JPH11311306A - Motor-driven actuator - Google Patents

Motor-driven actuator

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JPH11311306A
JPH11311306A JP11882298A JP11882298A JPH11311306A JP H11311306 A JPH11311306 A JP H11311306A JP 11882298 A JP11882298 A JP 11882298A JP 11882298 A JP11882298 A JP 11882298A JP H11311306 A JPH11311306 A JP H11311306A
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guide member
operating member
actuator
electric actuator
guide
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JP11882298A
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Yukinori Saka
幸憲 坂
Shin Ito
慎 伊藤
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CKD Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To add various functions to a motor-driven actuator by effectively utilizing a space on the side of a guide rod extending parallel to an operating member. SOLUTION: This actuator makes it prerequisite to be a motor-driven actuator 1 in which an operating member 12 is moved rectilineally in its longitudinal direction when a stepping motor is rotated by converting rotational motion of the stepping motor 5 provided at an actuator body 2 into rectilineal motion and which connects a guide rod 16 extending in parallel to the operating member 12 to the operating member 12 through a wear plate 19. Then, a piston 22 is fixed to the guide rod 16 to form the guide rod 15 into a cylindrical structure, and a permanent magnet 31 is fixed to the piston 22. Thus, auxiliary thrust based on fluid pressure can be generated on the side of the guide rod 16, the piston 22 can be utilized as a means for regulating the movement, and the permanent magnet 31 can be utilized to perform position detection.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電動アクチュエー
タに関する。[0001] The present invention relates to an electric actuator.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、回転運動を直線運動に変換する装
置として各種の電動アクチュエータが知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, various electric actuators are known as devices for converting a rotary motion into a linear motion.

【０００３】このような電動アクチュエータを構成する
アクチュエータ本体は、一般的には筒状を呈している。
同アクチュエータ本体の一端開口部には、モータが取り
付けられている。モータの出力軸はアクチュエータ本体
の貫通孔内に配置されている。モータの出力軸と送りね
じ部とは、カップリングによって一体回転可能に連結さ
れている。アクチュエータ本体の貫通孔内には、同じく
筒状をした作動部材が出没可能に収容されている。作動
部材の前端部には被搬送物であるワークが取り付け可能
になっている。作動部材の後端部開口には送りナット部
が固着されている。この送りナット部には送りねじ部が
螺合されており、これらの２つの部材によって回転運動
を直線運動に変換する動力伝達機構が構成されている。
アクチュエータ本体の内周面には、アクチュエータ本体
の軸線方向に沿って延びる回り止め用の長溝が形成され
ている。作動部材の後端部外周面には同じく回り止め用
の係合突起が突設されており、その係合突起は長溝に対
して摺動可能に配置されている。なお、これと同種の技
術としては、例えば特公昭５１−２４６６３号公報に開
示されたもの等がある。[0003] The actuator body constituting such an electric actuator generally has a tubular shape.
A motor is attached to one end opening of the actuator body. The output shaft of the motor is arranged in a through hole of the actuator body. The output shaft of the motor and the feed screw portion are connected so as to be integrally rotatable by a coupling. In the through hole of the actuator body, a cylindrical operating member is housed so as to be able to protrude and retract. A work, which is a transferred object, can be attached to the front end of the operating member. A feed nut portion is fixed to the opening at the rear end of the operating member. A feed screw portion is screwed to the feed nut portion, and a power transmission mechanism that converts a rotational motion into a linear motion is configured by these two members.
On the inner peripheral surface of the actuator main body, a long groove for detent extending along the axial direction of the actuator main body is formed. Similarly, an engagement projection for preventing rotation is provided on the outer peripheral surface of the rear end portion of the operating member, and the engagement projection is slidably disposed in the long groove. In addition, as a technique of the same kind, there is a technique disclosed in, for example, Japanese Patent Publication No. 51-24663.

【０００４】上記の従来技術においてモータを回転駆動
させた場合、動力伝達機構の作用によって、作動部材が
直線的に移動するようになっている。また、作動部材が
移動する際には、係合突起が長溝に係合することによ
り、作動部材の回り止めが図られるようになっている。When the motor is driven to rotate in the prior art, the operation member moves linearly by the action of the power transmission mechanism. Further, when the operating member moves, the engagement protrusion engages with the long groove, so that the rotation of the operating member is prevented.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来技術の
回り止め機構は、係合突起と長溝とを組み合わせた簡易
なものであるため、作動部材の回転を確実に防止するこ
とができなかった。従って、ワークが回転しやすくなる
結果、高精度な搬送が難しくなるという問題があった。
また、作動部材が最前進位置にあるときに生じる偏荷重
を受ける能力が不十分であったため、高精度搬送には適
さないという問題があった。However, since the rotation preventing mechanism of the prior art is a simple combination of the engaging projection and the long groove, the rotation of the operating member cannot be reliably prevented. Accordingly, there is a problem that the work is easily rotated, and as a result, it is difficult to carry out the work with high precision.
In addition, there was a problem that the ability to receive an eccentric load generated when the operating member was at the most advanced position was insufficient, so that it was not suitable for high-precision transport.

【０００６】そこで、作動部材とは別に同作動部材と平
行に延びるガイド部材を備えたガイド機構を設けること
により、作動部材の回り止め機能を確固たるものとする
とともに偏荷重にも耐え得るようにすることが考えられ
る。Therefore, by providing a guide mechanism provided with a guide member extending in parallel with the operating member in addition to the operating member, the function of preventing the rotation of the operating member is ensured, and the operating member can withstand an uneven load. It is possible.

【０００７】しかし、単に作動部材の回り止め等だけの
ためにガイド機構を別途設けるものでは、ガイド部材周
囲のスペースに無駄が生じ、スペースの有効利用やコン
パクト化の観点では満足のいかないものとなる。又、電
動アクチュエータに各種機能を付与すべく作動部材に各
種機構を組込むことは構造の複雑化を招く。However, if a guide mechanism is separately provided merely for preventing the operation member from rotating, the space around the guide member is wasted, and it is not satisfactory in terms of effective use of space and compactness. Become. Incorporating various mechanisms into the operating member to provide various functions to the electric actuator causes a complicated structure.

【０００８】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、作動部材と平行に延びるガイド部
材を設けた場合に、そのガイド部材側のスペースを有効
利用しつつ各種機能を付加することができる電動アクチ
ュエータを提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a guide member extending in parallel with an operating member, and to perform various functions while effectively utilizing the space on the guide member side. An object of the present invention is to provide an electric actuator that can be added.

【０００９】[0009]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明では、アクチュエータ本体
に設けたモータの回転運動を直線運動に変換し、モータ
回転時に作動部材をその長手方向に直線的に移動させる
電動アクチュエータにおいて、アクチュエータ本体には
作動部材の直線移動方向と平行に延びるガイド部材を設
け、作動部材とガイド部材とを一体移動可能に連結し、
ガイド部材には、同ガイド部材の移動を所定位置で規制
する規制部材を設けた。According to the first aspect of the present invention, a rotary motion of a motor provided in an actuator body is converted into a linear motion, and an operating member is moved when the motor rotates. In the electric actuator that moves linearly in the longitudinal direction, a guide member that extends in parallel with the linear movement direction of the operating member is provided on the actuator body, and the operating member and the guide member are connected so as to be integrally movable,
The guide member is provided with a regulating member that regulates the movement of the guide member at a predetermined position.

【００１０】上記手段により、モータが回転すると、作
動部材がガイド部材と一体となって直線的に移動され
る。ガイド部材の存在により作動部材の回り止めが図ら
れるとともに偏荷重に対しても強くなる。ここで、ガイ
ド部材には同ガイド部材側のスペースを有効利用すべく
各種機能の一つとして規制部材を設けていることから、
この規制部材によって作動部材のストロークエンドをモ
ータの制御に頼らずに決定付けることが可能となる。By the above means, when the motor rotates, the operating member is linearly moved integrally with the guide member. The presence of the guide member prevents the rotation of the operating member and increases the resistance to the unbalanced load. Here, since the guide member is provided with a regulating member as one of various functions to effectively use the space on the guide member side,
With this restricting member, the stroke end of the operating member can be determined without depending on the control of the motor.

【００１１】請求項２に記載の発明では、アクチュエー
タ本体に設けたモータの回転運動を直線運動に変換し、
モータ回転時に作動部材をその長手方向に直線的に移動
させる電動アクチュエータにおいて、アクチュエータ本
体には作動部材の直線移動方向と平行に延びるガイド部
材を設け、作動部材とガイド部材とを一体移動可能に連
結し、その連結部位とそれに対向するアクチュエータ本
体の面の少なくとも一方には規制部材を設け、その規制
部材が他方に当接することにより前記連結部位の移動を
所定位置で規制するようにした。According to the second aspect of the present invention, the rotational motion of the motor provided on the actuator body is converted into a linear motion,
In an electric actuator for moving an operating member linearly in the longitudinal direction when the motor rotates, a guide member extending parallel to the linear movement direction of the operating member is provided on the actuator body, and the operating member and the guide member are connected so as to be integrally movable. A restricting member is provided on at least one of the connecting portion and the surface of the actuator body facing the connecting portion, and the restricting member contacts the other to restrict the movement of the connecting portion at a predetermined position.

【００１２】上記手段により、モータが回転すると、作
動部材がガイド部材と一体となって直線的に移動され
る。ガイド部材の存在により作動部材の回り止めが図ら
れるとともに偏荷重に対しても強くなる。ここで、作動
部材及びガイド部材の連結部位とそれに対向するアクチ
ュエータ本体の面の少なくとも一方には、それらの間の
スペースを有効利用すべく各種機能の一つとして規制部
材を設けていることから、この規制部材によって作動部
材のストロークエンドをモータの制御に頼らずに決定付
けることが可能となる。By the above means, when the motor rotates, the operating member is linearly moved integrally with the guide member. The presence of the guide member prevents the rotation of the operating member and increases the resistance to the unbalanced load. Here, at least one of the connecting portion of the operating member and the guide member and the surface of the actuator body opposed thereto are provided with a regulating member as one of various functions in order to effectively use a space therebetween. With this restricting member, the stroke end of the operating member can be determined without depending on the control of the motor.

【００１３】請求項３に記載の発明では、請求項１又は
請求項２記載の電動アクチュエータにおいて、規制部材
は緩衝用の弾性部を備えていることとした。上記手段に
より、作動部材のストロークエンドにおける規制部材の
衝突時に、弾性部の緩衝作用によって、電動アクチュエ
ータの各部に加わる衝撃が低減される。According to a third aspect of the present invention, in the electric actuator according to the first or second aspect, the regulating member includes an elastic portion for cushioning. According to the above-described means, the shock applied to each part of the electric actuator is reduced by the buffering action of the elastic part when the regulating member collides at the stroke end of the operating member.

【００１４】請求項４に記載の発明では、アクチュエー
タ本体に設けたモータの回転運動を直線運動に変換し、
モータ回転時に作動部材をその長手方向に直線的に移動
させる電動アクチュエータにおいて、アクチュエータ本
体には作動部材の直線移動方向と平行に延びるガイド部
材を設け、作動部材とガイド部材とを一体移動可能に連
結し、ガイド部材にはピストンを設け、そのピストンを
アクチュエータ本体内に設けたシリンダ室に収容し、シ
リンダ室に流体を給排することにより、ガイド部材に推
力を発生し得るように構成した。According to the present invention, the rotational motion of the motor provided on the actuator body is converted into a linear motion,
In an electric actuator for moving an operating member linearly in the longitudinal direction when the motor rotates, a guide member extending parallel to the linear movement direction of the operating member is provided on the actuator body, and the operating member and the guide member are connected so as to be integrally movable. The guide member is provided with a piston, the piston is housed in a cylinder chamber provided in the actuator body, and a fluid is supplied to and discharged from the cylinder chamber, so that a thrust can be generated in the guide member.

【００１５】上記手段により、モータが回転すると、作
動部材がガイド部材と一体となって直線的に移動され
る。ガイド部材の存在により作動部材の回り止めが図ら
れるとともに偏荷重に対しても強くなる。ここで、ガイ
ド部材側は同ガイド部材側のスペースを有効利用すべく
各種機能の一つとしてシリンダ構造を採用していること
から、モータ自体が小型で推力の小さいものであって
も、ガイド部材側の補助的な推力を加えて、全体として
充分な推力を得ることができる。その結果、大型のモー
タを使用する必要がなくなる。By the above means, when the motor rotates, the operating member is linearly moved integrally with the guide member. The presence of the guide member prevents the rotation of the operating member and increases the resistance to the unbalanced load. Here, since the guide member side employs a cylinder structure as one of various functions in order to effectively use the space of the guide member side, even if the motor itself is small and has a small thrust, the guide member side By adding auxiliary thrust on the side, sufficient thrust can be obtained as a whole. As a result, there is no need to use a large motor.

【００１６】請求項５に記載の発明では、アクチュエー
タ本体に設けたモータの回転運動を直線運動に変換し、
モータ回転時に作動部材をその長手方向に直線的に移動
させる電動アクチュエータにおいて、アクチュエータ本
体には作動部材の直線移動方向と平行に延びるガイド部
材を設け、作動部材とガイド部材とを一体移動可能に連
結し、ガイド部材には磁気発生手段を設けた。According to the fifth aspect of the present invention, the rotational motion of the motor provided on the actuator body is converted into a linear motion,
In an electric actuator for moving an operating member linearly in the longitudinal direction when the motor rotates, a guide member extending parallel to the linear movement direction of the operating member is provided on the actuator body, and the operating member and the guide member are connected so as to be integrally movable. Then, the guide member was provided with magnetism generating means.

【００１７】上記手段により、モータが回転すると、作
動部材がガイド部材と一体となって直線的に移動され
る。ガイド部材の存在により作動部材の回り止めが図ら
れるとともに偏荷重に対しても強くなる。ここで、ガイ
ド部材には同ガイド部材側のスペースを有効利用すべく
各種機能の一つとして磁気発生手段を設けていることか
ら、この磁気発生手段からの磁気を検出することでガイ
ド部材の位置が検出され、これにより作動部材の位置も
間接的に検出し得ることとなる。By the above means, when the motor rotates, the operating member is linearly moved integrally with the guide member. The presence of the guide member prevents the rotation of the operating member and increases the resistance to the unbalanced load. Here, since the guide member is provided with magnetism generating means as one of various functions in order to effectively utilize the space on the guide member side, the position of the guide member is detected by detecting magnetism from the magnetism generation means. Is detected, whereby the position of the operating member can also be detected indirectly.

【００１８】請求項６に記載の発明では、請求項５記載
の電動アクチュエータにおいて、アクチュエータ本体に
は前記磁気発生手段の磁気を検出することによりガイド
部材の位置を検出する位置検出手段を設けた。According to a sixth aspect of the present invention, in the electric actuator according to the fifth aspect, the actuator body is provided with position detecting means for detecting the position of the guide member by detecting the magnetism of the magnetism generating means.

【００１９】上記手段により、位置検出手段からの検出
信号に基づいてガイド部材の位置、更には作動部材の位
置を検出することができる。請求項７に記載の発明で
は、アクチュエータ本体に設けたモータの回転運動を直
線運動に変換し、モータ回転時に作動部材をその長手方
向に直線的に移動させる電動アクチュエータにおいて、
アクチュエータ本体には作動部材の直線移動方向と平行
に延びるガイド部材を設け、作動部材とガイド部材とを
一体移動可能に連結し、アクチュエータ本体にはガイド
部材に係脱される保持機構を設け、その保持機構はガイ
ド部材との係合時にガイド部材を所定位置に保持する一
方、離脱時にガイド部材の移動を許容するようにした。By the above means, the position of the guide member and further the position of the operating member can be detected based on the detection signal from the position detecting means. According to the invention as set forth in claim 7, in the electric actuator, the rotational movement of the motor provided on the actuator body is converted into a linear movement, and the operating member is linearly moved in the longitudinal direction when the motor rotates.
A guide member extending parallel to the linear movement direction of the operating member is provided on the actuator body, the operating member and the guide member are connected so as to be able to move integrally, and the actuator body is provided with a holding mechanism that is engaged and disengaged from the guide member. The holding mechanism holds the guide member at a predetermined position when engaged with the guide member, while allowing the guide member to move when disengaged.

【００２０】上記手段により、モータが回転すると、作
動部材がガイド部材と一体となって直線的に移動され
る。ガイド部材の存在により作動部材の回り止めが図ら
れるとともに偏荷重に対しても強くなる。ここで、アク
チュエータ本体のガイド部材側には同ガイド部材側のス
ペースを有効利用すべく各種機能の一つとして保持機構
を設けていることから、この保持機構によってガイド部
材を所定位置に保持させることが可能となる。By the means described above, when the motor rotates, the operating member is linearly moved integrally with the guide member. The presence of the guide member prevents the rotation of the operating member and increases the resistance to the unbalanced load. Here, since a holding mechanism is provided on the guide member side of the actuator body as one of various functions in order to effectively use the space on the guide member side, the guide member is held at a predetermined position by this holding mechanism. Becomes possible.

【００２１】請求項８に記載の発明では、請求項７記載
の電動アクチュエータにおいて、ガイド部材にはその長
手方向の一部に凹所を設け、保持機構はその凹所に向け
て接近離間される係合部材を備えたものとした。According to an eighth aspect of the present invention, in the electric actuator according to the seventh aspect, a recess is provided in a part of the guide member in the longitudinal direction, and the holding mechanism is moved toward and away from the recess. An engaging member was provided.

【００２２】上記手段により、保持機構に設けられた係
合部材がガイド部材に設けられた凹所に係脱されるもの
であることから、係合時におけるガイド部材の所定位置
での保持を確固たるものとし得る。By the above means, the engaging member provided on the holding mechanism is engaged and disengaged from the recess provided on the guide member, so that the holding of the guide member at a predetermined position during the engagement is firm. It can be.

【００２３】請求項９に記載の発明では、請求項７又は
請求項８記載の電動アクチュエータにおいて、保持機構
は、ガイド部材のアクチュエータ本体からの突出位置又
は没入位置の少なくとも一方のストロークエンド位置に
てその位置を保持するものとした。According to the ninth aspect of the present invention, in the electric actuator according to the seventh or eighth aspect, the holding mechanism is provided at a stroke end position of at least one of a projecting position and a retracting position of the guide member from the actuator body. That position was maintained.

【００２４】上記手段により、保持機構によって突出位
置又は没入位置のストロークエンド位置にガイド部材、
即ち作動部材が保持される。これにより、作動部材及び
ガイド部材の移動方向が上下方向となるようにして使用
する場合に保持機構を、落下防止機構として使用するこ
とが可能となる。[0024] By the above means, the guide member is moved to the stroke end position of the protruding position or the retracted position by the holding mechanism.
That is, the operating member is held. This makes it possible to use the holding mechanism as a fall prevention mechanism when the operating member and the guide member are used in such a manner that the moving directions of the operating member and the guide member are in the vertical direction.

【００２５】請求項１０に記載の発明では、アクチュエ
ータ本体に設けたモータの回転運動を直線運動に変換
し、モータ回転時に作動部材をその長手方向に直線的に
移動させる電動アクチュエータにおいて、アクチュエー
タ本体には作動部材の直線移動方向と平行に延びるガイ
ド部材を設け、作動部材とガイド部材とを一体移動可能
に連結し、ガイド部材を筒状に形成することにより、ガ
イド部材内部に流体流通路又は配線挿通路の少なくとも
いずれか一方を形成した。According to a tenth aspect of the present invention, in the electric actuator for converting the rotational movement of the motor provided on the actuator body into a linear movement and linearly moving the operating member in the longitudinal direction when the motor is rotated, Is provided with a guide member extending in parallel with the linear movement direction of the operating member, the operating member and the guide member are integrally movably connected, and the guide member is formed in a cylindrical shape, so that a fluid flow passage or a wiring is provided inside the guide member. At least one of the insertion passages was formed.

【００２６】上記手段により、モータが回転すると、作
動部材がガイド部材と一体となって直線的に移動され
る。ガイド部材の存在により作動部材の回り止めが図ら
れるとともに偏荷重に対しても強くなる。ここで、ガイ
ド部材側のスペースを有効利用すべく各種機能の一つと
してガイド部材を筒状に形成してガイド部材内部を流体
流通路又は配線挿通路の少なくとも一方を設けた。これ
により、ガイド部材内部を流通する流体又は電源・信号
などを、作動部材及びガイド部材の連結部位側との間で
やりとりすることが可能となる。By the above means, when the motor rotates, the operating member is linearly moved integrally with the guide member. The presence of the guide member prevents the rotation of the operating member and increases the resistance to the unbalanced load. Here, in order to effectively use the space on the guide member side, the guide member was formed in a cylindrical shape as one of various functions, and at least one of a fluid flow passage and a wiring insertion passage was provided inside the guide member. This makes it possible to exchange fluid, power, signals, and the like flowing inside the guide member between the operating member and the connection portion side of the guide member.

【００２７】[0027]

【発明の実施の形態】［第１の実施の形態］以下、電動
アクチュエータの第１の実施の形態を図１に基づいて説
明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [First Embodiment] A first embodiment of an electric actuator will be described below with reference to FIG.

【００２８】電動アクチュエータ１を構成するアクチュ
エータ本体２は、略直方体形を呈するブロック状の単体
であり、例えばアルミ押出し成形により一体形成されて
いる。アクチュエータ本体２には、その長手方向に貫通
するようにかつ互いに平行に延びる第１貫通孔３及び第
２貫通孔４がそれぞれ形成されている。これら両貫通孔
３，４は同一の内径となるように形成されている。The actuator main body 2 constituting the electric actuator 1 is a block-shaped unit having a substantially rectangular parallelepiped shape, and is integrally formed by, for example, aluminum extrusion. A first through-hole 3 and a second through-hole 4 are formed in the actuator body 2 so as to penetrate in the longitudinal direction and extend in parallel with each other. These two through holes 3 and 4 are formed to have the same inner diameter.

【００２９】第１貫通孔３の後端開口に対応してアクチ
ュエータ本体２の後端面には、駆動源たるモータとして
のステッピングモータ５が固定されている。ステッピン
グモータ５により第１貫通孔３の後端開口が閉塞されて
いる。ステッピングモータ５の出力軸６は第１貫通孔３
内に突出されている。A stepping motor 5 as a driving source is fixed to the rear end face of the actuator body 2 corresponding to the rear end opening of the first through hole 3. The rear end opening of the first through hole 3 is closed by the stepping motor 5. The output shaft 6 of the stepping motor 5 has the first through hole 3
It is projected into.

【００３０】送りねじ部７は第１貫通孔３の長手方向に
延びるように長尺状に形成され、同第１貫通孔３内に収
容されている。送りねじ部７の形成材料としては、ステ
ンレス等のような硬質の金属が使用されている。出力軸
６の先端側と送りねじ部７の後端側とは、連結手段とし
てのカップリング８により連結されている。出力軸６の
中心軸線と送りねじ部７の中心軸線とは同一直線上に配
置され、両者はカップリング８を介して一体回転され
る。送りねじ部７の長手方向外周面のほぼ全域にはねじ
山９が形成されている。The feed screw portion 7 is formed in a long shape so as to extend in the longitudinal direction of the first through hole 3, and is housed in the first through hole 3. As a material for forming the feed screw portion 7, a hard metal such as stainless steel is used. The front end side of the output shaft 6 and the rear end side of the feed screw portion 7 are connected by a coupling 8 as connecting means. The central axis of the output shaft 6 and the central axis of the feed screw portion 7 are arranged on the same straight line, and both are integrally rotated via the coupling 8. A screw thread 9 is formed on substantially the entire outer circumferential surface of the feed screw portion 7 in the longitudinal direction.

【００３１】直線送り部としての送りナット部１０は第
１貫通孔３内に収容されている。送りナット部１０はそ
の外径が第１貫通孔３の内径よりも小さく形成されてい
る。送りナット部１０にはねじ山９と等ピッチのねじ孔
１１が形成され、送りねじ部７に螺合されている。な
お、前記送りねじ部７及び送りナット部１０により変換
手段が構成されている。The feed nut portion 10 as a linear feed portion is accommodated in the first through hole 3. The outer diameter of the feed nut portion 10 is formed smaller than the inner diameter of the first through hole 3. The feed nut portion 10 is formed with a screw hole 11 having the same pitch as the screw thread 9 and screwed to the feed screw portion 7. The feed screw portion 7 and the feed nut portion 10 constitute a conversion unit.

【００３２】作動部材１２は第１貫通孔３の長手方向に
延びるように長尺状に形成され、同第１貫通孔３内に収
容されている。作動部材１２の先端側はアクチュエータ
本体２の先端面から突出されている。作動部材１２はス
テンレス等の硬質の金属材料により形成されている。作
動部材１２には長手方向に延びる収容穴１３が形成さ
れ、その収容穴１３は作動部材１２の後端面において開
口されている。収容穴１３には送りねじ部７の先端側が
挿入されている。作動部材１２の後端には収容穴１３の
開口を閉塞するように送りナット部１０が固定され、送
りナット部１０と作動部材１２とは一体的に構成されて
いる。The operating member 12 is formed in an elongated shape so as to extend in the longitudinal direction of the first through hole 3, and is accommodated in the first through hole 3. The distal end side of the operating member 12 protrudes from the distal end surface of the actuator body 2. The operating member 12 is formed of a hard metal material such as stainless steel. An accommodating hole 13 extending in the longitudinal direction is formed in the operating member 12, and the accommodating hole 13 is opened at a rear end surface of the operating member 12. The distal end side of the feed screw portion 7 is inserted into the accommodation hole 13. A feed nut 10 is fixed to the rear end of the operating member 12 so as to close the opening of the receiving hole 13, and the feed nut 10 and the operating member 12 are integrally formed.

【００３３】アクチュエータ本体２には第１貫通孔３の
先端側に対応する位置に筒状のカバー１４が固定されて
いる。このカバー１４の固定は、第１貫通孔３の先端側
を大径３ａとして当該第１貫通孔３の途中に段差部３ｂ
を形成し、アクチュエータ本体２の先端面側からその段
差部３ｂまでカバー１４を挿入した後、Ｃリング等の係
合部材をアクチュエータ本体２に装着し、段差部３ｂと
Ｃリング等でカバー１４を挟持することにより行われて
いる。作動部材１２はカバー１４に挿通されている。カ
バー１４には軸受部材としてのボール軸受１５が設けら
れ、ボール軸受１５により作動部材１２の外周面が高精
度に支持されている。A cylindrical cover 14 is fixed to the actuator body 2 at a position corresponding to the tip of the first through hole 3. The cover 14 is fixed by setting the front end side of the first through hole 3 to a large diameter 3a and forming a step 3b in the middle of the first through hole 3.
After the cover 14 is inserted from the distal end face side of the actuator body 2 to the step 3b, an engaging member such as a C-ring is attached to the actuator body 2, and the cover 14 is attached to the step 3b and the C-ring or the like. It is performed by pinching. The operating member 12 is inserted through the cover 14. The cover 14 is provided with a ball bearing 15 as a bearing member, and the outer peripheral surface of the operating member 12 is supported with high precision by the ball bearing 15.

【００３４】ガイド部材としてのガイドロッド１６は第
２貫通孔４の長手方向に延びるように長尺状に形成さ
れ、同第２貫通孔４内に収容されている。ガイドロッド
１６の先端側はアクチュエータ本体２の先端面から突出
されている。ガイドロッド１６はステンレス等の硬質の
金属材料により形成されている。ガイドロッド１６の外
径は作動部材１２の外形と一致するように形成されてい
る。The guide rod 16 as a guide member is formed in an elongated shape so as to extend in the longitudinal direction of the second through hole 4, and is housed in the second through hole 4. The distal end side of the guide rod 16 projects from the distal end surface of the actuator body 2. The guide rod 16 is formed of a hard metal material such as stainless steel. The outer diameter of the guide rod 16 is formed so as to match the outer shape of the operating member 12.

【００３５】アクチュエータ本体２には第２貫通孔４の
先端側に対応する位置に筒状のロッド側カバー１７が固
定されている。このロッド側カバー１７の固定は、カバ
ー１４と同様の方法により行われている。即ち、第２貫
通孔４の先端側を大径４ａとして当該第１貫通孔４の途
中に段差部４ｂを形成し、アクチュエータ本体２の先端
面側からその段差部４ｂまでロッド側カバー１７を挿入
した後、Ｃリング等の係合部材をアクチュエータ本体２
に装着し、段差部４ｂとＣリング等でロッド側カバー１
７を挟持することにより行われている。ガイドロッド１
６はロッド側カバー１７に挿通されている。ロッド側カ
バー１７には軸受部材としてのボール軸受１８が設けら
れ、ボール軸受１８によりガイドロッド１６の外周面が
高精度に支持されている。ロッド側カバー１７はシール
に係る構造がないことを除き基本的にはカバー１４と同
一構成及び同一の大きさであり、両ボール軸受１５，１
８は全く同一のものが使用されている。A cylindrical rod-side cover 17 is fixed to the actuator body 2 at a position corresponding to the tip end of the second through hole 4. The fixing of the rod side cover 17 is performed in the same manner as the cover 14. That is, a step portion 4b is formed in the middle of the first through hole 4 with the front end side of the second through hole 4 as a large diameter 4a, and the rod side cover 17 is inserted from the front end surface side of the actuator body 2 to the step portion 4b. After that, the engaging member such as the C-ring is
On the rod side cover 1 with the stepped portion 4b and C-ring etc.
7 is carried out. Guide rod 1
6 is inserted into the rod side cover 17. The rod-side cover 17 is provided with a ball bearing 18 as a bearing member, and the outer peripheral surface of the guide rod 16 is supported with high precision by the ball bearing 18. The rod-side cover 17 has basically the same configuration and the same size as the cover 14 except that there is no structure related to the seal.
8 is exactly the same.

【００３６】作動部材１２の先端及びガイドロッド１６
の先端には当板１９が固定されている。その固定は例え
ばボルト２０の締付けによりなされている。従って、ガ
イドロッド１６が当板１９を介して作動部材１２に連結
されていることから、ガイドロッド１６は作動部材１２
の回り止め手段として機能する。作動部材１２と送りナ
ット部１０とは一体的に構成されていることから、同じ
くガイドロッド１６は送りナット部１０の回り止め手段
として機能する。従って、送りねじ部７が回転すると、
その回転方向に応じて送りナット部１０は送りねじ部７
の長手方向に沿って進退される。同時に作動部材１２も
長手方向に進退される。併せて、当板１９及びガイドロ
ッド１６が同一方向に進退される。The tip of the operating member 12 and the guide rod 16
A contact plate 19 is fixed to the tip of. The fixing is performed, for example, by tightening bolts 20. Therefore, since the guide rod 16 is connected to the operating member 12 via the contact plate 19, the guide rod 16 is
Functions as a detent means. Since the operating member 12 and the feed nut portion 10 are integrally formed, the guide rod 16 also functions as a detent means for the feed nut portion 10. Therefore, when the feed screw portion 7 rotates,
The feed nut portion 10 is connected to the feed screw portion 7 in accordance with the rotation direction.
Is moved back and forth along the longitudinal direction of. At the same time, the operating member 12 is advanced and retracted in the longitudinal direction. At the same time, the plate 19 and the guide rod 16 are moved forward and backward in the same direction.

【００３７】アクチュエータ本体２には第２貫通孔４の
基端側を閉塞するようにヘッド側カバー２１が固定され
ている。第２貫通孔４内においてロッド側カバー１７と
ヘッド側カバー２１との間には規制部材としてのピスト
ン２２が収容されている。ピストン２２にはガイドロッ
ド１６の基端が固定されている。A head side cover 21 is fixed to the actuator body 2 so as to close the base end side of the second through hole 4. A piston 22 as a regulating member is accommodated between the rod-side cover 17 and the head-side cover 21 in the second through hole 4. The base end of the guide rod 16 is fixed to the piston 22.

【００３８】ロッド側カバー１７の外周面、ヘッド側カ
バー２１の外周面及びピストン２２の外周面には、それ
ぞれアクチュエータ本体２との間でシールを行うシール
リング２３が装着されている。ロッド側カバー１７の内
周面には、ガイドロッド１６との間でシールを行うロッ
ドパッキン２４が装着されている。従って、第２貫通孔
４内におけるロッド側カバー１７とヘッド側カバー２１
との間は気密に保持された密閉領域、即ちシリンダ室と
なっており、そのシリンダ室はピストン２２によりロッ
ド側シリンダ室２５とヘッド側シリンダ室２６とに区画
されている。A seal ring 23 for sealing with the actuator body 2 is mounted on the outer peripheral surface of the rod side cover 17, the outer peripheral surface of the head side cover 21, and the outer peripheral surface of the piston 22. A rod packing 24 for sealing with the guide rod 16 is mounted on the inner peripheral surface of the rod side cover 17. Therefore, the rod-side cover 17 and the head-side cover 21 in the second through hole 4
Is a hermetically sealed area, that is, a cylinder chamber. The cylinder chamber is divided into a rod-side cylinder chamber 25 and a head-side cylinder chamber 26 by a piston 22.

【００３９】アクチュエータ本体２の第２貫通孔４に近
接した側面には、ロッド側シリンダ室２５に連通される
第１ポート２７及びヘッド側シリンダ室２６に連通され
る第２ポート２８が並設されている。A first port 27 communicating with the rod-side cylinder chamber 25 and a second port 28 communicating with the head-side cylinder chamber 26 are juxtaposed on a side surface of the actuator body 2 adjacent to the second through hole 4. ing.

【００４０】ピストン２２の先端面には弾性部としての
ゴム製のクッションリング２９が装着されている。クッ
ションリング２９は作動部材１２及びガイドロッド１６
が最前端位置に配置されたときにその停止位置を決定付
けるとともに衝撃を緩和するために設けられたものであ
り、最前端位置でのストッパとして機能するとともに緩
衝部材としても機能する。A rubber cushion ring 29 as an elastic portion is mounted on the distal end surface of the piston 22. The cushion ring 29 includes the operating member 12 and the guide rod 16.
Is provided to determine the stop position and reduce the impact when it is located at the front end position, and functions as a stopper at the front end position and also functions as a buffer member.

【００４１】当板１９の後端面のうち作動部材１２とガ
イドロッド１６との間には弾性部としてのクッションゴ
ム１９ａが装着されている。アクチュエータ本体２の先
端面にはそのクッションゴム１９ａと対向するように規
制部材としてのストッパボルト３０が装着されている。
ストッパボルト３０は作動部材１２及びガイドロッド１
６が最後端位置に配置されたときにクッションゴム１９
ａと当接されてその停止位置を決定付けるために設けら
れたものであり、最後端位置でのストッパとして機能す
る。ストッパボルト３０はその突出量を調整可能であ
り、その調節により最終端位置を適宜調節することがで
きる。A cushion rubber 19 a as an elastic portion is mounted between the operating member 12 and the guide rod 16 on the rear end surface of the contact plate 19. A stopper bolt 30 as a regulating member is mounted on the distal end surface of the actuator body 2 so as to face the cushion rubber 19a.
The stopper bolt 30 includes the operating member 12 and the guide rod 1.
When 6 is located at the rearmost position, the cushion rubber 19
a, which is provided to determine the stop position thereof, and functions as a stopper at the rearmost position. The amount of protrusion of the stopper bolt 30 can be adjusted, and the final position can be appropriately adjusted by the adjustment.

【００４２】ピストン２２の外周面には磁気発生手段と
しての永久磁石３１が装着されている。永久磁石３１は
アクチュエータ本体２に装着された位置検出手段として
の図示しない位置検出装置によりピストン２２位置を検
出するために設けられたものである。なお、位置検出装
置は作動部材１２及びガイドロッド１６が最前端位置に
配置された状態と最後端位置に配置された状態とをそれ
ぞれ検出し得るように、長手方向に離間して２つ設置さ
れている。A permanent magnet 31 is mounted on the outer peripheral surface of the piston 22 as a magnet generating means. The permanent magnet 31 is provided to detect the position of the piston 22 by a position detecting device (not shown) as position detecting means mounted on the actuator body 2. The two position detecting devices are installed in the longitudinal direction so as to be able to detect the state where the operating member 12 and the guide rod 16 are arranged at the frontmost position and the state where the operating rod 12 is arranged at the rearmost position. ing.

【００４３】アクチュエータ本体２には第１貫通孔３と
第２貫通孔４との間の複数箇所に取付孔３２が貫通する
ように形成されている。本実施形態では取付孔３２は互
いに離間して２箇所に形成されている。取付孔３２はボ
ルト等が挿入され、アクチュエータ本体２を所定位置に
固定する際に利用し得るように設けられたものである。In the actuator body 2, mounting holes 32 are formed at a plurality of positions between the first through hole 3 and the second through hole 4 so as to pass therethrough. In the present embodiment, the mounting holes 32 are formed at two places apart from each other. The mounting hole 32 is provided so that a bolt or the like is inserted therein and can be used when fixing the actuator main body 2 at a predetermined position.

【００４４】次に、以上のように構成された電動アクチ
ュエータ１の動作を説明する。ステッピングモータ５へ
の通電を行う前の初期状態においては、図１に示すよう
にストッパボルト３０がアクチュエータ本体２の先端面
に当接している。このとき、作動部材１２、ガイドロッ
ド１６及び当板１９は最後端位置、即ち原点位置にある
ものとする。Next, the operation of the electric actuator 1 configured as described above will be described. In the initial state before the stepping motor 5 is energized, the stopper bolt 30 is in contact with the distal end surface of the actuator body 2 as shown in FIG. At this time, it is assumed that the operating member 12, the guide rod 16, and the abutment plate 19 are at the rearmost position, that is, the origin position.

【００４５】通電を開始することによりステッピングモ
ータ５を一方向に駆動すると、出力軸６及びそれに連結
された送りねじ部７が一方向（正方向）に一体的に回転
される。送りねじ部７と螺合関係にある送りナット部１
０は、ガイドロッド１６による回り止め機能によって回
り止めがなされていることから、送りねじ部７の長手方
向に沿って前進する。それに伴って送りナット部１０と
一体的に設けられた作動部材１２、当板１９及びガイド
ロッド１６が一体となって前進する。When the stepping motor 5 is driven in one direction by starting the energization, the output shaft 6 and the feed screw portion 7 connected thereto are integrally rotated in one direction (forward direction). Feed nut part 1 which is screwed with feed screw part 7
0 moves forward along the longitudinal direction of the feed screw portion 7 because the rotation is stopped by the rotation stopping function of the guide rod 16. Accordingly, the operating member 12, the abutment plate 19, and the guide rod 16 provided integrally with the feed nut portion 10 advance integrally.

【００４６】そして、作動部材１２が最前端位置にまで
到達すると、クッションリング２９がロッド側カバー１
７の後端面に当接する。その結果、作動部材１２等のそ
れ以上の前進が規制されるとともに、停止時の衝撃が緩
和される。この最前端位置に到達したことは、位置検出
装置が永久磁石３１の磁気を検出することにより行われ
る。When the operating member 12 reaches the front end position, the cushion ring 29 is moved to the rod side cover 1.
7 comes into contact with the rear end face. As a result, further advancement of the operating member 12 and the like is restricted, and the impact at the time of stopping is reduced. Reaching this front end position is performed by the position detecting device detecting the magnetism of the permanent magnet 31.

【００４７】その後、ステッピングモータ５を他方向
（逆方向）に駆動すると、出力軸６及びそれに連結され
た送りねじ部７がこれまでとは反対となる逆方向に一体
的に回転される。このとき、送りナット部１０、作動部
材１２、当板１９及びガイドロッド１６が一体となって
後進する。Thereafter, when the stepping motor 5 is driven in the other direction (reverse direction), the output shaft 6 and the feed screw portion 7 connected to the output shaft 6 are integrally rotated in the reverse direction opposite to the conventional. At this time, the feed nut portion 10, the operating member 12, the abutment plate 19, and the guide rod 16 integrally move backward.

【００４８】そして、作動部材１２が最後端位置にまで
到達すると、ストッパボルト３０の頭部がクッションゴ
ム１９ａに当接する。その結果、作動部材１２等のそれ
以上の後進が規制されるとともに、停止時の衝撃が緩和
される。この最後端位置に到達したことは、位置検出装
置が永久磁石３１の磁気を検出することにより行われ
る。When the operating member 12 reaches the rearmost position, the head of the stopper bolt 30 contacts the cushion rubber 19a. As a result, further backward movement of the operating member 12 and the like is restricted, and the impact at the time of stopping is reduced. Reaching the rearmost position is performed by the position detecting device detecting the magnetism of the permanent magnet 31.

【００４９】ここで、第１ポート２７及び第２ポート２
８はそれぞれ流体を給排する給排ポートとして利用し得
る。その利用形態としては、ステッピングモータ５への
通電を行って作動部材１２、当板１９及びガイドロッド
１６を前進させる際、第２ポート２８に流体を供給する
とともに第１ポート２７から流体を排出する。一方、ス
テッピングモータ５への通電を行って作動部材１２、当
板１９及びガイドロッド１６を後進させる際、第１ポー
ト２７に流体を供給するとともに第２ポート２８から流
体を排出する。これにより、ステッピングモータ５の回
転力に加え、ピストン２２に進行方向への推力が補助的
に付加された状態で作動部材１２等が進退される。Here, the first port 27 and the second port 2
8 can be used as supply / discharge ports for supplying / discharging fluid, respectively. When the stepping motor 5 is energized to advance the operating member 12, the abutment plate 19 and the guide rod 16, the fluid is supplied to the second port 28 and the fluid is discharged from the first port 27. . On the other hand, when the operation member 12, the abutment plate 19 and the guide rod 16 are moved backward by energizing the stepping motor 5, the fluid is supplied to the first port 27 and the fluid is discharged from the second port. Thus, the operating member 12 and the like are advanced and retracted in a state where the thrust in the traveling direction is added to the piston 22 in addition to the rotational force of the stepping motor 5.

【００５０】なお、この補助的な推力が不要な場合に
は、第１ポート２７及び第２ポート２８を大気に開放さ
せておけばロッド側シリンダ室２６及びヘッド側シリン
ダ室２６が圧力室として機能することがなくなり、作動
部材１２の前後進の妨げになることはない。When the auxiliary thrust is unnecessary, the first and second ports 27 and 28 can be opened to the atmosphere so that the rod-side cylinder chamber 26 and the head-side cylinder chamber 26 function as pressure chambers. And the forward and backward movement of the operating member 12 is not hindered.

【００５１】従って、第１の実施の形態によれば以下の
ような効果を得ることができる。 （１）ガイドロッド１６側がシリンダ構造をなすことに
より、ステッピングモータ５自体が小型で推力の小さな
ものであっても、ガイドロッド１６側で発生する補助的
な推力を加えて、全体として充分な推力を得ることがで
きる。その結果、大型のステッピングモータ５を使用す
る必要がなくなる。しかも、シリンダ構造をガイドロッ
ド１６側に設けたことで、ガイドロッド１６側のスペー
スを有効利用することができる。Therefore, according to the first embodiment, the following effects can be obtained. (1) Since the guide rod 16 side has a cylinder structure, even if the stepping motor 5 itself is small and has a small thrust, the auxiliary thrust generated on the guide rod 16 side is applied to provide a sufficient thrust as a whole. Can be obtained. As a result, there is no need to use a large stepping motor 5. Moreover, since the cylinder structure is provided on the guide rod 16 side, the space on the guide rod 16 side can be effectively used.

【００５２】（２）ピストン２２に永久磁石３１を設
け、アクチュエータ本体２に位置検出装置を設けたた
め、位置検出装置からの検出信号によって作動部材１２
の移動位置を検出することができる。この位置検出は非
接触で行われるため、作動部材１２の動作に悪影響を及
ぼすことがない。しかも、永久磁石３１等の位置検出構
造をガイドロッド１６側に設けたことで、ガイドロッド
１６側のスペースを有効利用することができる。(2) Since the permanent magnet 31 is provided on the piston 22 and the position detecting device is provided on the actuator body 2, the operating member 12 is actuated by a detection signal from the position detecting device.
Can be detected. Since the position detection is performed in a non-contact manner, the operation of the operation member 12 is not adversely affected. Moreover, since the position detecting structure such as the permanent magnet 31 is provided on the guide rod 16 side, the space on the guide rod 16 side can be effectively used.

【００５３】（３）作動部材１２の最前進端位置と最後
進端位置とを決定付けるピストン２２やストッパボルト
３０等を設けたため、作動部材１２の最前進端位置と最
後進端位置とをステッピングモータ５の制御に頼らずに
決定付けることができる。しかも、これらピストン２２
やストッパボルト３０等の規制部材を、ガイドロッド１
６側のスペースや、当板１９とアクチュエータ本体２と
の間のスペースを利用して設置したので、それらのスペ
ースを有効利用することができる。(3) Since the piston 22 and the stopper bolt 30 for determining the most advanced position and the most advanced position of the operating member 12 are provided, the most advanced position and the most advanced position of the operating member 12 are stepped. The determination can be made without depending on the control of the motor 5. Moreover, these pistons 22
The guide rod 1
Since the space is installed using the space on the 6 side or the space between the contact plate 19 and the actuator main body 2, those spaces can be effectively used.

【００５４】（４）作動部材１２の最前進端位置と最後
進端位置において、それぞれクッションゴム２９，１９
ａによって緩衝作用が得られるため、電動アクチュエー
タ１を構成する各部材へ加わる衝撃を低減することがで
きる。(4) At the most advanced end position and the most advanced end position of the operating member 12, the cushion rubbers 29, 19 are respectively provided.
Since the cushioning effect is obtained by a, it is possible to reduce the impact applied to each member constituting the electric actuator 1.

【００５５】（５）作動部材１２の回り止めはガイドロ
ッド１６によって行われ、作動部材１２及びガイドロッ
ド１６はいずれもボール軸受１５，１８によって支持さ
れている。その結果、作動部材１２の高精度な回り止め
が実現されるとともに、その直線移動も高精度なものと
なる。(5) The rotation of the operating member 12 is stopped by the guide rod 16, and both the operating member 12 and the guide rod 16 are supported by ball bearings 15 and 18. As a result, the rotation of the operating member 12 is prevented with high precision, and the linear movement thereof is also performed with high precision.

【００５６】（６）作動部材１２はガイドロッド１６と
連結されることで自身の回り止めが達成されているた
め、作動部材１２に一体に設けられた送りナット部１０
も回り止めが図られている。その結果、ステッピングモ
ータ５の回転に伴って送りねじ部７が回転すると送りナ
ット部１０は回転することなく直線的に移動され、これ
により作動部材１２が直線的に移動される。従って、変
換手段を送りねじ部７と送りナット部１０により構成し
たことでその構成が簡略化し得るばかりか、送りナット
部１０の回り止めもガイドロッド１６の存在によって達
成されるため送りナット部１０専用の回り止め機構が不
要となって更なる構成の簡略化を図ることができる。(6) Since the operation member 12 is connected to the guide rod 16 to prevent the rotation thereof, the feed nut portion 10 provided integrally with the operation member 12 is achieved.
The rotation is also prevented. As a result, when the feed screw portion 7 rotates with the rotation of the stepping motor 5, the feed nut portion 10 moves linearly without rotating, whereby the operating member 12 moves linearly. Therefore, the conversion means is constituted by the feed screw portion 7 and the feed nut portion 10, so that not only the structure can be simplified, but also the rotation of the feed nut portion 10 is achieved by the presence of the guide rod 16, so that the feed nut portion 10 is provided. A dedicated rotation preventing mechanism is not required, and the configuration can be further simplified.

【００５７】（７）送りねじ部７の先端部が作動部材１
２に形成された収容穴１３に収容されることから、作動
部材１２が送りねじ部７の保護材として機能し、送りね
じ部７に塵埃が付着することが極力防止される。その結
果、塵埃の付着による動作不良を防止し得る。又、送り
ねじ部７の先端部が作動部材１２に形成された収容穴１
３に収容されることで電動アクチュエータ１の全長が短
くなるという利点もある。(7) The tip of the feed screw 7 is the operating member 1
Since the operation member 12 is accommodated in the accommodation hole 13 formed in the feed screw 2, the actuating member 12 functions as a protective material for the feed screw portion 7, and dust is prevented from adhering to the feed screw portion 7 as much as possible. As a result, it is possible to prevent malfunction due to dust adhesion. In addition, the leading end of the feed screw portion 7 has a receiving hole 1 formed in the operating member 12.
3 has the advantage that the total length of the electric actuator 1 is reduced.

【００５８】（８）ステッピングモータ５の出力軸６の
中心軸線と送りねじ部７の中心軸線とを同一直線上に配
置したことにより、カップリング８のみで出力軸６から
送りねじ部７に回転伝達を行い得るため、前記両中心軸
線が同一直線上にない場合と比べて構成の簡略化及び小
型化を達成し得る。(8) Since the center axis of the output shaft 6 of the stepping motor 5 and the center axis of the feed screw portion 7 are arranged on the same straight line, the output shaft 6 rotates from the output shaft 6 to the feed screw portion 7 with only the coupling 8. Since transmission can be performed, simplification and downsizing of the configuration can be achieved as compared with the case where the two central axes are not on the same straight line.

【００５９】（９）作動部材１２とガイドロッド１６と
の連結を、両者の先端部を同一の当板１９に連結するこ
とにより行ったため、同当板１９にワーク等を取付ける
ことが可能となる。(9) Since the connection between the operating member 12 and the guide rod 16 is performed by connecting the distal ends of the two to the same abutment plate 19, it is possible to attach a work or the like to the abutment plate 19. .

【００６０】（１０）作動部材１２及びガイドロッド１
６を軸受するために、特に高精度な軸受部材であるボー
ル軸受１５，１８を採用したため、作動部材１２の回り
止め及び直線運動の高精度化を一層促進し得る結果とな
る。(10) Operating member 12 and guide rod 1
Since the ball bearings 15, 18, which are particularly high-precision bearing members, are employed for bearing 6, the rotation of the operating member 12 and the precision of linear motion can be further promoted.

【００６１】（１１）作動部材１２の外周面及びガイド
ロッド１６の外周面の外径を同一としてボール軸受１
５，１８を共通のものとしたため、部品の共通化による
コスト低減を図ることができる。(11) Assuming that the outer diameter of the outer peripheral surface of the operating member 12 and the outer diameter of the outer peripheral surface of the guide rod 16 are the same, the ball bearing 1
Since the parts 5 and 18 are common, it is possible to reduce the cost by sharing parts.

【００６２】（１２）アクチュエータ本体２を単体によ
り構成したため、アクチュエータ本体２を作動部材１２
側とガイドロッド１６側とで２分して構成するようなも
のと比べ、アクチュエータ本体２の構造の簡略化に結び
付くばかりか、作動部材１２とガイドロッド１６との位
置関係を確固たるものとすることができ、作動部材１２
の高精度な移動にも寄与する。(12) Since the actuator body 2 is composed of a single body, the actuator body 2 is
Compared to a configuration in which the actuator body 2 and the guide rod 16 are divided into two parts, not only is the structure of the actuator body 2 simplified, but also the positional relationship between the actuating member 12 and the guide rod 16 is made firm. The operating member 12
It also contributes to high-precision movement of.

【００６３】［第２の実施の形態］以下、電動アクチュ
エータの第２の実施の形態を図２に基づいて説明する。
なお、第１の実施の形態と共通する構成については同一
番号を付して詳細な説明を省略し、第１の実施の形態と
の相違部分のみ説明する。[Second Embodiment] Hereinafter, a second embodiment of the electric actuator will be described with reference to FIG.
The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, detailed description thereof will be omitted, and only different portions from the first embodiment will be described.

【００６４】第２の実施の形態では保持機構４１が設け
られている。保持機構４１のハウジング４２は、アクチ
ュエータ本体２のガイドロッド１６側の側面に固定され
ている。そのハウジング４２に対応するアクチュエータ
本体２には、ロッド側シリンダ室２５とアクチュエータ
本体２の外部、即ちハウジング４２内とを連通する孔４
３が形成されている。孔４３は第２貫通孔４と交差（直
交）する方向に延びており、その孔４３内には係合部材
４４が配設されている。In the second embodiment, a holding mechanism 41 is provided. The housing 42 of the holding mechanism 41 is fixed to a side surface of the actuator body 2 on the guide rod 16 side. The actuator body 2 corresponding to the housing 42 has a hole 4 for communicating the rod side cylinder chamber 25 with the outside of the actuator body 2, that is, inside the housing 42.
3 are formed. The hole 43 extends in a direction intersecting (perpendicular to) the second through-hole 4, and an engaging member 44 is provided in the hole 43.

【００６５】係合部材４４は、アクチュエータ本体２の
孔４３に対応する内周面に摺接されるシールリング４５
を備えたピストン部４６と、そのピストン部４６からガ
イドロッド１６側に突出するとともにピストン部４６よ
りも小径のロッド部４７とを備えている。従って、ロッ
ド部４７はピストン部４６とともにガイドロッド１６の
軸線と直交する方向へ移動可能である。ハウジング４２
内にはピストン部４６を常時ガイドロッド１６側へ付勢
する付勢手段としてのコイルバネ４８が収容されてい
る。The engagement member 44 is provided with a seal ring 45 slidably contacting the inner peripheral surface corresponding to the hole 43 of the actuator body 2.
And a rod portion 47 projecting from the piston portion 46 toward the guide rod 16 and having a smaller diameter than the piston portion 46. Therefore, the rod part 47 can move together with the piston part 46 in a direction orthogonal to the axis of the guide rod 16. Housing 42
A coil spring 48 as a biasing means for constantly biasing the piston portion 46 toward the guide rod 16 is accommodated therein.

【００６６】ガイドロッド１６のピストン２２よりも先
端側には凹所としての環状溝４９が形成されている。こ
の環状溝４９の溝幅は係合部材４４のロッド部４７の径
とほぼ同一か又はそれより若干大きく形成されている。
この環状溝４９の位置は、ガイドロッド１６が突出位
置、即ち最前端位置に到達した時点でロッド部４７と対
応する位置に形成されている。An annular groove 49 is formed as a recess at the tip of the guide rod 16 from the piston 22. The annular groove 49 has a groove width substantially equal to or slightly larger than the diameter of the rod portion 47 of the engagement member 44.
The position of the annular groove 49 is formed at a position corresponding to the rod portion 47 when the guide rod 16 reaches the projecting position, that is, the front end position.

【００６７】以上の構成により、図２の状態からガイド
ロッド１６が前進し、最前端位置に到達すると、ロッド
部４７の先端位置に環状溝４９が配置される。すると、
コイルバネ４８の付勢力によってロッド部４７が環状溝
４９内に進入する。これにより、ロッド部４７が環状溝
４９に係合してガイドロッド１６が最前端位置に保持さ
れる。この状態では、ステッピングモータ５の保持力が
弱くとも、ガイドロッド１６を確実に最前端位置に保持
することができる。With the above arrangement, when the guide rod 16 advances from the state shown in FIG. 2 and reaches the frontmost end position, the annular groove 49 is arranged at the tip end position of the rod portion 47. Then
The rod portion 47 enters the annular groove 49 by the urging force of the coil spring 48. As a result, the rod portion 47 is engaged with the annular groove 49, and the guide rod 16 is held at the frontmost position. In this state, even if the holding force of the stepping motor 5 is weak, the guide rod 16 can be reliably held at the frontmost position.

【００６８】一方、ガイドロッド１６を最前端位置から
後進させる場合には、第１ポート２７に流体を供給すれ
ばよい。即ち、第１ポート２７に供給される流体はロッ
ド側シリンダ室２５へ供給され、ピストン部４６に作用
する。その結果、流体圧によってピストン部４６がコイ
ルバネ４８の付勢力に抗してガイドロッド１６から離間
する側へ移動され、ロッド部４７と環状溝４９との係合
状態が解除される。その解除状態においてステッピング
モータ５を駆動することにより、ガイドロッド１６が後
進される。On the other hand, when the guide rod 16 is moved backward from the frontmost position, the fluid may be supplied to the first port 27. That is, the fluid supplied to the first port 27 is supplied to the rod-side cylinder chamber 25 and acts on the piston 46. As a result, the piston portion 46 is moved toward the side separated from the guide rod 16 against the urging force of the coil spring 48 by the fluid pressure, and the engagement between the rod portion 47 and the annular groove 49 is released. By driving the stepping motor 5 in the released state, the guide rod 16 is moved backward.

【００６９】以上のような第２の実施の形態において
は、第１の実施の形態における（１）〜（１２）の効果
に加え、次の効果が得られる。 （１３）アクチュエータ本体２のガイドロッド１６側に
は同ガイドロッド１６側のスペースを有効利用すべく各
種機能の一つとして保持機構４１を設けた。この保持機
構４１によってガイドロッド１６を所定位置に保持させ
ることが可能となる。In the above-described second embodiment, the following effects can be obtained in addition to the effects (1) to (12) of the first embodiment. (13) A holding mechanism 41 is provided on the guide rod 16 side of the actuator body 2 as one of various functions in order to effectively use the space on the guide rod 16 side. The holding mechanism 41 enables the guide rod 16 to be held at a predetermined position.

【００７０】（１４）保持機構４１に設けられた係合部
材４４のロッド部４７がガイドロッド１６に設けられた
環状溝４９に係脱されるものであることから、係合時に
おけるガイドロッド１６の所定位置での保持を確固たる
ものとし得る。(14) Since the rod portion 47 of the engaging member 44 provided on the holding mechanism 41 is engaged with and disengaged from the annular groove 49 provided on the guide rod 16, the guide rod 16 at the time of engagement is In a predetermined position.

【００７１】（１５）保持機構４１はガイドロッド１６
の最前端位置で保持するものであるため、図２に示すよ
うに当板１９を上側として使用する場合の落下防止機構
として機能させることができる。(15) The holding mechanism 41 is the guide rod 16
Since it is held at the foremost end position, it can function as a fall prevention mechanism when the abutment plate 19 is used as an upper side as shown in FIG.

【００７２】（１６）ロッド部４７と環状溝４９との係
合解除は流体圧によって行われるため、ガイドロッド１
６にピストン２２を装着したシリンダ構造に好適であ
る。 ［第３の実施の形態］以下、電動アクチュエータの第３
の実施の形態を図３に基づいて説明する。なお、第２の
実施の形態と共通する構成については同一番号を付して
詳細な説明を省略する。(16) Since the engagement between the rod portion 47 and the annular groove 49 is released by fluid pressure, the guide rod 1
6 is suitable for a cylinder structure in which a piston 22 is mounted. [Third Embodiment] Hereinafter, a third embodiment of the electric actuator will be described.
The embodiment will be described with reference to FIG. The same components as those in the second embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description is omitted.

【００７３】この第３の実施の形態は、第２の実施の形
態における保持機構４１の構成をそのまま利用して、そ
の取付位置のみを後端側（図３における上側）へ移動さ
せている。又、ガイドロッド１６の反ピストン２２側に
は、ガイドロッド１６と同軸上に延びる突部５１が形成
されている。突部５１には第２の実施の形態と同様の環
状溝４９が形成されている。突部５１の自由端側にはテ
ーパ面５２が形成されている。In the third embodiment, only the mounting position is moved to the rear end side (upward in FIG. 3) by utilizing the structure of the holding mechanism 41 in the second embodiment as it is. Further, a protrusion 51 extending coaxially with the guide rod 16 is formed on the side opposite to the piston 22 of the guide rod 16. An annular groove 49 similar to that of the second embodiment is formed in the protrusion 51. A tapered surface 52 is formed on the free end side of the protrusion 51.

【００７４】又、ヘッド側カバー２１には第２貫通孔４
に嵌合される筒部５３が形成され、その筒部５３には孔
４３に対応して孔４３よりも小径かつロッド部４７より
も大径の挿通孔５４が形成されている。そして、挿通孔
５４を介してロッド部４７がヘッド側シリンダ室２６側
に突出されている。この実施の形態では、環状溝４９の
位置は、ガイドロッド１６が没入位置、即ち最後端位置
に到達した時点でロッド部４７と対応する位置に形成さ
れている。The head side cover 21 has a second through hole 4.
The cylindrical portion 53 is formed with an insertion hole 54 having a smaller diameter than the hole 43 and a larger diameter than the rod portion 47 corresponding to the hole 43. The rod portion 47 projects toward the head-side cylinder chamber 26 through the insertion hole 54. In this embodiment, the position of the annular groove 49 is formed at a position corresponding to the rod portion 47 when the guide rod 16 reaches the retracted position, that is, the rearmost position.

【００７５】以上の構成により、ガイドロッド１６が最
前端位置に配置された状態では、コイルバネ４８の付勢
力によりロッド部４７がヘッド側シリンダ室２６側へ突
出されている。但し、ピストン部４６が筒部５３に干渉
してそれ以上の突出は規制されている。With the above arrangement, when the guide rod 16 is located at the frontmost position, the rod portion 47 is protruded toward the head side cylinder chamber 26 by the urging force of the coil spring 48. However, the projection of the piston portion 46 further interfering with the cylindrical portion 53 is restricted.

【００７６】この状態においてガイドロッド１６が後進
すると、まずロッド部４７がテーパ面５２に案内されな
がらコイルバネ４８の付勢力に抗して退避される。更に
ガイドロッド１６が後退して最後端位置に到達すると、
ロッド部４７の先端位置に環状溝４９が配置される。す
ると、コイルバネ４８の付勢力によってロッド部４７が
環状溝４９内に進入する。これにより、ロッド部４７が
環状溝４９に係合してガイドロッド１６が最後端位置に
保持される。この状態では、ステッピングモータ５の保
持力が弱くとも、ガイドロッド１６を確実に最後端位置
に保持することができる。When the guide rod 16 moves backward in this state, first, the rod portion 47 is retracted against the urging force of the coil spring 48 while being guided by the tapered surface 52. When the guide rod 16 further retreats and reaches the rearmost position,
An annular groove 49 is arranged at the distal end position of the rod portion 47. Then, the rod portion 47 enters the annular groove 49 by the urging force of the coil spring 48. As a result, the rod portion 47 is engaged with the annular groove 49, and the guide rod 16 is held at the rearmost position. In this state, even if the holding force of the stepping motor 5 is weak, the guide rod 16 can be reliably held at the rearmost position.

【００７７】一方、ガイドロッド１６を前記した最後端
位置から前進させる場合には、第２ポート２８に流体を
供給すればよい。即ち、第２ポート２８に供給される流
体はヘッド側シリンダ室２６へ供給され、ピストン部４
６に作用する。その結果、流体圧によってピストン部４
６がコイルバネ４８の付勢力に抗してガイドロッド１６
から離間する側へ移動され、ロッド部４７と環状溝４９
との係合状態が解除される。その解除状態においてステ
ッピングモータ５を駆動することにより、ガイドロッド
１６が前進される。On the other hand, when the guide rod 16 is advanced from the rearmost position, the fluid may be supplied to the second port 28. That is, the fluid supplied to the second port 28 is supplied to the head side cylinder chamber 26,
Acts on 6. As a result, the piston portion 4
6 is the guide rod 16 against the urging force of the coil spring 48.
Rod 47 and the annular groove 49
Is released. By driving the stepping motor 5 in the released state, the guide rod 16 is advanced.

【００７８】以上のような第３の実施の形態において
は、第１の実施の形態における（１）〜（１２）の効果
に加え、次の効果が得られる。 （１７）アクチュエータ本体２のガイドロッド１６側に
は同ガイドロッド１６側のスペースを有効利用すべく各
種機能の一つとして保持機構４１を設けた。この保持機
構４１によってガイドロッド１６を所定位置に保持させ
ることが可能となる。In the third embodiment as described above, the following effects can be obtained in addition to the effects (1) to (12) in the first embodiment. (17) A holding mechanism 41 is provided on the guide rod 16 side of the actuator body 2 as one of various functions in order to effectively use the space on the guide rod 16 side. The holding mechanism 41 enables the guide rod 16 to be held at a predetermined position.

【００７９】（１８）保持機構４１に設けられた係合部
材４４のロッド部４７が、ガイドロッド１６と一体であ
ってガイドロッド１６の一部ともいえる突部５１に設け
られた環状溝４９に係脱されるものであることから、係
合時におけるガイドロッド１６の所定位置での保持を確
固たるものとし得る。(18) The rod portion 47 of the engaging member 44 provided in the holding mechanism 41 is formed in the annular groove 49 provided in the projection 51 which is integral with the guide rod 16 and can be regarded as a part of the guide rod 16. Since the guide rod 16 is engaged and disengaged, it is possible to firmly hold the guide rod 16 at a predetermined position during engagement.

【００８０】（１９）保持機構４１はガイドロッド１６
の最後端位置で保持するものであるため、図３に示すよ
うに当板１９を下側として使用する場合の落下防止機構
として機能させることができる。(19) The holding mechanism 41 is
Since the holding plate 19 is held at the rearmost position, it can function as a fall prevention mechanism when the abutment plate 19 is used as a lower side as shown in FIG.

【００８１】（２０）ロッド部４７と環状溝４９との係
合解除は流体圧によって行われるため、ガイドロッド１
６にピストン２２を装着したシリンダ構造に好適であ
る。 ［第４の実施の形態］以下、電動アクチュエータの第４
の実施の形態を図４に基づいて説明する。なお、第３の
実施の形態と共通する構成については同一番号を付して
詳細な説明を省略する。(20) Since the engagement between the rod portion 47 and the annular groove 49 is released by fluid pressure, the guide rod 1
6 is suitable for a cylinder structure in which a piston 22 is mounted. [Fourth Embodiment] Hereinafter, a fourth embodiment of the electric actuator will be described.
The embodiment will be described with reference to FIG. The same components as those in the third embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description is omitted.

【００８２】この第４の実施の形態は、第３の実施の形
態における保持機構４１に代えて別の保持機構６１を設
けたものである。保持機構６１のハウジング６２は、ア
クチュエータ本体２のガイドロッド１６側の側面に固定
されている。このハウジング６２には電磁吸着部として
のソレノイド６３が備えられている。係合部材としての
プランジャ６４は付勢手段としてのコイルバネ６５の付
勢力によって常時突出側へ付勢されている。プランジャ
６４の先端側は環状溝４９に係脱される小径のロッド部
６６となっている。なお、ハウジング６２とアクチュエ
ータ本体２との間にはシールリング６７が配設されてい
る。以上の構成により、ガイドロッド１６が最前端位置
に配置された状態では、コイルバネ６５の付勢力により
プランジャ６４のロッド部６６がヘッド側シリンダ室２
６側へ突出されている。但し、プランジャ６４が筒部５
３に干渉してそれ以上の突出は規制されている。In the fourth embodiment, another holding mechanism 61 is provided in place of the holding mechanism 41 in the third embodiment. The housing 62 of the holding mechanism 61 is fixed to the side surface of the actuator body 2 on the guide rod 16 side. The housing 62 is provided with a solenoid 63 as an electromagnetic attraction part. The plunger 64 as the engaging member is constantly urged to the projecting side by the urging force of the coil spring 65 as the urging means. The distal end side of the plunger 64 is a small-diameter rod portion 66 engaged with and disengaged from the annular groove 49. Note that a seal ring 67 is provided between the housing 62 and the actuator body 2. With the configuration described above, when the guide rod 16 is located at the frontmost position, the rod portion 66 of the plunger 64 is moved by the urging force of the coil spring 65.
6 protrudes. However, the plunger 64 is the cylindrical portion 5
Further projection is restricted by interfering with No. 3.

【００８３】この状態においてガイドロッド１６が後進
すると、まずロッド部６６がテーパ面５２に案内されな
がらコイルバネ６５の付勢力に抗して退避される。更に
ガイドロッド１６が後退して最後端位置に到達すると、
ロッド部６６の先端位置に環状溝４９が配置される。す
ると、コイルバネ６５の付勢力によってロッド部６６が
環状溝４９内に進入する。これにより、ロッド部６６が
環状溝４９に係合してガイドロッド１６が最後端位置に
保持される。この状態では、ステッピングモータ５の保
持力が弱くとも、ガイドロッド１６を確実に最後端位置
に保持することができる。When the guide rod 16 moves backward in this state, first, the rod portion 66 is retracted against the urging force of the coil spring 65 while being guided by the tapered surface 52. When the guide rod 16 further retreats and reaches the rearmost position,
An annular groove 49 is arranged at the distal end position of the rod portion 66. Then, the rod portion 66 enters the annular groove 49 by the urging force of the coil spring 65. As a result, the rod portion 66 is engaged with the annular groove 49, and the guide rod 16 is held at the rearmost position. In this state, even if the holding force of the stepping motor 5 is weak, the guide rod 16 can be reliably held at the rearmost position.

【００８４】一方、ガイドロッド１６を前記した最後端
位置から前進させる場合には、ソレノイド６３を励磁す
ればよい。即ち、ソレノイド６３を励磁することにより
プランジャ６４が引きつけられ、同プランジャ６４がコ
イルバネ６５の付勢力に抗してガイドロッド１６から離
間する側へ移動され、ロッド部６６と環状溝４９との係
合状態が解除される。その解除状態においてステッピン
グモータ５を駆動することにより、ガイドロッド１６が
前進される。On the other hand, when the guide rod 16 is advanced from the rearmost position, the solenoid 63 may be excited. That is, when the solenoid 63 is excited, the plunger 64 is attracted, the plunger 64 is moved toward the side separated from the guide rod 16 against the urging force of the coil spring 65, and the engagement between the rod portion 66 and the annular groove 49 is performed. The state is released. By driving the stepping motor 5 in the released state, the guide rod 16 is advanced.

【００８５】以上のような第４の実施の形態において
は、第１の実施の形態における（１）〜（１２）の効果
に加え、次の効果が得られる。 （２１）アクチュエータ本体２のガイドロッド１６側に
は同ガイドロッド１６側のスペースを有効利用すべく各
種機能の一つとして保持機構６１を設けた。この保持機
構６１によってガイドロッド１６を所定位置に保持させ
ることが可能となる。In the fourth embodiment as described above, the following effects can be obtained in addition to the effects (1) to (12) in the first embodiment. (21) A holding mechanism 61 is provided on the guide rod 16 side of the actuator body 2 as one of various functions in order to effectively use the space on the guide rod 16 side. The holding mechanism 61 allows the guide rod 16 to be held at a predetermined position.

【００８６】（２２）保持機構６１に設けられたプラン
ジャ６４のロッド部６６が、ガイドロッド１６と一体で
あってガイドロッド１６の一部ともいえる突部５１に設
けられた環状溝４９に係脱されるものであることから、
係合時におけるガイドロッド１６の所定位置での保持を
確固たるものとし得る。(22) The rod portion 66 of the plunger 64 provided on the holding mechanism 61 is engaged with and disengaged from the annular groove 49 provided on the projection 51 which is integral with the guide rod 16 and can be regarded as a part of the guide rod 16. Because it is
It is possible to firmly hold the guide rod 16 at a predetermined position during the engagement.

【００８７】（２３）保持機構６１はガイドロッド１６
の最後端位置で保持するものであるため、図４に示すよ
うに当板１９を下側として使用する場合の落下防止機構
として機能させることができる。(23) The holding mechanism 61 is provided with the guide rod 16
Since the holding plate is held at the rearmost position, it can function as a fall prevention mechanism when the abutment plate 19 is used as a lower side as shown in FIG.

【００８８】（２４）ロッド部４７と環状溝４９との係
合解除は、ソレノイド６３への励磁によって行われるた
め、特にステッピングモータ５とともにソレノイド６３
を集中制御する場合に好適である。(24) Since the engagement between the rod portion 47 and the annular groove 49 is released by exciting the solenoid 63, the solenoid 63 and the stepping motor 5 are particularly disengaged.
This is suitable when centralized control is performed.

【００８９】［第５の実施の形態］以下、電動アクチュ
エータの第５の実施の形態を図５に基づいて説明する。
なお、第１の実施の形態と共通する構成については同一
番号を付して詳細な説明を省略する。[Fifth Embodiment] Hereinafter, a fifth embodiment of the electric actuator will be described with reference to FIG.
Note that the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description is omitted.

【００９０】この第５の実施の形態は、第１の実施の形
態におけるガイドロッド１６に代えて別のガイドロッド
７１を設けたものである。このガイドロッド７１はヘッ
ド側カバー２１を貫通するように形成されている。ヘッ
ド側カバー２１にはガイドロッド７１の外周面をシール
するシールリング７２が装着されている。In the fifth embodiment, another guide rod 71 is provided in place of the guide rod 16 in the first embodiment. The guide rod 71 is formed to penetrate the head side cover 21. A seal ring 72 for sealing the outer peripheral surface of the guide rod 71 is mounted on the head-side cover 21.

【００９１】又、ガイドロッド７１は筒状に形成され、
ガイドロッド７１の内部にはその長手方向に貫通する流
体流通路７３が形成されている。更に、当板１９上には
流体圧駆動のチャック装置７４が装着されている。チャ
ック装置７４は流体圧に基づいて一対のチャック爪７５
が開閉される公知の構造をなし、その駆動源たる流体は
流体流通路７３を介して供給されるようになっている。
なお、ガイドロッド７１の後端側には流体給排用の図示
しない配管が接続される。The guide rod 71 is formed in a cylindrical shape.
A fluid flow passage 73 penetrating in the longitudinal direction is formed inside the guide rod 71. Furthermore, a chuck device 74 driven by fluid pressure is mounted on the plate 19. The chuck device 74 has a pair of chuck claws 75 based on the fluid pressure.
Has a known structure that can be opened and closed, and a fluid as a driving source thereof is supplied through a fluid flow passage 73.
A pipe (not shown) for supplying and discharging fluid is connected to the rear end of the guide rod 71.

【００９２】以上の構成により、ガイドロッド７１の位
置にかかわらず、チャック装置７４には流体流通路７３
を介して常に流体を給排し得る状態とすることができ
る。従って、ガイドロッド７１の適宜位置において一対
のチャック爪７５を開閉して所定のワークを把持する等
の作業を行い得る。With the above arrangement, regardless of the position of the guide rod 71, the fluid flow passage 73 is provided in the chuck device 74.
Through which the fluid can always be supplied and discharged. Therefore, work such as opening and closing the pair of chuck claws 75 at an appropriate position of the guide rod 71 to grip a predetermined work can be performed.

【００９３】以上のような第５の実施の形態において
は、第１の実施の形態における（１）〜（１２）の効果
に加え、次の効果が得られる。 （２５）流体流通路７３を介して当板１９側に流体を供
給したり、流体を排出することができる。その結果、別
途配管を設ける場合のように配管が輻輳したり作動部材
１２の動作の邪魔になったりすることがなく、作動部材
１２を円滑に動作させつつ装置全体をコンパクト化し得
る。又、流体流通路７３をガイドロッド７１に形成した
ことで、ガイドロッド７１側のスペースを有効利用する
ことができる。In the fifth embodiment as described above, the following effects are obtained in addition to the effects (1) to (12) of the first embodiment. (25) Fluid can be supplied to or discharged from the plate 19 via the fluid flow passage 73. As a result, unlike the case where a separate pipe is provided, the pipe is not congested or hinders the operation of the operation member 12, and the entire apparatus can be made compact while the operation member 12 operates smoothly. Further, since the fluid flow passage 73 is formed in the guide rod 71, the space on the guide rod 71 side can be effectively used.

【００９４】［他の実施の形態］以上説明した各実施の
形態の他に次のような実施の形態もある。 ・作動部材１２及びガイドロッド１６，７１はステンレ
スに限らず、鋼材等の他の金属材料やセラミックス材料
などを用いてもよい。[Other Embodiments] In addition to the above-described embodiments, there is also the following embodiment. The operating member 12 and the guide rods 16 and 71 are not limited to stainless steel, but may be other metal materials such as steel materials, ceramic materials, or the like.

【００９５】・ボール軸受１５，１８以外の樹脂製ブッ
シュ等の軸受部材を用いてもよい。但し、ボール軸受１
５，１８を用いた方が作動部材１２及びガイドロッド１
６，７１の高精度な直線運動が達成される。勿論、２つ
のボール軸受１５，１８のうち一方のみを他の軸受部材
として構成するようにしてもよい。A bearing member such as a resin bush other than the ball bearings 15 and 18 may be used. However, ball bearing 1
It is better to use the operating member 12 and the guide rod 1
6,71 highly accurate linear motions are achieved. Of course, only one of the two ball bearings 15, 18 may be configured as another bearing member.

【００９６】・ガイドロッド１６とボール軸受１８との
組み合わせに代えて、ガイドブロックとガイドレールと
の組み合わせを用いてもよい。この場合、作動部材１２
側のボール軸受１５を省略することができる。Instead of the combination of the guide rod 16 and the ball bearing 18, a combination of a guide block and a guide rail may be used. In this case, the operating member 12
The ball bearing 15 on the side can be omitted.

【００９７】・作動部材１２やガイドロッド１６，７１
の外周面を断面円形にすることは必須ではなく、断面三
角形等の他の形状でもよいし、スプライン構造としても
よい。The operating member 12 and the guide rods 16 and 71
It is not essential to make the outer peripheral surface of a circular cross section, but may be another shape such as a triangular cross section or a spline structure.

【００９８】・変換手段を、ねじ山９が形成された送り
ねじ部７と、ねじ孔１１が形成された送りナット部１０
とから構成し、機械的なねじ結合を行うようにしたが、
送りねじ部７を磁気ねじとし、送りナット部１０に代え
てその磁気ねじに磁気結合されて直線運動を行い得る直
線送り部を設けてもよい。The conversion means includes a feed screw portion 7 having a thread 9 and a feed nut portion 10 having a screw hole 11.
And made mechanical screw connection,
The feed screw portion 7 may be a magnetic screw, and a linear feed portion that is magnetically coupled to the magnetic screw and can perform a linear motion may be provided instead of the feed nut portion 10.

【００９９】・第２乃至第４の各実施の形態では、最前
端位置又は最後端位置でガイドロッド１６を保持するよ
うにしたが、いずれの位置でもガイドロッド１６を保持
し得るように保持機構４１，６１を２つ設置してもよ
い。勿論、それらの中間位置でガイドロッド１６を保持
するようにしてもよい。In each of the second to fourth embodiments, the guide rod 16 is held at the frontmost position or the rearmost position. However, the holding mechanism is designed to hold the guide rod 16 at any position. Two 41 and 61 may be provided. Of course, the guide rod 16 may be held at an intermediate position between them.

【０１００】・第５の実施の形態では、ガイドロッド７
１の長手方向に流体流通路７３を形成したが、この通路
７３を配線挿通路として用いてもよい。この場合、当板
１９に電気機器を設置し、その電気機器に電源を供給し
たり電気機器と外部制御装置の間で信号のやりとりを行
うことが可能となる。又、ガイドロッド７１に配管機能
と配線機能との両方を付与してもよい。In the fifth embodiment, the guide rod 7
Although the fluid flow passage 73 is formed in the longitudinal direction of FIG. 1, the passage 73 may be used as a wire insertion passage. In this case, it is possible to install an electric device on the plate 19, supply power to the electric device, and exchange signals between the electric device and the external control device. Further, both the piping function and the wiring function may be provided to the guide rod 71.

【０１０１】・第５の実施の形態等において、当板１９
に搭載される機器はチャック装置７４に限らず、ロボッ
トアーム、真空チャック等の他の機器でもよい。以上説
明した各実施の形態により把握される請求項以外の手段
及びその効果を以下に列挙する。In the fifth embodiment and the like, the contact plate 19
The device mounted on the device is not limited to the chuck device 74, but may be another device such as a robot arm or a vacuum chuck. Means other than the claims and their effects, which are grasped by the embodiments described above, are listed below.

【０１０２】（１）請求項１乃至請求項１０において、
アクチュエータ本体には作動部材及びガイド部材に対応
して軸受部材をそれぞれ設け、両軸受部材により作動部
材及びガイド部材を長手方向へ摺動可能に支持した。こ
の手段によれば、作動部材の高精度な回り止めが実現さ
れるとともにその直線移動も高精度なものとなる。(1) In claims 1 to 10,
A bearing member was provided on the actuator body corresponding to the operating member and the guide member, and the operating member and the guide member were slidably supported in the longitudinal direction by the two bearing members. According to this means, the operation member can be prevented from rotating with high accuracy, and the linear movement thereof can also be made with high accuracy.

【０１０３】（２）請求項１乃至請求項１０において、
モータの回転運動を直線運動に変換する変換手段は、モ
ータと一体回転するとともに長尺状に形成された送りね
じ部と、自身の回転が阻止された状態では送りねじ部の
回転に伴って直線的に移動される直線送り部とを備え、
送りねじ部をモータの出力軸に一体回転可能に連結する
とともに、直線送り部を作動部材に一体に設けた。この
手段によれば、変換手段を送りねじ部と直線送り部によ
り構成したことでその構成が簡略化し得るばかりか、直
線送り部の回り止めもガイド部材の存在によって達成さ
れるため直線送り部専用の回り止め機構が不要となって
更なる構成の簡略化が図られる。(2) In claims 1 to 10,
The conversion means for converting the rotational motion of the motor into a linear motion includes a feed screw portion formed integrally with the motor and having a long shape, and a straight line accompanying the rotation of the feed screw portion in a state where its rotation is prevented. With a linear feeder that is moved
The feed screw portion is connected to the output shaft of the motor so as to be integrally rotatable, and the linear feed portion is provided integrally with the operating member. According to this means, not only can the structure be simplified by forming the conversion means with the feed screw portion and the linear feed portion, but also the rotation stop of the linear feed portion can be achieved by the presence of the guide member. The rotation preventing mechanism is not required, and the configuration is further simplified.

【０１０４】（３）上記手段（２）において、作動部材
の内部には自身の長手方向に沿って延びる収容穴を形成
し、その収容穴の開口部には直線送り部を一体的に取付
け、前記送りねじ部を前記直線送り部に螺合した状態
で、前記収容穴に送りねじ部の先端部を収容した。この
手段によれば、送りねじ部の先端部が作動部材に形成さ
れた収容穴に収容されることから、作動部材が送りねじ
部の保護材として機能し、送りねじ部に塵埃が付着する
ことが極力防止される。その結果、塵埃の付着による動
作不良を防止し得る。又、送りねじ部の先端部が作動部
材に形成された収容穴に収容されることで電動アクチュ
エータの全長が短くなる。(3) In the above means (2), an accommodating hole extending along its own longitudinal direction is formed inside the operating member, and a linear feed portion is integrally attached to the opening of the accommodating hole. In a state where the feed screw portion was screwed into the linear feed portion, the leading end of the feed screw portion was accommodated in the accommodation hole. According to this means, since the leading end of the feed screw portion is housed in the housing hole formed in the operating member, the operating member functions as a protective material for the feed screw portion, and dust adheres to the feed screw portion. Is prevented as much as possible. As a result, it is possible to prevent malfunction due to dust adhesion. In addition, since the leading end of the feed screw portion is housed in the housing hole formed in the operating member, the overall length of the electric actuator is shortened.

【０１０５】（４）上記手段（２）又は（３）におい
て、モータの出力軸の中心軸線と前記送りねじ部の中心
軸線とを同一直線上に配置し、前記出力軸の先端部と送
りねじ部の基端部とをカップリングにより連結した。こ
の手段によれば、モータの出力軸の中心軸線と送りねじ
部の中心軸線とを同一直線上に配置していてカップリン
グのみで出力軸から送りねじ部に回転伝達を行い得るた
め、前記両中心軸線が同一直線上にない場合と比べて構
成の簡略化及び小型化を達成し得る。(4) In the above means (2) or (3), the center axis of the output shaft of the motor and the center axis of the feed screw portion are arranged on the same straight line, and the tip of the output shaft is connected to the feed screw. The base was connected to the base by coupling. According to this means, the center axis of the output shaft of the motor and the center axis of the feed screw portion are arranged on the same straight line, and rotation can be transmitted from the output shaft to the feed screw portion only by the coupling. The simplification and downsizing of the configuration can be achieved as compared with the case where the central axes are not on the same straight line.

【０１０６】（５）請求項１乃至請求項１０において、
作動部材とガイド部材との連結を、両者の先端部を同一
の当板に連結することにより行った。この手段によれ
ば、作動部材とガイド部材とを当板で連結することによ
り、同当板にワーク等を取付けることが可能となる。(5) In claims 1 to 10,
The connection between the operating member and the guide member was performed by connecting the tip portions of both to the same plate. According to this means, by connecting the operating member and the guide member with the abutment plate, it becomes possible to attach a work or the like to the abutment plate.

【０１０７】（６）請求項１乃至請求項１０において、
作動部材の外周面及びガイド部材の外周面をそれぞれの
断面形状が円形となるように構成し、両軸受部材をそれ
ぞれボール軸受により構成した。この手段によれば、軸
受部材の中でも特に高精度な軸受部材であるボール軸受
を採用したため、作動部材の回り止め及び直線運動の高
精度化を一層促進し得る。(6) In claims 1 to 10,
The outer peripheral surface of the operating member and the outer peripheral surface of the guide member were configured such that their cross-sectional shapes were circular, and both bearing members were each configured by a ball bearing. According to this means, since the ball bearing which is a particularly high-precision bearing member among the bearing members is employed, it is possible to further promote the prevention of the rotation of the operating member and the higher precision of the linear motion.

【０１０８】（７）上記手段（６）において、作動部材
の外周面及びガイド部材の外周面の外径を同一とし、ボ
ール軸受として共通のものを使用した。この手段によれ
ば、作動部材とガイド部材とをそれぞれ軸受するボール
軸受として共通のものが使用できるため、部品の共通化
によるコスト低減を図り得る。(7) In the above means (6), the outer diameter of the outer peripheral surface of the operating member and the outer diameter of the outer peripheral surface of the guide member are the same, and a common ball bearing is used. According to this means, since a common ball bearing can be used for bearing the operating member and the guide member, the cost can be reduced by using common components.

【０１０９】（８）請求項１乃至請求項１０において、
アクチュエータ本体を単体により構成した。この手段に
よれば、アクチュエータ本体を作動部材側とガイド部材
側とで２分して構成するようなものと比べ、アクチュエ
ータ本体の構造の簡略化に結び付くばかりか、作動部材
とガイド部材との位置関係を確固たるものとすることが
でき、作動部材の高精度な移動にも寄与する。(8) In claims 1 to 10,
The actuator body is composed of a single unit. According to this means, compared to a configuration in which the actuator body is divided into two parts on the operation member side and the guide member side, not only the structure of the actuator body is simplified, but also the position of the operation member and the guide member. The relationship can be made firm, which contributes to the highly accurate movement of the operating member.

【０１１０】（９）請求項８において、保持機構は係合
部材を凹所へ接近する側へ付勢する付勢手段を備え、そ
の付勢手段によって係合部材が凹所側へ付勢されるとと
もに、保持機構は係合部材に作用する流体圧によって係
合部材が付勢手段の付勢力に抗して凹所から離間する側
へ移動されるようにした。この手段によれば、保持機構
を比較的簡易に構成し得るとともに、流体圧に応じて係
合関係を解除し得るため、特にガイド部材をシリンダ構
造とした場合に好適である。(9) In claim 8, the holding mechanism includes an urging means for urging the engaging member toward the recess, and the urging means urges the engaging member toward the concave. At the same time, the holding mechanism is configured such that the engaging member is moved to the side away from the recess by the fluid pressure acting on the engaging member against the urging force of the urging means. According to this means, the holding mechanism can be configured relatively easily, and the engagement relationship can be released in accordance with the fluid pressure. Therefore, it is particularly suitable when the guide member has a cylinder structure.

【０１１１】（１０）請求項８において、保持機構は係
合部材を凹所へ接近する側へ付勢する付勢手段を備え、
その付勢手段によって係合部材が凹所側へ付勢されると
ともに、保持機構は電磁吸着部を備え、電磁吸着部を励
磁することにより係合部材を付勢手段の付勢力に抗して
凹所から離間する側へ移動させるようにした。この手段
によれば、保持機構を比較的簡易に構成し得るととも
に、電磁吸着部の励磁によって係合関係を解除し得るた
め、特にモータとともに電磁吸着部を集中制御する場合
に好適である。(10) In the eighth aspect, the holding mechanism includes an urging means for urging the engaging member toward the side approaching the recess,
The urging means urges the engaging member toward the concave side, and the holding mechanism includes an electromagnetic attracting portion. By exciting the electromagnetic attracting portion, the engaging member opposes the urging force of the urging means. Moved to the side away from the recess. According to this means, since the holding mechanism can be configured relatively simply and the engagement relationship can be released by exciting the electromagnetic attraction portion, it is particularly suitable for centrally controlling the electromagnetic attraction portion together with the motor.

【０１１２】[0112]

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１乃至請求
項１０に記載の各発明によれば、モータの回転によっ
て、作動部材とガイド部材とを一体となって直線的に移
動させることができ、ガイド部材の存在により作動部材
の回り止めが図られるとともに偏荷重に対しても強くな
る効果がある。又、別途ガイド部材を設けているにもか
かわらず、同ガイド部材を設けたことにより生ずるスペ
ースを有効利用して各種機能を付加しているので、全体
のコンパクト化を図りつつ部品が一箇所に集中すること
による組立作業性の低下等を防止することができる。As described in detail above, according to the first to tenth aspects of the present invention, the operation member and the guide member are linearly moved integrally by the rotation of the motor. Thus, there is an effect that the rotation of the operation member is prevented by the presence of the guide member, and that the guide member becomes strong against the unbalanced load. Also, despite the provision of a separate guide member, various functions are added by effectively utilizing the space created by the provision of the guide member. It is possible to prevent a reduction in assembling workability due to concentration and the like.

【０１１３】特に、請求項１及び請求項２に記載の発明
では、規制部材によって作動部材のストロークエンドを
モータの制御に頼らずに決定付けることが可能となる。
又、請求項３に記載の発明では、請求項１又は請求項２
に記載の発明の効果に加えてストロークエンドでの電動
アクチュエータの各部に加わる衝撃を低減することがで
きる。In particular, according to the first and second aspects of the present invention, the stroke end of the operating member can be determined by the regulating member without depending on the control of the motor.
According to the third aspect of the present invention, in the first aspect or the second aspect,
In addition to the effects of the invention described in (1), the impact applied to each part of the electric actuator at the stroke end can be reduced.

【０１１４】請求項４に記載の発明では、ガイド部材側
にシリンダ構造に基づく補助的推力を発生させることが
できるため、モータが小型のものや低出力のものであっ
ても全体として充分な推力を得ることができる。According to the fourth aspect of the present invention, since an auxiliary thrust based on the cylinder structure can be generated on the guide member side, a sufficient thrust can be obtained as a whole even if the motor has a small size or a low output. Can be obtained.

【０１１５】請求項５に記載の発明では、ガイド部材側
に設けた磁気発生手段の磁気を検出することによりガイ
ド部材の位置、即ち作動部材の位置を検出することがで
きる。又、請求項６に記載の発明では、請求項５に記載
の発明の効果を位置検出手段を設けることで達成するこ
とができ、しかもその位置検出手段として既存の流体圧
シリンダ用位置検出装置を流用することができる利点も
ある。According to the fifth aspect of the present invention, the position of the guide member, that is, the position of the operating member can be detected by detecting the magnetism of the magnetism generating means provided on the guide member side. According to the sixth aspect of the invention, the effect of the fifth aspect of the invention can be achieved by providing the position detecting means. In addition, as the position detecting means, an existing position detecting device for a hydraulic cylinder is used. There is also an advantage that it can be diverted.

【０１１６】請求項７に記載の発明では、ガイド部材側
に設けた保持機構によってガイド部材を所定の位置に保
持することが可能となり、モータ自体の保持力が充分で
ない場合であってもガイド部材及び作動部材が不用意に
移動してしまう事態を防止し得る。又、請求項８に記載
の発明では、請求項７に記載の発明におけるガイド部材
保持効果を一層確固たるものとし得る。更に、請求項９
に記載の発明では、請求項７又は請求項８に記載の発明
の効果に加え、作動部材及びガイド部材の移動方向が上
下方向となるようにして使用する場合に、保持機構を落
下防止機構として機能させることができる。According to the seventh aspect of the present invention, the guide member can be held at a predetermined position by the holding mechanism provided on the guide member side, and even if the holding force of the motor itself is not sufficient, the guide member can be held. In addition, it is possible to prevent a situation in which the operating member is inadvertently moved. According to the invention described in claim 8, the guide member holding effect in the invention described in claim 7 can be further enhanced. Claim 9
According to the invention described in (1), in addition to the effects of the invention described in (7) or (8), when the operating member and the guide member are used in such a manner that the moving direction of the operating member and the guide member is in the vertical direction, the holding mechanism is used as a fall prevention mechanism. Can work.

【０１１７】請求項１０に記載の発明では、ガイド部材
を筒状に形成してガイド部材内部を流体流通路又は配線
挿通路としたことにより、ガイド部材内部を流通する流
体又は電源・信号などを、作動部材及びガイド部材の連
結部位側との間でやりとりすることが可能となる。例え
ば、その連結部位に流体圧機器を設置した場合にはその
流体圧機器に流体を供給することができ、連結部位に電
気機器を設置した場合にはその電気機器に電源を供給し
たり電気機器との間で信号のやりとりを行うことが可能
となる。According to the tenth aspect of the present invention, since the guide member is formed in a cylindrical shape and the inside of the guide member is formed as a fluid flow passage or a wiring insertion passage, a fluid, a power source, a signal, or the like flowing inside the guide member can be transferred. It is possible to exchange between the operating member and the connecting portion side of the guide member. For example, when a hydraulic device is installed at the connection site, fluid can be supplied to the hydraulic device. When an electrical device is installed at the connection site, power can be supplied to the electrical device or the electrical device can be supplied. It is possible to exchange signals with the device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】電動アクチュエータの第１の実施の形態を示す
断面図。FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of an electric actuator.

【図２】電動アクチュエータの第２の実施の形態を示す
断面図。FIG. 2 is a sectional view showing a second embodiment of the electric actuator.

【図３】電動アクチュエータの第３の実施の形態を示す
断面図。FIG. 3 is a sectional view showing a third embodiment of the electric actuator.

【図４】電動アクチュエータの第４の実施の形態を示す
断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a fourth embodiment of the electric actuator.

【図５】電動アクチュエータの第５の実施の形態を示す
断面図。FIG. 5 is a sectional view showing a fifth embodiment of the electric actuator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…電動アクチュエータ、２…アクチュエータ本体、５
…モータとしてのステッピングモータ、１２…作動部
材、１６，７１…ガイド部材としてのガイドロッド、１
９…連結部位としての当板、１９ａ，２９…弾性部とし
てのクッションゴム、２２…規制部材としてのピスト
ン、２５…シリンダ室を構成するロッド側シリンダ室、
２６…シリンダ室を構成するヘッド側シリンダ室、３０
…規制部材としてのストッパボルト、３１…磁気発生手
段としての永久磁石、４１，６１…保持機構、４４…係
合部材、４９…凹所としての環状溝、６４…係合部材と
してのプランジャ、７３…流体流通路。1: electric actuator, 2: actuator body, 5
... Stepping motor as motor, 12 ... operating member, 16, 71 ... guide rod as guide member, 1
9: a contact plate as a connecting portion; 19a, 29: cushion rubber as an elastic portion; 22, a piston as a regulating member; 25: a rod-side cylinder chamber constituting a cylinder chamber;
26: Head side cylinder chamber constituting cylinder chamber, 30
... a stopper bolt as a restricting member, 31 a permanent magnet as a magnetic generating means, 41, 61 a holding mechanism, 44 an engaging member, 49 an annular groove as a recess, 64 a plunger as an engaging member, 73 ... Fluid flow passage.

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 アクチュエータ本体に設けたモータの回
転運動を直線運動に変換し、モータ回転時に作動部材を
その長手方向に直線的に移動させる電動アクチュエータ
において、 アクチュエータ本体には作動部材の直線移動方向と平行
に延びるガイド部材を設け、作動部材とガイド部材とを
一体移動可能に連結し、ガイド部材には、同ガイド部材
の移動を所定位置で規制する規制部材を設けた電動アク
チュエータ。1. An electric actuator for converting a rotational movement of a motor provided on an actuator body into a linear movement and linearly moving an operating member in the longitudinal direction when the motor rotates, wherein the actuator body has a linear moving direction of the operating member. An electric actuator, comprising: a guide member extending in parallel with the guide member; an operating member and a guide member movably connected to each other; and a guide member provided with a regulating member for regulating movement of the guide member at a predetermined position. 【請求項２】 アクチュエータ本体に設けたモータの回
転運動を直線運動に変換し、モータ回転時に作動部材を
その長手方向に直線的に移動させる電動アクチュエータ
において、 アクチュエータ本体には作動部材の直線移動方向と平行
に延びるガイド部材を設け、作動部材とガイド部材とを
一体移動可能に連結し、その連結部位とそれに対向する
アクチュエータ本体の面の少なくとも一方には規制部材
を設け、その規制部材が他方に当接することにより前記
連結部位の移動を所定位置で規制するようにした電動ア
クチュエータ。2. An electric actuator for converting a rotational motion of a motor provided on an actuator body into a linear motion and linearly moving an operating member in a longitudinal direction when the motor rotates, wherein the actuator body has a linear moving direction of the operating member. And a guide member extending in parallel with the actuator member, the operating member and the guide member are integrally movably connected to each other, and a regulating member is provided on at least one of the joint portion and the surface of the actuator body opposed thereto, and the regulating member is provided on the other side. An electric actuator configured to restrict the movement of the connecting portion at a predetermined position by contacting the electric actuator. 【請求項３】 請求項１又は請求項２記載の電動アクチ
ュエータにおいて、規制部材は緩衝用の弾性部を備えて
いる電動アクチュエータ。3. The electric actuator according to claim 1, wherein the restricting member has an elastic portion for buffering. 【請求項４】 アクチュエータ本体に設けたモータの回
転運動を直線運動に変換し、モータ回転時に作動部材を
その長手方向に直線的に移動させる電動アクチュエータ
において、 アクチュエータ本体には作動部材の直線移動方向と平行
に延びるガイド部材を設け、作動部材とガイド部材とを
一体移動可能に連結し、ガイド部材にはピストンを設
け、そのピストンをアクチュエータ本体内に設けたシリ
ンダ室に収容し、シリンダ室に流体を給排することによ
り、ガイド部材に推力を発生し得るように構成した電動
アクチュエータ。4. An electric actuator for converting a rotational movement of a motor provided on an actuator body into a linear movement and linearly moving an operating member in a longitudinal direction when the motor rotates, wherein the actuator body has a linear moving direction of the operating member. A guide member extending in parallel with the actuator member, the operating member and the guide member are integrally movably connected to each other, a piston is provided on the guide member, the piston is housed in a cylinder chamber provided in the actuator body, and a fluid is supplied to the cylinder chamber. An electric actuator configured to generate thrust in the guide member by supplying and discharging the electric power. 【請求項５】 アクチュエータ本体に設けたモータの回
転運動を直線運動に変換し、モータ回転時に作動部材を
その長手方向に直線的に移動させる電動アクチュエータ
において、 アクチュエータ本体には作動部材の直線移動方向と平行
に延びるガイド部材を設け、作動部材とガイド部材とを
一体移動可能に連結し、ガイド部材には磁気発生手段を
設けた電動アクチュエータ。5. An electric actuator for converting a rotational movement of a motor provided on an actuator body into a linear movement and linearly moving an operating member in a longitudinal direction when the motor rotates, wherein the actuator body has a linear moving direction of the operating member. An electric actuator provided with a guide member extending in parallel with the actuator, the operating member and the guide member being connected so as to be integrally movable, and the guide member being provided with a magnetic generating means. 【請求項６】 請求項５記載の電動アクチュエータにお
いて、アクチュエータ本体には前記磁気発生手段の磁気
を検出することによりガイド部材の位置を検出する位置
検出手段を設けた電動アクチュエータ。6. The electric actuator according to claim 5, wherein the actuator main body is provided with position detecting means for detecting the position of the guide member by detecting the magnetism of the magnetism generating means. 【請求項７】 アクチュエータ本体に設けたモータの回
転運動を直線運動に変換し、モータ回転時に作動部材を
その長手方向に直線的に移動させる電動アクチュエータ
において、 アクチュエータ本体には作動部材の直線移動方向と平行
に延びるガイド部材を設け、作動部材とガイド部材とを
一体移動可能に連結し、アクチュエータ本体にはガイド
部材に係脱される保持機構を設け、その保持機構はガイ
ド部材との係合時にガイド部材を所定位置に保持する一
方、離脱時にガイド部材の移動を許容する電動アクチュ
エータ。7. An electric actuator for converting a rotational movement of a motor provided on an actuator body into a linear movement and linearly moving an operating member in a longitudinal direction when the motor rotates, wherein the actuator body has a linear moving direction of the operating member. A guide member extending in parallel with the guide member, the operating member and the guide member are integrally movably connected to each other, and the actuator body is provided with a holding mechanism that is engaged and disengaged from the guide member. An electric actuator that holds the guide member at a predetermined position while allowing the guide member to move when the guide member is separated. 【請求項８】 請求項７記載の電動アクチュエータにお
いて、ガイド部材にはその長手方向の一部に凹所を設
け、保持機構はその凹所に向けて接近離間される係合部
材を備えたものである電動アクチュエータ。8. The electric actuator according to claim 7, wherein the guide member has a recess in a part thereof in the longitudinal direction, and the holding mechanism includes an engaging member which is approached to and separated from the recess. Is an electric actuator. 【請求項９】 請求項７又は請求項８記載の電動アクチ
ュエータにおいて、保持機構は、ガイド部材のアクチュ
エータ本体からの突出位置又は没入位置の少なくとも一
方のストロークエンド位置にてその位置を保持するもの
である電動アクチュエータ。9. The electric actuator according to claim 7, wherein the holding mechanism holds the position at a stroke end position of at least one of a projecting position or a retracted position of the guide member from the actuator body. There is an electric actuator. 【請求項１０】 アクチュエータ本体に設けたモータの
回転運動を直線運動に変換し、モータ回転時に作動部材
をその長手方向に直線的に移動させる電動アクチュエー
タにおいて、 アクチュエータ本体には作動部材の直線移動方向と平行
に延びるガイド部材を設け、作動部材とガイド部材とを
一体移動可能に連結し、ガイド部材を筒状に形成するこ
とにより、ガイド部材内部に流体流通路又は配線挿通路
の少なくともいずれか一方を形成した電動アクチュエー
タ。10. An electric actuator for converting a rotational movement of a motor provided in an actuator body into a linear movement and linearly moving an operating member in a longitudinal direction when the motor rotates, wherein the actuator body has a linear moving direction of the operating member. A guide member extending in parallel with the guide member, the operating member and the guide member are integrally movably connected to each other, and the guide member is formed in a cylindrical shape, so that at least one of the fluid flow passage and the wiring insertion passage is provided inside the guide member. The electric actuator formed.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2011104673A (en) * 2009-11-13 2011-06-02 Mitsubishi Electric Corp Driving device

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