透明導電性薄膜を
形成したものを用いた。この2枚のパネル板を透明導電
性薄膜が対向するように、直径30μmのエポキシビーズ
を介して、配置しタッチパネルを作製した。
ム(東洋紡績(株)製:A4300 )を透明なプラスチック
フィルム(11)として用いた。この透明なプラスチッ
クフィルム(11)の易接着処理層の表面をUV−オゾン
洗浄装置(アイグラフィック株式会社製:OC-250315G)
を用い、UVランプ25W 3灯、処理時間30秒の条件
で洗浄した。
をターゲットに用いて、直流マグネトロンスパッタリン
グ法で、300Å厚、酸化スズ含有率25重量%のインジ
ウムスズ複合酸化物薄膜を透明導電性薄膜(14)として
製膜した。この時、真空度は2×10-3Torrとし、ガス
として Ar 50sccm、O2 1sccm流した。また、基板
(1)は製膜中、加熱もしくは冷却せず、室温のままと
した。さらに、基板電位はグランドとした。
ネル板として用い、他方のパネル板として、ガラス基板
上に上記と同等の方法で400Å厚の透明導電性薄膜を
形成したものを用いた。この2枚のパネル板を透明導電
性薄膜が対向するように、直径30μmのエポキシビーズ
を介して、配置しタッチパネルを作製した。
ム(東洋紡績(株)製:A4140 )を透明なプラスチック
フィルム(11)として用いた。透明なプラスチックフ
ィルム(11)の易接着処理を施してある面上にハード
コート処理層(13)を設けた。ハードコート剤として
は、エポキシアクリル樹脂100部にベンゾフェノン4
部を加えた紫外線硬化型樹脂組成物を用い、リバースコ
ート法で成膜後、80℃5分の予備乾燥、500mJ/cm2 の紫
外線照射により硬化させた。硬化後の厚さは5μmであ
る。
明なプラスチックフィルム(11)を、アルカリ性洗剤
(第一工業製薬株式会社製:スキャット20-X)10部、
純水90部からなる洗浄液中に表1のように浸漬時間を
変え、さらに純水中に1分間浸漬しリンスした。純水中
から引き上げた後、斑紋が残らないように窒素ガスを吹
きかけ水分を乾燥させた。
いない面にインジウムスズ複合酸化物をターゲットに用
いて、直流マグネトロンスパッタリング法で、300Å
厚、酸化スズ含有率35重量%のインジウムスズ複合酸
化物薄膜を透明導電性薄膜(14)として製膜した。この
時、真空度は2×10-3Torrとし、ガスとしてAr 55
sccm、O2 1sccm流した。
ネル板として用い、他方のパネル板として、ガラス基板
上に上記と同等の方法で400Å厚の透明導電性薄膜を
形成したものを用いた。この2枚のパネル板を透明導電
性薄膜が対向するように、直径30μmのエポキシビーズ
を介して、配置しタッチパネルを作製した。
製:A4340 )を透明なプラスチックフィルム(11)と
して用いた。透明なプラスチックフィルム(11)の一
方の面上にハードコート処理層(13)を設けた。ハー
ドコート剤としては、エポキシアクリル樹脂100部に
ベンゾフェノン5部を加えた紫外線硬化型樹脂組成物を
用い、リバースコート法で成膜後、80℃5分の予備乾燥
し、エンボスロールで表面に凹凸を形成し500mJ/cm2 の
紫外線照射により硬化させ、防眩効果を有するハードコ
ート層(13)を形成した。硬化後の厚さは3μmであ
る。
明なプラスチックフィルム(11)のもう一方の面上に
プライマー層として高分子樹脂層(14)を次のように
して設けた。ポリエステル樹脂(東洋紡績株式会社製:
バイロン280 )3部をメチルエチルケトン50部、トルエ
ン50部、架橋剤(日本ポリウレタン工業株式会社製:コ
ロネートL)1部で溶解した塗液を、グラビア法でコー
トした。予備乾燥120℃1分、硬化のためにさらに 130
℃5分加熱した。
スチックフィルム(11)/高分子樹脂層(12)から
なる積層体をアルカリ性洗剤(第一工業製薬株式会社
製:スキャット20-X)10部、純水90部からなる洗浄
液中に表1に記載のように浸漬時間を変えて浸漬した
後、さらに純水中に1分間浸漬しリンスした。純水中か
ら引き上げた後、斑紋が残らないように窒素ガスを吹き
かけ水分を乾燥させた。
ムスズ複合酸化物をターゲットに用いて、直流マグネト
ロンスパッタリング法で、300Å厚、酸化スズ含有率
35重量%のインジウムスズ複合酸化物薄膜を透明導電
性薄膜(14)として製膜した。この時、真空度は2×1
0-3Torrとし、ガスとしてAr 55sccm、O2 1sccm流
した。この透明導電性フィルム(1)を一方のパネル板
として用い、他方のパネル板として、ガラス基板上に上
記と同等の方法で400Å厚の透明導電性薄膜を形成し
たものを用いた。この2枚のパネル板を透明導電性薄膜
が対向するように、直径30μmのエポキシビーズを介し
て、配置しタッチパネルを作製した。
ム(東洋紡績(株)製:A4140 )を透明なプラスチック
フィルム(11)として用いた。透明なプラスチックフ
ィルム(11)の易接着処理を施してある面上にハード
コート処理層(13)を設けた。ハードコート剤として
は、エポキシアクリル樹脂100部にベンゾフェノン4
部を加えた紫外線硬化型樹脂組成物を用い、リバースコ
ート法で成膜後、80℃5分の予備乾燥、500mJ/cm2 の紫
外線照射により硬化させた。硬化後の厚さは5μmであ
る。
さ730Åで屈折率1.89のY2O3を設け、さらに厚さ1200
Åで屈折率2.3 のTiO2を設け、さらに厚さ940Åで屈
折率1.46のSiO2を、それぞれスパッタリング法で製膜
し、反射防止処理を施した。このそれぞれの誘電体薄膜
を製膜する時、いずれも真空度は1×10-3Torrとし、
ガスとしてAr 55sccm、O2 5sccm流した。また、製
膜中、加熱もしくは冷却せず、室温のままとした。
化学株式会社製:セミコクリーン56)中に表1のよう
に浸漬時間を変え、さらに純水中に1分間浸漬しリンス
した。純水中から引き上げた後、斑紋が残らないように
窒素ガスを吹きかけ水分を乾燥させた。
いない面にインジウムスズ複合酸化物をターゲットに用
いて、直流マグネトロンスパッタリング法で、300Å
厚、酸化スズ含有率30重量%のインジウムスズ複合酸
化物薄膜を透明導電性薄膜(14)として製膜した。この
時、真空度は2×10-3Torrとし、ガスとしてAr 55
sccm, O2 1sccm流した。
ネル板として用い、他方のパネル板として、ガラス基板
上に上記と同等の方法で400Å厚の透明導電性薄膜を
形成したものを用いた。この2枚のパネル板を透明導電
性薄膜が対向するように、直径30μmのエポキシビーズ
を介して、配置しタッチパネルを作製した。
3と同様にして透明導電性フィルム(1)を作製した。
また、この透明導電性フィルム(1)を用いて、実施例
3と同様にしてタッチパネルを作製した。
4と同様にして透明導電性フィルム(1)を作製した。
また、この透明導電性フィルム(1)を用いて、実施例
4と同様にしてタッチパネルを作製した。また、この透
明導電性フィルム(1)を用いて、実施例1と同様にし
て、タッチパネルを作製した。
ついて、透明導電性薄膜(12)を製膜する面のシリコ
ンおよびフッ素原子量、表面抵抗率、透明導電性薄膜
(12)の付着力を下記の方法で測定した。また、実施
例1〜5および比較例1〜2の透明導電性フィルムをも
ちいて作製したタッチパネルについて、ペン入力耐久試
験を実施した。
性薄膜(12)を製膜する前の透明なプラスチックフィ
ルム(11)もしくは高分子樹脂層(14)表面を、X
線光電子分光器(島津製作所株式会社製:ESCA850M)を
用いMg Kα線(1254eV)9kV ×30mAの条件で、C の1s,
O の1s, N の1s, Siの2p, F の1sを測定した。さらに、
感度補正係数をC の1sを基準とし、O の1sを2.85、N の
1sを1.77、Siの2pを0.87、F の1sを4.26とし、実測値を
感度補正係数で割った値を用いて、表面の組成分析を原
子比で測定した。
ィルム(タマポリ株式会社製:HM-07 )をポリエステル
系接着剤(武田薬品株式会社製:タケネートA310/タケ
ラックA-3 )を用いて、75μm厚のポリエチレンテレフ
タレートフィルム(東洋紡績株式会社製:E5100 )にラ
ミネートした付着力測定用積層体を作製した。この付着
力測定用積層体のアイオノマー面と透明導電性フィルム
の透明導電性薄膜面を対向させ、130℃ 5kg/cm2 2秒
で熱圧着した。この積層体を付着力測定用積層体と透明
導電性フィルムとを 180度剥離法で剥離し、この剥離力
を付着力とした。この時の剥離速度は1000mm/分とし
た。
前のリニアリティ測定を以下のようにして実施した。本
発明の透明導電性フィルムを100mm×100mmに
切り出し、透明導電性薄膜形成面の両端辺に幅5mmの
電極を銀ペーストを塗布して作成した。この電極間に定
電圧電源により5Vを印加し、サンプルの中心部50m
m×50mmの範囲を縦横1mm間隔で(x1 ,y1 )
〜(x50,y50)の2500点について電圧VIJ(ij
=1〜50)を測定した。各電圧測定点での理論電圧U
IJ=V1,1 +(V50,50 −V1,1 )/50×(j−1)
からのズレをΔIJ=(VIJ−UIJ)/UIJで定義し、こ
のΔIJの絶対値の最大値をリニアリティと定義した。ペ
ン入力試験前のリニアリティを測定した透明導電性フィ
ルムを用い、実施例および比較例に記載されているよう
にしてタッチパネルを作製した。透明導電性フィルムで
構成されたパネル板側から、ポリアセタール樹脂からな
るペン先半径0.8mm のタッチペン(シャープ(株)製ハ
イパー電子手帳DB-Zタッチペン)を用いて、プロッタ
(ローランド(株)製:DXY-1150)により、2cm角サ
イズのカタカナのア〜ンまでの文字を100000字の
筆記を行った。この時、ペン荷重250g、文字筆記速
度2000字/時間とした。ペン入力試験後の透明導電性フ
ィルムのリニアリティを前述と同様の手法で測定した。
置検出精度をタッチパネルの電圧線形性のズレで測定し
た。パネル板の上下に配置した電極部に5Vの定電圧を
印加し、上部電極から下部電極にかけて、印加電圧が線
形変化から最も変化した割合を測定した。
ルムは、導電性および透明性に極めて優れ、かつ本発明
の透明導電性フィルムを用いたタッチパネルはペン入力
耐久性に極めて優れている。
が原子比で0.3%以下である透明なプラスチックフィルム
(11)表面上もしくは高分子樹脂層(14)表面上に
透明導電性薄膜(12)を積層したものの付着力は極め
て強いため、ペン入力用タッチパネルに用いた際のペン
の押圧で対向の透明導電性薄同士が接触しても、剥離、
クラック等を生じることがなく、ペン入力耐久性に極め
て優れた透明導電性フィルム(1)を提供することがで
きる。
を表す。
を表す。
を表す。
Claims (7)
- 【請求項1】 透明なプラスチックフィルム(11)の
一方の表面において、シリコンおよびフッ素が原子比で
0.3%以下であり、この表面上に透明導電性薄膜(12)
を積層した透明導電性フィルム(1)であって、かつ透
明なプラスチックフィルム(11)と透明導電性薄膜
(12)との付着力が10g/15mm以上であることを特徴と
する透明導電性フィルム。 - 【請求項2】 透明なプラスチックフィルム(11)の
一方の面にプライマー層として高分子樹脂層(14)を
形成し、該高分子樹脂層(14)表面においておいてシ
リコンおよびフッ素が原子比で0.3%以下であり、該高分
子樹脂層(14)表面上に透明導電性薄膜(12)を積
層した透明導電性フィルム(1)であって、かつ透明な
プラスチックフィルム(11)と透明導電性薄膜(1
2)との付着力が10g/15mm以上であることを特徴とする
透明導電性フィルム。 - 【請求項3】 請求項1乃至2記載の透明なプラスチッ
クフィルム(11)の透明導電性薄膜(12)を積層し
た面の反対の面にハードコート層(13)を形成したこ
とを特徴とする透明導電性フィルム。 - 【請求項4】 請求項3記載のハードコート層(13)
が防眩効果を有することを特徴とする透明導電性フィル
ム。 - 【請求項5】 請求項3記載のハードコート層(13)
に低反射処理を施したことを特徴とする透明導電性フィ
ルム。 - 【請求項6】 請求項1乃至5記載の透明導電性薄膜
(12)が非晶質であることを特徴とする透明導電性フ
ィルム。 - 【請求項7】 透明導電性薄膜を有する一対のパネル板
を、透明導電性薄膜が対向するようにスペーサーを介し
て配置してなるタッチパネルにおいて、少なくとも一方
のパネル板が請求項1乃至6記載のいずれかの透明導電
性フィルム(1)からなることを特徴とするタッチパネ
ル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13303398A JPH11320745A (ja) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | 透明導電性フィルムおよびタッチパネル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13303398A JPH11320745A (ja) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | 透明導電性フィルムおよびタッチパネル |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005208903A Division JP2006012853A (ja) | 2005-07-19 | 2005-07-19 | 透明導電性フィルム及びタッチパネル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11320745A true JPH11320745A (ja) | 1999-11-24 |
Family
ID=15095248
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13303398A Pending JPH11320745A (ja) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | 透明導電性フィルムおよびタッチパネル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11320745A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001216842A (ja) * | 2000-02-03 | 2001-08-10 | Toyobo Co Ltd | 透明導電性フィルム、透明導電性シートおよびタッチパネル |
JP2002313141A (ja) * | 2001-04-16 | 2002-10-25 | Toyobo Co Ltd | 透明導電性フィルム、透明導電性シートおよびタッチパネル |
JP2009196364A (ja) * | 2001-02-14 | 2009-09-03 | Nitto Denko Corp | 透明導電性積層体及びそれを用いたタッチパネル |
JP4517255B2 (ja) * | 2000-03-31 | 2010-08-04 | 東洋紡績株式会社 | タッチパネル用透明導電性フィルム、タッチパネル用透明導電性シートおよびタッチパネル |
JP4543292B2 (ja) * | 2000-02-10 | 2010-09-15 | 東洋紡績株式会社 | 透明導電性フィルム、透明導電性シートおよびタッチパネル |
JP2013018185A (ja) * | 2011-07-11 | 2013-01-31 | Innovation & Infinity Global Corp | 導電性多層構造及びそれを有するタッチパネル |
-
1998
- 1998-05-15 JP JP13303398A patent/JPH11320745A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001216842A (ja) * | 2000-02-03 | 2001-08-10 | Toyobo Co Ltd | 透明導電性フィルム、透明導電性シートおよびタッチパネル |
JP4543292B2 (ja) * | 2000-02-10 | 2010-09-15 | 東洋紡績株式会社 | 透明導電性フィルム、透明導電性シートおよびタッチパネル |
JP4517255B2 (ja) * | 2000-03-31 | 2010-08-04 | 東洋紡績株式会社 | タッチパネル用透明導電性フィルム、タッチパネル用透明導電性シートおよびタッチパネル |
JP2009196364A (ja) * | 2001-02-14 | 2009-09-03 | Nitto Denko Corp | 透明導電性積層体及びそれを用いたタッチパネル |
JP2002313141A (ja) * | 2001-04-16 | 2002-10-25 | Toyobo Co Ltd | 透明導電性フィルム、透明導電性シートおよびタッチパネル |
JP2013018185A (ja) * | 2011-07-11 | 2013-01-31 | Innovation & Infinity Global Corp | 導電性多層構造及びそれを有するタッチパネル |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100544562B1 (ko) | 투명도전성 필름 및 터치판넬 | |
JP4961697B2 (ja) | 透明導電性フィルム、透明導電性シートおよびタッチパネル | |
JP2000231450A (ja) | 透明導電性フィルム、タッチパネルおよび液晶表示素子 | |
KR20010093732A (ko) | 투명 도전성 필름, 투명 도전성 시트 및 터치패널 | |
TW201526033A (zh) | 透明導電性膜之製造方法 | |
JP2000082338A (ja) | 透明導電性フィルム、透明タッチパネルおよび液晶表示素子 | |
JP4665263B2 (ja) | 透明導電性フィルムおよびこれを用いたタッチパネル | |
JPH11320745A (ja) | 透明導電性フィルムおよびタッチパネル | |
JP3947950B2 (ja) | 透明導電性フィルム、透明タッチパネルおよび液晶表示素子 | |
JP4975897B2 (ja) | 透明導電性フィルム、透明導電性シートおよびタッチパネル | |
JP4468493B2 (ja) | ペン入力タッチパネル用透明導電性フィルム及びこれを用いたペン入力タッチパネル | |
JP2000214330A (ja) | 透明導電性偏光フィルム、タッチパネル及び液晶表示素子 | |
JP3696661B2 (ja) | インナータッチパネル用透明導電性シート | |
JP4296462B2 (ja) | 透明導電性フィルム、透明導電性シートおよびタッチパネル | |
JP4085295B2 (ja) | ペン入力タッチパネル用透明導電性フィルムの製造方法、ペン入力透明タッチパネルおよび液晶表示素子 | |
JP4517255B2 (ja) | タッチパネル用透明導電性フィルム、タッチパネル用透明導電性シートおよびタッチパネル | |
JP4491697B2 (ja) | 透明導電性フィルムおよびタッチパネル | |
JP2001273817A (ja) | 透明導電性フィルム、透明導電性シートおよびタッチパネル | |
JP3542838B2 (ja) | 透明タッチパネル用透明導電性シート | |
JP2016182786A (ja) | 透明導電性フィルム及びタッチパネル | |
JP4284566B2 (ja) | 透明導電性フィルム、タッチパネルおよび液晶表示素子 | |
JP2006012853A (ja) | 透明導電性フィルム及びタッチパネル | |
JP2000082336A (ja) | 透明導電性フィルムおよびタッチパネル | |
JPH08155988A (ja) | 透明タッチパネル用透明導電性シート | |
JP3797453B2 (ja) | 透明導電性フィルムおよびタッチパネル |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040916 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041028 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041227 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050519 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080804 |